JPH10194206A

JPH10194206A - 袋詰め方法及び袋詰め装置

Info

Publication number: JPH10194206A
Application number: JP574697A
Authority: JP
Inventors: Hidehiro Yasuda; 英博安田; 健市 ▲杉▼本; Kenichi Sugimoto; Yoshinori Masaoka; 良典正岡; Masaki Hieda; 正樹稗田; Yuji Mukai; 勇二向井; Kenji Ishii; 賢二石井; Yoshimiki Sato; 義幹佐藤
Original assignee: Gunze Ltd
Current assignee: Gunze Ltd
Priority date: 1997-01-16
Filing date: 1997-01-16
Publication date: 1998-07-28

Abstract

(57)【要約】【課題】袋に物品を装入した後、袋口を密封する、と
いう作業を自動化させるうえで、密封部分に皺が発生し
ないようにする。【解決手段】袋Ｂへ物品Ｃを装入した後、袋口内へ上
下の間隔保持片２，３を挿入し、袋の左右のガゼット部
Ｇを左右両側から内方へ押し込む。これにより、袋口ま
わりに張力を加え、皺の発生を抑制する。このまま、上
下の間隔保持片２，３を相互近接させると共に、ガゼッ
ト部Ｇに対する相互近接を続行させる。このようにして
皺の無い状態のまま、袋口を閉口させ、接着させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、袋詰め方法及び袋
詰め装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造過程では、半導体の基板を
製作する元となる円板状をしたシリコンウエハを、図２
０に示すようなキャリアケースＣに複数枚詰めて、この
キャリアケースＣごと、工程間を移載させるといった作
業が含まれることがある。そして、このような移載作業
の多くでは、シリコンウエハを空気中の塵埃や特定ガス
成分等から防護するために、キャリアケースＣをビニー
ル製等の袋Ｂに袋詰めして密封することが必要とされて
いる。

【０００３】キャリアケースＣは直方体状をしたもので
あり、嵩高であったので、これを入れる袋Ｂには、対向
二側面に内折れ可能なガゼット部Ｇを有したものが用い
られている。従来、このようにキャリアケースＣを袋詰
めするには、図２１に示すように袋Ｂにキャリアケース
Ｃを装入した後、最初に袋口の対向二辺を相互接近させ
てこの状態を保持し、次に、袋口側へ向くキャリアケー
スＣの外形輪郭に沿って両側のガゼット部Ｇを内折りさ
せつつ、これら両ガゼット部Ｇと隣合う対向二側面（図
では上下両面）を相互接近させ、これら対向二側面間を
熱溶着によって接着させるようにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来における袋詰め方
法では、はじめに袋口を閉口させた後、次にそれよりキ
ャリアケースＣ寄りの対向二側面を相互接近させ、接着
するという手順であったので、この接着位置を相互接近
させる過程で袋Ｂの周面や、ガゼット部Ｇの折り込み部
分に小さな皺が発生し、この皺が接着後も微小な通気孔
として残存するということがあった。そのため、この通
気孔を介して袋Ｂ内が汚染され、シリコンウエハの品質
低下又は不良化に繋がるということがあった。

【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、シリコンウエハのキャリアケース等をはじめ
とする各種物品を袋詰めするに際し、皺の発生しない閉
口ができるようにした袋詰め方法と、袋詰め装置とを提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明では、上記目的を
達成するために、次の技術的手段を講じた。即ち、本発
明に係る袋詰め方法では、まず、開口している袋口に対
し、その対向二辺の各内面に沿って一対の間隔保持片を
挿入させた状態にする。なお、間隔保持片の挿入時に、
袋口が既に開口しているか又は開口する前であるかは問
題ではない。袋口が開口する前に間隔保持片を挿入させ
る場合であれば、挿入後の間隔保持片自体によって袋を
開口させるようにしてもよい。

