JPH1019833A

JPH1019833A - ガス濃度検出装置

Info

Publication number: JPH1019833A
Application number: JP8178037A
Authority: JP
Inventors: Kazukiyo Takano; 和潔高野; Yoshiharu Nakawa; 良春名川; Yoshiaki Ishiguro; 義昭石黒
Original assignee: Yazaki Corp; Sanyo Electronic Industries Co Ltd
Current assignee: Yazaki Corp; Sanyo Electronic Industries Co Ltd
Priority date: 1996-07-08
Filing date: 1996-07-08
Publication date: 1998-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】被測定ガスを含む気体の圧力が変化しても、
被測定ガスの濃度を正確に検出することのできるガス濃
度検出装置を提供することにある。【解決手段】被測定ガスを含む気体の通る主流路１か
ら分岐するように設けられたハウジング３と、このハウ
ジング３のチャンバー３１内に配置されたガス濃度検知
センサ（酸素センサ）２とを備えてなり、前記ハウジン
グ３には、前記気体を主流路１側からチャンバー３１内
を通って大気Ａ側に流出させ、かつチャンバー３１内の
圧力をほぼ大気圧にする通気孔３２、３３を設けたこと
を特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、気体中に含まれ
る特定のガスの濃度を検出するためのガス濃度検出装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、気体中に含まれる酸素ガスの濃
度を測定する装置としては、本出願人が先に出願した特
願平２−６７５１８号に示す装置が知られている。この
装置は、図１５に示すように、酸素ガスを含んだ気体が
流れる主流路１内に酸素センサ（ガス濃度検知センサ）
２の検知部２ａを設けるようになっている。酸素センサ
２は、電極付近の酸素ガスをイオン化し、酸素ガスの濃
度に比例して限界電流値（以下、センサ電流という）が
流れることを利用して、酸素ガスの濃度を検出するよう
になっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に酸素センサ２を主流路１内に設けたものにあっては、
図１６に示すように、主流路１内の供給圧力が変化する
とイオン化する酸素ガスの量が変化するため、酸素ガス
の濃度が一定であっても、供給圧力の変化に応じて、セ
ンサ電流が変化してしまい、正確な酸素ガスの濃度を検
出することができないという問題があった。

【０００４】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、その目的は、被測定ガスを含む気体の
圧力が変化しても、被測定ガスの濃度を正確に検出する
ことのできるガス濃度検出装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、被測定ガスを含む気体の通
る主流路から分岐するように設けられたハウジングと、
このハウジングのチャンバー内に配置されたガス濃度検
知センサとを備えてなり、前記ハウジングには、前記気
体を主流路側からチャンバー内を通って大気側に流出さ
せ、かつチャンバー内の圧力をほぼ大気圧にする通気孔
を設けたことを特徴としている。

【０００６】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明において、通気孔は、主流路側に通じる第１の通気孔
と、大気側に通じる第２の通気孔とを備えてなり、主流
路から第１の通気孔を通ってチャンバーに至る分岐流路
の一部に、分岐流路からチャンバー及び第２の通気孔を
通って大気側に抜ける気体の流量を制限する流量制限手
段を設けることによって、大気側に流出する気体の流量
を節減するとともに、チャンバー内の圧力をほぼ大気圧
にすることを特徴としている。

【０００７】請求項３に係る発明は、被測定ガスを含む
気体の通る主流路から分岐するように設けられたハウジ
ングと、このハウジングのチャンバー内に配置されたガ
ス濃度検知センサとを備えてなり、前記主流路からハウ
ジング内のチャンバーに至る分岐流路の一部に、チャン
バー内への気体の流入を制限する流量制限手段を設ける
ことによって、主流路内の圧力変動を減衰してチャンバ
ー内に伝えるようにしたことを特徴としている。

【０００８】請求項４に係る発明は、請求項３に係る発
明において、ハウジングには、分岐流路の一部を構成す
る第１の通気孔と、チャンバーから大気側へ通じる第２
の通気孔とを備えてなり、分岐流路からチャンバー及び
第２の通気孔を通って大気側に抜ける気体の流量を、分
岐流路に設けた流量制限手段で制限することによって、
大気側に流出する気体の流量を節減するとともに、チャ
ンバー内の圧力をほぼ大気圧にすることを特徴としてい
る。

