JPH10189439A - 露光設備の二重露光防止装置 - Google Patents
露光設備の二重露光防止装置Info
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 シャッターにおける漏光にした二重露光を防
止できる露光設備の二重露光防止装置を提供する。 【解決手段】 シャッターを開閉させて露光を行う露光
設備の二重露光防止装置において、シャッターを通過す
る光を検出するセンサ（２４）と、センサの出力信号を
基準電圧と比較する比較回路（４４）と、シャッターを
駆動する駆動制御信号に基づいてシャッターの動作を判
別するシャッター動作判別用の回路（４２）と、比較回
路の出力信号とシャッター動作判別用の回路の出力信号
とを用いて論理組合せを行い、シャッターにおける漏光
の有無を判別する論理演算回路（４６）と、論理演算回
路の出力信号に基づいて入力状態を変化させるスイッチ
ング手段（Ｑ１、４８）とを備える。
止できる露光設備の二重露光防止装置を提供する。 【解決手段】 シャッターを開閉させて露光を行う露光
設備の二重露光防止装置において、シャッターを通過す
る光を検出するセンサ（２４）と、センサの出力信号を
基準電圧と比較する比較回路（４４）と、シャッターを
駆動する駆動制御信号に基づいてシャッターの動作を判
別するシャッター動作判別用の回路（４２）と、比較回
路の出力信号とシャッター動作判別用の回路の出力信号
とを用いて論理組合せを行い、シャッターにおける漏光
の有無を判別する論理演算回路（４６）と、論理演算回
路の出力信号に基づいて入力状態を変化させるスイッチ
ング手段（Ｑ１、４８）とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光設備の二重露
光防止装置に関し、より詳しくは、非露光時にシャッタ
ーが不完全に閉じられて生じる漏光を検出し、二重露光
を防止するための適切な措置を行う露光設備の二重露光
防止装置に関する。
光防止装置に関し、より詳しくは、非露光時にシャッタ
ーが不完全に閉じられて生じる漏光を検出し、二重露光
を防止するための適切な措置を行う露光設備の二重露光
防止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、半導体を製造するためのウェーハ
は、洗浄、拡散、露光、エッチング、及びイオン注入な
どの工程を繰り返して通過する。各工程は、それを遂行
するための個別の設備を必要とする。
は、洗浄、拡散、露光、エッチング、及びイオン注入な
どの工程を繰り返して通過する。各工程は、それを遂行
するための個別の設備を必要とする。
【０００３】露光工程は、ウェーハ上にパターンを形成
する工程であり、感光物質を利用してマスクのイメージ
をウェーハに形成させる工程である。露光工程は、マス
クのイメージのパターンをいかに正確に望む位置に形成
させるかと共に、いかに鮮明かつ微細なパターンを形成
させるかによってその能力が評価される。
する工程であり、感光物質を利用してマスクのイメージ
をウェーハに形成させる工程である。露光工程は、マス
クのイメージのパターンをいかに正確に望む位置に形成
させるかと共に、いかに鮮明かつ微細なパターンを形成
させるかによってその能力が評価される。
【０００４】露光工程は、一般的に感光液の塗布、整列
（整合、アラインメント）及び露光、現像、検査という
４段階に区分される。このうち、整列及び露光を遂行す
る設備がステッパーである。
（整合、アラインメント）及び露光、現像、検査という
４段階に区分される。このうち、整列及び露光を遂行す
る設備がステッパーである。
【０００５】ステッパーの露光原理はカメラと似てい
る。すなわち、シャッターが開閉されることによって光
源から照射される光が選択的に進み、光がマスクを通し
てウェーハに達することによりウェーハ上の露光膜が露
光され、マスクのパターンがウェーハに転写される。
る。すなわち、シャッターが開閉されることによって光
源から照射される光が選択的に進み、光がマスクを通し
てウェーハに達することによりウェーハ上の露光膜が露
光され、マスクのパターンがウェーハに転写される。
【０００６】従来のステッパーでは、シャッターの開閉
時間は、ウェーハを露光するのに要求される時間に応じ
て適当に調整される。また、シャッターの開閉は、露光
工程中は、繰り返して行われる。しかし、このようなシ
ャッターの開閉動作は、シャッターの開閉等に使用され
るモーターの老朽化や、システム上の問題等のために正
確に行われず、開閉動作が不完全となる場合などがあ
る。
時間は、ウェーハを露光するのに要求される時間に応じ
て適当に調整される。また、シャッターの開閉は、露光
工程中は、繰り返して行われる。しかし、このようなシ
ャッターの開閉動作は、シャッターの開閉等に使用され
るモーターの老朽化や、システム上の問題等のために正
確に行われず、開閉動作が不完全となる場合などがあ
る。
【０００７】図６は、従来のステッパーにおけるシャッ
ターを示す図である。図６において、露光用の光は、光
源からシャッターの窓６を通って光学系に進む。シャッ
ターは、ステッピングモーター２の動作で翼４を回転さ
せることにより開閉する。しかし、翼４の位相がねじれ
ると、つまり、翼４の位置が正確でないと、光が通過す
る窓６の開閉が正確になされないので、シャッターを閉
じても漏光が生じる。
ターを示す図である。図６において、露光用の光は、光
源からシャッターの窓６を通って光学系に進む。シャッ
ターは、ステッピングモーター２の動作で翼４を回転さ
せることにより開閉する。しかし、翼４の位相がねじれ
ると、つまり、翼４の位置が正確でないと、光が通過す
る窓６の開閉が正確になされないので、シャッターを閉
じても漏光が生じる。
【０００８】ステッパーの露光動作は、ウェーハの整列
を行いながら遂行される。つまり、ウェーハの露光は、
ウェーハの位置移動と露光とを数回繰り返して行われ
る。したがって、シャッターの開閉が正常に行われない
と、ウェーハに異常な露光が行われるばかりでなく、露
光をせずにウェーハの位置が移動されたり、数秒間露光
及び位置移動動作が止まったりして、望ましくない露
光、つまり、二重露光が生じる。
を行いながら遂行される。つまり、ウェーハの露光は、
ウェーハの位置移動と露光とを数回繰り返して行われ
る。したがって、シャッターの開閉が正常に行われない
と、ウェーハに異常な露光が行われるばかりでなく、露
光をせずにウェーハの位置が移動されたり、数秒間露光
及び位置移動動作が止まったりして、望ましくない露
光、つまり、二重露光が生じる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のステッ
パーには、シャッターの動作異常により漏光が生じ、そ
の結果として二重露光が生じることをチェックする機能
がなかった。故に、二重露光がチェックされずにウェー
ハの露光が進み、相当量のウェーハに不良が生じるとい
う問題があった。
パーには、シャッターの動作異常により漏光が生じ、そ
の結果として二重露光が生じることをチェックする機能
がなかった。故に、二重露光がチェックされずにウェー
ハの露光が進み、相当量のウェーハに不良が生じるとい
う問題があった。
【００１０】本発明は、上記の問題に鑑みてなされたも
のであり、シャッターが完全に閉じないために漏光が生
じて、ステッパーのステージ上にあるウェーハが二重露
光されることを防止できる露光設備の二重露光防止装置
を提供することをその目的とする。
のであり、シャッターが完全に閉じないために漏光が生
じて、ステッパーのステージ上にあるウェーハが二重露
光されることを防止できる露光設備の二重露光防止装置
を提供することをその目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、シャッターを開閉させて
露光を行う露光設備の二重露光防止装置において、前記
シャッター（１２）を通過する光を検出する検出手段
（２４）と、前記検出手段の出力信号を基準電圧と比較
する第１比較手段（４４）と、前記シャッターを駆動す
るシャッター駆動制御信号に基づいて前記シャッターの
動作を判別するシャッター動作判別手段（４２）と、前
記第１比較手段の出力信号と前記シャッター動作判別手
段の出力信号とを用いて論理組合せを行い、前記シャッ
ターにおける漏光の有無を判別する第１論理組合せ手段
（４６）と、前記第１論理組合せ手段の出力信号に基づ
いて入力、非入力を切り換える第１のスイッチング手段
（Ｑ１、４８）とを備え、前記第１のスイッチング手段
が入力状態にあるか否かにより、露光を中止させるため
のエラー信号の発生の有無が決まることを特徴とする露
光設備の二重露光防止装置であることを要旨とする。
に、請求項１に記載の発明は、シャッターを開閉させて
露光を行う露光設備の二重露光防止装置において、前記
シャッター（１２）を通過する光を検出する検出手段
（２４）と、前記検出手段の出力信号を基準電圧と比較
する第１比較手段（４４）と、前記シャッターを駆動す
るシャッター駆動制御信号に基づいて前記シャッターの
動作を判別するシャッター動作判別手段（４２）と、前
記第１比較手段の出力信号と前記シャッター動作判別手
段の出力信号とを用いて論理組合せを行い、前記シャッ
ターにおける漏光の有無を判別する第１論理組合せ手段
（４６）と、前記第１論理組合せ手段の出力信号に基づ
いて入力、非入力を切り換える第１のスイッチング手段
（Ｑ１、４８）とを備え、前記第１のスイッチング手段
が入力状態にあるか否かにより、露光を中止させるため
のエラー信号の発生の有無が決まることを特徴とする露
