JPH10197448A - Ｉｃｐ発光分光分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPH10197448A JPH10197448A JP377997A JP377997A JPH10197448A JP H10197448 A JPH10197448 A JP H10197448A JP 377997 A JP377997 A JP 377997A JP 377997 A JP377997 A JP 377997A JP H10197448 A JPH10197448 A JP H10197448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- nebulizer
- plasma
- ultrasonic
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 21
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 claims description 5
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 abstract description 23
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 9
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 4
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 17
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 15
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 9
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 4
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000004807 desolvation Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】試料溶液の導入効率を上げ、高感度な定量分析
を可能とする。 【解決手段】超音波ネブライザ主要部５ａは、試料溶液
１０を吸い上げるペリスタルティックポンプ１１、ポン
プ１１により吸い上げられた試料溶液をキャリアガス流
入により霧化する霧化部１３、霧化部１３で霧化された
試料１０を加熱し、脱溶媒する加熱部１４、加熱部１４
で脱溶媒された試料１０を冷却し、噴霧室２に導入する
冷却部１５から構成される。また、３は超音波ネブライ
ザ導入部５ｂにおいてネブライザ固定のためのネブライ
ザホルダである。また、霧化部１３には霧化促進のため
に超音波振動子１２が設置されており、この超音波振動
子１２は超音波を発生するようになっている。一方、プ
ラズマトーチ４は、冷却ガス導入管１６、補助ガス導入
管１７、高周波誘導コイル１８から構成される。
を可能とする。 【解決手段】超音波ネブライザ主要部５ａは、試料溶液
１０を吸い上げるペリスタルティックポンプ１１、ポン
プ１１により吸い上げられた試料溶液をキャリアガス流
入により霧化する霧化部１３、霧化部１３で霧化された
試料１０を加熱し、脱溶媒する加熱部１４、加熱部１４
で脱溶媒された試料１０を冷却し、噴霧室２に導入する
冷却部１５から構成される。また、３は超音波ネブライ
ザ導入部５ｂにおいてネブライザ固定のためのネブライ
ザホルダである。また、霧化部１３には霧化促進のため
に超音波振動子１２が設置されており、この超音波振動
子１２は超音波を発生するようになっている。一方、プ
ラズマトーチ４は、冷却ガス導入管１６、補助ガス導入
管１７、高周波誘導コイル１８から構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料溶液中の元素
を定量分析するＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma:
誘導結合高周波プラズマ）発光分光分析装置に関する。
を定量分析するＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma:
誘導結合高周波プラズマ）発光分光分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、水質調査において水溶液中の元素
