JP2000243795A - バーンインテスタにおける電源電流測定回路 - Google Patents
バーンインテスタにおける電源電流測定回路Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の課題は、ウェハレベルバーンインテス
タにおける電源電流測定回路について、電源回路として
大電流測定用電源回路と微少電流測定用電源回路とを有
し、測定するチップ数に応じて各電源回路を適宜切り替
えて使用することにより、微少電流の測定と大電流の測
定の双方を高精度で実行可能とする電源電流測定回路を
小規模の回路構成で実現する。 【解決手段】電源電流測定回路２００において、ウェハ
６０上の測定するチップ数に応じて、２種類の電源回路
を選択起動し、その出力に応じた電源電流測定回路及び
電源電流検出素子を設けることにより、電源電流測定に
おいて測定分解能を確保できる。測定出力選択回路５６
により、２種類の電流測定回路からの出力を１つの変換
回路に選択入力可能であるため、電流測定回路各々に変
換回路及びその周辺回路を接続する必要が無く回路規模
の縮小が可能となる。
タにおける電源電流測定回路について、電源回路として
大電流測定用電源回路と微少電流測定用電源回路とを有
し、測定するチップ数に応じて各電源回路を適宜切り替
えて使用することにより、微少電流の測定と大電流の測
定の双方を高精度で実行可能とする電源電流測定回路を
小規模の回路構成で実現する。 【解決手段】電源電流測定回路２００において、ウェハ
６０上の測定するチップ数に応じて、２種類の電源回路
を選択起動し、その出力に応じた電源電流測定回路及び
電源電流検出素子を設けることにより、電源電流測定に
おいて測定分解能を確保できる。測定出力選択回路５６
により、２種類の電流測定回路からの出力を１つの変換
回路に選択入力可能であるため、電流測定回路各々に変
換回路及びその周辺回路を接続する必要が無く回路規模
の縮小が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バーンインテスタ
に利用する電源電流測定回路に係り、詳細には、半導体
集積回路が形成されたウェハのバーンインテストを行う
バーンインテスタにおいて、そのウェハ上の各半導体集
積回路に流れる電源電流を測定する際に好適な電源電流
測定回路、及びその電源電流測定方法に関する。
に利用する電源電流測定回路に係り、詳細には、半導体
集積回路が形成されたウェハのバーンインテストを行う
バーンインテスタにおいて、そのウェハ上の各半導体集
積回路に流れる電源電流を測定する際に好適な電源電流
測定回路、及びその電源電流測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体集積回路の製造工程におい
ては、その製品の信頼性を確保するために、恒温槽の炉
の中に入れられたウェハ上に複数形成された半導体集積
回路チップに対して、そのウェハレベルで各チップに電
源電圧を印加し、さらに半導体集積回路チップの種類に
応じた試験用パターン信号を印加して所定の温度環境下
での動作（パス／フェイル）を検証するバーンインテス
トが実施されており、ウェハレベルでパス／フェイルの
判定機能を有する装置はウェハレベルバーンインテスタ
とよばれている。
ては、その製品の信頼性を確保するために、恒温槽の炉
の中に入れられたウェハ上に複数形成された半導体集積
回路チップに対して、そのウェハレベルで各チップに電
源電圧を印加し、さらに半導体集積回路チップの種類に
応じた試験用パターン信号を印加して所定の温度環境下
での動作（パス／フェイル）を検証するバーンインテス
トが実施されており、ウェハレベルでパス／フェイルの
判定機能を有する装置はウェハレベルバーンインテスタ
とよばれている。
【０００３】このウェハレベルバーンインテスタは、温
度及び電気信号がプログラム可能な恒温槽を備え、恒温
槽内にはウェハを実装する多数のテストバーンインボー
ド（以下、ＴＢＩＢという）が実装され、恒温槽内のＴ
ＢＩＢと外部のテスタとは、恒温槽に設けられたコネク
タを介して接続され、このコネクタを介して各種試験信
号の送受信を行って、各ＴＢＩＢに実装されたチップの
種類に応じたバーンインテストを行っている。
度及び電気信号がプログラム可能な恒温槽を備え、恒温
槽内にはウェハを実装する多数のテストバーンインボー
ド（以下、ＴＢＩＢという）が実装され、恒温槽内のＴ
ＢＩＢと外部のテスタとは、恒温槽に設けられたコネク
タを介して接続され、このコネクタを介して各種試験信
号の送受信を行って、各ＴＢＩＢに実装されたチップの
種類に応じたバーンインテストを行っている。
【０００４】このウェハレベルのバーンインテストにお
いて、ウェハ上に形成された半導体集積回路に流れる電
源電流の測定は、１チップ毎の電源電流測定と、全チッ
プあるいは複数のチップをまとめての電源電流測定が必
要とされている。
いて、ウェハ上に形成された半導体集積回路に流れる電
源電流の測定は、１チップ毎の電源電流測定と、全チッ
プあるいは複数のチップをまとめての電源電流測定が必
要とされている。
【０００５】図２に従来のウェハレベルバーンインテス
トにおいて利用される電源電流測定回路１００の回路構
成例を示す。この図２の電源電流測定回路１００は、Ｔ
ＢＩＢ１９に実装されたウェハ２０上の各チップの電源
電流を測定する場合、電源回路１０（この場合、電源回
路１０は、ウェハ２０上の全チップを駆動可能な大容量
の大電流測定用電源回路１０ａのみを備える）の出力
は、電流検出抵抗１１とウェハチップ選択回路１５を介
してウェハ２０上の各チップに接続されている。ウェハ
チップ選択回路１５は、コントロール装置２２とバス
（ＢＵＳ）を介して接続されており、コントロール装置
２２から入力されるウェハチップ選択信号により指定さ
れたウェハ２０上のチップを、ウェハチップ選択回路１
５が内蔵するウェハチップ選択スイッチ１５ａ〜１５ｎ
により選択して、電源回路１０から出力される電源電流
を選択したチップに供給している。
トにおいて利用される電源電流測定回路１００の回路構
成例を示す。この図２の電源電流測定回路１００は、Ｔ
ＢＩＢ１９に実装されたウェハ２０上の各チップの電源
電流を測定する場合、電源回路１０（この場合、電源回
路１０は、ウェハ２０上の全チップを駆動可能な大容量
の大電流測定用電源回路１０ａのみを備える）の出力
は、電流検出抵抗１１とウェハチップ選択回路１５を介
