JPH10197893A - 液晶ディスプレイの欠陥画素の補正方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＬＣＤの輝点欠陥画素等の欠陥画素にレーザ
ー光を照射して欠陥の補正を行う方法及び装置におい
て、装置の小型化及び低コスト化と、補正作業の所要時
間の短縮化と、レーザー光の照射位置の高精度な制御と
を可能にする。 【解決手段】 レーザー光を、第１のミラー４及び第２
のミラー５でそれぞれ反射させてＬＣＤパネル１２の欠
陥画素に照射させた後、ミラー４を変位させることによ
り欠陥画素におけるレーザー光の照射位置を横方向上で
変化させること、及び、ミラー５を変位させることによ
り欠陥画素におけるレーザー光の照射位置を縦方向上で
変化させること、のうち少なくとも一方を行う。その
後、再びレーザー光をミラー４及び５で反射させて欠陥
画素に照射させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
の製品歩留り向上のために、欠陥画素にレーザー光を照
射することによりその欠陥の補正を行う方法及び装置に
関し、特に、機構の簡素化及び補正作業の所要時間の短
縮化等を図ったものに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルは数
十万〜数百万の画素が集積化されたものであり、その中
に欠陥画素が存在することが画面上で視認されてしまう
と、製品歩留りを低下させてしまう。この欠陥画素の内
容を、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）を用いたアクティブマトリックス駆動方式のＬＣＤ
パネルを例にとって説明すると、以下の通りである。

【０００３】図７は、アクティブマトリックス駆動方式
のＬＣＤパネルの一画素部分の構造を例示するものであ
り、駆動基板２１と対向基板２２とを対向させ、その間
隙にネマティック液晶を封入して液晶層２３が形成され
ている。このＬＣＤの等価回路を示すと図８の通りであ
り、駆動基板２１の内側（液晶側）面には、画像信号が
印加される信号線Ｓｉ（Ｓ１，Ｓ２，…Ｓｎ）と、走査
信号が印加されるゲート線Ｇｊ（Ｇ１，Ｇ２，…Ｇｍ）
とがマトリックス状に配され、それらの各交差点に薄膜
トランジスタＴｒｉｊ（Ｔｒ１１，Ｔｒ１２，Ｔｒ２
１，Ｔｒ２２，…Ｔｒｎｍ）が設けられている。各薄膜
トランジスタＴｒｉｊは、対応するゲート線Ｇｊにゲー
トが接続されるとともに、対応する信号線Ｓｉにソース
またはドレインのいずれか一方が接続されている。

【０００４】図７に戻り、駆動基板２１には、各薄膜ト
ランジスタＴｒｉｊ上に、画素毎に分割された画素電極
２４が形成されている。画素電極２４には、ＩＴＯ（酸
化インジウム）等の透明な導電膜が用いられている。画
素電極２４の外側面には、配向膜２５が成膜されてい
る。配向膜２５の表面には、液晶層２３の分子配列方向
を揃えるために、所定の方向（図では左右方向）にラビ
ング処理が施されている。対向基板２２の内側面にはカ
ラーフィルタ（図示せず）が形成されており、このカラ
ーフィルタの内側面に、ＩＴＯ等の透明な導電膜を用い
て共通電極２６が形成されている。

【０００５】この共通電極２６と駆動基板２１の画素電
極２４とにより、液晶層２３を挟んでキャパシタが構成
されている。図８の等価回路上では、各薄膜トランジス
タＴｒｉｊのソースまたはドレインの残りの一方に、キ
ャパシタＣｉｊ（Ｃ１１，Ｃ１２，Ｃ２１，Ｃ２２，…
Ｃｎｍ）と液晶とがそれぞれ並列に接続されており、共
通電極２６には共通電位Ｖｃｏｍが印加されている。

【０００６】共通電極２６の内側面には、配向膜２７が
成膜されている。配向膜２７の表面にもラビング処理が
施されているが、その方向は駆動基板２１の配向膜２５
とは直交している。これにより、液晶層２３は、分子配
列方向が厚さ方向に９０度ツイストした状態に保たれて
いる。駆動基板２１の外側面には偏光板２８が貼付され
ており、対向基板２２の外側面には、偏光板２８とは偏
光軸を直交させた状態で偏光板２９が貼付されている。