の定量分析を行う場合には、ＩＣＰ発光分光分析装置が
用いられている。このＩＣＰ発光分光分析装置は、多元
素を同時に測定可能であることから、測定の迅速という
面において優れた装置である。また、感度的にもほとん
どの元素について高感度である。
の定量分析を行う場合には、ＩＣＰ発光分光分析装置が
用いられている。このＩＣＰ発光分光分析装置は、多元
素を同時に測定可能であることから、測定の迅速という
面において優れた装置である。また、感度的にもほとん
どの元素について高感度である。
【０００３】図５は従来のＩＣＰ発光分光分析装置に用
いられる試料導入装置の同軸ネブライザ付近の概略構成
を示す断面図であり、図６は、図５中のａ付近を拡大し
た図である。
いられる試料導入装置の同軸ネブライザ付近の概略構成
を示す断面図であり、図６は、図５中のａ付近を拡大し
た図である。
【０００４】試料溶液１０は、同軸ネブライザ１により
キャリアガスとともに噴霧室２内に噴霧される。噴霧室
２は、粒径の大きな粒子を分離してドレンとして捨て、
粒径の小さな粒子のみをからなる霧状の試料をプラズマ
トーチ４に導入する。プラズマトーチ４では、この霧状
の試料とは別に、冷却ガス、補助ガスが導入される。そ
して、図５には示してはいないが、プラズマトーチ上部
に取り付けた高周波誘導コイルによって放電させて、プ
ラズマを生成する。そして、キャリアガスとともにプラ
ズマ中に送られた霧状の試料は発光する。この試料の発
光強度を測定することで、元素の定量分析を行うことが
できる。
キャリアガスとともに噴霧室２内に噴霧される。噴霧室
２は、粒径の大きな粒子を分離してドレンとして捨て、
粒径の小さな粒子のみをからなる霧状の試料をプラズマ
トーチ４に導入する。プラズマトーチ４では、この霧状
の試料とは別に、冷却ガス、補助ガスが導入される。そ
して、図５には示してはいないが、プラズマトーチ上部
に取り付けた高周波誘導コイルによって放電させて、プ
ラズマを生成する。そして、キャリアガスとともにプラ
ズマ中に送られた霧状の試料は発光する。この試料の発
光強度を測定することで、元素の定量分析を行うことが
できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のＩＣＰ発光
分光分析装置では、例えばＮａ，Ｋについての定量分析
においては、噴霧室に導入される霧の粒径が大きく、大
部分がドレンに回るため、試料の導入効率が低い。この
ため、定量下限値が高くなっている。具体的には、定量
下限値はＮａ，Ｋともに約０．１ｐｐｍと、他の元素に
比較して１０倍〜数１０倍も高く、分析条件がＮａ，Ｋ
においては適合していないことが分かる。
分光分析装置では、例えばＮａ，Ｋについての定量分析
においては、噴霧室に導入される霧の粒径が大きく、大
部分がドレンに回るため、試料の導入効率が低い。この
ため、定量下限値が高くなっている。具体的には、定量
下限値はＮａ，Ｋともに約０．１ｐｐｍと、他の元素に
比較して１０倍〜数１０倍も高く、分析条件がＮａ，Ｋ
においては適合していないことが分かる。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、試料溶液の導入
効率を上げ、高感度な定量分析を可能とするＩＣＰ発光
分光分析装置を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、試料溶液の導入
効率を上げ、高感度な定量分析を可能とするＩＣＰ発光
分光分析装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣＰ発光分光
分析装置は、プラズマ中で発光させた試料の発光スペク
トルを測定することにより試料溶液中の元素を定量分析
するＩＣＰ発光分光分析装置において、超音波を発生さ
せて前記試料溶液を霧化する霧化部と、この霧化部によ
り霧化された試料を加熱して脱溶媒する加熱部と、この
加熱部により脱溶媒された試料を冷却して噴霧室に導入
する冷却部と、この噴霧室で噴霧された試料をプラズマ
中に導入して発光させるプラズマトーチとを具備したこ
とを特徴とする。
分析装置は、プラズマ中で発光させた試料の発光スペク
トルを測定することにより試料溶液中の元素を定量分析
するＩＣＰ発光分光分析装置において、超音波を発生さ
せて前記試料溶液を霧化する霧化部と、この霧化部によ
り霧化された試料を加熱して脱溶媒する加熱部と、この
加熱部により脱溶媒された試料を冷却して噴霧室に導入
