JPH10188319A - 変形可能ミラーおよびその変形可能ミラーを用いた光記録再生装置 - Google Patents

変形可能ミラーおよびその変形可能ミラーを用いた光記録再生装置

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JPH10188319A
JPH10188319A JP8348427A JP34842796A JPH10188319A JP H10188319 A JPH10188319 A JP H10188319A JP 8348427 A JP8348427 A JP 8348427A JP 34842796 A JP34842796 A JP 34842796A JP H10188319 A JPH10188319 A JP H10188319A
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flexible member
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deformable mirror
light beam
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Shingo Abe
新吾 阿部
Tetsuya Inui
哲也 乾
Koji Matoba
宏次 的場
Noriaki Okada
訓明 岡田
Susumu Hirata
進 平田
Yorishige Ishii
頼成 石井
Hideaki Fujita
英明 藤田
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Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 厚さの異なる２種類の光ディスクの記録再生
を可能とし、小型化、省電力化に有利で、振動や温度変
化などの環境変化に強く、構造および組み立てが簡単な
収差補償器の変形可能ミラーを提供する。 【解決手段】 光線に球面収差を与えることが可能な参
照面を有する参照面基板と、透明で参照面基板の参照面
と対向するように配置された平面基板と、参照面基板と
平面基板との間に配置され表面に反射面を有する可撓性
部材と、可撓性部材を参照面基板の参照面または平面基
板の平面に吸着させる駆動装置とを備え、可撓性部材
は、参照面基板と平面基板との間に挟まれるように固定
され、駆動装置により、参照面基板の参照面または平面
基板の平面に吸着させることにより、反射面によって反
射される光線に与える球面収差を切り替える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば光ディス
クのような光記録再生媒体に対してデータの記録再生を
行う光ピックアップに用いられ、厚さの異なる光ディス
クのデータ記録面に光線を集光させるために光線の球面
収差を補償する収差補償器の変形可能ミラーに関する。
また、その変形可能ミラーを用いた光記録再生装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】新しい光記録再生媒体として、ＤＶＤ
（Digital Versatile Disk）が注目を集めている。ＤＶ
Ｄでは、従来のＣＤよりもディスクの記録密度を上げる
ため、ディスクおよび光記録再生装置の光学系に様々な
変更がなされている。
【０００３】ＤＶＤ用に設定された記録再生装置でＣＤ
の記録再生を行うと、両者のディスク厚の相違（ＤＶ
Ｄ： 0.6mm、ＣＤ： 1.2mm）により球面収差が発生し、
品質の良い記録再生信号が得られなくなる。これを解決
するためには、光学系に球面収差を補正するための機能
を組み込む必要がある。
【０００４】このような球面収差を補正するための収差
補償器としては、特開平５−１５１５９１号公報に記載
のようなものが知られている。一例を挙げると、図２１
に示すような収差補償器が知られており、この収差補償
器６３０では、一対の相補型三角形ブロック６３２、６
３４を有し、ブロック６３４はボイス・コイル・モータ
６３６に取り付けられ、ブロック６３２の表面に沿って
スライドできる。ブロック６３４をブロック６３２に対
して移動させることにより、光線６０２が通過するブロ
ックの合計厚さが調整でき、その結果、光線６０２に与
える球面収差を調整することができる。図中、６１０は
集光レンズ、６１２はデータ記録再生の対象となるディ
スクである。
【０００５】また、図２２に示すような収差補償器が知
られており、この収差補償器７２０では、偏光ビームス
プリッタ７２２と、１／４波長板７２４と、電気制御式
の変形可能ミラー７２６とを有する。偏光ビームスプリ
ッタ７２２に入射した光線７０２は、１／４波長板７２
４を経て、変形可能ミラー７２６により球面収差の調整
をされ、再び１／４波長板７２４を経て、偏光ビームス
プリッタ７２２により、入射方向と垂直な方向に導かれ
る。
【０００６】電気制御式の変形可能ミラー７２６の詳細
は、図２３に示すように、表面にミラー面８００を形成
した変形プレート８０１と、変形プレート８０１の裏側
の数カ所を加圧する圧電アクチュエータ８０２と、変形
プレート８０１および圧電アクチュエータ８０２を固定
するベース基板８０３等からの構成となっている。
【０００７】各圧電アクチュエータ８０２に印加する電
圧を変えることにより、変形プレート８０１を所望の量
だけ変位させ、全体として変形プレート８０１上のミラ
ー面８００を所望の形状に変形させることができ、その
結果、光線７０２がミラー面８００で反射される際に、
光線７０２に与える球面収差を調整することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな収差補償器には以下のような問題がある。まず、図
２１に示した収差補償器６３０では、球面収差の調整に
ボイス・コイル・モータ６３６を用いているため、光記
録再生装置の小型化、省電力化に不利である。
【０００９】また、図２２および図２３に示した収差補
償器７２０では、変形プレート８０１の裏側の数カ所を
圧電アクチュエータ８０２で加圧する構造であるので、
環境の変化、例えば振動や温度変化などにより、ミラー
面８００が所望の形状からずれ易い。さらに、光記録再
生装置で用いる光線７０２の直径は４mm程度であり、変