【０００７】このような構造のＬＣＤパネルに、偏光板
２８の外側からバックライト光を照射すると、その光
は、偏光板２８により一方向に偏光され、駆動基板２１
及び画素電極２４を透過して液晶層２３に入射する。画
素電極２４・共通電極２６間に電圧を印加しない状態で
は、液晶層２３を透過する光は、液晶分子の光学異方性
の効果により偏光方向が分子配列方向に沿って９０度変
化する。このようにして偏光方向を変化させた光は、共
通電極２６及び対向基板２２を透過して偏光板２９に入
射する。前述のように偏光板２９と偏光板２８とは偏光
軸が直交しているので、この入射光はほとんど偏光板２
９を透過してＬＣＤパネルの反対側に出射される。これ
により、画素表面が明るく視認される白表示の状態とな
る。

【０００８】他方、画素電極２４・共通電極２６間に電
圧を印加すると、電圧レベルに応じて、液晶層２３の分
子配列方向が縦方向に変化するようになる。図９は、こ
の電圧レベルを十分に高くした場合を示しており、分子
配列方向がほぼ縦方向に揃っている。こうした場合に
は、液晶層２３を透過する光の偏光方向はほとんど変化
しないので、偏光板２９に入射した光はほとんど偏光板
２９を透過しなくなる。従って、ＬＣＤパネルの反対側
にはほとんど光が出射されないので、画素表面が暗く視
認される黒表示の状態となる。

【０００９】こうしたＬＣＤパネルの製造過程で、ゴミ
の混入やマスクパターンの欠陥や薄膜トランジスタ自体
の欠陥等があると、欠陥画素が発生する原因とがある。
図１０は、欠陥画素を表すために駆動基板２１上の画素
を模式的に示したもの（図８のＡ部を繰り返し配列して
示したもの）であり、ゴミの混入またはマスクパターン
の欠陥により、符号Ｂで示すように、薄膜トランジスタ
Ｔｒｉｊと画素電極２４との間の配線層が断線してい
る。同様な原因により、薄膜トランジスタＴｒｉｊと信
号線Ｓｉとの間の配線層や薄膜トランジスタＴｒｉｊと
ゲート線Ｇｊとの間の配線層が断線することもある。ま
た、薄膜トランジスタＴｒｉｊ自体の欠陥により、符号
Ｃで示すように、チャネルが開放したまま（または短絡
したまま）の状態になることがある。

【００１０】こうした断線やチャネルの開放があると、
各画素の画素電極２４・共通電極２６間に電圧を印加し
た際、周囲の画素は上述の黒表示になるのに対し、その
画素だけは電圧がかからないので上述の白表示になって
しまう。この欠陥画素のことを、特に輝点欠陥画素と呼
ぶ。他方、チャネルの短絡があると、各画素の画素電極
２４・共通電極２６間に電圧を印加していないとき、周
囲の画素は白表示になるのに対し、その画素だけは電圧
がかかってしまうので黒表示になってしまう。この欠陥
画素のことを、特に滅点欠陥画素と呼ぶ。

【００１１】以上に説明した欠陥画素のうち、周囲の黒
表示の中に白表示が存在する輝点欠陥画素のほうは、特
に視覚的に目立つものなので、製品歩留りの低下の原因
となる。そこで、製造したＬＣＤパネルの検査工程で輝
点欠陥画素を発見した場合には、その画素に対してなん
らかの補正を施すことが必要になる。

【００１２】この補正方法の一つとして、輝点欠陥画素
にレーザー光を照射してその配向膜にダメージを加える
ことにより、配向膜の配向機能を低下させて輝点欠陥画
素の光透過率を低下させる（即ち輝点欠陥画素を視覚的
に目立たない滅点に変える）という方法が、本出願人か
ら提案されている（特許出願番号特願平８ー２２１２０
１号）。

【００１３】ところで、配向膜にダメージを加えうる程
度のエネルギー密度を得るためには、レーザー光のビー
ム径をある程度狭く絞らなければならない。従って、一
般にレーザー光の照射面積は一画素の面積に比べて狭く
なる。そのため、輝点欠陥画素にレーザー光を一度照射
だけでは光透過率を目標値にまで低下させることができ
ない場合があり、そうした場合には、輝点欠陥画素内で
照射位置を変化させつつレーザー光を複数回照射する必
要がある。