【０００９】そして、上記請求項１に係る発明において
は、被測定ガスを含む気体を主流路側からチャンバー内
を通って大気側に流出させ、かつチャンバー内の圧力を
ほぼ大気圧にする通気孔をハウジングに設けているか
ら、主流路に流れる上記気体の圧力が変化しても、チャ
ンバー内は大気圧よりやや高い一定の圧力の上記気体で
常に満たされることになる。したがって、主流路内にお
ける被測定ガスを含む気体の圧力が変化しても、ガス濃
度検知センサによって、上記被測定ガスの濃度を正確に
検出することができる。

【００１０】請求項２に係る発明においては、分岐流路
に流量制限手段を設けることによって、チャンバーの入
口側の部分で気体の流量を制限しているから、大気側に
流出する気体の流量を節減することができるとともに、
チャンバー内の圧力を大気圧よりやや高い一定の圧力に
することができる。

【００１１】請求項３に係る発明においては、主流路か
らハウジング内のチャンバーに至る分岐流路の一部に流
量制限手段を設けているから、主流路内の圧力が変動し
ても、流量制限手段で減衰した圧力の気体がチャンバー
内に流入するようになる。したがって、チャンバー内で
は主流路内の圧力変動の影響を極力小さくすることがで
きるから、ガス濃度検知センサによって、上記被測定ガ
スの濃度を正確に検出することができる。しかも、気体
が大気側に流出しない利点がある。

【００１２】請求項４に係る発明においては、チャンバ
ーが第２の通気孔を介して大気側に通じているから、チ
ャンバー内は被測定ガスを含む気体で満たすことができ
るとともに、チャンバー内の圧力を大気圧よりやや高い
一定の圧力にすることができる。また、流量制限手段に
よって、気体が大気側に流出する量を節減することがで
きる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
１〜図１２を参照して説明する。なお、図１〜図３は第
１実施の形態、図４〜図８は第２実施の形態、図９〜図
１２は第３実施の形態、図１３〜図１４は第２実施の形
態による実験結果を示している。

【００１４】まず、図１〜図３を参照して、第１実施の
形態を説明する。ただし、図１５に示す従来例の構成要
素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を簡
略化する。

【００１５】この第１実施の形態として示したガス濃度
検出装置は、図１に示すように、酸素ガス（被測定ガ
ス）を含む気体の通る主流路１から分岐するように設け
られたハウジング３と、このハウジング３のチャンバー
３１内に配置された酸素センサ（ガス濃度検知センサ）
２とを備えてなり、前記ハウジング３には、前記気体を
主流路１側からチャンバー３１内を通って大気Ａ側に流
出させ、かつチャンバー３１内の圧力をほぼ大気圧にす
る通気孔３２、３３を設けたことを特徴としている。

【００１６】上記ハウジング３は、止め輪４によって酸
素センサ２をチャンバー３１内に固定するようになって
いる。また、チャンバー３１と酸素センサ２とはＯリン
グ５によってシールされており、チャンバー３１内の気
体が酸素センサ２の周囲を通って大気Ａ側に流出しない
ようになっている。

【００１７】通気孔３２、３３は、主流路１側に通じる
第１の通気孔３２と、大気Ａ側に通じる第２の通気孔３
３とにより構成されている。そして、主流路１から分岐
された配管６１と、継手６２と、カバー７に形成された
継手６２の接続ねじ穴７１と、第１の通気孔３２とによ
って、主流路１からチャンバー３１に至る分岐流路６が
構成されている。また、分岐流路６のうち最も流路の狭
い部分の断面積は、第２の通気孔３３の断面積より小さ
くなっている。すなわち、第２の通気孔３３の断面積を
分岐流路６の断面積より大きく構成することにより、主
流路１内の気体の圧力が変動しても、チャンバー３１内
の圧力を大気圧よりやや高く、かつ大気圧にほぼ一致し
た一定の圧力に制御するようになっている。