形プレート８０１の正確な変形形状を実現するには、圧
電アクチュエータ８０２を直径４mmの中に多数備えるこ
とが必要であり、構造および組み立てが複雑になるとと
もに、多数の圧電アクチュエータ８０２の固定や配線の
引回し等で、変形可能ミラー７２６が大きくならざるを
得ず、全体として、光ピックアップ装置の小型化に不利
になる。
【００１０】この発明は、これらの点に鑑みなされたも
ので、小型化、省電力化に有利で、振動や温度変化など
の環境変化に強く、構造および組み立てが簡単な収差補
償器の変形可能ミラーを提供するものである。また、そ
の変形可能ミラーの作製方法を提供するものである。さ
らに、厚さの異なる２種類の光ディスクの記録再生の切
り替えができ、小型化および簡略化に有利な、上記変形
可能ミラーを用いた光記録再生装置を提供するものであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、光線に球面
収差を与えることが可能な第１参照面を有する第１基板
と、透明でかつ光線に第１参照面とは異なる球面収差を
与えることが可能な第２参照面を有しその第２参照面が
第１参照面と対向するように配置された第２基板と、第
１基板と第２基板との間に配置され表面に反射面を有し
かつ第１参照面または第２参照面に吸着可能な可撓性部
材と、可撓性部材を第１参照面または第２参照面に吸着
させる駆動手段とを備え、前記可撓性部材は、第１基板
と第２基板との間に挟まれるように固定され、前記駆動
手段により、第１参照面または第２参照面に吸着させる
ことにより、反射面によって反射される光線に与える球
面収差を切り替えることを特徴とする変形可能ミラーで
ある。
【００１２】すなわち、本発明の変形可能ミラーは、第
１基板と、透明材料からなる第２基板と、表面に反射面
を有する可撓性部材と、可撓性部材を第１参照面または
第２参照面に吸着させる駆動手段から構成されている。
【００１３】第１基板には、光線にある特定の球面収差
を与えることが可能な第１参照面が形成されており、第
２基板には、光線に第１参照面とは異なる球面収差を与
えることが可能な第２参照面が形成されており、第１基
板と第２基板とは、第１参照面と第２参照面とが対向す
るように配置されている。
【００１４】そして、上記可撓性部材は、上記第１基板
と第２基板との間に挟まれるように固定され、上記駆動
手段により、第１参照面、あるいは第２参照面に吸着す
るように変形される。
【００１５】その結果、可撓性部材の反射面も第１参照
面あるいは第２参照面に沿って変形され、反射面によっ
て反射される光線に第１参照面に応じた球面収差と第２
参照面に応じた球面収差とのいずれか一方の球面収差を
与えることができ、第１参照面側と第２参照面側との吸
着を切り換えることにより、光線に与える球面収差を変
化させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】この発明において、第１基板の材
料としては、例えばガラス、あるいは鏡面加工が可能な
金属等を用いることができる。この第１基板には第１参
照面を形成しておく必要があるが、この第１参照面は、
入射される光線に、ある特定の球面収差を与えて反射す
ることが可能な曲面であればよく、この曲面は従来公知
の方法で形成することができる。
【００１７】第２基板は、透明なものであればどのよう
な材料のものを用いてもよく、例えばガラス、ＰＭＭＡ
（ポリメタクリル酸メチル）等を用いることができる。
この第２基板には第２参照面を形成しておく必要がある
が、この第２参照面は、入射される光線に、第１参照面
と異なる球面収差を与えて反射することが可能な曲面で
あればよく、この曲面は、第１参照面と同様に、従来公
知の方法で形成することができる。
【００１８】可撓性部材は、表面に光線を反射可能な反
射面を有するものであればよく、この可撓性部材は、第
１基板と第２基板との間に挟まれて固定される。駆動手
段は、可撓性部材を第１参照面または第２参照面に吸着
させることが可能なものであればよく、例えば静電力、
電磁力、ポンプによる吸引力等の各種の駆動力を用いた
駆動装置を適用することができる。
【００１９】上記変形可能ミラーにおいては、第１基板
の第１参照面を、光線に球面収差を与えることが可能な
第１曲面と、光線を外側に大きく反射させることが可能
な第２曲面との２種類の曲面で構成し、可撓性部材を第
１参照面に吸着させた際、反射面によって反射される光
線の内、中心部に位置する光線は第１曲面により球面収
差を与えて反射させ、外周部に位置する不要な光線は第
２曲面により外側に大きく反射させるようにすることが
できる。
【００２０】また、上記変形可能ミラーにおいては、可
撓性部材に張力を加えた状態で、可撓性部材を第１基板
と第２基板との間に挟着することが望ましい。この場
合、可撓性部材が固定時に熱応力による張力を有するよ
うに、可撓性部材を、第１基板と第２基板の各線膨張係
数よりも大きい線膨張係数を有する材料で構成し、常温
よりも高い硬化温度を有する熱硬化性の接着剤で常温よ
りも高い温度下で第１基板と第２基板との間に挟着する
ようにしてもよい。
【００２１】可撓性部材の固定については、可撓性部材
を、真空中で第１基板と第２基板との間に挟み込むこと
により、大気圧によって第１基板と第２基板との間に挟
着するようにしてもよい。
【００２２】また、可撓性部材と第１基板との接合面、
および第２基板と可撓性部材との接合面を、それぞれガ
ラスと金属で形成し、可撓性部材を、ガラスと金属間に
電圧を印加する陽極接合により第１基板と第２基板との
間に挟着するようにしてもよい。
【００２３】この発明は、また、光源と、光源からの光
線を反射することにより光線に特定の球面収差を与える
収差補償器と、収差補償器によって反射された光線を集
光して光ディスクに照射する集光器と、光ディスクから
反射された光を検出する光検出器と、検出された光を光
信号として処理する信号処理器と、光ディスクの種類を
検知しその検知信号を出力するディスク検知器と、ディ
スク検知器から光ディスクの種類を示す検知信号を受け
る制御器とを備え、前記収差補償器は、請求項１記載の
変形可能ミラーを有し、前記制御器は、ディスク検知器
からの検知信号に応じて変形可能ミラーの駆動手段を制
御することにより、光源からの光線に光ディスクの種類
に応じた球面収差を与えることを特徴とする光記録再生
