JPH1020334A

JPH1020334A - 液晶表示装置の検査方法およびその検査修正装置

Info

Publication number: JPH1020334A
Application number: JP8169098A
Authority: JP
Inventors: Masumi Kubo; 真澄久保; Ken Kanamori; 謙金森
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1996-06-28
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 1998-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】複数のソース信号配線にわたる短絡欠陥発生
箇所の特定を可能とし、液晶表示装置の生産効率を向上
するような液晶表示装置の検査方法およびその検査修正
装置を提供する。【解決手段】互いに独立して形成された二本のソース
信号配線端部に抵抗測定用のプローブピンをそれぞれ接
触させ、ソース信号配線間の抵抗値を測定する。このと
き、ソース信号配線一本の抵抗をＲ₀、ソース信号配線
端部から短絡している二本のソース信号配線の欠陥まで
の抵抗をそれぞれＲ₁、Ｒ₂とし、ソース信号配線一本の
長さをＬ₀、ソース信号配線端部から欠陥までの長さを
ｘ、短絡部抵抗をｒ、そして短絡しているソース信号配
線間の抵抗をｒ₀とすると、短絡している二本のソース
信号配線の欠陥までの長さは等しいので、ｘ＝（Ｒ₁／
Ｒ₀）×Ｌ₀＝（ｒ₀／２Ｒ₀）×Ｌ₀となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の欠
陥、特にアクティブマトリクス基板のソース信号配線間
の短絡欠陥を検査するための液晶表示装置の検査方法お
よびその検査修正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、アクティブマトリクス基板を備
えた従来の液晶表示装置の構成である。

【０００３】図５において、このアクティブマトリクス
基板には、複数の画素電極１０１がマトリクス状に形成
されており、この画素電極１０１には、スイッチング素
子である薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと称する）１
０２が接続されて設けられている。このＴＦＴ１０２の
ゲート電極にはゲート信号配線１０３が接続され、ゲー
ト電極に入力されるゲート信号によってＴＦＴ１０２が
駆動制御される。また、ＴＦＴ１０２のソース電極には
ソース信号配線１０４が接続され、ＴＦＴ１０２の駆動
時に、ＴＦＴ１０２を介してデータ信号が画素電極１０
１に入力される。各ゲート信号配線１０３とソース信号
配線１０４とは、マトリクス状に配列された画素電極１
０１の周囲を通り、互いに直交差するように設けられて
いる。さらに、ＴＦＴ１０２のドレイン電極は画素電極
１０１および付加容量１０５に接続されており、この付
加容量１０５の対向電極はそれぞれ共通配線１０６に接
続されている。

【０００４】図６は、従来の液晶表示装置の一画素部分
を示す平面図である。また、図７は、図６のＡ−Ａ’断
面図である。

【０００５】図６において、アクティブマトリクス基板
には、複数の画素電極１０１がマトリクス状に設けられ
ており、これらの画素電極１０１の周囲を通り、互いに
直交差するように、各ゲート信号配線１０３とソース信
号配線１０４が設けられている。これらのゲート信号配
線１０３とソース信号配線１０４はその一部が画素電極
１０１の外周部分とオーバーラップしている。また、こ
れらのゲート信号配線１０３とソース信号配線１０４の
交差部分において、画素電極１０１に接続されるスイッ
チング素子としてのＴＦＴ１０２が設けられている。こ
のＴＦＴ１０２のゲート電極にはゲート信号配線１０３
が接続され、ゲート電極に入力される信号によってＴＦ
Ｔ１０２が駆動制御される。また、ＴＦＴ１０２のソー
ス電極にはソース信号配線１０４が接続され、ＴＦＴ１
０２のソース電極にデータ信号が入力される。さらに、
ＴＦＴ１０２のドレイン電極は、接続電極１２５さらに
コンタクトホール１２６を介して画素電極１０１と接続
されるとともに、接続電極１２５を介して付加容量を形
成する一方の電極１２５ａと接続されている。この付加
容量を形成するための他方の電極１２７は、共通配線に
接続されている。

