JPH10186005A - 実装済み回路基板のガイド付きプローブ試験用取付具 - Google Patents

実装済み回路基板のガイド付きプローブ試験用取付具

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JPH10186005A
JPH10186005A JP9296507A JP29650797A JPH10186005A JP H10186005 A JPH10186005 A JP H10186005A JP 9296507 A JP9296507 A JP 9296507A JP 29650797 A JP29650797 A JP 29650797A JP H10186005 A JPH10186005 A JP H10186005A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】制限アクセス試験に関連した物理的及び電気的
接触の問題を解決し、価格的に競合力があり、実装済み
基板テストが必要とする精巧な資源割当に適合し、製造
及び保守が比較的容易で安価な、実装済み基板の改良さ
れたガイド付きプローブ試験用取付具を提供すること。 【解決手段】制限アクセスの非洗浄テスト・ターゲット
520の高精度、高精細ピッチの探査を達成するために、
長い傾斜又は垂直テスト・プローブ、ガイド・プレート
516、及び制限されたプローブ先端の移動を利用する。
また、テスト・ターゲット520と多重化テスタ資源500を
結合するために、バネ・プローブ508,514、プローブ取
付プレート524、パーソナリティ・ピン528、及びアライ
メント・プレート534を利用する。更に、テスト・ター
ゲットと資源との電気的結合を促進するために、ワイヤ
レス・インターフェイス・プリント回路基板502を利用
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、プリント
回路基板をテストする試験装置の分野に関するものであ
り、とりわけ、電子コンポーネント等を備えた電子回路
カードと、実装済み基板テスタのインターフェイス・プ
ローブとを電気的に相互接続するための基板試験用取付
具及び他の機械的インターフェイスに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】実装済み基板試験用取付具 プリント回路基板(PCB)の製造、及びコンポーネン
トの実装が終わった後で、その利用またはアセンブルさ
れる製品への配置が可能になる前に、該回路をテストし
て、必要とされる全ての電気接続が、適正に完了したこ
と、及び必要とされる全ての電気コンポーネントが、適
正な配置及び適正な配向で取り付けまたは実装されたこ
とを検証すべきである。プリント回路基板をテストする
他の理由としては、適正なコンポーネントが用いられた
か否か、及びそれらが適正な値であるか否かを測定し、
検証するためである。また、各コンポーネントが適正に
機能を果たすか否かを判定する(すなわち、仕様に基づ
いて)ことも必要とされる。電気コンポーネント及び電
気機械コンポーネントによっては、取り付け後、調整が
必要になる場合もあり得る。
【0003】実装済み基板のテストは、複雑な多重化テ
スタ資源を有しており、上側及び下側にコンポーネント
が実装された基板のハンダ付けリード、バイヤ、及びテ
スト・パッドの探査が可能である。実装済み基板のテス
トには、電気接続、電圧、抵抗、キャパシタンス、イン
ダクタンス、回路機能、デバイス機能、極性、ベクトル
試験、ベクトルレス試験、及び回路機能試験といった、
アナログ及びデジタル・テストが含まれている。実装済
み基板テストには、テスト・ターゲットと器具コンポー
ネントの間の接触抵抗が極めて弱いことが必要とされ
る。
【0004】回路基板及び電子コンポーネント実装テク
ノロジの進歩によって、実装済み基板試験装置にかかる
プローブ間隔要求が増大してきた。既存の最先端テクノ
ロジでは、50ミル以下(中心間)の間隔が離れたテス
ト・ターゲットにアクセスすることが可能な実装済み基
板試験装置が必要とされ、この場合、テスト・ターゲッ
トは、テスト中に探査される可能性のあるPCBまたは
電子コンポーネントにおける物理的特徴である。実装済
み基板試験装置メーカが現在及び将来直面する最大の難
問の1つは、物理的及び電気的接触問題が原因の誤故障
及び試験機能不良率が高くなるということである。これ
らの問題は、既存の試験用取付具の探査精度、探査ピッ
チ(中心間の間隔)、及び表面汚染に関する限界によっ
て悪化する。
【0005】コンポーネント及び基板の形状寸法が縮小
され、密度が高まるにつれて、標準的な試験用取付具を
用いた実装済み基板試験は、より困難になる。既存のシ
ョートワイヤによる実装済み基板試験用取付具は、直径
が35ミル(0.889mm)以上で、ピッチが75ミ
ル(1.905mm)以上のテスト・ターゲットの一貫
した打診が可能である。より小型か、あるいは、より間
隔の密なターゲットは、極端に厳しいコンポーネント及
びシステム公差が組み合わされるため、一貫した探査は
不可能である。
【0006】試験装置上での実装済み基板のテストに
は、これまで、さまざまな試験用取付具の利用が可能で
あった。被試験装置(DUT)は、一般に、電子コンポ
ーネント及び電子ハードウェアが実装されたPCBを具
現化したものである。図1には、従来のショート・ワイ
ヤの実装済み基板試験用取付具が示されており、これ
は、外側の層にアートワークが施されたDUT108
と、アライメントをとるための標準ツーリング・ピン1
06または可変ツーリング・ピン118と、プローブ保
護プレート104と、その尖端116がテスト・ターゲ
ット位置110及び112に正確に対応する標準バネ・
プローブ120と、真空中での実装においてDUTのた
わみを制限するためのスペーサ114と、バネ・プロー
ブ120が取り付けられるプローブ取付プレート102
と、バネ・プローブ120に配線されるパーソナリティ
・ピン100と、パーソナリティ・ピン100のワイヤ
・ラップ・テールと規則的な間隔のパターンとのアライ
メントをとることで、それらがテスタ(不図示)に取り
付けられたインターフェイス・プローブ124と一直線
に並ぶことができるようにするアライメント・プレート
122とから構成される。 注:バネ・プローブは、試験界によって一般に用いられ
る標準装置であり、電気信号を伝達し、作動されると、
バレル及び/又はソケットに対して相対運動する圧縮バ
ネ及びプランジャを含んでいる。中実プローブも電気信
号を伝達するが、作動時に互いに相対運動する追加部品
を備えていない。
【0007】テスト中、DUT108は、真空または他
の既知の機械的手段によって、引き下げられ、バネ・プ
ローブ120の先端116に接触する。標準バネ・プロ
ーブ120のソケットは、パーソナリティ・ピン100
に配線され、アライメント・プレート122は、長い可
撓性のパーソナリティ・ピンの先端126を一箇所に集
めて、規則的な間隔のパターンをなすようにする。パー
ソナリティ・ピン100の先端126は、テスタ(不図
示)に配置されたインターフェイス・プローブ124に
接触する。DUT108とテスタが電気的に接触する
と、イン・サーキットまたは機能試験を開始することが
可能になる。「Reducing Fixture-InducedTest Failure
s 」と題するヒューレット・パッカード・カンパニーの
アプリケーション・ノート340−1(1990年12
月に印刷され、カリフォルニア州パロ・アルト所在のヒ
ューレット・パッカード・カンパニーから入手可能であ
る)には、ショート・ワイヤ取付具の開示があり、その
教示の全てを本明細書に取り込む。Cook他による「Vacu
um-Actuated Test Fixture」と題する米国特許第4,771,
234 号には、ロング・ワイヤ取付具が開示されており、
その教示の全てを本明細書に取り込む。
【0008】図2には、テスト時における制限アクセス
の問題に取り組もうとした従来の取付具の1つが示され
ている。「制限アクセス」という用語は、物理的制限ま
たは制約のため、簡単に到達またはアクセスできない何
かを表している。例えば、制限アクセスPCBには、間
隔が詰まりすぎて、既存の試験用取付具テクノロジを用
いて正確に探査することができない多くのターゲットが
含まれていることもある。「標準アクセス」という用語
は、既存の試験用取付具テクノロジを用いて、到達また
はアクセスすることが可能なものを表している。図2の
取付具は、テスト・パッド208及び210を備えたD
UT206と、ツーリング・ピン204と、プローブ保
護プレート202と、プローブ取付プレートに取り付け
られた標準バネ・プローブ214及び216と、プロー
ブ保護プレートに直接取り付けられた、一般に「ULTRAL
IGN」 プローブと呼ばれる(Ultralign は、TTI Testro
n,Inc.の登録商標である)短いプローブ212及び22
0とから構成される。作動させると、プローブ取付プレ
ートに配置された標準バネ・プローブ216及び214
が、「ULTRALIGN」 プローブ212及び220のフロー
ティング・プランジャに押しつけられる。これらの短い
プランジャは、上方に押しやられて、テスト・ターゲッ
ト208及び210と接触し、一方、ソケット218及
び222は、プローブ保護プレート202内に固定され
た状態のままである。「ULTRALIGN」取付具には、標準
アクセス・ターゲットの探査用バネ・プローブと、制限
アクセス・ターゲットの探査用「ULTRALIGN」 プローブ
の混合体を含むことも可能である。
【0009】その潜在的可能性を秘めた利点にもかかわ
らず、「ULTRALIGN」 取付具は、効果となる可能性があ
り、また、ピッチが50ミル(1.27mm)未満のタ
ーゲットは探査しない。「ULTRALIGN」 取付具の場合、
プローブ212及び220とテスト・ターゲット208
及び210の間に貧弱な接続を生じさせることになる、
制限されたプローブの移動を可能にするだけである。ま
た、これらのプローブは、コスト高であり、磨耗または
破壊された「ULTRALIGN」 プローブを交換するのに割高
な保守が必要になる。このタイプの取付具の一例が、Se
aveyに対する「Test Fixture for Printed Circuit Boa
rds」と題する米国特許第5,510,772号に開示されてお
り、その教示の全てを本明細書に取り込む。
【0010】図3には、従来のガイド付きプローブ保護
プレート取付具が示されている。ガイド付きプローブ保
護プレートは、バネ・プローブのポインティング精度を
向上させるため、標準的な実装済み基板試験用取付具に
用いられる。これらのプレートには、円錐形のスルー・
ホールが含まれており、これは、バネ・プローブの先端
をテスト・ターゲットに向かってガイド、すなわち集め
る。こうした取付具は、標準バネ・プローブ312及び
314を備えたプローブ取付プレート300と、スペー
サ310を備えたガイド付きプローブ保護プレート30
2と、バネ・プローブをDUT304上のテスト・ター
ゲット306及び308までガイドする円錐形ホール3
16とから構成される。プローブ及びプローブ保護プレ
ートの摩耗が増すため、製造ステップを追加し、取付具
の保守回数を増やすことが必要になるので、一般には、
細いプローブ先端スタイルしか利用することができな
い。この方法によれば、探査精度はわずかに向上する
が、中心間の間隔が75ミル(1.905mm)未満の
ターゲットを信頼性良く探査することはできない。
【0011】裸基板試験用取付具 裸基板試験では、裸プリント回路基板上のテスト・パッ
ド、バイア、及びメッキ・スルーホールだけしか探査せ
ず、コンポーネントが基板に実装される前に、プリント
回路基板における回路の様々なテスト・ポイント間の電
気的接続、及び導通についてテストを行う。典型的な裸
基板テスタには、テスト・プローブを電子試験解析器の
対応するテスト回路に接続する膨大な数のスイッチを備
えたテスト電子回路が含まれている。
【0012】実装済み基板試験によれば、電子コンポー
ネントの存在、適正な配向、または機能性を判定するこ
とが可能であるが、裸基板試験では、コンポーネントの
ないPCBにおける電気的導通についてしか検査されな
い。裸基板試験では、実装済み基板試験で必要とされる
極めて弱い接触抵抗は必要とされないし、被試験装置に
おける特定のターゲット及び回路に割り当てなければな
らない、精巧で、複雑な多重化テストヘッド資源も利用
されない。
【0013】過去何年も、PCBは、その特徴が規則的
な間隔をあけたパターンに存するように設計され、製造
されていた。テスト中、PCBは、テスタに配置された
規則的な間隔のパターンをなすインターフェイス・プロ
ーブの上に直接配置された。PCB及びコンポーネント
の形状寸法が縮小するにつれて、PCB特徴は、もは
や、規則的間隔のパターンにはなく、インターフェイス
・プローブによる直接的な探査を受けることができなく
なる。長い傾いた中実プローブを利用して、小さく、間
隔が密で、PCB上にランダムに配置されたターゲット
と、テスタに配置された規則的間隔のインターフェイス
・プローブとの間を電気的に接続する、裸基板試験用取
付具が開発された。Circuit Check,Inc.(Maple Grove,M
innesota)、Everett Charles Technologies(Pomona,Cali
fornia)、及びMania Testerion,Inc.(Santa Ana,Califo
rnia)は、数ある中で、今日、裸基板テスタに一般に用
いられている裸基板試験用取付具を製造している。
【0014】裸基板試験用取付具の各製作業者は、独自
のコンポーネント及び製造プロセスを利用しているが、
大部分の裸基板試験用取付具は、図4に似ており、それ
には、テスタに規則的間隔をあけて配置されたバネ・プ
ローブ414と、小さいスルー・ホールがあけられ、間
隔をおいてスペーサ410に保持されている、いくつか
の層をなすガイド・プレート400に挿入された、長い
中実のテスト・プローブ402及び416とが含まれて
いる。標準バネ・プローブ414のベッドによって、中
実テスト・プローブ402及び416が作動する。テス
ト・パッド404及び406の取付具のPCB側の精細
な(または極めて密な)ピッチ間隔と、バネ・プローブ
の取付具のテスタ側のより大きいピッチ間隔との間の容
易な移行を促進するため、長い中実プローブをガイド・
プレートに垂直に、または、角度をつけて挿入すること
が可能である。こうした裸基板試験用取付具の1つは、
Swart他に対する「Retention of Test Probes in Trans
istor Fixtures」と題する米国特許第5,493,230 号に開
示されており、その教示の全てを本明細書に取り込む。
【0015】既存の裸基板試験用取付具は、直径が20
ミル(0.508mm)以上で、ピッチ(中心間の間
隔)が20ミル(0.508mm)以上のテスト・ター
ゲットの一貫した打診が可能である。あいにく、裸基板
試験装置と実装済み基板試験装置をそのままでは互換で
きないようにする、多くの独自の特徴が存在するので、
裸基板試験用取付具を実装済み基板テスタに直接用いる
ことはできない。
【0016】裸基板試験用取付具は、電子コンポーネン
トが取り付けられたPCBに適応するようには設計され
ておらず、PCBと面一のPCB特徴(パッド、バイ
ア、及びメッキ・スルーホール)だけしか探査すること
ができない。裸基板テスタは、PCBにおけるテスト・
ポイント及び回路要素の接続及び導通を測定するために
用いられる。裸基板テスタとは異なり、実装済み基板テ
スタは、PCB上のターゲットとテスタ電子部品との間
における電気抵抗の増大を許容することができない。実
