JPH10203660A - 段積みした軟質シートの分離方法と装置 - Google Patents

段積みした軟質シートの分離方法と装置

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JPH10203660A
JPH10203660A JP2208797A JP2208797A JPH10203660A JP H10203660 A JPH10203660 A JP H10203660A JP 2208797 A JP2208797 A JP 2208797A JP 2208797 A JP2208797 A JP 2208797A JP H10203660 A JPH10203660 A JP H10203660A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 段積みしたセラミック生シート等の軟質シー
トを次工程に移送するに際し、該軟質シートを一枚ごと
正確に取り出し・移送できる段積みした軟質シートの分
離方法と装置を提供する。 【解決手段】 ポリビニールブチラール等の結合剤を含
有するセラミック生シートや軟質樹脂シート等の軟質シ
ートを段積みし、該段積みした該軟質シートを一枚毎取
り出すための軟質シートの分離方法において、該軟質シ
ートを所定間隔で配置してある複数個の吸着体で吸着・
浮上させる第１工程と、該軟質シートを吸着浮上させた
状態で、該吸着体を該軟質シートの中心方向に移動さ
せ、該吸着体の間隔を縮めて該軟質シートに撓み状態を
生じさせる第２工程、および該軟質シートを吸着浮上さ
せた状態で、該吸着体を元の位置方向に移動させ、該吸
着体の間隔を拡げて該軟質シートにフラット状態を生じ
させる第３工程、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、段積みした軟質シ
ートの分離方法と装置に係り、より詳細には、ロール状
から定寸にカットし、水平に段積みされたセラミック生
シート等の軟質シートを次工程に移送するに際して、該
軟質シートを一枚ごと正確に取り出し・移送するための
段積みした軟質シートの分離方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体用パッケージ基板等に用いるセラ
ミック生シートは、通常、セラミック粉末に有機バイン
ダー（ポリビニールブチラール等の結合剤）、可塑剤、
有機溶剤等を加えた得たスラリーをドクターブレードを
用いてフィルム上に所定の厚さに展開して作成し、一
旦、ロール状に巻き取って保管している。そして、該セ
ラミック生シートを用いて半導体用パッケージ基板を作
製する際には、該セラミック生シートを所定の大きさに
カットすると共に、所定のトレーに段積み収納してい
る。
【０００３】ところで、この段積みしたセラミック生シ
ートは、生シートであるため、接着性が残っているの
で、該セラミック生シートを用いて半導体用パッケージ
基板を作製するに際し、水平に段積みされたセラミック
生シートを次工程であるパンチングや導体印刷工程に移
送する場合、前記有機バインダーの存在により、上下に
位置する２枚以上のセラミック生シートが接着した状態
となることがある。また、セラミック生シートを吸着体
（盤）を用いて吸着移送する際に、２枚以上のセラミッ
ク生シートが接着した状態にあると、重量的にミスキャ
ッチすることがある。このような場合、該パンチングや
導体印刷工程等の次工程がスムーズに行えなく、製品の
歩留りが低下すると共に、生産効率に低下を来すことに
なる。
【０００４】そこで、段積みしたセラミック生シートが
接着しないようにするためには、通常、ロール状のセラ
ミック生シートをカットして段積み収納するに際、図６
（ａ）に示すように、一枚のセラミック生シートａを一
個のトレーｂに収納すると共に、該トレーｂを段重ねす