する冷却部と、この噴霧室で噴霧された試料をプラズマ
中に導入して発光させるプラズマトーチとを具備したこ
とを特徴とする。
【０００８】本発明の望ましい形態としては、本装置を
Ｎａ，Ｋの試料溶液の分析に適用し、この場合に霧化部
に導入するキャリアガス流量を１．２〜１．５ｌ／ｍｉ
ｎに、プラズマを発生させる高周波誘導コイルの高周波
出力を０．８〜１．０ｋＷに、また、噴霧室からプラズ
マ中に試料を導入するプラズマトーチの上端と分光器の
光軸との距離を１６〜２３ｍｍに設定する。
Ｎａ，Ｋの試料溶液の分析に適用し、この場合に霧化部
に導入するキャリアガス流量を１．２〜１．５ｌ／ｍｉ
ｎに、プラズマを発生させる高周波誘導コイルの高周波
出力を０．８〜１．０ｋＷに、また、噴霧室からプラズ
マ中に試料を導入するプラズマトーチの上端と分光器の
光軸との距離を１６〜２３ｍｍに設定する。
【０００９】本発明のＩＣＰ発光分光分析装置によれ
ば、以下に示す作用・効果を有する。霧化部において、
超音波発生手段により超音波を発生させ、試料溶液の霧
化を行う。霧化された試料溶液は、加熱部に送られ、加
熱されて脱溶媒される。この脱溶媒により単位重量当た
りの試料溶液の濃度が高くなる。そして、冷却部に送ら
れて温度を下げられ、噴霧室に送られる。噴霧室に送ら
れた試料溶液のうち、粒径の大きな粒子をドレンに回
し、残る粒径の小さな粒子をプラズマトーチに導入す
る。プラズマトーチでは、高周波誘導コイルの放電によ
りプラズマを発生させる。このプラズマ中に霧状の試料
を導入し、発光させる。この試料の発光スペクトルを分
光器で定量分析する。
ば、以下に示す作用・効果を有する。霧化部において、
超音波発生手段により超音波を発生させ、試料溶液の霧
化を行う。霧化された試料溶液は、加熱部に送られ、加
熱されて脱溶媒される。この脱溶媒により単位重量当た
りの試料溶液の濃度が高くなる。そして、冷却部に送ら
れて温度を下げられ、噴霧室に送られる。噴霧室に送ら
れた試料溶液のうち、粒径の大きな粒子をドレンに回
し、残る粒径の小さな粒子をプラズマトーチに導入す
る。プラズマトーチでは、高周波誘導コイルの放電によ
りプラズマを発生させる。このプラズマ中に霧状の試料
を導入し、発光させる。この試料の発光スペクトルを分
光器で定量分析する。
【００１０】このように、噴霧室に導入される前に超音
波エネルギーにより試料溶液の霧化を行っているため、
霧の粒径が小さく、ドレンに回される試料の割合を低減
することができる。従って、試料溶液のプラズマ中への
導入効率を上げることが可能であるため、微量の試料で
あっても高精度の測定が可能となる。
波エネルギーにより試料溶液の霧化を行っているため、
霧の粒径が小さく、ドレンに回される試料の割合を低減
することができる。従って、試料溶液のプラズマ中への
導入効率を上げることが可能であるため、微量の試料で
あっても高精度の測定が可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態
に係るＩＣＰ発光分光分析装置の全体構成を示す断面図
である。図１に示すように、本装置は大きく分けて、試
料溶液１０を吸い上げて霧化等を行う超音波ネブライザ
５（図１中、超音波ネブライザ主要部５ａから超音波ネ
ブライザ導入部５ｂまでを含めたものを示す）、超音波
ネブライザ５により噴霧された試料をキャリアガスとと
もにプラズマ中に導入する噴霧室２、噴霧室２から導入
された試料を生成されたプラズマ中で分解・励起させる
ことで発光させるプラズマトーチ４、分光器（不図示）
から構成される。図１中の試料導入方向に向かって６以
降の構成は、ＩＣＰ発光分光分析装置本体の試料導入系
である。
の一実施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態
に係るＩＣＰ発光分光分析装置の全体構成を示す断面図
である。図１に示すように、本装置は大きく分けて、試
料溶液１０を吸い上げて霧化等を行う超音波ネブライザ
５（図１中、超音波ネブライザ主要部５ａから超音波ネ
ブライザ導入部５ｂまでを含めたものを示す）、超音波
ネブライザ５により噴霧された試料をキャリアガスとと
もにプラズマ中に導入する噴霧室２、噴霧室２から導入
された試料を生成されたプラズマ中で分解・励起させる
ことで発光させるプラズマトーチ４、分光器（不図示）
から構成される。図１中の試料導入方向に向かって６以
降の構成は、ＩＣＰ発光分光分析装置本体の試料導入系
である。
【００１２】また、超音波ネブライザ主要部５ａは、試
料溶液１０を吸い上げるペリスタルティックポンプ１
１、ポンプ１１により吸い上げられた試料溶液をキャリ