装済み基板試験用取付具は、ターゲット、取付具コンポ
ーネント、及びテスタ電子部品の間に、低抵抗の接続及
びインターフェイスを与えなければならない。実装済み
基板テスタとは異なり、裸基板テスタは、コンポーネン
トまたはコンポーネントのグループが存在し、適正に機
能するか否かを判定することができない。
【0017】裸基板テスタ・インターフェイス・プロー
ブの間隔は、約0.050インチ(1.27mm)×
0.050インチ(1.27mm)、または0.100
インチ(2.54mm)×0.100インチ(2.54
mm)であるが、ヒューレット・パッカード社のテスタ
・インターフェイス・プローブの間隔は、約0.150
インチ(3.81mm)×0.350インチ(8.89
mm)である。裸基板テスタに合うように設計される裸
基板取付具のプローブ間隔は、ヒューレット・パッカー
ド社の実装済み基板テスタのインターフェイス・プロー
ブ間隔に適合しない。裸基板試験用取付具は、被試験P
CB上のターゲットを、裸基板テスタにおける最も近い
インターフェイス・プローブにまで並進させる。しか
し、実装済み基板テスタ資源は、特定のターゲット及び
回路に対して固有の割り当て及びリンクを施さなければ
ならない。実装済み基板試験の場合、最も近いインター
フェイス・プローブが所定のターゲットに適合しない可
能性があり得る。裸基板試験用取付具は、隣接、非隣
接、及び遠隔のテスタ資源に対して、固有の電気的経路
選択を行うことができないし、遠隔資源に到達すること
ができないし、実装済みプリント回路基板が必要とする
複雑な実装済み基板資源経路選択パターンを提供するこ
とができない。
【0018】「非清浄」という用語は、コンポーネント
を取り付けた後、プリント回路アセンブリに残る非導電
性ハンダ・フラックス残留物を表している。この汚染物
質を除去しない限り、非清浄ターゲット、すなわち、こ
の非導電性表面残留物で被われたターゲットのために、
電気的接触が貧弱になり、テストが困難になる。さら
に、コンポーネント・パッケージングの縮小化及びPC
Bの高密度化といった産業界の傾向のために、電子機器
メーカは、ターゲットの中心間間隔の短縮、及びターゲ
ットの直径の縮小に立ち向かわざるを得なくなってい
る。これらの難題は、今日の非清浄な実装済みプリント
回路基板上におけるより小さく、より間隔の密なターゲ
ットを探査し、同時に、上側及び下側にコンポーネント
を備えた、実装済み基板のバイア及びテストパッドを探
査して、電気接続、電圧、抵抗、キャパシタンス、イン
ダクタンス、回路機能、デバイス機能、極性、ベクトル
試験、ベクトルレス試験、及び回路機能試験に関するテ
ストを行うことによって、信頼できる、一貫したプリン
ト回路アセンブリのイン・サーキット及び回路機能試験
を可能にする、改良された実装済み基板試験用取付具を
必要とする。
【0019】実装済み基板試験装置メーカ及び取付具製
作業者は、小型で、ピッチの精細なターゲットの試験性
を向上させるため、いくつかの付属品及び製品を設計し
ているが、物理的及び電気的接触の問題を完全に解決
し、同時に、価格、及び、製造及び保守の容易さにおい
て競合力を保った設計はない。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、制限
アクセス試験に関連した物理的及び電気的接触の問題を
解決し、価格的に競合力があり、実装済み基板テストが
必要とする精巧な資源の割り当てに適合し、製造及び保
守が比較的容易で安価な、こうした実装済み基板の改良
されたガイド付きプローブによる試験用取付具を提供す
ることにある。
【0021】本発明の他の目的は、探査精度が向上し、
非清浄試験性が改善され、精細ピッチ探査能力が高めら
れた、こうした実装済み基板の改良されたガイド付きプ
ローブによる試験用取付具を提供することにある。
【0022】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、所定の
位置に電子デバイスを備えたプリント回路基板と、プリ
ント回路基板における電子デバイスの位置に対応する所
定の位置に電気的接点を備えた1つ以上のプローブ取付
プレートとのインターフェイスをとる基板試験用取付具
システムが得られる。基板試験用取付具システムには、
外側の層にアートワークが施された被試験装置(DU
T)と、DUTと取付具のアライメントをとる何らかの
方法と、独自のパターンをなすようにあけられたスルー
・ホールを備えたいくつかのガイド・プレートと、テス
ト・プローブと、テスタ・インターフェイス・プローブ
から構成される、ガイド付きプローブによる高精度で高
密度のテスト・システムが含まれている。DUTにおけ
る精細なピッチのターゲットと、プローブ取付プレート
またはワイヤレスPCB取付具上のより大きいピッチの
ターゲットとの間における容易な移行を促進するため、
長い傾斜したまたは垂直なテスト・プローブが用いられ
る。
【0023】本発明の実装済み基板のガイド付きプロー
ブ試験用取付具は、長い傾斜したまたは垂直なテスト・
プローブ、プローブ・ガイド・プレート、及び制限プロ
ーブ先端の移動を利用して、高精度の精細ピッチ探査を
実現し、バネ・プローブ、プローブ取付プレート、パー
ソナリティ・ピン、アライメント・プレート、またはワ
イヤレスPCB取付具を利用して、テスト・ターゲット
と、実装済み基板テスタの多重化テスタ・インターフェ
イス・プローブを結合する。システムの探査精度は、ガ
イド付きプローブ先端、短いプローブ・ストローク、及
びガイド・プレートの上部を超える制限された先端の延
長によって向上する。さらに、非清浄ターゲットを探査
するシステムの能力は、バネ力の強いプローブと、作動
中に傾斜した中実のプローブの先端がターゲットを拭
き、擦る動作によって高められる。
【0024】本発明の実装済み基板のガイド付きプロー
ブ試験用取付具は、取付具及びコンポーネントの公差の
縮小によって探査精度が向上し、プローブの拭き取り動
作(中実プローブの先端によるターゲットの拭き取
り)、及びバネ力の強いプローブによって非清浄試験性
が向上し、コンポーネントの寸法の縮小によって精細ピ
ッチ・ターゲットの探査能力が向上する。
【0025】
【発明の実施の形態】図5の略ブロック図を参照する
と、本発明による実装済み基板のガイド付きプローブ試
験用取付具の第1と第2の実施例が示されている。第1
の実施例の試験用取付具は、2つの主たるアセンブリを
含んでいる。第1のアセンブリ540は、中実ユニット
として取付具を互いに保持する中実ポスト522によっ
て平行に支持された、一連の垂直方向に間隔をあけて配
置された平行なガイド・プレート516から構成される
並進取付具である。取付具には、並進ガイド・プレート
516のガイド・ホールを通って延びる傾斜したプロー
ブ526のアレイも含まれている。傾斜プローブ526
は、並進取付具540の第1の側において、実装済み回
路基板518のテスト・ターゲット520とアライメン
トがとれている。傾斜プローブ526は、並進取付具5
40の第2の側において、プローブ取付プレート524
の第1の側におけるバネ・プローブ514とアライメン
トがとれている。長い傾斜したプローブ526は、被試
験装置518における精細なピッチのターゲットから、
プローブ取付プレート524におけるピッチの大きいタ
ーゲット(バネ・プローブ514)への容易な移行を促
進するために利用される。
【0026】プローブ取付プレートは、当該技術におい
て周知のところであり、こうしたプレートの1つに、ガ
ラス繊維強化エポキシから造られるプローブ取付プレー
トがある。パーソナリティ・ピン528が、プローブ取
付プレート524の第2の側に埋め込まれており、パー
ソナリティ・ピンは、ワイヤ530によってバネ・プロ
ーブ514に電気的に接続されている。パーソナリティ
・ピン528のワイヤ・ラップ・ポスト532が、アラ
イメント・プレート534のホールを通って延び、テス
タ(不図示)に対するインターフェイス・プローブ50
0と接触する。テスタのインターフェイス・プローブ5
00は、所定の固定された規則的間隔のパターンをなし
ている。アライメント・プレート534によって、イン
ターフェイス・プローブ500の所定の位置に対応する
ように、パーソナリティ・ピン528のワイヤ・ラップ
・ポスト532のアライメントがとられる。第1の実施
例の第2の主たるアセンブリ542は、バネ・プローブ
514及びパーソナリティ・ピン528を含むプローブ
取付プレート524と、パーソナリティ・ピン528の
ワイヤ・ラップ・ポスト532とインターフェイス・プ
ローブ500のアライメントをとるアライメント・プレ
ート534とによるユニットである。
【0027】試験用取付具の正確なアライメントは、信
頼性の良い動作にとって不可欠である。プリント回路基
板518と並進取付具540とのアライメントは、基板
テスト技術において周知のツーリング・ピン(不図示)
によって維持される。並進取付具540とプローブ取付
プレート524とのアライメントは、アライメント・ピ
ン(不図示)または他の既知の手段によって維持され
る。アライメント・プレート534とインターフェイス
・プローブ500とのアライメントは、実装済み基板テ
スト技術において周知の取付及びロック・ハードウェア
を介して制御される。
【0028】試験用取付具の操作方法は、次の通りであ
る。並進アセンブリ540が、プローブ取付プレート/
アライメント・プレート・アセンブリ542に取り付け
られる。次に、並進取付具540及びプローブ取付プレ
ート/アライメント・プレート・アセンブリ542を含
む取付具全体が、テスタの規則的間隔をあけたインター
フェイス・プローブ500に取り付けられる。次に、テ
ストを受ける実装済みプリント回路基板518が、ツー
リング・ピン(不図示)によって、並進取付具アセンブ
リ540に配置される。次に、プリント回路基板518
のテスト・ターゲット520が、真空、空気圧、または
機械式作動手段を含む、いくつかある既知の手段のうち
任意の手段によって、並進取付具アセンブリ540の傾
斜したプローブ526と接触することになる。プリント
回路基板518がテスタ(不図示)に引き寄せられるに
つれて、傾斜したプローブ526が、プリント回路基板
518のテスト・ターゲット520と、バネ・プローブ
514との間に挟まれることになり、この結果、傾斜し
たプローブ526の先端とテスト・ターゲット520と
の間に良好な低抵抗接触が生じることになる。現行の非
清浄実装済み基板製造プロセスに起因するフラックス残
留物が、プリント回路基板に残されていたとしても、バ
ネ・プローブ514のバネ力が、傾斜したプローブ52
6の先端とテスト・サイト520との良好な接触を助け
る。DUTと傾斜したプローブ526との間に電気的接
触が確立されると、イン・サーキットまたは回路機能テ
ストを開始することが可能になる。
【0029】第2の実施例の試験用取付具は、2つの主
たるアセンブリを含んでいる。第1のアセンブリ546
は、中実ユニットとして取付具を互いに保持する中実ポ
スト522によって平行に支持された、一連の垂直方向
に間隔をあけて配置された平行なガイド・プレート51
6から構成される並進取付具である。取付具546に
は、並進プレート516のガイド・ホールを通って延び
る傾斜したプローブ526のような並進ピンのアレイも
含まれている。傾斜プローブ526は、並進取付具の第
1の側において、実装済み回路基板518のテスト・タ
ーゲット520とアライメントがとれている。傾斜プロ
ーブ526は、並進取付具546の第2の側において、
プローブ取付プレート506の第1の側におけるダブル
・ヘッド付きバネ・プローブ508とアライメントがと
れている。
【0030】ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ508
が、プローブ取付プレート506の第2の側を通って延
び、ワイヤレス・インターフェイス・プリント回路基板
(WIPCB)502の接触パッド512と電気的に接
触する。PCB502の第1の側における接触パッド5
12は、PCB502の第2の側における接触ターゲッ
ト504に電気的に接続されている。ワイヤレス・イン
ターフェイスPCB502の第2の側における接触ター
ゲット504は、テスタ(不図示)のインターフェイス
・プローブ500に対応するようにパターン化されてい
る。テスタのインターフェイス・プローブ500は、所
定の固定された規則的な間隔のパターンをなしている。
ワイヤレス・インターフェイスPCB502によって、
ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ508は、ダブル・
ヘッド付きバネ・プローブ508の位置に対応する接触
パッド512から、テスタのインターフェイス・プロー
ブ500の位置に対応する接触ターゲット504への銅
トレースにより、インターフェイス・プローブ500の
所定の位置に対応することが可能になる。第2の実施例
の第2の主たるアセンブリ548は、ダブル・ヘッド付
きバネ・プローブ508を含むプローブ取付プレート5
06と、ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ508とイ
ンターフェイス・プローブ500とのアライメントをと
るワイヤレス・インターフェイスPCB502からなる
ユニットである。
【0031】プリント回路基板518と並進取付具54
6とのアライメントは、基板テスト技術において周知の
ツーリング・ピン(不図示)によって維持される。並進
取付具546とプローブ取付プレート506との間のア
ライメントは、アライメント・ピン(不図示)または他
の既知の手段によって維持される。プローブ取付プレー
ト506とワイヤレス・インターフェイスPCB502
との間のアライメントは、アライメント・ピン(不図
示)または他の既知の手段によって維持される。ワイヤ
レス・インターフェイスPCB502とインターフェイ
ス・プローブ500との間のアライメントは、実装済み
基板テスト技術において周知の取付及びロック・ハード
ウェアを介して制御される。
【0032】試験用取付具の操作方法は、次の通りであ
る。並進アセンブリ546が、プローブ取付プレート/
インターフェイスPCBアセンブリ548に取り付けら
れる。次に、並進アセンブリ546及びプローブ取付プ
レート/インターフェイスPCBアセンブリ548を含
む取付具全体が、テスタの規則的間隔をあけたインター
フェイス・プローブ500に取り付けられる。次に、テ
ストを受ける実装済みプリント回路基板518が、ツー
リング・ピン(不図示)によって並進取付具アセンブリ
546に配置される。次に、実装済みプリント回路基板
518のテスト・ターゲット520が、真空、空気圧、
または機械式作動手段を含む、いくつかある既知の手段
のうち任意の手段によって、テスタに向かって移動する
ことになる。プリント回路基板518がテスタに引き寄
せられるにつれて、傾斜したプローブ526が、プリン
ト回路基板518のテスト・ターゲット520と、ダブ
ル・ヘッド付きバネ・プローブ508の間に挟まれるこ
とになり、この結果、傾斜したプローブ526の先端と
テスト・ターゲット520との間に良好な低抵抗接触が
生じることになる。現行の非清浄実装済み基板製造プロ
セスに起因するフラックス残留物が、プリント回路基板
に残されていたとしても、ダブル・ヘッド付きバネ・プ
ローブ508のバネ力が、傾斜したプローブ526の先
端とテスト・サイト520との良好な接触を助ける。
【0033】図6の略ブロック図を参照すると、本発明
の実装済み基板のガイド付きプローブによる試験用取付
具の第3の実施例が示されている。図6の大部分のコン
ポーネント及び特徴は、図5のコンポーネント及び特徴
と同様であるので、図5と同じ番号が付けられており、