装置である。以下、図面に示す実施例に基づいてこの発
明を詳述する。なお、これによってこの発明が限定され
るものではない。
【００２４】［実施例１］図１はこの発明の変形可能ミ
ラーの実施例１の構造を示す説明図である。この図に示
すように、本実施例の変形可能ミラー１０は、可撓性部
材１と、図中下側に位置する第１の基板４と、図中上側
に位置する第２の基板６と、駆動手段としての駆動装置
９から構成されている。駆動装置９としては、静電力、
電磁力等の各種の吸着力を生じさせるものが適用可能で
あるが、詳細は後述する。
【００２５】可撓性部材１は、弾性変形が可能で、表面
に光線を反射可能な反射面を有している。基板４には、
可撓性部材１が吸着した場合に、光線に球面収差を与え
ることが可能な第１の参照面４ａが形成されている。基
板６は透明材料でできており、この基板６には、可撓性
部材１が吸着した場合に、光線に球面収差を与えること
が可能な第２の参照面４ｂが形成されている。参照面４
ｂは参照面４ａとは逆向きの曲率を有している。また、
可撓性部材１は、駆動装置９の吸着の切り替えにより、
参照面４ａと参照面４ｂとのいずれか一方へ吸着するよ
うになっている。
【００２６】図２は可撓性部材の吸着状態を示す説明図
である。この図に示すように、変形可能ミラー１０は、
光線へ与える球面収差を切り替えることが可能である。
図２（ａ）は駆動装置９により、可撓性部材１が参照面
４ｂに倣って吸着している状態である。このとき、入射
してきた光線Ｌは、参照面４ｂの曲面に応じた球面収差
が与えられて反射される。
【００２７】図２（ｂ）は駆動装置９により、可撓性部
材１が参照面４ａに倣って吸着している状態である。こ
のとき、入射してきた光線Ｌは、参照面４ａの曲面に応
じた球面収差が与えられて反射される。すなわち、光線
Ｌは、図２（ａ）とは異なる球面収差が与えられて反射
される。
【００２８】このように、駆動装置９により、可撓性部
材１の吸着面の切り替えを行うだけで、光線Ｌへ与える
球面収差を切り替えることができる。また、可撓性部材
１をいずれかの参照面へ吸着させる構造であるため、可
撓性部材１が振動や温度変化などの環境変化により変形
することがない。さらに、可撓性部材１が基板４と基板
６との間に挟まれるように固定されているだけなので、
構造、組み立てが簡単である。そして、透明材料ででき
た基板６が凹レンズの役割をするため、参照面４ａで光
線Ｌに対して球面収差を与える時、参照面４ａの曲率が
小さくてすみ、可撓性部材１と参照面４ａとのギャップ
が小さくなるため、可撓性部材１を参照面４ａに吸着さ
せる際のエネルギーが小さくてすむ。
【００２９】［実施例２］図３はこの発明の変形可能ミ
ラーの実施例２の構造を示す説明図である。この実施例
では、図中上側に位置する第２の基板６には参照面４ｂ
が形成されておらず、基板６が平面基板となっている。
このように、基板４と基板６とは、どちらか一方が平面
基板であってもよい。また、この実施例では、駆動装置
９として、静電力によって吸着力を生じさせる装置を用
いたものを示した。
【００３０】本実施例の変形可能ミラー２０は、可撓性
部材１と、基板４と、平面基板６と、吸着用の制御電源
９ａと、可撓性部材用の電源９ｂから構成されている。
制御電源９ａと電源９ｂは、実施例１で示した駆動装置
９に相当するものである。
【００３１】可撓性部材１は、弾性変形可能な絶縁膜２
と電極３から構成されており、電極３は反射面の役目も
兼ねている。基板４には、可撓性部材１が吸着したとき
に、光線に球面収差を与えることが可能な参照面４ａが
形成されており、その表面には電極５が設けられてい
る。平面基板６は透明材料でできており、その表面には
透明材料でできた電極７、絶縁層８が設けられている。
【００３２】電極３は電源９ｂに接続されており、本実
施例では常に正の電圧が印加されている。電極５、電極
７は制御電源９ａに接続されており、正、負の電圧印加
の制御がなされる。
【００３３】本実施例の変形可能ミラー２０は、前述の
変形可能ミラー１０の効果に加えて、モータなどを用い
ることなく、電圧の印加による静電力を用いて、可撓性
部材の参照面、平面への吸着の切り替えを行うことがで
き、光線に球面収差を与えたり、与えなかったりするこ
とができるため、装置の小型化、省電力化に有利であ
る。
【００３４】また、前述の変形可能ミラー１０とは異な
り、一方の基板が平面基板であり、高い加工精度の曲面
を必要とする参照面がないため、コストダウンが可能で
ある。
【００３５】図４は変形可能ミラー２０の吸着駆動の方
法を示す説明図である。図４（ａ）は制御電源９ａによ
り、電極５に正の電圧が印加され、電極７に負の電圧が
印加されている状態である。このとき、電極３には常に
正の電圧が印加されているので、静電力により、電極３
と電極５の間には斥力が働き、電極３と電極７の間には
引力が働くので、可撓性部材１は平面基板６に吸着す
る。
【００３６】図４（ｂ）は制御電源９ａにより、電極５
に負の電圧が印加され、電極７に正の電圧が印加されて
いる状態である。この時には、電極３と電極５の間には
引力が働き、電極３と電極７の間には斥力が働くので、
可撓性部材１は基板４に吸着する。
【００３７】このように、制御電源９ａの正、負の電圧
印加の制御により、可撓性部材１の吸着面の切り替えを
行い、可撓性部材１の反射面の形状を変化させることに
より、光線Ｌに球面収差を与えたり、与えなかったりす
ることができる。
【００３８】なお、本実施例では、電極５と電極７の双
方に電圧を印加し、可撓性部材１に引力と斥力とを同時
に生じさせていたが、電極５と電極７のいずれか一方だ
けに電圧を印加し、引力または斥力のいずれかだけを可
撓性部材１に働かせることもできる。
【００３９】図５は変形可能ミラー２０の作製方法を示
す説明図である。可撓性部材１、基板４、平面基板６
は、それぞれ図５（ａ）に示すように作製する。すなわ
ち、可撓性部材１の絶縁膜２は、例えば厚さ５μｍのポ
リイミドからできており、表面には電極３が、例えば厚
さ１０００Åのアルミで成膜されており、この電極３が
反射面の役目も兼ねる。
【００４０】絶縁膜２の材料としては、エポキシ樹脂や
シリコン樹脂等も用いることができ、その厚さは、１〜
１０μｍの範囲であればよい。電極３の材料としては、
ＩＴＯやニッケル等も用いることができ、その成膜の厚
さは、５００〜５０００Åの範囲であればよい。