【０００６】図７において、透明絶縁性基板１１１上
に、図６のゲート信号配線１０３に接続されたゲート電
極１１２が形成され、その上を覆ってゲート絶縁膜１１
３が形成されている。さらにその上にはゲート電極１１
２と重畳するように半導体層１１４が形成され、その中
央部上にチャネル保護層１１５が形成されている。この
チャネル保護層１１５の両端部および半導体層１１４の
一部を覆い、チャネル保護層１１５上で分断された状態
で、ソース電極１１６ａおよびドレイン電極１１６ｂと
なるｎ⁺Ｓｉ層が形成されている。一方のｎ⁺Ｓｉ層であ
るソース電極１１６ａの端部上には、透明導電膜１１７
ａと金属層１１７ｂとが設けられて二層構造のソース信
号配線１０４となっている。また、他方のｎ⁺Ｓｉ層で
あるドレイン電極１１６ｂ上には、透明導電膜１１７
ａ’と金属層１１７ｂ’とが設けられ、透明導電膜１１
７ａ’は延長されて、ドレイン電極１１６ｂと画素電極
１０１とを接続すると共に付加容量の一方の電極１２５
ａに接続される接続電極１２５となっている。さらに、
ＴＦＴ、ゲート信号配線およびソース信号配線１０４上
部を覆って層間絶縁膜１１８が形成されている。この層
間絶縁膜１１８の上には、画素電極１０１となる透明導
電膜が形成され、この透明導電膜は、層間絶縁膜１１８
を貫くコンタクトホール１１９を介して、ＴＦＴのドレ
イン電極１１６ｂと接続されている。

【０００７】このような構成の液晶表示装置は、ゲート
信号配線およびソース信号配線と、画素電極となる透明
導電膜との間に層間絶縁膜が形成されているので、各信
号配線に対して画素電極をオーバーラップさせることが
できる。これにより、液晶表示装置の開口率を向上させ
ることができると共に、各信号配線に起因する電界をシ
ールドして液晶の配向不良を抑制することができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の液晶表示装
置において、互いに隣り合う画素電極は、ゲート信号配
線、またはソース信号配線を挟まずに隣接し、画素電極
がゲート信号配線またはソース信号配線に対して一部オ
ーバーラップするように形成されるので、開口率を向上
させることができる。

【０００９】図６において、ソース信号配線には、接続
電極１２５を挟んで隣り合う領域Ａと、接続電極１２５
を挟まずに隣り合う領域Ｂとがある。製造工程におい
て、パターン異常、パターンの残存、導電性物質の混入
等といった欠陥により、複数のソース信号配線１０４間
に、短絡が生じることがある。複数のソース信号配線１
０４間に短絡が生じると、複数のデータ信号が混ざり合
い、表示上、線欠陥となる問題があった。領域Ａにおい
ては、ソース信号配線１０４を形成する二層、すなわち
透明導電膜１１７ａまたは金属層１１７ｂ（共に図７）
のいずれかと接続電極１２５とが短絡を生じることがあ
る。また、領域Ｂにおいては、隣り合うソース信号配線
１０４同士が、透明導電膜１１７ａあるいは金属層１１
７ｂのパターン形成時の欠陥により短絡を生じることが
ある。つまり、領域Ａでの短絡においては、短絡してい
るソース信号配線１０４の信号が接続電極１２５を介し
て画素電極１０１に印加されるので、このパネルを点灯
表示すると短絡発生箇所は輝点となり、容易に特定され
る。しかしながら領域Ｂで短絡が生じると、点灯表示に
おいて、画素電極１０１が短絡しているソース信号配線
１０４上の他の画素電極１０１と同様の動作を行うの
で、短絡発生箇所を特定することは困難となる。

【００１０】つまり、液晶表示装置の点灯検査におい
て、短絡が生じているソース信号配線の一方に信号を入
力し、他方には信号を入力しないという駆動方法を用い
る場合（カラーフィルタを用いた液晶表示装置は単色表
示）、短絡が生じている複数のソース信号配線が短絡発
生箇所の画素電極と短絡している場合、画素電極には短
絡が生じている複数のソース信号配線の信号が入力され
るので、これが輝点欠陥として現れ、人間による目視検
査においても画像認識装置による自動検査においても短
絡箇所を容易に特定することができる。一方、短絡が生
じている複数のソース信号配線が短絡発生箇所の画素電
極と短絡していない場合には、この欠陥が点灯検査にお
いて線欠陥として現れるため、短絡箇所を一目で特定す
ることはできなかった。この短絡箇所を特定しようとす
れば、短絡が生じている複数のソース信号配線を端から
端まで目視で観察しなければならず、非常に生産効率が
悪かった。さらに、このような液晶表示装置の点灯検査
装置はレーザ発振器などの自動修正装置と連動している
ことが多く、短絡箇所を視覚的に容易に特定できるよう
な欠陥については即座にレーザ修正が施せるが、上述し
た線欠陥については自動修正を行うことが極めて困難と
されていた。