【００１４】また、一度の照射で光透過率を目標値にま
で低下させるのに十分なエネルギー密度を得られる場合
でも、エネルギー密度を低く抑えて複数回に分けてレー
ザー光を照射するほうが、レーザー照射の安定性が向上
するとともにレーザー照射による画素への悪影響（光学
特性の劣化等）が減少するので好適である。

【００１５】そこで、従来こうした方法の実施のために
用いられる補正装置では、レーザー光を発生させるレー
ザーヘッドまたはＬＣＤパネルのいずれか一方をセット
したステージを、モータその他の駆動機構を用いて横方
向及び縦方向の双方向に移動させることにより、ＬＣＤ
パネルの輝点欠陥画素に対するレーザー光の照射位置を
変化させるようにしていた。

【００１６】図１１はこうした従来の補正装置における
レーザー光の照射位置の変化のための機構の一例を示す
ものである。ＬＣＤパネル３１をセットしたＸＹステー
ジ３２を、駆動機構（図示せず）でＬＣＤパネル３１の
横方向（Ｘ方向）に移動させることにより、ＬＣＤパネ
ル３１に対するレーザー光Ｌの照射位置がＸ方向に変化
する。また、ＸＹステージ３２を駆動機構（図示せず）
でＬＣＤパネル３１の縦方向（Ｙ方向）に移動させるこ
とにより、ＬＣＤパネル３１に対するレーザー光Ｌの照
射位置がＹ方向に変化する。これにより、レーザー光Ｌ
の照射位置をＬＣＤパネル３１の輝点欠陥画素Ｄ内（図
では便宜上画素Ｄを実際よりも大きく表わしている）内
で変化させることができる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにレ
ーザーヘッドまたはＬＣＤパネルを支持したステージを
横方向及び縦方向に移動させるための駆動機構として
は、比較的大型，複雑且つ高価なものが必要であった。
従って、補正装置全体の大型化を招くとともに、補正の
ための費用の増大を招くという不都合があった。

【００１８】また、図１１の例からも理解されるよう
に、ステージの移動距離とレーザー光の照射位置の移動
距離とが一致するので、照射位置を変化させるのに時間
を要し、このことが欠陥の補正作業全体の長時間化を招
くという不都合があった。更に、こうしたステージの移
動距離を高精度に制御することは困難であり、従ってレ
ーザー光の照射位置の微調整が困難であるという不都合
があった。

【００１９】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、ＬＣＤの輝点欠陥画素等の欠陥画素にレーザー光を
照射して欠陥の補正を行う方法及び装置において、装置
の小型化及び低コスト化と、補正作業の所要時間の短縮
化と、レーザー光の照射位置の高精度な制御とを可能に
するものを提供しようとするものである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶ディス
プレイパネルの欠陥画素の補正方法は、レーザー光を、
少なくとも１枚のミラーで反射させて液晶ディスプレイ
パネルの欠陥画素に照射させる第１ステップと、第１ス
テップの後、このミラーを変位させることにより、欠陥
画素におけるレーザー光の照射位置を変化させる第２ス
テップと、第２ステップの後、再びレーザー光をこのミ
ラーで反射させて欠陥画素に照射させる第３ステップと
を含んだことを特徴としている。

【００２１】レーザー光を欠陥画素に照射させた後、レ
ーザー光を反射するミラーを変位させることにより、こ
の欠陥画素におけるレーザー光の照射位置を変化させ
る。その後、再びレーザー光をこの欠陥画素に照射させ
る。これにより、この欠陥画素内で照射位置をずらしな
がらレーザー光を照射することができる。

【００２２】このようなミラーを変位させるための駆動
機構は、従来のようなレーザーヘッドまたはＬＣＤパネ
ルを支持したステージを横方向及び縦方向に移動させる
ための駆動機構と比較して、小型，簡単且つ安価なもの
で済む。従って、補正装置全体が小型化されるとともに
補正のための費用が低減される。

【００２３】また、ミラーを僅かに変位させただけでも
レーザー光の照射位置を大きく移動させることができる
ので、照射位置の変化に要する時間が従来よりも大幅に
短くなる。従って、補正作業全体の所要時間が短縮され
る。また、こうしたミラーの変位量は、従来のようにス
テージの移動距離を制御する場合と比較して高精度な制
御が容易である。従ってレーザー光の照射位置の微調整
が容易になる。

