JPH02153292A - 吸入室を備えた２軸式真空ポンプ - Google Patents

吸入室を備えた２軸式真空ポンプ

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JPH02153292A
JPH02153292A JP1275119A JP27511989A JPH02153292A JP H02153292 A JPH02153292 A JP H02153292A JP 1275119 A JP1275119 A JP 1275119A JP 27511989 A JP27511989 A JP 27511989A JP H02153292 A JPH02153292 A JP H02153292A
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JP
Japan
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suction chamber
rotors
suction
pump
opening
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JP1275119A
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English (en)
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Hanns-Peter Dr Berges
ハンス―ペーター・ベルゲス
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold AG
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    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、吸入室内を回転し、かつ吸入室壁部と共同し
て、吸入側部と圧力側部とを形成している噛合ロータ対
を備えた、２軸式真空ポンプに関する。
従来の技術 この種の２軸式真空ポンプは、ＦｉＵ−Ａ第８７１０７
０８９号明細書に公開されている。
ロータには夫々、噛合部（＠）と切欠き部とが装備され
ておシ、吸入室内ではその回転運動が噛み合って非接触
に構成されている。夫々の切欠き部は、吸入室の１則部
遮板内に在る入口開口部と出口開口部とを制御している
。ロータの同期回転運動中に、最初拡大し次に再び縮小
する、ギャップ開口部によって制止された吸入容積が形
成され、該吸入容積は吸入側部に流入したガスを圧縮し
てこれを圧力側部に搬出している。
冒頭で述べた形式の２軸式真空ポンプの著しい利点は、
該ポンプがＶライの状態で運転可能なこと、つまシ吸入
室内に制止媒体が存在しない状態で運転可能なことであ
る。従ってこの種のポンプは真空室の排気用に屡々用い
られておシ、この真空室内では、エツチング操作、成膜
操作又はその他の真空操作又は製造操作が行われている
。このような使用形態の場合に発生する危険性は、固形
分がポンプ内に到達すること、しかも間接的にも到達す
ることである。つ１り固形粒子がガスの圧縮中も、又排
出さるべきガスの排出中も、真空ポンプによって形成さ
れるということである。例へばアルミニウムエツチング
の際には塩化アルミニウムの発生があシ、成膜法の場合
には塩化アンモニウムの発生がある等である。
真空ポンプ内に直接的又は間接的に到達する固形粒子は
、吸入室内で沈着し、特にロータの円周面上にも沈着す
る。該固形粒子は此処で先づ、ロータ間に存在するギャ
ップを狭めてし１う。更に別の沈着物がロータに接触し
、これがロータ上面に固形粒子を巻き付けることになる
。
沈着物が更に増加すると、巻き付けられた層が圧縮され
、その結果、ロータ、つ１シロータ軸を別々に押圧する
力が発生するようになる。巻き付けられた層が更に生長
すると、これが特に軸受部の損傷を惹き起し、ポンプの
停止に到らしめるようになる。
発明が解決しようとする課題 本発明の課題は、冒頭で述べた形式の２軸式真空ポンプ
を改良して、真空ポンプ内に到達した固形粒子を吸入室
内で沈着せしめることができるようにすることにある。
課題を解決するための手段 本発明では、吸入室内の圧力側に洗浄導管を開口せしめ
ることによシ、上記課題を解決することができだ。
発明の効果 ポンプの運転中に、洗浄ガスがこの洗浄ガス導管を介し
て供給されると、吸入室内に発生するガスの渦流が、吸
入室内に到達する固形粒子の沈着を防止するようになる
。洗浄ガスの供給量は、極端に多量であってはならない
。若しそうでな（ハと１．ポンプの最終圧力が不必要に
劣化するからである。洗浄ガスが高速で、例へばノズル
を介して供給されるような場合は、特に有利である。発
生した渦流のために浮遊状に保持される固形粒子は、引
続いて次のポンプ段又はポンプ出口に搬出される。
洗浄ガス導管は、有利には両ロータのギャップシールの
真近に設けられている。特に危険に晒される両ロータの
円周表面が、これによって沈着物から解放されるように
なる。
実施例 本発明の実施例を図面に示し、次にこれを詳しく説明す
る。
第１図に図示の実施例は、２本の軸２及び３甚びに６対
のロータ対４，５乃至６，１乃至８．９を備えた６段式
真空ポンプ１である。ロータの軸方向の長さは、吸入側
部から圧力側部へと減少している。回転ピストンは噛合
式（第２図参照）で、吸入室１１，１２．１３内を回転
しておシ、該吸入室は遮板１４，１５，１６゜１７とケ
ーシング１８．１９．２０とから形成されている。
垂直に配置されたポンプケーシングの近くには、駆動モ
ータ２２がある。下方の軸受遮板１７の下部には、同一
直径の歯車２３．２４を備えた軸２，３が装備されてお
り、該軸２，３は、ロータ対４，５乃至６，７乃至８，
９の運動の同期のために使用されている。駆動モータ２
２も、その下方側部に歯車２５を有している。
