JPH10188877A - 誘導結合プラズマ質量分析装置 - Google Patents
誘導結合プラズマ質量分析装置Info
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- JPH10188877A JPH10188877A JP8343104A JP34310496A JPH10188877A JP H10188877 A JPH10188877 A JP H10188877A JP 8343104 A JP8343104 A JP 8343104A JP 34310496 A JP34310496 A JP 34310496A JP H10188877 A JPH10188877 A JP H10188877A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアガス,液体の試料が導入され、前記
試料を霧化するネブライザーと、前記ネブライザーから
の霧化された試料を導入し、前記霧化された試料のうち
粒径の大きな霧を凝縮し、凝縮液を外部へ排出するスプ
レーチャンバーとを具備する誘導結合プラズマ質量分析
装に関し、短時間で試料切替が行え、試料を節約できる
誘導結合プラズマ質量分析装置を提供することを課題と
する。 【解決手段】 スプレーチャンバー３６内へ洗浄液６２
を導入する洗浄手段６０を設ける。
試料を霧化するネブライザーと、前記ネブライザーから
の霧化された試料を導入し、前記霧化された試料のうち
粒径の大きな霧を凝縮し、凝縮液を外部へ排出するスプ
レーチャンバーとを具備する誘導結合プラズマ質量分析
装に関し、短時間で試料切替が行え、試料を節約できる
誘導結合プラズマ質量分析装置を提供することを課題と
する。 【解決手段】 スプレーチャンバー３６内へ洗浄液６２
を導入する洗浄手段６０を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、キャリアガス,液
体の試料が導入され、前記試料を霧化するネブライザー
と、前記ネブライザーからの霧化された試料を導入し、
前記霧化された試料のうち粒径の大きな霧を凝縮し、凝
縮液を外部へ排出するスプレーチャンバーとを具備する
誘導結合プラズマ質量分析装置に関する。
体の試料が導入され、前記試料を霧化するネブライザー
と、前記ネブライザーからの霧化された試料を導入し、
前記霧化された試料のうち粒径の大きな霧を凝縮し、凝
縮液を外部へ排出するスプレーチャンバーとを具備する
誘導結合プラズマ質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、図面を用いて従来例を説明する。
図３は従来の誘導結合プラズマ質量分析装置の構成図で
ある。
図３は従来の誘導結合プラズマ質量分析装置の構成図で
ある。
【０００３】図において、１は液体の試料２が貯留され
る試料タンクである。３はキャリアガス(例えば、Ar)４
の流量を制御するガス流量制御部である。５はガス流量
制御部３からのキャリアガス４と、試料タンク１からの
液体の試料２とが導入され、試料２を霧化するネブライ
ザーである。
る試料タンクである。３はキャリアガス(例えば、Ar)４
の流量を制御するガス流量制御部である。５はガス流量
制御部３からのキャリアガス４と、試料タンク１からの
液体の試料２とが導入され、試料２を霧化するネブライ
ザーである。
【０００４】６はネブライザー５にアダプター７を介し
て取り付けられ、霧化された試料２のうち、粒径の大き
な霧を凝縮し、凝縮液をドレイン穴６ａより外部へ排出
するスプレーチャンバーである。
て取り付けられ、霧化された試料２のうち、粒径の大き
な霧を凝縮し、凝縮液をドレイン穴６ａより外部へ排出
するスプレーチャンバーである。
【０００５】８はスプレーチャンバー６のドレイン穴６
ａから排出された試料２の凝縮液を貯留するドレインタ
ンクである。９はスプレーチャンバー６で霧化された試
料と、ガス流量制御部３からのキャリアガス４とが導入
され、高周波電源１０からの電流が供給されるワークコ
イル１１によって発生する誘導結合プラズマ(ICP)１２
によって、試料２をイオン化するプラズマトーチであ
る。
ａから排出された試料２の凝縮液を貯留するドレインタ
ンクである。９はスプレーチャンバー６で霧化された試
料と、ガス流量制御部３からのキャリアガス４とが導入
され、高周波電源１０からの電流が供給されるワークコ
イル１１によって発生する誘導結合プラズマ(ICP)１２
によって、試料２をイオン化するプラズマトーチであ
る。
【０００６】１３は元素の質量の違いを利用して、イオ
ン化した試料２中の元素及び各元素濃度を求める質量分
析部である。
ン化した試料２中の元素及び各元素濃度を求める質量分
析部である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の誘
導結合プラズマ質量分析装置において、試料２を分析す
る場合、前回分析した試料２′がスプレーチャンバー６
内に残留しているので、最初は、前回分析した試料２′
の分析結果が出てくる(メモリー効果)。
