JPH10189809A - 半導体パッケージ及びそれを用いた半導体装置 - Google Patents
半導体パッケージ及びそれを用いた半導体装置Info
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- JPH10189809A JPH10189809A JP34429396A JP34429396A JPH10189809A JP H10189809 A JPH10189809 A JP H10189809A JP 34429396 A JP34429396 A JP 34429396A JP 34429396 A JP34429396 A JP 34429396A JP H10189809 A JPH10189809 A JP H10189809A
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- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体チップが備える半導体信号回路と電気
的に接続可能に形成された基板信号回路及び半導体チッ
プが備える半導体電源回路と電気的に接続可能に形成さ
れた基板電源回路を有する基板と、基板信号回路及び基
板電源回路と電気的に接続され、母基板に実装して接続
するための外部接続端子を上記基板の側面に複数備える
半導体パッケージにおいて、基板信号回路の配線長さが
変動しても、安定に動作可能な半導体装置が得られる半
導体パッケージを提供することにある。 【解決手段】 本発明の半導体パッケージは、半導体チ
ップが備える半導体信号回路と電気的に接続可能に形成
された基板信号回路及び半導体チップが備える半導体電
源回路と電気的に接続可能に形成された基板電源回路を
有する基板と、基板信号回路と電気的に接続され、母基
板に実装して接続するための外部接続端子を上記基板の
側面に複数備える半導体パッケージにおいて、上記外部
接続端子の端子径が基板信号回路の回路長に反比例して
形成されていることを特徴とする。
的に接続可能に形成された基板信号回路及び半導体チッ
プが備える半導体電源回路と電気的に接続可能に形成さ
れた基板電源回路を有する基板と、基板信号回路及び基
板電源回路と電気的に接続され、母基板に実装して接続
するための外部接続端子を上記基板の側面に複数備える
半導体パッケージにおいて、基板信号回路の配線長さが
変動しても、安定に動作可能な半導体装置が得られる半
導体パッケージを提供することにある。 【解決手段】 本発明の半導体パッケージは、半導体チ
ップが備える半導体信号回路と電気的に接続可能に形成
された基板信号回路及び半導体チップが備える半導体電
源回路と電気的に接続可能に形成された基板電源回路を
有する基板と、基板信号回路と電気的に接続され、母基
板に実装して接続するための外部接続端子を上記基板の
側面に複数備える半導体パッケージにおいて、上記外部
接続端子の端子径が基板信号回路の回路長に反比例して
形成されていることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気機器、電子機
器に搭載される半導体装置、及びそれらに用いられる半
導体パッケージに関するものである。
器に搭載される半導体装置、及びそれらに用いられる半
導体パッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体装置の高集積化、高機能化にとも
ない、半導体装置をプリント配線基板等の母基板に実装
するための端子数が増加し、半導体装置も大きくなって
きた。そのため、半導体装置を構成する基板の4つの側
面に外部接続端子を形成したPLCC半導体装置が実用
化されている。
ない、半導体装置をプリント配線基板等の母基板に実装
するための端子数が増加し、半導体装置も大きくなって
きた。そのため、半導体装置を構成する基板の4つの側
面に外部接続端子を形成したPLCC半導体装置が実用
化されている。
【0003】このPLCC半導体装置は、図3に示すよ
うに、半導体装置部7、及び、その半導体装置部7の信
号入出力する半導体信号回路6a、及び、半導体処理部
に電源を供給する半導体電源回路6bを表面に有する半
導体チップ5がボンディングパッドを表面に有する基板
8に搭載され、その半導体チップ5が備える半導体信号
回路6a及び半導体電源回路6bと、基板8が備えるボ
ンディングパッド3の間がボンディングワイヤー4等で
電気的に接続され、基板8の半導体チップ5を搭載した
部分等が封止材で封止されている。また、上記基板8の