光設備の二重露光防止装置であることを要旨とする。
【００１２】請求項２に記載の発明は、前記検出手段は
積分センサであることを特徴とする請求項１に記載の露
光設備の二重露光防止装置であることを要旨とする。
積分センサであることを特徴とする請求項１に記載の露
光設備の二重露光防止装置であることを要旨とする。
【００１３】請求項３に記載の発明は、前記検出手段の
出力信号を反転増幅して前記第１比較手段に入力する反
転増幅手段（４０）をさらに備えることを特徴とする請
求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置であること
を要旨とする。
出力信号を反転増幅して前記第１比較手段に入力する反
転増幅手段（４０）をさらに備えることを特徴とする請
求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置であること
を要旨とする。
【００１４】請求項４に記載の発明は、前記反転増幅手
段は、前記検出手段の出力信号を反転する第１増幅器
（５０）と、前記第１増幅器の出力信号を増幅する第２
増幅器（５２）と、前記第２増幅器の出力信号を増幅し
て前記第１比較手段に入力する第３増幅器（５４）とを
備えることを特徴とする請求項３に記載の露光設備の二
重露光防止装置であることを要旨とする。
段は、前記検出手段の出力信号を反転する第１増幅器
（５０）と、前記第１増幅器の出力信号を増幅する第２
増幅器（５２）と、前記第２増幅器の出力信号を増幅し
て前記第１比較手段に入力する第３増幅器（５４）とを
備えることを特徴とする請求項３に記載の露光設備の二
重露光防止装置であることを要旨とする。
【００１５】請求項５に記載の発明は、前記第３増幅器
には、抵抗値が可変である第１可変抵抗（ＶＲ３）が接
続されており、前記第３増幅器が前記第２増幅器の出力
信号を増幅する増幅率は、前記第１可変抵抗の抵抗値を
変化させることにより調整されることを特徴とする請求
項４に記載の露光設備の二重露光防止装置であることを
要旨とする。
には、抵抗値が可変である第１可変抵抗（ＶＲ３）が接
続されており、前記第３増幅器が前記第２増幅器の出力
信号を増幅する増幅率は、前記第１可変抵抗の抵抗値を
変化させることにより調整されることを特徴とする請求
項４に記載の露光設備の二重露光防止装置であることを
要旨とする。
【００１６】請求項６に記載の発明は、前記シャッター
動作判別手段は、前記シャッター駆動制御信号の大きさ
に応じて入力、非入力を切り換える第２のスイッチング
手段と、前記第２のスイッチング手段から高レベルの電
圧が印加されると、高レベルの電圧を所定時間継続して
出力する遅延手段（５８）とを備えることを特徴とする
請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置であるこ
とを要旨とする。
動作判別手段は、前記シャッター駆動制御信号の大きさ
に応じて入力、非入力を切り換える第２のスイッチング
手段と、前記第２のスイッチング手段から高レベルの電
圧が印加されると、高レベルの電圧を所定時間継続して
出力する遅延手段（５８）とを備えることを特徴とする
請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置であるこ
とを要旨とする。
【００１７】請求項７に記載の発明は、前記第２のスイ
ッチング手段は、前記シャッター駆動制御信号がベース
に印加され、第１の定電圧がコレクターに印加される第
１トランジスター（Ｑ２）と、前記第１トランジスター
のコレクターに接続され、前記第１トランジスターのス
イッチングによって印加される前記第１の定電圧を反転
出力する第１インバーター（５６）とを備えることを特
徴とする請求項６に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
ッチング手段は、前記シャッター駆動制御信号がベース
に印加され、第１の定電圧がコレクターに印加される第
１トランジスター（Ｑ２）と、前記第１トランジスター
のコレクターに接続され、前記第１トランジスターのス
イッチングによって印加される前記第１の定電圧を反転
出力する第１インバーター（５６）とを備えることを特
徴とする請求項６に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
【００１８】請求項８に記載の発明は、前記遅延回路が
前記高レベルの電圧を継続して出力する前記所定時間
は、前記シャッター駆動制御信号のパルス周期より長い
ことを特徴とする請求項６記載の露光設備の二重露光防
止装置であることをその要旨とする。
前記高レベルの電圧を継続して出力する前記所定時間
は、前記シャッター駆動制御信号のパルス周期より長い
ことを特徴とする請求項６記載の露光設備の二重露光防
止装置であることをその要旨とする。
【００１９】請求項９に記載の発明は、前記遅延手段
は、抵抗値が可変である第２可変抵抗（ＶＲ２）が接続
されており、前記遅延回路が前記高レベルの電圧を継続
して出力する前記所定時間は、前記第２可変抵抗の抵抗
値を変化させることにより調整されることを特徴とする
請求項８記載の露光設備の二重露光防止装置であること
を要旨とする。
は、抵抗値が可変である第２可変抵抗（ＶＲ２）が接続
されており、前記遅延回路が前記高レベルの電圧を継続
して出力する前記所定時間は、前記第２可変抵抗の抵抗
値を変化させることにより調整されることを特徴とする
請求項８記載の露光設備の二重露光防止装置であること
を要旨とする。
【００２０】請求項１０に記載の発明は、前記第１比較
手段は、前記検出手段の出力信号が前記基準電圧のレベ
ルより高いときに、低レベルの信号を出力することを特
徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
手段は、前記検出手段の出力信号が前記基準電圧のレベ
ルより高いときに、低レベルの信号を出力することを特
徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
【００２１】請求項１１に記載の発明は、前記論理組合
せ手段は、前記第１比較手段の出力と前記シャッター動
作判別手段の出力とを用いて論理組合せを行う排他的論
理和ゲート（６２）と、前記排他的論理和ゲートの出力
を反転させる第２インバーター（６４）と、前記第２イ
ンバーターの出力と前記シャッター動作判別手段の出力
とを用いて論理組合せを行うＯＲゲート（６６）とを備
えることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重
露光防止装置であることを要旨とする。
せ手段は、前記第１比較手段の出力と前記シャッター動
作判別手段の出力とを用いて論理組合せを行う排他的論
理和ゲート（６２）と、前記排他的論理和ゲートの出力
を反転させる第２インバーター（６４）と、前記第２イ
ンバーターの出力と前記シャッター動作判別手段の出力
とを用いて論理組合せを行うＯＲゲート（６６）とを備
えることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重
露光防止装置であることを要旨とする。
【００２２】請求項１２に記載の発明は、前記第１比較
手段の出力を反転させて前記排他的論理和ゲートに入力
する第３インバーター（６０）をさらに備えることを特
徴とする請求項１１に記載の露光設備の二重露光防止装
置であることをその要旨とする。
手段の出力を反転させて前記排他的論理和ゲートに入力
する第３インバーター（６０）をさらに備えることを特
徴とする請求項１１に記載の露光設備の二重露光防止装
置であることをその要旨とする。
【００２３】請求項１３に記載の発明は、前記第１のス
イッチング手段は、前記第１論理組合せ手段の出力がベ
ースに印加される第２トランジスター（Ｑ１）と、前記
第２トランジスターのスイッチングに連動するリレー
（４８）とを備え、前記リレーの入力の有無により前記
エラー信号の発生の有無が決まることを特徴とする請求
項１に記載の露光設備の二重露光防止装置であることを
要旨とする。
イッチング手段は、前記第１論理組合せ手段の出力がベ
ースに印加される第２トランジスター（Ｑ１）と、前記
第２トランジスターのスイッチングに連動するリレー
（４８）とを備え、前記リレーの入力の有無により前記
エラー信号の発生の有無が決まることを特徴とする請求
項１に記載の露光設備の二重露光防止装置であることを
要旨とする。
【００２４】請求項１４に記載の発明は、前記基準電圧
が許容範囲内の値を有するか否かを判別する基準電圧判
別手段（６８等）を備えることを特徴とする請求項１に
記載の露光設備の二重露光装置であることを要旨とす
る。
が許容範囲内の値を有するか否かを判別する基準電圧判
別手段（６８等）を備えることを特徴とする請求項１に
記載の露光設備の二重露光装置であることを要旨とす
る。
【００２５】請求項１５に記載の発明は、前記基準電圧
判別手段の出力信号は、前記第１のスイッチング手段に
入力されることを特徴とする請求項１４に記載の露光設
備の二重露光防止装置であることを要旨とする。
判別手段の出力信号は、前記第１のスイッチング手段に
入力されることを特徴とする請求項１４に記載の露光設
備の二重露光防止装置であることを要旨とする。
【００２６】請求項１６に記載の発明は、前記基準電圧
判別手段は、一定電圧を供給する定電圧供給手段（７
２）と、前記定電圧供給手段から供給される電圧を利用
して、前記基準電圧を所定の上限値及び下限値と比較
し、前記基準電圧が前記上限値以下にあるか否かを示す