してウェハ２０上の各チップに接続されている。ウェハ
チップ選択回路１５は、コントロール装置２２とバス
（ＢＵＳ）を介して接続されており、コントロール装置
２２から入力されるウェハチップ選択信号により指定さ
れたウェハ２０上のチップを、ウェハチップ選択回路１
５が内蔵するウェハチップ選択スイッチ１５ａ〜１５ｎ
により選択して、電源回路１０から出力される電源電流
を選択したチップに供給している。
【０００６】また、電源回路１０の出力は、電流検出抵
抗１１の両端部と入力段が接続された電流測定回路１３
にも入力される。この電流測定回路１３は、電源回路１
０から出力される電源電流値に応じて電流検出抵抗１１
の両端部に発生する差電圧を検出し、その差電圧に応じ
た電流測定信号をＡＭＰ１７を介してＡ／Ｄコンバータ
１８に出力する。Ａ／Ｄコンバータ１８は、電流測定回
路１３から入力される電流測定信号をＡ／Ｄ変換し、電
流測定値を示す所定のデジタル信号をバスを介してコン
トロール装置２２に出力することにより、電源電流値を
測定可能としている。
抗１１の両端部と入力段が接続された電流測定回路１３
にも入力される。この電流測定回路１３は、電源回路１
０から出力される電源電流値に応じて電流検出抵抗１１
の両端部に発生する差電圧を検出し、その差電圧に応じ
た電流測定信号をＡＭＰ１７を介してＡ／Ｄコンバータ
１８に出力する。Ａ／Ｄコンバータ１８は、電流測定回
路１３から入力される電流測定信号をＡ／Ｄ変換し、電
流測定値を示す所定のデジタル信号をバスを介してコン
トロール装置２２に出力することにより、電源電流値を
測定可能としている。
【０００７】このウェハレベルの電源電流測定において
は、ウェハ２０上の全チップの電源電流測定試験と、１
チップのみの電源電流測定試験との双方が試験できるこ
とが要求されている。ウェハ２０上の１チップに流れる
電源電流容量と、全チップに流れる電源電流容量には、
数百倍以上の差がある。このため、電源回路１０として
は、広いレンジで高精度に電源電流容量を設定可能なも
のが望ましい。
は、ウェハ２０上の全チップの電源電流測定試験と、１
チップのみの電源電流測定試験との双方が試験できるこ
とが要求されている。ウェハ２０上の１チップに流れる
電源電流容量と、全チップに流れる電源電流容量には、
数百倍以上の差がある。このため、電源回路１０として
は、広いレンジで高精度に電源電流容量を設定可能なも
のが望ましい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
２に示した従来の電源電流測定回路１００にあっては、
電源回路１０としてウェハ２０上の全チップを駆動可能
な大容量の大電流測定用電源回路１０ａのみしか備えて
いなかったため、上記ウェハ２０上の全チップの電源電
流測定試験と、１チップのみの電源電流測定試験との双
方において要求される数百倍以上の差がある電源電流の
設定を高精度で行うことは不可能であり、電源電流測定
の測定分解能の精度が確保できないという問題があっ
た。
２に示した従来の電源電流測定回路１００にあっては、
電源回路１０としてウェハ２０上の全チップを駆動可能
な大容量の大電流測定用電源回路１０ａのみしか備えて
いなかったため、上記ウェハ２０上の全チップの電源電
流測定試験と、１チップのみの電源電流測定試験との双
方において要求される数百倍以上の差がある電源電流の
設定を高精度で行うことは不可能であり、電源電流測定
の測定分解能の精度が確保できないという問題があっ
た。
【０００９】また、ウェハ２０上の１チップの微少電源
電流測定用に電源電流測定回路１００の測定分解能を合
わせてしまうと、膨大なビット数のＡ／Ｄコンバータと
大電力に対応した電流検出抵抗とが必要となり、これら
の仕様を実現することはコスト的にも不可能であった。
電流測定用に電源電流測定回路１００の測定分解能を合
わせてしまうと、膨大なビット数のＡ／Ｄコンバータと
大電力に対応した電流検出抵抗とが必要となり、これら
の仕様を実現することはコスト的にも不可能であった。
【００１０】したがって、従来のウェハレベルバーンイ
ンテスタに利用される電源電流測定回路１００の回路構
成では、ウェハ上の全チップの大電流測定と、１チップ
の微少電流測定の双方を高精度に行うことは不可能であ
るという問題があった。
ンテスタに利用される電源電流測定回路１００の回路構
成では、ウェハ上の全チップの大電流測定と、１チップ
の微少電流測定の双方を高精度に行うことは不可能であ
るという問題があった。
【００１１】本発明の課題は、上記従来の電源電流測定
回路における問題を解決するため、電源回路として大電
流測定用電源回路と微少電流測定用電源回路とを有し、
測定するチップ数に応じて適用する各電源回路を適宜切
り替えて使用することにより、大電流の測定と微少電流
の測定の双方を高精度で実行可能とする電源電流測定回
路を小規模の回路構成で実現することを目的とする。
回路における問題を解決するため、電源回路として大電
流測定用電源回路と微少電流測定用電源回路とを有し、
測定するチップ数に応じて適用する各電源回路を適宜切
り替えて使用することにより、大電流の測定と微少電流
の測定の双方を高精度で実行可能とする電源電流測定回
路を小規模の回路構成で実現することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
恒温槽内にセットされたウェハ上に形成された複数の半
導体集積回路に対して外部から所定の電源電流を印加し
てバーンイン試験を行う際に利用されるバーンインテス
タにおける電源電流測定回路において、前記ウェハ上の
全半導体集積回路あるいは複数の半導体集積回路に対し
て印加する電源電流を供給する大電流測定用電源回路
と、前記ウェハ上の少なくとも１つの半導体集積回路に
対して印加する電源電流を供給する微少電流測定用電源
回路と、前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路
数に応じて前記大電流測定用電源回路の出力、及び前記
微少電流測定用電源回路の出力を選択的に切り替えて当
該試験対象の半導体集積回路に電源電流を供給する電源
出力選択回路と、を備えることを特徴としている。
恒温槽内にセットされたウェハ上に形成された複数の半
導体集積回路に対して外部から所定の電源電流を印加し
てバーンイン試験を行う際に利用されるバーンインテス
タにおける電源電流測定回路において、前記ウェハ上の
全半導体集積回路あるいは複数の半導体集積回路に対し