側面には、外部接続端子1が形成されており、その外部
接続端子1は母基板に実装しやすいように、導通スルホ
ールを半裁した形状を有している。そしてこの外部接続
端子1とボンディングパッドとの間は、配線回路2(基
板信号回路2と同等)により接続されることによって半
導体チップ5と外部接続端子1の電気的接続がされてい
る。このように、半導体チップ5の大きさと外部接続端
子1の配列及び配列間隔が大きく異なるため、配線回路
2を形成した配線回路2を形成した基板8を用いること
によって外部接続端子1の数を増大させた半導体装置を
実装可能としている。
うに、半導体装置部7、及び、その半導体装置部7の信
号入出力する半導体信号回路6a、及び、半導体処理部
に電源を供給する半導体電源回路6bを表面に有する半
導体チップ5がボンディングパッドを表面に有する基板
8に搭載され、その半導体チップ5が備える半導体信号
回路6a及び半導体電源回路6bと、基板8が備えるボ
ンディングパッド3の間がボンディングワイヤー4等で
電気的に接続され、基板8の半導体チップ5を搭載した
部分等が封止材で封止されている。また、上記基板8の
側面には、外部接続端子1が形成されており、その外部
接続端子1は母基板に実装しやすいように、導通スルホ
ールを半裁した形状を有している。そしてこの外部接続
端子1とボンディングパッドとの間は、配線回路2(基
板信号回路2と同等)により接続されることによって半
導体チップ5と外部接続端子1の電気的接続がされてい
る。このように、半導体チップ5の大きさと外部接続端
子1の配列及び配列間隔が大きく異なるため、配線回路
2を形成した配線回路2を形成した基板8を用いること
によって外部接続端子1の数を増大させた半導体装置を
実装可能としている。
【0004】近年の高度情報化社会の進展と半導体チッ
プの進歩により、半導体装置に付与する機能はますます
増大し、集積度や動作速度の向上が年々高まっており、
外部端子の増加と消費電力の増加を招いている。そのた
め、基板上の配線回路の数がさらに増加して基板の大き
さが拡大して半導体装置を形成していた。
プの進歩により、半導体装置に付与する機能はますます
増大し、集積度や動作速度の向上が年々高まっており、
外部端子の増加と消費電力の増加を招いている。そのた
め、基板上の配線回路の数がさらに増加して基板の大き
さが拡大して半導体装置を形成していた。
【0005】ところが、基板の大きさが拡大するととも
に、ボンディングパッドと外部接続端子の距離が遠くな
り、その間を接続する配線回路を長くひきまわして電気
的に接続する配線回路の長さが長くなり、配線回路の長
さにより信号処理のタイミングのずれが発生し、半導体
装置の作動が不安定になる場合があった。
に、ボンディングパッドと外部接続端子の距離が遠くな
り、その間を接続する配線回路を長くひきまわして電気
的に接続する配線回路の長さが長くなり、配線回路の長
さにより信号処理のタイミングのずれが発生し、半導体
装置の作動が不安定になる場合があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題に
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
半導体チップが備える半導体信号回路と電気的に接続可
能に形成された基板信号回路及び半導体チップが備える
半導体電源回路と電気的に接続可能に形成された基板電
源回路を有する基板と、基板信号回路及び基板電源回路
と電気的に接続され、母基板に実装して接続するための
外部接続端子を上記基板の側面に複数備える半導体パッ
ケージにおいて、基板信号回路の配線長さが変動して
も、安定に動作可能な半導体装置が得られる半導体パッ
ケージを提供することにある。
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
半導体チップが備える半導体信号回路と電気的に接続可
能に形成された基板信号回路及び半導体チップが備える
半導体電源回路と電気的に接続可能に形成された基板電
源回路を有する基板と、基板信号回路及び基板電源回路
と電気的に接続され、母基板に実装して接続するための
外部接続端子を上記基板の側面に複数備える半導体パッ
ケージにおいて、基板信号回路の配線長さが変動して
も、安定に動作可能な半導体装置が得られる半導体パッ
ケージを提供することにある。
【0007】また、この半導体パッケージを用いた、基
板信号回路及び基板電源回路の配線長さが変動しても、
安定に作動する半導体装置を提供することにある。
板信号回路及び基板電源回路の配線長さが変動しても、