ることで、複数枚のセラミック生シートの段積みを行っ
ている。すなわち、シート別に収納している。そして、
該セラミック生シートａの取り出し、移送は、図６
（ｂ）に示す固定状態の吸着体ｃからなる吸着手段を用
い、該吸着体ｃで吸着浮上させ、該吸着体ｃをアクチュ
エータにより次工程に搬送し、またトレーｂは別個のア
クチュエータにより取り除いている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述したよう
なセラミック生シートの段積み方法を採用した場合、上
下のセラミック生シートの接着を回避することができる
ものの、次のような課題がある。すなわち、 セラミック生シートに対応する数のトレーが必要と
なる。 セラミック生シートの保管するために、広い容積が
必要となる。 次工程にセラミック生シートを移送する際、該セラ
ミック生シートとトレーを分離するためのアクチュエー
タが必要となるため、該移送のための設備が大掛かりに
なる。 等の課題がある。
【０００６】また、その他の手段として、セラミック生
シートを吸着体で吸引浮上させた状態で、該セラミック
生シートの端部にエアーを噴射して、吸引浮上させてい
るセラミック生シートの裏面に接着状態となっているセ
ラミック生シートを落下させる方法もある。しかし、こ
の方法の場合、前記吸着体の吸引力と、前記エアー噴射
力との調整が難しく、中央部分にエアーが当たり難い、
という課題がある。ところで、このようなことは、前述
したセラミック生シートに限られるものでなく、軟質樹
脂シート等の各種軟質シートについても同様である。
【０００７】本発明は、以上のような課題に対処して創
作したものであって、その目的とする処は、段積みした
セラミック生シート等の軟質シートを次工程に移送する
に際し、該軟質シートを一枚ごと正確に取り出し・移送
できる段積みした軟質シートの分離方法と装置を提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そして、上記課題を解決
するための手段としての本発明の請求項１の段積みした
軟質シートの分離方法は、ポリビニールブチラール等の
結合剤を含有するセラミック生シートや軟質樹脂シート
等の軟質シートを段積みし、該段積みした該軟質シート
を一枚毎取り出すための軟質シートの分離方法におい
て、該軟質シートを所定間隔で配置してある複数個の吸
着体で吸引・浮上させる第１工程と、該軟質シートを吸
着浮上させた状態で、該吸着体の間隔を縮めて該軟質シ
ートに撓み状態を生じさせる第２工程、および該軟質シ
ートを吸着浮上させた状態で、該吸着体を元の位置方向
に移動させ、該吸着体の間隔を拡げて該軟質シートにフ
ラット状態を生じさせる第３工程、を有することを特徴
とする。また請求項２の段積みした軟質シートの分離方
法は、前記請求項１の発明において、前記第１工程で、
前記軟質シートを加熱することを特徴とする。
【０００９】請求項３の段積みした軟質シートの分離装
置は、ポリビニールブチラール等の結合剤を含有するセ
ラミック生シートや軟質樹脂シート等の軟質シートを段
積みし、該段積みした該軟質シートを一枚毎取り出すた
めの軟質シートの分離装置において、該軟質シートを吸
着浮上させる複数個の吸着体を備えた吸着手段と、該複
数個の吸着体の配置間隔を拡縮させる拡縮手段を有し、
該吸着手段で軟質シートを吸着浮上させ、また該拡縮手
段で該吸引浮上状態の軟質シートに撓み状態とフラット
状態を生じさせることにより該軟質シートを一枚毎に分
離することを特徴とする。また請求項４の段積みした軟
質シートの分離装置は、前記請求項３の発明において、
前記吸着体に軟質シートを加熱するための加熱部を設け
てなることを特徴とする。
【００１０】ポリビニールブチラール等の結合剤を含有
する軟質シートは、乾燥状態にないと、接着し易い性質
