JPH10206264A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH10206264A JPH10206264A JP1287397A JP1287397A JPH10206264A JP H10206264 A JPH10206264 A JP H10206264A JP 1287397 A JP1287397 A JP 1287397A JP 1287397 A JP1287397 A JP 1287397A JP H10206264 A JPH10206264 A JP H10206264A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサチップを侵すような材質の測定流体で
あっても圧力測定ができながら、このようにする場合
に、測定圧力をセンサチップに伝達するゲルを使用する
場合の問題を回避し、かつ、センサチップの自己診断も
容易におこなえるようにする。 【解決手段】 内蔵のセンサチップ１に対してケーシン
グ５に形成された圧力導入口２から測定流体圧力を波及
させて圧力検出をおこなう圧力センサである。圧力導入
口２の内部にセンサチップ１に接触させてチップ保護流
体３を充填させ、チップ保護流体３の外方にチップ保護
流体３を封止する外部圧力伝達部材６を充填している。
あっても圧力測定ができながら、このようにする場合
に、測定圧力をセンサチップに伝達するゲルを使用する
場合の問題を回避し、かつ、センサチップの自己診断も
容易におこなえるようにする。 【解決手段】 内蔵のセンサチップ１に対してケーシン
グ５に形成された圧力導入口２から測定流体圧力を波及
させて圧力検出をおこなう圧力センサである。圧力導入
口２の内部にセンサチップ１に接触させてチップ保護流
体３を充填させ、チップ保護流体３の外方にチップ保護
流体３を封止する外部圧力伝達部材６を充填している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、内蔵のセンサチッ
プに対してケーシングに形成された圧力導入口から測定
流体圧力を波及させ、センサチップにかかる圧力に起因
する抵抗変化を電気信号に変換して流体の圧力を測定す
る圧力センサに関し、詳しくは、センサチップを侵すよ
うな材質の測定流体であっても圧力測定ができながら、
このようにする場合に、測定圧力をセンサチップに伝達
するゲル状体を使用する場合の問題を回避し、かつ、セ
ンサチップの自己診断も容易におこなえるようにしよう
とする技術に係るものである。
プに対してケーシングに形成された圧力導入口から測定
流体圧力を波及させ、センサチップにかかる圧力に起因
する抵抗変化を電気信号に変換して流体の圧力を測定す
る圧力センサに関し、詳しくは、センサチップを侵すよ
うな材質の測定流体であっても圧力測定ができながら、
このようにする場合に、測定圧力をセンサチップに伝達
するゲル状体を使用する場合の問題を回避し、かつ、セ
ンサチップの自己診断も容易におこなえるようにしよう
とする技術に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、内蔵のセンサチップ１に対してケ
ーシングに形成された圧力導入口２から測定流体圧力を
波及させ、センサチップ１にかかる圧力に起因する抵抗
変化を電気信号に変換して流体の圧力を測定する圧力セ
ンサは、図５に示すように、測定流体を直接、センサチ
ップ１に触れさせるから、シリコン樹脂系のセンサチッ
プ１を侵す材質の測定流体に対しては使用することがで
きないものである。
ーシングに形成された圧力導入口２から測定流体圧力を
波及させ、センサチップ１にかかる圧力に起因する抵抗
変化を電気信号に変換して流体の圧力を測定する圧力セ
ンサは、図５に示すように、測定流体を直接、センサチ
ップ１に触れさせるから、シリコン樹脂系のセンサチッ
プ１を侵す材質の測定流体に対しては使用することがで
きないものである。
【０００３】そこで、図６に示すように、圧力導入口２
の略全域にゲル状体４を充填して、このゲル状体４に圧
力流体を波及させ、ゲル状体４を介してセンサチップ１
に測定圧力を波及させ、圧力測定をおこなう圧力センサ