【００１８】また、ハウジング３は、図２及び図３に示
すように、円筒状に形成されたものであって、チャンバ
ー３１及び第１の通気孔３２が軸心部に同軸状に形成さ
れている。そして、第１の通気孔３２が開口する側の一
端面には、カバー７を取り付けるためのねじ穴３４が第
１の通気孔３２を中心にして周方向に４等分した位置に
形成されている。このねじ穴３４には、図１に示すよう
に、カバー７をハウジング３に固定するためのボルト８
が螺合するようになっている。すなわち、ボルト８は、
カバー７に形成された各貫通孔７２を通って、ハウジン
グ３のねじ穴３４に螺合するようになっている。

【００１９】カバー７は、ハウジング３と同じ外径の円
板によって形成されており、その軸心部に接続ねじ穴７
１が形成されている。すなわち、カバー７をハウジング
３に固定した状態において、接続ねじ穴７１と第１の通
気孔３２とが同軸状に位置するようになっている。ま
た、ハウジング３とカバー７との間にはパッキン９が設
けられている。

【００２０】上記のように構成されたガス濃度検出装置
においては、酸素ガスを含む気体を主流路１からチャン
バー３１内に導くとともに、このチャンバー３１を通し
て大気Ａ側に流出させ、かつチャンバー３１内の圧力を
ほぼ大気圧にする通気孔３２、３３をハウジング３に設
けているから、チャンバー３１内が上記気体で常に満た
されるとともに、主流路１内の圧力が大気圧より高くな
る方向に変化しても、チャンバー３１内は大気圧よりや
や高い状態で大気圧にほぼ一致した一定の圧力に保持す
ることができる。したがって、主流路１内の圧力が変化
しても、酸素センサ２によって、上記酸素ガスの濃度を
正確に検出することができる。

【００２１】次ぎに、この発明の第２実施の形態を図４
〜図８を参照して説明する。ただし、図１〜図３に示し
た第１実施の形態の構成要素と共通する要素には同一の
符号を付し、その説明を簡略化する。

【００２２】この第２実施の形態で示すガス濃度検出装
置が第１実施の形態で示したガス濃度検出装置と異なる
主な点は、分岐流路６にオリフィス（流量制限手段）１
０が設けられている点である。

【００２３】すなわち、オリフィス１０は、分岐流路６
からチャンバー３１及び第２の通気孔３３を通って大気
Ａ側に抜ける気体の流量を制限するものであり、大気Ａ
側に流出する気体の流量を節減するとともに、チャンバ
ー３１内の圧力をほぼ大気圧にするようになっている。

【００２４】上記オリフィス１０は、図４、図５及び図
８に示すように、薄板状の円板の中心に絞孔１０ａを形
成したもので構成されており、ハウジング３の一端面と
パッキン９とで挟まれ、かつ絞孔１０ａを第１の通気孔
３２と同軸状に配置した状態でカバー７によって押圧さ
れて固定されている。

【００２５】オリフィス１０の板厚は、この実施の形態
では０．２ｍｍに形成されており、絞孔１０ａの直径
は、０．０５〜０．１５ｍｍの円形状に形成されてい
る。そして、絞孔１０ａの直径を０．０５〜０．１５ｍ
ｍに形成したのは、０．０５ｍｍ未満になるとゴミによ
る詰まりが発生しやすくなるからであり、０．１５ｍｍ
を超えると通過する気体の流量が多くなって、大気Ａ側
に流出する気体を節減する効果が少なくなるからであ
る。

【００２６】一方、第２の通気孔３３は、図６〜図８に
示すように、直径が０．２〜０．４ｍｍの円形状に形成
されている。そして、第２の通気孔３３の直径を０．２
〜０．４ｍｍに形成したのは、０．２ｍｍ未満であると
オリフィス１０の絞孔１０ａの直径に近付くため、第２
の通気孔３３においても流量が制限されることになり、
チャンバー３１内の圧力が大気圧より高くなってしまう
からであり、また０．４ｍｍを超えると流速が遅くなる
ため、大気Ａが第２の通気孔３３を通ってチャンバー３
１内に逆流する危険があるからである。