駆動結合は、歯車２４及び２５と係合している別の歯車
２６によって達成されている。
軸２，３は、上方の軸受遮板１４内及び下方の軸受遮板
１７内で、転がシ軸受２７を介して支持されている。上
方の軸受遮板１４には、水平に配置された接続フランジ
２８が装着されておシ、該フランク２８はポンプの入口
部２９を形成している。入口通路３１は、端面側で第１
段の吸入室１１内に開口している（開口部３２）。
端面側に配置された第１段の出口開口部は符号３３で示
されておシ、連絡通路３４内に案内されている。遮板１
５内にある連絡通路３４は、第２段の入口開口部３５と
連結している。軸受遮板１６も同様に構成されている。
最下方（第６）のポンプ段の下部には、出口部３６が設
けられて二りシ、該出口部３６は、下方の軸受遮板１４
内で端面側出口開口部３７と連結している。
ロータの輪郭は第２図で識ることかできる。
ロータは夫々噛合部４１．４２兼びに切欠き部４３．４
４を有し、その回転運動は矢印４５に応じて噛み合い、
非接触に構成されている。両ロータ間に在るギャップシ
ールは符号４６で示されている。
入口開口部３２．３５と出口開口部３３゜３７との制御
は、夫々の切欠き部４３．４４を介して行われる。図示
の位置で、ロータは２つの室４Ｔ及び４８を形成し、そ
の内の拡大する室４７は、入口開口部３２．３５と連通
している。つまシ室４７は吸入側部を形成する。縮小す
る室４８は、君子回転運動を行った後出口部３３．３７
と連通する。つまシ室４８は圧力’１ｔ１１部を形成す
る。
本発明では圧力側部４８に、第２図には図示なしの洗浄
ガス導管の開口部４９がある。開口部４９は両ロータ間
のギャップシールの真近に在シ、そのためにこのギヤツ
ブシール部ハ、有利には固形粒子〃）ら暦数されるよう
に々る。
第１図に図示のように、吸入室１１．１２゜１３には複
数の開口部４９が配設されている。
例へば吸入室１２内には２つの開口部４９があり、しか
も夫々の側部遮板１５，１６内で互いに直接向い合って
位置している。固形粒子を浮遊状態に維持するという所
期の作用は、これによって特に有利な形式で達成される
。
開口部４９は洗浄ガス源５１に連結されており、しかも
側部遮板１５，１６内の孔５２゜５３、及びポンプの外
方に設置された配管系を弁して弁５５と連絡している。
概略だけを図示した孔５２．５３内にはノズル５６．５
７が在シ、該ノズル５６．５７は、１方では供給ガス量
の減少に使用され、他方ではガス速度の上昇に使用され
ている。適合した洗浄ガスは例へば窒素である。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は本発明の
多段ポンプの縦断面図、第２図はロータ対に平行な吸入
室の断面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、吸入室（１１，１２，１３）内で回転する噛合ロー
    タ対（４，５；６，７；８，９）を備えた２軸真空ポン
    プであつて、該噛合ロ ータ対が吸入室壁部と共同して、吸入側部 （４７）と圧力側部（４８）とを形成する形式のものに
    おいて、洗浄ガス導管（５２， ５３）の開口部（４９）が吸入室（１１， １２，１３）の圧力側部（４８）に設けられていること
    を特徴とする、吸入室を備えた２軸式真空ポンプ。 ２、開口部（４９）が側部遮板（１５，１６，１７）内
    に在ることを特徴とする、請求項１記載のポンプ。 ３、開口部（４９）が、２つのロータ（４，５；６，７
    ；８，９）間のギャップシール （４６）の真近に配置されていることを特徴とする、請
    求項２記載のポンプ。 ４、２つの開口部（４９）が設けられていることを特徴
    とする、請求項１から３１でのいづれか１項記載のポン
    プ。 ５、２つの開口部（４９）が、吸入室（１２）を制限し
    ている２つの側部遮板（１５，１６）内で、互いに向い
    合つて位置するように配置されていることを特徴とする
    、請求項２又は４記載のポンプ。 ６、開口部（４９）が、側部遮板（１５，１６）内の孔
    （５２，５３）、並びに洗浄ガス源 （５１）を備えた導管系を介して連結されていることを
    特徴とする、請求項１から５１でのいづれか１項記載の
    ポンプ。 ７、孔（５２，５３）の内部にはノズル（５６，５７）
    が設けられていることを特徴とする、請求項６記載のポ
    ンプ。
JP1275119A 1988-10-24 1989-10-24 吸入室を備えた２軸式真空ポンプ Pending JPH02153292A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP88117651A EP0365695B1 (de) 1988-10-24 1988-10-24 Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum
EP88117651.5 1988-10-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02153292A true JPH02153292A (ja) 1990-06-12

Family

ID=8199481

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JP1275119A Pending JPH02153292A (ja) 1988-10-24 1989-10-24 吸入室を備えた２軸式真空ポンプ

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US (1) US5046934A (ja)
EP (1) EP0365695B1 (ja)
JP (1) JPH02153292A (ja)
DE (1) DE3876243D1 (ja)

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