が提案されている。ところが、このようにゲル状体４を
介して圧力流体をセンサチップ１に波及させる構成のも
のにおいては、液体からゲル状態に硬化する時の収縮に
よる応力がセンサチップ１に影響を及ぼし、オフセット
（零点修正）がずれたり、また、温度変化によるゲル状
体４の収縮がセンサチップ１に影響を及ぼし、やはり、
オフセットがずれ、作業環境の温度変化を受けやすいと
いう問題があった。
の略全域にゲル状体４を充填して、このゲル状体４に圧
力流体を波及させ、ゲル状体４を介してセンサチップ１
に測定圧力を波及させ、圧力測定をおこなう圧力センサ
が提案されている。ところが、このようにゲル状体４を
介して圧力流体をセンサチップ１に波及させる構成のも
のにおいては、液体からゲル状態に硬化する時の収縮に
よる応力がセンサチップ１に影響を及ぼし、オフセット
（零点修正）がずれたり、また、温度変化によるゲル状
体４の収縮がセンサチップ１に影響を及ぼし、やはり、
オフセットがずれ、作業環境の温度変化を受けやすいと
いう問題があった。
【０００４】更に、上述の従来の構成のものにおいて
は、センサチップ１が損傷されているか否かの自己診断
ができないものとなっていた。
は、センサチップ１が損傷されているか否かの自己診断
ができないものとなっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解消しようとするものであり、センサチップを侵す
ような材質の測定流体であっても圧力測定ができなが
ら、このようにする場合に、測定圧力をセンサチップに
伝達するゲル状体を使用する場合の上述の問題を回避す
ることができ、かつセンサチップの自己診断がおこなえ
る圧力センサを提供することを課題とする。
題を解消しようとするものであり、センサチップを侵す
ような材質の測定流体であっても圧力測定ができなが
ら、このようにする場合に、測定圧力をセンサチップに
伝達するゲル状体を使用する場合の上述の問題を回避す
ることができ、かつセンサチップの自己診断がおこなえ
る圧力センサを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明において
は、内蔵のセンサチップ１に対してケーシング５に形成
された圧力導入口２から測定流体圧力を波及させて圧力
検出をおこなう圧力センサであって、圧力導入口２の内
部にセンサチップ１に接触させてチップ保護流体３を充
填させ、チップ保護流体３の外方にチップ保護流体３を
封止する外部圧力伝達部材６を充填して成ることを特徴
とするものである。
は、内蔵のセンサチップ１に対してケーシング５に形成
された圧力導入口２から測定流体圧力を波及させて圧力
検出をおこなう圧力センサであって、圧力導入口２の内
部にセンサチップ１に接触させてチップ保護流体３を充
填させ、チップ保護流体３の外方にチップ保護流体３を
封止する外部圧力伝達部材６を充填して成ることを特徴
とするものである。
【０００７】請求項２の発明においては、チップ保護流
体３がフッ素系オイルであり、外部圧力伝達部材６がゲ
ル状体４であることを特徴とするものである。請求項３
の発明においては、チップ保護流体３が磁性流体７であ
ることを特徴とするものである。請求項４の発明におい
ては、外部圧力伝達部材６がリング状の永久磁石８であ
り、リング状の永久磁石８の内部に磁性流体７が保持さ
れていることを特徴とするものである。
体３がフッ素系オイルであり、外部圧力伝達部材６がゲ
ル状体４であることを特徴とするものである。請求項３
の発明においては、チップ保護流体３が磁性流体７であ
ることを特徴とするものである。請求項４の発明におい
ては、外部圧力伝達部材６がリング状の永久磁石８であ
り、リング状の永久磁石８の内部に磁性流体７が保持さ
れていることを特徴とするものである。
【０００８】請求項１の構成においては、測定流体はセ
ンサチップ１には直接触れることがなくて、センサチッ
プ１を侵すような圧力流体であっても圧力測定がおこな
えながら、外部圧力伝達部材６の奥部でセンサチップ１
に触れる部分にはチップ保護流体３が封止されていて、
圧力伝達で、チップ保護流体３が漏れるのを阻止するこ