【００２７】さらに、第２の通気孔３３は、チャンバー
３１側に位置しており、この第２の通気孔３３より大気
Ａ側の部分はより太い流路３５になっている。

【００２８】上記のように構成されたガス濃度検出装置
においては、分岐流路６にオリフィス１０を設けること
によって、チャンバー３１の入口側の部分で気体の流量
を制限しているから、大気Ａ側に流出する気体の流量を
節減することができるとともに、チャンバー３１内の圧
力を大気圧よりやや高い一定の圧力にすることができ
る。

【００２９】なお、上記実施の形態においては、オリフ
ィス１０をハウジング３とパッキン７との間に設けた
が、このオリフィス１０は分岐流路６における他の部分
に設けてもよい。例えば、配管６１と継手６２の接続部
にオリフィス１０を挟むように設けてもよい。また、第
１の通気孔３２を絞孔１０ａと同じ直径に形成すること
によって、オリフィスとしての流量制限手段をハウジン
グ３に一体に形成してもよい。

【００３０】次ぎに、この発明の第３実施の形態を図９
〜図１２を参照して説明する。ただし、図４〜図８に示
した第２実施の形態と共通する要素には同一の符号を付
し、その説明を簡略化する。

【００３１】この第３実施の形態で示すガス濃度検出装
置が第２実施の形態で示したガス濃度検出装置と異なる
主な点は、第１の通気孔３２及び第２の通気孔３３がと
もにハウジング３の一端面側に開口している点である。

【００３２】すなわち、第１の通気孔３２及び第２の通
気孔３３は、図９、図１１及び図１２に示すように、ハ
ウジング３の一端面における軸心から等しく離れた位置
に開口している。また、カバー７には、第１の通気孔３
２に対応する位置に継手６２を接続するための接続ねじ
穴７１が形成されており、第２の通気孔３３に対応する
位置に第２の通気孔３３と同径の貫通孔７３が形成され
ている。

【００３３】オリフィス１０は、図９、図１０及び図１
２に示すように、第１及び第２の通気孔３２、３３を有
する範囲を覆う大きさの円板によって形成されており、
第１の通気孔３２の軸心に対応する位置には絞孔１０ａ
を有し、第２の通気孔３３の軸心に対応する位置には流
出孔１０ｂを有している。

【００３４】そして、オリフィス１０の板厚は、この実
施の形態では０．２ｍｍに形成され、絞孔１０ａの直径
は、０．０５〜０．１５ｍｍの円形状に形成され、流出
孔１０ｂの直径は、０．２〜０．４ｍｍの円形状に形成
されている。そして、絞孔１０ａの直径を０．０５〜
０．１５ｍｍに形成したのは、０．０５ｍｍ未満になる
とゴミによる詰まりが発生しやすくなるからであり、
０．１５ｍｍを超えると通過する気体の量が多くなっ
て、大気Ａ側に流出する気体の流量を節減する効果が少
なくなるからである。

【００３５】また、流出孔１０ｂの直径を０．２〜０．
４ｍｍに形成したのは、０．２ｍｍ未満であると絞孔１
０ａの直径に近付くため、流出孔１０ｂにおいても流量
が制限されることになって、チャンバー３１内の圧力が
大気圧より高くなってしまうからであり、０．４ｍｍを
超えると流速が遅くなって、大気Ａが流出孔１０ｂを通
ってチャンバー３１内に逆流する危険があるからであ
る。

【００３６】上記のように構成されたガス濃度検出装置
においても、第２実施の形態と同様の作用効果を奏す
る。

【００３７】なお、上記第２及び第３の実施の形態にお
いては、第２の通気孔３３から直接、あるいは流出孔１
０ｂを介して、チャンバー３１内の気体を大気Ａ側に流
出させるように構成したが、オリフィス１０における絞
孔１０ａを設けることによって、チャンバー３１内に流
入する流体の流量を制限するようになっていれば、第２
の通気孔３３や流出孔１０ｂのようなチャンバー３１内
に気体を大気Ａ側に流出させるような流路を設けなくて
もよい。

