JPH10202074A - 非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置 - Google Patents
非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置Info
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- JPH10202074A JPH10202074A JP2325197A JP2325197A JPH10202074A JP H10202074 A JPH10202074 A JP H10202074A JP 2325197 A JP2325197 A JP 2325197A JP 2325197 A JP2325197 A JP 2325197A JP H10202074 A JPH10202074 A JP H10202074A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体中の溶存ガスを真空下で脱気する脱気処
理において、液体の組成変化や透過を起こすことなく効
率良い脱気作業を行うことができる脱気装置を提供する
こと。 【解決手段】 内表面又は外表面のいずれか一方側が気
孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に
気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の
非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チュー
ブが容器内に配設されてなることを特徴とする脱気装置
とした。
理において、液体の組成変化や透過を起こすことなく効
率良い脱気作業を行うことができる脱気装置を提供する
こと。 【解決手段】 内表面又は外表面のいずれか一方側が気
孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に
気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の
非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チュー
ブが容器内に配設されてなることを特徴とする脱気装置
とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は非対称構造フッ素樹
脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブ
を用いた脱気方法及び脱気装置に係り、その目的は液体
中の溶存ガスを減圧下で脱気する脱気処理において、液
体の組成変化や透過を起こすことなく効率良い脱気作業
を行うことができる脱気装置を提供することにある。
脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブ
を用いた脱気方法及び脱気装置に係り、その目的は液体
中の溶存ガスを減圧下で脱気する脱気処理において、液
体の組成変化や透過を起こすことなく効率良い脱気作業
を行うことができる脱気装置を提供することにある。
【０００２】
【従来の技術】半導体メモリやＬＣＤ用ガラス基板の製
造ラインでは、薬液塗工の際に種々の欠陥を引き起こす
溶存ガスの存在が問題となっている。このような溶存ガ
スを除去する方法としては薬液を真空脱気する方法が知
られており、気体透過性に優れたフッ素樹脂製チューブ
を膜材とした脱気装置が提案されている。このような脱
気装置としては、例えば特開昭５７−１６５００７号に
開示の技術が存在している。特開昭５７−１６５００７
号開示の脱気装置は図５に示すように、フッ素樹脂等の
プラスチックチューブ（Ａ）内に脱気処理する液体を入
れ、チューブ（Ａ）を減圧装置と連通連結された脱気用
密閉容器（Ｂ）内に収容してなるものである。尚、図中
（Ｃ）は液体の入口、（Ｄ）は出口、（Ｅ）は減圧装置
との接続口である。
造ラインでは、薬液塗工の際に種々の欠陥を引き起こす
溶存ガスの存在が問題となっている。このような溶存ガ
スを除去する方法としては薬液を真空脱気する方法が知
られており、気体透過性に優れたフッ素樹脂製チューブ
を膜材とした脱気装置が提案されている。このような脱
気装置としては、例えば特開昭５７−１６５００７号に
開示の技術が存在している。特開昭５７−１６５００７
号開示の脱気装置は図５に示すように、フッ素樹脂等の
プラスチックチューブ（Ａ）内に脱気処理する液体を入
れ、チューブ（Ａ）を減圧装置と連通連結された脱気用
密閉容器（Ｂ）内に収容してなるものである。尚、図中
（Ｃ）は液体の入口、（Ｄ）は出口、（Ｅ）は減圧装置
との接続口である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
５７−１６５００７号に代表されるような従来の脱気装
置には以下に述べる課題が存在した。先ず、脱気装置の
性能は使用する膜材の気体透過性に依存するものである
が、プラスチック製の非多孔質チューブでは処理効率に
限界があり、気体透過性の改良が望まれていた。一方、