導結合プラズマ質量分析装置において、試料２を分析す
る場合、前回分析した試料２′がスプレーチャンバー６
内に残留しているので、最初は、前回分析した試料２′
の分析結果が出てくる(メモリー効果)。
【０００８】よって、スプレーチャンバー６内に残留し
ている前回分析した試料２′が、今回分析する試料２と
完全に置換されるまで、ネブライザー５へ試料２を導入
し続けなければならない問題点がある。
ている前回分析した試料２′が、今回分析する試料２と
完全に置換されるまで、ネブライザー５へ試料２を導入
し続けなければならない問題点がある。
【０００９】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、短時間で試料切替が行え、試料を節
約できる誘導結合プラズマ質量分析装置を提供すること
にある。
ので、その目的は、短時間で試料切替が行え、試料を節
約できる誘導結合プラズマ質量分析装置を提供すること
にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、キャリアガス,液体の試料が導入さ
れ、前記試料を霧化するネブライザーと、前記ネブライ
ザーからの霧化された試料を導入し、前記霧化された試
料のうち粒径の大きな霧を凝縮し、凝縮液を外部へ排出
するスプレーチャンバーとを具備する誘導結合プラズマ
質量分析装置において、前記スプレーチャンバー内へ洗
浄液を導入する洗浄手段を設けたことを特徴とする誘導
結合プラズマ質量分析装置である。
項１記載の発明は、キャリアガス,液体の試料が導入さ
れ、前記試料を霧化するネブライザーと、前記ネブライ
ザーからの霧化された試料を導入し、前記霧化された試
料のうち粒径の大きな霧を凝縮し、凝縮液を外部へ排出
するスプレーチャンバーとを具備する誘導結合プラズマ
質量分析装置において、前記スプレーチャンバー内へ洗
浄液を導入する洗浄手段を設けたことを特徴とする誘導
結合プラズマ質量分析装置である。
【００１１】試料分析後、洗浄手段によって洗浄液をス
プレーチャンバー内へ導入し、スプレーチャンバー内の
残留試料をスプレーチャンバー外部へ排出する。洗浄液
でスプレーチャンバー内の残留試料を洗い流すことによ
り、次回の分析を行う際に、前回行った分析の残留試料
を置換するまで試料を導入する必用が無くなり、短時間
で試料切替が行うことができ、更に、試料の節約もでき
る。
プレーチャンバー内へ導入し、スプレーチャンバー内の
残留試料をスプレーチャンバー外部へ排出する。洗浄液
でスプレーチャンバー内の残留試料を洗い流すことによ
り、次回の分析を行う際に、前回行った分析の残留試料
を置換するまで試料を導入する必用が無くなり、短時間
で試料切替が行うことができ、更に、試料の節約もでき
る。
【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明における前記洗浄手段は、前記スプレイチャンバー内
の前記ネブライザー側の端部まで洗浄することを特徴と
する誘導結合プラズマ質量分析装置である。
明における前記洗浄手段は、前記スプレイチャンバー内
の前記ネブライザー側の端部まで洗浄することを特徴と
する誘導結合プラズマ質量分析装置である。
【００１３】ネブライザー側の端部まで洗浄することに
より、非常に短時間で試料切替が行える。請求項３記載
の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記ス
プレーチャンバーが接続され、前記スプレーチャンバー
へ前記キャリアガスと同一又は異なる種類のガスを導入
するブレンドガスラインを設け、前記洗浄手段を前記洗
浄液が貯留される密閉タンクと、前記ブレンドガスライ
ン中に設けられ、一方の位置に切り替えると前記ブレン
ドガスラインを流れるガスをストレートに通し、他方の
位置に切り替えると前記ブレンドガスラインを流れるガ
スを前記密閉タンク内へ導き、前記密閉タンク内の洗浄
液を前記ブレンドガスラインへ送出する切替手段とで構
成したことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置
である。
より、非常に短時間で試料切替が行える。請求項３記載
の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記ス
プレーチャンバーが接続され、前記スプレーチャンバー
へ前記キャリアガスと同一又は異なる種類のガスを導入
するブレンドガスラインを設け、前記洗浄手段を前記洗
浄液が貯留される密閉タンクと、前記ブレンドガスライ
ン中に設けられ、一方の位置に切り替えると前記ブレン
ドガスラインを流れるガスをストレートに通し、他方の
位置に切り替えると前記ブレンドガスラインを流れるガ
スを前記密閉タンク内へ導き、前記密閉タンク内の洗浄
液を前記ブレンドガスラインへ送出する切替手段とで構
成したことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置
である。
【００１４】切替手段を一方の位置に切り替えると、ブ
レンドガスライン内を流れるキャリアガスと同一又は異