を保持する。従って、２枚のシートを重ねた場合、該シ
ートを段積み状態にし、これを吸着盤等の吸着体で吸着
浮上させた場合、該吸着体で吸着したシートの裏面に他
のシートが付着した状態で浮上するおそれのある。前記
吸着体とは、一般的には、エアー引きにより吸引できる
吸着手段をいう。しかし、単なる吸盤等であっても吸着
できる形態のものであればよい。また該吸着体の個数
は、前記軟質シートの大きさによっても異なるが、一般
的には、シートが四角形状の場合、４個〜８個程度一定
間隔で配置した構成としている。更に前記軟質シートを
加熱するための温度としては、該軟質シートを形成する
結合剤成分を軟化できる程度の温度で、一般的には、３
０℃〜８０℃が好ましい。
【００１１】本発明の段積みした軟質シートの分離方法
と装置は、段積み収納してあるセラミック生シート等の
軟質シートを、次の工程等に移送するに際して、従来の
該収納体の上方から軟質シートを吸着体により吸着浮上
させた後、該吸着体を該軟質シートの中心方向に移動さ
せ、その吸着体間隔を狭めると、該軟質シートは吸着体
によって保持されているので、一部に撓みが生じる。そ
して、該撓みが生じると、該軟質シートの端部におい
て、その曲率の相違により上下の軟質シートにずれが生
じる。次に、前記吸着体を元の位置方向に移動させ、そ
の吸着体間隔を拡げると、該下側に位置する軟質シート
が元の位置に復帰するように作用するため、上下の軟質
シートが擦れて、該力が接着力に打ち勝つことになっ
て、該下側に位置する軟質シートが上側に位置するシー
トから分離落下することになる。従って、段積み収納し
ている軟質シートを一枚毎、取り出し移送することがで
きる。ところで、吸着体で吸着浮上するに際し、該軟質
シートを加熱すると、該軟質シートを形成するポリビニ
ールブチラール等の結合剤が軟化し、かつその接着力が
低下するため、該軟質シート間の接着力が低下し、その
分離が容易になる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の請求項１の段積みした軟質シートの分離方法によれ
ば、段積みした軟質シートを吸着浮上させた後、該軟質
シートに撓み状態とフラット状態を付与するので、接着
状態にある下側に位置する軟質シートに位置ずれが生じ
ることになり、該下側に位置する軟質シートのスムーズ
に分離落下させることができるという効果を有する。ま
た、請求項２の段積みした軟質シートの分離方法によれ
ば、軟質シートの吸着・浮上工程で、該軟質シートを加
熱し、該軟質シートを形成するポリビニールブチラール
等の結合剤を軟化し、その接着力を低下させるので、前
記効果に加えて、いっそう接着している軟質シートの分
離を促進できるという効果を有する。
【００１３】請求項３の段積みした軟質シートの分離装
置によれば、複数個の軟質シート吸着体を有し、かつ該
複数個の吸着体の配置間隔を拡縮する手段を有し、該軟
質シートを吸着浮上させた状態で、該吸着体の配置間隔
を拡縮させ、該軟質シートに撓み状態とフラット状態を
生じさせるので、接着状態にある下側に位置する軟質シ
ートに位置ずれを生じさせ、該下側に位置する軟質シー
トのスムーズに分離落下させることができるという効果
を有する。また請求項４の段積みした軟質シートの分離
装置は、前記吸着体に加熱部を有するので、吸着浮上さ
せる軟質シートを速やかに加熱することができ、該軟質
シートを形成するポリビニールブチラール等の結合剤の
軟化、接着力を低下させることができ、前記効果に加え
て、いっそう接着している軟質シートの分離を促進でき
るという効果を有する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明を具体化した好ましい実施の形態について説明する。
ここに、図１〜図５は、本発明の実施形態を示し、図１
はシート分離装置の正面図、図２はシート分離装置の側