【０００７】次に、袋口における他の対向二辺の各中間
部相互を袋口内方へ押し込むか又は袋口外方へ引き出す
ようにする。例えば、袋が両側面にガゼット部を有した
ものであれば、ガゼット部をその外側から相互接近させ
て袋口を折り畳むようにする。また、袋が両サイドに耳
部を有した平袋であれば、耳部を外側で把持した状態に
してこれを相互離反させるか又は耳部の内側を外方へ相
互離反させるかして、袋口を平たく延ばすようにする。

【０００８】いずれにしても、このような操作をするこ
とにより、袋口まわりには、その内面が両間隔保持片に
強く当接した状態となり、そのうえで周方向へ沿った張
力が加えられることになる。従って、袋口まわりから皺
の発生が抑制される。そこで、上記のような袋口内方へ
の押し込み又は外方への引き出しを続行させつつ、間隔
保持片を相互近接させてゆくようにすれば、袋口は、そ
のまわりがピンと張った皺の無い状態のまま閉口してゆ
くようになる。

【０００９】このようにして、袋口内面同士が当接した
段階で両面間を接着させれば、皺を発生させることな
く、即ち、通気孔を残存させることなく、密封できるこ
とになる。一方、本発明に係る袋詰め装置では、上記各
作業を行わせるための開口保持手段と張力付与手段と閉
口手段と接着手段とを有したものである。

【００１０】このような構成であれば、全体をコンパク
ト化できるので、前記したようなシリコンウエハの取り
扱いを行うクリーンルーム内等においても、好適に使用
できるものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１乃至図６は、本発明に係る袋
詰め方法の第１実施形態についてその実施手順を示した
ものである。この第１実施形態においても、物品Ｃをシ
リコンウエハのキャリアケースとし、袋Ｂを、対向二側
面に内折れ可能なガゼット部Ｇが設けられたビニール製
のガゼット袋とした。

【００１２】本発明の袋詰め方法を実施するうえで使用
する袋詰め装置は、図１及び図２に示すように上下一対
の間隔保持片２，３を有した開口保持手段４と、図３に
示すように左右一対の押込み片５，６を有した張力付与
手段７と、図４に示すようにこれら開口保持手段４及び
張力付与手段７に所定の関連動作を行わせる閉口手段８
と、図６に示すように上下一対の接着動作部９，１０を
有した接着手段１１とを有している。

【００１３】開口保持手段４（図１及び図２参照）にお
いて、上部の間隔保持片２及び下部の間隔保持片３は、
いずれも左右方向に所定間隔をおいて分離固定された一
対の板片を有した構成となっている。また、これら上下
の間隔保持片２，３は、当初、袋Ｂに対して袋口の前方
で、互いの上下間隔を狭くして待機している。そして、
これら間隔保持片２，３は、袋口内へ挿入・脱出できる
ように前後動可能になっていると共に、上部の間隔保持
片２は上方へ向けて、また下部の間隔保持片３は下方へ
向けて、それぞれ上下動可能になっている。

【００１４】図示は省略するが、これら間隔保持片２，
３の前後動や上下動は、流体圧シリンダ、ねじ送り機
構、巻き掛け駆動機構、ラックとピニオンとの噛合によ
るラック進退機構等によって行われる。このようなこと
から、この開口保持手段４では、各間隔保持片２，３を
上下間隔が狭いまま袋Ｂの袋口内へ挿入し、その後、上
下間隔を広げてこれら間隔保持片２，３を袋口内の四隅
部へ係合させるようになっている。

【００１５】なお、この時点で間隔保持片２，３を上下
動させることは必須不可欠ではなく、このための機構を
省略することもできる。また、これら間隔保持片２，３
は、左右の板片が繋がった一つの板形状又は枠形状とし
て形成してもよいし、又は袋口内の四隅部に対応して突
出する棒状のものとして構成させてもよい。張力付与手
段７（図３及び図４参照）において、各押込み片５，６
は、互いに左右対称となる板形状に形成されており、当
初、それぞれ袋Ｂに対する左右両側方で待機している。