再度の説明は行わない。図5の実施例と図6の実施例の
主たる相違は、以下に述べるように、用いられるテスト
・プローブのタイプが異なるという点にある。
【0034】第3の実施例の試験用取付具は、2つの主
たるアセンブリを含んでいる。第1のアセンブリ640
は、中実ユニットとして取付具を互いに保持する中実ポ
スト522によって平行に支持された、一連の垂直方向
に間隔をあけて配置された平行なガイド・プレート51
6から構成される、図5のアセンブリ540と同様の並
進取付具である。この取付具には、並進ガイド・プレー
ト516のガイド・ホールを通って延びる、さまざまな
長い傾斜したまたは垂直なテスト・プローブのアレイも
含まれている。テスト・プローブは、並進取付具640
の第1の側において、実装済み回路基板518のテスト
・ターゲット520とアライメントがとれている。テス
ト・プローブは、並進取付具640の第2の側におい
て、プローブ取付プレート524の第1の側におけるよ
りピッチの大きいターゲットとアライメントがとれてい
る。
【0035】パーソナリティ・ピン528は、プローブ
取付プレート524の第2の側に埋め込まれており、パ
ーソナリティ・ピン528は、ワイヤ530によってさ
まざまなテスト・プローブに電気的に接続されている。
パーソナリティ・ピン528のワイヤ・ラップ・ポスト
532は、アライメント・プレート534のホールを通
って延び、テスタ(不図示)に対するインターフェイス
・プローブ500と接触する。テスタのインターフェイ
ス・プローブ500は、所定の固定された規則的間隔の
パターンをなしている。アライメント・プレート534
によって、インターフェイス・プローブ500の所定の
位置に対応するように、パーソナリティ・ピン528の
ワイヤ・ラップ・ポスト532のアライメントがとられ
る。第3の実施例の第2の主たるアセンブリ642は、
さまざまなテスト・プローブ及びパーソナリティ・ピン
528を含むプローブ取付プレート524と、パーソナ
リティ・ピン528のワイヤ・ラップ・ポスト532と
インターフェイス・プローブ500とのアライメントを
とるアライメント・プレート534によるユニットであ
る。
【0036】制限アクセス・ターゲット520は、ガイ
ド・プレート516のホールを通って延びる、さまざま
なタイプの長い傾斜または垂直テスト・プローブ60
0、604、608、612、620、622、62
6、650、652、656、660、664、及び6
90の任意のプローブによってアクセスされる。長いテ
スト・プローブ600、604、608、612、62
0、622、626、650、652、656、66
0、664、及び690は、被試験装置518の精細な
ピッチのターゲット520から、テスト・プローブ60
0、604、608、612、620、622、62
6、650、652、656、660、664、及び6
90を、プローブ取付プレート524のパーソナリティ
・ピン528に電気的に接続するために用いられるプロ
ーブ取付プレート524のピッチの大きいターゲットへ
の容易な移行を促進するために用いられる。プローブ取
付プレートは、当該技術において周知のところであり、
こうしたプレートの1つに、ガラス繊維強化エポキシに
よるプローブ取付プレートがある。
【0037】長いソケット・バネ・テスト・プローブ6
00には、プローブ取付プレート524に垂直にまたは
角度を付けて取り付けられ、ガイド・プレート516の
ホールを通って延びる、極めて長いソケット/バレルか
ら延びるプランジャ602が含まれている。プローブ取
付プレート524に取り付けられたソケットのベース
に、プレス・リング676を配置することも可能であ
る。プレス・リング676は、テスト・プローブ600
のソケットをプローブ取付プレート524にしっかりと
保持するのを助ける。プランジャ602の先端は、DU
T518における対応するテスト・ターゲット520の
位置に対応する。テスト・プローブ600の長いソケッ
トには、DUT518がプランジャ602と圧縮によっ
て接触すると、プランジャ602の先端と、DUT51
8の対応するテスト・ターゲット520を圧縮による接
触状態に保持するバネ力手段が含まれている。テスト・
プローブ600のワイヤ・ラップ・ポスト678は、プ
ローブ取付プレート524を通って、並進取付具640
に面した第1の側から、アライメント・プレート534
に面した第2の側に延びている。テスト・プローブ60
0のワイヤ・ラップ・ポスト678は、ワイヤ・ラップ
530によって、プローブ取付プレート524の第2の
側における対応するパーソナリティ・ピン528に電気
的に接続される。また、テスト・プローブ600のソケ
ットは、プローブ及びターゲットの固有の幾何学形状及
び高さに適応するため、プローブ取付プレート524内
の特定の所定の深さに取り付けることが可能である。
【0038】短いソケット・バネ・テスト・プローブ6
04には、プローブ取付プレート524に垂直に取り付
けられた短いソケット/バレル606から延びる極めて
長いプランジャが含まれている。プランジャは、ソケッ
ト606に対して垂直または角度を付けた位置につくこ
とが可能である。テスト・プローブ604のプランジャ
は、ガイド・プレート516のホールを通って延びる。
テスト・プローブ604の先端は、DUT518におけ
る対応するテスト・ターゲット520の位置に対応す
る。プレス・リング680が、ソケット606をプロー
ブ取付プレート524にしっかりと取り付けられた状態
に保持するのを助ける。ソケット606のワイヤ・ラッ
プ・ポスト682が、プローブ取付プレート524を通
って、第1の側から第2の側に延びている。テスト・プ
ローブ604のワイヤ・ラップ・ポスト682は、ワイ
ヤ・ラップ530によって、プローブ取付プレート52
4の第2の側における対応するパーソナリティ・ピン5
28に電気的に接続されている。ソケット606には、
DUT518が係合すると、プランジャの先端と対応す
るテスト・ターゲット520を圧縮によって接触した状
態に保持するためのバネ力手段が含まれている。また、
テスト・プローブ604のソケット606は、プローブ
及びターゲットの固有の幾何学形状及び高さに適応する
ため、プローブ取付プレート524内の特定の所定の深
さに取り付けることが可能である。
【0039】プローブ608には、内側にバネ力手段を
備えたソケット/バレル610を含む、自己作動バネ・
プローブ内から延びる中実プランジャが含まれている。
テスト・プローブ608は、プローブ取付プレート52
4内に取り付けられた対応するパーソナリティ・ペグ6
72上に載っている。中実プランジャは、ガイド・プレ
ート516のホールを通って延びている。プランジャの
先端は、DUT518の対応するテスト・ターゲット5
20の位置に対応する。パーソナリティ・ペグ672
は、プローブ取付プレート524を通って、並進取付具
640に面した第1の側から、アライメント・プレート
534に面した第2の側に延びている。パーソナリティ
・ペグ672は、ワイヤ・ラップ530によって、プロ
ーブ取付プレート524の第2の側におけるパーソナリ
ティ・ピン528に電気的に接続されている。
【0040】テスト・プローブ612には、対応するシ
ョート・ワイヤ・パーソナリティ・ペグ672の上に載
っている平坦で、丸い、または尖った端部684を備え
る長いソケットから延びるプランジャ614が含まれて
いる。長いソケットは、ガイド・プレート516のホー
ルを通って延びている。プランジャ614の先端は、D
UT518の対応するテスト・ターゲット520の位置
に対応する。長いソケットには、DUT518が接触す
ると、プランジャ614の先端と対応するテスト・ター
ゲット520を圧縮によって接触した状態に保持するバ
ネ手段が含まれている。パーソナリティ・ペグ672
は、プローブ取付プレート524を通って、第1の側か
ら第2の側に延びている。パーソナリティ・ペグ672
は、ワイヤ・ラップ530によって、プローブ取付プレ
ート524の第2の側におけるパーソナリティ・ピン5
28に電気的に接続されている。
【0041】プローブ620には、ガイド・プレート5
16を通って、ダブル・ヘッド付きソケット/バレル6
16の第1の側から延びる長いプランジャが含まれてい
る。テスト・プローブ620には、ダブル・ヘッド付き
ソケット616の第2の側から延び、対応するショート
・ワイヤ・パーソナリティ・ペグ672上に載る短いプ
ランジャ618も含まれている。ダブル・ヘッド付きソ
ケット616には、DUT518が接触すると、テスト
・プローブ620のプランジャの先端と対応するテスト
・ターゲット520を圧縮によって接触した状態に保持
し、また、プランジャ618の先端とパーソナリティ・
ペグ672を圧縮によって接触した状態に保持するバネ
力手段が含まれている。パーソナリティ・ペグ672
は、プローブ取付プレート524を通って、第1の側か
ら第2の側に延びている。パーソナリティ・ペグ672
は、ワイヤ・ラップ530によって、プローブ取付プレ
ート524の第2の側におけるパーソナリティ・ピン5
28に電気的に接続されている。
【0042】テスト・プローブ622には、プローブ取
付プレート524に取り付けられたパーソナリティ・ポ
スト674の上に載っているワッフル端付きソケット/
バレル624内から延びる中実プランジャが含まれてい
る。ワッフル端付きソケット624には、DUT518
が接触すると、プランジャの先端と対応するテスト・タ
ーゲット520を圧縮によって接触した状態に保持する
バネ力手段が含まれている。パーソナリティ・ポスト6
74は、プローブ取付プレート524を通って、並進取
付具640に面した第1の側から、アライメント・プレ
ート534に面した第2の側に延びている。パーソナリ
ティ・ポスト674は、ワイヤ・ラップ530によっ
て、プローブ取付プレート524の第2の側におけるパ
ーソナリティ・ピン528に電気的に接続されている。
【0043】テスト・プローブ626には、プローブ取
付プレート524に取り付けられたバネ・プローブ63
8上に載り、それによって作動する中実のプローブが含
まれている。バネ・プローブ638には、DUT518
が接触すると、中実プローブの先端と対応するテスト・
ターゲット520を圧縮によって接触した状態に保持す
るバネ力手段が含まれている。バネ・プローブ638
は、プローブ取付プレート524を通って、並進取付具
640に面した第1の側から、アライメント・プレート
534に面した第2の側に延びている。バネ・プローブ
638は、ワイヤ・ラップ530によって、プローブ取
付プレート524の第2の側における対応するパーソナ
リティ・ピン528に電気的に接続されている。バネ・
プローブ638は、テスト・プローブ600及び604
に関連して上述のプレス・リングを含むことも可能であ
る。
【0044】プローブ650には、組込バネ636を備
えた中実のプランジャが含まれている。テスト・プロー
ブ650は、単一ユニットであり、ハウジングまたはソ
ケットがない。テスト・プローブ650は、対応するシ
ョート・ワイヤ・パーソナリティ・ペグ672上に載っ
ており、ガイド・プレート516のホールを通って延び
ている。テスト・プローブ650の先端は、DUT51
8が接触すると、バネ636のバネ力によって、DUT
518の対応するテスト・ターゲット520に対し圧縮
による接触状態に保持される。パーソナリティ・ペグ6
72は、プローブ取付プレート524を通って、第1の
側から第2の側に延びている。パーソナリティ・ペグ6
72は、ワイヤ・ラップ530によって、プローブ取付
プレート524の第2の側におけるパーソナリティ・ピ
ン528に電気的に接続されている。
【0045】プローブ652には、長いダブル・ヘッド
付きソケットの第1の側から延びるプランジャ654が
含まれている。テスト・プローブ652には、ダブル・
ヘッド付きソケットの第2の側から延び、対応するショ
ート・ワイヤ・パーソナリティ・ペグ672上に載る短
いプランジャ686も含まれている。ダブル・ヘッド付
きソケットには、DUT518が接触すると、テスト・
ターゲット520とパーソナリティ・ペグ672との間
で、テスト・プローブ652を圧縮によって保持するバ
ネ力手段が含まれている。パーソナリティ・ペグ672
は、プローブ取付プレート524を通って、第1の側か
ら第2の側に延びている。パーソナリティ・ペグ672
は、ワイヤ・ラップ530によって、プローブ取付プレ
ート524の第2の側におけるパーソナリティ・ピン5
28に電気的に接続されている。
【0046】プローブ656には、対応するパーソナリ
ティ・ペグ672上に載ったバネ・プローブ658上に
載る中実プローブが含まれている。留意すべきは、プロ
ーブ取付プレート524には、中実プローブも、バネ・
プローブ658も取り付けられていないので、テスト・
プローブ656の位置を有効に維持するためには、中実
プローブは、少なくとも2つのガイド・プレート516
を通って延びなければならないし、バネ・プローブ65
8は、少なくとも2つのガイド・プレート516を通っ
て延びなければならないという点である。テスト・プロ
ーブ656の中実プローブの先端は、DUT518が接
触すると、バネ・プローブ658のバネ力によって、対
応するテスト・ターゲット520に対して圧縮による接
触状態に保持される。パーソナリティ・ペグ672は、
プローブ取付プレート524を通って、第1の側から第
2の側に延びる。パーソナリティ・ペグ672は、ワイ
ヤ・ラップ530によって、プローブ取付プレート52
4の第2の側におけるパーソナリティ・ピン528に電
気的に接続されている。
【0047】テスト・プローブ660には、長いソケッ
トの第1の側から延びるプランジャが含まれている。テ
スト・プローブ660には、ソケットの第2の側から延
び、対応するパーソナリティ・ペグ672上に載るワイ
ヤ・ラップ・テール688も含まれている。ソケットに
は、DUT518が圧縮によって接触すると、テスト・
ターゲット520とパーソナリティ・ペグ672の間
で、テスト・プローブ660を圧縮によって保持するバ
ネ力手段が含まれている。パーソナリティ・ペグ672
は、プローブ取付プレート524を通って延び、ワイヤ
・ラップ530によって、パーソナリティ・ピン528
に電気的に接続されている。
【0048】テスト・プローブ664は、ガイド・プレ
ート516を通って延びる可撓性の中実プローブから構
成される。テスト・プローブ664は、DUT518の
対応するテスト・ターゲット520に接触する第1の端
部と、プローブ取付プレート524の対応するパーソナ
リティ・ペグ672に接触する第2の端部を備えてい
る。ガイド・プレート516のホールは、所定の位置に
配置されており、プローブ664が、DUT518の対
応するテスト・ターゲット520、及びプローブ取付プ
レート524の対応するパーソナリティ・ペグ672に
圧縮によって接触すると、テスト・プローブ664は、
圧縮によって曲がるが、その対応するテスト・ターゲッ
ト520、及びパーソナリティ・ペグ672との接触を
維持するようになっている。テスト・プローブ664の
パーソナリティ・ペグ672は、プローブ取付プレート
524を通って延び、ワイヤ・ラップ530によって、
その対応するパーソナリティ・ピン528に電気的に接
続される。
【0049】プローブ690には、DUT518の対応
するテスト・ターゲット520に接触する先端を第1の
端部に備え、プローブ取付プレート524に取り付けら
れたバネ・プローブ696のプランジャ694と嵌合す
るボール692を第2の端部に備えた長い中実プローブ
が含まれている。バネ・プローブ696には、DUT5
18が圧縮によって接触すると、プローブの先端と対応
するテスト・ターゲット520を圧縮によって接触した
状態に保持するバネ力手段が含まれている。バネ・プロ