【００１１】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであって、その目的とする所は、従来の検査方
法では困難とされていた、複数のソース信号配線にわた
る短絡欠陥発生箇所の特定を可能とし、液晶表示装置の
生産効率を向上するような液晶表示装置の検査方法を提
供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置の
検査方法は、対向する基板の一方に、マトリクス状に画
素電極が配設され、該画素電極スイッチング素子がマト
リクス状に形成され、該スイッチング素子を制御するゲ
ート信号配線と、該スイッチング素子にデータ信号を供
給するソース信号配線とが、それぞれ直交する形で形成
され、前記スイッチング素子、前記ゲート信号配線、前
記ソース信号配線の上部に層間絶縁膜が形成され、該層
間絶縁膜上に形成された画素電極が、前記スイッチング
素子のドレイン電極と接続された液晶表示装置の検査方
法において、異なるソース信号配線間の抵抗値を測定す
ることによって、前記ソース信号配線間の短絡箇所を特
定することを特徴とし、そのことにより上記目的が達成
される。

【００１３】好ましくは、前記抵抗値をｒ₀、前記ソー
ス信号配線一本の抵抗をＲ₀、該ソース信号配線一本の
長さをＬ₀、該ソース信号配線端部から短絡部までの長
さをｘとしたとき、ｘ＝（ｒ₀／２Ｒ₀）×Ｌ₀により前
記短絡部の位置が特定される。

【００１４】また好ましくは、前記異なるソース信号配
線が、複数のソース信号配線からなるソース信号配線群
である。

【００１５】本発明の液晶表示装置の検査修正方法は、
対向する基板の一方に、マトリクス状に画素電極が配設
され、該画素電極スイッチング素子がマトリクス状に形
成され、該スイッチング素子を制御するゲート信号配線
と、該スイッチング素子にデータ信号を供給するソース
信号配線とが、それぞれ直交する形で形成され、前記ス
イッチング素子、前記ゲート信号配線、前記ソース信号
配線の上部に層間絶縁膜が形成され、該層間絶縁膜上に
形成された画素電極が、前記スイッチング素子のドレイ
ン電極と接続された液晶表示装置の検査修正装置におい
て、前記異なる二本のソース信号配線間の抵抗値を測定
する手段と、前記抵抗値を、前記二本のソース信号配線
間の短絡位置情報へ変換する手段と、前記液晶表示装置
の欠陥修正を行う手段とを含むことを特徴とし、そのこ
とにより上記目的が達成される。

【００１６】前記位置情報を前記欠陥修正を行う手段へ
と伝達する手段を含むと共に、前記修正を行う手段が、
前記位置情報に基づき自動的に欠陥修正を行うことが望
ましい。

【００１７】以下、上記構成による作用について説明を
行う。

【００１８】請求項１の発明によれば、ソース信号配線
間の抵抗値を測定することにより、ソース信号配線間で
短絡が生じている箇所を容易に特定することができる。

【００１９】請求項２の発明によれば、ソース信号配線
間の抵抗値を測定することにより、ソース信号配線一本
の抵抗およびソース信号配線一本の長さといった既知の
値から、容易にソース信号配線間の短絡箇所を特定する
ことができる。

【００２０】請求項３の発明によれば、例えば一枚のパ
ネルに三色の信号を入力するパネルにおいて、同じ色信
号を入力するソース信号配線毎にソース信号配線を束ね
ることにより、抵抗測定用の端子数が少なくてもソース
信号配線間の短絡箇所を特定することが可能となる。あ
るいは、単色の信号を入力するようなパネルや、特にソ
ース信号配線数の多いパネルにおいても、隣り合うソー
ス信号配線を接続することのないよう、同じ複数のソー
ス信号配線を束ねて、抵抗測定用端子を一まとめにすれ
ば、ソース信号配線間の短絡箇所を容易に特定すること
ができる。

【００２１】請求項４の発明によれば、二本のソース信
号配線間の抵抗値を測定することにより、従来、困難で
あったソース信号配線間の短絡箇所の特定が容易になる
と共に、視覚的に短絡箇所を認識することなしに、特定
された短絡箇所の位置情報のみに基づいて、即座に欠陥
修正を行うことができる。

【００２２】請求項５の発明によれば、特定された短絡
箇所の位置情報に基づいて、基板の自動修正を行うこと
ができるのでさらに生産効率が向上するとともに、位置
情報にのみ基づいて修正装置が作動するので、精度も良
好である。