【００１６】また、これら左右の押込み片５，６は、袋
Ｂのガゼット部Ｇにおける上下方向中間位置に対応した
高さを保持して相互近接・相互離反可能となっている。
相互近接したときには、上記した間隔保持片２，３の上
下間へ挟み込まれるような配置となっている。図示は省
略するが、これら押込み片５，６の相互近接・相互離反
のための進退駆動は、流体圧シリンダ、ねじ送り機構、
巻き掛け駆動機構、ラックとピニオンとの噛合によるラ
ック進退機構等によって行われる。

【００１７】このようなことから、この張力付与手段７
では、各押込み片５，６によって袋Ｂのガゼット部Ｇを
左右両側から内折りできるようになっている。閉口手段
８（図４参照）は、開口保持手段４の間隔保持片２，３
を上下方向で相互近接させる動きと、張力付与手段７の
押込み片５，６を左右方向で相互近接させる動きとが、
互いに同期的な連動をするように制御するものである。

【００１８】接着手段１１（図６参照）において、上下
の接着動作部９，１０は、例えば通電後の立ち上がり
（所定温度への加熱昇温）が瞬間的に行える低電圧大電
流型のヒータ等によって形成されている。これら接着動
作部９，１０は、当初、それぞれ袋Ｂの上方及び下方で
待機しており、必要に応じて、上記間隔保持片２，３が
係合している袋口の対向二辺を、これら間隔保持片２，
３の係合位置にもまた袋Ｂ内の物品Ｃにも干渉しないよ
うにしつつ、相互近接状に押し付け可能になっている。
そして、押し付け完了後に、袋口内で当接した二面間を
加熱溶着させるようになっている。

【００１９】これら接着動作部９，１０には、袋Ｂ内の
物品Ｃ側へ向けられる側に断熱板１３，１４が沿接状に
設けられている。これにより、接着動作部９，１０が袋
Ｂの所定箇所以外に接触するのを防止して、袋Ｂに変形
や傷口が発生するのを防止している。図示は省略する
が、接着動作部９，１０に押し付け動作を行わせるため
の進退駆動は、流体圧シリンダ、ねじ送り機構、巻き掛
け駆動機構、ラックとピニオンとの噛合によるラック進
退機構等によって行われる。

【００２０】なお、接着動作部９，１０は、加熱溶着を
行うものに限らず、超音波溶接や高周波溶接等を行うも
のに置換することも可能であり、また接着剤やホットメ
ルト等を用いた接着を行うものに置換することも可能で
ある。このような構成の袋詰め装置１によって行う本発
明の袋詰め方法では、まず、袋Ｂ内へ物品Ｃが装入され
た後、図１及び図２に示すように開口保持手段４が開口
している袋口へ間隔保持片２，３を挿入し、好ましくは
この時点で間隔保持片２，３の上下間隔を広げて袋口の
上下対向二辺の各内面に係合させる。

【００２１】次に、図３及び図４に示すように張力付与
手段７が袋Ｂのガゼット部Ｇに対して押込み片５，６を
押し付け、ガゼット部Ｇに内折れのきっかけを付ける。
もし、この時点で上記開口手段４の間隔保持片２，３が
未だ袋口に係合していないときには、押込み片５，６の
押込み量を大きくして、間隔保持片２，３を確実に袋口
に係合させるようにする。

【００２２】このようにすることで、袋口まわりには、
その内面が両間隔保持片２，３に当接した状態で、周方
向へ沿った張力が加えられることになる。従って、袋口
まわりから皺の発生が抑制される。そして、閉口手段８
による制御で、上記間隔保持片２，３の相互近接と、押
込み片５，６の相互近接とが同期的に行われ、袋口は皺
の無いピンと張った状態のまま、閉口されてゆく（図５
参照）。

【００２３】袋口が完全に閉口して袋口内面同士が当接
した後、図６に示すように接着手段１１が接着動作部
９，１０を袋口まわりへ押し付けて、この袋口内面同士
を接着させる。このようにして、通気孔が全く残存しな
い完全な密封を行うことができる。図７及び図８は、本
発明に係る袋詰め方法の第２実施形態についてその主要
な実施手順を示したものである。この第２実施形態にお
いて、第１実施形態と最も異なるところは、開口保持手
段４における間隔保持片２，３の形状と、袋口への挿入
させかたとにある。