上限判断信号と、前記基準電圧が前記下限値以上にある
か否かを示す下限判断信号をそれぞれ出力する第２比較
手段（６８）と、前記上限判断信号及び前記下限判断信
号を用いて論理組合せを行い、その結果を前記第１のス
イッチング手段に入力する第２論理組合せ手段（７０）
とを備えることを特徴とする請求項１５に記載の露光設
備の二重露光防止装置であることをその要旨とする。
判別手段は、一定電圧を供給する定電圧供給手段（７
２）と、前記定電圧供給手段から供給される電圧を利用
して、前記基準電圧を所定の上限値及び下限値と比較
し、前記基準電圧が前記上限値以下にあるか否かを示す
上限判断信号と、前記基準電圧が前記下限値以上にある
か否かを示す下限判断信号をそれぞれ出力する第２比較
手段（６８）と、前記上限判断信号及び前記下限判断信
号を用いて論理組合せを行い、その結果を前記第１のス
イッチング手段に入力する第２論理組合せ手段（７０）
とを備えることを特徴とする請求項１５に記載の露光設
備の二重露光防止装置であることをその要旨とする。
【００２７】請求項１７に記載の発明は、前記第２比較
手段は、前記定電圧供給手段からの一定電圧が印加され
る第３可変抵抗（ＶＲ４）及び第４可変抵抗（ＶＲ５）
と、前記第３可変抵抗により前記一定電圧を分圧して得
られる第１比較電圧と前記基準電圧とを比較する第１比
較器（７４）と、前記第４可変抵抗により前記一定電圧
を分圧して得られる第２比較電圧と前記基準電圧とを比
較する第２比較器（７６）とを備えることを特徴とする
請求項１６に記載の露光設備の二重露光防止装置である
ことを要旨とする。
手段は、前記定電圧供給手段からの一定電圧が印加され
る第３可変抵抗（ＶＲ４）及び第４可変抵抗（ＶＲ５）
と、前記第３可変抵抗により前記一定電圧を分圧して得
られる第１比較電圧と前記基準電圧とを比較する第１比
較器（７４）と、前記第４可変抵抗により前記一定電圧
を分圧して得られる第２比較電圧と前記基準電圧とを比
較する第２比較器（７６）とを備えることを特徴とする
請求項１６に記載の露光設備の二重露光防止装置である
ことを要旨とする。
【００２８】請求項１８に記載の発明は、前記基準電圧
は、前記定電圧供給手段によって安定化された後、前記
第２比較手段に印加されるように構成されることを特徴
とする請求項１６に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
は、前記定電圧供給手段によって安定化された後、前記
第２比較手段に印加されるように構成されることを特徴
とする請求項１６に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
【００２９】請求項１９に記載の発明は、前記第１のス
イッチング手段は、露光動作を制御する露光制御手段
（２８）に接続され、前記露光制御手段に対して前記エ
ラー信号を出力することにより、前記露光動作を中止さ
せることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重
露光防止装置であることを要旨とする。
イッチング手段は、露光動作を制御する露光制御手段
（２８）に接続され、前記露光制御手段に対して前記エ
ラー信号を出力することにより、前記露光動作を中止さ
せることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重
露光防止装置であることを要旨とする。
【００３０】請求項２０に記載の発明は、前記露光制御
手段には、二重露光の発生を警告する警報手段（３２）
が接続されており、前記警報手段は、前記露光制御手段
から前記エラー信号を入力されたときに作動することを
特徴とする請求項１９に記載の露光設備の二重露光防止
装置であることを要旨とする。
手段には、二重露光の発生を警告する警報手段（３２）
が接続されており、前記警報手段は、前記露光制御手段
から前記エラー信号を入力されたときに作動することを
特徴とする請求項１９に記載の露光設備の二重露光防止
装置であることを要旨とする。
【００３１】請求項２１に記載の発明は、前記第１のス
イッチング手段に二重露光の発生を警告する警報手段が
接続されており、前記警報手段は、前記第１のスイッチ
ング手段から前記エラー信号を入力されたときに作動す
ることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露
光防止装置であることを要旨とする。
イッチング手段に二重露光の発生を警告する警報手段が
接続されており、前記警報手段は、前記第１のスイッチ
ング手段から前記エラー信号を入力されたときに作動す
ることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露
光防止装置であることを要旨とする。
【００３２】請求項２２に記載の発明は、露光が行われ
る真空チャンバーの圧力を検出する真空センサ（８６）
をさらに有し、前記第１のスイッチング手段は、前記真
空センサと前記露光制御手段との間に配置され、前記真
空センサが所定値以下の圧力を検出しない場合に、前記
露光制御手段に対し前記エラー信号を出力することを特
徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
る真空チャンバーの圧力を検出する真空センサ（８６）
をさらに有し、前記第１のスイッチング手段は、前記真
空センサと前記露光制御手段との間に配置され、前記真
空センサが所定値以下の圧力を検出しない場合に、前記
露光制御手段に対し前記エラー信号を出力することを特
徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置
であることを要旨とする。
【００３３】請求項２３に記載の発明は、前記露光制御
手段には、二重露光の発生を警告する警報手段が接続さ
れており、前記警報手段は、前記露光制御手段から前記
エラー信号を入力されたときに作動することを特徴とす
る請求項２２に記載の露光設備の二重露光防止装置であ
ることを要旨とする。
手段には、二重露光の発生を警告する警報手段が接続さ
れており、前記警報手段は、前記露光制御手段から前記
エラー信号を入力されたときに作動することを特徴とす
る請求項２２に記載の露光設備の二重露光防止装置であ
ることを要旨とする。
【００３４】
【発明の実施の形態】以下、本発明による二重露光防止
装置の実施の形態について説明する。図１は、本発明に
よる二重露光防止装置を備えたステッパーのブロック図
である。
装置の実施の形態について説明する。図１は、本発明に
よる二重露光防止装置を備えたステッパーのブロック図
である。
【００３５】図１に示すように、露光設備は、ウェーハ
の露光のために光源１０、シャッター１２、反射系１
４、レチクル１６、レンズアセンブリー１８、及びステ
ージ２０が備えられた露光系２２を有する。
の露光のために光源１０、シャッター１２、反射系１
４、レチクル１６、レンズアセンブリー１８、及びステ
ージ２０が備えられた露光系２２を有する。
【００３６】センサ２４は、露光系２２の反射系１４を
通じて反射される光を検出（感知）するセンサであり、
その検出信号（出力信号）ＩＮＴは、二重露光検出部２
６に入力される。二重露光検出部２６には、センサ２４
の他に、基準電圧印加部２７が接続されており、この基
準電圧印加部２７は、二重露光検出部２６に基準電圧Ｒ
ＥＦを供給するものである。
通じて反射される光を検出（感知）するセンサであり、
その検出信号（出力信号）ＩＮＴは、二重露光検出部２
６に入力される。二重露光検出部２６には、センサ２４
の他に、基準電圧印加部２７が接続されており、この基
準電圧印加部２７は、二重露光検出部２６に基準電圧Ｒ
ＥＦを供給するものである。
【００３７】露光制御部２８は、露光系２２の光源１０
及びシャッター１２に制御信号を印加し、これらを駆動
制御するものである。露光制御部２８からシャッター１
２に印加される駆動制御信号ＳＨは、途中で分岐して二
重露光検出部２６にも印加される。
及びシャッター１２に制御信号を印加し、これらを駆動
制御するものである。露光制御部２８からシャッター１
２に印加される駆動制御信号ＳＨは、途中で分岐して二
重露光検出部２６にも印加される。
【００３８】二重露光検出部２６は、入力される駆動制
御信号ＳＨ、検出信号ＩＮＴ、及び基準電圧ＲＥＦを参
照してエラー信号ＥＲを発生し、これを露光制御部２８
に印加するように構成されている。そして、露光制御部
２８は、ウェーハ駆動部３０を制御して露光にあわせて
ウェーハを駆動させるとともに、警報部３２を制御して
警報動作を行わせる。
御信号ＳＨ、検出信号ＩＮＴ、及び基準電圧ＲＥＦを参
照してエラー信号ＥＲを発生し、これを露光制御部２８
に印加するように構成されている。そして、露光制御部
２８は、ウェーハ駆動部３０を制御して露光にあわせて
ウェーハを駆動させるとともに、警報部３２を制御して
警報動作を行わせる。
【００３９】本実施の形態では、露光制御部２８が、光
源１０及びシャッター１２を駆動するための制御信号を
出力し、これにより露光を行う。露光制御部２８から印
加される駆動制御信号ＳＨによってシャッター１２が正
常に開くと、光源１０から生じた光は、シャッター１２
を通過してウェーハに照射される。また、シャッター１
２が正常に閉じられると、光源１０から生じた光はシャ
ッター１２を通過せず、その進行が遮断される。一方、
センサ２４は、シャッター１２を通過した光を検出し、
それに対する検出信号ＩＮＴを二重露光検出部２６に入
力する。
源１０及びシャッター１２を駆動するための制御信号を