て印加する電源電流を供給する大電流測定用電源回路
と、前記ウェハ上の少なくとも１つの半導体集積回路に
対して印加する電源電流を供給する微少電流測定用電源
回路と、前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路
数に応じて前記大電流測定用電源回路の出力、及び前記
微少電流測定用電源回路の出力を選択的に切り替えて当
該試験対象の半導体集積回路に電源電流を供給する電源
出力選択回路と、を備えることを特徴としている。
【００１３】この請求項１記載の発明によれば、恒温槽
内にセットされたウェハ上に形成された複数の半導体集
積回路に対して外部から所定の電源電流を印加してバー
ンイン試験を行う際に利用されるバーンインテスタにお
ける電源電流測定回路において、前記ウェハ上の全半導
体集積回路あるいは複数の半導体集積回路に対して印加
する電源電流を供給する大電流測定用電源回路と、前記
ウェハ上の少なくとも１つの半導体集積回路に対して印
加する電源電流を供給する微少電流測定用電源回路と、
前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数に応じ
て前記大電流測定用電源回路の出力、及び前記微少電流
測定用電源回路の出力を選択的に切り替えて当該試験対
象の半導体集積回路に電源電流を供給する電源出力選択
回路と、を備えている。
内にセットされたウェハ上に形成された複数の半導体集
積回路に対して外部から所定の電源電流を印加してバー
ンイン試験を行う際に利用されるバーンインテスタにお
ける電源電流測定回路において、前記ウェハ上の全半導
体集積回路あるいは複数の半導体集積回路に対して印加
する電源電流を供給する大電流測定用電源回路と、前記
ウェハ上の少なくとも１つの半導体集積回路に対して印
加する電源電流を供給する微少電流測定用電源回路と、
前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数に応じ
て前記大電流測定用電源回路の出力、及び前記微少電流
測定用電源回路の出力を選択的に切り替えて当該試験対
象の半導体集積回路に電源電流を供給する電源出力選択
回路と、を備えている。
【００１４】したがって、ウェハ上の試験対象となる半
導体集積回路数に応じた大電流測定試験もしくは微少電
流測定試験において要求される、広範囲な電源電流の設
定が、電源出力選択回路を用いた電源回路の出力選択に
より高精度で実行可能となる。
導体集積回路数に応じた大電流測定試験もしくは微少電
流測定試験において要求される、広範囲な電源電流の設
定が、電源出力選択回路を用いた電源回路の出力選択に
より高精度で実行可能となる。
【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の電
源電流測定回路であって、前記大電流測定用電源回路か
ら出力される電源電流を測定する大電流測定回路と、前
記微少電流測定用電源回路から出力される電源電流を測
定する微少電流測定回路と、を更に備えたことを特徴と
している。
源電流測定回路であって、前記大電流測定用電源回路か
ら出力される電源電流を測定する大電流測定回路と、前
記微少電流測定用電源回路から出力される電源電流を測
定する微少電流測定回路と、を更に備えたことを特徴と
している。
【００１６】この請求項２記載の発明によれば、請求項
１記載の電源電流測定回路であって、前記大電流測定用
電源回路から出力される電源電流を測定する大電流測定
回路と、前記微少電流測定用電源回路から出力される電
源電流を測定する微少電流測定回路と、を更に備えてい
る。
１記載の電源電流測定回路であって、前記大電流測定用
電源回路から出力される電源電流を測定する大電流測定
回路と、前記微少電流測定用電源回路から出力される電
源電流を測定する微少電流測定回路と、を更に備えてい
る。
【００１７】したがって、請求項１記載の電源電流測定
回路に、電源出力選択回路によって選択された電源回路
の出力に応じた電源電流測定回路を設けることにより、
電源回路から出力される電源電流の測定において、測定
分解能の精度を確保できる。
回路に、電源出力選択回路によって選択された電源回路
の出力に応じた電源電流測定回路を設けることにより、
電源回路から出力される電源電流の測定において、測定
分解能の精度を確保できる。
【００１８】請求項３の発明は、請求項２記載の電源電
流測定回路であって、前記大電流測定用電源回路の出力
段と、前記微少電流測定用電源回路の出力段とのそれぞ
れに電源電流検出素子を設け、前記大電流測定回路は、
この大電流測定用電源回路の出力段に設けられた電源電
流検出素子により検出される電源電流を測定し、前記微
少電流測定回路は、この微少電流測定用電源回路の出力
段に設けられた電源電流検出素子により検出される電源
電流を測定することを特徴としている。
流測定回路であって、前記大電流測定用電源回路の出力
段と、前記微少電流測定用電源回路の出力段とのそれぞ
れに電源電流検出素子を設け、前記大電流測定回路は、
この大電流測定用電源回路の出力段に設けられた電源電
流検出素子により検出される電源電流を測定し、前記微
少電流測定回路は、この微少電流測定用電源回路の出力
段に設けられた電源電流検出素子により検出される電源
電流を測定することを特徴としている。
【００１９】この請求項３記載の発明によれば、請求項
２記載の電源電流測定回路であって、前記大電流測定用
電源回路の出力段と、前記微少電流測定用電源回路の出
力段とのそれぞれに電源電流検出素子を設け、前記大電
流測定回路は、この大電流測定用電源回路の出力段に設
けられた電源電流検出素子により検出される電源電流を
測定し、前記微少電流測定回路は、この微少電流測定用
電源回路の出力段に設けられた電源電流検出素子により
検出される電源電流を測定する。
２記載の電源電流測定回路であって、前記大電流測定用
電源回路の出力段と、前記微少電流測定用電源回路の出
力段とのそれぞれに電源電流検出素子を設け、前記大電
流測定回路は、この大電流測定用電源回路の出力段に設
けられた電源電流検出素子により検出される電源電流を
測定し、前記微少電流測定回路は、この微少電流測定用
電源回路の出力段に設けられた電源電流検出素子により
検出される電源電流を測定する。
【００２０】したがって、請求項２記載の電源電流測定
回路において、電源回路各々の出力段に電源電流検出素
子を設けることにより、電源電流測定の測定分解能の精