半導体やＬＣＤ製造に使用される薬液は、基材に対する
濡れ性が重要視されることから表面張力の低いものが多
用される傾向にあるが、このような薬液の性状（濃度、
成分）を損なわず且つ汚染させることなく脱気処理する
には、使用するチューブを液体浸透性のない非多孔質構
造のフッ素樹脂製とする必要があった。すなわち、従来
の脱気装置は、脱気処理効率を向上させるためにはチュ
ーブの気体透過性を改良する必要があり、表面張力の低
い薬液を脱気処理するためには非多孔質構造のチューブ
を使用する必要があるという２つの相反する課題を包含
したものであった。
５７−１６５００７号に代表されるような従来の脱気装
置には以下に述べる課題が存在した。先ず、脱気装置の
性能は使用する膜材の気体透過性に依存するものである
が、プラスチック製の非多孔質チューブでは処理効率に
限界があり、気体透過性の改良が望まれていた。一方、
半導体やＬＣＤ製造に使用される薬液は、基材に対する
濡れ性が重要視されることから表面張力の低いものが多
用される傾向にあるが、このような薬液の性状（濃度、
成分）を損なわず且つ汚染させることなく脱気処理する
には、使用するチューブを液体浸透性のない非多孔質構
造のフッ素樹脂製とする必要があった。すなわち、従来
の脱気装置は、脱気処理効率を向上させるためにはチュ
ーブの気体透過性を改良する必要があり、表面張力の低
い薬液を脱気処理するためには非多孔質構造のチューブ
を使用する必要があるという２つの相反する課題を包含
したものであった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記従来の脱気
装置の持つ課題を解決するためになされたものであっ
て、請求項１の発明は、内表面又は外表面のいずれか一
方側が気孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が
実質的に気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体
透過性の非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹
脂チューブに関する。請求項２の発明は、フッ素樹脂が
ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする請
求項１記載の非対称構造フッ素樹脂チューブに関する。
請求項３の発明は、焼成されたフッ素樹脂チューブを該
フッ素樹脂チューブの融点よりも低い温度で径方向に延
伸することを特徴とする非対称構造フッ素樹脂チューブ
の製造法に関する。請求項４の発明は、内表面又は外表
面のいずれか一方側が気孔を有する多孔質構造とされ、
他方側の表面が実質的に気孔を有しておらず液体浸透性
がなく且つ気体透過性の非多孔質構造とされてなる非対
称構造フッ素樹脂チューブの内表面又は外表面に液体を
供給し、液体中の溶存ガスを減圧下においてチューブ壁
を透過させることにより該液体中から除去することを特
徴とする脱気方法に関する。請求項５の発明は、フッ素
樹脂がポリテトラフルオロエチレンであることを特徴と
する請求項４記載の脱気方法に関する。請求項６の発明
は、内表面又は外表面のいずれか一方側が気孔を有する
多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に気孔を有し
ておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の非多孔質構
造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チューブが容器内
に配設されてなることを特徴とする脱気装置に関する。
請求項７の発明は、フッ素樹脂がポリテトラフルオロエ
チレンであることを特徴とする請求項６記載の脱気装置
に関する。
装置の持つ課題を解決するためになされたものであっ
て、請求項１の発明は、内表面又は外表面のいずれか一
方側が気孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が
実質的に気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体
透過性の非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹
脂チューブに関する。請求項２の発明は、フッ素樹脂が
ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする請
求項１記載の非対称構造フッ素樹脂チューブに関する。
請求項３の発明は、焼成されたフッ素樹脂チューブを該
フッ素樹脂チューブの融点よりも低い温度で径方向に延
伸することを特徴とする非対称構造フッ素樹脂チューブ
の製造法に関する。請求項４の発明は、内表面又は外表
面のいずれか一方側が気孔を有する多孔質構造とされ、
他方側の表面が実質的に気孔を有しておらず液体浸透性
がなく且つ気体透過性の非多孔質構造とされてなる非対
称構造フッ素樹脂チューブの内表面又は外表面に液体を
供給し、液体中の溶存ガスを減圧下においてチューブ壁