【００２４】すなわち、この第２実施形態で用いる間隔
保持片２，３はＬ字状に折曲した形体をしており、それ
らの基部側の端部が上下の回動軸１５，１６に結合され
ている。そして、これら回動軸１５，１６は、相対逆方
向に回動可能になっている。回動軸１５，１６をそれぞ
れ回動させる機構は、歯車機構や巻き掛け伝動機構等を
モータ駆動させる機構の他、流体圧シリンダを用いたレ
バー駆動等を採用することができる。

【００２５】従って、当初、間隔保持片２，３は、図７
に示すように先端同士を対向させる状態で待機してお
り、袋口への挿入時には、図８に示すように各回動軸１
５，１６の回動と共に上部の間隔保持片２は下方から後
方へ向けての揺動をし、また下部の間隔保持片３は上方
から後方へ向けての揺動をするようになっている。その
他の構成及び作用・効果は、第１実施形態とほぼ同じで
ある。

【００２６】図９及び図１０は、本発明に係る袋詰め方
法の第３実施形態についてその主要な実施手順を示した
ものである。この第３実施形態では、袋Ｂの形体が異な
っており、左右のガゼット部Ｇに対して上面部分ｂ₁及
び下面部分ｂ₂が張り合わせによって組み立てられてい
る。そのため、上面部分ｂ₁及び下面部分ｂ₂には、ガ
ゼット部Ｇとの接合部を超えて左右両側へ突出するフィ
ンＦが設けられたものとなっている。

【００２７】そこで、この第３実施形態では、開口保持
手段４において、上部の間隔保持片２が、ガゼット部Ｇ
を挟み込んで上面部分ｂ₁とフィンＦとの双方に当接可
能になるフォーク形体を有し、また同様に、下部の間隔
保持片３が、ガゼット部Ｇを挟み込んで下面部分ｂ₂と
フィンＦとの双方に当接可能にするフォーク形体を有し
たものとしてある。

【００２８】その他の構成及び作用・効果は、第２実施
形態とほぼ同じである。図１１乃至図１７は、本発明に
係る袋詰め方法の第４実施形態についてその実施手順を
示したものである。この第４実施形態では、袋Ｂを平袋
としている。即ち、ガゼット部Ｇを有していない。ま
た、この種、平袋では一般に、両サイドに耳部Ｅを有し
ている。

【００２９】この第４実施形態が具備する開口保持手段
４の基本構成は、第２実施形態（図７及び図８参照）の
ものと略同じであるが、本実施形態ではこれに補助開口
手段２０が付設されている。また、張力付勢手段７につ
いては、上記各実施形態と全く異なる構成を有してい
る。開口保持手段４に付設される補助開口手段２０（図
１１乃至図１３参照）は、上下一対の吸着部２２，２３
を有している。これら吸着部２２，２３は、当初、それ
ぞれ袋Ｂの上方及び下方で待機しており、必要に応じ
て、間隔保持片２，３の係合が予定されている袋口の対
向二辺へ向けてその外側から相互近接・相互離反可能に
なっている。また勿論、袋口外面に対する吸引・解放が
可能になっている。

【００３０】図示は省略するが、吸着部２２，２３を上
下動させるための進退駆動は、流体圧シリンダ、ねじ送
り機構、巻き掛け駆動機構、ラックとピニオンとの噛合
によるラック進退機構等によって行われる。この補助開
口手段２０は、開口保持手段４よりも先に動作して、袋
Ｂの袋口を少しだけ開口させ、開口保持手段４が間隔保
持片２，３を挿入し易くさせるようになっている。

【００３１】また、開口保持手段４が間隔保持片２，３
を袋口内へ係合させた後も引き続いて吸引状態を保持さ
せて、袋口の上面側を吸着部２２と間隔保持片２とで挟
持させると共に、袋口の下面側を吸着部２３と間隔保持
片３とで挟持させるようにするのが好適である。そし
て、その後、これら吸着部２２と間隔保持片２、及び吸
着部２３と間隔保持片３をそれぞれ一体的に上下動させ
て、袋口を開口又は閉口させるようにすればよい。