ーブ696は、プローブ取付プレート524を通って延
び、ワイヤ・ラップ530によって、その対応するパー
ソナリティ・ピン528に電気的に接続されている。
【0050】テスト・プローブ600、604、60
8、612、620、622、626、650、65
2、656、660、664、及び690は、並進取付
具640の第1の側において、テストを受ける実装済み
回路基板518のテスト・ターゲット520とアライメ
ントがとれている。テスト・プローブ600、604、
608、612、620、622、626、650、6
52、656、660、664、及び690は、並進取
付具640の第2の側において、ピッチの大きいターゲ
ットとアライメントがとれている。
【0051】DUT518と並進取付具640とのアラ
イメントは、基板テスト技術において周知のツーリング
・ピン(不図示)によって維持される。並進取付具51
8とプローブ取付プレート524との間のアライメント
は、アライメント・ピン(不図示)、または他の既知の
手段によって維持される。アライメント・プレート53
4とインターフェイス・プローブ500との間のアライ
メントは、実装済み基板テスト技術において周知の取付
及びロック・ハードウェアを介して制御される。
【0052】試験用取付具の操作方法は、次の通りであ
る。並進アセンブリ640が、プローブ取付プレート/
アライメント・プレート・アセンブリ642に取り付け
られる。次に、並進取付具640及びプローブ取付プレ
ート/アライメント・プレート・アセンブリ642を含
む取付具全体が、テスタの規則的間隔をあけたインター
フェイス・プローブ500に取り付けられる。次に、テ
ストを受ける実装済みプリント回路基板518が、ツー
リング・ピン(不図示)によって、並進取付具アセンブ
リ640に配置される。次に、実装済みプリント回路基
板518のテスト・ターゲット520が、真空、空気
圧、または機械式作動手段を含む、いくつかある既知の
手段のうち任意の手段によって、並進取付具アセンブリ
640のテスト・プローブ600、604、608、6
12、620、622、626、650、652、65
6、660、664、及び690と接触することにな
る。
【0053】プリント回路基板518がテスタ(不図
示)に引き寄せられるにつれて、テスト・プローブ60
0、604、608、612、620、622、62
6、650、652、656、660、664、及び6
90が、DUT518のテスト・ターゲット520とプ
ローブ取付プレート524との間に挟まれることにな
り、この結果、テスト・プローブ600、604、60
8、612、620、622、626、650、65
2、656、660、664、及び690の先端と、制
限アクセス・テスト・ターゲット520との間に良好な
低抵抗接触が生じることになる。現行の非清浄実装済み
基板製造プロセスに起因するフラックス残留物がプリン
ト回路基板に残されていたとしても、傾斜したテスト・
プローブ600、604、608、612、620、6
22、626、650、652、656、660、66
4、及び690の先端によるターゲット520の拭き取
り動作と、さまざまなテスト・プローブ600、60
4、608、612、620、622、626、65
0、652、656、660、664、及び690のバ
ネ力が、テスト・プローブ600、604、608、6
12、620、622、626、650、652、65
6、660、664、及び690の先端とテスト・ター
ゲット520の良好な接触を助ける。DUTとさまざま
な対応するテスト・プローブとの間に電気的接触が確立
されると、イン・サーキットまたは回路機能テストを開
始することが可能になる テスト・ターゲットとテスタのインターフェイス・プロ
ーブとの間に完全な電気的接触を生じさせるために予測
される方法は、実際には2つある。1つの方法は、DU
T518をテスト・プローブの先端に直接配置すること
と、次に、DUT518及びガイド・プレート522
を、プローブ取付プレート/アライメント・プレート・
アセンブリ642に向かって押しやることを伴うもので
あり、この場合、並進取付具ユニット640と取付具の
プローブ取付プレート/アライメント・プレート・ユニ
ット542は、ツーリング・ピンとアライメントがとら
れるが、互いに関連して垂直方向に移動することが可能
である。もう1つの方法は、DUT518をテスト・プ
ローブの先端に直接配置することと、次に、DUT51
8を取付具全体に向かって押しやることを伴うものであ
り、この場合、並進部分640及びプローブ取付プレー
ト/アライメント・プレート部分642は、スペーサ
(不図示)によって互いにしっかりと固定される。DU
T518が、試験用取付具に圧縮によって接触させられ
ると、さまざまなテスト・プローブのバネ力によって、
DUT518の異なるテスト・ターゲット520の異な
る高さ及び幾何学形状に関係なく、テスト・プローブと
その対応するテスト・ターゲット520との間で圧縮に
よる接触が維持される。
【0054】提案する本発明の試験用取付具は、標準ア
クセス・ターゲットと制限アクセス・ターゲット534
の混合体を探査することが可能である。長い傾斜または
垂直テスト・プローブ600、604、608、61
2、620、622、626、650、652、65
6、660、664、690、ガイド・プレート52
2、及び制限されたプローブ先端の移動によって、小形
でピッチの精細なターゲット520を探査する試験用取
付具の能力が向上する。パーソナリティ・ピン528及
びアライメント・プレート534によって、複雑なテス
タ資源割り当てが可能になる。
【0055】図7を参照すると、第4の実施例の試験用
取付具は、2つの主たるアセンブリから構成される。第
1のアセンブリは、中実ユニットとして取付具を互いに
保持する中実ポスト522によって平行に支持された、
一連の垂直方向に間隔をあけて配置された平行なガイド
・プレート516から構成される、図5のアセンブリ5
46と同様の並進取付具である。この取付具には、並進
プレート516のガイド・ホールを通って延びる、さま
ざまな長い傾斜または垂直テスト・プローブのアレイも
含まれている。テスト・プローブは、並進取付具746
の第1の側において、実装済み回路基板518のテスト
・ターゲット520とアライメントがとれている。テス
ト・プローブは、並進取付具746の第2の側におい
て、ワイヤレス・インターフェイス・プリント回路基板
(WIPCB)502の第1の側におけるピッチの大き
い接触パッド512とアライメントがとれている。
【0056】ワイヤレス・インターフェイス・プリント
回路基板(WIPCB)502の接触パッド512は、
WIPCB502の第2の側における接触ターゲット5
04と電気的に接触している。PCB502の第2の側
における接触ターゲット504は、テスタ(不図示)の
インターフェイス・プローブ500に対応するようにパ
ターン化されている。テスタのインターフェイス・プロ
ーブ500は、所定の固定された規則的な間隔のパター
ンをなしている。WIPCB502によって、さまざま
な制限アクセス・テスト・プローブは、テスト・プロー
ブの位置に対応する接触パッド512から、テスタのイ
ンターフェイス・プローブ500の位置に対応する接触
ターゲット504への銅トレース(不図示)によって、
インターフェイス・プローブ500の所定の位置に対応
することが可能になる。本発明の第4の実施例の第2の
主たるアセンブリ748は、制限アクセス・テスト・プ
ローブとインターフェイス・プローブ500とのアライ
メントをとる、ワイヤレス・インターフェイスプリント
回路基板502である。
【0057】制限アクセス・ターゲット520は、ガイ
ド・プレート516のホールを通って延びる、さまざま
なタイプの長い傾斜または垂直テスト・プローブ70
8、712、720、722、750、752、75
6、760、及び764の任意のプローブによってアク
セスされる。テスト・プローブ708、712、72
0、722、750、752、756、760、及び7
64は、被試験装置518の精細なピッチのターゲット
520から、銅トレース(不図示)を介して、接触パッ
ド504に電気的に接続されたWIPCB502ピッチ
の大きいターゲット512への容易な移行を促進するた
めに用いられる。
【0058】プローブ708には、内側にバネ力手段を
備えたソケット710を含む、自己作動バネ・プローブ
内から延びる中実プランジャが含まれている。テスト・
プローブ708は、WIPCB502の対応するパーソ
ナリティ・ピン512上に載っている。テスト・プロー
ブ708の中実プランジャの先端は、DUT518が圧
縮によって接触すると、ソケット710のバネ力手段に
よって、対応するテスト・ターゲット520に対し圧縮
による接触状態に保持される。接触パッド512は、銅
トレース(不図示)によって、WIPCB502の第2
の側における接触ターゲット504に電気的に接続され
ている。
【0059】テスト・プローブ712には、WIPCB
502の対応する接触パッド512の上に載っている、
平坦で、丸い、または尖った端部784を備える長いソ
ケットから延びるプランジャ714が含まれている。長
いソケットは、ガイド・プレート516のホールを通っ
て延びている。プランジャ714の先端は、DUT51
8の対応するテスト・ターゲット520の位置に対応す
る。長いソケットには、DUT518が圧縮によって接
触すると、プランジャ714の先端と対応するテスト・
ターゲット520を圧縮によって接触した状態に保持す
るバネ手段が含まれている。接触パッド512は、銅ト
レース(不図示)によって、WIPCB502の第2の
側における接触ターゲット504に電気的に接続されて
いる。
【0060】プローブ720には、ガイド・プレート5
16を通って、ダブル・ヘッド付きソケット/バレル7
16の第1の側から延びる長いプランジャが含まれてい
る。テスト・プローブ720には、ダブル・ヘッド付き
ソケット716の第2の側から延び、WIPCB502
における対応する接触パッド512上に載る短いプラン
ジャ718も含まれている。ダブル・ヘッド付きソケッ
ト716には、DUT518が圧縮によって接触する
と、テスト・プローブ720のプランジャの先端と対応
するテスト・ターゲット520を圧縮によって接触した
状態に保持し、また、プランジャ718の先端とWIP
CB502における対応する接触パッド512を圧縮に
よって接触した状態に保持するバネ力手段が含まれてい
る。接触パッド512は、銅トレース(不図示)によっ
て、WIPCB502の第2の側における接触ターゲッ
ト504に電気的に接続されている。
【0061】テスト・プローブ722には、WIPCB
502の接触パッド512の上に載っているワッフル端
付きソケット/バレル724内から延びる中実プランジ
ャが含まれている。ワッフル端付きソケット724に
は、DUT518が圧縮によって接触すると、その対応
するテスト・ターゲット520とWIPCB502の対
応する接触パッド512との間において、テスト・プロ
ーブ722を圧縮によって接触した状態に保持するバネ
力手段が含まれている。接触パッド512は、銅トレー
ス(不図示)によって、WIPCB502の第2の側に
おける接触ターゲット504に電気的に接続されてい
る。
【0062】テスト・プローブ750には、組込バネ7
36を備えたプランジャが含まれている。テスト・プロ
ーブ750は、単一ユニットであり、ハウジングまたは
ソケットがない。テスト・プローブ750は、WIPC
B502の対応する接触パッド512上に載っており、
ガイド・プレート516のホールを通って延びている。
テスト・プローブ750は、DUT518が圧縮によっ
て接触すると、バネ736のバネ力によって、DUT5
18における対応するテスト・ターゲット520と、W
IPCB502における対応する接触パッド512との
間で、圧縮によって接触した状態に保持される。接触パ
ッド512は、銅トレース(不図示)によって、WIP
CB502の第2の側における接触ターゲット504に
電気的に接続されている。
【0063】テスト・プローブ752には、長いダブル
・ヘッド付きソケットの第1の側から延びるプランジャ
754が含まれている。テスト・プローブ752には、
ダブル・ヘッド付きソケットの第2の側から延び、WI
PCB502の対応する接触パッド512上に載る短い
プランジャ786も含まれている。ダブル・ヘッド付き
ソケットには、DUT518が圧縮によって接触する
と、対応するテスト・ターゲット520とWIPCB5
02における対応する接触パッド512との間で、テス
ト・プローブ752を圧縮によって保持するためのバネ
力手段が含まれている。接触パッド512は、銅トレー
ス(不図示)によって、WIPCB502の第2の側に
おける接触ターゲット504に電気的に接続されてい
る。
【0064】プローブ756には、WIPCB502の
対応する接触パッド512上に載ったバネ・プローブ7
58上に載る中実プローブが含まれている。留意すべき
は、テスト・プローブ756の位置をしっかりと維持す
るためには、中実プローブ及びバネ・プローブ758
が、両方とも、少なくとも2つのガイド・プレート51
6を通って延びなければならないという点である。テス
ト・プローブ756の中実プローブの先端は、DUT5
18が圧縮によって接触すると、バネ・プローブ758
のバネ力によって、対応するテスト・ターゲット520
に対して圧縮によって接触した状態に保持される。接触
パッド512は、銅トレース(不図示)によって、WI
PCB502の第2の側における接触ターゲット504
に電気的に接続されている。
【0065】テスト・プローブ760には、長いソケッ
トの第1の側から延びるプランジャが含まれている。テ
スト・プローブ760には、ソケットの第2の側から延
び、WIPCB502の対応する接触パッド512上に
載るワイヤ・ラップ・テール788も含まれている。ソ
ケットには、DUT518が圧縮によって接触すると、
対応するテスト・ターゲット520と、WIPCB50
2における対応する接触パッド512との間で、テスト
・プローブ760を圧縮によって保持するためのバネ力
手段が含まれている。接触パッド512は、銅トレース
(不図示)によって、WIPCB502の第2の側にお
ける接触ターゲット504に電気的に接続されている。
【0066】テスト・プローブ764は、ガイド・プレ
ート516のホールを通って延びる可撓性の中実プロー
ブから構成される。テスト・プローブ764は、DUT
518の対応するテスト・ターゲット520に接触する
第1の端部と、WIPCB502の対応する接触パッド
512に接触する第2の端部を備えている。ガイド・プ
レート516のホールは、所定の位置に配置されてお
り、テスト・プローブ764が、DUT518の対応す
るテスト・ターゲット520、及びWIPCB502の
対応する接触パッド512と圧縮によって接触すると、
テスト・プローブ764は、圧縮によって曲がるが、そ
の対応するテスト・ターゲット520、及び接触パッド
512との接触を維持するようになっている。接触パッ
ド512は、銅トレース(不図示)によって、WIPC
B502の第2の側における接触ターゲット504に電
気的に接続されている。
【0067】留意すべきは、本発明の第4の実施例に関
連して、他のタイプのテスト・プローブを利用すること
も可能であるという点である。第4の実施例は、基本的
に、ガイド・プレート516によって方向付けられ、ワ
イヤレス・インターフェイス・プリント回路基板502
の接触パッド512、ワイヤ・トレース(不図示)、及
び接触ターゲット504によって、テスタ・インターフ
ェイス・プローブ500と電気的に接触する、長い傾斜
または垂直自己作動バネ・プローブに関するものであ
る。