安定に作動する半導体装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
半導体パッケージは、半導体チップ5が備える半導体信
号回路と電気的に接続可能に形成された基板信号回路2
及び半導体チップ5が備える半導体電源回路6と電気的
に接続可能に形成された基板電源回路2を有する基板8
と、基板信号回路2と電気的に接続され、母基板に実装
して接続するための外部接続端子1を上記基板8の側面
に複数備える半導体パッケージにおいて、上記外部接続
端子1の端子径が基板信号回路2の回路長に反比例して
形成されていることを特徴とする。
半導体パッケージは、半導体チップ5が備える半導体信
号回路と電気的に接続可能に形成された基板信号回路2
及び半導体チップ5が備える半導体電源回路6と電気的
に接続可能に形成された基板電源回路2を有する基板8
と、基板信号回路2と電気的に接続され、母基板に実装
して接続するための外部接続端子1を上記基板8の側面
に複数備える半導体パッケージにおいて、上記外部接続
端子1の端子径が基板信号回路2の回路長に反比例して
形成されていることを特徴とする。
【0009】本発明の請求項2に係る半導体パッケージ
は、上記請求項1記載の半導体パッケージにおいて、上
記外部接続端子1の端子径が基板信号回路2の回路幅に
比例して形成されていることを特徴とする。
は、上記請求項1記載の半導体パッケージにおいて、上
記外部接続端子1の端子径が基板信号回路2の回路幅に
比例して形成されていることを特徴とする。
【0010】本発明の請求項3に係る半導体装置は、上
記請求項1又は請求項2記載の半導体パッケージに、半
導体信号回路6及び半導体電源回路を有する半導体チッ
プ5を搭載してなることを特徴とする。
記請求項1又は請求項2記載の半導体パッケージに、半
導体信号回路6及び半導体電源回路を有する半導体チッ
プ5を搭載してなることを特徴とする。
【0011】本発明によると、基板信号回路2と電気的
に接続された外部接続端子1の端子径を、該外部接続端
子1に接続される基板信号回路2の回路長に反比例して
形成しているため、基板信号回路2の回路長が短く信号
伝達時間が早いと、外部接続端子1の端子径が小さくな
り、外部接続端子1での信号伝達時間が遅くなる。ま
た、基板信号回路2の回路長が長く信号伝達時間が遅い
と、外部接続端子1の端子径が大きくなり、外部接続端
子1での信号伝達時間が早くなって、半導体チップ5の
半導体信号回路6から外部接続端子1を介して母基板に
安定した伝達時間で信号を伝達することができ、半導体
装置は安定して作動可能となる。
に接続された外部接続端子1の端子径を、該外部接続端
子1に接続される基板信号回路2の回路長に反比例して
形成しているため、基板信号回路2の回路長が短く信号
伝達時間が早いと、外部接続端子1の端子径が小さくな
り、外部接続端子1での信号伝達時間が遅くなる。ま
た、基板信号回路2の回路長が長く信号伝達時間が遅い
と、外部接続端子1の端子径が大きくなり、外部接続端
子1での信号伝達時間が早くなって、半導体チップ5の
半導体信号回路6から外部接続端子1を介して母基板に
安定した伝達時間で信号を伝達することができ、半導体
装置は安定して作動可能となる。
【0012】また、本発明によると、基板信号回路2と
電気的に接続された外部接続端子1の端子径を、該外部
接続端子1に接続される基板信号回路2の回路幅に反比
例して形成しているため、基板信号回路2の回路幅が広
く信号伝達時間が早いと、外部接続端子1の端子径が小
さくなり、外部接続端子1での信号伝達時間が遅くな
る。また、基板信号回路2の回路長が狭く信号伝達時間
が遅いと、外部接続端子1の端子径が大きくなり、外部
接続端子1での信号伝達時間が早くなって、半導体チッ
プ5の半導体信号回路6から外部接続端子1を介して母
基板に安定した伝達時間で信号を伝達することができ、
半導体装置は安定して作動可能となる。
電気的に接続された外部接続端子1の端子径を、該外部
接続端子1に接続される基板信号回路2の回路幅に反比
例して形成しているため、基板信号回路2の回路幅が広
く信号伝達時間が早いと、外部接続端子1の端子径が小
さくなり、外部接続端子1での信号伝達時間が遅くな
る。また、基板信号回路2の回路長が狭く信号伝達時間
が遅いと、外部接続端子1の端子径が大きくなり、外部
接続端子1での信号伝達時間が早くなって、半導体チッ
プ5の半導体信号回路6から外部接続端子1を介して母
基板に安定した伝達時間で信号を伝達することができ、