【００２４】次に、本発明に係る液晶ディスプレイパネ
ルの欠陥画素の補正装置は、レーザー光を供給する手段
と、このレーザー光を反射させて液晶ディスプレイパネ
ルに照射させるための少なくとも１枚のミラーと、この
ミラーを変位させることにより、液晶ディスプレイパネ
ルにおけるレーザー光の照射位置を変化させる駆動手段
とを備えたことを特徴としている。

【００２５】この補正装置に依れば、レーザー発生手段
からのレーザー光を反射して液晶ディスプレイパネルに
照射するミラーと、このミラーを変位させる駆動手段と
が設けられており、この駆動手段でミラーを変位させる
ことにより、液晶ディスプレイパネルにおけるレーザー
光の照射位置が変化する。

【００２６】前述のように、こうした駆動機構は従来よ
りも小型，簡単且つ安価なもので済むので、補正装置全
体が小型化されるとともに補正のための費用が低減され
る。また、前述のようにミラーの変位により従来よりも
短時間で照射位置を変化させることができるので、補正
作業全体の所要時間が短縮される。また、前述のように
こうしたミラーの変位量は従来のようなステージの移動
距離と比較して高精度な制御誠が容易なので、照射位置
の微調整が容易になる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施例を詳細に説明する。図１は、本発明に係る欠陥
画素の補正方法の実施のために用いられる補正装置の一
例を示す図である。この補正装置は、レーザー光Ｌを発
生させるレーザーヘッド１と、レーザーヘッド１からの
レーザー光Ｌのビーム径を絞ることとＬＣＤパネルの観
察とに用いる顕微鏡２と、顕微鏡２の映像を電気信号に
変換するカメラ３と、顕微鏡２を経たレーザー光Ｌを反
射させるためのミラー４（第１のミラー）と、ミラー４
で反射したレーザー光Ｌを反射させて固定の支持台６上
のＬＣＤパネルに照射させるためのミラー５（第２のミ
ラー）と、バックライト光源７と、ＬＣＤパネルの画素
の光透過率を測定する画像処理装置８と、この補正装置
の各部を制御するコントローラ９（マイクロコンピュー
タ等）とを含んでいる。尚、コントローラ９から各部へ
の制御信号線は、一部を除いて図示を省略している。

【００２８】図２は支持台６上のＬＣＤパネル１２に対
するミラー４及び５の配置関係を示す図であり、図１２
Ａ，Ｂはそれぞれ図２の矢印Ａの方向（Ｘ方向に平行な
方向）、矢印Ｂの方向（Ｙ方向に平行な方向）から、こ
れらの構成要素をみた図である（但し図１２Ｂではミラ
ー４及び軸１０の図示を省略してある）。これらの図に
示すように、ミラー４は軸１０に固定して取り付けられ
ている。軸１０は、支持台６の横方向（Ｘ方向）に延び
且つＸ方向に平行した配置で、軸１０を軸心の回りに回
動させるためのモータその他の駆動機構（図示せず）に
より支持されている。従って、この駆動機構で軸１０を
回動させると、ミラー４の角度が変化することにより、
ミラー４でのレーザー光Ｌの反射方向が軸１０に垂直な
平面内で変化する。

【００２９】他方、ミラー５は軸１１に固定して取り付
けられている。軸１１は、支持台６の縦方向（Ｙ方向）
に延び且つＹ方向に平行し、且つ鉛直方向に傾斜した配
置で、軸１１を軸心の回りに回動させるための同様な駆
動機構（図示せず）により支持されている。従って、こ
の駆動機構で軸１１を回動させると、ミラー５の角度が
変化することにより、ミラー５でのレーザー光Ｌの反射
方向が軸１１に垂直な平面内で変化する。

【００３０】こうした機構により、軸１０を回動させる
ことによりミラー４の角度を変化させると、ミラー４及
び５を反射して支持台６上のＬＣＤパネル１２に照射さ
れるレーザー光Ｌの照射位置がＹ方向上で変化するよう
にし、他方、軸１１を回動させることによりミラー５の
角度を変化させると、ミラー５を反射して支持台６上の
ＬＣＤパネル１２に照射されるレーザー光Ｌの照射位置
がＸ方向上で変化するようにしている。