アガス流入により霧化する霧化部１３、霧化部１３で霧
化された試料１０を加熱し、脱溶媒する加熱部１４、加
熱部１４で脱溶媒された試料１０を冷却し、噴霧室２に
導入する冷却部１５から構成される。また、３は超音波
ネブライザ導入部５ｂにおいてネブライザ固定のための
ネブライザホルダである。
料溶液１０を吸い上げるペリスタルティックポンプ１
１、ポンプ１１により吸い上げられた試料溶液をキャリ
アガス流入により霧化する霧化部１３、霧化部１３で霧
化された試料１０を加熱し、脱溶媒する加熱部１４、加
熱部１４で脱溶媒された試料１０を冷却し、噴霧室２に
導入する冷却部１５から構成される。また、３は超音波
ネブライザ導入部５ｂにおいてネブライザ固定のための
ネブライザホルダである。
【００１３】また、霧化部１３には霧化促進のために超
音波振動子１２が設置されており、この超音波振動子１
２は超音波を発生するようになっている。また、キャリ
アガス流入部及び試料溶液流入部が別個に設けられてい
るので、キャリアガス流量と霧の発生量が独立してお
り、霧の発生量にかかわらずにキャリアガス流量の最適
値を用いることができる。一方、プラズマトーチ４は、
冷却ガス導入管１６、補助ガス導入管１７、高周波誘導
コイル１８から構成される。
音波振動子１２が設置されており、この超音波振動子１
２は超音波を発生するようになっている。また、キャリ
アガス流入部及び試料溶液流入部が別個に設けられてい
るので、キャリアガス流量と霧の発生量が独立してお
り、霧の発生量にかかわらずにキャリアガス流量の最適
値を用いることができる。一方、プラズマトーチ４は、
冷却ガス導入管１６、補助ガス導入管１７、高周波誘導
コイル１８から構成される。
【００１４】上記したＩＣＰ発光分光分析装置におい
て、霧化部１３，加熱部１４及び噴霧室２においては、
プラズマ中に導入されない試料がドレンとして捨てられ
る。上記実施形態の動作を説明する。
て、霧化部１３，加熱部１４及び噴霧室２においては、
プラズマ中に導入されない試料がドレンとして捨てられ
る。上記実施形態の動作を説明する。
【００１５】ペリスタルティックポンプ１１は、試料溶
液１０を吸い上げて霧化部１３に導入する。霧化部１３
に設置された超音波振動子１２は、超音波を発生する。
この超音波により、導入された試料溶液１０は霧化さ
れ、また流入されるキャリアガスにより加熱部１４へと
移動する。加熱部１４は、霧化された試料を加熱により
脱溶媒して濃縮する。この脱溶媒により、試料に含まれ
る単位重量当たりの溶質の濃度が高くなり、ドレンとし
て捨てられる試料を減少させることができる。この脱溶
媒された試料は、冷却部１５に導入される。冷却部１５
は、試料を常温まで冷却し、導入管を通して噴霧室２に
送り込む。
液１０を吸い上げて霧化部１３に導入する。霧化部１３
に設置された超音波振動子１２は、超音波を発生する。
この超音波により、導入された試料溶液１０は霧化さ
れ、また流入されるキャリアガスにより加熱部１４へと
移動する。加熱部１４は、霧化された試料を加熱により
脱溶媒して濃縮する。この脱溶媒により、試料に含まれ
る単位重量当たりの溶質の濃度が高くなり、ドレンとし
て捨てられる試料を減少させることができる。この脱溶
媒された試料は、冷却部１５に導入される。冷却部１５
は、試料を常温まで冷却し、導入管を通して噴霧室２に
送り込む。
【００１６】導入された試料は二重構造の噴霧室２にて
粒径の大きい粒子が分離される。ここで、噴霧室２導入
時には、超音波振動子１２により霧の粒径が小さくされ
ているので、ドレンに回す試料の割合が低減される。こ
のようにして得られた粒径の小さな粒子は、プラズマト
ーチ４を上方に上がっていき、プラズマトーチ４上部に
取り付けた高周波誘導コイル１８付近に達する。一方、
高周波誘導コイル１８は、キャリアガス等により放電
し、プラズマを生成する。ここで、導入された試料は、
生成されたプラズマ中で分解・励起され、発光する。そ
の発光強度を分光器等（不図示）で測定することで定量
分析が可能である。
粒径の大きい粒子が分離される。ここで、噴霧室２導入
時には、超音波振動子１２により霧の粒径が小さくされ
ているので、ドレンに回す試料の割合が低減される。こ
のようにして得られた粒径の小さな粒子は、プラズマト
ーチ４を上方に上がっていき、プラズマトーチ４上部に
取り付けた高周波誘導コイル１８付近に達する。一方、
高周波誘導コイル１８は、キャリアガス等により放電
し、プラズマを生成する。ここで、導入された試料は、
生成されたプラズマ中で分解・励起され、発光する。そ