出力し、これにより露光を行う。露光制御部２８から印
加される駆動制御信号ＳＨによってシャッター１２が正
常に開くと、光源１０から生じた光は、シャッター１２
を通過してウェーハに照射される。また、シャッター１
２が正常に閉じられると、光源１０から生じた光はシャ
ッター１２を通過せず、その進行が遮断される。一方、
センサ２４は、シャッター１２を通過した光を検出し、
それに対する検出信号ＩＮＴを二重露光検出部２６に入
力する。
【００４０】二重露光検出部２６は、露光制御部２８が
シャッター１２を閉じるための駆動制御信号ＳＨを出力
している状態で、センサ２４から光を検出した旨の検出
信号ＩＮＴを入力されると、露光動作制御及び警報のた
めのエラー信号ＥＲを露光制御部２８に対し出力する。
その結果、露光制御部２８は、ウェーハ駆動部３０を制
御してウェーハの駆動を中止するとともに、警報部３２
を制御して警報動作を遂行する。
シャッター１２を閉じるための駆動制御信号ＳＨを出力
している状態で、センサ２４から光を検出した旨の検出
信号ＩＮＴを入力されると、露光動作制御及び警報のた
めのエラー信号ＥＲを露光制御部２８に対し出力する。
その結果、露光制御部２８は、ウェーハ駆動部３０を制
御してウェーハの駆動を中止するとともに、警報部３２
を制御して警報動作を遂行する。
【００４１】モーター(図示せず)の老朽化又はシステム
の問題から、シャッター１２が正常に作動せず、その結
果として二重露光が生じているか否かは、二重露光検出
部２６で判断される。図２は、二重露光検出部の回路図
である。二重露光検出部２６では、検出信号ＩＮＴが反
転増幅部４０に入力され、駆動制御信号ＳＨがシャッタ
ー動作判別部４２に入力される。また、反転増幅部４０
の出力は、抵抗Ｒ１を介して比較器４４の入力端に入力
され、基準電圧ＲＥＦが抵抗Ｒ２を通じて比較器４４の
他の入力端に印加される。
の問題から、シャッター１２が正常に作動せず、その結
果として二重露光が生じているか否かは、二重露光検出
部２６で判断される。図２は、二重露光検出部の回路図
である。二重露光検出部２６では、検出信号ＩＮＴが反
転増幅部４０に入力され、駆動制御信号ＳＨがシャッタ
ー動作判別部４２に入力される。また、反転増幅部４０
の出力は、抵抗Ｒ１を介して比較器４４の入力端に入力
され、基準電圧ＲＥＦが抵抗Ｒ２を通じて比較器４４の
他の入力端に印加される。
【００４２】さらに、比較器４４の出力とシャッター動
作判別部４２の出力とは、論理組合せ部４６に入力され
る。論理組合せ部４６は、比較器４４の出力とシャッタ
ー動作判別部４２の出力とを論理組合せ（論理演算）し
た後に、リレー４８を駆動させるトランジスターＱ１に
スイッチング信号を出力する。リレー４８は、トランジ
スタＱ１のオン／オフに連動して、スイッチング信号を
エラー信号ＥＲとして出力するように構成されている。
作判別部４２の出力とは、論理組合せ部４６に入力され
る。論理組合せ部４６は、比較器４４の出力とシャッタ
ー動作判別部４２の出力とを論理組合せ（論理演算）し
た後に、リレー４８を駆動させるトランジスターＱ１に
スイッチング信号を出力する。リレー４８は、トランジ
スタＱ１のオン／オフに連動して、スイッチング信号を
エラー信号ＥＲとして出力するように構成されている。
【００４３】反転増幅部４０には、検出信号ＩＮＴを反
転させた後に、これを所定のレベルに増幅して比較器４
４に印加するように、検出信号ＩＮＴのバッファーとな
るための増幅器５０と、増幅器５０の出力を反転増幅す
るための増幅器５２と、増幅器５２の出力を増幅するた
めの増幅器５４とが接続されている。
転させた後に、これを所定のレベルに増幅して比較器４
４に印加するように、検出信号ＩＮＴのバッファーとな
るための増幅器５０と、増幅器５０の出力を反転増幅す
るための増幅器５２と、増幅器５２の出力を増幅するた
めの増幅器５４とが接続されている。
【００４４】増幅器５０は、キャパシタＣ１が並列に接
続された抵抗Ｒ３、Ｒ４を通して（から直列に）非反転
端（＋）に検出信号が印加されるように構成されてお
り、反転端（−）と出力端との間には抵抗Ｒ５が接続さ
れている。増幅器５２は、増幅器５０の反転出力を抵抗
Ｒ６を介して反転端（−）に入力されるように構成され
ている。また、増幅器５２は、非反転端（＋）が抵抗Ｒ
７を介して接地されており、反転端（−）と出力端との
間に抵抗Ｒ８が接続されている。増幅器５４は、増幅器
５２の出力がキャパシタＣ２によって平滑化されながら
抵抗Ｒ９を介して非反転端（＋）に入力されるように構
成されている。また、増幅器５４は、反転端（−）と出
力端との間にキャパシタＣ３及び抵抗Ｒ１０が並列に接
続されており、抵抗Ｒ１０は、可変抵抗ＶＲ１を介して
接地されている。したがって、検出信号ＩＮＴは、増幅
器５０により反転された後に、増幅器５２、５４により
増幅される。
続された抵抗Ｒ３、Ｒ４を通して（から直列に）非反転
端（＋）に検出信号が印加されるように構成されてお
り、反転端（−）と出力端との間には抵抗Ｒ５が接続さ
れている。増幅器５２は、増幅器５０の反転出力を抵抗
Ｒ６を介して反転端（−）に入力されるように構成され
ている。また、増幅器５２は、非反転端（＋）が抵抗Ｒ
７を介して接地されており、反転端（−）と出力端との
間に抵抗Ｒ８が接続されている。増幅器５４は、増幅器
５２の出力がキャパシタＣ２によって平滑化されながら
抵抗Ｒ９を介して非反転端（＋）に入力されるように構
成されている。また、増幅器５４は、反転端（−）と出
力端との間にキャパシタＣ３及び抵抗Ｒ１０が並列に接
続されており、抵抗Ｒ１０は、可変抵抗ＶＲ１を介して
接地されている。したがって、検出信号ＩＮＴは、増幅
器５０により反転された後に、増幅器５２、５４により
増幅される。
【００４５】反転増幅部４０は、シャッター１２が１％
以上開いた場合に、基準電圧ＲＥＦより高いレベルの電
圧が抵抗Ｒ２を介して比較器４４の入力端に印加されよ
うに、その増幅度を調節される。反転増幅部４０の増幅
度は、抵抗Ｒ６と抵抗Ｒ８、及び抵抗Ｒ９と抵抗Ｒ１０
の比によって設定することができる。また、反転増幅部
４０の微細な増幅度の調節は、可変抵抗ＶＲ１を利用し
て増幅器５４の負荷を変化させることによって達成する
ことができる。
以上開いた場合に、基準電圧ＲＥＦより高いレベルの電
圧が抵抗Ｒ２を介して比較器４４の入力端に印加されよ
うに、その増幅度を調節される。反転増幅部４０の増幅
度は、抵抗Ｒ６と抵抗Ｒ８、及び抵抗Ｒ９と抵抗Ｒ１０
の比によって設定することができる。また、反転増幅部
４０の微細な増幅度の調節は、可変抵抗ＶＲ１を利用し
て増幅器５４の負荷を変化させることによって達成する
ことができる。
【００４６】シャッター１２を通過した光を検出するセ
ンサ２４は、積分センサを利用して構成できる。通常の
積分センサの場合は、シャッター１２が完全に閉じられ
ると０［Ｖ］の検出信号が出力され、完全に開くと−３
［Ｖ］の検出信号が出力される。したがって、シャッタ
ー１２が１％程度開いた場合には、−０．０３［Ｖ］程
度の検出信号がセンサ２４から反転増幅部４０へ出力さ
れる。このために、反転増幅部４０の増幅器５２、５４
は、入力された検出信号を約１００倍程度に増幅するよ
うに設定されることが好ましい。そうすれば、反転増幅
部４０から出力された信号のレベルが、通常の比較器で
比較判断し得る電圧レベルに変換されて比較器４４に印
加されるからである。
ンサ２４は、積分センサを利用して構成できる。通常の
積分センサの場合は、シャッター１２が完全に閉じられ
ると０［Ｖ］の検出信号が出力され、完全に開くと−３
［Ｖ］の検出信号が出力される。したがって、シャッタ
ー１２が１％程度開いた場合には、−０．０３［Ｖ］程
度の検出信号がセンサ２４から反転増幅部４０へ出力さ
れる。このために、反転増幅部４０の増幅器５２、５４
は、入力された検出信号を約１００倍程度に増幅するよ
うに設定されることが好ましい。そうすれば、反転増幅
部４０から出力された信号のレベルが、通常の比較器で
比較判断し得る電圧レベルに変換されて比較器４４に印
加されるからである。
【００４７】比較器４４は、反転増幅部４０の出力と基
準電圧ＲＥＦとを比較する。なお、基準電圧ＲＥＦは、
シャッター１２が１％以上開いた場合に、反転増幅部４
０において反転増幅されて出力される信号と同一か又は
少し低いレベルで比較器４４に供給される。比較器４４
は、反転増幅部４０の出力が基準電圧ＲＥＦのレベルよ
り高いときは、論理的に低レベルの信号を出力し、反転
増幅部４０の出力が基準電圧ＲＥＦのレベルより低いと
きは、論理的に高レベルの信号を出力する。このような
低レベル或いは高レベルを有する比較器４４の出力は論
理組合せ部４６に入力される。
準電圧ＲＥＦとを比較する。なお、基準電圧ＲＥＦは、
シャッター１２が１％以上開いた場合に、反転増幅部４
０において反転増幅されて出力される信号と同一か又は
少し低いレベルで比較器４４に供給される。比較器４４
は、反転増幅部４０の出力が基準電圧ＲＥＦのレベルよ
り高いときは、論理的に低レベルの信号を出力し、反転
増幅部４０の出力が基準電圧ＲＥＦのレベルより低いと
きは、論理的に高レベルの信号を出力する。このような
低レベル或いは高レベルを有する比較器４４の出力は論
理組合せ部４６に入力される。
【００４８】一方、シャッターの動作状態を判別するた
めに駆動制御信号ＳＨが入力されるシャッター動作判別
部４２は、駆動制御信号ＳＨがキャパシタＣ４によって
平滑化されながら、抵抗Ｒ１１、Ｒ１２によって分圧さ
れてトランジスターＱ２のベースに入力されるように構
成されている。また、シャッター動作判別部４２は、ト