【0068】プリント回路基板518と並進取付具74
6とのアライメントは、基板テスト技術において周知の
ツーリング・ピン(不図示)によって維持される。並進
取付具746とワイヤレス・インターフェイスPCB5
02との間のアライメントは、アライメント・ピン(不
図示)または他の既知の手段によって維持される。ワイ
ヤレス・インターフェイスPCB502とインターフェ
イス・プローブ500との間のアライメントは、実装済
み基板テスト技術において周知の取付及びロック・ハー
ドウェアを介して制御される。
【0069】試験用取付具の操作方法は、次の通りであ
る。並進取付具アセンブリ746が、WIPCBアセン
ブリ748に取り付けられる。次に、並進取付具アセン
ブリ746及びWIPCBアセンブリ748を含む取付
具全体が、テスタの規則的間隔をあけたインターフェイ
ス・プローブ500に取り付けられる。次に、テストを
受ける実装済みプリント回路基板518が、ツーリング
・ピン(不図示)によって、並進取付具アセンブリ74
6に配置される。次に、実装済みプリント回路基板51
8のテスト・ターゲット520が、真空、空気圧、また
は機械式作動手段を含む、いくつかある既知の手段のう
ち任意の手段によって、テスタに向かって移動する。プ
リント回路基板518がテスタに引き寄せられるにつれ
て、テスト・プローブが、プリント回路基板518のテ
スト・ターゲット520と、WIPCB502の接触パ
ッド512との間に挟まれることになり、この結果、テ
スト・プローブの先端とテスト・ターゲット520との
間に良好な低抵抗接触が生じることになる。現行の非清
浄実装済み基板製造プロセスに起因するフラックス残留
物が、プリント回路基板に残されていたとしても、さま
ざまな傾斜したテスト・プローブの先端によるターゲッ
ト520の拭き取り動作と、テスト・プローブのバネ力
が、テスト・プローブの先端とテスト・サイト520と
の良好な接触を助ける。
【0070】図8の略ブロック図を参照すると、本発明
の実装済み基板のガイド付きプローブ試験用取付具が示
されている。図8のコンポーネント及び特徴の大部分
は、上記図5、6、及び7のコンポーネント及び特徴と
同様であり、同じ番号が付けられている。図8のコンポ
ーネントと図5、6、及び7のコンポーネントとの間の
主たる相違を以下で説明する。
【0071】第5の実施例の試験用取付具は、3つの主
たるアセンブリを含んでいる。第1の主たるアセンブリ
840は、中実ユニットとして取付具を互いに保持する
中実ポスト522によって平行に支持された、一連の垂
直方向に間隔をあけて配置された平行なガイド・プレー
ト516から構成される並進取付具である。この取付具
には、並進ガイド・プレート516のガイド・ホールを
通って延びる、傾斜したテスト・プローブ526のアレ
イも含まれている。傾斜したテスト・プローブ526
は、並進取付具840の第1の側において、実装済み回
路基板518のテスト・ターゲット520とアライメン
トがとれている。傾斜したプローブ526は、並進取付
具840の第2の側において、汎用インターフェイス・
プレート852の第1の側におけるダブル・ヘッド付き
バネ・プローブ854とアライメントがとれている。被
試験装置518における精細なピッチのターゲット52
0と、汎用インターフェイス・プレート852における
より大きいピッチのターゲット(ダブル・ヘッド付きバ
ネ・プローブ854)との間における容易な移行を促進
するため、長い傾斜したプローブが用いられており、第
5の実施例の第2の主たるアセンブリ850は、汎用イ
ンターフェイス・プレート852である。
【0072】ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ854
が、汎用インターフェイス・プレート852の第2の側
を通って延び、プローブ取付プレート524に取り付け
られたパーソナリティ・ポスト856、またはパーソナ
リティ・ペグ858のいずれかと電気的に接触する。プ
ローブ取付プレートは、当該技術において周知のところ
であり、こうしたプレートの1つに、ガラス繊維強化エ
ポキシ製のプローブ取付プレートがある。
【0073】パーソナリティ・ピン528が、プローブ
取付プレート524の第2の側に埋め込まれており、パ
ーソナリティ・ピン528は、ショート・ワイヤ530
によって、パーソナリティ・ポスト856、またはパー
ソナリティ・ペグ858の少なくとも一方に電気的に接
続されている。パーソナリティ・ピン528のワイヤラ
ップ・ポスト532は、アライメント・プレート534
のホールを貫通し、テスタ(不図示)のインターフェイ
ス・プローブ500と接触する。テスタのインターフェ
イス・プローブ500は、所定の固定された規則的間隔
のパターンをなしている。アライメント・プレート53
4によって、インターフェイス・プローブ500の所定
の位置に対応するように、パーソナリティ・ピン528
のワイヤラップ・ポスト532のアライメントがとられ
る。第5の実施例の第3の主たるアセンブリ842は、
パーソナリティ・ポスト856及び/またはパーソナリ
ティ・ペグ858とパーソナリティ・ピン528を含む
プローブ取付プレート524と、パーソナリティ・ピン
528のワイヤラップ・ポスト532とインターフェイ
ス・プローブ500とのアライメントをとるアライメン
ト・プレート534によるユニットである。
【0074】試験用取付具の正確なアライメントは、信
頼性の良い動作にとって不可欠である。プリント回路基
板518と並進取付具840とのアライメントは、基板
テスト技術において周知のツーリング・ピン(不図示)
によって維持される。並進取付具840と、汎用インタ
ーフェイス・プレート852と、プローブ取付プレート
/アライメント・プレート・アセンブリ842との間の
アライメントは、アライメント・ピン(不図示)または
他の既知の手段によって維持される。アライメント・プ
レート534とインターフェイス・プローブ500との
間のアライメントは、実装済み基板テスト技術において
周知の取付及びロック・ハードウェアを介して制御され
る。
【0075】試験用取付具の操作方法は、次の通りであ
る。並進アセンブリ840が、プローブ取付プレート/
アライメント・プレート・アセンブリ542に取り付け
られた汎用インターフェイス・プレート852に取り付
けられる。次に、並進取付具840、汎用インターフェ
イス・プレート852、及びプローブ取付プレート/ア
ライメント・プレート・アセンブリ842を含む取付具
全体が、テスタの規則的間隔をあけたインターフェイス
・プローブ500に取り付けられる。次に、テストを受
ける実装済みプリント回路基板518が、ツーリング・
ピン(不図示)によって、並進取付具アセンブリ840
に配置される。次に、実装済みプリント回路基板518
のテスト・ターゲット520が、真空、空気圧、または
機械式作動手段を含む、いくつかある既知の手段のうち
任意の手段によって、並進取付具アセンブリ840の傾
斜したプローブ526と接触することになる。
【0076】プリント回路基板518がテスタに引き寄
せられるにつれて、傾斜または垂直プローブ526が、
プリント回路基板518のテスト・ターゲット520
と、ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ854との間に
挟まれることになり、この結果、傾斜したプローブ52
6の先端とテスト・ターゲット520との間に、良好な
低抵抗接触が生じることになる。現行の非清浄実装済み
基板製造プロセスに起因するフラックス残留物が、プリ
ント回路基板に残されていたとしても、傾斜した中実の
プローブの先端によるテスト・ターゲット520の拭き
取り動作と、バネ・プローブ854のバネ力が、テスト
・サイト520との良好な接触を助ける。DUTと傾斜
プローブ526との間に電気的接触が確立されると、イ
ン・サーキットまたは機能テストを開始することが可能
になる。
【0077】第6の実施例の試験用取付具は、3つの主
たるアセンブリを含んでいる。第1の主たるアセンブリ
840は、中実ユニットとして取付具を互いに保持する
中実ポスト522によって平行に支持された、一連の垂
直方向に間隔をあけて配置された平行なガイド・プレー
ト516から構成される並進取付具である。取付具84
0には、並進ガイド・プレート516のガイド・ホール
を通って延びる、傾斜または垂直プローブ526のよう
な並進ピンのアレイも含まれている。傾斜または垂直プ
ローブ526は、並進取付具の第1の側において、プリ
ント回路基板518のテスト・ターゲット520とアラ
イメントがとれている。傾斜または垂直プローブ526
は、並進取付具840の第2の側において、汎用インタ
ーフェイス・プレート852の第1の側におけるダブル
・ヘッド付きバネ・プローブ854とアライメントがと
れている。第6の実施例の第2の主たるアセンブリは、
汎用インターフェイス・プレート852である。
【0078】ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ854
が、汎用インターフェイス・プレート852の第2の側
を通って延び、ワイヤレス・インターフェイス・プリン
ト回路基板(WIPCB)502の接触パッド512と
電気的に接触する。PCB502の第1の側の接触パッ
ド512は、PCB502の第2の側における接触ター
ゲット504に電気的に接続されている。WIPCB5
02の第2の側における接触ターゲット504は、テス
タ(不図示)のインターフェイス・プローブ500に対
応するようにパターン化されている。テスタのインター
フェイス・プローブ500は、所定の固定された規則的
な間隔のパターンをなしている。ワイヤレス・インター
フェイスPCB502によって、ダブル・ヘッド付きバ
ネ・プローブ854は、ダブル・ヘッド付きバネ・プロ
ーブ854の位置に対応する接触パッド512から、テ
スタのインターフェイス・プローブ500の位置に対応
する接触ターゲット504への銅トレースによって、イ
ンターフェイス・プローブ500の所定の位置に対応す
ることが可能になる。第6の実施例の第3の主たるアセ
ンブリ548は、ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ5
08とインターフェイス・プローブ500とのアライメ
ントをとるWIPCB502からなるユニットである。
【0079】プリント回路基板518と並進取付具84
0のアライメントは、基板テスト技術において周知のツ
ーリング・ピン(不図示)によって維持される。並進取
付具840と汎用インターフェイス・プレート854と
の間のアライメントは、アライメント・ピン(不図示)
または他の既知の手段によって維持される。汎用インタ
ーフェイス・プレート854とワイヤレス・インターフ
ェイスPCB502との間のアライメントは、アライメ
ント・ピン(不図示)または他の既知の手段によって維
持される。ワイヤレス・インターフェイスPCB502
とインターフェイス・プローブ500との間のアライメ
ントは、実装済み基板テスト技術において周知の取付及
びロック・ハードウェアを介して制御される。
【0080】試験用取付具の操作方法は、次の通りであ
る。並進アセンブリ840が、汎用インターフェイス・
プレート850/WIPCBアセンブリ848に取り付
けられる。次に、並進アセンブリ840、及び汎用イン
ターフェイス・プレート850/WIPCBアセンブリ
848を含む取付具全体が、テスタの規則的間隔をあけ
たインターフェイス・プローブ500に取り付けられ
る。次に、テストを受ける実装済みプリント回路基板5
18が、ツーリング・ピン(不図示)によって、並進取
付具アセンブリ840に配置される。次に、実装済みプ
リント回路基板518のテスト・ターゲット520が、
真空、空気圧、または機械式作動手段を含む、いくつか
ある既知の手段のうち任意の手段によって、テスタに向
かって移動することになる。プリント回路基板518が
テスタに引き寄せられるにつれて、傾斜した、または垂
直な中実プローブ526が、プリント回路基板518の
テスト・ターゲット520と、ダブル・ヘッド付きバネ
・プローブ854との間に挟まれることになり、この結
果、傾斜した、または垂直な中実プローブ526の先端
とテスト・ターゲット520との間に良好な低抵抗接触
が生じることになる。現行の非清浄実装済み基板製造プ
ロセスに起因するフラックス残留物が、プリント回路基
板に残されていたとしても、傾斜した中実プローブ52
6によるテスト・ターゲット520の拭き取り動作と、
ダブル・ヘッド付きバネ・プローブ854のバネ力が、
傾斜したプローブ526の先端とテスト・サイト520
との良好な接触を助ける。
【0081】本発明に関する以上の説明は、例証及び解
説のために提示したものである。余すところなく説明し
ようとか、あるいは、本発明を開示の形態そのままに制
限しようと意図したものではなく、以上の教示に鑑み
て、他の修正及び変更を加えることも可能である。例え
ば、並進取付具にフライス加工を施して、より大形の容
量及び誘導型式のテスト・プローブといった、より多く
のテスト・プローブ型式にも適応させることが可能であ
る。また、両側に電子コンポーネントが実装されている
か、あるいは、両側にテスト・ターゲットが設けられて
いるプリント回路基板のテストを行うため、クラムシェ
ル型式のテスタに、2つのガイド付きプローブ試験用取
付具を利用することも可能である。
【0082】さらに、本発明のガイド付きプローブ試験
用取付具は、両側に電子コンポーネントが実装されてい
るか、あるいは、両側にテスト・ターゲットが設けられ
ているプリント回路基板のテストを行うため、自動テス
タに連係して利用することも可能である。実施例の選択
及び解説は、本発明の原理及びその実際の応用例につい
て最も明確に説明することによって、当該技術の他の熟
練者が、企図される特定の用途に適したさまざまな実施
例、及びさまざまな修正案において本発明を最も有効に
利用することができるように行ったものである。特許請
求の範囲は、先行技術による制限のある場合を除いて、
本発明の他の代替実施例を含むものと解釈されることを
意図している。
【0083】以下に、本発明の実施態様を列挙する。
【0084】1.テストを受ける実装済み回路基板上の
1つ以上の制限アクセス・テスト・ターゲットを、テス
タのインターフェイス・プローブに電気的に接続するた
めのガイド付きプローブ試験用取付具において、 a)1つ以上の長い中実のテスト・プローブと、 b)第1の側と第2の側を備え、所定の位置にスルー・
ホールを備え、前記1つ以上の長い中実のテスト・プロ
ーブが、それぞれ、前記スルー・ホールを通って延び、
前記第1の側において、前記1つ以上の制限アクセス・
テスト・ターゲットのうちの対応する1つと一列に並ぶ
ようになっている、複数の略平行なガイド・プレート
と、 c)第1の側と第2の側を備え、前記第1の側が前記ガ
イド・プレートの前記第2の側に位置する、プローブ取
付プレートと、 d)前記プローブ取付プレートに取り付けられて、前記
プローブ取付プレートの前記第1の側から、前記プロー
ブ取付プレートの前記第2の側に延び、それぞれ、前記
プローブ取付プレートの前記第1の側から延びて、前記
プローブ取付プレートの前記第2の側において、前記長
い中実のテスト・プローブのうちの対応する1つと一列
に並ぶ、1つ以上のダブル・ヘッド付きバネ・プローブ
と、 e)第1の側と第2の側を備えたワイヤレス・インター
フェイス・プリント回路基板と、 f)それぞれ、前記取付プレートの前記第2の側から延
びる対応するダブル・ヘッド付きバネ・プローブと一列
に並んで、電気的に接触する、前記ワイヤレス・インタ
ーフェイス・プリント回路基板の前記第1の側に位置す
る、1つ以上の接触パッドと、 g)それぞれ、前記ガイド付きプローブ試験用取付具が