【００３１】ここで、このような軸１０，１１を軸心の
回りに回動させるための駆動機構は、図１１に示したよ
うなＬＣＤパネルをセットしたＸＹステージをＸ方向及
びＹ方向に移動させる駆動機構と比較して、小型，簡単
且つ安価なものである。従って、この補正装置全体の小
型化と低コスト化とが図られている。

【００３２】また、軸１０，１１を僅かに回動させるだ
けで、ミラー４，５の角度が変化してレーザー光の照射
位置が大きく変化する。従って、図１１に示したように
ＸＹステージをＸ方向及びＹ方向に移動させてレーザー
光の照射位置を変化させる場合と比較して、短時間で照
射位置を変化させることができるようになっている。こ
れにより、補正作業全体の所要時間の短縮化が図られて
いる。

【００３３】また、こうした軸１０，１１の回動の角度
は、図１１に示したようにＸＹステージのＸ方向及びＹ
方向への移動距離と比較して、高精度な制御が容易であ
る。従ってレーザー光の照射位置の微調整の容易化が図
られている。

【００３４】次に、この補正装置における欠陥画素の補
正処理の一例を、図３のフローチャートを参照して説明
する。 （ステップＳＴ１）検査工程で輝点欠陥画素を発見され
たＬＣＤパネル１２を、支持台６にセットする。そし
て、その輝点欠陥画素のアドレス情報や、ＬＣＤパネル
１２における一画素の面積等の情報を、適宜の方法（例
えば図示しない操作パネルのマニュアル操作か、または
図示しない欠陥検査装置からの自動的な取り込み）によ
りコントローラ９に入力する。尚、光透過率の低下によ
る欠陥補正を制御性よく行うためには、偏光板（図参
照）を駆動基板及び対向基板に貼付する前の段階のＬＣ
Ｄパネル１２を支持台６にセットするようにすることが
望ましい。

【００３５】（ステップＳＴ２）コントローラ９は、こ
のアドレス情報に基づいて軸１０及び１１の少なくとも
一方を回動させることにより、ミラー４及び５の少なく
とも一方の角度を変化させて輝点欠陥画素をカメラ３の
視野内に入れる。この際にも、輝点欠陥画素を短時間で
正確にカメラ３の視野内に入れることができる。

【００３６】（ステップＳＴ３）続いてコントローラ９
は、バックライト光源７を点灯し、輝点欠陥画素を透過
した光の光量をカメラ３で電気信号に変換する。そし
て、この電気信号が示す透過光量をもとに画像処理装置
８で輝点欠陥画素の光透過率を測定し、その測定結果や
ステップＳＴ１で入力した一画素の面積に基づき、輝点
欠陥画素へのレーザー光の最適な照射条件を算出・設定
する。この照射条件には、照射位置を変化させる際の変
化の量，方向及び回数も含まれる。

【００３７】尚、この照射条件は輝点欠陥画素の光透過
率の低下の目標値によって異なるが、この目標値は、正
常画素の白表示時の光透過率と黒表示時の光透過率との
中間値よりも黒表示時寄りに置くことが望ましい。なぜ
なら、前述のように、周囲の黒表示の中に白表示が存在
する輝点欠陥画素は視覚的に目立つが、逆に周囲の白表
示の中に黒表示が存在する滅点欠陥画素は輝点欠陥画素
ほどは目立たないので、光透過率を黒表示時寄りに調整
することにより、輝点欠陥画素を目立たち難くすること
ができるからである。

【００３８】（ステップＳＴ４）続いてコントローラ９
は、設定した照射条件に従ってレーザーヘッド１の出力
を調整し、且つ、レーザーヘッド１からのレーザー光が
所定のビーム径となるように顕微鏡２の光学系を調整す
る。 （ステップＳＴ５）続いてコントローラ９は、レーザー
ヘッド１からレーザー光を発生させる。これにより、所
定のビーム径のレーザー光がミラー４及び５を介してＬ
ＣＤパネル１２の輝点欠陥画素に照射されるので、輝点
欠陥画素の配向膜にダメージが加えられる。

【００３９】図４は、図７に示したのと同じ一画素部分
において、このレーザー光の照射により配向膜２５にダ
メージ部２５ａが発生し、これにより配向膜２５の配向
機能が低下して液晶層２３の分子配列方向が乱される様
子の一例を示している。