半導体装置は安定して作動可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の半導体パッケージ
及び半導体装置を図面に基づいて具体的に説明する。図
1は、本発明係る半導体パッケージの一実施形態に半導
体チップを搭載して製造した一実施形態の半導体装置を
説明する斜視図である。
及び半導体装置を図面に基づいて具体的に説明する。図
1は、本発明係る半導体パッケージの一実施形態に半導
体チップを搭載して製造した一実施形態の半導体装置を
説明する斜視図である。
【0014】本発明の一実施形態の半導体装置は、図1
に示す如く、半導体チップ5とその半導体チップ5を搭
載する基板8と母基板に実装して接続するための複数の
外部接続端子1とを備え、上記半導体チップ5等を封止
材で封止して形成されている。(封止材は図示せず。) 半導体チップ5の表面には、図に示すように、電気的処
理を行う半導体処理部と、この半導体処理部との間で信
号を入出力する半導体信号回路6と、この半導体処理部
に電源を供給する半導体電源回路6が形成されている。
に示す如く、半導体チップ5とその半導体チップ5を搭
載する基板8と母基板に実装して接続するための複数の
外部接続端子1とを備え、上記半導体チップ5等を封止
材で封止して形成されている。(封止材は図示せず。) 半導体チップ5の表面には、図に示すように、電気的処
理を行う半導体処理部と、この半導体処理部との間で信
号を入出力する半導体信号回路6と、この半導体処理部
に電源を供給する半導体電源回路6が形成されている。
【0015】また、基板8の表面には複数の配線回路が
形成されており、配線回路のうち半導体チップ5が備え
る半導体信号回路6との間で信号を入出力する基板信号
回路2とその半導体信号回路6が金線の等のボンディン
グワイヤー4で電気的に接続され、配線回路のうち半導
体チップ5が備える半導体電源回路6に電源を供給する
基板電源回路2aが同様のボンディングワイヤー4で電
気的に接続されている。なお、本発明の半導体信号回路
6及び半導体電源回路6は、ボンディングワイヤー4と
物理的に接続するボンディングパッド3や外部接続端子
1と物理的に接続する電極や、ボンディングパッド3及
び電極の間を接続する回路の部分を表している。
形成されており、配線回路のうち半導体チップ5が備え
る半導体信号回路6との間で信号を入出力する基板信号
回路2とその半導体信号回路6が金線の等のボンディン
グワイヤー4で電気的に接続され、配線回路のうち半導
体チップ5が備える半導体電源回路6に電源を供給する
基板電源回路2aが同様のボンディングワイヤー4で電
気的に接続されている。なお、本発明の半導体信号回路
6及び半導体電源回路6は、ボンディングワイヤー4と
物理的に接続するボンディングパッド3や外部接続端子
1と物理的に接続する電極や、ボンディングパッド3及
び電極の間を接続する回路の部分を表している。
【0016】また、基板8の側面には母基板に実装して
接続するための複数の外部接続端子1が形成されてい
る。この外部接続端子1は、基板8に貫通穴を形成し、
メッキを施して円筒形の導通スルホールを形成したの
ち、切断装置で半裁して形成されるものである。
接続するための複数の外部接続端子1が形成されてい
る。この外部接続端子1は、基板8に貫通穴を形成し、
メッキを施して円筒形の導通スルホールを形成したの
ち、切断装置で半裁して形成されるものである。
【0017】なお、基板信号回路2又は基板電源回路2
aと外部接続端子1の接続は、既知の製造方法で行われ
るもので、積層板をエッチングして形成され、さらに、
上記外部接続端子1を形成するさいに行われるメッキに
より電気的に接続される。この基板信号回路2の回路長
は、外部接続端子1とボンディングパッド3の位置関係
により様々で、一般に、外部接続端子1が基板8の角部
に近づくにつれて長くなる傾向にある。図では、基板8
の一辺の中央より角部に近づくにつれて回路長が長くな
り、上記外部接続端子1の端子径がそれに伴い基板8の
一辺の中央部の外部接続端子1の端子径が小さく、角部
に近づいた外部接続端子1aの端子径が大きくなってい
る。
aと外部接続端子1の接続は、既知の製造方法で行われ
るもので、積層板をエッチングして形成され、さらに、
上記外部接続端子1を形成するさいに行われるメッキに
より電気的に接続される。この基板信号回路2の回路長
は、外部接続端子1とボンディングパッド3の位置関係
により様々で、一般に、外部接続端子1が基板8の角部
に近づくにつれて長くなる傾向にある。図では、基板8
の一辺の中央より角部に近づくにつれて回路長が長くな
り、上記外部接続端子1の端子径がそれに伴い基板8の