を透過させることにより該液体中から除去することを特
徴とする脱気方法に関する。請求項５の発明は、フッ素
樹脂がポリテトラフルオロエチレンであることを特徴と
する請求項４記載の脱気方法に関する。請求項６の発明
は、内表面又は外表面のいずれか一方側が気孔を有する
多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に気孔を有し
ておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の非多孔質構
造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チューブが容器内
に配設されてなることを特徴とする脱気装置に関する。
請求項７の発明は、フッ素樹脂がポリテトラフルオロエ
チレンであることを特徴とする請求項６記載の脱気装置
に関する。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る
非対称構造フッ素樹脂チューブから形成されたチューブ
束の一実施形態を示す断面図であり、図２は非対称構造
フッ素樹脂チューブの拡大模式断面図である。本発明に
係る非対称構造フッ素樹脂チューブ（１）は、図２に示
すように気孔（１３）を有する多孔質構造の内表面（１
１）と、実質的に気孔を有しておらず液体浸透性がなく
且つ気体透過性の非多孔質構造の外表面（１２）が厚み
方向に配置された非対称構造とされている。本発明にお
いて非対称構造チューブとは、チューブの肉厚の中心線
を挟んで左右すなわち外表面側と内表面側とで異なった
非対称構造を有するチューブを指す。このようにチュー
ブの内表面を気孔を有する多孔質構造とし、外表面を実
質的に気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透
過性の非多孔質構造とすることにより、チューブ内表面
に処理液を通して脱気処理を施した際に、非多孔質チュ
ーブに比べて脱気処理効率に優れたものとなりしかも処
理液のチューブ透過を防止することができる。なお、本
発明においては非対称構造フッ素樹脂チューブ（１）
を、図３に示すように外表面（１２）を気孔（１３）を
有する多孔質構造とし、内表面（１１）を実質的に気孔
を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の非多
孔質構造とする構成としてもよい。このような構成とし
た場合、処理液をチューブの外表面に供給して脱気処理
を行うことにより、非多孔質チューブに比べて脱気処理
効率に優れたものとなりしかも処理液のチューブ透過を
防止することができる。
ついて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る
非対称構造フッ素樹脂チューブから形成されたチューブ
束の一実施形態を示す断面図であり、図２は非対称構造
フッ素樹脂チューブの拡大模式断面図である。本発明に
係る非対称構造フッ素樹脂チューブ（１）は、図２に示
すように気孔（１３）を有する多孔質構造の内表面（１
１）と、実質的に気孔を有しておらず液体浸透性がなく
且つ気体透過性の非多孔質構造の外表面（１２）が厚み
方向に配置された非対称構造とされている。本発明にお
いて非対称構造チューブとは、チューブの肉厚の中心線
を挟んで左右すなわち外表面側と内表面側とで異なった
非対称構造を有するチューブを指す。このようにチュー
ブの内表面を気孔を有する多孔質構造とし、外表面を実
質的に気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透
過性の非多孔質構造とすることにより、チューブ内表面
に処理液を通して脱気処理を施した際に、非多孔質チュ
ーブに比べて脱気処理効率に優れたものとなりしかも処
理液のチューブ透過を防止することができる。なお、本
発明においては非対称構造フッ素樹脂チューブ（１）
を、図３に示すように外表面（１２）を気孔（１３）を
有する多孔質構造とし、内表面（１１）を実質的に気孔
を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の非多
孔質構造とする構成としてもよい。このような構成とし
た場合、処理液をチューブの外表面に供給して脱気処理
を行うことにより、非多孔質チューブに比べて脱気処理
効率に優れたものとなりしかも処理液のチューブ透過を
防止することができる。
【０００６】なお、非対称構造フッ素樹脂チューブ
（１）の構造は、内表面又は外表面のいずれか一方側が
気孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的
に気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性
の非多孔質構造とされた非対称構造を有し、気体透過性
と液体バリア性に優れた構造であれば厚みや材質は特に
限定されないが、材質としては、耐薬品性の観点からパ
ーフルオロ系のものが好ましく、具体的にはポリテトラ
フルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレ
ン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（Ｐ
ＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロ
ピレン共重合体（ＦＥＰ）を例示することができる。
（１）の構造は、内表面又は外表面のいずれか一方側が
気孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的
に気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性
の非多孔質構造とされた非対称構造を有し、気体透過性
と液体バリア性に優れた構造であれば厚みや材質は特に
限定されないが、材質としては、耐薬品性の観点からパ
ーフルオロ系のものが好ましく、具体的にはポリテトラ
フルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレ
ン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（Ｐ
ＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロ
ピレン共重合体（ＦＥＰ）を例示することができる。
【０００７】上記したような非対称構造フッ素樹脂チュ
ーブ（１）は以下のような方法で製造される。尚、下記
の例はＰＴＦＥを材料として使用した場合の製造法であ
る。先ずＰＴＦＥ粉末と液状潤滑剤をＰＴＦＥ粉末１０
０重量部に対し液状潤滑剤１５〜２５重量部の割合で混
和する。そしてこの混和物をチューブ状に押し出し、次
に液状潤滑剤を除去する。その後、ＰＴＦＥの融点以上
の温度で約５〜１０分加熱して焼成する。そして焼成さ
れたフッ素樹脂チューブ内に加圧流体を圧入する、チュ
ーブ外圧を減圧する、チューブ内部に球体等の固体を通
すなどの任意の方法により、チューブを径方向にフッ素
樹脂の融点よりも低い温度（例えばＰＴＦＥチューブの
場合、５０〜３００℃程度）で約１．５倍〜３倍に延伸
することにより、チューブ内表面側に孔径約０．１μｍ
以下の気孔が形成された非対称構造フッ素樹脂チューブ
を得ることができる。このようなチューブ表面の気孔
は、延伸によるクレージングの形成であり、チューブ表
面の微細構造と関連している。つまり、押出成形したチ
ューブの機械的強度の大小によって、延伸加工で多孔質
化しやすい面が決定されるといえる。従って、成形時の
樹脂／金型間のせん断応力をコントロールすることで、
多孔質化する面がコントロールできる。
ーブ（１）は以下のような方法で製造される。尚、下記
の例はＰＴＦＥを材料として使用した場合の製造法であ
る。先ずＰＴＦＥ粉末と液状潤滑剤をＰＴＦＥ粉末１０
０重量部に対し液状潤滑剤１５〜２５重量部の割合で混
和する。そしてこの混和物をチューブ状に押し出し、次
に液状潤滑剤を除去する。その後、ＰＴＦＥの融点以上
の温度で約５〜１０分加熱して焼成する。そして焼成さ
れたフッ素樹脂チューブ内に加圧流体を圧入する、チュ
ーブ外圧を減圧する、チューブ内部に球体等の固体を通
すなどの任意の方法により、チューブを径方向にフッ素
樹脂の融点よりも低い温度（例えばＰＴＦＥチューブの
場合、５０〜３００℃程度）で約１．５倍〜３倍に延伸
することにより、チューブ内表面側に孔径約０．１μｍ
以下の気孔が形成された非対称構造フッ素樹脂チューブ
を得ることができる。このようなチューブ表面の気孔
は、延伸によるクレージングの形成であり、チューブ表
面の微細構造と関連している。つまり、押出成形したチ
ューブの機械的強度の大小によって、延伸加工で多孔質
化しやすい面が決定されるといえる。従って、成形時の
樹脂／金型間のせん断応力をコントロールすることで、
多孔質化する面がコントロールできる。
【０００８】前記液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥを濡ら
すことができ且つＰＴＦＥの分解温度よりも低い温度で
抽出、蒸発等により除去できるものを使用する。具体例
としてはナフサ、ホワイトオイル等の炭化水素油、トル
エン、キシレン等の芳香族炭化水素類、アルコール類、
ケトン類、エステル類等を挙げることができる。尚、Ｐ
ＴＦＥ以外のフッ素樹脂材料を使用する場合には溶融成
形が可能であるため、所望のフッ素樹脂（ＰＴＦＥ以
外）をチューブ状に溶融押し出しすることにより焼成さ
れたチューブを得ることができる。
すことができ且つＰＴＦＥの分解温度よりも低い温度で
抽出、蒸発等により除去できるものを使用する。具体例
としてはナフサ、ホワイトオイル等の炭化水素油、トル
エン、キシレン等の芳香族炭化水素類、アルコール類、
ケトン類、エステル類等を挙げることができる。尚、Ｐ
ＴＦＥ以外のフッ素樹脂材料を使用する場合には溶融成
形が可能であるため、所望のフッ素樹脂（ＰＴＦＥ以
外）をチューブ状に溶融押し出しすることにより焼成さ
れたチューブを得ることができる。
【０００９】得られたチューブの非対称構造は、チュー
ブを径方向に沿って切断し、その内表面と外表面を走査
型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察することにより確認する