【００４１】基板４は、例えば直径１０mm、厚さ３mmの
ガラスでできており、表面には光線に球面収差を与える
ことができる参照面４ａが形成されている。基板４の表
面、および側面には、斜線部で示す部分に、例えば厚さ
１０００Åのアルミが成膜、パターニングされており、
それぞれ電極５、配線パッド５ａ、スペーサ層５１を形
成する。配線パッド５ａは、制御電源９ａからのリード
線を接続するためのものであり、スペーサ層５１は、可
撓性部材１との接合性を良くするためのものである。
【００４２】基板４の材料としては、鏡面加工が可能な
金属等も用いることができ、その大きさは適用する装置
に応じて適当に設定することができる。電極５、配線パ
ッド５ａ、スペーサ層５１の材料としては、電極３と同
じ材料を用いたが、電極３と同様にＩＴＯやニッケル等
も用いることができ、その成膜の厚さは、５００〜５０
００Åの範囲であればよい。
【００４３】平面基板６は、例えば直径１０mm、厚さ３
mmの透明なＢＫ７（ガラス材料）でできており、表面お
よび側面には、斜線部で示す部分に、例えば厚さ１００
０Åの透明なＩＴＯが成膜、パターニングされており、
それぞれ電極７、配線パッド３ａ、配線パッド７ａ、ス
ペーサ層５２を形成する。
【００４４】配線パッド３ａは、電極３との導通をはか
り電源９ｂからのリード線を接続するために設けられて
いる。配線パッド７ａは、制御電源９ａからのリード線
を接続するためのものであり、スペーサ層５２は、可撓
性部材１との接合性を良くするためのものである。
【００４５】平面基板６の表面には、絶縁層８が、例え
ば厚さ５０００ÅのＳｉＯ2 により成膜されており、可
撓性部材１との接合の際、電極３と接触しないようにな
っている。
【００４６】平面基板６の材料としては、透明であれば
よく、ＰＭＭＡ等も用いることができ、その大きさは適
用する装置に応じて適当に設定することができる。電極
７、配線パッド３ａ、配線パッド７ａ、スペーサ層５２
の材料としては、透明であればよく、ＳｎＯ2 等も用い
ることができ、その成膜の厚さは、５００〜５０００Å
の範囲であればよい。絶縁層８の材料としては、Ｓｉ3
Ｎ4 やＴａ2Ｏ5 等も用いることができ、その膜厚は、
１０００〜５０００Åの範囲であればよい。
【００４７】上記の可撓性部材１、基板４、平面基板６
は、図中、矢印で示す方向から、図５（ｂ）に示すよう
に接合する。すなわち、基板４のスペーサ層５１と、平
面基板６のスペーサ層５２上の絶縁層８に、例えば接着
剤を薄く塗り、可撓性部材１を挟み込むように接合を行
う。
【００４８】そして、電極３と配線パッド３ａとの間
を、例えばハンダ５３により導通をとり、配線パッド３
ａには電源９ｂのリード線を接続し、配線パッド５ａ、
配線パッド７ａには制御電源９ａのリード線を接合す
る。こうすることにより、所望の変形可能ミラー２０を
作製することができる。
【００４９】図６は変形可能ミラーの接合方法の具体例
１を示す説明図である。この変形可能ミラー２０は、接
合時に可撓性部材１に張力Ｐを負荷している。それ以外
は、変形可能ミラー２０と同じ構造、吸着駆動の方法、
作製方法である。
【００５０】可撓性部材１への張力Ｐの負荷方法は、図
に示すように、可撓性部材１の周縁部を数カ所クランプ
し、適度な力で引っ張れば良い。この変形可能ミラー２
０では、可撓性部材１に張力Ｐを負荷しているため、可
撓性部材を参照面、または平面へ吸着させる時、可撓性
部材にしわがよりにくくなり、所望の面を精度良く形成
することができる。
【００５１】また、実施例１で示した変形可能ミラー１
０のように、それぞれ異なる曲率の参照面４ａ，４ｂを
持つ２種類の基板４，６を用いている場合、可撓性部材
１は、参照面４ａに吸着しているとき、参照面４ｂに吸
着しているとき、および張力により平面を保っていると
き、の３種類の形状を選択することができる。すなわ
ち、光線に与える球面収差を３種類に切り替えることが
できるため、３種類の厚さの異なるディスクの記録再生
を行うことができる。
【００５２】図７は変形可能ミラーの接合方法の具体例
２を示す説明図である。この変形可能ミラー２０は、接
合時に常温よりも高い温度で接合する。それ以外は、変
形可能ミラー２０と同じ構造、吸着駆動の方法、作製方
法である。
【００５３】この接合方法では、常温よりも高い温度で
硬化する熱硬化性の接着剤５５を用い、可撓性部材１の
線膨張係数α１が、基板４の線膨張係数α２、平面基板
６の線膨張係数α３よりも大きいものを用いる（α１＞
α２，α３）。そして、常温よりも高い温度で接合を行
い、熱応力により可撓性部材１に張力を与えるものであ
る。
【００５４】すなわち、可撓性部材１、基板４、平面基
板６を常温よりも高い温度にすると、可撓性部材１の線
膨張係数α１が、基板４、平面基板６の線膨張係数α
２、α３よりも大きいため、可撓性部材１のほうが基板
４、平面基板６よりも大きく伸びる。この状態で接着剤
５５が硬化し、接合が行われる。そして接合を終えた変
形可能ミラーを常温に戻すと、可撓性部材１、基板４、
平面基板６は元の伸びのない状態に戻ろうとする。しか
し可撓性部材１はすでに接合されており、基板４、平面
基板６の板厚は可撓性部材１よりも非常に大きいため、
大きく伸びた可撓性部材１は元の状態には復帰できず、
伸びが残ったままの状態、すなわち熱応力により張力が
与えられた状態となる。
【００５５】この変形可能ミラー２０では、可撓性部材
１に張力を負荷する際、可撓性部材１の周縁をクランプ
する必要がないので、簡易な作製装置で作製を行うこと
ができる。
【００５６】図８は変形可能ミラーの接合方法の具体例
３を示す説明図である。この変形可能ミラー２０は、可
撓性部材１、基板４、平面基板６を真空中で接合する。
それ以外は、変形可能ミラー２０と同じ構造、吸着駆動
の方法、作製方法である。
【００５７】接合に際しては、可撓性部材１、基板４、
平面基板６を真空室５６内に入れ、ポンプ２１で真空室
５６を真空にする。この状態で可撓性部材１、基板４、
平面基板６の位置決めを行い、真空室５６を大気圧に戻
す。すると、可撓性部材１が変形する空間が真空を保っ
ているため、可撓性部材１、基板４、平面基板６の接合
を行うことができる。
【００５８】この変形可能ミラー２０では、接着剤を用
いずに変形可能ミラーの接合を行っているため、可撓性
部材１と基板４の距離、および可撓性部材１と平面基板
６の距離が接着剤により増えることがない。したがっ