【００２３】

【発明の実施の形態】

（実施形態１）本発明の実施の形態１の液晶表示装置の
検査方法に関し、図面に基づいて説明を行う。

【００２４】図１は、本発明の検査方法の原理を説明す
るための概念図である。

【００２５】図１において、互いに独立して形成された
二本のソース信号配線端部に抵抗測定用のプローブピン
をそれぞれ接触させ、ソース信号配線間の抵抗値を測定
する。このとき、ソース信号配線一本の抵抗をＲ₀、ソ
ース信号配線端部から短絡している二本のソース信号配
線の欠陥までの抵抗をそれぞれＲ₁、Ｒ₂とし、ソース信
号配線一本の長さをＬ₀、ソース信号配線端部から欠陥
までの長さをｘ、短絡部抵抗をｒ、そして短絡している
ソース信号配線間の抵抗をｒ₀とすると、短絡している
二本のソース信号配線の欠陥までの長さは等しいので、
以下のように記述することができる。

【００２６】Ｒ₁＝Ｒ₂ ここで、ｒがＲ₁、Ｒ₂に比べて十分に小さいので、ソー
ス信号配線間の抵抗ｒ₀は、ｒ₀＝Ｒ₁＋Ｒ₂＋ｒ≒２Ｒ₁ となる。

【００２７】よって、ｘは次式により求められる。

【００２８】Ｒ₀／Ｌ₀＝Ｒ₁／ｘすなわち、ｘ＝（Ｒ₁／Ｒ₀）×Ｌ₀＝（ｒ₀／２Ｒ₀）×Ｌ₀ …（１）となる。

【００２９】この式から分かるように、短絡している二
本のソース信号配線間の抵抗を測定することで、短絡箇
所の特定が可能となる。

【００３０】ここで、具体的に対角２８ｃｍのパネル状
態の液晶表示装置の実測値を用いて本発明の検査方法に
ついての説明を行う。

【００３１】図２に、短絡しているソース信号配線間の
抵抗と、表示部から短絡箇所までの距離の関係を示す。
このパネルにおいては上記（１）式より、表示部から短
絡箇所までの距離ｘと短絡しているソース信号配線間抵
抗ｒ₀との関係は、ｘ＝０．３５５ｒ₀という一次関数で
表され、短絡している二本のソース信号配線ｒ₀を測定
することにより短絡箇所の特定が容易に行われた。

【００３２】また本検査方法は、液晶表示装置の製造過
程において、アクティブマトリクス基板と対向基板とを
貼り合わせた間に液晶を封入したパネル状態またはアク
ティブマトリクス基板の状態、いずれの状態においても
適用できるが、点灯表示を必要としないので、特に貼り
合わせ前の早期の検査に適用できる点で有効である。

【００３３】（実施形態２）本発明の実施形態２による
液晶表示装置の検査方法を、図面に基づき、以下に説明
を行う。

【００３４】上記実施形態１では、短絡しているソース
信号配線間の抵抗を測定することで短絡箇所の特定を行
っていたが、特に高精細パネルにおいては、液晶パネル
の端子幅およびピッチが小さいので、検査用プローブも
精細なものが必要となり、さらに端子数に併せて多数必
要となる。本実施形態２の液晶表示装置の検査方法は、
特にこのような高精細パネルに対応した検査方法であ
る。

【００３５】以下に本実施形態２の液晶表示装置の検査
方法について説明を行う。図３に、本実施形態２の液晶
表示装置の検査方法を示す。

【００３６】図３において、赤、青、緑の三色それぞれ
のソース信号配線１０４を各色毎に束ね、それぞれ束ね
たソース信号配線群間の抵抗を測定することにより、上
記実施形態１で述べた原理と同様、短絡箇所の特定を可
能とするものである。さらには、色毎にソース信号配線
を束ねておくことにより、液晶表示装置の点灯表示検査
の際、色信号の入力が容易となるという利点もある。

【００３７】尚、液晶パネル一枚について全てのソース
信号配線を赤、青、緑の各色毎に束ねた場合、パネル一
枚にソース信号配線間の短絡が二か所以上あると短絡箇
所の特定が難しくなるが、この場合にはパネルを複数の
領域に分割し、さらに赤、青、緑の各色毎にソース信号
配線を束ねればよい。これにより、同一領域内に複数箇
所、短絡が発生した場合以外は、短絡箇所を特定するこ
とが可能となる。