ことができる。
ブを径方向に沿って切断し、その内表面と外表面を走査
型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察することにより確認する
ことができる。
【００１０】図４は本発明に係る脱気装置の一実施形態
を示す概略図であり、上記したような方法により得られ
た非対称構造フッ素樹脂チューブ（１）は、図示の如く
脱気装置（２）内に配設される。脱気装置（２）は、真
空チャンバー（３）と該真空チャンバー内に配設される
フッ素樹脂チューブ束（４）とから構成される。尚、図
２はフッ素樹脂チューブ束（４）を真空チャンバー
（３）内でとぐろ状に巻回して配設した例であるが、フ
ッ素樹脂チューブ束（４）の真空チャンバー（３）内へ
の配設方法はこれに限定されない。尚、図中（３１）、
（３２）は処理すべき液体の入口及び出口であり、（３
３）は減圧装置との接続口である。
を示す概略図であり、上記したような方法により得られ
た非対称構造フッ素樹脂チューブ（１）は、図示の如く
脱気装置（２）内に配設される。脱気装置（２）は、真
空チャンバー（３）と該真空チャンバー内に配設される
フッ素樹脂チューブ束（４）とから構成される。尚、図
２はフッ素樹脂チューブ束（４）を真空チャンバー
（３）内でとぐろ状に巻回して配設した例であるが、フ
ッ素樹脂チューブ束（４）の真空チャンバー（３）内へ
の配設方法はこれに限定されない。尚、図中（３１）、
（３２）は処理すべき液体の入口及び出口であり、（３
３）は減圧装置との接続口である。
【００１１】フッ素樹脂チューブ束（４）を構成するチ
ューブの本数は特に限定されず、数本、数十本、数百本
等の任意の本数で構成することができる。またフッ素樹
脂チューブを束とせずに一本のフッ素樹脂チューブのみ
を真空チャンバー（３）内に配設する構成としてもよ
い。フッ素樹脂チューブ束（４）の形成方法としては、
複数本のチューブを端部において熱接着性を有するフッ
素樹脂粉末を用いて融着一体化する方法が好ましく採用
されるが、この方法に限定されるものではない。
ューブの本数は特に限定されず、数本、数十本、数百本
等の任意の本数で構成することができる。またフッ素樹
脂チューブを束とせずに一本のフッ素樹脂チューブのみ
を真空チャンバー（３）内に配設する構成としてもよ
い。フッ素樹脂チューブ束（４）の形成方法としては、
複数本のチューブを端部において熱接着性を有するフッ
素樹脂粉末を用いて融着一体化する方法が好ましく採用
されるが、この方法に限定されるものではない。
【００１２】熱接着性を有するフッ素樹脂粉末について
は特に限定されないが、前記したパーフルオロ系材料を
好適な例として挙げることができる。
は特に限定されないが、前記したパーフルオロ系材料を
好適な例として挙げることができる。
【００１３】なお、本発明に係る脱気装置（２）におい
ては、フッ素樹脂チューブ又はフッ素樹脂チューブ束の
真空チャンバー（３）内への接続固定方法は特に限定さ
れず、適宜任意の方法を採用することができる。
ては、フッ素樹脂チューブ又はフッ素樹脂チューブ束の
真空チャンバー（３）内への接続固定方法は特に限定さ
れず、適宜任意の方法を採用することができる。
【００１４】真空チャンバー（３）は、金属、プラスチ
ック、ガラス等適宜任意の素材から構成することができ
るが、耐久性や耐薬品性の点から金属材料の場合はステ
ンレス鋼を、プラスチック材料の場合はＰＴＦＥやＰＦ
Ａなどのフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレ
ン樹脂等を使用することが好ましい。
ック、ガラス等適宜任意の素材から構成することができ
るが、耐久性や耐薬品性の点から金属材料の場合はステ
ンレス鋼を、プラスチック材料の場合はＰＴＦＥやＰＦ
Ａなどのフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレ
ン樹脂等を使用することが好ましい。
【００１５】上記構成を有する脱気装置（２）では、気
孔を有する多孔質構造の内表面と、実質的に気孔を有し
ない非多孔質構造の外表面が厚み方向に配置された非対
称構造とされたフッ素樹脂製チューブを膜材として使用
しているので、気孔を有しない非液体浸透性の外表面の
作用によりチューブからの液透過を防止することができ
液の濃度変化や透過が生じることがなく液の性状が安定
したものとなる。また内表面が気孔を有する多孔質構造
とされているため、従来の非多孔質構造のプラスチック
チューブからなる膜材を使用した脱気装置と比較して脱
気効率に優れたものとなる。
孔を有する多孔質構造の内表面と、実質的に気孔を有し
ない非多孔質構造の外表面が厚み方向に配置された非対
称構造とされたフッ素樹脂製チューブを膜材として使用
しているので、気孔を有しない非液体浸透性の外表面の
作用によりチューブからの液透過を防止することができ
液の濃度変化や透過が生じることがなく液の性状が安定
したものとなる。また内表面が気孔を有する多孔質構造
とされているため、従来の非多孔質構造のプラスチック
チューブからなる膜材を使用した脱気装置と比較して脱
気効率に優れたものとなる。