て、可撓性部材の吸着に必要な駆動電圧が増えずにす
む。さらに、可撓性部材の参照面、平面への吸着の切り
替えを行う際、可撓性部材が変形する空間が真空を保っ
ており、空気が内部に圧縮されることがないので、可撓
性部材の変形をスムーズに行うことができる。
【００５９】図９は変形可能ミラーの接合方法の具体例
４を示す説明図である。この変形可能ミラー２０は、可
撓性部材１、基板４、平面基板６を陽極接合する。それ
以外は、変形可能ミラー２０と同じ構造、吸着駆動の方
法、作製方法である。
【００６０】陽極接合とは、高温中でガラスと金属に電
圧を印加し、ガラスと金属を接合する方法である。例え
ば、図５の（ａ）および（ｂ）に示した変形可能ミラー
２０では、平面基板６の可撓性部材１と対向する表面は
ＳｉＯ2 （絶縁層８）であり、可撓性部材１の平面基板
６と対向する表面はアルミ（電極３）であるので、可撓
性部材１と平面基板６とを陽極接合により接合すること
が可能である。また、基板４の可撓性部材１と対向する
表面はアルミ（電極５）であるので、可撓性部材１の基
板４と対向する表面にガラス面５７を設ける（ＳｉＯ2
成膜、または薄ガラス板貼付）ことにより、可撓性部材
１と基板４を陽極接合により接合することが可能であ
る。
【００６１】この変形可能ミラー２０では、接着剤を用
いずに変形可能ミラーの接合を行っているため、可撓性
部材１と基板４の距離、および可撓性部材１と平面基板
６の距離が接着剤により増えることがない。したがっ
て、可撓性部材の吸着に必要な駆動電圧が増えずにす
む。
【００６２】［実施例３］図１０はこの発明の変形可能
ミラーの実施例３の構造を示す説明図である。本実施例
の変形可能ミラー３０は、図中下側に位置する第１の基
板４に曲率の異なる参照面４ａと参照面４ｃとが形成さ
れている。内側の参照面４ａは光線に球面収差を与え、
外側の参照面４ｃはアパーチャーの役割をする。その他
の構造、吸着駆動の方法、作製方法は、変形可能ミラー
２０と同じである。
【００６３】以下、外側の参照面４ｃがアパーチャーの
役割をする理由を説明する。図１１は変形可能ミラー３
０が光線を反射している状態を示す説明図である。図１
１（ａ）は可撓性部材１が平面を保っている状態であ
る。このとき、可撓性部材１に対して垂直に入射した光
線Ｌは、そのまま垂直に反射される。
【００６４】図１１（ｂ）は可撓性部材１が参照面４ａ
と参照面４ｃとに吸着しているときの状態である。この
とき、参照面４ａに倣って吸着している可撓性部材１に
入射した光線Ｌには球面収差が与えられる。しかし、参
照面４ｃに倣って吸着している可撓性部材１に入射した
光線Ｌは、図に示すように、外側に反射され、さらに平
面基板６により光線Ｌが外側に屈折し、外側に大きく蹴
られる。
【００６５】このため、例えば、この変形可能ミラーを
ＤＶＤとＣＤとの両方の記録再生が可能な光記録再生装
置に適用して球面収差の補正を行うようにした場合、不
要な光を外側に大きくけり、ディスクの記録再生に無関
係なものとすることができる。すなわち、参照面４ｃは
光線を外側に大きく蹴る、アパーチャーの役割をする。
【００６６】このように、本実施例の変形可能ミラー３
０は、実施例２の変形可能ミラー２０の効果に加えて、
可撓性部材１を基板４に吸着させた際、不要部分の光線
を外側に大きく蹴るアパーチャーの役割も兼ねるので、
上述のように光記録再生装置に適用した場合でも、新た
にアパーチャーを設ける必要がなく、装置の小型化、構
造の簡略化、コストダウンに有利である。
【００６７】また、平面基板６により光線が外側に屈折
するため、光線を十分に外側に蹴るのに必要な参照面４
ｃの曲率を小さくでき、可撓性部材１と参照面４ｃとの
ギャップを小さくできるので、可撓性部材１を参照面４
ａ，４ｃに吸着させる際の電圧を小さくすることができ
る。本実施例では、図中上側に位置する第２の基板６に
平面基板を用いているが、基板６に光線を外側に屈折で
きる曲面を持つ基板を用いてもよい。
【００６８】図１２は吸着駆動時の電圧値を計算するた
めの説明図であり、変形可能ミラー２０，３０におい
て、可撓性部材１の吸着面の切り替えを行う際の駆動電
圧について、具体的な数値計算を行うためのものであ
る。
【００６９】例えば、ＤＶＤの記録再生を行う光学系
で、ＣＤの記録再生を行った場合、両者のディスク厚の
違いにより、ＣＤの記録再生時に球面収差が発生する。
以下の数値計算例では、対物レンズの焦点距離を3.3m
m、ＣＤの屈折率を1.58、ＣＤの厚さを1.2mmとしてい
る。
【００７０】変形可能ミラー２０では、発生した球面収
差を補正するための参照面４ａは、中心からｒ（mm）の
距離の形状が次式ｆ（ｒ）（μｍ）の曲面を有するもの
となる。 ｆ（ｒ）＝3.3168×10-2・ｒ6−3.9542×10-3・ｒ4−0.
505・ｒ2
【００７１】可撓性部材１の材質をポリイミドとする
と、可撓性部材１と参照面４ａとの間に働く力Ｆは、次
式で与えられる。 Ｆ＝（Ｖ2ε1 2ε2Ｓ）／｛２（ε1ｄ2＋ε2ｄ1）2｝ ただし、ε1：可撓性部材１の誘電率＝4.5×10-11Ｆ／
ｍ ε2：真空中の誘電率＝8.85×10-12Ｆ／ｍ ｄ1：可撓性部材１の厚さ＝５μｍ ｄ2：可撓性部材１と参照面との距離 Ｖ：電圧 Ｓ：電圧のかかる面積＝３０．２mm2
【００７２】可撓性部材１と参照面４ａとの距離ｄ
2は、上式ｆ（ｒ）により与えられ、周縁に行くほど距
離が大きくなるため（最大で0.8μｍほど）、可撓性部
材１と参照面４ａとの間に働く力Ｆは、図に示すように
中心で最も大きく、周縁に行くほど小さい分布となり、
力の大きさは電圧の２乗に比例する。
【００７３】このような分布の力が可撓性部材１に働い
ているときの、可撓性部材１が参照面４ａに完全に吸着
するのに必要な電圧はシミュレーションにより求める。
シミュレーションで用いた可撓性部材１のヤング率Ｅ、
ポアソン比νはそれぞれ以下の通りである。 Ｅ：3.5ＧＰａ ν：0.39 吸着に必要な電圧はシミュレーションにより求めると、
それは僅か３Ｖほどである。
【００７４】次に、変形可能ミラー３０では、参照面４
ａ，４ｃの曲面形状の式はそれぞれ以下のものであると
する。 参照面４ａ：曲率半径96.412mmの球面 参照面４ｃ：ｆ（ｒ）＝8.4093×10-3・ｒ2＋3.4017×1
0-3・ｒ4−5.8817×10-4・ｒ6＋5.1565×10-5・ｒ8−1.