とができ、例えば、ゲル状体４のみを使用する場合に、
温度変化によるゲル状体４の収縮がセンサチップ１に影
響を及ぼしたり、また、オフセットがずれたり、作業環
境の温度変化がセンサチップ１に大きく影響を与えるの
を回避することができ、良好な圧力測定をおこなうこと
ができる。
ンサチップ１には直接触れることがなくて、センサチッ
プ１を侵すような圧力流体であっても圧力測定がおこな
えながら、外部圧力伝達部材６の奥部でセンサチップ１
に触れる部分にはチップ保護流体３が封止されていて、
圧力伝達で、チップ保護流体３が漏れるのを阻止するこ
とができ、例えば、ゲル状体４のみを使用する場合に、
温度変化によるゲル状体４の収縮がセンサチップ１に影
響を及ぼしたり、また、オフセットがずれたり、作業環
境の温度変化がセンサチップ１に大きく影響を与えるの
を回避することができ、良好な圧力測定をおこなうこと
ができる。
【０００９】請求項２の構成においては、請求項１の作
用に加えて、チップ保護流体３のフッ素系オイルは不活
性で、センサチップ１の腐蝕を抑制することができ、セ
ンサチップ１との間で良好な電気的絶縁が図れ、フッ素
系オイルはゲル状体４に比べて比重が大きく、両者が混
じることがなく、所期通りの機能を長期にわたって奏す
ることができる。
用に加えて、チップ保護流体３のフッ素系オイルは不活
性で、センサチップ１の腐蝕を抑制することができ、セ
ンサチップ１との間で良好な電気的絶縁が図れ、フッ素
系オイルはゲル状体４に比べて比重が大きく、両者が混
じることがなく、所期通りの機能を長期にわたって奏す
ることができる。
【００１０】請求項３の構成においては、請求項１又は
請求項２の作用に加えて、外部磁界によってセンサチッ
プ１の破断を確認することが可能となり、センサチップ
１の自己診断をおこなえる。請求項４の構成において
は、請求項１又は請求項３の作用に加えて、外部圧力伝
達部材６をゲル状体４にするものに比べて、リング状の
永久磁石８なので、外部圧力伝達部材６の組込みが容易
となる。
請求項２の作用に加えて、外部磁界によってセンサチッ
プ１の破断を確認することが可能となり、センサチップ
１の自己診断をおこなえる。請求項４の構成において
は、請求項１又は請求項３の作用に加えて、外部圧力伝
達部材６をゲル状体４にするものに比べて、リング状の
永久磁石８なので、外部圧力伝達部材６の組込みが容易
となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の第１実施形態を図１乃至
図３に基づいて以下に説明する。１０は基台で、絶縁性
の樹脂により、開口端部２９を有して略四角状の有底筒
状に形成され、内部に収容空間が設けられる。１２はガ
ラス台座で、パイレックスガラス等のガラスにより、略
四角形の筒状に形成され、軸孔１３が設けられ、その軸
孔１３の軸と直交した一面が蒸着又はスバッタ等でもっ
て金属でメタライズされている。
図３に基づいて以下に説明する。１０は基台で、絶縁性
の樹脂により、開口端部２９を有して略四角状の有底筒
状に形成され、内部に収容空間が設けられる。１２はガ
ラス台座で、パイレックスガラス等のガラスにより、略
四角形の筒状に形成され、軸孔１３が設けられ、その軸
孔１３の軸と直交した一面が蒸着又はスバッタ等でもっ
て金属でメタライズされている。
【００１２】１５は圧力導入管で、コバール又はＦｅＮ
ｉ合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象で
ある流体を圧力を持って導入する圧力導入孔１６が設け
られ、その圧力導入孔１６の軸に対して直交した一方直
交面が、圧力導入孔１６の軸と軸孔１３の軸との互いの
軸を合わせて、半田でもってガラス台座１２の一面と接
合されている。
ｉ合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象で
ある流体を圧力を持って導入する圧力導入孔１６が設け
られ、その圧力導入孔１６の軸に対して直交した一方直
交面が、圧力導入孔１６の軸と軸孔１３の軸との互いの
軸を合わせて、半田でもってガラス台座１２の一面と接
合されている。
【００１３】１はセンサチップで、シリコン半導体によ