前記テスタに取り付けられる場合、前記テスタの対応す
るインターフェイス・プローブと一列に並んで、電気的
に接触する、前記ワイヤレス・インターフェイス・プリ
ント回路基板の前記第2の側に位置する、1つ以上の接
触ターゲット504と、からなるガイド付きプローブ試
験用取付具。
【0085】2.テストを受ける実装済み回路基板上の
1つ以上の制限アクセス・テスト・ターゲットを、テス
タのインターフェイス・プローブに電気的に接続するた
めのガイド付きプローブ試験用取付具において、 a)1つ以上の長いテスト・プローブと、 b)第1の側と第2の側を備え、所定の位置にスルー・
ホールを備え、前記1つ以上の長いテスト・プローブ
が、それぞれ、前記スルー・ホールを通って延び、前記
第1の側において、前記1つ以上の制限アクセス・テス
ト・ターゲットのうちの対応する1つと一列に並ぶよう
になる、複数の略平行なガイド・プレートと、 c)第1の側と第2の側を備え、前記ガイド付きプロー
ブ試験用取付具が前記テスタに取り付けられる場合、前
記ガイド・プレートの前記第2の側において、前記複数
のガイド・プレートと前記テスタの前記インターフェイ
ス・プローブとの間に位置することになる、プローブ取
付プレートと、 d)前記プローブ取付プレートの前記第1の側から、前
記プローブ取付プレートの前記第2の側に、前記複数の
長いテスト・プローブのそれぞれに対して電気的接続部
を形成する、前記プローブ取付プレートにおける手段
と、 e)前記プローブ取付プレートの前記第2の側に取り付
けられたワイヤラップ・ポストを備え、それぞれ、前記
電気的接続部と前記ワイヤラップ・ポストの間のワイヤ
ラップによって、前記電気的接続部の少なくとも1つに
電気的に接続される、1つ以上のパーソナリティ・ピン
と、 f)アライメント・プレートとからなり、前記ガイド付
きプローブ試験用取付具が前記テスタに取り付けられる
場合、前記パーソナリティ・ピンの前記ワイヤラップ・
ポストは、前記ワイヤラップ・ポストのそれぞれが、前
記テスタの対応するインターフェイス・プローブと一列
に並ぶような仕方で、前記アライメント・プレートを通
って延びることを特徴とする、ガイド付きプローブ試験
用取付具。
【0086】3.テストを受ける実装済み回路基板上の
1つ以上の制限アクセス・テスト・ターゲットを、テス
タのインターフェイス・プローブに電気的に接続するた
めのガイド付きプローブ試験用取付具において、 a)それぞれが自己作動バネ力手段を備えた、1つ以上
の長いテスト・プローブと、 b)第1の側と第2の側を備え、所定の位置にスルー・
ホールを備え、前記1つ以上の長いテスト・プローブ
が、それぞれ、前記スルー・ホールを通って延び、前記
第1の側において前記1つ以上の制限アクセス・テスト
・ターゲットのうちの対応する1つと一列に並ぶように
なる、複数の略平行なガイド・プレートと、 c)第1の側と第2の側を備え、前記第1の側が、前記
ガイド・プレートの前記第2の側に位置する、ワイヤレ
ス・インターフェイス・プリント回路基板と、 d)それぞれ、前記ガイド・プレートの前記第2の側か
ら延びる前記複数の長いテスト・プローブのうちの対応
する1つと一列に並んで、電気的に接触する、前記ワイ
ヤレス・インターフェイス・プリント回路基板の前記第
1の側に位置する、1つ以上の接触パッドと、 e)それぞれ、前記ガイド付きプローブ試験用取付具が
前記テスタに取り付けられる場合、前記テスタの対応す
るインターフェイス・プローブと一列に並んで、電気的
に接触する、前記ワイヤレス・インターフェイス・プリ
ント回路基板の前記第2の側に位置する、1つ以上の接
触ターゲットと、からなるガイド付きプローブ試験用取
付具。
【0087】
【発明の効果】本発明は上述のように構成したので、標
準アクセスの非洗浄テスト・ターゲットと制限アクセス
の非洗浄テスト・ターゲットの両方を含む、実装済みプ
リント回路基板の精巧なイン・サーキット、及び機能試
験が可能となる。
【0088】また、探査精度を向上させ、非洗浄試験性
を向上させ、制限アクセスのテスト・ターゲットの精細
ピッチ探査を向上させると同時に、標準アクセスのテス
ト・ターゲットの探査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のショートワイヤ試験用取付具の切り取り
図である。
【図2】従来の超アライメント試験用取付具の切り取り
図である。
【図3】従来のガイド付きプローブ保護プレートの切り
取り図である。
【図4】従来の裸基板並進試験用取付具の切り取り図で
ある。
【図5】本発明による実装済み基板のガイド付きプロー
ブ試験用取付具の第1と第2の実施例の切り取り図であ
る。
【図6】本発明による実装済み基板のガイド付きプロー
ブ試験用取付具の第3の実施例の切り取り図である。
【図7】本発明による実装済み基板のガイド付きプロー
ブ試験用取付具の第4の実施例の切り取り図である。
【図8】本発明による実装済み基板のガイド付きプロー
ブ試験用取付具の第5及び第6の実施例の切り取り図で
ある。
【符号の説明】
500 インターフェイス・プローブ 502 ワイヤレス・インターフェイス・プリント回路
基板(WIPCB) 504 接触ターゲット 506 プローブ取付プレート 508 ダブル・ヘッド・バネ・プローブ 512 接触パッド 514 バネ・プローブ 516 並進ガイド・プレート 518 実装済み回路基板 520 テスト・ターゲット 522 中実ポスト 524 プローブ取付プレート 526 傾斜プローブ 528 パーソナリティ・ピン 530 ワイヤラップ 532 ワイヤラップ・ポスト 534 アライメント・プレート 540 並進取付具 542 プローブ取付プレート/アライメント・プレー
ト・アセンブリ 546 並進取付具 548 プローブ取付プレート/インターフェイスPC
Bアセンブリ
フロントページの続き (72)発明者 クリス・ジェイ・カナック アメリカ合衆国コロラド州80537,ラブラ ンド,サウス・シーオー・ロード・ナンバ ー・13・2719

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テストを受ける実装済み回路基板上の1
    つ以上の制限アクセス・テスト・ターゲットを、テスタ
    のインターフェイス・プローブに電気的に接続するため
    のガイド付きプローブ試験用取付具において、 a)1つ以上の長い中実のテスト・プローブと、 b)第1の側と第2の側を備え、所定の位置にスルー・
    ホールを備え、前記1つ以上の長い中実のテスト・プロ
    ーブが、それぞれ、前記スルー・ホールを通って延び、
    前記第1の側において、前記1つ以上の制限アクセス・
    テスト・ターゲットのうちの対応する1つと一列に並ぶ
    ようになる、複数の略平行なガイド・プレートと、 c)前記ガイド付きプローブ試験用取付具が前記テスタ
    に取り付けられる場合、前記ガイド・プレートの前記第
    2の側において、前記複数のガイド・プレートと、前記
    テスタの前記インターフェイス・プローブとの間に位置
    することになる、プローブ取付プレートと、 d)前記プローブ取付プレートに取り付けられ、それぞ
    れ、前記ガイド・プレートの前記第2の側において、前
    記長い中実のテスト・プローブのうちの対応する1つと
    一列に並ぶ、1つ以上のバネ・プローブと、 e)前記プローブ取付プレートに取り付けられたワイヤ
    ラップ・ポストを備え、それぞれ、前記バネ・プローブ
    と前記ワイヤラップ・ポストとの間のワイヤラップによ
    って、前記バネ・プローブの少なくとも1つに電気的に
    接続される、1つ以上のパーソナリティ・ピンと、 f)アライメント・プレートとからなり、前記ガイド付
    きプローブ試験用取付具が前記テスタに取り付けられる
    場合、前記パーソナリティ・ピンの前記ワイヤラップ・
    ポストは、前記ワイヤラップ・ポストのそれぞれが、前
    記テスタの対応するインターフェイス・プローブと一列
    に並ぶような仕方で、前記アライメント・プレートを通
    って延びることを特徴とする、ガイド付きプローブ試験
    用取付具。
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DE (1) DE69734866T2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6194908B1 (en) 1997-06-26 2001-02-27 Delaware Capital Formation, Inc. Test fixture for testing backplanes or populated circuit boards
JP2007271631A (ja) * 2007-06-04 2007-10-18 Mitsubishi Electric Corp ウエハテスト用プローブカード
KR102193447B1 (ko) * 2019-12-09 2020-12-21 (주)티에스이 테스트 소켓
KR20220041716A (ko) * 2020-09-25 2022-04-01 에세, 아이엔씨. 이중 각도 공동을 갖는 집적 회로 디바이스 테스트 툴링

Families Citing this family (118)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6380751B2 (en) 1992-06-11 2002-04-30 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having environment control enclosure
US5345170A (en) 1992-06-11 1994-09-06 Cascade Microtech, Inc. Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems
US5561377A (en) 1995-04-14 1996-10-01 Cascade Microtech, Inc. System for evaluating probing networks
US6232789B1 (en) 1997-05-28 2001-05-15 Cascade Microtech, Inc. Probe holder for low current measurements
US5914613A (en) 1996-08-08 1999-06-22 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system with local contact scrub
US6002263A (en) 1997-06-06 1999-12-14 Cascade Microtech, Inc. Probe station having inner and outer shielding
JPH1164426A (ja) * 1997-08-25 1999-03-05 I C T:Kk プリント基板の検査装置およびプリント基板の検査 装置の組み立てキット
US6066957A (en) * 1997-09-11 2000-05-23 Delaware Capital Formation, Inc. Floating spring probe wireless test fixture
JPH1197494A (ja) * 1997-09-18 1999-04-09 Hitachi Ltd 半導体装置およびその製造方法
US6256882B1 (en) 1998-07-14 2001-07-10 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
IT1309343B1 (it) * 1999-02-09 2002-01-22 Tecno Test Di De Rossi Michele Sistema di accoppiamento e centraggio particolarmente perl'allineamento di circuiti stampati durante le procedure
US6191601B1 (en) * 1999-02-22 2001-02-20 Delaware Capital Formation, Inc. Test fixture for matched impedance testing
US6578264B1 (en) 1999-06-04 2003-06-17 Cascade Microtech, Inc. Method for constructing a membrane probe using a depression
US6445202B1 (en) 1999-06-30 2002-09-03 Cascade Microtech, Inc. Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current
US6838890B2 (en) 2000-02-25 2005-01-04 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
US6650134B1 (en) * 2000-02-29 2003-11-18 Charles A. Schein Adapter assembly for connecting test equipment to a wireless test fixture
US6424164B1 (en) * 2000-06-13 2002-07-23 Kulicke & Soffa Investment, Inc. Probe apparatus having removable beam probes
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
DE10143173A1 (de) 2000-12-04 2002-06-06 Cascade Microtech Inc Wafersonde
US6885205B2 (en) * 2000-12-13 2005-04-26 Seagate Technology Llc Test fixture assembly for printed circuit boards
US6970634B2 (en) * 2001-05-04 2005-11-29 Cascade Microtech, Inc. Fiber optic wafer probe
US20020180469A1 (en) * 2001-05-31 2002-12-05 Jichen Wu Reusable test jig
US6628130B2 (en) * 2001-07-18 2003-09-30 Agilent Technologies, Inc. Wireless test fixture for printed circuit board test systems
WO2003052435A1 (en) 2001-08-21 2003-06-26 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
WO2003020467A1 (en) 2001-08-31 2003-03-13 Cascade Microtech, Inc. Optical testing device
US6777964B2 (en) 2002-01-25 2004-08-17 Cascade Microtech, Inc. Probe station
US20050177662A1 (en) * 2002-04-04 2005-08-11 Hauke Michael T. Modular broadcast television products