ランジスターＱ２のスイッチングによって抵抗Ｒ１３に
印加される定電圧Ｖ１が、インバーター５６を介して反
転された後に、遅延部５８に入力されるように構成され
ている。そして、遅延部５８の一方の側には、定電圧Ｖ
２が印加される可変抵抗ＶＲ２及び抵抗Ｒ１４が直列に
接続されており、また、これらの抵抗に並列にキャパシ
タＣ５が接続されている。遅延部５８の時定数は、可変
抵抗ＶＲ２、抵抗Ｒ１４の抵抗値及びキャパシタＣ５の
容量によって決まり、この時定数に基づいて遅延部５８
の出力遅延時間が決定される。遅延部５８は、通常の抵
抗とコンデンサーを利用したものであり、定電圧Ｖ２が
後述する排他的論理輪ゲート６２とＯＲゲート６６に与
えられる時間を調節するためのものである。遅延部５８
による定電圧Ｖ２の印可時間調節は、インバータ６０の
出力信号が排他的論理化ゲート６２とＯＲゲート６６に
与えられる時間を考え、正常に動作するようにするため
のものである。
めに駆動制御信号ＳＨが入力されるシャッター動作判別
部４２は、駆動制御信号ＳＨがキャパシタＣ４によって
平滑化されながら、抵抗Ｒ１１、Ｒ１２によって分圧さ
れてトランジスターＱ２のベースに入力されるように構
成されている。また、シャッター動作判別部４２は、ト
ランジスターＱ２のスイッチングによって抵抗Ｒ１３に
印加される定電圧Ｖ１が、インバーター５６を介して反
転された後に、遅延部５８に入力されるように構成され
ている。そして、遅延部５８の一方の側には、定電圧Ｖ
２が印加される可変抵抗ＶＲ２及び抵抗Ｒ１４が直列に
接続されており、また、これらの抵抗に並列にキャパシ
タＣ５が接続されている。遅延部５８の時定数は、可変
抵抗ＶＲ２、抵抗Ｒ１４の抵抗値及びキャパシタＣ５の
容量によって決まり、この時定数に基づいて遅延部５８
の出力遅延時間が決定される。遅延部５８は、通常の抵
抗とコンデンサーを利用したものであり、定電圧Ｖ２が
後述する排他的論理輪ゲート６２とＯＲゲート６６に与
えられる時間を調節するためのものである。遅延部５８
による定電圧Ｖ２の印可時間調節は、インバータ６０の
出力信号が排他的論理化ゲート６２とＯＲゲート６６に
与えられる時間を考え、正常に動作するようにするため
のものである。
【００４９】駆動制御信号ＳＨは、露光動作が遂行され
ているときは、高レベルと低レベルとが繰り返される信
号としてシャッター動作判別部４２に印加され、露光動
作が遂行されておらず、シャッターが閉じているとき
は、低レベルの信号として印加される。トランジスター
Ｑ２は、ベースに印加された駆動制御信号ＳＨが高レベ
ルのときにターンオンされ、低レベルのときにターンオ
フされる。この結果、定電圧Ｖ１は、駆動制御信号ＳＨ
を反転した状態でインバーター５６に印加される。イン
バーター５６は、印加された信号を元の駆動制御信号Ｓ
Ｈの状態に反転させて図３の‘Ａ’のような信号を遅延
部５８に印加する。なお、図３は、本発明による二重露
光防止装置の各部位において、シャッターが正常に作動
しているときに得られる信号を示す波形図である。ま
た、遅延部５８は、設定された時定数に基づいて、高レ
ベルの電圧状態を図３の‘Ｃ’のように数秒間持続さ
せ、これを出力信号として論理組合せ部４６に入力す
る。
ているときは、高レベルと低レベルとが繰り返される信
号としてシャッター動作判別部４２に印加され、露光動
作が遂行されておらず、シャッターが閉じているとき
は、低レベルの信号として印加される。トランジスター
Ｑ２は、ベースに印加された駆動制御信号ＳＨが高レベ
ルのときにターンオンされ、低レベルのときにターンオ
フされる。この結果、定電圧Ｖ１は、駆動制御信号ＳＨ
を反転した状態でインバーター５６に印加される。イン
バーター５６は、印加された信号を元の駆動制御信号Ｓ
Ｈの状態に反転させて図３の‘Ａ’のような信号を遅延
部５８に印加する。なお、図３は、本発明による二重露
光防止装置の各部位において、シャッターが正常に作動
しているときに得られる信号を示す波形図である。ま
た、遅延部５８は、設定された時定数に基づいて、高レ
ベルの電圧状態を図３の‘Ｃ’のように数秒間持続さ
せ、これを出力信号として論理組合せ部４６に入力す
る。
【００５０】論理組合せ部４６は、比較器４４の出力信
号を反転するインバーター６０と、インバーター６０及
びシャッター動作判別部４２の出力信号を組み合わせる
排他的論理和ゲート６２と、排他的論理和ゲート６２の
出力信号を反転するインバーター６４と、インバーター
６４及びシャッター動作判別部４２の出力信号を組み合
わせるＯＲゲート６６とから構成されている。
号を反転するインバーター６０と、インバーター６０及
びシャッター動作判別部４２の出力信号を組み合わせる
排他的論理和ゲート６２と、排他的論理和ゲート６２の
出力信号を反転するインバーター６４と、インバーター
６４及びシャッター動作判別部４２の出力信号を組み合
わせるＯＲゲート６６とから構成されている。
【００５１】次に、図２及び図３を参照して、シャッタ
ー１２が正常な開閉を行っている場合における論理組合
せ部４６の動作について説明する。
ー１２が正常な開閉を行っている場合における論理組合
せ部４６の動作について説明する。
【００５２】シャッター１２の駆動のために駆動制御信
号ＳＨが露光制御部２８から出力されてシャッター動作
判別部４２に印加されると、シャッター動作判別部４２
の遅延部５８には、定電圧Ｖ１がトランジスタＱ２によ
ってスイッチングされ、さらにインバーター５６によっ
て反転された信号（図３の‘Ａ’参照）が印加される。
信号‘Ａ’のうち、低レベルと高レベルとが繰り返され
ている区間は、露光のためにシャッターが開閉している
区間である。また、低レベルが持続されている区間は、
露光動作が遂行されておらず、シャッター１２が閉じら
れている区間である。
号ＳＨが露光制御部２８から出力されてシャッター動作
判別部４２に印加されると、シャッター動作判別部４２
の遅延部５８には、定電圧Ｖ１がトランジスタＱ２によ
ってスイッチングされ、さらにインバーター５６によっ
て反転された信号（図３の‘Ａ’参照）が印加される。
信号‘Ａ’のうち、低レベルと高レベルとが繰り返され
ている区間は、露光のためにシャッターが開閉している
区間である。また、低レベルが持続されている区間は、
露光動作が遂行されておらず、シャッター１２が閉じら
れている区間である。
【００５３】一方、遅延部５８は、信号‘Ａ’において
オン／オフが繰り返されない区間で所定時間(ｔ)の間、
高レベルを持続し、その後、低レベルに変換される信号
‘Ｃ’を出力する。
オン／オフが繰り返されない区間で所定時間(ｔ)の間、
高レベルを持続し、その後、低レベルに変換される信号
‘Ｃ’を出力する。
【００５４】露光のためにシャッターの開閉動作が行わ
れているときは、シャッターが開いていれば光がセンサ
２４によって検出され、シャッターが閉じられていれば
光がセンサ２４によって検出されない。センサ２４が出
力する検出信号ＩＮＴは、反転増幅部４０で反転増幅さ
れた後に比較器４４において基準電圧ＲＥＦと比較され
る。比較器４４は、シャッターの開閉動作中は、低レベ
ルの信号を出力し、シャッターが閉じられている状態で
は高レベルの信号を出力する。比較器４４の出力は、イ
ンバーター６０において反転され、図３の信号‘Ｂ’と
なって排他的論理和ゲート６２に入力される。
れているときは、シャッターが開いていれば光がセンサ
２４によって検出され、シャッターが閉じられていれば
光がセンサ２４によって検出されない。センサ２４が出
力する検出信号ＩＮＴは、反転増幅部４０で反転増幅さ
れた後に比較器４４において基準電圧ＲＥＦと比較され
る。比較器４４は、シャッターの開閉動作中は、低レベ
ルの信号を出力し、シャッターが閉じられている状態で
は高レベルの信号を出力する。比較器４４の出力は、イ
ンバーター６０において反転され、図３の信号‘Ｂ’と
なって排他的論理和ゲート６２に入力される。
【００５５】排他的論理和ゲート６２は、入力された信
号‘Ｂ’及び‘Ｃ’を組み合わせて信号‘Ｄ’として出
力する。信号‘Ｄ’は、インバーター６４で反転され、
信号‘Ｅ’となってＯＲゲート６６に入力される。そし
て、ＯＲゲート６６は、信号‘Ｅ’及び‘Ｃ’を組み合
わせた信号‘Ｆ’をトランジスターＱ１に対し出力す
る。
号‘Ｂ’及び‘Ｃ’を組み合わせて信号‘Ｄ’として出
力する。信号‘Ｄ’は、インバーター６４で反転され、
信号‘Ｅ’となってＯＲゲート６６に入力される。そし
て、ＯＲゲート６６は、信号‘Ｅ’及び‘Ｃ’を組み合
わせた信号‘Ｆ’をトランジスターＱ１に対し出力す
る。
【００５６】ＯＲゲート６６の出力は、シャッターが正
常に動作しているときは、図３の信号‘Ｆ’のように高
レベルの信号を維持し、トランジスターＱ１のベースに
印加される。なお、図中の記号「Ｈ」は、信号が論理的
に高レベルにあることを意味する。高レベルの信号を印
加されたトランジスターＱ１は、導通状態を保持し、こ
の結果、リレー４８がターンオフ状態となり、エラー信
号ＥＲが露光制御部２８に印加される。
常に動作しているときは、図３の信号‘Ｆ’のように高
レベルの信号を維持し、トランジスターＱ１のベースに
印加される。なお、図中の記号「Ｈ」は、信号が論理的
に高レベルにあることを意味する。高レベルの信号を印
加されたトランジスターＱ１は、導通状態を保持し、こ
の結果、リレー４８がターンオフ状態となり、エラー信
号ＥＲが露光制御部２８に印加される。
【００５７】しかし、シャッター１２が完全に閉じられ
ていない場合、すなわち、露光が行われてない状態であ
りながらシャッター１２が１％以上開いていることに該
当する光がセンサ２４によって検出される場合には、エ