り、略中央部に形成されたシリコンダイヤフラム２１上
にピエゾ抵抗（図示せず）を配置することによって歪み
ゲージが形成され、ガラス台座１２の軸孔１３がシリコ
ンダイヤフラム２１に位置するよう、直流の高電圧を印
加する陽極接合でもってガラス台座１２の他面に接合さ
れて、流体の圧力を電気信号に変換する。このようなセ
ンサチップ１は周知の構成のものである。
り、略中央部に形成されたシリコンダイヤフラム２１上
にピエゾ抵抗（図示せず）を配置することによって歪み
ゲージが形成され、ガラス台座１２の軸孔１３がシリコ
ンダイヤフラム２１に位置するよう、直流の高電圧を印
加する陽極接合でもってガラス台座１２の他面に接合さ
れて、流体の圧力を電気信号に変換する。このようなセ
ンサチップ１は周知の構成のものである。
【００１４】５はケーシングで、ステンレス等の金属に
より、図１に示すように、筒状に形成され、中心位置に
は挿通孔２３が設けられ、挿通孔２３の一方側にその挿
通孔２３に通じた同心円状の段を有した凹部２４を設け
て六角ボルト状に形成され、圧力導入菅１５が挿通孔２
３に挿通され保持されて、基台１０が凹部２４に収容さ
れる。９はＯリングである。
より、図１に示すように、筒状に形成され、中心位置に
は挿通孔２３が設けられ、挿通孔２３の一方側にその挿
通孔２３に通じた同心円状の段を有した凹部２４を設け
て六角ボルト状に形成され、圧力導入菅１５が挿通孔２
３に挿通され保持されて、基台１０が凹部２４に収容さ
れる。９はＯリングである。
【００１５】端子２５は、基台１０に固着されて、基台
１０の収容空間に配された内部端子２６と外部に配され
折曲形成された外部端子２７とを有し、内部端子２６が
センサチップ１に設けられた電極（図示せず）とワイヤ
ボンディングでもって電気的に接続されている。プリン
ト基板２８は、回路が形成されたセラミック基板によ
り、ケーシング５の凹部２４に固定されるとともに、外
部端子２７が挿通され半田付けされることによって、セ
ンサチップ１と電気的に接続される。端子ブロック３０
は、コネクタ用端子３０ａを同時成形して形成され、コ
ネクタ用端子３０ａがプリント基板２８を介して端子２
５と連続される。
１０の収容空間に配された内部端子２６と外部に配され
折曲形成された外部端子２７とを有し、内部端子２６が
センサチップ１に設けられた電極（図示せず）とワイヤ
ボンディングでもって電気的に接続されている。プリン
ト基板２８は、回路が形成されたセラミック基板によ
り、ケーシング５の凹部２４に固定されるとともに、外
部端子２７が挿通され半田付けされることによって、セ
ンサチップ１と電気的に接続される。端子ブロック３０
は、コネクタ用端子３０ａを同時成形して形成され、コ
ネクタ用端子３０ａがプリント基板２８を介して端子２
５と連続される。
【００１６】コネクタ３１は、合成樹脂により、角筒状
の着脱部３１ａと、その着脱部３１ａの外形よりも大き
な径の円筒状の台座部３１ｂとを有して形成され、台座
部３１ｂがケーシング５の凹部２４に嵌挿され、このと
き端子ブロック３０のコネクタ用端子３０ａが着脱部３
１ａの筒内に突出して導出される。このように構成され
た圧力センサの動作を説明する。圧力導入管１５の圧力
導入孔１６及びガラス台座１２の軸孔１３の互いの軸を
合わせて、ガラス台座１２の一面１４が圧力導入管１５
の一方直交面３２に半田でもって半田接合されているの
で、圧力導入孔１６と軸孔１３とが連通する。この状態
で、気体又は液体の圧力測定する流体は、高い圧力を持
って圧力導入管１５の圧力導入孔１６に導入される。
の着脱部３１ａと、その着脱部３１ａの外形よりも大き
な径の円筒状の台座部３１ｂとを有して形成され、台座
部３１ｂがケーシング５の凹部２４に嵌挿され、このと
き端子ブロック３０のコネクタ用端子３０ａが着脱部３
１ａの筒内に突出して導出される。このように構成され
た圧力センサの動作を説明する。圧力導入管１５の圧力
導入孔１６及びガラス台座１２の軸孔１３の互いの軸を
合わせて、ガラス台座１２の一面１４が圧力導入管１５
の一方直交面３２に半田でもって半田接合されているの
で、圧力導入孔１６と軸孔１３とが連通する。この状態
で、気体又は液体の圧力測定する流体は、高い圧力を持