7408×10-6・ｒ10
【００７５】可撓性部材１が参照面４ａに完全に吸着す
るのに必要な電圧をシミュレーションにより求めると、
それはおよそ５０Ｖである。変形可能ミラー２０に比べ
高い電圧を必要とするのは、以下のような理由による。
【００７６】すなわち、光線をディスクの記録再生に支
障が出ないように蹴るためには、参照面４ｃを、光線に
垂直な面に対し、ある程度角度のある曲面形状としなけ
ればならない。また、参照面４ａ，４ｃの境界部が極端
に不連続すぎると、可撓性部材１の参照面４ａ，４ｃへ
の吸着がスムーズに行えないため、参照面４ａもある程
度曲率を持たせる必要がある。その結果、可撓性部材１
と参照面との距離が大きくなり（最大で５μｍほど）、
可撓性部材１を参照面に吸着するのに変形可能ミラー２
０よりも高い電圧が必要となる。
【００７７】このように、本発明の変形可能ミラー２
０，３０は、モータなどを用いることなく、大きくとも
５０Ｖ程度の電圧の印加で、可撓性部材の参照面、平面
への吸着の切り替えを行うことができ、光線に球面収差
を与えたり、与えなかったりすることができるため、装
置の小型化、省電力化に有利である。
【００７８】［実施例４］図１３はこの発明の変形可能
ミラーの実施例４の構造を示す説明図である。本実施例
の変形可能ミラー４０は、図１３（ａ）に示す構造とな
っており、可撓性部材１の絶縁膜２、つまり可撓性部材
１の反射面の反対面に、図１３（ｂ）に示すようなパタ
ーンのハーフエッチング溝１ａを施してある。その他の
構造、吸着駆動の方法、作製方法は、変形可能ミラー２
０，３０と同じである。
【００７９】本実施例の変形可能ミラー４０は、可撓性
部材にハーフエッチング溝を施しているので、可撓性部
材の参照面、平面への吸着の切り替えを行う際、空気が
ハーフエッチング溝を通って、変形可能ミラーの外部に
出入し、空気が内部に圧縮されることがないので、可撓
性部材の変形をスムーズに行うことができる。
【００８０】［実施例５］図１４はこの発明の変形可能
ミラーの実施例５の構造を示す説明図である。本実施例
の変形可能ミラー５０は、図１４（ａ）に示す構造とな
っており、可撓性部材１の所々に、図１４（ｂ）に示す
ように、光線が反射する際に、記録再生に支障がでない
程度に微小な空気穴１ｂが設けられている。その他の構
造、吸着駆動の方法、作製方法は、変形可能ミラー２
０，３０と同じである。空気穴１ｂは、パンチング、ま
たはエッチングで作製する。
【００８１】本実施例の変形可能ミラー５０は、可撓性
部材の所々に微小な空気穴を設けているので、可撓性部
材の参照面、平面への吸着の切り替えを行う際、空気が
可撓性部材の反対側に抜けていき、空気が内部に圧縮さ
れることがないので、可撓性部材の変形をスムーズに行
うことができる。
【００８２】［実施例６］図１５はこの発明の変形可能
ミラーの実施例６の構造を示す説明図である。本実施例
の変形可能ミラー６０は、基板４の参照面４ａに、同心
円状の溝部４ｄが数カ所形成されている。その他の構
造、吸着駆動の方法、作製方法は、変形可能ミラー２
０，３０と同じである。
【００８３】本実施例の変形可能ミラー６０は、基板４
の数カ所に同心円状の溝部４ｄを設けているので、可撓
性部材の参照面、平面への吸着の切り替えを行う際、空
気がこの溝部に溜まり、空気が内部に圧縮されることが
ないので、可撓性部材の変形をスムーズに行うことがで
きる。
【００８４】［実施例７］図１６はこの発明の変形可能
ミラーの実施例７の構造を示す説明図である。本実施例
の変形可能ミラー７０は、基板４に貫通穴４ｅが形成さ
れている。その他の構造、吸着駆動の方法、作製方法
は、変形可能ミラー２０，３０と同じである。
【００８５】本実施例の変形可能ミラー７０は、基板４
に貫通穴４ｄを設けているので、可撓性部材の参照面、
平面への吸着の切り替えを行う際、空気がこの貫通穴を
通って、変形可能ミラーの外部に出入し、空気が内部に
圧縮されることがないので、可撓性部材の変形をスムー
ズに行うことができる。
【００８６】［実施例８］これまで説明した変形可能ミ
ラー２０，３０，４０，５０，６０，７０では、可撓性
部材の駆動装置９として静電力によって吸着を行うもの
を示したが、駆動装置９はこれに限るものではない。以
下に、静電力以外で吸着行う駆動装置９を有する変形可
能ミラーの例を示す。
【００８７】まず、電磁力によって吸着を行う駆動装置
９を用いた例を説明する。図１７はこの発明の変形可能
ミラーの実施例８の構造を示す説明図である。本実施例
の変形可能ミラー８０は、可撓性部材１と、基板４と、
平面基板６と、電源９ｃと、電磁コイル１８ａ，１８ｂ
から構成されている。
【００８８】可撓性部材１は、弾性変形可能な磁性材料
からなり、必要に応じて表面に反射面を設ける。基板４
には、可撓性部材１が吸着したときに、光線に球面収差
を与えることができる参照面４ａが形成されている。そ
して、この基板４には、図に示すように電磁コイル１８
ａが取り付けられている。
【００８９】平面基板６は透明材料でできており、図に
示すように電磁コイル１８ｂが取り付けられている。電
源９ｃは、電磁コイル１８ａ，１８ｂに接続されてお
り、スイッチにより電流の通電、停止の切り替えを行う
ことができる。
【００９０】電磁コイル１８ｂ側に電流の通電が行われ
ているときには、電磁コル１８ｂに磁界が発生し、磁性
材料でできた可撓性部材１を平面基板６に吸着させる。
電流の通電が電磁コイル１８ａ側に切り替わると、電磁
コイル１８ｂに発生していた磁界が消え、電磁コイル１
８ａに磁界が発生し、可撓性部材１を基板４に吸着させ
る。
【００９１】このように、電磁コイル１８ａ，１８ｂへ
の通電の切り替えによって、可撓性部材１の吸着面の切
り替えを行い、反射面の形状を変化させることにより、
光線に球面収差を与えたり、与えなかったりすることが
できる。
【００９２】本発明の変形可能ミラー８０は、駆動装置
９にモータなどを用いず、電磁力を利用したものを用い
ているため、装置の小型化、省電力化に有利である。ま
た、静電力を利用しないため、電極や絶縁層を設ける必
要がなく、構造が簡単であり、変形可能ミラーの作製時
間の短縮化を図ることができる。
【００９３】［実施例９］次に、ポンプによって吸着を
行う駆動装置９を用いた例を説明する。図１８はこの発
明の変形可能ミラーの実施例９の構造を示す説明図であ
る。本実施例の変形可能ミラー９０は、可撓性部材１
と、参照面４ａおよび貫通穴４ｆを有する基板４と、平
面基板６と、減圧および加圧の可能なポンプ２２と、接
続管２３から構成されており、それぞれ図示のように配
置されている。
【００９４】そして、ポンプ２２の減圧、加圧の切り替
えによって、可撓性部材１の吸着面の切り替えを行い、
光線に球面収差を与えたり、与えなかったりすることが
できる。
