JPH10192U - 多段2軸真空ポンプ - Google Patents

多段2軸真空ポンプ

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JPH10192U
JPH10192U JP007947U JP794797U JPH10192U JP H10192 U JPH10192 U JP H10192U JP 007947 U JP007947 U JP 007947U JP 794797 U JP794797 U JP 794797U JP H10192 U JPH10192 U JP H10192U
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cooling water
stage
drive machine
shafts
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JP007947U
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Inventor
ハンス−ペーテル・ベルゲス
ハルトムート・クリーン
ヴオルフガング・ライエル
ラルフ・シユテツフエンス
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ライボルト・アクチエンゲゼルシヤフト
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 比較的こじんまりし、かつ小さい設置面積し
か必要とせず、組立て及び保守を行い易い、種類の多段
2軸真空ポンプを提供する。 【解決手段】 爪型回転子対4,5;6,7;8,9を
備えたポンプ段の入口32,35及び出口33,37が
側板14ないし17にあり、駆動機械22の駆動軸も垂
直に向くように駆動機械22がポンプ1の横に配置さ
れ、同期化伝動装置23,24と軸2,3の1つの一端
を駆動機械22に伝動接続する手段25,26とを収容
する側方空間40が、一番下の回転子対8,9の下に配
置され、ポンプ1の入口29が一番上のポンプ段4,5
の上にあり、ポンプ1の出口36が一番下のポンプ段
8,9の下にあり、一番上及び一番下の側板14,17
が冷却水通路43,44を備えており、これらの冷却水
通路43,44が、一番下及び上の側板17,14にあ
る冷却水入口45及び出口46と共に、冷却水の通り冷
却系を形成している。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、真空ポンプが、複数の吸込み室と、各吸込み室にあつて2つの軸上 にそれぞれ設けられる回転子対と、吸込み室を区画しかつ軸により貫通される側 板と、側方空間にあつて2つの歯車から成る同期化伝動装置とを持ち、両方の軸 のうち一方の軸の一端が駆動機械に接続され、両方の軸が垂直に配置されている 、多段2軸真空ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
このような2軸真空ポンプはドイツ連邦共和国特許出願公開第3147824 号明細書から公知である。その軸は水平になつているので、特にポンプが多段に 構成されている場合、比較的大きい全長が生じ、ポンプのため比較的大きい設置 面積が必要である。更に組立て作業及び保守作業は、通常ポンプの作動位置で行 わねばならないので、これらの作業が困難である。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
本考案の基礎になつている課題は、比較的こじんまりし、かつ小さい設置面積 しか必要とせず、組立て及び保守を行い易い、最初にあげた種類の多段2軸真空 ポンプを提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため本考案によれば、すべての回転子が爪型であり、爪型 回転子対を備えたポンプ段の入口及び出口が側板であり、駆動機械の駆動軸も垂 直に向くように駆動機械がポンプの横に配置され、同期化伝動装置と軸の1つの 一端を駆動機械に伝動接続する手段とを収容する側方空間が、一番下の回転子対 の下に配置され、ポンプの入口が一番上のポンプ段の上にあり、ポンプの出口が 一番下のポンプ段の下にあり、一番上及び一番下の側板が冷却水通路を備えてお り、これらの冷却水通路が、一番下の側板にある冷却水入口及び一番上の側板に ある冷却水出口と共に、冷却水の通る冷却系を形成している。
【0005】
【考案の効果】
このように構成される多段2軸真空ポンプは、比較的小さい設置面積しか必要 としない。また垂直な軸配置のため組立て及び保守作業を簡単に行うことができ る。更に冷却水の完全な流出が特に簡単に行われる。ポンプの入口が一番上のポ ンプ段の上に配置され、ポンプの出口が一番下のポンプ段の下にあるため、本考 案により構成されるポンプを、垂直に送り出しを行うルーツポンプと簡単に組み 合わせることができる。更に垂直に配置される軸のため、ポンプ段の内部に場合 によつては生ずる凝縮水が下方へ流れて、ポンプの出口から流出するので、長い 間には有害となる凝縮水の影響は生じない。従つてバラストガスの別個の供給を 省くことができる。更に洗流液を入口へ導入することにより、有害な内面付着物 を洗い流すことができる。即ちすべての回転子が爪型(Northey輪郭)な ので、特別の手段なしに、洗流液は重力により出口を通つてポンプから出る。こ の種のポンプでは、入口及び出口が側板の端面にあるので、ポンプ段間の接続通 路からの洗流液の流出も保証される。最後に、前に接続されているルーツポンプ も、一緒に洗流過程に含めることができる。
【0006】
【実施例】
本考案のそれ以外の特徴及び詳細を、図1及び2に示す実施例により説明する 。 図1に示す実施例は、2つの軸2及び3、3つの回転子対4,5又は6,7又 は8,9を持つ3段真空ポンプ1に関する。回転子の軸線方向長さは、吸込み側 から吐出側へ小さくなる。回転ピストンは爪型(図2参照)で、吸込み室11, 12,13内で回転し、これらの吸込み室は側板14〜17及びハウジング環1 8〜20により形成されている。
【0007】 軸2,3は垂直に配置されている。これは、ポンプハウジングのそばに配置さ れる駆動機械22にも適用される。下側側板17の下において軸2,3は同じ直 径の歯車23,24を備えており、これらの歯車23,24は回転子対4,5又 は6,7又は8,9の運動の同期化のために役立つ。駆動機械22も下側に歯車 25を持つている。駆動装置の接続は別の歯車26により行なわれ、この歯車は 歯車24及び25にかみ合つている。
【0008】 上側側板14及び下側側板17に軸2,3がころがり軸受27を介して支持さ れている。上側側板14は、水平に配置される接続フランジ28を備えており、 この接続フランジはポンプの入口29を形成している。流入通路31は端面の開 口32において第1段の吸込み室11へ開口している。第1段の端面に配置され る流出口は33で示され、接続通路34へ通じている。側板15にある接続通路 34は、第2段の流入口35に接続されている。側板16も同じように形成され ている。一番下即ち第3のポンプ段の下に出口36があり、この出口は下側側板 17の端面の流出口37に接続されている。
【0009】 ポンプハウジング及び駆動機械から成る装置の下に、共通の油槽41により形 成されかつ油を収容する側方空間40が設けられている。この油槽41の中へ、 軸2に結合される油ポンプ42が入り込んでいる。この油ポンプ42から、図示 してない潤滑剤通路がポンプの潤滑を必要とする個所(軸受、歯車23〜26の かみ合い部、軸封環等)へ延びている。
【0010】 図示した3段2軸真空ポンプは水冷される。そのために一番上及び一番下の側 板14及び17に冷却水通路43及び44が設けられている。冷却水入口及び出 口は45及び46で示されている。冷却水入口45は通路系43,44の一番下 の位置に配置されているので、簡単な冷却水流出が可能であり、完全な排出が保 証される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案による多段2軸真空ポンプの垂直断面図
である。
【図2】このポンプの爪型回転子対の平面図である。
【符号の説明】
1 真空ポンプ 2,3 軸 4,5;6,7;8,9 回転子対 11,12,13 吸込み室 14〜17 側板 22 駆動機械 23,24 歯車 25,26 伝動接続手段 29 ポンプの入口 32,35 入口 33,37 出口 36 ポンプの出口 40 側方空間 43,44 冷却水通路 45 冷却水入口 46 冷却水出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 ヴオルフガング・ライエル ドイツ連邦共和国ベルギシユ・グラトバツ ハ1・ジーベンモルゲン8 (72)考案者 ラルフ・シユテツフエンス ドイツ連邦共和国ケルン51・ホンブルゲ ル・シユトラーセ22/11