なるガスがスプレーチャンバー内へ導入される。切替手
段を他方の位置へ切り替えると、ブレンドガスライン内
を流れるキャリアガスと同一又は異なるガスが密閉タン
ク内へ導かれ、密閉タンク内の洗浄液がブレンドガスラ
インを介してスプレーチャンバー内へ導入され、スプレ
ーチャンバー内の残留試料がスプレーチャンバー外部へ
排出される。
レンドガスライン内を流れるキャリアガスと同一又は異
なるガスがスプレーチャンバー内へ導入される。切替手
段を他方の位置へ切り替えると、ブレンドガスライン内
を流れるキャリアガスと同一又は異なるガスが密閉タン
ク内へ導かれ、密閉タンク内の洗浄液がブレンドガスラ
インを介してスプレーチャンバー内へ導入され、スプレ
ーチャンバー内の残留試料がスプレーチャンバー外部へ
排出される。
【００１５】洗浄液でスプレーチャンバー内の残留試料
を洗い流すことにより、次回の分析を行う際に、前回行
った分析の残留試料を置換するまで試料を導入する必用
が無くなり、短時間で試料切替を行うことができ、更
に、試料の節約もできる。
を洗い流すことにより、次回の分析を行う際に、前回行
った分析の残留試料を置換するまで試料を導入する必用
が無くなり、短時間で試料切替を行うことができ、更
に、試料の節約もできる。
【００１６】更に、洗浄液をスプレーチャンバーへ導入
するラインと、ブレンドガスラインとを共用することに
より、コストダウンが図れる。請求項４記載の発明は、
請求項１乃至３のいずれかに記載の発明での洗浄液は、
純水,水溶性洗浄液のうちどちらか一方であることを特
徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置である。
するラインと、ブレンドガスラインとを共用することに
より、コストダウンが図れる。請求項４記載の発明は、
請求項１乃至３のいずれかに記載の発明での洗浄液は、
純水,水溶性洗浄液のうちどちらか一方であることを特
徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置である。
【００１７】純水,水溶性洗浄液のうちどちらか一方を
用いることで、従来の手法(置換)に比べて素早い切替が
可能となる。また、水溶性洗浄液としては、硝酸水溶液
がある。
用いることで、従来の手法(置換)に比べて素早い切替が
可能となる。また、水溶性洗浄液としては、硝酸水溶液
がある。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態を説明する。 (1) 第１の実施の形態例 図１は本発明の第１の実施の形態例の構成図である。図
において、３１は液体の試料３２が貯留される試料タン
クである。３３はキャリアガス３４の流量を制御するガ
ス流量制御部である。
形態を説明する。 (1) 第１の実施の形態例 図１は本発明の第１の実施の形態例の構成図である。図
において、３１は液体の試料３２が貯留される試料タン
クである。３３はキャリアガス３４の流量を制御するガ
ス流量制御部である。
【００１９】３５はガス流量制御部３３からのキャリア
ガス３４と、試料タンク３１からの液体の試料３２とが
導入され、試料３２を霧化するネブライザーである。３
６はネブライザー３５にアダプター３７を介して取り付
けられ、霧化された試料３２のうち、粒径の大きな霧を
凝縮し、凝縮液をドレイン穴３６ａより外部へ排出する
スプレーチャンバーである。
ガス３４と、試料タンク３１からの液体の試料３２とが
導入され、試料３２を霧化するネブライザーである。３
６はネブライザー３５にアダプター３７を介して取り付
けられ、霧化された試料３２のうち、粒径の大きな霧を
凝縮し、凝縮液をドレイン穴３６ａより外部へ排出する
スプレーチャンバーである。
【００２０】３８はスプレーチャンバー３６のドレイン
穴３６ａから排出された試料３２の凝縮液を貯留するド
レインタンクである。３９はスプレーチャンバー３６で
霧化された試料と、ガス流量制御部３３からのキャリア
ガス３４とが導入され、高周波電源４０からの電流が供
給されるワークコイル４１によって発生する誘導結合プ
ラズマ(ICP)４２によって、試料３２をイオン化するプ
ラズマトーチである。
穴３６ａから排出された試料３２の凝縮液を貯留するド
レインタンクである。３９はスプレーチャンバー３６で
霧化された試料と、ガス流量制御部３３からのキャリア
ガス３４とが導入され、高周波電源４０からの電流が供
給されるワークコイル４１によって発生する誘導結合プ
ラズマ(ICP)４２によって、試料３２をイオン化するプ
ラズマトーチである。
【００２１】４３は元素の質量の違いを利用して、イオ
ン化した試料３２中の元素及び各元素濃度を求める質量
分析部である。５１はスプレーチャンバー３６へキャリ
アガス３４と同一又は異なる種類のガス(例えば、窒素
ガス)５２を導入するブレンドガスラインである。
ン化した試料３２中の元素及び各元素濃度を求める質量
分析部である。５１はスプレーチャンバー３６へキャリ
アガス３４と同一又は異なる種類のガス(例えば、窒素
ガス)５２を導入するブレンドガスラインである。
【００２２】ブレンドガスライン５１中に設けられる洗