度を上げることができる。
回路において、電源回路各々の出力段に電源電流検出素
子を設けることにより、電源電流測定の測定分解能の精
度を上げることができる。
【００２１】請求項４の発明は、請求項１から３の何れ
かに記載の電源電流測定回路であって、前記電源出力選
択回路による前記各電源回路の選択状態に応じて、前記
大電流測定回路と前記微少電流測定回路とを選択的に切
り替えて、各測定回路の電源電流測定信号を選択出力す
る測定出力選択回路と、この測定出力選択回路から選択
出力される各電源電流測定信号を所定の電源電流測定値
に変換して出力する変換回路と、を更に備えたことを特
徴としている。
かに記載の電源電流測定回路であって、前記電源出力選
択回路による前記各電源回路の選択状態に応じて、前記
大電流測定回路と前記微少電流測定回路とを選択的に切
り替えて、各測定回路の電源電流測定信号を選択出力す
る測定出力選択回路と、この測定出力選択回路から選択
出力される各電源電流測定信号を所定の電源電流測定値
に変換して出力する変換回路と、を更に備えたことを特
徴としている。
【００２２】この請求項４記載の発明によれば、前記電
源出力選択回路による前記各電源回路の選択状態に応じ
て、前記大電流測定回路と前記微少電流測定回路とを選
択的に切り替えて、各測定回路の電源電流測定信号を選
択出力する測定出力選択回路と、この測定出力選択回路
から選択出力される各電源電流測定信号を所定の電源電
流測定値に変換して出力する変換回路と、を更に備えて
いる。
源出力選択回路による前記各電源回路の選択状態に応じ
て、前記大電流測定回路と前記微少電流測定回路とを選
択的に切り替えて、各測定回路の電源電流測定信号を選
択出力する測定出力選択回路と、この測定出力選択回路
から選択出力される各電源電流測定信号を所定の電源電
流測定値に変換して出力する変換回路と、を更に備えて
いる。
【００２３】したがって、電流測定回路からの出力であ
る大電流信号または微少電流信号を測定出力選択回路に
より選択し、１つの変換回路に入力可能であるため、電
流測定回路各々に変換回路及びその周辺回路を接続する
必要が無く、回路規模の縮小が可能となる。これによ
り、装置の製造コスト削減や省スペース化が実現でき、
装置の信頼性向上をもたらすことができる。
る大電流信号または微少電流信号を測定出力選択回路に
より選択し、１つの変換回路に入力可能であるため、電
流測定回路各々に変換回路及びその周辺回路を接続する
必要が無く、回路規模の縮小が可能となる。これによ
り、装置の製造コスト削減や省スペース化が実現でき、
装置の信頼性向上をもたらすことができる。
【００２４】請求項５記載の発明は、請求項１から４の
何れかに記載の電源電流測定回路であって、前記ウェハ
上の試験対象となる半導体集積回路数に応じて、前記電
源出力選択回路における選択状態と、前記測定出力選択
回路における選択状態とを制御する制御手段を更に備え
たことを特徴としている。
何れかに記載の電源電流測定回路であって、前記ウェハ
上の試験対象となる半導体集積回路数に応じて、前記電
源出力選択回路における選択状態と、前記測定出力選択
回路における選択状態とを制御する制御手段を更に備え
たことを特徴としている。
【００２５】この請求項５記載の発明によれば、請求項
１から４の何れかに記載の電源電流測定回路であって、
前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数に応じ
て、前記電源出力選択回路における選択状態と、前記測
定出力選択回路における選択状態とを制御する制御手段
を更に備えている。
１から４の何れかに記載の電源電流測定回路であって、
前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数に応じ
て、前記電源出力選択回路における選択状態と、前記測
定出力選択回路における選択状態とを制御する制御手段
を更に備えている。
【００２６】したがって、制御装置に内蔵する制御プロ
グラムにより、ウェハ上の試験対象となる半導体集積回
路の多様な試験パターンに応じて、電源回路出力の選択
と電流測定回路の選択の制御を、容易に実現することが
できる。
グラムにより、ウェハ上の試験対象となる半導体集積回
路の多様な試験パターンに応じて、電源回路出力の選択
と電流測定回路の選択の制御を、容易に実現することが
できる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。図１は、本発明を適用したウ
ェハレベルバーンインテスタにおいて利用される電源電
流測定回路２００の一実施の形態を示す図である。
の形態を詳細に説明する。図１は、本発明を適用したウ
ェハレベルバーンインテスタにおいて利用される電源電
流測定回路２００の一実施の形態を示す図である。
【００２８】まず、構成を説明する。図１は、本実施の
形態における電源電流測定回路２００の回路構成を示す
図である。この図１において、電源電流測定回路２００
は、電源回路５０と、大電流検出抵抗５１と、微少電流
検出抵抗５２と、大電流測定回路５３と、微少電流測定
回路５４と、ウェハチップ選択回路５５と、電流測定回
路選択回路５６と、ＡＭＰ５７と、Ａ／Ｄコンバータ５
８と、逆電流防止回路６１と、コントロール装置６２
と、から構成されている。
形態における電源電流測定回路２００の回路構成を示す
図である。この図１において、電源電流測定回路２００
は、電源回路５０と、大電流検出抵抗５１と、微少電流
検出抵抗５２と、大電流測定回路５３と、微少電流測定
回路５４と、ウェハチップ選択回路５５と、電流測定回
路選択回路５６と、ＡＭＰ５７と、Ａ／Ｄコンバータ５
８と、逆電流防止回路６１と、コントロール装置６２
と、から構成されている。
【００２９】電源回路５０は、大電流測定用電源回路５
０ａと微少電流測定用電源回路５０ｂとを備えている。
大電流測定用電源回路５０ａから出力される大電流信号
は、大電流検出抵抗５１及び逆電流防止回路６１を介し
て、ウェハチップ選択回路５５によりウェハ６０上の選
択されたチップに対して供給され、微少電流測定用電源
回路５０ｂから出力される微少電流信号は、微少電流検
出抵抗５２及び逆電流防止回路６１を介して、ウェハチ
ップ選択回路５５によりウェハ６０上の選択されたチッ
プに対して供給される。
０ａと微少電流測定用電源回路５０ｂとを備えている。
大電流測定用電源回路５０ａから出力される大電流信号
は、大電流検出抵抗５１及び逆電流防止回路６１を介し