ラー信号ＥＲは、低レベルで露光制御部２８に印加され
ることとなる。このことを図４を用いて、以下に説明す
る。
ていない場合、すなわち、露光が行われてない状態であ
りながらシャッター１２が１％以上開いていることに該
当する光がセンサ２４によって検出される場合には、エ
ラー信号ＥＲは、低レベルで露光制御部２８に印加され
ることとなる。このことを図４を用いて、以下に説明す
る。
【００５８】図４は、本発明による二重露光防止装置に
おいて、シャッターが正常に作動していないときに得ら
れる信号を示す波形図である。シャッター１２が完全に
閉じられないために、センサ２４によって光が検出され
ている場合には、反転増幅部４０を介して比較器４４の
一方の入力端に印加される信号のレベルが、他の入力端
に印加される基準電圧ＲＥＦのレベルより常に高くな
る。このために、比較器４４は、駆動制御信号ＳＨが露
光動作を命じているのか又はシャッターの閉鎖を命じて
いるのかに拘らず、常に低レベルの信号を出力し、イン
バーター６０は、これを反転させて信号‘Ｂ’を排他的
論理和ゲート６２に入力する。
おいて、シャッターが正常に作動していないときに得ら
れる信号を示す波形図である。シャッター１２が完全に
閉じられないために、センサ２４によって光が検出され
ている場合には、反転増幅部４０を介して比較器４４の
一方の入力端に印加される信号のレベルが、他の入力端
に印加される基準電圧ＲＥＦのレベルより常に高くな
る。このために、比較器４４は、駆動制御信号ＳＨが露
光動作を命じているのか又はシャッターの閉鎖を命じて
いるのかに拘らず、常に低レベルの信号を出力し、イン
バーター６０は、これを反転させて信号‘Ｂ’を排他的
論理和ゲート６２に入力する。
【００５９】排他的論理和ゲート６２は、遅延部５８の
出力レベルが低レベルに変換されるときに高レベルに変
換される信号‘Ｄ’をインバーター６４に印加する。イ
ンバーター６４は、入力された信号‘Ｄ’を反転させて
信号‘Ｅ’をＯＲゲート６６に印加する。ＯＲゲート６
６は、信号‘Ｅ’及び‘Ｃ’を組み合わせた結果、遅延
部５８の出力が低レベルに変換されるときに低レベルに
変換される信号‘Ｆ’をトランジスターＱ１に印加す
る。
出力レベルが低レベルに変換されるときに高レベルに変
換される信号‘Ｄ’をインバーター６４に印加する。イ
ンバーター６４は、入力された信号‘Ｄ’を反転させて
信号‘Ｅ’をＯＲゲート６６に印加する。ＯＲゲート６
６は、信号‘Ｅ’及び‘Ｃ’を組み合わせた結果、遅延
部５８の出力が低レベルに変換されるときに低レベルに
変換される信号‘Ｆ’をトランジスターＱ１に印加す
る。
【００６０】つまり、トランジスタＱ１に印加されるＯ
Ｒゲート６６の出力は、センサ２４で光が検出されてい
ると、図４の信号‘Ｆ’のように、シャッターが閉じら
れるとき高レベルから低レベルに変換される。したがっ
て、トランジスターＱ１は、図４の信号‘Ｆ’の低レベ
ル区間でターンオフされ、リレー４８は、これに連動し
てターンオンされる。この結果、エラー信号ＥＲが露光
制御部２８に印加される。
Ｒゲート６６の出力は、センサ２４で光が検出されてい
ると、図４の信号‘Ｆ’のように、シャッターが閉じら
れるとき高レベルから低レベルに変換される。したがっ
て、トランジスターＱ１は、図４の信号‘Ｆ’の低レベ
ル区間でターンオフされ、リレー４８は、これに連動し
てターンオンされる。この結果、エラー信号ＥＲが露光
制御部２８に印加される。
【００６１】結局、シャッター１２の開閉が正常に遂行
される場合は、リレー４８がターンオフされ、露光が行
われていないときであってシャッター１２が完全に閉じ
られてない場合は、リレー４８がターンオンされる。露
光制御部２８は、リレー動作によって状態が相違するエ
ラー信号ＥＲに基づいて二重露光の有無を判断し、二重
露光があると判断した場合には、警報部３２を通して警
報動作を遂行すると同時に、ウェーハ駆動部３０を制御
してウェーハの駆動を中止させる。
される場合は、リレー４８がターンオフされ、露光が行
われていないときであってシャッター１２が完全に閉じ
られてない場合は、リレー４８がターンオンされる。露
光制御部２８は、リレー動作によって状態が相違するエ
ラー信号ＥＲに基づいて二重露光の有無を判断し、二重
露光があると判断した場合には、警報部３２を通して警
報動作を遂行すると同時に、ウェーハ駆動部３０を制御
してウェーハの駆動を中止させる。
【００６２】二重露光検出部２６で正常な判別動作が遂
行されるためには、基準電圧ＲＥＦが安定したレベルで
提供されなければならない。本実施の形態では、露光検
出部２６を正確に動作させるために、基準電圧ＲＥＦが
不安定な場合には、エラー信号が露光制御部２８に印加
されるようになっている。
行されるためには、基準電圧ＲＥＦが安定したレベルで
提供されなければならない。本実施の形態では、露光検
出部２６を正確に動作させるために、基準電圧ＲＥＦが
不安定な場合には、エラー信号が露光制御部２８に印加
されるようになっている。
【００６３】つまり、図２に示されるように、基準電圧
ＲＥＦは、比較器４４に印加される一方で、比較部６８
にも印加されている。比較部６８は、基準電圧ＲＥＦが
予め設定された上限レベル又は下限レベルを外れたか否
かをチェックし、その結果を論理組合せ部７０に出力す
る。論理組合せ部７０は、比較部６８の出力を組み合わ
せ、その結果に基づいてトランジスターＱ１をスイッチ
ングする。
ＲＥＦは、比較器４４に印加される一方で、比較部６８
にも印加されている。比較部６８は、基準電圧ＲＥＦが
予め設定された上限レベル又は下限レベルを外れたか否
かをチェックし、その結果を論理組合せ部７０に出力す
る。論理組合せ部７０は、比較部６８の出力を組み合わ
せ、その結果に基づいてトランジスターＱ１をスイッチ
ングする。
【００６４】比較部６８には、定電圧供給部７２から安
定した定電圧が提供される。定電圧供給部７２は、抵抗
Ｒ１５を介して定電圧Ｖ４を印加されることにより駆動
され、コンデンサＣ６によって平滑化された所定レベル
の電圧を可変抵抗ＶＲ３、ＶＲ４及びＶＲ５にそれぞれ
印加する。基準電圧ＲＥＦは、可変抵抗ＶＲ３に印加さ
れた電圧に乗せられて抵抗Ｒ１６によって分圧されて比
較器７４、７６に印加される。つまり、可変抵抗ＶＲ３
には、基準電圧ＲＥＦが与えられる抵抗Ｒ１６と連結さ
れた接点が形成されており、これを通じて定電圧供給部
７２の出力電圧中分圧された電圧が抵抗Ｒ１６を通じて
比較器７４、７６に与えられる。結局、抵抗Ｒ１６に
は、基準電極ＲＥＦと定電圧供給部７２の分圧された電
圧が合成されて与えられる。また、この合成電圧は、比
較器７４、７６に与えられる。
定した定電圧が提供される。定電圧供給部７２は、抵抗
Ｒ１５を介して定電圧Ｖ４を印加されることにより駆動
され、コンデンサＣ６によって平滑化された所定レベル
の電圧を可変抵抗ＶＲ３、ＶＲ４及びＶＲ５にそれぞれ
印加する。基準電圧ＲＥＦは、可変抵抗ＶＲ３に印加さ
れた電圧に乗せられて抵抗Ｒ１６によって分圧されて比
較器７４、７６に印加される。つまり、可変抵抗ＶＲ３
には、基準電圧ＲＥＦが与えられる抵抗Ｒ１６と連結さ
れた接点が形成されており、これを通じて定電圧供給部
７２の出力電圧中分圧された電圧が抵抗Ｒ１６を通じて
比較器７４、７６に与えられる。結局、抵抗Ｒ１６に
は、基準電極ＲＥＦと定電圧供給部７２の分圧された電
圧が合成されて与えられる。また、この合成電圧は、比
較器７４、７６に与えられる。
【００６５】比較器７４は、基準電圧ＲＥＦが上限許容
値を外れているか否かを判断するためのものである。ま
た、比較器７６は、基準電圧ＲＥＦが下限許容値を外れ
ているか否かを判断するためのものである。比較器７４
は、一方の入力端に基準電圧ＲＥＦの上限許容値に該当
するレベルの電圧が抵抗Ｒ１７を介して印加されてお
り、他方の入力端に入力された基準電圧ＲＥＦのレベル
が上限許容値を越えるときに高レベルの信号を出力す
る。また、比較器７６は、一方の入力端に基準電圧ＲＥ
Ｆの下限許容値に該当するレベルの電圧が抵抗Ｒ１８を
介して印加されており、他方の入力端に入力された基準
電圧ＲＥＦのレベルが下限許容値に至らないときに高レ
ベルの信号を出力する。
値を外れているか否かを判断するためのものである。ま
た、比較器７６は、基準電圧ＲＥＦが下限許容値を外れ
ているか否かを判断するためのものである。比較器７４
は、一方の入力端に基準電圧ＲＥＦの上限許容値に該当
するレベルの電圧が抵抗Ｒ１７を介して印加されてお
り、他方の入力端に入力された基準電圧ＲＥＦのレベル
が上限許容値を越えるときに高レベルの信号を出力す
る。また、比較器７６は、一方の入力端に基準電圧ＲＥ
Ｆの下限許容値に該当するレベルの電圧が抵抗Ｒ１８を
介して印加されており、他方の入力端に入力された基準
電圧ＲＥＦのレベルが下限許容値に至らないときに高レ
ベルの信号を出力する。
【００６６】比較部６８の二つの比較器７４、７６から
出力される信号は、論理組合せ部７０で組み合わされ
る。論理組合せ部７０は、基準電圧ＲＥＦが所定範囲内
にあると高レベルの信号をトランジスターＱ１に印加
し、基準電圧ＲＥＦが上限値または下限値を外れると低
レベルの信号をトランジスターＱ１に印加するように構
成されている。つまり、比較器７４は、出力信号をイン
バーター７８を経てＯＲゲート８２に印加するように接
続されており、比較器７６は、出力信号をインバーター
８０を経てＯＲゲート８２に印加するように接続されて
いる。そして、ＯＲゲート８２は、インバーター８４を
経てトランジスターＱ１のベースに出力信号を印加する
ように構成されている。