【００９５】本発明の変形可能ミラー９０は、駆動装置
９にポンプを用いているため、可撓性部材１を基板４ま
たは平面基板６へ、強く吸着または圧着することがで
き、温度変化などの環境変化に非常に強い変形可能ミラ
ーとすることができる。
【００９６】［実施例１０］次に、実施例１０として、
本発明の変形可能ミラーを用いたピックアップ装置の例
を示す。図１９は本発明の変形可能ミラーを用いたピッ
クアップ装置の構成を示す説明図である。本ピックアッ
プ装置１００は、本発明の変形可能ミラー３０と、ＤＶ
Ｄ６０ａまたはＣＤ６０ｂに光を集光させる対物レンズ
６１と、光線平行化レンズ６２と、ホログラム６４と、
半導体レーザ６５と、信号検出器６６と、λ／４波長板
６７と、偏光ビームスプリッタ６９とから構成されてお
り、図に示すように配置されている。
【００９７】このピックアップ装置１００は、変形可能
ミラー３０の可撓性部材１が平面基板６側に吸着されて
いるときにはＤＶＤ６０ａの記録面に光が集光され、可
撓性部材１が基板４側に吸着されているときにはＣＤ６
０ｂの記録面に光が集光されるように設計されている。
【００９８】図１９（ａ）はＤＶＤ６０ａの記録再生時
の状態を示している。ＤＶＤ記録再生時には、変形可能
ミラー３０の可撓性部材１は平面基板６側に吸着されて
いる。半導体レーザ６５から照射された光線は、図示の
光路をたどり、ＤＶＤ６０ａの記録面に達する。そし
て、読み取った記録再生信号は逆の光路をたどり、ホロ
グラム６４に達し、０次光と１次光に分割され、そのう
ちの１次光が信号検出器６６により検出される。
【００９９】図１９（ｂ）はＣＤ６０ｂの記録再生時の
状態を示している。ＣＤ記録再生時には、変形可能ミラ
ー３０の可撓性部材１は基板４側に吸着されている。半
導体レーザ６５から照射された光線は、変形可能ミラー
３０で反射される。このとき、光線に対して、ＤＶＤ、
ＣＤのディスク厚の違いにより発生する球面収差を補正
するための球面収差が与えられ、かつ、不要部分の光線
が外側に蹴られる。そして、図示の光路をたどり、ＣＤ
６０ｂの記録面に達し、読み取った記録再生信号は逆の
光路をたどり、ホログラム６４に達し、分割された１次
光が信号検出器６６により検出される。
【０１００】このように、本ピックアップ装置１００
は、変形可能ミラー３０の切り替えを行うだけで、ディ
スク厚の異なるＤＶＤ、ＣＤの記録面への光線の集光の
切り替えを行うことができる。またその構造も、従来の
ピックアップ装置の光路上に変形可能ミラー３０を設置
するだけであるので、ピックアップ装置の小型化、簡略
化が可能であり、かつ従来からのピックアップ装置の製
造方法へのマッチングが良く、従来のピックアップ装置
の生産ラインに大幅な変更をする必要がない。さらに、
変形可能ミラー３０がアパーチャーの役割を兼ねている
ため、アパーチャー、およびアパーチャーの出し入れを
行うアクチュエータが不要となり、ピックアップ装置の
さらなる小型化、簡略化が可能であり、光記録再生装置
の小型化、省電力化に有利となる。
【０１０１】本実施例では、アパーチャーの機能を備え
た変形可能ミラー３０を用いているが、アパーチャーの
機能を備えていない変形可能ミラーを用いることも、も
ちろん可能である。ただしその場合、光路上にアパーチ
ャーを別に設ける必要がある。
【０１０２】［実施例１１］次に、実施例１１として、
実施例１０のピックアップ装置１００を用いた光記録再
生装置の例を示す。
【０１０３】図２０は実施例１０のピックアップ装置を
用いた光記録再生装置の構成を示す説明図である。本実
施例の光記録再生装置１１０は、ＤＶＤ６０ａまたはＣ
Ｄ６０ｂに対してデータの記録再生を行う実施例１０の
ピックアップ装置１００と、変形可能ミラー３０に対し
て吸着用の電圧を印加する制御電源９ａと、ディスクの
種類を検知するディスク種類検知装置５０１と、システ
ム制御装置５０２と、サーボ回路５０３と、リニアモー
タ５０４と、ディスクを回転させるモータ５０５と、制
御信号発生器５０６と、信号処理装置５０６から構成さ
れている。
【０１０４】ここでは、ディスクの種類の変化により、
変形可能ミラー３０の可撓性部材の吸着方向を切り替え
るシステムを中心に説明する。ＤＶＤ６０ａ、ＣＤ６０
ｂの切り替えが行われると、この切り替えがディスク種
類検知装置５０１により検知される。ディスクの切り替
えを検知したディスク種類検知装置５０１は、その情報
を、光記録再生装置のシステム全体の制御を行うシステ
ム制御装置５０２に送る。
【０１０５】この情報を受けたシステム制御装置５０２
は、その情報を、変形可能ミラー３０への電圧印加の制
御を行う制御電源９ａ、リニアモータ５０４を制御する
サーボ回路５０３、および制御信号発生器５０６へ送
る。
【０１０６】制御電源９ａでは、受けた情報に基づき、
変形可能ミラー３０への電圧印加が切り替えられて、可
撓性部材の吸着方向が切り替えられ、それにより、光線
に与える球面収差の切り替えが行われる。
【０１０７】これと同時に、リニアモータ５０４によ
り、対物レンズ６１が移動させられて、切り替えられた
ディスクに光の焦点が合わされ、制御信号発生器５０６
により、半導体レーザ６５へ光照射の指示が行われる。
【０１０８】このように、本実施例の光記録再生装置１
１０は、ディスクの切り替えに伴う、光線に与える球面
収差の切り替えをすべて信号処理のみで行っており、機
械的駆動を伴うアクチュエータを用いていないため、光
記録再生装置の小型化、省電力化に有利である。
【０１０９】また、その構造も、従来の光記録再生装置
に、前述のピックアップ装置、およびディスク種類検知
装置を設置するだけであるので、光記録再生装置の構成
の簡略化が可能であり、かつ従来からの光記録再生装置
の製造方法へのマッチングが良く、従来の光記録再生装
置の生産ラインを大幅に変更する必要がない。
【０１１０】
【発明の効果】この発明によれば、可撓性部材が第１基
板と第２基板との間に挟まれるように固定されているだ
けであるので、構造、組み立てが簡単である。また、可
撓性部材が駆動手段により第１参照面、あるいは第２参
照面に吸着するように変形するので、振動や温度変化な
どの環境変化に強い。さらに、本発明の変形可能ミラー
を用いてピックアップ装置や光記録再生装置を作製する
場合、従来の装置の構成に、変形可能ミラー、および幾
つかの変形可能ミラーの制御システムを設けるだけであ
るので、従来の製造方法へのマッチングが良く、従来の
装置の生産ラインに大幅な変更をする必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の変形可能ミラーの実施例１の構造を
示す説明図である。
【図２】実施例１の可撓性部材の吸着状態を示す説明図
である。
【図３】この発明の変形可能ミラーの実施例２の構造を