の発光強度を分光器等（不図示）で測定することで定量
分析が可能である。
【００１７】上記実施形態の有効性の検証として、Ｎ
ａ，Ｋを試料溶液とした、表１に示す実施条件により、
実験を行った。ここで、本実施形態による実施条件との
比較において行った従来の同軸ネブライザを用いたＩＣ
Ｐ発光分光分析装置による実験条件を表１に併せて示
す。
ａ，Ｋを試料溶液とした、表１に示す実施条件により、
実験を行った。ここで、本実施形態による実施条件との
比較において行った従来の同軸ネブライザを用いたＩＣ
Ｐ発光分光分析装置による実験条件を表１に併せて示
す。
【００１８】
【表１】 また、測定するＮａ，Ｋそれぞれの真空波長を表２に示
す。
す。
【００１９】
【表２】
【００２０】この実施条件においては、同軸ネブライザ
を用いた試料導入装置と構造が異なるため、特にキャリ
アガス流量、高周波誘導コイル１８の高周波出力、プラ
ズマトーチ４のトーチ観測高さ、即ちプラズマトーチ４
と分光器の光軸との距離をＳ／Ｂ比により最適化した。
即ち、超音波ネブライザ５を用いることで最適なキャリ
アガス流量も変化するからである。また、高周波出力を
最適化することで、プラズマ中にてＮａ，Ｋが励起しや
すい温度、即ち発光しやすい温度にプラズマの温度を合
わせて試料の発光効率の向上を図り、またトーチ観測高
さを最適化することで、プラズマの位置による発光の最
大点に合わせて発光スペクトルの検出効率の向上に寄与
することができる。
を用いた試料導入装置と構造が異なるため、特にキャリ
アガス流量、高周波誘導コイル１８の高周波出力、プラ
ズマトーチ４のトーチ観測高さ、即ちプラズマトーチ４
と分光器の光軸との距離をＳ／Ｂ比により最適化した。
即ち、超音波ネブライザ５を用いることで最適なキャリ
アガス流量も変化するからである。また、高周波出力を
最適化することで、プラズマ中にてＮａ，Ｋが励起しや
すい温度、即ち発光しやすい温度にプラズマの温度を合
わせて試料の発光効率の向上を図り、またトーチ観測高
さを最適化することで、プラズマの位置による発光の最
大点に合わせて発光スペクトルの検出効率の向上に寄与
することができる。
【００２１】ここで、Ｓ／Ｂ比とは、（サンプル強度−
ブランク強度）／ブランク強度で表されるもので、ブラ
ンク強度とは、バックグラウンド等によるノイズの強度
である。このＳ／Ｂ比は、必要な信号が不要なノイズ等
と比較してどのくらい大きいかの指標となる値であり、
この値が大きいほど、感度がよいこととなる。従って、
条件検討の段階でＳ／Ｂ比の最も大きくなる条件を選出
するのが１つの方法である。これらキャリアガス流量、
高周波出力、トーチ観測高さとＳ／Ｂ比の関係を示した
のが図２〜図４である。横軸はそれぞれの実験パラメー
タ、縦軸はＳ／Ｂ比を示す。これら図２〜図４より、そ
れぞれのパラメータの最適値は、キャリアガス流量１．
２〜１．５（ｌ／ｍｉｎ）、高周波出力０．８〜１．０
（ｋＷ）、トーチ観測高さ１６〜２３（ｍｍ）となる。
ブランク強度）／ブランク強度で表されるもので、ブラ
ンク強度とは、バックグラウンド等によるノイズの強度
である。このＳ／Ｂ比は、必要な信号が不要なノイズ等
と比較してどのくらい大きいかの指標となる値であり、
この値が大きいほど、感度がよいこととなる。従って、
条件検討の段階でＳ／Ｂ比の最も大きくなる条件を選出
するのが１つの方法である。これらキャリアガス流量、
高周波出力、トーチ観測高さとＳ／Ｂ比の関係を示した
のが図２〜図４である。横軸はそれぞれの実験パラメー
タ、縦軸はＳ／Ｂ比を示す。これら図２〜図４より、そ
れぞれのパラメータの最適値は、キャリアガス流量１．
２〜１．５（ｌ／ｍｉｎ）、高周波出力０．８〜１．０
（ｋＷ）、トーチ観測高さ１６〜２３（ｍｍ）となる。
【００２２】上記したＳ／Ｂ比の最適値に基づいて求め
られたＮａ，Ｋの定量下限値を、従来の同軸ネブライザ
を用いたＩＣＰ発光分光分析装置による実験結果ととも
に表３に示す。
られたＮａ，Ｋの定量下限値を、従来の同軸ネブライザ
を用いたＩＣＰ発光分光分析装置による実験結果ととも
に表３に示す。
【００２３】
【表３】
【００２４】表３から明らかなように、本発明のＩＣＰ
発光分光分析装置によれば、従来条件による結果と比較
して、Ｎａ，Ｋの定量下限値が約１／２０と飛躍的に向
上でき、これによりＮａ，Ｋの感度が２０倍と大幅に改
善できることが分かる。
発光分光分析装置によれば、従来条件による結果と比較
して、Ｎａ，Ｋの定量下限値が約１／２０と飛躍的に向
上でき、これによりＮａ，Ｋの感度が２０倍と大幅に改
善できることが分かる。