一辺の中央部の外部接続端子1の端子径が小さく、角部
に近づいた外部接続端子1aの端子径が大きくなってい
る。
【0018】また、図2は、本発明のたの一実施形態を
示すもので、半導体装置の側面を拡大した説明図であ
る。
示すもので、半導体装置の側面を拡大した説明図であ
る。
【0019】基板8の上面には基板信号回路2又は基板
電源回路2aが形成され、側面に形成された外部接続端
子1に接続されている。この基板信号回路2又は基板電
源回路2aは、先で述べたとおり、エッチングとメッキ
により形成されている。図2に示す如く、エッチングと
メッキにより形成された基板信号回路2は、一定の厚み
hを有している。その中で、回路幅b1、b2が異なる
回路21、22が存在すると、信号の伝達時間を一定に
保つために、外部接続端子11、12の端子径C1、C
2を回路の幅が大きいと小さく、回路の幅が小さいと大
きくして半導体装置を形成している。
電源回路2aが形成され、側面に形成された外部接続端
子1に接続されている。この基板信号回路2又は基板電
源回路2aは、先で述べたとおり、エッチングとメッキ
により形成されている。図2に示す如く、エッチングと
メッキにより形成された基板信号回路2は、一定の厚み
hを有している。その中で、回路幅b1、b2が異なる
回路21、22が存在すると、信号の伝達時間を一定に
保つために、外部接続端子11、12の端子径C1、C
2を回路の幅が大きいと小さく、回路の幅が小さいと大
きくして半導体装置を形成している。
【0020】上述したように、半導体パッケージを構成
する基板に形成された外部接続端子の端子径を、該外部
接続端子に接続された回路の幅及び回路の長さに反比例
して形成する、すなわち、外部接続端子の端子面積を回
路の幅及び回路の長さに反比例して形成することによ
り、それぞれの回路を伝達する信号の伝達速度を略一定
にすることができ、半導体装置は安定して動作する。
する基板に形成された外部接続端子の端子径を、該外部
接続端子に接続された回路の幅及び回路の長さに反比例
して形成する、すなわち、外部接続端子の端子面積を回
路の幅及び回路の長さに反比例して形成することによ
り、それぞれの回路を伝達する信号の伝達速度を略一定
にすることができ、半導体装置は安定して動作する。
【0021】本発明で用いる基板としては、表面に配線
回路を有し、その側面に外部接続端子を形成できるもの
であれば特に限定するものではなく、既知のプリント配
線板が使用される。また、配線回路を形成する金属とし
ては、電気的信頼性より銅を使用するのが好ましい。ま
た、この基板は多層プリント配線板のように内部に回路
を有してもよく、スルホールが内部に形成されていても
よい。
回路を有し、その側面に外部接続端子を形成できるもの
であれば特に限定するものではなく、既知のプリント配
線板が使用される。また、配線回路を形成する金属とし
ては、電気的信頼性より銅を使用するのが好ましい。ま
た、この基板は多層プリント配線板のように内部に回路
を有してもよく、スルホールが内部に形成されていても
よい。
【0022】
【発明の効果】上述したように、本発明に係る半導体パ
ッケージは、外部接続端子に接続される基板信号回路の
回路の幅及び回路の長さに反比例して、該外部接続端子
の端子径が形成されているので、端子径が大きいものは
外部接続端子で伝達速度が速くなり、端子径が小さいも
のは外部接続端子で伝達速度が遅くなり、それぞれ伝達
時間が短く又は速くなり、半導体チップを搭載してボン
ディングワイヤーにより接続されたそれぞれの回路を加
味すると、半導体チップより外部接続端子までの伝達時
間が略同じとなり、安定した動作をする半導体装置が得
られる。
ッケージは、外部接続端子に接続される基板信号回路の
回路の幅及び回路の長さに反比例して、該外部接続端子
の端子径が形成されているので、端子径が大きいものは
外部接続端子で伝達速度が速くなり、端子径が小さいも
のは外部接続端子で伝達速度が遅くなり、それぞれ伝達
時間が短く又は速くなり、半導体チップを搭載してボン
ディングワイヤーにより接続されたそれぞれの回路を加
味すると、半導体チップより外部接続端子までの伝達時
間が略同じとなり、安定した動作をする半導体装置が得
られる。
【0023】また、本発明の半導体装置は、半導体チッ
プより外部接続端子までの伝達時間が略一定の半導体パ
ッケージを用いているため安定した動作をする半導体装
置となる。
プより外部接続端子までの伝達時間が略一定の半導体パ
ッケージを用いているため安定した動作をする半導体装
置となる。
【図1】本発明の一実施形態を示す半導体装置の斜視図