JP2005527823A (ja) 2002-05-23 2005-09-15 カスケード マイクロテック インコーポレイテッド デバイスのテスト用プローブ
US7059046B2 (en) * 2002-06-24 2006-06-13 Delaware Capital Formation, Inc. Method for producing a captive wired test fixture and fixture therefor
US6784675B2 (en) * 2002-06-25 2004-08-31 Agilent Technologies, Inc. Wireless test fixture adapter for printed circuit assembly tester
US6677772B1 (en) 2002-08-21 2004-01-13 Micron Technology, Inc. Contactor with isolated spring tips
US6847219B1 (en) 2002-11-08 2005-01-25 Cascade Microtech, Inc. Probe station with low noise characteristics
US6724205B1 (en) 2002-11-13 2004-04-20 Cascade Microtech, Inc. Probe for combined signals
US7250779B2 (en) 2002-11-25 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe station with low inductance path
US6861856B2 (en) 2002-12-13 2005-03-01 Cascade Microtech, Inc. Guarded tub enclosure
US7100273B2 (en) * 2003-03-03 2006-09-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Interconnect validation instruments
US7221172B2 (en) 2003-05-06 2007-05-22 Cascade Microtech, Inc. Switched suspended conductor and connection
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7057404B2 (en) 2003-05-23 2006-06-06 Sharp Laboratories Of America, Inc. Shielded probe for testing a device under test
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
DE202004021093U1 (de) 2003-12-24 2006-09-28 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Aktiver Halbleiterscheibenmessfühler
US8988091B2 (en) 2004-05-21 2015-03-24 Microprobe, Inc. Multiple contact probes
USRE43503E1 (en) 2006-06-29 2012-07-10 Microprobe, Inc. Probe skates for electrical testing of convex pad topologies
US9097740B2 (en) 2004-05-21 2015-08-04 Formfactor, Inc. Layered probes with core
US9476911B2 (en) 2004-05-21 2016-10-25 Microprobe, Inc. Probes with high current carrying capability and laser machining methods
US7759949B2 (en) 2004-05-21 2010-07-20 Microprobe, Inc. Probes with self-cleaning blunt skates for contacting conductive pads
US7659739B2 (en) 2006-09-14 2010-02-09 Micro Porbe, Inc. Knee probe having reduced thickness section for control of scrub motion
US7733101B2 (en) * 2004-05-21 2010-06-08 Microprobe, Inc. Knee probe having increased scrub motion
JP2008502167A (ja) 2004-06-07 2008-01-24 カスケード マイクロテック インコーポレイテッド 熱光学チャック
US7330041B2 (en) 2004-06-14 2008-02-12 Cascade Microtech, Inc. Localizing a temperature of a device for testing
US7368927B2 (en) 2004-07-07 2008-05-06 Cascade Microtech, Inc. Probe head having a membrane suspended probe
KR20070058522A (ko) 2004-09-13 2007-06-08 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 양측 프루빙 구조
US7081869B2 (en) * 2004-10-13 2006-07-25 Research In Motion Limited Test fixture for assembled wireless devices
US7071717B2 (en) * 2004-10-28 2006-07-04 Agilent Technologies, Inc. Universal test fixture
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US7030636B1 (en) 2005-05-02 2006-04-18 Fargo Assembly Company Low pin testing system
US7298153B2 (en) * 2005-05-25 2007-11-20 Interconnect Devices, Inc. Eccentric offset Kelvin probe
US7449899B2 (en) 2005-06-08 2008-11-11 Cascade Microtech, Inc. Probe for high frequency signals
JP5080459B2 (ja) 2005-06-13 2012-11-21 カスケード マイクロテック インコーポレイテッド 広帯域能動/受動差動信号プローブ
US7511517B2 (en) * 2005-11-08 2009-03-31 Qualitau, Inc. Semi-automatic multiplexing system for automated semiconductor wafer testing
US7649367B2 (en) 2005-12-07 2010-01-19 Microprobe, Inc. Low profile probe having improved mechanical scrub and reduced contact inductance
US7312617B2 (en) 2006-03-20 2007-12-25 Microprobe, Inc. Space transformers employing wire bonds for interconnections with fine pitch contacts
US7616019B2 (en) 2006-05-08 2009-11-10 Aspen Test Engineering, Inc. Low profile electronic assembly test fixtures
DE202007018733U1 (de) 2006-06-09 2009-03-26 Cascade Microtech, Inc., Beaverton Messfühler für differentielle Signale mit integrierter Symmetrieschaltung
US7764072B2 (en) 2006-06-12 2010-07-27 Cascade Microtech, Inc. Differential signal probing system
US7723999B2 (en) 2006-06-12 2010-05-25 Cascade Microtech, Inc. Calibration structures for differential signal probing
US7443186B2 (en) 2006-06-12 2008-10-28 Cascade Microtech, Inc. On-wafer test structures for differential signals
US7403028B2 (en) 2006-06-12 2008-07-22 Cascade Microtech, Inc. Test structure and probe for differential signals
US8907689B2 (en) 2006-10-11 2014-12-09 Microprobe, Inc. Probe retention arrangement
US7786740B2 (en) 2006-10-11 2010-08-31 Astria Semiconductor Holdings, Inc. Probe cards employing probes having retaining portions for potting in a potting region
US20080106294A1 (en) * 2006-11-02 2008-05-08 Stephen William Smith Apparatus and method for universal connectivity in test applications
US9766268B2 (en) * 2006-12-21 2017-09-19 Essai, Inc. Contactor with angled spring probes
US11378588B2 (en) 2006-12-21 2022-07-05 Essai, Inc. Contactor with angled depressible probes in shifted bores
US7479794B2 (en) * 2007-02-28 2009-01-20 Sv Probe Pte Ltd Spring loaded probe pin assembly
US7514948B2 (en) 2007-04-10 2009-04-07 Microprobe, Inc. Vertical probe array arranged to provide space transformation
CA2592901C (en) * 2007-07-13 2012-03-27 Martin Blouin Semi-generic in-circuit test fixture
US7876114B2 (en) 2007-08-08 2011-01-25 Cascade Microtech, Inc. Differential waveguide probe
DE102007047269A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-09 Atg Luther & Maelzer Gmbh Vollrasterkassette für einen Paralleltester zum Testen einer unbestückten Leiterplatte, Federkontaktstift für eine solche Vollrasterkassette sowie Adapter für einen Paralleltester zum Testen einer unbestückten Leiterplatte
US7671610B2 (en) * 2007-10-19 2010-03-02 Microprobe, Inc. Vertical guided probe array providing sideways scrub motion
US8723546B2 (en) 2007-10-19 2014-05-13 Microprobe, Inc. Vertical guided layered probe
MY151561A (en) * 2007-12-06 2014-06-13 Test Tooling Solutions M Sdn Bhd Eco contactor
US8230593B2 (en) 2008-05-29 2012-07-31 Microprobe, Inc. Probe bonding method having improved control of bonding material
US7888957B2 (en) 2008-10-06 2011-02-15 Cascade Microtech, Inc. Probing apparatus with impedance optimized interface
WO2010059247A2 (en) 2008-11-21 2010-05-27 Cascade Microtech, Inc. Replaceable coupon for a probing apparatus
US8319503B2 (en) 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test
TWM378573U (en) * 2009-09-15 2010-04-11 Microelectronics Tech Inc Low noise block converter
KR100994219B1 (ko) * 2009-11-04 2010-11-12 리노공업주식회사 반도체 칩 검사용 소켓
US8810460B2 (en) 2009-11-05 2014-08-19 Atc Logistics & Electronics, Inc. Multidimensional RF test fixture and method for securing a wireless device for RF testing
US8907694B2 (en) * 2009-12-17 2014-12-09 Xcerra Corporation Wiring board for testing loaded printed circuit board
US8829937B2 (en) 2011-01-27 2014-09-09 Formfactor, Inc. Fine pitch guided vertical probe array having enclosed probe flexures
CN102495301B (zh) * 2011-11-14 2014-07-09 福建联迪商用设备有限公司 一种pcb板上细间距排针的测试装置及其测试方法