面図、図３はシート分離方法の工程図、図４はシートの
分離を説明するための吸着体とシートとの関係を示す概
略斜視図、図５は図３（ｄ）工程における上下の軟質シ
ートの位置関係を説明する拡大図である。
【００１５】本実施形態のシート分離装置は、複数枚の
セラミック生シート１ａ，１ｂ，１ｃ・・・を水平に段
積みしているパレット２の上方から、セラミック生シー
ト１を一枚づつ分離、移送するための装置であって、概
略すると、図１〜図２に示すように、左右に配置した２
つの吸着体３（３ａ，３ｂ）と、吸着体３ａを左右動さ
せるための左右動用アクチュエータ４と、セラミック生
シート１にエアーを噴射して付着しているセラミック生
シート１を分離するためのエアー噴射ノズル５と、吸着
体３を保持する機枠６、および機枠６を介して吸着体３
を昇降させる昇降用アクチュエータガイド７を有してい
る。ここで、各セラミック生シート１は、アルミナ等の
セラミック粉末原料に、アクリル樹脂やブチラール樹脂
等の結合剤（ここでは、ポリビニールブチラールを用い
た）、トルエン、キシレン等の有機溶剤、およびジオク
チルアジピン酸等の可塑剤を混合したスラリーを、ドク
ターブレード法を用い、搬送テープ上に生成し、これを
ロール状に巻き取って保管していたものを、例えば、半
導体用セラミックパッケージ基板を作製するに際し、所
定の大きさにカットしたブランクシートである。
【００１６】吸着体３は、パレット２に段積みしてある
セラミック生シート１を上方から吸着するためのエアー
吸引により吸着するための吸着部である。この吸着体３
は、熱伝導性材料（例えば、アルミニウムあるいは銅
等）製の吸着体本体８と、本体下面に開口するエアー吸
引用ノズル９と、吸着体３を加熱するための加熱用ヒー
ター１０、および吸着体３の温度を検出する温度センサ
ー１１を有している。吸着体本体８の下面は、セラミッ
ク生シート１ａの上面に当接するためにフラット面に形
成してある。そして、その下面に開口形成されているエ
アー吸引用ノズル９は、セラミック生シート１を均一に
吸着保持できるように所定間隔で複数個設けてあり、図
示しないエアー吸引用ポンプでエアー吸引できる構成か
らなる。またエアー吸引用ノズル９のうちで、端部側に
位置するエアー吸引用ノズル９ａはセラミック生シート
１の外端方向に傾斜して開口している。加熱用ヒーター
１０は、吸着体本体８の内部に形成されているヒーター
装着用孔１２に装着してあり、交換自在の構成からな
る。この加熱用ヒーター１０は、図１に示すように、吸
着体本体８の内部に平行に複数本（本実施形態では２
本）挿入してあり、このヒーター１０による吸着体本体
８の加熱温度は、３０℃〜８０℃、好ましくは、６０℃
前後の温度としている。これは、セラミック生シート１
を形成する有機バインダーとしてのポリビニールブチラ
ール等の結合剤の軟化温度を考慮したことによる。ま
た、吸着体本体８には、この温度を検出するための温度
センサー１１が設けてあり、この温度センサー１１とし
ては、圧着端子付熱伝対を用いている。そして、この吸
着体３のうちの吸着体３ａは左右動用アクチュエータ４
を介して機枠６に、また吸着体３ｂは直接、機枠６に取
り付けてある。すなわち、吸着体３ａは左右動自在の形
態で、また吸着体３ｂは固定形態としてある。
【００１７】左右動用アクチュエータ４は、図１、図２
に示すように、吸着体３ａを、機枠に固定してある吸着
体３ｂの方向に移動させるためのアクチュエータであっ
て、エアースライドテーブル１３とストロークアジャス
タ１４を有し、エアースライドテーブル１３の上テーブ
ル１３ａは機枠６に固定してあり、該上テーブル１３ａ
に沿って摺動する下テーブル１３ｂは機枠１５を介して
吸着体３ａの上端に固定してあり、ストロークアジャス
タ１４によって下テーブル１３ｂを左右動する構成から
なる。これによって、吸着体３ａと３ｂとの間隔を任意