って圧力導入管１５の圧力導入孔１６に導入される。
【００１７】このとき、センサチップ１が、ガラス台座
１２の軸孔１３を遮蔽するようガラス台座１２と陽極接
合でもって気密接合されて、かつ圧力導入管１５がガラ
ス台座１２と半田接合されている。したがって、流体は
圧力導入管１５の外周部を介して外部へ漏れることな
く、その圧力をセンサチップ１に負荷する。流体の圧力
がセンサチップ１に負荷されると、センサチップ１に形
成されたシリコンダイヤフラム２１が、流体の圧力と大
気圧との差に比例して撓む。そして、そのシリコンダイ
ヤフラム２１上に形成されたピエゾ抵抗の抵抗値が撓み
の大きさに比例して変化し、この抵抗値を電気信号とし
て端子２５に出力し、プリント基板２８に設けられた増
幅素子（図示せず）で増幅して、コネクタ用端子３０ａ
に出力して、流体の圧力を測定する。
１２の軸孔１３を遮蔽するようガラス台座１２と陽極接
合でもって気密接合されて、かつ圧力導入管１５がガラ
ス台座１２と半田接合されている。したがって、流体は
圧力導入管１５の外周部を介して外部へ漏れることな
く、その圧力をセンサチップ１に負荷する。流体の圧力
がセンサチップ１に負荷されると、センサチップ１に形
成されたシリコンダイヤフラム２１が、流体の圧力と大
気圧との差に比例して撓む。そして、そのシリコンダイ
ヤフラム２１上に形成されたピエゾ抵抗の抵抗値が撓み
の大きさに比例して変化し、この抵抗値を電気信号とし
て端子２５に出力し、プリント基板２８に設けられた増
幅素子（図示せず）で増幅して、コネクタ用端子３０ａ
に出力して、流体の圧力を測定する。
【００１８】ここで、第１の実施の形態においては、図
１に示すように、ケーシング５の圧力導入口２の内部
で、圧力導入管１５の内部及びその近傍に、センサチッ
プ１に接触させてチップ保護流体３（図において点々で
示している）を充填させてある。チップ保護流体３の外
方に外部圧力伝達部材６（図において斜線で示してい
る）を充填し、チップ保護流体３を封止している。チッ
プ保護流体３がフッ素系オイルであり、外部圧力伝達部
材６がゲル状体（ゲル）４である。フッ素系オイルは、
アウジモント株式会社製のＦＯＭＢＬＩＮ（商標）Ｙ０
４を使用するものであるが他のものでもよい。上記アウ
ジモント株式会社製のＦＯＭＢＬＩＮ（商標）Ｙ０４
は、以下の代表特性値のものである。
１に示すように、ケーシング５の圧力導入口２の内部
で、圧力導入管１５の内部及びその近傍に、センサチッ
プ１に接触させてチップ保護流体３（図において点々で
示している）を充填させてある。チップ保護流体３の外
方に外部圧力伝達部材６（図において斜線で示してい
る）を充填し、チップ保護流体３を封止している。チッ
プ保護流体３がフッ素系オイルであり、外部圧力伝達部
材６がゲル状体（ゲル）４である。フッ素系オイルは、
アウジモント株式会社製のＦＯＭＢＬＩＮ（商標）Ｙ０
４を使用するものであるが他のものでもよい。上記アウ
ジモント株式会社製のＦＯＭＢＬＩＮ（商標）Ｙ０４
は、以下の代表特性値のものである。
【００１９】 平均分子量 １．５００ａ．ｍ．ｕ（測定方法：ＭＡＮ ＺＰ２９／２４） 動粘度（２０℃） ３８ｃＳｔ （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ４４５） 動粘度（４０℃） １５ｃＳｔ （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ４４５） 動粘度（１００℃）３．２ｃＳｔ （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ４４５） 粘度指数 ５０ （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ２２７０） 流動点 −５８℃ （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ９７） 重量損失（１２０℃）２０％ （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ９７２） 重量損失（１４９℃） − （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ９７２） 重量損失（２０４℃） − （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ９７２） 密度（２０℃） １．