【００２５】このように、超音波振動子１２により超音
波エネルギーを用いて噴霧室２導入前に試料溶液の霧化
を行っているため、噴霧室２導入時には霧の粒径が小さ
く、試料の導入効率を高く保つことができる。また、加
熱部１４により霧化部１３で霧化された試料を脱溶媒す
るため、単位重量当たりのＮａ，Ｋの濃度が高くなり、
導入効率をより高くしている。さらに、Ｓ／Ｂ比よりキ
ャリアガス流量、高周波出力、トーチ観測高さの最適化
を行うことで、発光スペクトルの検出効率、試料の発光
効率が向上し、より高精度の測定が可能となる。
波エネルギーを用いて噴霧室２導入前に試料溶液の霧化
を行っているため、噴霧室２導入時には霧の粒径が小さ
く、試料の導入効率を高く保つことができる。また、加
熱部１４により霧化部１３で霧化された試料を脱溶媒す
るため、単位重量当たりのＮａ，Ｋの濃度が高くなり、
導入効率をより高くしている。さらに、Ｓ／Ｂ比よりキ
ャリアガス流量、高周波出力、トーチ観測高さの最適化
を行うことで、発光スペクトルの検出効率、試料の発光
効率が向上し、より高精度の測定が可能となる。
【００２６】尚、本実施形態では水質調査に適用される
ＩＣＰ発光分光分析装置を示したが、本発明をボイラ、
焼却炉、その他腐食が生じた時の原因調査、ディーゼル
機関等の潤滑油の汚れ具合の調査、焼却炉等のスケール
付着調査等に適用可能であることは勿論である。
ＩＣＰ発光分光分析装置を示したが、本発明をボイラ、
焼却炉、その他腐食が生じた時の原因調査、ディーゼル
機関等の潤滑油の汚れ具合の調査、焼却炉等のスケール
付着調査等に適用可能であることは勿論である。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、噴
霧室に導入される前に、超音波発生手段により試料溶液
の霧化を行っているため、噴霧室導入時には霧の粒径が
小さく、試料の導入効率が向上し、プラズマ中での発光
効率を上げることができる。
霧室に導入される前に、超音波発生手段により試料溶液
の霧化を行っているため、噴霧室導入時には霧の粒径が
小さく、試料の導入効率が向上し、プラズマ中での発光
効率を上げることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るＩＣＰ発光分光分析
装置の全体構成を示す断面図。
装置の全体構成を示す断面図。
【図２】本実施形態における高周波出力とＳ／Ｂ比との
関係を示す図。
関係を示す図。
【図３】本実施形態におけるキャリアガス流量とＳ／Ｂ
比との関係を示す図。
比との関係を示す図。
【図４】本実施形態におけるトーチ観測高さとＳ／Ｂ比
との関係を示す図。
との関係を示す図。
【図５】従来のＩＣＰ発光分光分析装置の概略構成を示
す断面図。
す断面図。
【図６】図５におけるＩＣＰ発光分光分析装置の同軸ネ
ブライザ付近の拡大断面図。
ブライザ付近の拡大断面図。
２ 噴霧室 ３ ネブライザホルダ ４ プラズマトーチ ５ａ 超音波ネブライザ主要部 ５ｂ 超音波ネブライザ導入部 １０ 試料溶液 １１ ペリスタルティックポンプ １２ 超音波振動子 １３ 霧化部 １４ 加熱部 １５ 冷却部 １６ 冷却ガス導入管 １７ 補助ガス導入管 １８ 高周波誘導コイル
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマ中で発光させた試料の発光スペ
クトルを測定することにより試料溶液中の元素を定量分
析するＩＣＰ発光分光分析装置において、超音波を発生
させて前記試料溶液を霧化する霧化部と、この霧化部に
より霧化された試料を加熱して脱溶媒する加熱部と、こ
の加熱部により脱溶媒された試料を冷却して噴霧室に導
入する冷却部と、この噴霧室で噴霧された試料をプラズ
マ中に導入して発光させるプラズマトーチとを具備した
ことを特徴とするＩＣＰ発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP377997A JPH10197448A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP377997A JPH10197448A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197448A true JPH10197448A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11566683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP377997A Withdrawn JPH10197448A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10197448A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030093718A (ko) * | 2002-06-05 | 2003-12-11 | 김병회 | 네블라이저 |