に変更することができ、吸着体３で吸着しているセラミ
ック生シート１に撓み状態、フラット状態を交互に付与
できる。また、この機枠１５には、エアー噴射ノズル５
が設けてある。
【００１８】エアー噴射ノズル５は、図１に示すよう
に、左右の吸着体３ａ，３ｂを保持する機枠１５に、ア
ングル材１５ａを介して取り付けてある。エアー噴射ノ
ズル５は、吸着体３で吸着・浮上されたセラミック生シ
ート１ａの下面に接着状態で一緒に浮上したセラミック
生シート１ｂの端部にエアー噴射して剥離落下させるた
めのノズルで、セラミック生シート１ａの端部と１ｂの
端部との間にエアーが噴射されるように内方に傾斜して
取り付けてある。これにより、セラミック生シート１を
形成する有機バインダーの軟化を促進することができ
る。
【００１９】そして、これらの吸着体３（３ａ，３
ｂ）、左右動用アクチュエータ４、エアー噴射ノズル５
は、機枠６の下部に保持されていて、この機枠６の上部
に取り付けてある昇降用アクチュエータガイド７によ
り、昇降自在の構成からなる。また、機枠６の下面に
は、吸着、上昇後、生シート吸着確認を行なう吸着ミス
検知用センサー１６が設けてある。また、図示しない
が、この昇降用アクチュエータガイド７は、セラミック
生シート１を吸着体３により吸着した状態で、例えば、
半導体セラミックパッケージ基板を作製するための次工
程のスルーホール形成、導体印刷に移送するための移送
用アクチュエータに固定してある。このように、本実施
形態のシート分離装置は、吸着体３ａと吸着体３ｂの間
隔の拡縮を行える形態にした点と、この吸着体３ａ，３
ｂに加熱用ヒーター１０を設けたことに特徴を有する。
【００２０】次に、上述したシート分離装置を用いて、
具体的に、段積みしたセラミック生シートの分離方法を
説明する。この分離方法は、図３に示すように、吸着
体待機・段積みシートセット工程、シート吸着・加熱
工程、シート吸着浮上工程、シート撓み化工程、
シートフラット化工程、の５つの工程を有する。
【００２１】−吸着体待機・段積みシートセット工程− 本工程は、複数枚のセラミック生シート１ａ，１ｂ，１
ｃ・・を段積み収納したパレット２を、セラミック生シ
ートを一枚つづ取り出し、次工程に移送するためのシー
ト分離装置の吸着体３の下方にセットする工程である。
本工程では、図３（ａ）に示すように、この複数枚のセ
ラミック生シート１ａ，１ｂ，１ｃ・・を段積み収納し
たパレット２を吸着体３の下方にセットする。また、吸
着体３ａ，３ｂの配置間隔は、セラミック生シート１の
サイズに対応した間隔とすることが肝要である。そし
て、吸着体３の全体をそれぞれ加熱ヒーター１０によっ
て昇温しておく。ここで、昇温温度は、６０℃程度が好
ましく、その温度は、温度センサー１１によって検出
し、コントロールできるようにしている。
【００２２】−シート吸着・加熱工程− 本工程は、吸着体３を下降させてパレット２に段積みさ
れているセラミック生シート１の最上段のセラミック生
シート１ａに当接し、エアー吸着するための工程であ
る。この工程では、図３（ｂ）に示すように、吸着体３
をセラミック生シート１ａに当接し、エアー吸引用ノズ
ル９ａからエアー吸引すると共に、この状態を一定時間
保持し、セラミック生シート１ａ，１ｂ，１ｃ・・を加
熱する。これにより、セラミック生シート１を形成する
有機バインダーとしてのポリビニールブチラール等の結
合剤の軟化させ、また接着力を低下させることができ
る。従って、セラミック生シート１ａと１ｂと１ｃの間
の接着力が低下し、小さい力でもって、剥離できる状態
となる。
【００２３】−シート吸着浮上工程− 本工程は、吸着板３でセラミック生シート１を吸着した
状態で、昇降用アクチュエータ７により吸着体３を上昇
させる工程である。この工程において、吸着体３でセラ
ミック生シート１ａを吸着浮上させると、図３（ｃ）に