て、ウェハチップ選択回路５５によりウェハ６０上の選
択されたチップに対して供給され、微少電流測定用電源
回路５０ｂから出力される微少電流信号は、微少電流検
出抵抗５２及び逆電流防止回路６１を介して、ウェハチ
ップ選択回路５５によりウェハ６０上の選択されたチッ
プに対して供給される。
【００３０】大電流測定回路（ＡＭＰ）５３は、その入
力段が大電流検出抵抗５１の両端部に接続されており、
大電流測定用電源回路５０ａから出力される大電流信号
に応じて大電流検出抵抗５１の両端部に発生する差電圧
を検出し、その検出した差電圧に応じた大電流測定信号
を電流測定回路選択回路５６を介してＡＭＰ５７に出力
する。
力段が大電流検出抵抗５１の両端部に接続されており、
大電流測定用電源回路５０ａから出力される大電流信号
に応じて大電流検出抵抗５１の両端部に発生する差電圧
を検出し、その検出した差電圧に応じた大電流測定信号
を電流測定回路選択回路５６を介してＡＭＰ５７に出力
する。
【００３１】微少電流測定回路（ＡＭＰ）５４は、その
入力段が微少電流検出抵抗５２の両端部に接続されてお
り、微少電流測定用電源回路５０ｂから出力される微少
電流信号に応じて微少電流検出抵抗５２の両端部に発生
する差電圧を検出し、その検出した差電圧に応じた微少
電流測定信号を電流測定回路選択回路５６を介してＡＭ
Ｐ５７に出力する。
入力段が微少電流検出抵抗５２の両端部に接続されてお
り、微少電流測定用電源回路５０ｂから出力される微少
電流信号に応じて微少電流検出抵抗５２の両端部に発生
する差電圧を検出し、その検出した差電圧に応じた微少
電流測定信号を電流測定回路選択回路５６を介してＡＭ
Ｐ５７に出力する。
【００３２】ウェハチップ選択回路５５は、バスを介し
て接続されているコントロール装置６２から入力される
ウェハチップ選択信号により指定されたウェハ６０上の
チップを、その内蔵するウェハチップ選択スイッチ５５
ａ〜５５ｎにより選択して、電源回路５０からの出力を
選択したチップに供給する。
て接続されているコントロール装置６２から入力される
ウェハチップ選択信号により指定されたウェハ６０上の
チップを、その内蔵するウェハチップ選択スイッチ５５
ａ〜５５ｎにより選択して、電源回路５０からの出力を
選択したチップに供給する。
【００３３】電流測定回路選択回路５６は、バスを介し
て接続されているコントロール装置６２から入力される
電流測定回路選択信号により指示された電流測定回路
を、その内蔵する電流測定回路選択スイッチ５６ａまた
は５６ｂにより選択して、大電流測定回路（ＡＭＰ）５
３または微少電流測定回路（ＡＭＰ）５４からの電流測
定信号をＡＭＰ５７を介してＡ／Ｄコンバータ５８に出
力する。
て接続されているコントロール装置６２から入力される
電流測定回路選択信号により指示された電流測定回路
を、その内蔵する電流測定回路選択スイッチ５６ａまた
は５６ｂにより選択して、大電流測定回路（ＡＭＰ）５
３または微少電流測定回路（ＡＭＰ）５４からの電流測
定信号をＡＭＰ５７を介してＡ／Ｄコンバータ５８に出
力する。
【００３４】Ａ／Ｄコンバータ５８は、ＡＭＰ５７によ
り増幅された大電流測定信号あるいは微少電流測定信号
を、その各電流測定値を示すデジタル信号にＡ／Ｄ変換
し、バスを介して接続されているコントロール装置６２
に送信する。
り増幅された大電流測定信号あるいは微少電流測定信号
を、その各電流測定値を示すデジタル信号にＡ／Ｄ変換
し、バスを介して接続されているコントロール装置６２
に送信する。
【００３５】逆電流防止回路６１は、ＰＮ接合ダイオー
ドを電源回路５０に対して順方向でかつウェハ６０上の
チップに対して逆方向に接続し、チップからの逆電流を
防止することにより、大電流測定用電源回路５０ａ、微
少電流測定用電源回路５０ｂ、大電流測定回路５３そし
て微少電流測定回路５４の破損を防止する保護回路であ
る。
ドを電源回路５０に対して順方向でかつウェハ６０上の
チップに対して逆方向に接続し、チップからの逆電流を
防止することにより、大電流測定用電源回路５０ａ、微
少電流測定用電源回路５０ｂ、大電流測定回路５３そし
て微少電流測定回路５４の破損を防止する保護回路であ
る。
【００３６】コントロール装置６２は、バスを介して接
続されているウェハチップ選択回路５５に対してウェハ
チップ選択信号を出力し、電源回路５０からの出力を供
給するチップを選択する。同様に、バスを介して接続さ
れている電流測定回路選択回路５６に対して電流測定回
路選択信号を出力し、電流測定回路を選択する。また、
Ａ／Ｄコンバータ５８からバスを介して送信されたデジ
タル信号を解析し、電流測定値を算出する。
続されているウェハチップ選択回路５５に対してウェハ
チップ選択信号を出力し、電源回路５０からの出力を供
給するチップを選択する。同様に、バスを介して接続さ
れている電流測定回路選択回路５６に対して電流測定回
路選択信号を出力し、電流測定回路を選択する。また、
Ａ／Ｄコンバータ５８からバスを介して送信されたデジ
タル信号を解析し、電流測定値を算出する。
【００３７】次に、本実施の形態の動作を説明する。上
記電源電流測定回路２００は、電源回路５０内に、大電
流測定用電源回路５０ａと微少電流測定用電源回路５０
ｂの容量の異なる２つの電源回路を備えており、ウェハ
６０上の測定を実施するチップ数に応じて、電源回路の
選択が可能である。
記電源電流測定回路２００は、電源回路５０内に、大電
流測定用電源回路５０ａと微少電流測定用電源回路５０
ｂの容量の異なる２つの電源回路を備えており、ウェハ
６０上の測定を実施するチップ数に応じて、電源回路の
選択が可能である。
【００３８】ウェハ６０上の全チップあるいは複数チッ
プの電源電流測定を実施する場合、大容量の大電流測定
用電源回路５０ａが選択起動され、大電流測定用電源回
路５０ａからの出力は、大電流検出抵抗５１及び逆電流
防止回路６１を介して、ウェハチップ選択回路５５によ
り選択された全チップあるいは複数チップに対して供給
される。また、大電流測定用電源回路５０ａからの出力
は、入力段が大電流検出抵抗５１の両端部に接続された
大電流測定回路（ＡＭＰ）５３にも入力される。大電流
測定回路（ＡＭＰ）５３は、大電流検出抵抗５１の両端
部に発生する差電圧を検出し、その検出した差電圧に応
じた大電流測定信号を、電流測定回路選択回路５６及び
ＡＭＰ５７を介しＡ／Ｄコンバータ５８に出力する。Ａ
／Ｄコンバータ５８にて変換された電流測定値を示すデ
ジタル信号は、バスを介してコントロール装置６２に送