浄手段６０は、純水や硝酸水溶液等の洗浄液６２が貯留
される密閉タンク６１と、ブレンドガスライン５１中に
設けられ、一方の位置に切り替えるとブレンドガスライ
ン５１を流れるガス５２をストレートに通し、他方の位
置に切り替えるとブレンドガスライン５１を流れるガス
５２を密閉タンク６１内へ案内し、密閉タンク６１内の
洗浄液６２をブレンドガスライン５１を介してスプレー
チャンバー３６へ送出する切替手段としての４方コック
６３とで構成されている。
浄手段６０は、純水や硝酸水溶液等の洗浄液６２が貯留
される密閉タンク６１と、ブレンドガスライン５１中に
設けられ、一方の位置に切り替えるとブレンドガスライ
ン５１を流れるガス５２をストレートに通し、他方の位
置に切り替えるとブレンドガスライン５１を流れるガス
５２を密閉タンク６１内へ案内し、密閉タンク６１内の
洗浄液６２をブレンドガスライン５１を介してスプレー
チャンバー３６へ送出する切替手段としての４方コック
６３とで構成されている。
【００２３】尚、本実施の形態例では、ブレンドガスラ
イン５１の取り付けを洗浄液がスプレーチャンバー３６
内のネブライザー３５側の端部まで行き渡るように設け
た。次に、上記構成の作動を説明する。ネブライザー３
５には、試料タンク３１からの液体の試料３２と、ガス
流量制御部３３を介してキャリアガス３４とが導入さ
れ、液体の試料３２は霧化される。
イン５１の取り付けを洗浄液がスプレーチャンバー３６
内のネブライザー３５側の端部まで行き渡るように設け
た。次に、上記構成の作動を説明する。ネブライザー３
５には、試料タンク３１からの液体の試料３２と、ガス
流量制御部３３を介してキャリアガス３４とが導入さ
れ、液体の試料３２は霧化される。
【００２４】霧化された試料３２はスプレーチャンバー
３６へ導入され、霧化された試料３２のうち粒径の大き
な霧は凝縮され、ドレイン穴３６ａを介してドレインタ
ンク３８に貯留される。
３６へ導入され、霧化された試料３２のうち粒径の大き
な霧は凝縮され、ドレイン穴３６ａを介してドレインタ
ンク３８に貯留される。
【００２５】このとき、洗浄手段６０の４方コック６３
は一方の位置に切り替えられており、ブレンドガスライ
ン５１を介してキャリアガス３４と同一又は異なる種類
のガス５２がスプレーチャンバー３６へ導入される。
は一方の位置に切り替えられており、ブレンドガスライ
ン５１を介してキャリアガス３４と同一又は異なる種類
のガス５２がスプレーチャンバー３６へ導入される。
【００２６】キャリアガス３４と、霧化された試料３２
と、キャリアガス３４と同一又は異なる種類のガス５２
とはプラズマトーチ３９へ挿入され、高周波電源４０か
らの電流が供給されるワークコイル４１によって発生す
る誘導結合プラズマ(ICP)４２によって、試料３２はイ
オン化される。
と、キャリアガス３４と同一又は異なる種類のガス５２
とはプラズマトーチ３９へ挿入され、高周波電源４０か
らの電流が供給されるワークコイル４１によって発生す
る誘導結合プラズマ(ICP)４２によって、試料３２はイ
オン化される。
【００２７】イオン化された試料３２は質量分析部４３
で、試料３２中の元素及び各元素の濃度が分析され、試
料３２の分析が完了する。そして、試料３２と異なる試
料３２′を分析する際には、先ず、洗浄手段６０の４方
コック６３を他の切替位置へ操作する。すると、ガス５
２は密閉タンク６１へ案内され、密閉タンク６１内の洗
浄液６２がブレンドガスライン５１を介して、スプレー
チャンバー３６へ導入され、スプレーチャンバー３６内
が洗浄され、残留試料３２がドレイン穴３６ａを介して
スプレーチャンバー３６外部へ排出され、ドレインタン
ク３８に貯留される。
で、試料３２中の元素及び各元素の濃度が分析され、試
料３２の分析が完了する。そして、試料３２と異なる試
料３２′を分析する際には、先ず、洗浄手段６０の４方
コック６３を他の切替位置へ操作する。すると、ガス５
２は密閉タンク６１へ案内され、密閉タンク６１内の洗
浄液６２がブレンドガスライン５１を介して、スプレー
チャンバー３６へ導入され、スプレーチャンバー３６内
が洗浄され、残留試料３２がドレイン穴３６ａを介して
スプレーチャンバー３６外部へ排出され、ドレインタン
ク３８に貯留される。
【００２８】その後、洗浄手段６０の４方コック６３を
一方の切替位置へ戻し、試料３２と異なる試料３２′の
分析を行う。上記構成によれば、洗浄液６２でスプレー
チャンバー３６内の残留試料３２を洗い流すことによ
り、次回の分析を行う際に、前回行った分析の残留試料
３２を置換するまで試料３２′を導入する必用が無くな
り、短時間で試料切替を行うことができ、更に、試料の
節約もできる。
一方の切替位置へ戻し、試料３２と異なる試料３２′の
分析を行う。上記構成によれば、洗浄液６２でスプレー
チャンバー３６内の残留試料３２を洗い流すことによ
り、次回の分析を行う際に、前回行った分析の残留試料
３２を置換するまで試料３２′を導入する必用が無くな
り、短時間で試料切替を行うことができ、更に、試料の
節約もできる。
【００２９】また、洗浄液６２をスプレーチャンバー３