である。
である。
【図2】本発明の他の一実施形態を示す半導体装置の説
明図である。
明図である。
【図3】本発明の従来の形態を示す半導体装置の斜視図
である。
である。
1 外部接続端子 2 基板信号回路 3 ボンディングパッド 4 ボンディングワイヤー 5 半導体チップ 6 半導体信号回路、半導体電源回路 8 基板
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体チップが備える半導体信号回路と
電気的に接続可能に形成された基板信号回路及び半導体
チップが備える半導体電源回路と電気的に接続可能に形
成された基板電源回路を有する基板と、基板信号回と電
気的に接続され、母基板に実装して接続するための外部
接続端子を上記基板の側面に複数備える半導体パッケー
ジにおいて、上記外部接続端子の端子径が基板信号回路
の回路長に反比例して形成されていることを特徴とする
半導体パッケージ。 - 【請求項2】 上記請求項1記載の半導体パッケージに
おいて、上記外部接続端子の端子径が基板信号回路の回
路幅に比例して形成されていることを特徴とする半導体
パッケージ。 - 【請求項3】 上記請求項1又は請求項2記載の半導体
パッケージに、半導体信号回路及び半導体電源回路を有
する半導体チップを搭載してなることを特徴とする半導
体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34429396A JPH10189809A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 半導体パッケージ及びそれを用いた半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34429396A JPH10189809A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 半導体パッケージ及びそれを用いた半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189809A true JPH10189809A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18368126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34429396A Pending JPH10189809A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 半導体パッケージ及びそれを用いた半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10189809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1167970A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-03-09 | Fujitsu Ltd | Lsiパッケージの配線構造 |
| JP2013251303A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Canon Inc | 半導体パッケージ及び積層型半導体パッケージ |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP34429396A patent/JPH10189809A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1167970A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-03-09 | Fujitsu Ltd | Lsiパッケージの配線構造 |
| JP2013251303A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Canon Inc | 半導体パッケージ及び積層型半導体パッケージ |
| EP2669944A3 (en) * | 2012-05-30 | 2017-08-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor package and stacked semiconductor package |
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