８７ｇ／ｃｍ2 （測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ８９１） 表面張力（２０℃）２１ｄｙｎｅ／ｃｍ（測定方法：ＡＳＴＭ Ｄ１３３１） 屈折率 １．２９４ （測定方法：ＭＡＮ ＰＦ２９／３） このように、請求項１の実施の形態においては、圧力導
入口２の内部にセンサチップ１に接触させてチップ保護
流体３を充填させ、チップ保護流体３の外方にチップ保
護流体３を封止する外部圧力伝達部材６を充填してい
て、測定流体はセンサチップ１には直接触れることがな
くて、センサチップ１を侵すような圧力流体であっても
圧力測定がおこなえるのである。更に、ゲル状体４のみ
を使用する場合に、温度変化によるゲル状体４の収縮が
センサチップ１に影響を及ぼしたり、また、オフセット
がずれたり、作業環境の温度変化がセンサチップ１に大
きく影響を与えるのを回避することができ、良好な圧力
測定をおこなうことができるのである。
入口２の内部にセンサチップ１に接触させてチップ保護
流体３を充填させ、チップ保護流体３の外方にチップ保
護流体３を封止する外部圧力伝達部材６を充填してい
て、測定流体はセンサチップ１には直接触れることがな
くて、センサチップ１を侵すような圧力流体であっても
圧力測定がおこなえるのである。更に、ゲル状体４のみ
を使用する場合に、温度変化によるゲル状体４の収縮が
センサチップ１に影響を及ぼしたり、また、オフセット
がずれたり、作業環境の温度変化がセンサチップ１に大
きく影響を与えるのを回避することができ、良好な圧力
測定をおこなうことができるのである。
【００２０】請求項２の実施の形態においては、チップ
保護流体３が上記フッ素系オイルであり、外部圧力伝達
部材６がゲル状体４であって、フッ素系オイルは不活性
で、センサチップ１の腐蝕を抑制することができ、セン
サチップ１との間で良好な電気的絶縁が図れ、フッ素系
オイルはゲル状体４に比べて比重が大きく、両者が混じ
ることがなく、所期通りの機能を長期にわたって奏する
ことができるのである。
保護流体３が上記フッ素系オイルであり、外部圧力伝達
部材６がゲル状体４であって、フッ素系オイルは不活性
で、センサチップ１の腐蝕を抑制することができ、セン
サチップ１との間で良好な電気的絶縁が図れ、フッ素系
オイルはゲル状体４に比べて比重が大きく、両者が混じ
ることがなく、所期通りの機能を長期にわたって奏する
ことができるのである。
【００２１】請求項３の実施の形態においては、図４に
示すように、チップ保護流体３を磁性流体７としたもの
であり、この磁性流体７に外部磁界を作用させること
で、センサチップ１の破断を確認することが可能とな
り、センサチップ１の自己診断がおこなえるのである。
請求項４の実施の形態においては、図４に示すように、
チップ保護流体３を磁性流体７とし、外部圧力伝達部材
６をリング状の永久磁石８にしたものである。このリン
グ状の永久磁石８にて磁性流体７を保持するのであり、
外部圧力伝達部材６をゲル状体４にするものに比べて、
リング状の永久磁石８なので、組込みが容易となるので
ある。
示すように、チップ保護流体３を磁性流体７としたもの
であり、この磁性流体７に外部磁界を作用させること
で、センサチップ１の破断を確認することが可能とな
り、センサチップ１の自己診断がおこなえるのである。
請求項４の実施の形態においては、図４に示すように、
チップ保護流体３を磁性流体７とし、外部圧力伝達部材
６をリング状の永久磁石８にしたものである。このリン
グ状の永久磁石８にて磁性流体７を保持するのであり、
外部圧力伝達部材６をゲル状体４にするものに比べて、
リング状の永久磁石８なので、組込みが容易となるので
ある。
【００２２】
【発明の効果】請求項１の発明においては、内蔵のセン
サチップに対してケーシングに形成された圧力導入口か
ら測定流体圧力を波及させて圧力検出をおこなう圧力セ