| CN106525820A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-03-22 | 上海化工研究院 | 一种喷口高频振动位移空化型icp进样雾化装置 |
-
1997
- 1997-01-13 JP JP377997A patent/JPH10197448A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030093718A (ko) * | 2002-06-05 | 2003-12-11 | 김병회 | 네블라이저 |
| CN106525820A (zh) * | 2016-10-31 | 2017-03-22 | 上海化工研究院 | 一种喷口高频振动位移空化型icp进样雾化装置 |
| CN106525820B (zh) * | 2016-10-31 | 2019-03-22 | 上海化工研究院有限公司 | 一种喷口高频振动位移空化型icp进样雾化装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9804183B2 (en) | Apparatus and method for liquid sample introduction | |
| CN103712962A (zh) | 一种基于气雾化与共振激发的激光探针分析仪 | |
| CN114486856B (zh) | 一种高重频辅助烧蚀激光诱导击穿光谱气溶胶检测装置 | |
| WO2022062118A1 (zh) | 一种液体样品元素在线检测的装置与方法 | |
| Meyer | ICP: still the panacea for trace metals analysis? | |
| JP3902380B2 (ja) | Ｉｃｐ分析装置 | |
| JPH10197448A (ja) | Ｉｃｐ発光分光分析装置 | |
| CN203758914U (zh) | 一种基于气雾化与共振激发的激光探针分析仪 | |
| CN104807809B (zh) | 一种负压防污染型电感耦合等离子体检测器及方法 | |
| JPH06222005A (ja) | Ｉｃｐ発光分光分析方法 | |
| EP0510127A1 (en) | PROCESS AND DEVICE FOR PREPARING AN ANALYTICAL SAMPLE. | |
| RU2331868C2 (ru) | Способ и аппарат для спектроскопии оптического излучения жидкости, возбуждаемой лазером | |
| JP6795095B2 (ja) | プラズマ発生装置、これを備えた発光分析装置及び質量分析装置、並びに、装置状態判定方法 | |
| JP2002318193A (ja) | ネブライザ及び高周波誘導結合プラズマ発光分析装置 | |
| CN117309845A (zh) | 一种脉宽可调式libs重金属元素探测系统及分析方法 | |
| CN115791713A (zh) | 一种气溶胶元素分析装置 | |
| JP2015179039A (ja) | Ｉｃｐ発光分光分析装置 | |
| JPH06249782A (ja) | Ｉｃｐ発光分光分析装置 | |
| JPH06109639A (ja) | 発光分光分析方法 | |
| CN115032149A (zh) | 一种电感耦合等离子体光谱仪及高放射性废液测量系统 | |
| US4743111A (en) | Emission spectrochemical analyzer | |
| CN111721754B (zh) | 基于激光诱导击穿光谱的液态奶中矿物质元素检测方法 | |
| JP4199605B2 (ja) | Ｉｃｐ分析方法 | |
| CN116087173A (zh) | 一种激光烧蚀微波等离子体炬光发射光谱仪及检测方法 | |
| JPH0244201Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040406 |