【００４０】（ステップＳＴ６乃至ＳＴ７）続いてコン
トローラ９は、ステップＳＴ６で、ステップＳＴ３で設
定した回数だけ照射を終えたか否かを判断する。ノーで
あれば、ステップＳＴ７に進み、軸１０及び１１の少な
くとも一方を回動させることにより、ミラー４及び５の
少なくとも一方の角度を変化させて、ステップＳＴ３で
設定した量及び方向にレーザー光の照射位置を変化させ
る。この際、従来よりも短時間で照射位置を変化させる
ことができ、また照射位置の微調整も容易に行うことが
できる。続いて、ステップＳＴ５に戻って再度レーザー
光を輝点欠陥画素に照射する。このこれにより、図２に
示すように、輝点欠陥画素Ｄ（ここでも便宜上画素Ｄを
実際よりも大きく表わしている）内で照射位置をずらし
ながらレーザー光が照射される。

【００４１】（ステップＳＴ８乃至ＳＴ１０）ステップ
ＳＴ３で設定した回数だけ照射を終えたことによりステ
ップＳＴ６でイエスとなれば、ステップＳＴ８に進み、
ステップＳＴ３と同様にして輝点欠陥画素の光透過率を
再度測定する。続くステップＳＴ９では、コントローラ
９は、輝点欠陥画素の光透過率が目標値にまで低下した
か否かをこの測定結果をもとに判断する。

【００４２】ノーであれば、ステップＳＴ１０に進み、
コントローラ９はレーザー光の照射条件を再度算出・設
定する。そして、ステップＳＴ４に戻ってステップＳＴ
４以下の処理を繰り返す。他方イエスであれば、コント
ローラ９は処理を終了する。以上のような処理により、
輝点欠陥画素内の複数の個所にレーザー光が照射されて
欠陥の補正（光透過率の低下）が実現される。

【００４３】次に、図５は、本発明に係る欠陥画素の補
正方法の実施のために用いられる補正装置の別の一例を
示す図であり、同図において図１と同一の部分には同一
符号を付して重複説明を省略する。この補正装置には、
顕微鏡２を経たレーザー光を反射させるためのミラーと
しては、１個のミラー１３のみが設けられており、ミラ
ー１３で反射したレーザー光がＹステージ１４上のＬＣ
Ｄパネル１２に照射される。

【００４４】図６に示すように、ミラー１３は軸１５に
取り付けられている。軸１５は、図２の軸１１と同様
に、Ｙステージ１４の縦方向（Ｙ方向）に延び且つ鉛直
方向に傾斜した配置で、軸１５を軸心の回りに回動させ
るための駆動機構（図示せず）により支持されている。
従って、この駆動機構で軸１５を回動させると、レーザ
ー光に対するミラー１３の角度が図２のミラー５と同様
に変化することにより、Ｙステージ１４にセットしたＬ
ＣＤパネル１２におけるレーザー光の照射位置がＸ方向
上で変化する。

【００４５】他方、Ｙステージ１４には、Ｙステージ１
４をＹ方向にのみ移動させるためのモータその他の駆動
機構（図示せず）が取り付けられている。従って、この
駆動機構でＹステージ１４を移動させると、Ｙステージ
１４にセットしたＬＣＤパネル１２におけるレーザー光
の照射位置がＹ方向上で変化する。

【００４６】これにより、図１１に示したようにレーザ
ー光の照射位置をＸ方向，Ｙ方向のいずれの方向に変化
させる際にもＬＣＤパネルをセットしたＸＹステージを
移動させる場合と比較して、駆動機構が小型，簡単且つ
安価なものになり、且つ、照射位置を短時間で変化させ
ることができるとともに照射位置の微調整が容易になっ
ている。

【００４７】尚、ミラー１３の代わりに、図２の軸１０
と同様な配置の軸に取り付けたミラーを設けるととも
に、Ｙステージ１４の代わりに、Ｘ方向にのみ移動させ
るためのモータその他の駆動機構（図示せず）を取り付
けたＸステージを設け、その軸の回動によりレーザー光
の照射位置をＹ方向上で変化させ、そのＸステージの移
動によりレーザー光の照射位置をＸ方向上で変化させる
ようにしてもよい。