６へ導入するラインと、ブレンドガスライン５１とを共
用することにより、コストダウンが図れる。尚、本発明
は、上記実施の形態例に限定するものではない。上記実
施の形態例では、ブレンドガスライン５１を用いて、洗
浄液６２をスプレーチャンバー３６内へ導入するように
したが、スプレーチャンバー３６へ独立した洗浄ライン
を接続し、ポンプ等で洗浄液をスプレーチャンバー３６
内へ導入し、スプレーチャンバー３６内の洗浄を行うよ
うにしても良い。
６へ導入するラインと、ブレンドガスライン５１とを共
用することにより、コストダウンが図れる。尚、本発明
は、上記実施の形態例に限定するものではない。上記実
施の形態例では、ブレンドガスライン５１を用いて、洗
浄液６２をスプレーチャンバー３６内へ導入するように
したが、スプレーチャンバー３６へ独立した洗浄ライン
を接続し、ポンプ等で洗浄液をスプレーチャンバー３６
内へ導入し、スプレーチャンバー３６内の洗浄を行うよ
うにしても良い。
【００３０】(2) 第２の実施の形態例 図２は本発明の第２の実施の形態例の構成図である。
尚、本実施の形態例と第１の実施の形態例との相違点
は、洗浄手段のみであり、他の部分は同一なので、図２
において、図１と同一部分には、同一符号を付し、それ
らの説明は省略する。
尚、本実施の形態例と第１の実施の形態例との相違点
は、洗浄手段のみであり、他の部分は同一なので、図２
において、図１と同一部分には、同一符号を付し、それ
らの説明は省略する。
【００３１】ブレンドガスライン５１中に設けられる第
１洗浄手段１６０は、第１の洗浄液(例えば、純水)１６
２が貯留される第１の密閉タンク１６１と、ブレンドガ
スライン５１中に設けられ、一方の位置に切り替えると
ブレンドガスライン５１を流れるガス５２をストレート
に通し、他方の位置に切り替えるとブレンドガスライン
５１を流れるガス５２を第１の密閉タンク１６１内へ導
入し、第１の密閉タンク１６１内の第１の洗浄液１６２
がブレンドガスライン５１へ送出する切替手段としての
第１の４方コック１６３とで構成されている。
１洗浄手段１６０は、第１の洗浄液(例えば、純水)１６
２が貯留される第１の密閉タンク１６１と、ブレンドガ
スライン５１中に設けられ、一方の位置に切り替えると
ブレンドガスライン５１を流れるガス５２をストレート
に通し、他方の位置に切り替えるとブレンドガスライン
５１を流れるガス５２を第１の密閉タンク１６１内へ導
入し、第１の密閉タンク１６１内の第１の洗浄液１６２
がブレンドガスライン５１へ送出する切替手段としての
第１の４方コック１６３とで構成されている。
【００３２】また、ブレンドガスライン５１中で、第１
の洗浄手段１６０と直列に設けられる第２の洗浄手段２
６０は、第２の洗浄液(例えば、硝酸水溶液)２６２が貯
留される第２の密閉タンク２６１と、ブレンドガスライ
ン５１中に設けられ、一方の位置に切り替えるとブレン
ドガスライン５１を流れるガス５２をストレートに通
し、他方の位置に切り替えるとブレンドガスライン５１
を流れるガス５２を第２の密閉タンク２６１内へ導入
し、第２の密閉タンク２６１内の第２の洗浄液２６２が
ブレンドガスライン５１へ送出する切替手段としての第
２の４方コック２６３とで構成されている。
の洗浄手段１６０と直列に設けられる第２の洗浄手段２
６０は、第２の洗浄液(例えば、硝酸水溶液)２６２が貯
留される第２の密閉タンク２６１と、ブレンドガスライ
ン５１中に設けられ、一方の位置に切り替えるとブレン
ドガスライン５１を流れるガス５２をストレートに通
し、他方の位置に切り替えるとブレンドガスライン５１
を流れるガス５２を第２の密閉タンク２６１内へ導入
し、第２の密閉タンク２６１内の第２の洗浄液２６２が
ブレンドガスライン５１へ送出する切替手段としての第
２の４方コック２６３とで構成されている。
【００３３】尚、本実施の形態例では、ブレンドガスラ
イン５１の取り付けを洗浄液がスプレーチャンバー３６
内のネブライザー３５側の端部まで行き渡るように設け
た。次に、上記構成の作動を説明する。ネブライザー３
５には、試料タンク３１からの液体の試料３２と、ガス
流量制御部３３を介してキャリアガス３４とが導入さ
れ、液体の試料３２は霧化される。
イン５１の取り付けを洗浄液がスプレーチャンバー３６
内のネブライザー３５側の端部まで行き渡るように設け
た。次に、上記構成の作動を説明する。ネブライザー３
５には、試料タンク３１からの液体の試料３２と、ガス
流量制御部３３を介してキャリアガス３４とが導入さ
れ、液体の試料３２は霧化される。
【００３４】霧化された試料３２はスプレーチャンバー
３６へ導入され、霧化された試料３２のうち粒径の大き
な霧は凝縮され、ドレイン穴３６ａを介してドレインタ
ンク３８に貯留される。
３６へ導入され、霧化された試料３２のうち粒径の大き
な霧は凝縮され、ドレイン穴３６ａを介してドレインタ
ンク３８に貯留される。
【００３５】このとき、第１の洗浄手段１６０及び第２
の洗浄手段２６０の第１及び第２の４方コック１６３,
２６３は一方の位置に切り替えられており、ブレンドガ
スライン５１を介してキャリアガス３４と同一又は異な