出力される信号は、論理組合せ部７０で組み合わされ
る。論理組合せ部７０は、基準電圧ＲＥＦが所定範囲内
にあると高レベルの信号をトランジスターＱ１に印加
し、基準電圧ＲＥＦが上限値または下限値を外れると低
レベルの信号をトランジスターＱ１に印加するように構
成されている。つまり、比較器７４は、出力信号をイン
バーター７８を経てＯＲゲート８２に印加するように接
続されており、比較器７６は、出力信号をインバーター
８０を経てＯＲゲート８２に印加するように接続されて
いる。そして、ＯＲゲート８２は、インバーター８４を
経てトランジスターＱ１のベースに出力信号を印加する
ように構成されている。
【００６７】したがって、基準電圧ＲＥＦが上限値と下
限値とを外れない場合には、各比較器７４、７６は、高
レベルの出力信号を各インバーター７８、８０に印加
し、インバーター７８、８０によって反転した低レベル
の信号がＯＲゲート８２で組み合わせられる。この場合
には、ＯＲゲート８２に入力される信号がともに低レベ
ルであるので、ＯＲゲート８２は、インバーター８４に
対し低レベルの信号を出力する。インバーター８４は、
これを反転させた高レベルの信号をトランジスターＱ１
のベースに印加する。
限値とを外れない場合には、各比較器７４、７６は、高
レベルの出力信号を各インバーター７８、８０に印加
し、インバーター７８、８０によって反転した低レベル
の信号がＯＲゲート８２で組み合わせられる。この場合
には、ＯＲゲート８２に入力される信号がともに低レベ
ルであるので、ＯＲゲート８２は、インバーター８４に
対し低レベルの信号を出力する。インバーター８４は、
これを反転させた高レベルの信号をトランジスターＱ１
のベースに印加する。
【００６８】もし、基準電圧ＲＥＦが上限値を外れる
と、比較器７４がインバーター７８に低レベルの出力信
号を印加し、基準電圧ＲＥＦが下限値を外れると、比較
器７６がインバーター８０に低レベルの出力信号を印加
する。インバーター７８、８０によって反転された信号
は、次に、ＯＲゲート８２で組み合わせられる。インバ
ーター７８、８０よりＯＲゲート８２に印加された信号
の一方は高レベルであるために、ＯＲゲート８２は、イ
ンバーター８４に高レベルの信号を印加する。そして、
インバーター８４は、これを反転させた低レベルの信号
をトランジスターＱ１のベースに印加する。
と、比較器７４がインバーター７８に低レベルの出力信
号を印加し、基準電圧ＲＥＦが下限値を外れると、比較
器７６がインバーター８０に低レベルの出力信号を印加
する。インバーター７８、８０によって反転された信号
は、次に、ＯＲゲート８２で組み合わせられる。インバ
ーター７８、８０よりＯＲゲート８２に印加された信号
の一方は高レベルであるために、ＯＲゲート８２は、イ
ンバーター８４に高レベルの信号を印加する。そして、
インバーター８４は、これを反転させた低レベルの信号
をトランジスターＱ１のベースに印加する。
【００６９】つまり、基準電圧ＲＥＦが基準電圧印加部
２７から正常に供給されている場合には、トランジスタ
ーＱ１はターンオンされ、駆動制御信号ＳＨと検出信号
ＩＮＴの状態に基づいてスイッチングされる。一方、基
準電圧ＲＥＦが正常に供給されてない場合には、トラン
ジスターＱ１がターンオフされ、リレー４８が駆動され
るので、エラー信号ＥＲが露光制御部２８に印加され
る。
２７から正常に供給されている場合には、トランジスタ
ーＱ１はターンオンされ、駆動制御信号ＳＨと検出信号
ＩＮＴの状態に基づいてスイッチングされる。一方、基
準電圧ＲＥＦが正常に供給されてない場合には、トラン
ジスターＱ１がターンオフされ、リレー４８が駆動され
るので、エラー信号ＥＲが露光制御部２８に印加され
る。
【００７０】露光制御部２８は、リレー４８の動作によ
って異なる電圧で印加されるエラー信号ＥＲの状態に基
づいて基準電圧異常を判断し、警報部３２を通じて警報
動作を遂行すると同時に、ウェーハ駆動部３０を制御し
てウェーハの駆動を中止させる。
って異なる電圧で印加されるエラー信号ＥＲの状態に基
づいて基準電圧異常を判断し、警報部３２を通じて警報
動作を遂行すると同時に、ウェーハ駆動部３０を制御し
てウェーハの駆動を中止させる。
【００７１】以上説明したように、本実施の形態の二重
露光防止装置では、露光制御部２８は、シャッターが完
全に閉じられないためにウェーハに二重露光が生じる場
合と、二重露光検出のために供給される定電圧に異常が
生じた場合とのいずれの場合をも、露光制御部２８がエ
ラー状態として認識し、ウェーハの駆動を中止するとと
もに、警報動作を遂行する。
露光防止装置では、露光制御部２８は、シャッターが完
全に閉じられないためにウェーハに二重露光が生じる場
合と、二重露光検出のために供給される定電圧に異常が
生じた場合とのいずれの場合をも、露光制御部２８がエ
ラー状態として認識し、ウェーハの駆動を中止するとと
もに、警報動作を遂行する。
【００７２】図５は、本発明による二重露光防止装置の
第２の実施の形態を示すブロック図である。図５に示す
ように、リレー４８は、露光制御部２６及びウェーハ真
空センサ８６に直列に接続することもできる。ここで、
ウェーハ真空センサ８６は、ウェーハを固定する真空チ
ャンバー内の真空状態を検出するためのセンサであり、
例えば、真空チャンバー内の圧力を検出する圧力計であ
る。また、警報部３２は、例えばブザー８８である。
第２の実施の形態を示すブロック図である。図５に示す
ように、リレー４８は、露光制御部２６及びウェーハ真
空センサ８６に直列に接続することもできる。ここで、
ウェーハ真空センサ８６は、ウェーハを固定する真空チ
ャンバー内の真空状態を検出するためのセンサであり、
例えば、真空チャンバー内の圧力を検出する圧力計であ
る。また、警報部３２は、例えばブザー８８である。
【００７３】図５に示す実施形態では、露光制御部２６
は、真空チャンバー内の不十分な減圧と、シャッター１
２が不完全に閉じられていることとの双方をエラーとし
て認識し、ブザー８８を動作させることにより警報動作
を遂行することができる。
は、真空チャンバー内の不十分な減圧と、シャッター１
２が不完全に閉じられていることとの双方をエラーとし
て認識し、ブザー８８を動作させることにより警報動作
を遂行することができる。
【００７４】なお、図５は、リレー４８及び警報部３２
についての構成の単に一例を示したものである。従っ
て、リレー４８は、例えば、定電圧をスイッチングによ
って露光制御部２６に印加するように構成することであ
ってもよく、また、警報部３２は、他の聴覚的又は視覚
的認識手段で構成することであってもよい。
についての構成の単に一例を示したものである。従っ
て、リレー４８は、例えば、定電圧をスイッチングによ
って露光制御部２６に印加するように構成することであ
ってもよく、また、警報部３２は、他の聴覚的又は視覚
的認識手段で構成することであってもよい。
【００７５】本発明によれば、露光を遂行するステッパ
ーにシャッターの開閉状態をチャックして二重露光発生
を防止する機能が備えられたので、シャッター１２の作
動にエラーが生じると、直ちにウェーハの露光を中止す
ることが可能となっている。
ーにシャッターの開閉状態をチャックして二重露光発生
を防止する機能が備えられたので、シャッター１２の作
動にエラーが生じると、直ちにウェーハの露光を中止す
ることが可能となっている。
【００７６】したがって、本発明によれば、二重露光に
よる不良ウェーハが生じないように直ちに措置を取るこ
とができ、それにより不良ウェーハの発生を防止できる
という効果が得られるとともに、露光設備の信頼度の向
上を図ることが可能となる。
よる不良ウェーハが生じないように直ちに措置を取るこ
とができ、それにより不良ウェーハの発生を防止できる
という効果が得られるとともに、露光設備の信頼度の向
上を図ることが可能となる。
【００７７】なお、本発明は、記載された具体的な例に
対してのみ詳細に説明されたが、本発明の技術上の範囲
内で多様な変形及び修正が可能なのは該当業者にとって
は明らかなことであり、このような変形及び修正が特許
請求の範囲に属するのは言うまでもないことである。
対してのみ詳細に説明されたが、本発明の技術上の範囲
内で多様な変形及び修正が可能なのは該当業者にとって
は明らかなことであり、このような変形及び修正が特許
請求の範囲に属するのは言うまでもないことである。
【００７８】
【発明の効果】本発明によれば、シャッターが異常な状
態で閉じられ、漏光が生じることによる二重露光をチェ
ックする機能が提供されるので、不良ウェーハの発生が
防止され、歩止まりを向上させることができるととも
に、露光設備に対する信頼度を向上させることができ
る。
態で閉じられ、漏光が生じることによる二重露光をチェ
ックする機能が提供されるので、不良ウェーハの発生が
防止され、歩止まりを向上させることができるととも
に、露光設備に対する信頼度を向上させることができ
る。
【図１】本発明による二重露光防止装置を備えたステッ
パーのブロック図である。
パーのブロック図である。
【図２】二重露光検出部の回路図である。
【図３】シャッターが正常に作動するときの論理組合せ
部を含む各部の波形図である。
部を含む各部の波形図である。
【図４】シャッターが正常に作動しないときの論理組合
せ部を含む各部の波形図である。
せ部を含む各部の波形図である。
【図５】本発明による二重露光防止装置の第２の実施の
形態を示すブロック図である。
形態を示すブロック図である。
【図６】従来のステッパーにおけるシャッターを示す図
である。
である。