【００４８】この補正装置における欠陥画素の補正処理
は、図３に示したのと同様である。但し、同図のステッ
プＳＴ２では、軸１５，Ｙステージ１４の少なくとも一
方を駆動機構で回動，移動させることにより輝点欠陥画
素をカメラ３の視野内に入れ、ステップＳＴ７でも、軸
１５，Ｙステージ１４の少なくとも一方を駆動機構で回
動，移動させることにより、ステップＳＴ３で設定した
量及び方向にレーザー光の照射位置を変化させる。

【００４９】尚、以上の実施例では、ミラーを軸に取り
付け、その軸を駆動機構で軸心の回りに回動させること
によりレーザー光の照射位置を変化させている。しか
し、これに限らず、軸以外の適宜の部材にミラーを取り
付け、その部材を駆動機構で変位させることによりレー
ザー光の照射位置を変化させるようにしてもよい。ある
いは、ミラー自体を直接に駆動機構で変位させることに
よりレーザー光の照射位置を変化させるようにしてもよ
い。

【００５０】また、以上の各実施例では、個々のミラー
の変位によるレーザー光の照射位置の変化方向を、それ
ぞれ一方向（Ｘ方向またはＹ方向のいずれか）に限って
いる。しかし、これに限らず、１つのミラーを変位させ
ることにより、レーザー光の照射位置を複数の方向で変
化させるようにしてもよい。

【００５１】また、以上の各実施例では、ミラーの変位
によるレーザー光の照射位置の変化方向を、ＬＣＤパネ
ルの辺に平行な方向（Ｘ方向及びＹ方向）に限ってい
る。しかし、これに限らず、ミラーを変位させることに
より、レーザー光の照射位置をＬＣＤパネルの辺に平行
でない方向に変化させるようにしてもよい。

【００５２】また、以上の各実施例では、配向膜にダメ
ージを加えることにより画素の光透過率を低下させてい
るが、これに限らず、画素電極にレーザー光でダメージ
を加えることにより画素の光透過率を低下させるように
してもよい。

【００５３】また、以上の各実施例では、輝点欠陥画素
の補正をレーザー光の照射により行っているが、それ以
外の欠陥画素の補正をレーザー光の照射により行うよう
にしてもよい。また、本発明は、以上の実施例に限ら
ず、本発明の要旨を逸脱することなく、その他様々の構
成をとりうることはもちろんである。

【００５４】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ＬＣＤ
パネルの欠陥画素を補正するためにその画素内の複数の
個所にレーザー光を照射する際に、小型，簡単且つ安価
な駆動機構でミラーを変位させることによりレーザー光
の照射位置をその画素内で変化させることができる。従
って、欠陥画素の補正装置全体を小型化するとともに、
欠陥画素の補正に要する費用を低減させることができる
という効果を奏する。

【００５５】また、レーザー光の照射位置を短時間で変
化させることができるので、欠陥画素の補正作業全体の
所要時間を短縮することができるという効果を奏する。
更に、欠陥画素内でのレーザー光の照射位置の微調整を
容易に行うことができるという効果をも奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る補正装置の一例を示す構成図であ
る。

【図２】図１の一部を示す斜視図である。

【図３】欠陥画素の補正処理の一例を示すフローチャー
トである。

【図４】画素の配向膜にダメージが加えられた状態の一
例を示す図である。

【図５】本発明に係る補正装置の別の一例を示す構成図
である。

【図６】図５の一部を示す斜視図である。

【図７】ＬＣＤの一画素部分の構造の一例を示す斜視図
である。

【図８】ＬＣＤの等価回路図である。

【図９】画素の液晶層の分子配列方向が縦方向に揃った
状態を示す図である。

【図１０】駆動基板の画素を模式的に示す図である。

【図１１】画素位置のアドレス表示の一例を示す図であ
る。

【図１２】図１の一部を示す図である。

【符号の説明】

１ レーザーヘッド、 ２ 顕微鏡、 ３ カメラ、
４，５，１３ ミラー、 ７ バックライト光源、 ８
画像処理装置、 ９ コントローラ、 １０，１１，
１５ 軸、 １２ ＬＣＤパネル、 １４ Ｙステー
ジ、 ２１ 駆動基板、 ２２ 対向基板、 ２３ 液
晶層、 ２４ 画素電極、 ２５，２７配向膜、 ２６
共通電極、 ２８，２９ 偏光板