【００３８】尚、本実施形態２の検査方法は、上述のよ
うに一枚に三色の信号を入力するパネル以外にも、三板
式の投射型液晶表示装置に用いられる、単色の信号を入
力する液晶表示装置の検査にも用いることができる。こ
のような液晶表示装置に対しては、隣り合うソース信号
配線を接続しないようにソース信号配線を束ねることに
より、同様に適用することができる。

【００３９】またこのとき、検査装置にレーザ修正装置
を具備することにより、短絡箇所の特定と同時に短絡箇
所の修正を行うことができ、生産効率を向上することが
可能となる。特に、本発明の検査方法によればソース信
号配線間の短絡箇所を目視や画像認識装置などの視覚的
な情報の処理を必要としないので、瞬時かつ正確に特定
することが可能となる。

【００４０】（実施の形態３）上記実施形態１または２
の液晶表示装置の検査方法を実施するための検査装置
に、レーザ修正装置を具備することで、短絡位置の特定
と同時に短絡箇所の修正を行うことが可能となり、生産
効率を向上させることができる。この検査修正装置に関
して、以下に説明を行う。

【００４１】本実施形態３の検査修正装置は、上記実施
形態２の検査方法を用いて異なるソース信号配線群間の
抵抗値を測定した後、予め決定されている抵抗値と短絡
位置の関係式により、抵抗値を位置情報へと変換する。
本実施形態３における位置情報は、短絡箇所を基板表面
における二次元座標として特定するものである。この位
置情報がレーザ発振器へと伝達されると、レーザ発振器
が与えられた位置情報に基づき自動的に短絡箇所上方へ
移動し、基板修正を行う。

【００４２】尚、上記レーザ発振器が可動式である代わ
りに、基板を載せているステージが与えられた位置情報
に基づいて移動するものでもよい。また、レーザ発振器
は自動でなくてもよく、位置情報に基づいて手動で基板
修正を行うものでもよい。

【００４３】また、上記位置情報は、基板を載せるステ
ージやレーザ発振器の可動性によっては必ずしも二次元
である必要はない。

【００４４】ここで、基板の修正例について説明する。
図４（ａ）および（ｂ）は、基板の修正方法の一例を示
す図である。

【００４５】図４（ａ）において、短絡部分２００でソ
ース信号配線同士が短絡している。上述の検査方法によ
り短絡部分２００の位置が特定されると、短絡部分２０
０をレーザにより切断する。あるいは、図４（ｂ）に示
すように、基板端部にソース信号配線の断線修正用とし
て冗長配線が形成されている場合には、短絡部分２００
を挟むソース信号配線を切断し、上記冗長用配線と接続
する。

【００４６】以上説明したように、本実施形態３の液晶
表示装置の検査修正装置は、上記実施形態１または２と
同様、それぞれ独立したソース信号配線またはソース信
号配線群間の抵抗値を測定することにより短絡位置を瞬
時に特定した後、基板修正を即座に行うことができるの
で、生産効率が向上する。また、貼り合わせ前の基板に
対し適用することにより欠陥の認識および修正が早期に
行うことができるので、生産効率および歩留まりが向上
する。さらには、抵抗値を位置情報に数値変換するだけ
なので、画像認識装置を用いた自動検査修正よりも精度
が良好である。

【００４７】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、ソース信号配
線間の抵抗値を測定することにより、ソース信号配線間
で短絡が生じている箇所を容易に特定することができ
る。この結果、生産効率が向上する。特に、貼り合わせ
前の基板状態においても適用することが可能となるの
で、さらに生産効率が向上することが可能となる。

【００４８】請求項２の発明によれば、ソース信号配線
間の抵抗値を測定することにより、ソース信号配線一本
の抵抗およびソース信号配線一本の長さといった既知の
値から、容易にソース信号配線間の短絡箇所を特定する
ことができる。

【００４９】請求項３の発明によれば、例えば一枚のパ
ネルに三色の信号を入力するパネルにおいて、同じ色信
号を入力するソース信号配線毎にソース信号配線を束ね
ることにより、抵抗測定用の端子数が少なくても、ソー
ス信号配線間の短絡箇所を特定することが可能となる。
あるいは、単色の信号を入力するようなパネルや、特に
ソース信号配線数の多いパネルにおいても、隣り合うソ
ース信号配線を接続することのないよう、同じ複数のソ
ース信号配線を束ねて、抵抗測定用端子を一まとめにす
れば、ソース信号配線間の短絡箇所を容易に特定するこ
とができる。