CN103837817B (zh) * 2012-11-26 2016-08-10 昆山威典电子有限公司 Pcb板推块两段式测试结构
US20150054537A1 (en) * 2013-08-22 2015-02-26 Corad Technology Inc. System and method for assembling a probe head
US9274166B2 (en) 2013-08-26 2016-03-01 Fujitsu Limited Pin verification device and method
CN103529252B (zh) * 2013-10-18 2016-09-28 上海华力微电子有限公司 直插式通用电气连接装置
CN103792399A (zh) * 2014-01-15 2014-05-14 中科华核电技术研究院有限公司北京分公司 多路输入输出电路板的测试夹具
CN103983815A (zh) * 2014-04-28 2014-08-13 昆山明创电子科技有限公司 一种pcb板小针测试治具
JP6522634B2 (ja) * 2014-09-19 2019-05-29 日本発條株式会社 プローブユニット
CN107003335B (zh) * 2015-01-04 2020-05-22 金日 接触测试装置
CN104931739B (zh) * 2015-05-27 2017-12-12 苏州市职业大学 一种电路板测试接口的开合装置
US10444260B2 (en) 2016-07-12 2019-10-15 International Business Machines Corporation Low force wafer test probe
US10261108B2 (en) 2016-07-12 2019-04-16 International Business Machines Corporation Low force wafer test probe with variable geometry
CN108427019B (zh) * 2018-03-09 2020-06-09 梅州市展至电子科技有限公司 用于电路板故障检测的治具
US10911841B2 (en) * 2018-06-22 2021-02-02 Kaydon Ring & Seal, Inc. Telemetry unit for high speed shaft assemblies
CN109900932A (zh) * 2019-03-06 2019-06-18 苏州世纪福智能装备股份有限公司 斜针式ict测试夹具及斜针式ict测试夹具中探针的布置方法
CN109975692A (zh) * 2019-04-01 2019-07-05 成都天创精密模具有限公司 一种基于机械手的pcb板取出方法及pcb板抓取治具
CN110058148B (zh) * 2019-05-29 2021-06-15 深圳市凯码时代科技有限公司 转接电路板、转接夹具架构以及相应的电路转接方法
US11619665B2 (en) * 2020-01-07 2023-04-04 International Business Machines Corporation Electrical apparatus having tin whisker sensing and prevention
CN114019354B (zh) * 2021-11-02 2025-01-07 环鸿电子(昆山)有限公司 电路板测试方法
TWI831307B (zh) * 2022-07-26 2024-02-01 思達科技股份有限公司 導板結構及探針陣列
JP2024030660A (ja) * 2022-08-24 2024-03-07 イビデン株式会社 導通検査用治具とプリント配線板の製造方法
KR102901238B1 (ko) * 2022-12-16 2025-12-17 주식회사 피코프리시젼 테스트 장치
US12174241B2 (en) 2022-12-29 2024-12-24 International Business Machines Corporation Apparatus and method for tin whisker isolation and detection
CN117434314B (zh) * 2023-09-11 2024-07-12 法特迪精密科技(苏州)有限公司 一种旋转探针与配套插座的适配装置及方法
CN117330801B (zh) * 2023-10-19 2024-02-20 深圳市兆兴博拓科技股份有限公司 电路板测试装置、调试方法及调试系统

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4230985A (en) * 1978-01-12 1980-10-28 Fairchild Camera And Instrument Corporation Fixturing system
US4321533A (en) * 1979-04-19 1982-03-23 Fairchild Camera & Instrument Corp. Printed circuit board test fixture having interchangeable card personalizers
DE3143768C2 (de) * 1981-11-04 1987-04-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Adapter zur Verbindung von in einer Ebene angeordneten Kontaktpunkten eines Prüflings mit den Anschlüssen einer Prüfeinrichtung
CH658319A5 (en) * 1982-03-30 1986-10-31 Fela E Uhlmann Ag Fuer Gedruck Device for testing a circuit board and method for producing a device for the testing
FR2524649A1 (fr) * 1982-04-02 1983-10-07 Thomson Csf Dispositif de controle de cartes de circuits imprimes
GB2146849B (en) 1983-09-17 1987-08-05 Marconi Instruments Ltd Electrical test probe head assembly
US4535536A (en) 1983-11-03 1985-08-20 Augat Inc. Method of assembling adaptor for automatic testing equipment
US4774462A (en) * 1984-06-11 1988-09-27 Black Thomas J Automatic test system
US4724383A (en) 1985-05-03 1988-02-09 Testsystems, Inc. PC board test fixture
US4799007A (en) * 1985-11-01 1989-01-17 Hewlett-Packard Company Bendable pin board test fixture
DE3539720A1 (de) * 1985-11-08 1987-05-14 Martin Maelzer Adapter fuer ein leiterplattenpruefgeraet
US4884024A (en) * 1985-11-19 1989-11-28 Teradyne, Inc. Test pin assembly for circuit board tester
DE3630548A1 (de) * 1986-09-08 1988-03-10 Mania Gmbh Vorrichtung zum elektronischen pruefen von leiterplatten mit kontaktpunkten im 1/20 zoll-raster
US4818933A (en) * 1986-10-08 1989-04-04 Hewlett-Packard Company Board fixturing system
US4771234A (en) * 1986-11-20 1988-09-13 Hewlett-Packard Company Vacuum actuated test fixture
US4935696A (en) * 1987-04-16 1990-06-19 Teradyne, Inc. Test pin assembly for circuit board tester
US4963822A (en) * 1988-06-01 1990-10-16 Manfred Prokopp Method of testing circuit boards and the like
WO1990006518A1 (en) * 1988-11-28 1990-06-14 Cimm, Inc. Wireless test fixture
US4977370A (en) * 1988-12-06 1990-12-11 Genrad, Inc. Apparatus and method for circuit board testing
US5399982A (en) * 1989-11-13 1995-03-21 Mania Gmbh & Co. Printed circuit board testing device with foil adapter
US5157325A (en) * 1991-02-15 1992-10-20 Compaq Computer Corporation Compact, wireless apparatus for electrically testing printed circuit boards
US5510722A (en) * 1992-12-18 1996-04-23 Tti Testron, Inc. Test fixture for printed circuit boards
US5633598A (en) * 1993-06-23 1997-05-27 Everett Charles Technologies, Inc. Translator fixture with module for expanding test points
US5500606A (en) * 1993-09-16 1996-03-19 Compaq Computer Corporation Completely wireless dual-access test fixture
DE4335841C1 (de) * 1993-10-20 1995-06-01 Siemens Nixdorf Inf Syst Vakuumadapter
US5450017A (en) * 1993-12-03 1995-09-12 Everett Charles Technologies, Inc. Test fixture having translator for grid interface
US5493230A (en) * 1994-02-25 1996-02-20 Everett Charles Technologies, Inc. Retention of test probes in translator fixtures
US5485096A (en) * 1994-04-05 1996-01-16 Aksu; Allen Printed circuit board tester having a test bed with spring probes and easily replaceable switch cards
US5506510A (en) * 1994-05-18 1996-04-09 Genrad, Inc. Adaptive alignment probe fixture for circuit board tester
SE504286C2 (sv) * 1994-06-17 1996-12-23 Reinhold Strandberg Adapter för användning vid en apparat för testning av kretskort
DE19507127A1 (de) * 1995-03-01 1996-09-12 Test Plus Electronic Gmbh Adaptersystem für Baugruppen-Platinen, zu verwenden in einer Prüfeinrichtung
US5663655A (en) 1995-09-22 1997-09-02 Everett Charles Technologies, Inc. ESD protection for universal grid type test fixtures
US5764069A (en) * 1995-10-30 1998-06-09 International Faster Corporation High density grid for testing circuit boards
US5883520A (en) * 1996-06-14 1999-03-16 Star Technology Group, Inc. Retention of test probes in translator fixtures
US5818248A (en) * 1996-07-29 1998-10-06 Delaware Capital Formation, Inc Loaded board test fixture with integral translator fixture for testing closely spaced test sites
US5773988A (en) * 1996-10-29 1998-06-30 Hewlett-Packard Company Standard- and limited-access hybrid test fixture
US6047469A (en) * 1997-11-12 2000-04-11 Luna Family Trust Method of connecting a unit under test in a wireless test fixture

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6194908B1 (en) 1997-06-26 2001-02-27 Delaware Capital Formation, Inc. Test fixture for testing backplanes or populated circuit boards
JP2007271631A (ja) * 2007-06-04 2007-10-18 Mitsubishi Electric Corp ウエハテスト用プローブカード
KR102193447B1 (ko) * 2019-12-09 2020-12-21 (주)티에스이 테스트 소켓
KR20220041716A (ko) * 2020-09-25 2022-04-01 에세, 아이엔씨. 이중 각도 공동을 갖는 집적 회로 디바이스 테스트 툴링

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EP1512978A2 (en) 2005-03-09

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