る種類のガス５２がスプレーチャンバー３６へ導入され
る。
の洗浄手段２６０の第１及び第２の４方コック１６３,
２６３は一方の位置に切り替えられており、ブレンドガ
スライン５１を介してキャリアガス３４と同一又は異な
る種類のガス５２がスプレーチャンバー３６へ導入され
る。
【００３６】キャリアガス３４と、霧化された試料３２
と、キャリアガス３４と同一又は異なる種類のガス５２
とはプラズマトーチ３９へ挿入され、高周波電源４０か
らの電流が供給されるワークコイル４１によって発生す
る誘導結合プラズマ(ICP)４２によって、試料３２はイ
オン化される。
と、キャリアガス３４と同一又は異なる種類のガス５２
とはプラズマトーチ３９へ挿入され、高周波電源４０か
らの電流が供給されるワークコイル４１によって発生す
る誘導結合プラズマ(ICP)４２によって、試料３２はイ
オン化される。
【００３７】尚、このとき、キャリアガス３４と同一又
は異なる種類のガス５２により、イオン化される試料３
２の量が制御される。イオン化された試料３２は質量分
析部４３で、試料３２中の元素及び各元素の濃度が分析
され、試料３２の分析が完了する。
は異なる種類のガス５２により、イオン化される試料３
２の量が制御される。イオン化された試料３２は質量分
析部４３で、試料３２中の元素及び各元素の濃度が分析
され、試料３２の分析が完了する。
【００３８】そして、試料３２と異なる試料３２′を分
析する際には、先ず、第１の洗浄手段１６０の第１の４
方コック１６３を他の切替位置へ操作する。すると、ガ
ス５２は第１の密閉タンク１６１へ案内され、第１の密
閉タンク１６１内の第１の洗浄液１６２がブレンドガス
ライン５１を介して、スプレーチャンバー３６へ導入さ
れ、スプレーチャンバー３６内が洗浄され、残留試料３
２がドレイン穴３６ａを介してスプレーチャンバー３６
外部へ排出され、ドレインタンク３８に貯留される。
析する際には、先ず、第１の洗浄手段１６０の第１の４
方コック１６３を他の切替位置へ操作する。すると、ガ
ス５２は第１の密閉タンク１６１へ案内され、第１の密
閉タンク１６１内の第１の洗浄液１６２がブレンドガス
ライン５１を介して、スプレーチャンバー３６へ導入さ
れ、スプレーチャンバー３６内が洗浄され、残留試料３
２がドレイン穴３６ａを介してスプレーチャンバー３６
外部へ排出され、ドレインタンク３８に貯留される。
【００３９】次に、第１の洗浄手段１６０の第１の４方
コック１６３を一方の切替位置へ戻し、第２の洗浄手段
２６０の第２の４方コック２６３を他の切替位置へ操作
する。すると、ガス５２は第２の密閉タンク２６１へ案
内され、第２の密閉タンク２６１内の第２の洗浄液１６
２がブレンドガスライン５１を介して、スプレーチャン
バー３６へ導入され、スプレーチャンバー３６内が洗浄
され、残留試料３２がドレイン穴３６ａを介してスプレ
ーチャンバー３６外部へ排出され、ドレインタンク３８
に貯留される。
コック１６３を一方の切替位置へ戻し、第２の洗浄手段
２６０の第２の４方コック２６３を他の切替位置へ操作
する。すると、ガス５２は第２の密閉タンク２６１へ案
内され、第２の密閉タンク２６１内の第２の洗浄液１６
２がブレンドガスライン５１を介して、スプレーチャン
バー３６へ導入され、スプレーチャンバー３６内が洗浄
され、残留試料３２がドレイン穴３６ａを介してスプレ
ーチャンバー３６外部へ排出され、ドレインタンク３８
に貯留される。
【００４０】その後、第２の洗浄手段２６０の第２の４
方コック２６３を一方の切替位置へ戻し、試料３２と異
なる試料３２′の分析を行う。尚、上記実施の形態例で
は、洗浄時に、第１及び第２洗浄液１６２,２６２でス
プレーチャンバー３６内を洗浄するようにしたが、試料
３２,３２′の種類に応じて、第１の洗浄液１６２と第
２の洗浄液１６３の種類を選定し、使い分けるようにし
ても良い。
方コック２６３を一方の切替位置へ戻し、試料３２と異
なる試料３２′の分析を行う。尚、上記実施の形態例で
は、洗浄時に、第１及び第２洗浄液１６２,２６２でス
プレーチャンバー３６内を洗浄するようにしたが、試料
３２,３２′の種類に応じて、第１の洗浄液１６２と第
２の洗浄液１６３の種類を選定し、使い分けるようにし
ても良い。
【００４１】上記構成によれば、第１及び第２の洗浄液
１６２,２６２でスプレーチャンバー３６内の残留試料
３２を洗い流すことにより、次回の分析を行う際に、前
回行った分析の残留試料３２を置換するまで試料３２′
を導入する必用が無くなり、短時間で試料切替を行うこ
とができ、更に、試料の節約もできる。
１６２,２６２でスプレーチャンバー３６内の残留試料
３２を洗い流すことにより、次回の分析を行う際に、前
回行った分析の残留試料３２を置換するまで試料３２′
を導入する必用が無くなり、短時間で試料切替を行うこ
とができ、更に、試料の節約もできる。
【００４２】また、第１及び第２の洗浄液１６２,２６
２をスプレーチャンバー３６へ導入するラインと、ブレ
ンドガスライン５１とを共用することにより、コストダ
ウンが図れる。
２をスプレーチャンバー３６へ導入するラインと、ブレ