【００１６】なお脱気処理の際には、脱気すべき液体を
フッ素樹脂製チューブの内表面側に供給してもよいし外
表面側に供給してもよいが、内表面側に供給する方が脱
気効率が高いため好ましい。
フッ素樹脂製チューブの内表面側に供給してもよいし外
表面側に供給してもよいが、内表面側に供給する方が脱
気効率が高いため好ましい。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例及び比較例を示すこと
により、本発明の効果をより明確にする。但し、本発明
は以下の実施例により何ら限定されるものではない。 （実施例）ＰＴＦＥ粉末（ダイキン工業社製、商品名：
ポリフロンＦ−２０１）１００重量部に対しナフサ（液
状潤滑剤）２０重量部を均一に混和し、この混和物を押
し出して内径１．０５ｍｍ、肉厚０．２ｍｍの未焼成チ
ューブを得、該チューブを１５０℃の温度で２分間加熱
してナフサを蒸発除去し、次いで、このチューブを３８
０℃の温度で５分間加熱して焼成した。その後、焼成さ
れたチューブを２００℃に加熱し、その内部に１０ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 に加圧された空気を挿入し、径方向に延伸倍
率が２倍になるように延伸し、内径２．０ｍｍ、肉厚
０．１ｍｍのチューブを得た。このチューブを径方向に
沿って切断し、その内表面と外表面を走査型電子顕微鏡
（ＳＥＭ）により倍率１０００倍で観察したところ、内
表面側は無数の気孔（孔径：０．０１〜０．０５μｍ）
が存在する多孔質構造、外表面側は気孔の無い非多孔質
構造である非対称構造となっていることが確認された。
この非対称構造を有するＰＴＦＥチューブを長さ３ｍに
切断し、その１１０本の両端部を結束一体化してチュー
ブ束とした後、真空チャンバー内に配設して図４と同構
造の脱気装置を組み立てた。この脱気装置はチューブ内
に液体を供給し、該液体中の溶存ガスを内表面側から外
表面側へ透過させることにより脱気するものである。次
に、大気圧下で酸素を飽和濃度まで溶存させた純水を使
用し、純水供給量５０ｍｌ／ｍｉｎ、真空チャンバー内
圧力６０Ｔｏｒｒの条件で装置の脱気性能を試験したと
ころ、酸素除去率８５％という優れた脱気性能を示し
た。
により、本発明の効果をより明確にする。但し、本発明
は以下の実施例により何ら限定されるものではない。 （実施例）ＰＴＦＥ粉末（ダイキン工業社製、商品名：
ポリフロンＦ−２０１）１００重量部に対しナフサ（液
状潤滑剤）２０重量部を均一に混和し、この混和物を押
し出して内径１．０５ｍｍ、肉厚０．２ｍｍの未焼成チ
ューブを得、該チューブを１５０℃の温度で２分間加熱
してナフサを蒸発除去し、次いで、このチューブを３８
０℃の温度で５分間加熱して焼成した。その後、焼成さ
れたチューブを２００℃に加熱し、その内部に１０ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 に加圧された空気を挿入し、径方向に延伸倍
率が２倍になるように延伸し、内径２．０ｍｍ、肉厚
０．１ｍｍのチューブを得た。このチューブを径方向に
沿って切断し、その内表面と外表面を走査型電子顕微鏡
（ＳＥＭ）により倍率１０００倍で観察したところ、内
表面側は無数の気孔（孔径：０．０１〜０．０５μｍ）
が存在する多孔質構造、外表面側は気孔の無い非多孔質
構造である非対称構造となっていることが確認された。
この非対称構造を有するＰＴＦＥチューブを長さ３ｍに
切断し、その１１０本の両端部を結束一体化してチュー
ブ束とした後、真空チャンバー内に配設して図４と同構
造の脱気装置を組み立てた。この脱気装置はチューブ内
に液体を供給し、該液体中の溶存ガスを内表面側から外
表面側へ透過させることにより脱気するものである。次
に、大気圧下で酸素を飽和濃度まで溶存させた純水を使
用し、純水供給量５０ｍｌ／ｍｉｎ、真空チャンバー内
圧力６０Ｔｏｒｒの条件で装置の脱気性能を試験したと
ころ、酸素除去率８５％という優れた脱気性能を示し
た。
【００１８】（比較例）実施例と同じ混和物を用いて内
径２．１ｍｍ、肉厚０．１ｍｍの未焼成チューブを得、
該チューブを１５０℃の温度で加熱してナフサを蒸発除
去し、次いでこのチューブを３８０℃の温度で５分間加
熱することにより、内径２．０ｍｍ、肉厚０．１ｍｍの
焼成チューブを得た。この焼成チューブの断面を実施例
と同様にして観察したところ、断面全体に気孔は無く非
多孔質構造であることが確認された。次にこの焼成チュ
ーブを使用してそれ以外の条件は実施例と同一として脱
気装置を組立て、該装置について脱気性能を試験したと
ころ、酸素除去率は７５％であり、実施例の装置に比べ
て脱気性能が劣っていた。
径２．１ｍｍ、肉厚０．１ｍｍの未焼成チューブを得、
該チューブを１５０℃の温度で加熱してナフサを蒸発除
去し、次いでこのチューブを３８０℃の温度で５分間加
熱することにより、内径２．０ｍｍ、肉厚０．１ｍｍの
焼成チューブを得た。この焼成チューブの断面を実施例
と同様にして観察したところ、断面全体に気孔は無く非
多孔質構造であることが確認された。次にこの焼成チュ
ーブを使用してそれ以外の条件は実施例と同一として脱
気装置を組立て、該装置について脱気性能を試験したと