信され、大電流値の測定が可能となる。
プの電源電流測定を実施する場合、大容量の大電流測定
用電源回路５０ａが選択起動され、大電流測定用電源回
路５０ａからの出力は、大電流検出抵抗５１及び逆電流
防止回路６１を介して、ウェハチップ選択回路５５によ
り選択された全チップあるいは複数チップに対して供給
される。また、大電流測定用電源回路５０ａからの出力
は、入力段が大電流検出抵抗５１の両端部に接続された
大電流測定回路（ＡＭＰ）５３にも入力される。大電流
測定回路（ＡＭＰ）５３は、大電流検出抵抗５１の両端
部に発生する差電圧を検出し、その検出した差電圧に応
じた大電流測定信号を、電流測定回路選択回路５６及び
ＡＭＰ５７を介しＡ／Ｄコンバータ５８に出力する。Ａ
／Ｄコンバータ５８にて変換された電流測定値を示すデ
ジタル信号は、バスを介してコントロール装置６２に送
信され、大電流値の測定が可能となる。
【００３９】また、同様にして、ウェハ６０上の１チッ
プの電源電流測定を実施する場合、微少電流測定用電源
回路５０ｂが選択起動され、微少電流測定用電源回路５
０ｂからの出力は、微少電流検出抵抗５２及び逆電流防
止回路６１を介して、ウェハチップ選択回路５５により
選択されたチップに対して供給される。また、微少電流
測定用電源回路５０ｂからの出力は、入力段が微少電流
検出抵抗５２の両端部に接続された微少電流測定回路
（ＡＭＰ）５４にも入力される。微少電流測定回路（Ａ
ＭＰ）５４は、微少電流検出抵抗５２の両端部に発生す
る差電圧を検出し、その検出した差電圧に応じた微少電
流測定信号を電流測定回路選択回路５６及びＡＭＰ５７
を介しＡ／Ｄコンバータ５８に出力する。Ａ／Ｄコンバ
ータ５８にて変換された電流測定値を示すデジタル信号
は、バスを介してコントロール装置６２に送信され、微
少電流値の測定が可能となる。
プの電源電流測定を実施する場合、微少電流測定用電源
回路５０ｂが選択起動され、微少電流測定用電源回路５
０ｂからの出力は、微少電流検出抵抗５２及び逆電流防
止回路６１を介して、ウェハチップ選択回路５５により
選択されたチップに対して供給される。また、微少電流
測定用電源回路５０ｂからの出力は、入力段が微少電流
検出抵抗５２の両端部に接続された微少電流測定回路
（ＡＭＰ）５４にも入力される。微少電流測定回路（Ａ
ＭＰ）５４は、微少電流検出抵抗５２の両端部に発生す
る差電圧を検出し、その検出した差電圧に応じた微少電
流測定信号を電流測定回路選択回路５６及びＡＭＰ５７
を介しＡ／Ｄコンバータ５８に出力する。Ａ／Ｄコンバ
ータ５８にて変換された電流測定値を示すデジタル信号
は、バスを介してコントロール装置６２に送信され、微
少電流値の測定が可能となる。
【００４０】本実施の形態の電源電流測定回路２００に
おいて、大電流測定用電源回路５０ａまたは微少電流測
定用電源回路５０ｂを、測定を実施するチップ数に応じ
て選択することにより、大電流値及び微少電流値の測定
試験の双方において要求される広範囲な電源電流の設定
が、高精度で実行可能となる。
おいて、大電流測定用電源回路５０ａまたは微少電流測
定用電源回路５０ｂを、測定を実施するチップ数に応じ
て選択することにより、大電流値及び微少電流値の測定
試験の双方において要求される広範囲な電源電流の設定
が、高精度で実行可能となる。
【００４１】さらに、前記電源回路に対応した大電流測
定回路５３あるいは微少電流測定回路５４を有すること
により、前記選択された電源回路の電源電流測定におい
て、測定分解能の精度を確保できる。
定回路５３あるいは微少電流測定回路５４を有すること
により、前記選択された電源回路の電源電流測定におい
て、測定分解能の精度を確保できる。
【００４２】また、電源測定回路選択回路５６を用いる
ことにより、大電流信号もしくは微少電流信号を選択
し、１つのＡ／Ｄコンバータ５８に入力可能となるた
め、電流測定回路各々にＡ／Ｄコンバータ及びその周辺
回路を接続する必要が無く、回路規模の縮小による装置
の製造コスト削減や省スペース化が実現でき、装置の信
頼性向上をもたらすことができる。
ことにより、大電流信号もしくは微少電流信号を選択
し、１つのＡ／Ｄコンバータ５８に入力可能となるた
め、電流測定回路各々にＡ／Ｄコンバータ及びその周辺
回路を接続する必要が無く、回路規模の縮小による装置
の製造コスト削減や省スペース化が実現でき、装置の信
頼性向上をもたらすことができる。
【００４３】
【発明の効果】請求項１記載の発明の電源電流測定回路
によれば、ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数
に応じた大電流測定試験もしくは微少電流測定試験にお
いて要求される、広範囲な電源電流の設定が、電源出力
選択回路を用いた電源回路の出力選択により高精度で実
行可能となる。
によれば、ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数
に応じた大電流測定試験もしくは微少電流測定試験にお
いて要求される、広範囲な電源電流の設定が、電源出力
選択回路を用いた電源回路の出力選択により高精度で実
行可能となる。
【００４４】請求項２記載の発明の電源電流測定回路に
よれば、請求項１記載の電源電流測定回路に、電源出力
選択回路によって選択された電源回路の出力に応じた電
源電流測定回路を設けることにより、電源回路から出力
される電源電流測定において、測定分解能の精度を確保
できる。
よれば、請求項１記載の電源電流測定回路に、電源出力
選択回路によって選択された電源回路の出力に応じた電
源電流測定回路を設けることにより、電源回路から出力
される電源電流測定において、測定分解能の精度を確保
できる。
【００４５】請求項３記載の発明の電源電流測定回路に
よれば、請求項２記載の電源電流測定回路において、電
源回路各々の出力段に電源電流検出素子を設けることに
より、電源電流測定の測定分解能の精度を上げることが
できる。
よれば、請求項２記載の電源電流測定回路において、電
源回路各々の出力段に電源電流検出素子を設けることに
より、電源電流測定の測定分解能の精度を上げることが
できる。
【００４６】請求項４記載の発明の電源電流測定回路に
よれば、請求項１から３記載の何れかの電源電流測定回
路において、電流測定回路からの出力である大電流信号
または微少電流信号を測定出力選択回路により選択し、
１つの変換回路に入力可能であるため、電流測定回路各
々に変換回路及びその周辺回路を接続する必要が無く、