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空ポンプ(1)が、複数の吸込み室
    (11,12,13)と、各吸込み室にあつて2つの軸
    (2,3)上にそれぞれ設けられる回転子対(4,5;
    6,7;8,9)と、吸込み室(11,12,13)を
    区画しかつ軸(2,3)により貫通される側板(14な
    いし17)と、側方空間(40)にあつて2つの歯車
    (23,24)から成る同期化伝動装置とを持ち、両方
    の軸(2,3)のうち一方の軸の一端が駆動機械(2
    2)に接続され、両方の軸(2,3)が垂直に配置され
    ているものにおいて、すべての回転子(4ないし9)が
    爪型であり、爪型回転子対(4,5;6,7;8,9)
    を備えたポンプ段の入口(32,35)及び出口(3
    3,37)が側板(14ないし17)にあり、駆動機械
    (22)の駆動軸も垂直に向くように駆動機械(22)
    がポンプ(1)の横に配置され、同期化伝動装置(2
    3,24)と軸(2,3)の1つの一端を駆動機械(2
    2)に伝動接続する手段(25,26)とを収容する側
    方空間(40)が、一番下の回転子対(8,9)の下に
    配置され、ポンプ(1)の入口(29)が一番上のポン
    プ段(4,5)の上にあり、ポンプ(1)の出口(3
    6)が一番下のポンプ段(8,9)の下にあり、一番上
    及び一番下の側板(14,17)が冷却水通路(43,
    44)を備えており、これらの冷却水通路(43,4
    4)が、一番下の側板(17)にある冷却水入口(4
    5)及び一番上の側板(14)にある冷却水出口(4
    6)と共に、冷却水の通る冷却系を形成していることを
    特徴とする、多段2軸真空ポンプ。
  2. 【請求項2】 ポンプ(1)の入口(29)が、水平な
    接続フランジ(28)を持つ垂直な接続管片として構成
    されていることを特徴とする、請求項1に記載のポンプ
  3. 【請求項3】 同期化伝動装置の歯車(23,24)
    が、駆動機械(22)の駆動軸上の歯車(25)と共に
    1つの面内に配置され、伝動接続を行なうために別の歯
    車(26)が設けられていることを特徴とする、請求項
    1又は2に記載のポンプ。
  4. 【請求項4】 駆動機械(22)の軸がベルト、歯付き
    ベルト又は鎖を介してポンプ(1)の軸(2,3)の1
    つに伝動接続されていることを特徴とする、請求項1又
    は2に記載のポンプ。
JP007947U 1987-05-15 1997-08-05 多段2軸真空ポンプ Pending JPH10192U (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE87107089.2 1987-05-15
EP87107089A EP0290662B1 (de) 1987-05-15 1987-05-15 Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum

Publications (1)

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JPH10192U true JPH10192U (ja) 1998-08-25

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ID=8196996

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63115014A Pending JPS63302194A (ja) 1987-05-15 1988-05-13 吸い込み室を持つ2軸真空ポンプ
JP007947U Pending JPH10192U (ja) 1987-05-15 1997-08-05 多段2軸真空ポンプ

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JP63115014A Pending JPS63302194A (ja) 1987-05-15 1988-05-13 吸い込み室を持つ2軸真空ポンプ

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US (1) US4940398A (ja)
EP (2) EP0290662B1 (ja)
JP (2) JPS63302194A (ja)
DE (1) DE3785192D1 (ja)

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