ンドガスライン５１とを共用することにより、コストダ
ウンが図れる。
【００４３】更に、第１の洗浄液６２でスプレーチャン
バー３６内の残留試料３２を洗い流した後に、更に、第
２の洗浄液でスプレーチャンバー３６内の残留試料３２
洗い流すことにより、第１の実施の形態例より、更に洗
浄効果をあげることが可能となる。
バー３６内の残留試料３２を洗い流した後に、更に、第
２の洗浄液でスプレーチャンバー３６内の残留試料３２
洗い流すことにより、第１の実施の形態例より、更に洗
浄効果をあげることが可能となる。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように請求項１記載の発明に
よれば、スプレーチャンバー内へ洗浄液を導入する洗浄
手段を設け、試料分析後、洗浄液でスプレーチャンバー
内の残留試料を洗い流すことにより、次回の分析を行う
際に、前回行った分析の残留試料を置換するまで試料を
導入する必用が無くなり、短時間で試料切替が行うこと
ができ、更に、試料の節約もできる。
よれば、スプレーチャンバー内へ洗浄液を導入する洗浄
手段を設け、試料分析後、洗浄液でスプレーチャンバー
内の残留試料を洗い流すことにより、次回の分析を行う
際に、前回行った分析の残留試料を置換するまで試料を
導入する必用が無くなり、短時間で試料切替が行うこと
ができ、更に、試料の節約もできる。
【００４５】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の洗浄手段は、ネブライザー側の端部まで洗浄
することにより、非常に短時間で試料切替が行える。請
求項３記載の発明によれば、請求項１又は２記載の発明
において、前記スプレーチャンバーが接続され、前記ス
プレーチャンバーへ前記キャリアガスと同一又は異なる
種類のガスを導入するブレンドガスラインを設け、前記
洗浄手段を前記洗浄液が貯留される密閉タンクと、前記
ブレンドガスライン中に設けられ、一方の位置に切り替
えると前記ブレンドガスラインを流れるガスをストレー
トに通し、他方の位置に切り替えると前記ブレンドガス
ラインを流れるガスを前記密閉タンク内へ導き、前記密
閉タンク内の洗浄液を前記ブレンドガスラインへ送出す
る切替手段とで構成したことにより 洗浄液でスプレー
チャンバー内の残留試料を洗い流すことにより、次回の
分析を行う際に、前回行った分析の残留試料を置換する
まで試料を導入する必用が無くなり、短時間で試料切替
を行うことができ、更に、試料の節約もできる。
載の発明の洗浄手段は、ネブライザー側の端部まで洗浄
することにより、非常に短時間で試料切替が行える。請
求項３記載の発明によれば、請求項１又は２記載の発明
において、前記スプレーチャンバーが接続され、前記ス
プレーチャンバーへ前記キャリアガスと同一又は異なる
種類のガスを導入するブレンドガスラインを設け、前記
洗浄手段を前記洗浄液が貯留される密閉タンクと、前記
ブレンドガスライン中に設けられ、一方の位置に切り替
えると前記ブレンドガスラインを流れるガスをストレー
トに通し、他方の位置に切り替えると前記ブレンドガス
ラインを流れるガスを前記密閉タンク内へ導き、前記密
閉タンク内の洗浄液を前記ブレンドガスラインへ送出す
る切替手段とで構成したことにより 洗浄液でスプレー
チャンバー内の残留試料を洗い流すことにより、次回の
分析を行う際に、前回行った分析の残留試料を置換する
まで試料を導入する必用が無くなり、短時間で試料切替
を行うことができ、更に、試料の節約もできる。
【００４６】更に、洗浄液をスプレーチャンバーへ導入
するラインと、ブレンドガスラインとを共用することに
より、コストダウンが図れる。請求項４記載の発明によ
れば、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明での洗浄
液は、純水,水溶性洗浄液のうちどちらか一方としたこ
とにより、従来の手法(置換)に比べて素早い切替が可能
となる。
するラインと、ブレンドガスラインとを共用することに
より、コストダウンが図れる。請求項４記載の発明によ
れば、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明での洗浄
液は、純水,水溶性洗浄液のうちどちらか一方としたこ
とにより、従来の手法(置換)に比べて素早い切替が可能
となる。
【図１】第１の実施の形態例の構成図である。
【図２】第２の実施の形態例の構成図である。
【図３】従来の誘導結合プラズマ質量分析装置の構成図
である。
である。
３６ スプレーチャンバー ６０ 洗浄手段
Claims (4)
- 【請求項１】 キャリアガス,液体の試料が導入され、
前記試料を霧化するネブライザーと、 前記ネブライザーからの霧化された試料を導入し、前記
霧化された試料のうち粒径の大きな霧を凝縮し、凝縮液
を外部へ排出するスプレーチャンバーとを具備する誘導
結合プラズマ質量分析装置において、 前記スプレーチャンバー内へ洗浄液を導入する洗浄手段
を設けたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装