ンサであって、圧力導入口の内部にセンサチップに接触
させてチップ保護流体を充填させ、チップ保護流体の外
方にチップ保護流体を封止する外部圧力伝達部材を充填
しているから、測定流体はセンサチップには直接触れる
ことがなくて、センサチップを侵すような圧力流体であ
っても圧力測定がおこなえながら、外部圧力伝達部材の
奥部でセンサチップに触れる部分にはチップ保護流体が
充填されて封止されていて、圧力伝達で、チップ保護流
体が漏れるのを阻止することができ、例えば、ゲル状体
のみを使用する場合に、温度変化によるゲル状体の収縮
がセンサチップに影響を及ぼしたり、オフセットがずれ
たり、作業環境の温度変化がセンサチップに大きく影響
を与えるのを回避することができ、良好が圧力測定をお
こなうことができるという利点がある。
サチップに対してケーシングに形成された圧力導入口か
ら測定流体圧力を波及させて圧力検出をおこなう圧力セ
ンサであって、圧力導入口の内部にセンサチップに接触
させてチップ保護流体を充填させ、チップ保護流体の外
方にチップ保護流体を封止する外部圧力伝達部材を充填
しているから、測定流体はセンサチップには直接触れる
ことがなくて、センサチップを侵すような圧力流体であ
っても圧力測定がおこなえながら、外部圧力伝達部材の
奥部でセンサチップに触れる部分にはチップ保護流体が
充填されて封止されていて、圧力伝達で、チップ保護流
体が漏れるのを阻止することができ、例えば、ゲル状体
のみを使用する場合に、温度変化によるゲル状体の収縮
がセンサチップに影響を及ぼしたり、オフセットがずれ
たり、作業環境の温度変化がセンサチップに大きく影響
を与えるのを回避することができ、良好が圧力測定をお
こなうことができるという利点がある。
【００２３】請求項２の発明においては、チップ保護流
体がフッ素系オイルであり、外部圧力伝達部材がゲル状
体であるから、請求項１の効果に加えて、チップ保護流
体のフッ素系オイルは不活性で、センサチップの腐蝕を
抑制することができ、センサチップとの間で良好な電気
的絶縁が図れ、フッ素系オイルはゲル状体に比べて比重
が大きく、両者が混じることがなく、所期通りの機能を
長期にわたって奏することができるという利点がある。
体がフッ素系オイルであり、外部圧力伝達部材がゲル状
体であるから、請求項１の効果に加えて、チップ保護流
体のフッ素系オイルは不活性で、センサチップの腐蝕を
抑制することができ、センサチップとの間で良好な電気
的絶縁が図れ、フッ素系オイルはゲル状体に比べて比重
が大きく、両者が混じることがなく、所期通りの機能を
長期にわたって奏することができるという利点がある。
【００２４】請求項３の発明においては、チップ保護流
体が磁性流体であるから、請求項１の効果に加えて、外
部磁界によってセンサチップの破断を確認することが可
能となり、センサチップの自己診断をおこなるという利
点がある。請求項４の発明においては、外部圧力伝達部
材がリング状の永久磁石であるから、外部圧力伝達部材
をゲル状体にするものに比べて、リング状の永久磁石な
ので、組込みが容易となるという利点がある。
体が磁性流体であるから、請求項１の効果に加えて、外
部磁界によってセンサチップの破断を確認することが可
能となり、センサチップの自己診断をおこなるという利
点がある。請求項４の発明においては、外部圧力伝達部
材がリング状の永久磁石であるから、外部圧力伝達部材
をゲル状体にするものに比べて、リング状の永久磁石な
ので、組込みが容易となるという利点がある。
【図１】本発明の実施の一形態を示す断面図である。
【図２】（ａ）は正面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は部
分断面図である。
分断面図である。
【図３】部分概略断面図である。
【図４】他の実施例の部分斜視図である。
【図５】従来例の断面図である。
【図６】他の従来例の断面図である。
１ センサチップ ２ 圧力導入口 ３ チップ保護流体 ４ ゲル状体 ５ ケーシング ６ 外部圧力伝達部材 ７ 磁性流体 ８ 永久磁石
Claims (4)
- 【請求項１】 内蔵のセンサチップに対してケーシング
に形成された圧力導入口から測定流体圧力を波及させて