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶ディスプレイの欠陥画素にレーザー
   光を照射することによりその光透過率を低下させる液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正方法において、 レーザー光を、少なくとも１枚のミラーで反射させて液
   晶ディスプレイパネルの欠陥画素に照射させるステップ
   と、 前記ミラーを変位させることにより、前記欠陥画素にお
   けるレーザー光の照射位置を変化させるステップと、 レーザー光を再び前記ミラーで反射させて前記欠陥画素
   に照射させるステップとを含んだことを特徴とする液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正方法。
2. 【請求項２】 液晶ディスプレイの欠陥画素にレーザー
   光を照射することによりその光透過率を低下させる液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正装置において、 レーザー光を供給する手段と、 前記レーザー光を反射させて液晶ディスプレイパネルに
   照射させるための少なくとも１枚のミラーと、 前記ミラーを変位させることにより、前記液晶ディスプ
   レイパネルにおけるレーザー光の照射位置を変化させる
   駆動手段とを備えたことを特徴とする液晶ディスプレイ
   の欠陥画素の補正装置。
3. 【請求項３】 液晶ディスプレイの欠陥画素にレーザー
   光を照射することによりその光透過率を低下させる液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正方法において、 レーザー光を、第１のミラー及び第２のミラーでそれぞ
   れ反射させて液晶ディスプレイパネルの欠陥画素に照射
   させるステップと、 前記第１のミラーを変位させることにより前記欠陥画素
   におけるレーザー光の照射位置を第１の方向上で変化さ
   せること、及び、前記第２のミラーを変位させることに
   より前記欠陥画素におけるレーザー光の照射位置を前記
   第１の方向とは異なる第２の方向上で変化させること、
   のうち少なくとも一方を行うステップと、 レーザー光を再び前記第１のミラー及び第２のミラーで
   反射させて前記欠陥画素に照射させるステップとを含ん
   だことを特徴とする液晶ディスプレイの欠陥画素の補正
   方法。
4. 【請求項４】 液晶ディスプレイの欠陥画素にレーザー
   光を照射することによりその光透過率を低下させる液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正装置において、 レーザー光を供給する手段と、 前記レーザー光を反射させるための第１のミラーと、前
   記第１のミラーで反射したレーザー光を反射させて液晶
   ディスプレイパネルに照射させるための第２のミラー
   と、 前記第１のミラーを変位させることにより、前記液晶デ
   ィスプレイパネルにおけるレーザー光の照射位置を第１
   の方向上で変化させる第１の駆動手段と、 前記第２のミラーを変位させることにより、前記液晶デ
   ィスプレイパネルにおけるレーザー光の照射位置を前記
   第１の方向とは異なる第２の方向上で変化させる第２の
   駆動手段とを備えたことを特徴とする液晶ディスプレイ
   の欠陥画素の補正装置。
5. 【請求項５】 液晶ディスプレイの欠陥画素にレーザー
   光を照射することによりその光透過率を低下させる液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正方法において、 レーザー光を、ミラーで反射させて液晶ディスプレイパ
   ネルの欠陥画素に照射させるステップと、 前記ミラーを変位させることにより前記欠陥画素におけ
   るレーザー光の照射位置を第１の方向上で変化させるこ
   と、及び、前記レーザー光の供給手段と前記液晶ディス
   プレイパネルとのいずれか一方を移動させることにより
   前記欠陥画素におけるレーザー光の照射位置を前記第１
   の方向とは異なる第２の方向上で変化させること、のう
   ち少なくとも一方を行うステップと、 レーザー光を再び前記ミラーで反射させて前記欠陥画素
   に照射させるステップとを含んだことを特徴とする液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正方法。
6. 【請求項６】 液晶ディスプレイの欠陥画素にレーザー
   光を照射することによりその光透過率を低下させる液晶
   ディスプレイの欠陥画素の補正装置において、 レーザー光を供給する手段と、 前記レーザー光を反射させて液晶ディスプレイパネルに
   照射させるためのミラーと、 前記ミラーを変位させることにより、前記液晶ディスプ
   レイパネルにおけるレーザー光の照射位置を第１の方向
   上で変化させる第１の駆動手段と、 前記レーザーを供給する手段と前記液晶ディスプレイパ
   ネルとのいずれか一方を移動させることにより、前記液
   晶ディスプレイパネルにおけるレーザー光の照射位置を
   前記第１の方向とは異なる第２の方向上で変化させる第
   ２の駆動手段とを備えたことを特徴とする液晶ディスプ
   レイの欠陥画素の補正装置。