示すように、セラミック生シート１は、有機バインダー
を含有し、生シート状態であるために、セラミック生シ
ート１ａの下面にセラミック生シート１ｂが接着した状
態で浮上する。そして、この工程では、吸着体３に機枠
１５を介して取り付けてあるエアー噴射ノズル５からエ
アーをセラミック生シート１ａとセラミック生シート１
ｂとの境界部分に噴射する。これにより、セラミック生
シート１ａ，１ｂとの接着力が弱い場合は、セラミック
生シート１ｂが剥離落下する。
【００２４】−シート撓み化工程− 本工程は、前工程で吸着浮上させたセラミック生シート
１ａに撓みを生じさせる工程である。この工程では、左
右動アクチュエータ４を作動させて、吸着体３ａを固定
状態にある吸着体３ｂの方向に移動させる。これによ
り、図３（ｄ）に示すように、セラミック生シート１ａ
は、吸着体３ａと３ｂとに左右で吸着保持されているの
で、吸着体３ａと３ｂの間隔が狭まるので、その中央部
分で撓みｅが生じる。すなわち屈曲動作をすることにな
る。ここで、セラミック生シート１ａが屈曲すると、図
５に示すように、セラミック生シート１ａの端部ｘと、
このセラミック生シート１ａの裏面に付着しているセラ
ミック生シート１ｂの端部ｙとの間には、その撓みｅの
曲率によって、ずれδが生じる。このずれδの発生によ
って、セラミック生シート１ａとセラミック生シート１
ｂとの間に剥離力が作用することになる。
【００２５】−シートフラット化工程− 本工程は、前工程で撓みδを生じさせたセラミック生シ
ート１ａを元の状態にする工程である。この工程では、
左右動アクチュエータ４を作動させて、吸着体３ａを元
の配置位置方向に移動させて、吸着体３ａと３ｂとの間
隔を拡げる。これにより、撓みδが生じていたセラミッ
ク生シート１ａはフラット状に戻るように作用するた
め、セラミック生シート１ａとセラミック生シート１ｂ
との接着面が擦れて、両シート１ａと１ｂとの間に剥離
力が発生することになる。そして、該剥離力が、前記接
着力より大きくなることでセラミック生シート１ａの裏
面に接着しているセラミック生シート１ｂが剥離落下す
る。ここでも、前記エアー噴射ノズル５からエアーをセ
ラミック生シート１ａとセラミック生シート１ｂとの境
界部分に噴射しているので、より確実にセラミック生シ
ート１ｂを剥離落下させることができる。この落下した
セラミック生シート１ｂは、パレット２に段積みされて
いるセラミック生シート１ｃ上に載ることになる。そし
て、このセラミック生シート１ａは、図示しない移送用
アクチュエータにより半導体セラミックパッケージ基板
を作製するための次工程のスルーホール形成、導体印刷
に移送される。
【００２６】本実施形態のシート分離方法では、以上の
工程を繰り返すことにより、パレット２に段積みされて
いる複数枚のセラミック生シート１を上方から一枚毎、
所定の個所に移送することができる。従って、吸着体３
でセラミック生シート１をミスキャッチすること、２枚
のセラミック生シートを接着した状態で次工程に移送す
るというおそれを減少させることができる。
【００２７】
【実施例】次に、上述したシート分離装置を用いて、
吸着体を加熱することなく、拡縮作動させた場合、吸
着体を加熱（６０℃）し、拡縮作動させた場合につい
て、段積みしたセラミック生シートの吸着・移送を行
い、そのミスキャッチ率と複数枚移送発生率について調
べた。その結果を、表１に示す。
【表１】
【００２８】この表１に示すように、吸着体を加熱する
ことなく、拡縮作動させた場合の合計ミス率が１．４％
であり、また吸着体を加熱し、拡縮作動させた場合の合
計ミス率が０．４％であった。なお、同時に、吸着体を
固定した状態で、段積みしたセラミック生シートの吸着
・移送を行った場合の複数枚移送発生率は、約３０％で
あった。このことから、段積みしたセラミック生シート
を吸着移送する際のミス発生率を減少させることができ
ることが確認できた。