回路規模の縮小が可能となる。これにより、装置の製造
コスト削減や省スペース化が実現でき、装置の信頼性向
上をもたらすことができる。
よれば、請求項１から３記載の何れかの電源電流測定回
路において、電流測定回路からの出力である大電流信号
または微少電流信号を測定出力選択回路により選択し、
１つの変換回路に入力可能であるため、電流測定回路各
々に変換回路及びその周辺回路を接続する必要が無く、
回路規模の縮小が可能となる。これにより、装置の製造
コスト削減や省スペース化が実現でき、装置の信頼性向
上をもたらすことができる。
【００４７】請求項５記載の発明の電源電流測定回路に
よれば、請求項１から４記載の何れかの電源電流測定回
路において、制御装置に内蔵する制御プログラムによ
り、ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路の多様な
試験パターンに応じて、電源回路出力の選択と電流測定
回路の選択の制御を、容易に実現することができる。
よれば、請求項１から４記載の何れかの電源電流測定回
路において、制御装置に内蔵する制御プログラムによ
り、ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路の多様な
試験パターンに応じて、電源回路出力の選択と電流測定
回路の選択の制御を、容易に実現することができる。
【図１】本実施の形態のウェハレベルバーンインテスト
において用いられる電源電流測定回路２００の回路構成
を示す図。
において用いられる電源電流測定回路２００の回路構成
を示す図。
【図２】従来のウェハレベルバーンインテストにおいて
利用される電源電流測定回路１００の回路構成を示す
図。
利用される電源電流測定回路１００の回路構成を示す
図。
５０ 電源回路 ５０ａ 大電流測定用電源回路 ５０ｂ 微少電流測定用電源回路 ５１ 大電流検出抵抗 ５２ 微少電流検出抵抗 ５３ 大電流測定回路 ５４ 微少電流測定回路 ５５ ウェハチップ選択回路 ５５ａ〜５５ｎ ウェハチップ選択スイッチ ５６ 電流測定回路選択回路 ５６ａ、５６ｂ 電流測定回路選択スイッチ ５７ ＡＭＰ ５８ アナログ／デジタル変換回路（Ａ／Ｄ
コンバータ） ５９ テストバーンインボード（ＴＢＩＢ） ６０ ウェハ ６１ 逆電流防止回路 ６２ コントロール装置
コンバータ） ５９ テストバーンインボード（ＴＢＩＢ） ６０ ウェハ ６１ 逆電流防止回路 ６２ コントロール装置
Claims (5)
- 【請求項１】恒温槽内にセットされたウェハ上に形成さ
れた複数の半導体集積回路に対して外部から所定の電源
電流を印加してバーンイン試験を行う際に利用されるバ
ーンインテスタにおける電源電流測定回路において、 前記ウェハ上の全半導体集積回路あるいは複数の半導体
集積回路に対して印加する電源電流を供給する大電流測
定用電源回路と、 前記ウェハ上の少なくとも１つの半導体集積回路に対し
て印加する電源電流を供給する微少電流測定用電源回路
と、 前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積回路数に応じ
て前記大電流測定用電源回路の出力、及び前記微少電流
測定用電源回路の出力を選択的に切り替えて当該試験対
象の半導体集積回路に電源電流を供給する電源出力選択
回路と、 を備えたことを特徴とする電源電流測定回路。 - 【請求項２】前記大電流測定用電源回路から出力される
電源電流を測定する大電流測定回路と、 前記微少電流測定用電源回路から出力される電源電流を
測定する微少電流測定回路と、を更に備えたことを特徴
とする請求項１記載の電源電流測定回路。 - 【請求項３】前記大電流測定用電源回路の出力段と、前
記微少電流測定用電源回路の出力段とのそれぞれに電源
電流検出素子を設け、 前記大電流測定回路は、この大電流測定用電源回路の出
力段に設けられた電源電流検出素子により検出される電
源電流を測定し、 前記微少電流測定回路は、この微少電流測定用電源回路
の出力段に設けられた電源電流検出素子により検出され
る電源電流を測定することを特徴とする請求項２記載の
電源電流測定回路。 - 【請求項４】前記電源出力選択回路による前記各電源回
路の選択状態に応じて、前記大電流測定回路と前記微少
電流測定回路とを選択的に切り替えて、各測定回路の電
源電流測定信号を選択出力する測定出力選択回路と、 この測定出力選択回路から選択出力される各電源電流測
定信号を所定の電源電流測定値に変換して出力する変換
回路と、を更に備えたことを特徴とする請求項１から３
の何れかに記載の電源電流測定回路。 - 【請求項５】前記ウェハ上の試験対象となる半導体集積
回路数に応じて、前記電源出力選択回路における選択状
態と、前記測定出力選択回路における選択状態とを制御
する制御手段を更に備えたことを特徴とする請求項１か
ら４の何れかに記載の電源電流測定回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11043794A JP2000243795A (ja) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | バーンインテスタにおける電源電流測定回路 |
| US09/507,881 US6259267B1 (en) | 1999-02-22 | 2000-02-22 | Power-current measuring circuit in burn-in tester |
| DE10007983A DE10007983A1 (de) | 1999-02-22 | 2000-02-22 | Schaltung zum Messen von Leistungsströmen in Burn-In Testvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11043794A JP2000243795A (ja) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | バーンインテスタにおける電源電流測定回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000243795A true JP2000243795A (ja) | 2000-09-08 |
Family