【００３８】そして、上記のように構成した場合には、
主流路１内の圧力変動をオリフィス１０の絞孔１０ａに
よって減衰させることができるから、主流路１内の圧力
変動がチャンバー３１内にそのまま伝わるのを極力抑え
ることができる。すなわち、チャンバー３１内の圧力変
動を極力小さく抑えることができる。したがって、チャ
ンバー３１内における酸素センサ２によって、酸素ガス
の濃度を正確に検出することができる。しかも、気体が
大気Ａ側に流出しない利点がある。

【００３９】また、チャンバー３１内に酸素センサ２を
設けて、酸素ガスの濃度を検出するように構成したが、
一酸化炭素（ＣＯ）センサ等の他のガス濃度検知センサ
をチャンバー３１内に設けることによって、酸素ガス以
外の他のガスの濃度を検出するようにしてもよい。ま
た、センサからの出力方式も、限界電流式に限定される
ものではなく、接触燃焼式、半導体式、固体電解質を用
いたものなど、他の方式のセンサを用いてもよいことは
言うまでもない。

【００４０】次ぎに、上記第２実施の形態のガス濃度検
出装置を用いて酸素ガス濃度を検出した実験例につい
て、図１３及び図１４を用いて説明する。

【００４１】図１３は、圧力変動特性を実験により求め
たものであり、酸素ガス濃度が約２１％、８０％、１０
０％の各気体を作って、主流路１に供給し、この供給圧
力をゲージ圧力で０．２５ｋｇｆ／ｃｍ²、０．２７５
ｋｇｆ／ｃｍ²、０．３００ｋｇｆ／ｃｍ²、０．３２
５ｋｇｆ／ｃｍ²、０．３５０ｋｇｆ／ｃｍ²と増加さ
せていった場合の酸素ガスの換算濃度（Ｏ₂％）を測定
した実験結果である。また、この実験例では、各供給圧
力について実験を３回ずつ繰り返して行い、第１回目を
Ｎｏ．１として白丸で印し、第２回目をＮｏ．２として
黒丸で印し、第３回目をＮｏ．３として白三角で印して
ある。

【００４２】そして、上記図１３に示す実験結果から、
主流路１内の供給圧力が変動しても、換算濃度（Ｏ
₂％）がほとんど変化しないことが実証された。

【００４３】また、図１４は、リニア特性を実験により
求めたものであり、酸素ガス濃度（供給ガス濃度）が２
０．９６％、３８．５６％、８０．５％、９５％、１０
０％の各気体を作って、主流路１に供給した場合の酸素
ガスの換算濃度（Ｏ₂％）を測定した実験結果である。
また、この実験では、各酸素ガス濃度の気体について実
験を３回ずつ繰り返して行い、第１回目をＮｏ．１とし
て白丸で印し、第２回目をＮｏ．２として黒丸で印し、
第３回目をＮｏ．３として白三角で印してある。

【００４４】そして、上記図１４に示す実験結果から、
主流路１内の実際の酸素ガス濃度と、換算濃度（Ｏ
₂％）とが４５度の角度で直線的に比例しており、換算
濃度（Ｏ₂％）によって、酸素ガスの濃度を正確に測定
することができることが実証された。

【００４５】以上の実験結果から、第２実施の形態のガ
ス濃度検出装置を用いることによって、ガス濃度を正確
に測定することができることが実証された。

【００４６】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、被測定
ガスを含む気体を主流路側からチャンバー内を通って大
気側に流出させ、かつチャンバー内の圧力をほぼ大気圧
にする通気孔をハウジングに設けているから、主流路に
流れる上記気体の圧力が変化しても、チャンバー内は大
気圧よりやや高い一定の圧力の上記気体で常に満たされ
ることになる。したがって、主流路内における被測定ガ
スを含む気体の圧力が変化しても、ガス濃度検知センサ
によって、上記被測定ガスの濃度を正確に検出すること
ができる。

【００４７】請求項２に係る発明においては、分岐流路
に流量制限手段を設けることによって、チャンバーの入
口側の部分で気体の流量を制限しているから、大気側に
流出する気体の流量を節減することができるとともに、
チャンバー内の圧力を大気圧よりやや高い一定の圧力に
することができる。