【００２９】なお、本発明は、上述した実施形態に限定
されるものでなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で
変形実施できる形態を含む。因に、前述した実施形態に
おいては、前記軟質シートとして、セラミック生シート
の場合について説明したが、軟質樹脂シートについても
同様に適用できる。また、前述実施形態において、左右
両方の吸着体を左右動できる形態とし、その拡縮動作を
させるようにしてもよい。更に、該吸着体は、３個以上
設けた形態としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態を示すシート分離装置の正
面図である。
【図２】 シート分離装置の側面図である。
【図３】 シート分離方法の工程図である。
【図４】 シートの分離を説明するための吸着体とシー
トとの関係を示す概略斜視図である。
【図５】 図３（ｄ）工程における上下の軟質シートの
位置関係を説明する拡大図である。
【図６】 従来の段積み状態を説明する概略正面図と、
吸着体で吸着する場合の説明用斜視図である。
【符号の説明】
１（１ａ，１ｂ，１ｃ）・・・セラミック生シート、２
・・・パレット、３（３ａ，３ｂ）・・・吸着体、４・
・・左右動用アクチュエータ、５・・・エアー噴射ノズ
ル、６・・・機枠、７・・・昇降用アクチュエータガイ
ド、８・・・吸着体本体、９（９ａ）・・・エアー吸引
用ノズル、１０・・・加熱用ヒーター、１１・・・温度
センサー、１２・・・ヒーター装着用孔、１３・・・エ
アースライドテーブル、１３ａ・・・上テーブル、１３
ｂ・・・下テーブル、１４・・・ストロークアジャス
タ、１５・・・機枠、１６・・・生シート吸着確認セン
サー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ポリビニールブチラール等の結合剤を含
    有するセラミック生シートや軟質樹脂シート等の軟質シ
    ートを段積みし、該段積みした該軟質シートを一枚毎取
    り出すための軟質シートの分離方法において、該軟質シ
    ートを所定間隔で配置してある複数個の吸着体で吸着・
    浮上させる第１工程と、該軟質シートを吸着浮上させた
    状態で、該吸着体を該軟質シートの中心方向に移動さ
    せ、該吸着体の間隔を縮めて該軟質シートに撓み状態を
    生じさせる第２工程、および該軟質シートを吸着浮上さ
    せた状態で、該吸着体を元の位置方向に移動させ、該吸
    着体の間隔を拡げて該軟質シートにフラット状態を生じ
    させる第３工程、を有することを特徴とする段積みした
    軟質シートの分離方法。
  2. 【請求項２】 前記第１工程において、前記軟質シート
    を加熱する請求項１に記載の段積みした軟質シートの分
    離方法。
  3. 【請求項３】 ポリビニールブチラール等の結合剤を含
    有するセラミック生シートや軟質樹脂シート等の軟質シ
    ートを段積みし、該段積みした該軟質シートを一枚毎取
    り出すための軟質シートの分離装置において、該軟質シ
    ートを吸着浮上させる複数個の吸着体を備えた吸着手段
    と、該複数個の吸着体の配置間隔を拡縮させる拡縮手段
    を有し、該吸着手段で軟質シートを吸引浮上させ、また
    該拡縮手段で該吸着浮上状態の軟質シートに撓み状態と
    フラット状態を生じさせることにより該軟質シートを一
    枚毎に分離することを特徴とする段積みした軟質シート
    の分離装置。
  4. 【請求項４】 前記吸着体に軟質シートを加熱するため
    の加熱部を設けてなる請求項３に記載の段積みした軟質
    シートの分離装置。
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