ころ、酸素除去率は７５％であり、実施例の装置に比べ
て脱気性能が劣っていた。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、内表面
又は外表面のいずれか一方側が気孔を有する多孔質構造
とされ、他方側の表面が実質的に気孔を有しておらず液
体浸透性がなく且つ気体透過性の非多孔質構造とされて
なる非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの
製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置
であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、チ
ューブの一方側の表面が気孔を有する多孔質構造とされ
ていることにより気体透過性に優れ脱気効率に優れたも
のとなり他方側の表面が実質的に気孔を有しない非多孔
質構造とされていることにより処理液がチューブを透過
することがない。従って、脱気処理の際に液成分変化や
液漏れが発生することなく液中に溶存するガスを効率良
く除去処理することが可能である。
又は外表面のいずれか一方側が気孔を有する多孔質構造
とされ、他方側の表面が実質的に気孔を有しておらず液
体浸透性がなく且つ気体透過性の非多孔質構造とされて
なる非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの
製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置
であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、チ
ューブの一方側の表面が気孔を有する多孔質構造とされ
ていることにより気体透過性に優れ脱気効率に優れたも
のとなり他方側の表面が実質的に気孔を有しない非多孔
質構造とされていることにより処理液がチューブを透過
することがない。従って、脱気処理の際に液成分変化や
液漏れが発生することなく液中に溶存するガスを効率良
く除去処理することが可能である。
【図１】本発明に係る非対称構造フッ素樹脂チューブを
束としたときの一実施形態を示す断面図である。
束としたときの一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係る非対称構造フッ素樹脂チューブの
一実施形態を示す模式断面図である。
一実施形態を示す模式断面図である。
【図３】本発明に係る非対称構造フッ素樹脂チューブの
他の実施形態を示す模式断面図である。
他の実施形態を示す模式断面図である。
【図４】本発明に係る脱気装置の一実施形態を示す概略
図である。
図である。
【図５】従来の脱気装置の例を示す断面図である。
１ 非対称構造フッ素樹脂チューブ １１ 内表面 １２ 外表面 １３ 気孔 ２ 脱気装置 ３ 真空チャンバー ４ フッ素樹脂チューブ束
Claims (7)
- 【請求項１】 内表面又は外表面のいずれか一方側が気
孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に
気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の
非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チュー
ブ。 - 【請求項２】 フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレ
ンであることを特徴とする請求項１記載の非対称構造フ
ッ素樹脂チューブ。 - 【請求項３】 焼成されたフッ素樹脂チューブを該フッ
素樹脂チューブの融点よりも低い温度で径方向に延伸す
ることを特徴とする非対称構造フッ素樹脂チューブの製
造法。 - 【請求項４】 内表面又は外表面のいずれか一方側が気
孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に
気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の
非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チュー
ブの内表面又は外表面に液体を供給し、液体中の溶存ガ
スを減圧下においてチューブ壁を透過させることにより
該液体中から除去することを特徴とする脱気方法。 - 【請求項５】 フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレ
ンであることを特徴とする請求項４記載の脱気方法。 - 【請求項６】 内表面又は外表面のいずれか一方側が気
孔を有する多孔質構造とされ、他方側の表面が実質的に
気孔を有しておらず液体浸透性がなく且つ気体透過性の
非多孔質構造とされてなる非対称構造フッ素樹脂チュー
ブが容器内に配設されてなることを特徴とする脱気装
置。 - 【請求項７】 フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレ
ンであることを特徴とする請求項６記載の脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2325197A JPH10202074A (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2325197A JPH10202074A (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202074A true JPH10202074A (ja) | 1998-08-04 |
Family
ID=12105390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2325197A Pending JPH10202074A (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 非対称構造フッ素樹脂チューブ及びこのチューブの製造法及びこのチューブを用いた脱気方法及び脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10202074A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000176261A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 水系塗工液の脱気方法 |
| WO2001051187A1 (en) * | 2000-01-12 | 2001-07-19 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Ozone treating apparatus |
| JP2001330969A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Sekisui Chem Co Ltd | フォトレジスト除去装置 |
| JP2002535129A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-22 | ミリポア・コーポレイション | 中空繊維膜コンタクター |
| JP2008290069A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-12-04 | Fujifilm Corp | 結晶性ポリマー微孔性膜及びその製造方法、並びに濾過用フィルタ |
| JP2021070023A (ja) * | 2018-11-05 | 2021-05-06 | 日星電気株式会社 | 樹脂製膜 |
| JP2022042349A (ja) * | 2020-09-02 | 2022-03-14 | 中興化成工業株式会社 | 多層チューブ及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-01-21 JP JP2325197A patent/JPH10202074A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000176261A (ja) * | 1998-12-11 | 2000-06-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 水系塗工液の脱気方法 |
| JP2002535129A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-22 | ミリポア・コーポレイション | 中空繊維膜コンタクター |
| WO2001051187A1 (en) * | 2000-01-12 | 2001-07-19 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Ozone treating apparatus |
| US6955758B2 (en) * | 2000-01-12 | 2005-10-18 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Ozone treating apparatus |
| JP2001330969A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Sekisui Chem Co Ltd | フォトレジスト除去装置 |
| JP2008290069A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-12-04 | Fujifilm Corp | 結晶性ポリマー微孔性膜及びその製造方法、並びに濾過用フィルタ |
| JP2021070023A (ja) * | 2018-11-05 | 2021-05-06 | 日星電気株式会社 | 樹脂製膜 |
| JP2022042349A (ja) * | 2020-09-02 | 2022-03-14 | 中興化成工業株式会社 | 多層チューブ及びその製造方法 |
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