２ ステッピングモータ ４ 翼 ６ 窓 １０ 光源 １２ シャッター １４ 反射系 １６ レチクル １８ レンズアセンブリー ２０ ステージ ２２ 露光系 ２４ センサ ２６ 二重露光検出部 ２７ 基準電圧印加部 ２８ 露光制御部 ３０ ウェーハ駆動部 ３２ 警報部 ４０ 反転増幅部 ４２ シャッター動作判別部 ４４、７４、７６ 比較器 ４６ 論理組合せ部 ４８ リレー ５０、５２、５４ 増幅器 ５６、６０、６４、７８、８０、８４ インバーター ５８ 遅延部 ６２ 排他的論理和ゲート ６６、８２ ＯＲゲート ６８ 比較部 ７０ 論理組合せ部 ７２ 定電圧供給部 Ｒ１〜Ｒ１８ 抵抗 Ｃ１〜Ｃ６ キャパシタ ＶＲ１〜ＶＲ５ 可変抵抗 Ｑ１〜Ｑ２ トランジスター ＳＨ 駆動制御信号 ＩＮＴ 検出信号 ＥＲ エラー信号 ＲＥＦ 基準電圧
Claims (23)
- 【請求項１】 シャッターを開閉させて露光を行う露光
設備の二重露光防止装置において、 前記シャッターを通過する光を検出する検出手段と、 前記検出手段の出力信号を基準電圧と比較する第１比較
手段と、 前記シャッターを駆動するシャッター駆動制御信号に基
づいて前記シャッターの動作を判別するシャッター動作
判別手段と、 前記第１比較手段の出力信号と前記シャッター動作判別
手段の出力信号とを用いて論理組合せを行い、前記シャ
ッターにおける漏光の有無を判別する第１論理組合せ手
段と、 前記第１論理組合せ手段の出力信号に基づいて入力、非
入力を切り換える第１のスイッチング手段とを備え、 前記第１のスイッチング手段が入力状態にあるか否かに
より、露光を中止させるためのエラー信号の発生の有無
が決まることを特徴とする露光設備の二重露光防止装
置。 - 【請求項２】 前記検出手段は積分センサであることを
特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装
置。 - 【請求項３】 前記検出手段の出力信号を反転増幅して
前記第１比較手段に入力する反転増幅手段をさらに備え
ることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露
光防止装置。 - 【請求項４】 前記反転増幅手段は、前記検出手段の出
力信号を反転する第１増幅器と、 前記第１増幅器の出力信号を増幅する第２増幅器と、 前記第２増幅器の出力信号を増幅して前記第１比較手段
に入力する第３増幅器とを備えることを特徴とする請求
項３に記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項５】 前記第３増幅器には、抵抗値が可変であ
る第１可変抵抗が接続されており、 前記第３増幅器が前記第２増幅器の出力信号を増幅する
増幅率は、前記第１可変抵抗の抵抗値を変化させること
により調整されることを特徴とする請求項４に記載の露
光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項６】 前記シャッター動作判別手段は、前記シ
ャッター駆動制御信号の大きさに応じて入力、非入力を
切り換える第２のスイッチング手段と、 前記第２のスイッチング手段から高レベルの電圧が印加
されると、高レベルの電圧を所定時間継続して出力する
遅延手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の
露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項７】 前記第２のスイッチング手段は、前記シ
ャッター駆動制御信号がベースに印加され、第１の定電
圧がコレクターに印加される第１トランジスターと、 前記第１トランジスターのコレクターに接続され、前記
第１トランジスターのスイッチングによって印加される
前記第１の定電圧を反転出力する第１インバーターとを
備えることを特徴とする請求項６に記載の露光設備の二
重露光防止装置。 - 【請求項８】 前記遅延回路が前記高レベルの電圧を継
続して出力する前記所定時間は、前記シャッター駆動制
御信号のパルス周期より長いことを特徴とする請求項６
記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項９】 前記遅延手段は、抵抗値が可変である第
２可変抵抗が接続されており、 前記遅延回路が前記高レベルの電圧を継続して出力する
前記所定時間は、前記第２可変抵抗の抵抗値を変化させ
ることにより調整されることを特徴とする請求項８記載
の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項１０】 前記第１比較手段は、前記検出手段の
出力信号が前記基準電圧のレベルより高いときに、低レ
ベルの信号を出力することを特徴とする請求項１に記載
の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項１１】 前記論理組合せ手段は、前記第１比較
手段の出力と前記シャッター動作判別手段の出力とを用
いて論理組合せを行う排他的論理和ゲートと、 前記排他的論理和ゲートの出力を反転させる第２インバ
ーターと、 前記第２インバーターの出力と前記シャッター動作判別
手段の出力とを用いて論理組合せを行うＯＲゲートとを
備えることを特徴とする請求項１に記載の露光設備の二
重露光防止装置。 - 【請求項１２】 前記第１比較手段の出力を反転させて
前記排他的論理和ゲートに入力する第３インバーターを
さらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の露光
設備の二重露光防止装置。 - 【請求項１３】 前記第１のスイッチング手段は、 前記第１論理組合せ手段の出力がベースに印加される第
２トランジスターと、 前記第２トランジスターのスイッチングに連動するリレ
ーとを備え、 前記リレーの入力の有無により前記エラー信号の発生の
有無が決まることを特徴とする請求項１に記載の露光設
備の二重露光防止装置。 - 【請求項１４】 前記基準電圧が許容範囲内の値を有す
るか否かを判別する基準電圧判別手段を備えることを特
徴とする請求項１に記載の露光設備の二重露光装置。 - 【請求項１５】 前記基準電圧判別手段の出力信号は、
前記第１のスイッチング手段に入力されることを特徴と
する請求項１４に記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項１６】 前記基準電圧判別手段は、 一定電圧を供給する定電圧供給手段と、 前記定電圧供給手段から供給される電圧を利用して、前
記基準電圧を所定の上限値及び下限値と比較し、前記基
準電圧が前記上限値以下にあるか否かを示す上限判断信
号と、前記基準電圧が前記下限値以上にあるか否かを示
す下限判断信号をそれぞれ出力する第２比較手段と、 前記上限判断信号及び前記下限判断信号を用いて論理組
合せを行い、その結果を前記第１のスイッチング手段に
入力する第２論理組合せ手段とを備えることを特徴とす
る請求項１５に記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項１７】 前記第２比較手段は、 前記定電圧供給手段からの一定電圧が印加される第３可
変抵抗及び第４可変抵抗と、 前記第３可変抵抗により前記一定電圧を分圧して得られ
る第１比較電圧と前記基準電圧とを比較する第１比較器
と、 前記第４可変抵抗により前記一定電圧を分圧して得られ
る第２比較電圧と前記基準電圧とを比較する第２比較器
とを備えることを特徴とする請求項１６に記載の露光設
備の二重露光防止装置。 - 【請求項１８】 前記基準電圧は、前記定電圧供給手段
によって安定化された後、前記第２比較手段に印加され
るように構成されることを特徴とする請求項１６に記載
の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項１９】 前記第１のスイッチング手段は、露光
動作を制御する露光制御手段に接続され、前記露光制御
手段に対して前記エラー信号を出力することにより、前
記露光動作を中止させることを特徴とする請求項１に記
載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項２０】 前記露光制御手段には、二重露光の発
生を警告する警報手段が接続されており、 前記警報手段は、前記露光制御手段から前記エラー信号
を入力されたときに作動することを特徴とする請求項１
９に記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項２１】 前記第１のスイッチング手段に二重露
光の発生を警告する警報手段が接続されており、 前記警報手段は、前記第１のスイッチング手段から前記
エラー信号を入力されたときに作動することを特徴とす
る請求項１に記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項２２】 露光が行われる真空チャンバーの圧力
を検出する真空センサをさらに有し、 前記第１のスイッチング手段は、前記真空センサと前記
露光制御手段との間に配置され、前記真空センサが所定
値以下の圧力を検出しない場合に、前記露光制御手段に
対し前記エラー信号を出力することを特徴とする請求項
１に記載の露光設備の二重露光防止装置。 - 【請求項２３】 前記露光制御手段には、二重露光の発
生を警告する警報手段が接続されており、 前記警報手段は、前記露光制御手段から前記エラー信号
を入力されたときに作動することを特徴とする請求項２
２に記載の露光設備の二重露光防止装置。
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