示す説明図である。
【図４】実施例２の変形可能ミラーの吸着駆動の方法を
示す説明図である。
【図５】実施例２の変形可能ミラーの作製方法を示す説
明図である。
【図６】実施例２の変形可能ミラーの接合方法の具体例
１を示す説明図である。
【図７】実施例２の変形可能ミラーの接合方法の具体例
２を示す説明図である。
【図８】実施例２の変形可能ミラーの接合方法の具体例
３を示す説明図である。
【図９】実施例２の変形可能ミラーの接合方法の具体例
４を示す説明図である。
【図１０】この発明の変形可能ミラーの実施例３の構造
を示す説明図である。
【図１１】実施例３の変形可能ミラーが光線を反射して
いる状態を示す説明図である。
【図１２】可撓性部材の吸着駆動時の電圧値を計算する
ための説明図である。
【図１３】この発明の変形可能ミラーの実施例４の構造
を示す説明図である。
【図１４】この発明の変形可能ミラーの実施例５の構造
を示す説明図である。
【図１５】この発明の変形可能ミラーの実施例６の構造
を示す説明図である。
【図１６】この発明の変形可能ミラーの実施例７の構造
を示す説明図である。
【図１７】この発明の変形可能ミラーの実施例８の構造
を示す説明図である。
【図１８】この発明の変形可能ミラーの実施例９の構造
を示す説明図である。
【図１９】本発明の変形可能ミラーを用いたピックアッ
プ装置の構成を示す説明図である。
【図２０】本発明の変形可能ミラーを有するピックアッ
プ装置を用いた光記録再生装置の構成を示す説明図であ
る。
【図２１】従来の収差補償器の一例を示す説明図であ
る。
【図２２】従来の収差補償器の他の例を示す説明図であ
る。
【図２３】従来の収差補償器における変形可能ミラーの
詳細を示す説明図である。
【符号の説明】
１ 可撓性部材 １ａ ハーフエッチング溝 １ｂ 空気穴 ２ 絶縁膜 ３，５，７ 電極 ３ａ 配線パッド ４，６ 基板 ４ａ，４ｂ，４ｃ 参照面 ４ｄ 溝部 ４ｅ 貫通穴 ４ｆ 貫通穴 ５ａ 配線パッド ７ａ 配線パッド ８ 絶縁層 ９ 駆動装置 ９ａ 制御電源 ９ｂ，９ｃ 電源 １０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９
０ 変形可能ミラー １８ａ，１８ｂ 電磁コイル ２２ ポンプ ２３ 接続管 ５１，５２ スペーサ層 ５５ 接着剤 ５６ 真空室 ５７ ガラス面 ６０ａ ＤＶＤ ６０ｂ ＣＤ ６１ 対物レンズ ６２ 光線平行化レンズ ６４ ホログラム ６５ 半導体レーザ ６６ 信号検出器 ６７ λ／４波長板 ６９ 偏光ビームスプリッタ １００ ピックアップ装置 １１０ 光記録再生装置 ５０１ ディスク種類検知装置 ５０２ システム制御装置 ５０３ サーボ回路 ５０４ リニアモータ ５０５ モータ ５０６ 制御信号発生器 ５０６ 信号処理装置 Ｌ 光線 Ｐ 張力
フロントページの続き (72)発明者 岡田 訓明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 平田 進 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 石井 頼成 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 藤田 英明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光線に球面収差を与えることが可能な第
    １参照面を有する第１基板と、透明でかつ光線に第１参
    照面とは異なる球面収差を与えることが可能な第２参照
    面を有しその第２参照面が第１参照面と対向するように
    配置された第２基板と、第１基板と第２基板との間に配
    置され表面に反射面を有しかつ第１参照面または第２参
    照面に吸着可能な可撓性部材と、可撓性部材を第１参照
    面または第２参照面に吸着させる駆動手段とを備え、 前記可撓性部材は、第１基板と第２基板との間に挟まれ
    るように固定され、前記駆動手段により、第１参照面ま
    たは第２参照面に吸着させることにより、反射面によっ
    て反射される光線に与える球面収差を切り替えることを
    特徴とする変形可能ミラー。
  2. 【請求項２】 第１基板の第１参照面が、光線に球面収
    差を与えることが可能な第１曲面と、光線を外側に大き
    く反射させることが可能な第２曲面との２種類の曲面を
    有し、可撓性部材が第１参照面に吸着された際、反射面
    によって反射される光線の内、中心部に位置する光線は
    第１曲面により球面収差が与えられて反射され、外周部
    に位置する不要な光線は第２曲面により外側に大きく反
    射されることを特徴とする請求項１記載の変形可能ミラ
    ー。
  3. 【請求項３】 前記可撓性部材が、第１基板と第２基板
    の各線膨張係数よりも大きい線膨張係数を有する材料か
    らなり、固定時に熱応力による張力を有するように、常
    温よりも高い硬化温度を有する熱硬化性の接着剤で常温
    よりも高い温度下で第１基板と第２基板との間に挟着さ
    れてなる請求項１記載の変形可能ミラー。
  4. 【請求項４】 前記可撓性部材が、真空中で第１基板と
    第２基板との間に挟み込まれることにより大気圧によっ
    て第１基板と第２基板との間に挟着されてなる請求項１
    記載の変形可能ミラー。
  5. 【請求項５】 前記可撓性部材と第１基板との接合面、
    および第２基板と前記可撓性部材との接合面が、それぞ
    れガラスと金属からなり、 前記可撓性部材が、ガラスと金属間に電圧を印加する陽
    極接合により第１基板と第２基板との間に挟着されてな
    る請求項１記載の変形可能ミラー。
  6. 【請求項６】 光源と、光源からの光線を反射すること
    により光線に特定の球面収差を与える収差補償器と、収
    差補償器によって反射された光線を集光して光ディスク
    に照射する集光器と、光ディスクから反射された光を検
    出する光検出器と、検出された光を光信号として処理す
    る信号処理器と、光ディスクの種類を検知しその検知信
    号を出力するディスク検知器と、ディスク検知器から光
    ディスクの種類を示す検知信号を受ける制御器とを備
    え、 前記収差補償器は、請求項１記載の変形可能ミラーを有
    し、 前記制御器は、ディスク検知器からの検知信号に応じて
    変形可能ミラーの駆動手段を制御することにより、光源
    からの光線に光ディスクの種類に応じた球面収差を与え
    ることを特徴とする光記録再生装置。
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