【００５０】請求項４の発明によれば、二本のソース信
号配線間の抵抗値を測定することにより、従来、困難で
あったソース信号配線間の短絡箇所の特定が容易になる
と共に、視覚的に短絡箇所を認識することなしに、特定
された短絡箇所の位置情報のみに基づいて、即座に欠陥
修正を行うことができる。この結果、生産効率が向上す
る。特に、貼り合わせ前の基板状態において適用するこ
とにより、さらに生産効率を向上することができる。

【００５１】請求項５の発明によれば、特定された短絡
箇所の位置情報に基づいて、基板の自動修正を行うこと
ができるのでさらに生産効率が向上するとともに、位置
情報にのみ基づいて修正装置が作動するので、精度も良
好である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶表示装置の検査方法を示す図であ
る。

【図２】実施の形態１における液晶表示装置のソース信
号配線間の抵抗値と、短絡箇所までの距離の関係を示す
図である。

【図３】実施形態２における液晶表示装置の検査方法を
示す図である。

【図４】液晶表示装置の修正方法を示す図である。

【図５】従来の液晶表示装置の構成を示す図である。

【図６】従来の液晶表示装置の一画素部分を示す平面図
である。

【図７】図６のＡ−Ａ’断面図である。

【符号の説明】

１０１画素電極１０２ＴＦＴ１０３ゲート信号配線１０４ソース信号配線１０５付加容量１０６共通配線１１１透明絶縁性基板１１２ゲート電極１１３ゲート絶縁膜１１４半導体層１１５チャネル保護膜１１６ａソース電極１１６ｂドレイン電極１１７ａ金属層１１７ｂ金属層１１８層間絶縁膜１１９コンタクトホール１２５接続電極１２５ａ付加容量を形成するための一方の電極１２６コンタクトホール１２７付加容量を形成するための他方の電極２００短絡部分

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対向する基板の一方に、マトリクス状に
画素電極が配設され、該画素電極スイッチング素子がマ
トリクス状に形成され、該スイッチング素子を制御する
ゲート信号配線と、該スイッチング素子にデータ信号を
供給するソース信号配線とが、それぞれ直交する形で形
成され、前記スイッチング素子、前記ゲート信号配線、
前記ソース信号配線の上部に層間絶縁膜が形成され、該
層間絶縁膜上に形成された画素電極が、前記スイッチン
グ素子のドレイン電極と接続された液晶表示装置の検査
方法において、異なるソース信号配線間の抵抗値を測定することによっ
て、前記ソース信号配線間の短絡箇所を特定することを
特徴とする液晶表示装置の検査方法。
【請求項２】前記抵抗値をｒ₀、前記ソース信号配線
一本の抵抗をＲ₀、該ソース信号配線一本の長さをＬ₀、
該ソース信号配線端部から短絡部までの長さをｘとした
とき、ｘ＝（ｒ₀／２Ｒ₀）×Ｌ₀ により前記短絡部の位置が特定されることを特徴とする
請求項１記載の液晶表示装置の検査方法。
【請求項３】前記異なるソース信号配線が、複数のソ
ース信号配線からなるソース信号配線群であることを特
徴とする請求項１または２記載の液晶表示装置の検査方
法。
【請求項４】対向する基板の一方に、マトリクス状に
画素電極が配設され、該画素電極スイッチング素子がマ
トリクス状に形成され、該スイッチング素子を制御する
ゲート信号配線と、該スイッチング素子にデータ信号を
供給するソース信号配線とが、それぞれ直交する形で形
成され、前記スイッチング素子、前記ゲート信号配線、
前記ソース信号配線の上部に層間絶縁膜が形成され、該
層間絶縁膜上に形成された画素電極が、前記スイッチン
グ素子のドレイン電極と接続された液晶表示装置の検査
修正装置において、前記異なる二本のソース信号配線間の抵抗値を測定する
手段と、前記抵抗値を、前記二本のソース信号配線間の短絡位置
情報へ変換する手段と、前記液晶表示装置の欠陥修正を行う手段とを含むことを
特徴とする液晶表示装置の検査修正装置。
【請求項５】前記位置情報を、前記欠陥修正を行う手
段へと伝達する手段を含むと共に、前記修正を行う手段
が、前記位置情報に基づき自動的に欠陥修正を行うこと
を特徴とする請求項４記載の液晶表示装置の検査修正装
置。