【００４８】請求項３に係る発明においては、主流路か
らハウジング内のチャンバーに至る分岐流路の一部に流
量制限手段を設けているから、主流路内の圧力が変動し
ても、流量制限手段で減衰した圧力の気体がチャンバー
内に流入するようになる。したがって、チャンバー内で
は主流路内の圧力変動の影響を極力小さくすることがで
きるから、ガス濃度検知センサによって、上記被測定ガ
スの濃度を正確に検出することができる。しかも、気体
が大気側に流出しない利点がある。

【００４９】請求項４に係る発明においては、チャンバ
ーが第２の通気孔を介して大気側に通じているから、チ
ャンバー内は被測定ガスを含む気体で満たすことができ
るとともに、チャンバー内の圧力を大気圧よりやや高い
一定の圧力にすることができる。また、流量制限手段に
よって、気体が大気側に流出する量を節減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施の形態として示したガス濃
度検出装置の断面図。

【図２】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す図であ
って、図３のII−II線に沿う断面図。

【図３】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す底面
図。

【図４】この発明の第２実施の形態として示したガス濃
度検出装置の断面図。

【図５】同ガス濃度検出装置のオリフィスを示す要部断
面図。

【図６】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す要部断
面図。

【図７】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す図であ
って、図８のVII −VII 線に沿う断面図。

【図８】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す底面
図。

【図９】この発明の第３実施の形態として示したガス濃
度検出装置の断面図。

【図１０】同ガス濃度検出装置のオリフィスを示す要部
断面図。

【図１１】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す図で
あって、図１２のXI−XI線に沿う断面図。

【図１２】同ガス濃度検出装置のハウジングを示す底面
図。

【図１３】上記第２実施の形態として示したガス濃度検
出装置を用いて実験した結果を示す図であって、圧力変
動特性を示す図。

【図１４】同第２実施の形態として示したガス濃度検出
装置を用いて実験した結果を示す図であって、リニア特
性を示す図。

【図１５】従来例として示したガス濃度検出装置の断面
図。

【図１６】同ガス濃度検出装置を用いて実験した結果を
示す図。

【符号の説明】

１主流路２ガス濃度検知センサ（酸素センサ）３ハウジング３１チャンバー３２第１の通気孔３３第２の通気孔６分岐流路１０流量制限手段（オリフィス）Ａ大気

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石黒義昭静岡県天竜市二俣町南鹿島23 矢崎計器株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定ガスを含む気体の通る主流路から
分岐するように設けられたハウジングと、このハウジン
グのチャンバー内に配置されたガス濃度検知センサとを
備えてなり、前記ハウジングには、前記気体を主流路側
からチャンバー内を通って大気側に流出させ、かつチャ
ンバー内の圧力をほぼ大気圧にする通気孔を設けたこと
を特徴とするガス濃度検出装置。
【請求項２】通気孔は、主流路側に通じる第１の通気
孔と、大気側に通じる第２の通気孔とを備えてなり、主
流路から第１の通気孔を通ってチャンバーに至る分岐流
路の一部に、分岐流路からチャンバー及び第２の通気孔
を通って大気側に抜ける気体の流量を制限する流量制限
手段を設けることによって、大気側に流出する気体の流
量を節減するとともに、チャンバー内の圧力をほぼ大気
圧にすることを特徴とする請求項１記載のガス濃度検出
装置。
【請求項３】被測定ガスを含む気体の通る主流路から
分岐するように設けられたハウジングと、このハウジン
グのチャンバー内に配置されたガス濃度検知センサとを
備えてなり、前記主流路からハウジング内のチャンバー
に至る分岐流路の一部に、チャンバー内への気体の流入
を制限する流量制限手段を設けることによって、主流路
内の圧力変動を減衰してチャンバー内に伝えるようにし
たことを特徴とするガス濃度検出装置。
【請求項４】ハウジングには、分岐流路の一部を構成
する第１の通気孔と、チャンバーから大気側へ通じる第
２の通気孔とを備えてなり、分岐流路からチャンバー及
び第２の通気孔を通って大気側に抜ける気体の流量を分
岐流路に設けた流量制限手段で制限することによって、
大気側に流出する気体の流量を節減するとともに、チャ
ンバー内の圧力をほぼ大気圧にすることを特徴とする請
求項３記載のガス濃度検出装置。