ID=12673661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11043794A Pending JP2000243795A (ja) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | バーンインテスタにおける電源電流測定回路 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6259267B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000243795A (ja) |
| DE (1) | DE10007983A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1332433C (zh) * | 2003-06-11 | 2007-08-15 | 因芬尼昂技术股份公司 | 测试集成芯片的测试系统及其转接器组件和预烧板 |
| CN106199130A (zh) * | 2015-05-06 | 2016-12-07 | 厦门雅迅网络股份有限公司 | 一种电感饱和电流自动测量的电路和方法 |
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| GB0000067D0 (en) * | 2000-01-06 | 2000-02-23 | Delta Electrical Limited | Current detector and current measurement apparatus including such detector with temparature compensation |
| US7085977B2 (en) * | 2000-12-19 | 2006-08-01 | Texas Instruments Incorporated | Method and system for detecting an outlying resistance in a plurality of resistive elements |
| JP2004363304A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Toshiba Corp | 半導体装置の検査方法及び検査装置 |
| US7019676B2 (en) * | 2003-06-12 | 2006-03-28 | Matsushita Electric Industrial Co, Ltd. | D/A converter |
| US7501846B2 (en) * | 2006-11-09 | 2009-03-10 | Advantest Corporation | Measurement apparatus and measurement method |
| FR2967260B1 (fr) * | 2010-11-09 | 2012-11-16 | Valeo Systemes Thermiques | Mesure de courant pour radiateur electrique |
| US9536617B2 (en) * | 2015-04-03 | 2017-01-03 | Sandisk Technologies Llc | Ad hoc digital multi-die polling for peak ICC management |
| CN114325062B (zh) * | 2022-03-10 | 2022-06-10 | 杭州飞仕得科技有限公司 | 一种功率模组的电流测试方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5578934A (en) * | 1991-06-04 | 1996-11-26 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing unpackaged semiconductor dice |
| CA2073886A1 (en) * | 1991-07-19 | 1993-01-20 | Tatsuya Hashinaga | Burn-in apparatus and method |
| CA2073916A1 (en) * | 1991-07-19 | 1993-01-20 | Tatsuya Hashinaga | Burn-in apparatus and method |
| JPH0653299A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | バーンイン装置 |
| US6175244B1 (en) * | 1997-04-25 | 2001-01-16 | Carnegie Mellon University | Current signatures for IDDQ testing |
-
1999
- 1999-02-22 JP JP11043794A patent/JP2000243795A/ja active Pending
-
2000
- 2000-02-22 DE DE10007983A patent/DE10007983A1/de not_active Withdrawn
- 2000-02-22 US US09/507,881 patent/US6259267B1/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1332433C (zh) * | 2003-06-11 | 2007-08-15 | 因芬尼昂技术股份公司 | 测试集成芯片的测试系统及其转接器组件和预烧板 |
| CN106199130A (zh) * | 2015-05-06 | 2016-12-07 | 厦门雅迅网络股份有限公司 | 一种电感饱和电流自动测量的电路和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6259267B1 (en) | 2001-07-10 |
| DE10007983A1 (de) | 2000-08-24 |
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|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
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