【００３２】張力付勢手段７（図１６及び図１７参照）
は、左右一対の引出し部材２５，２６を有している。こ
れら引出し部材２５，２６は、当初、それぞれ袋Ｂに対
する左右両側方で待機しており、必要に応じて、袋Ｂの
耳部Ｅに対応した高さを保持して相互近接・相互離反可
能となっている。また、各引出し部材２５，２６は、い
ずれも袋Ｂの耳部Ｅを上下に挟持したり解放したりでき
るハンド構造を有している。

【００３３】図示は省略するが、これら引出し部材２
５，２６のハンド構造は、歯車機構等を用いたモータ駆
動にしてもよいし、ピストン構造を利用した流体圧駆動
にしてもよい。また、これら引出し部材２５，２６の相
互近接・相互離反のための進退駆動は、流体圧シリン
ダ、ねじ送り機構、巻き掛け駆動機構、ラックとピニオ
ンとの噛合によるラック進退機構等によって行われる。

【００３４】このようなことから、この張力付与手段７
では、各引出し部材２５，２６によって袋Ｂの耳部Ｅを
左右両側へ引っ張るようになっている。そのため、袋口
まわりには、その内面が両間隔保持片２，３に強く当接
した状態で、周方向へ沿った張力が加えられることにな
る。従って、袋口まわりから皺が除去される。図１８及
び図１９は、本発明に係る袋詰め方法の第５実施形態に
ついてその主要となる実施手順を示したものである。こ
の第５実施形態では、上記第４実施形態と同様に袋Ｂを
平袋としている。

【００３５】この第５実施形態が第４実施形態と最も異
なるところは、張力付勢手段７の引出し部材２５，２６
の構造及びその動作状況にある。すなわち、引出し部材
２５，２６は、開口した袋口内へ挿入可能な板片形体を
したもので、当初、袋Ｂに対して袋口の前方で、互いの
左右間隔を狭くして待機している。

【００３６】そして、これら引出し部材２５，２６は、
袋口内へ挿入・脱出できるように前後動可能になってい
ると共に、袋口内では相互離反が可能になっている。引
出し部材２５，２６におけるの前後動や相互近接・相互
離反のための進退駆動は、流体圧シリンダ、ねじ送り機
構、巻き掛け駆動機構、ラックとピニオンとの噛合によ
るラック進退機構等によって行われる。

【００３７】従って、この張力付勢手段７では、開口し
た袋口内へ両引出し部材２５，２６を挿入した後、これ
らを相互離反させることにより、袋Ｂの耳部Ｅをその内
側から左右両側へ押し出すようにしている。そのため、
袋口まわりには、その内面が両間隔保持片２，３に強く
当接した状態で、周方向へ沿った張力が加えられること
になる。従って、袋口まわりから皺が除去される。

【００３８】このような張力付勢手段７を有する第５実
施形態であれば、耳部Ｅを有しない袋Ｂに対しての適用
も可能となる。その他の構成及び作用・効果は、第４実
施形態とほぼ同じである。ところで、本発明は、上記各
実施形態に限定されるものではない。例えば、物品Ｃや
袋Ｂの形状、用途、材質等は、何ら限定されるものでは
ない。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係る袋詰め方法及び袋詰め装置では、シリコンウエハの
キャリアケース等をはじめとする各種物品の袋詰めに際
し、袋口に対して皺の発生しない閉口ができるようにな
った。特に、シリコンウエハ等、空気中の微小な塵埃や
特定ガス成分等に対する暴露を徹底して嫌うような物品
に対しても、外気との完全な遮断が可能となるため、こ
の種分野での使用に絶大な効果をもたらすものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る袋詰め方法の第１実施形態におけ
る第１段階（間隔保持片の待機状況）を示す動作説明図
である。