圧力検出をおこなう圧力センサであって、圧力導入口の
内部にセンサチップに接触させてチップ保護流体を充填
させ、チップ保護流体の外方にチップ保護流体を封止す
る外部圧力伝達部材を充填して成ることを特徴とする圧
力センサ。 - 【請求項２】 チップ保護流体がフッ素系オイルであ
り、外部圧力伝達部材がゲル状体であることを特徴とす
る請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項３】 チップ保護流体が磁性流体であることを
特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧力センサ。 - 【請求項４】 外部圧力伝達部材がリング状の永久磁石
であり、リング状の永久磁石の内部に磁性流体が保持さ
れていることを特徴とする請求項１又は請求項３記載の
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1287397A JPH10206264A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1287397A JPH10206264A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10206264A true JPH10206264A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11817554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1287397A Withdrawn JPH10206264A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10206264A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6651508B2 (en) | 2000-11-27 | 2003-11-25 | Denso Corporation | Pressure sensor having semiconductor sensor chip |
| JP2010002198A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
| JP2013019781A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Denso Corp | 圧力センサおよび圧力センサの取り付け構造 |
| CN104897341A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-09-09 | 西北工业大学 | 底层隔板式流体壁面剪应力传感器的可控变温模拟加载系统 |
-
1997
- 1997-01-27 JP JP1287397A patent/JPH10206264A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6651508B2 (en) | 2000-11-27 | 2003-11-25 | Denso Corporation | Pressure sensor having semiconductor sensor chip |
| JP2010002198A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
| JP2013019781A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Denso Corp | 圧力センサおよび圧力センサの取り付け構造 |
| CN104897341A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-09-09 | 西北工业大学 | 底层隔板式流体壁面剪应力传感器的可控变温模拟加载系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040406 |