置。 - 【請求項２】 前記洗浄手段は、前記スプレイチャンバ
ー内の前記ネブライザー側の端部まで洗浄することを特
徴とする請求項１記載の誘導結合プラズマ質量分析装
置。 - 【請求項３】 前記スプレーチャンバーが接続され、前
記スプレーチャンバーへ前記キャリアガスと同一又は異
なる種類のガスを導入するブレンドガスラインを設け、 前記洗浄手段を前記洗浄液が貯留される密閉タンクと、 前記ブレンドガスライン中に設けられ、一方の位置に切
り替えると前記ブレンドガスラインを流れるガスをスト
レートに通し、他方の位置に切り替えると前記ブレンド
ガスを流れるガスを前記密閉タンク内へ導き、前記密閉
タンク内の洗浄液を前記ブレンドガスラインへ送出する
切替手段と、 で構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の誘導
結合プラズマ質量分析装置。 - 【請求項４】 前記洗浄液は、純水,水溶性洗浄液のう
ちどちらか一方であることを特徴とする請求項１乃至３
のいずれかに記載の誘導結合プラズマ質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34310496A JP3686198B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34310496A JP3686198B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10188877A true JPH10188877A (ja) | 1998-07-21 |
| JP3686198B2 JP3686198B2 (ja) | 2005-08-24 |
Family
ID=18358976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34310496A Expired - Fee Related JP3686198B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3686198B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005069817A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Shimadzu Corp | 液体クロマトグラフ質量分析装置 |
| JP2006066312A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Yokogawa Analytical Systems Inc | Ｉｃｐ分析用試料導入装置及び方法 |
| JP2008045901A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Agilent Technol Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
| JP2018036160A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 誘導結合プラズマ質量分析方法 |
| CN108760958A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-11-06 | 东华理工大学 | 自吸式自动进样的光催化反应在线检测系统 |
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| JP2022548565A (ja) * | 2019-09-12 | 2022-11-21 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック （エキュブラン） エスアーエールエル | スパークスタンドおよびメンテナンス方法 |
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| JPH0696724A (ja) * | 1992-09-10 | 1994-04-08 | Seiko Instr Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
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| JPH08201294A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Horiba Ltd | Ｉｃｐ分析用ネブライザー装置とその装置を用いたｉｃｐ分析方法 |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP34310496A patent/JP3686198B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
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