【図２】第１実施形態の第２段階（間隔保持片の挿入状
況）を示す動作説明図である。

【図３】第１実施形態の第３段階（押込み片によるガゼ
ット部の押圧状況）を示す動作説明図である。

【図４】図３に対応する正面図である。

【図５】第１実施形態の第４段階（図３に続く袋口の閉
口状況）を一部省略して示す動作説明図である。

【図６】第１実施形態の第５段階（袋口の接着状況）を
示す動作説明図である。

【図７】本発明に係る袋詰め方法の第２実施形態におい
て間隔保持片が待機している状況を示す動作説明図であ
る。

【図８】第２実施形態において間隔保持片を袋口へ挿入
させた状況を示す動作説明図である。

【図９】本発明に係る袋詰め方法の第３実施形態におい
て間隔保持片を袋口へ挿入させた状況を示す動作説明図
である。

【図１０】図９に対応する正面断面図である。

【図１１】本発明に係る袋詰め方法の第４実施形態にお
ける第１段階（間隔保持片の待機状況）を示す動作説明
図である。

【図１２】第４実施形態の第２段階（間隔保持片の挿入
状況）を示す動作説明図である。

【図１３】第４実施形態の第３段階（袋口の開口保持状
況）を示す動作説明図である。

【図１４】図１２に対応する斜視図である。

【図１５】図１３に対応する斜視図である。

【図１６】第４実施形態の第４段階（張力付与手段の動
作開始状況）を示す動作説明図である。

【図１７】第４実施形態の第５段階（袋口の閉口状況）
を示す動作説明図である。

【図１８】本発明に係る袋詰め方法の第５実施形態にお
いて張力付与手段が動作を開始する状況を示す動作説明
図である。

【図１９】第５実施形態において袋口が閉口された状況
を示す動作説明図である。

【図２０】物品及び袋の一例を示す斜視図である。

【図２１】従来における袋詰め方法を示す動作説明図で
ある。

【符号の説明】

２上部の間隔保持片３下部の間隔保持片４開口保持手段５押込み片６押込み片７張力付与手段８閉口手段９上部の接着動作部１０下部の接着動作部１１接着手段Ｂ袋Ｃ物品Ｅ耳部Ｆフィン

フロントページの続き (72)発明者稗田正樹京都府綾部市城山町８番地グンゼ株式会社機械事業部内 (72)発明者向井勇二京都府綾部市井倉新町石風呂１番地グンゼ株式会社京都研究所内 (72)発明者石井賢二京都府綾部市井倉新町石風呂１番地グンゼ株式会社京都研究所内 (72)発明者佐藤義幹京都府綾部市城山町８番地グンゼ株式会社機械事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物品（Ｃ）を装入した袋（Ｂ）の袋口を
封止する袋詰め方法において、開口している袋口に対してその対向二辺の各内面に沿っ
て一対の間隔保持片（２，３）を挿入させると共に、袋
口における他の対向二辺の各中間部相互を袋口内方へ押
し込むか又は袋口外方へ引き出すようにしつつ、間隔保
持片（２，３）を相互近接させてゆくことで、これら両
間隔保持片（２，３）に対して常に袋口内面が当接した
状態に保ち、その後、袋口内面同士が当接した段階で両
面間を接着させることを特徴とする袋詰め方法。
【請求項２】物品（Ｃ）を装入した袋（Ｂ）の袋口を
封止する袋詰め装置において、開口している袋口に対してその対向二辺の各内面に係合
可能な一対の間隔保持片（２，３）を有した開口保持手
段（４）と、袋口における他の対向二辺の各中間部相互を袋口内方へ
押し込むか又は袋口外方へ引き出すことで上記両間隔保
持片（２，３）に対して袋口内面を当接させる張力付与
手段（７）と、該張力付与手段（７）による袋口内方への押し込み又は
外方への引き出しを続行させると共に、上記開口保持手
段（４）の間隔保持片（２，３）をこれと連動的に相互
近接させるようにする閉口手段（８）と、袋口内面同士が当接した段階で両面間を接着させる接着
手段（１１）とを有していることを特徴とする袋詰め装
置。