JPH10215588A - 超音波リニアモータ - Google Patents
超音波リニアモータInfo
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- JPH10215588A JPH10215588A JP9015311A JP1531197A JPH10215588A JP H10215588 A JPH10215588 A JP H10215588A JP 9015311 A JP9015311 A JP 9015311A JP 1531197 A JP1531197 A JP 1531197A JP H10215588 A JPH10215588 A JP H10215588A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、被駆動体に対する押圧力のバランス
を改善して、安定した動作を得られる超音波リニアモー
タを提供する。 【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子を有する超
音波振動子２１を挟むように一対の係合部材２６を配置
し、これら係合部材２６の基端部を固定部材２８側の軸
部２９に回動可能に支持するとともに、中間部に超音波
振動子２１の支持軸２５を係合する凹部２６ａを設け、
さらに、これら係合部材２６の先端部に、弾性力調整用
ネジ３３の突出量を調整することで押圧力を可変可能に
した板バネ３２を設け、これら板バネ３２のバネ力によ
り各係合部材２６を介して超音波振動子２１の摺動部材
２４と被駆動部材２７の押圧面に作用する押圧力を別個
に調整可能にしている。
を改善して、安定した動作を得られる超音波リニアモー
タを提供する。 【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子を有する超
音波振動子２１を挟むように一対の係合部材２６を配置
し、これら係合部材２６の基端部を固定部材２８側の軸
部２９に回動可能に支持するとともに、中間部に超音波
振動子２１の支持軸２５を係合する凹部２６ａを設け、
さらに、これら係合部材２６の先端部に、弾性力調整用
ネジ３３の突出量を調整することで押圧力を可変可能に
した板バネ３２を設け、これら板バネ３２のバネ力によ
り各係合部材２６を介して超音波振動子２１の摺動部材
２４と被駆動部材２７の押圧面に作用する押圧力を別個
に調整可能にしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気−機械エネル
ギー変換素子を駆動源とする超音波リニアモータに関す
るものである。
ギー変換素子を駆動源とする超音波リニアモータに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、精密機械や光学機器などの分野で
は、電磁型モータに比べて小型でありながら高トルクが
得られ、さらに、ストロークが長く高分解能である等の
利点を有する超音波モータが多々使用される傾向にあ
る。
は、電磁型モータに比べて小型でありながら高トルクが
得られ、さらに、ストロークが長く高分解能である等の
利点を有する超音波モータが多々使用される傾向にあ
る。
【０００３】この超音波モータは、回転型とリニア型と
に大別され、このうちリニア型のものとしては、特開平
６−２８４７５２号に開示されたものが知られている。
このリニア型の超音波モータは、電気−機械エネルギー
変換素子が固着され、長手方向に伸縮する共振周波数と
該伸縮の方向を伝播方向とする横波の弾性波が定在すべ
き周波数とが一致するように長手方向と幅の寸法が設定
され、且つ前記電気−機械エネルギー変換素子の振動変
位により前記伸縮振動と定在波とが同時に発生される振
動子と、この振動子表面の定在波の腹に対応する位置よ
り突出するように設けられ、前記両振動により回転軌跡
を描いて駆動される摺動突起と、前記振動子の定在波の
節に対応する位置より振動子の両側面に突出するように
設けられた支持軸とを具備し、前記支持軸を押圧するこ
とにより前記振動子を被駆動部材に押圧して被駆動部材
を移動させるようにしたものである。
に大別され、このうちリニア型のものとしては、特開平
６−２８４７５２号に開示されたものが知られている。
このリニア型の超音波モータは、電気−機械エネルギー
変換素子が固着され、長手方向に伸縮する共振周波数と
該伸縮の方向を伝播方向とする横波の弾性波が定在すべ
き周波数とが一致するように長手方向と幅の寸法が設定
され、且つ前記電気−機械エネルギー変換素子の振動変
位により前記伸縮振動と定在波とが同時に発生される振
動子と、この振動子表面の定在波の腹に対応する位置よ
り突出するように設けられ、前記両振動により回転軌跡
を描いて駆動される摺動突起と、前記振動子の定在波の
節に対応する位置より振動子の両側面に突出するように
設けられた支持軸とを具備し、前記支持軸を押圧するこ
とにより前記振動子を被駆動部材に押圧して被駆動部材
を移動させるようにしたものである。
【０００４】具体的な構成例としては、図４（ａ）
（ｂ）に示すように、超音波振動子２は、略直方体形状
の弾性体３と、この弾性体３上端部の長手方向に沿って
２ケ所設けられた矩形の切欠３ａにそれぞれ積層型圧電
素子４を挟み込んで固定し、また、弾性体３の振動の腹
となる下端面位置には、２つの摺動部材５をそれぞれ固
着している。また、超音波振動子２は、２次の定在波の
節となる位置であって、前記２つの積層型圧電素子４の
間となる弾性体３両側面から支持軸６をそれぞれ突設し
ている。そして、このような超音波振動子２を、着力点
の支持軸６を介して該支持軸６を係合する凹部を有する
係止部材７によって支持するとともに、摺動部材５を介
して被駆動部材９へ向かって付勢し、さらに係止部材７
を、片持ち梁の板バネ１１の一端部にねじ１２で締結
し、この板ばね１１の他端部を台座１３を介してねじ１
２で基礎１４に固定している。この場合、板ばね１１
は、非使用時は図中上方に凸都なるよう湾曲するもので
あり、使用時には、これがほぼ平板になるまで予圧を付
加し、その際の弾性力により超音波振動子２を被駆動体
９に対し付勢して密接させるようにしている。
（ｂ）に示すように、超音波振動子２は、略直方体形状
の弾性体３と、この弾性体３上端部の長手方向に沿って
２ケ所設けられた矩形の切欠３ａにそれぞれ積層型圧電
素子４を挟み込んで固定し、また、弾性体３の振動の腹
となる下端面位置には、２つの摺動部材５をそれぞれ固
着している。また、超音波振動子２は、２次の定在波の
節となる位置であって、前記２つの積層型圧電素子４の
間となる弾性体３両側面から支持軸６をそれぞれ突設し
ている。そして、このような超音波振動子２を、着力点
の支持軸６を介して該支持軸６を係合する凹部を有する
係止部材７によって支持するとともに、摺動部材５を介
して被駆動部材９へ向かって付勢し、さらに係止部材７
を、片持ち梁の板バネ１１の一端部にねじ１２で締結
し、この板ばね１１の他端部を台座１３を介してねじ１
２で基礎１４に固定している。この場合、板ばね１１
は、非使用時は図中上方に凸都なるよう湾曲するもので
あり、使用時には、これがほぼ平板になるまで予圧を付
加し、その際の弾性力により超音波振動子２を被駆動体
９に対し付勢して密接させるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成によると、モータを構成する各部材のバラツキによ
り、超音波振動子２に沿って配置される被駆動部材９に
対する摺動部材５による押圧力のバランスが均一でなく
なる。つまり、図５に示すように、超音波振動子２の摺
動部材５と被駆動体９との押圧面５ａ各部での押圧力Ｆ
1 、Ｆ2 、〜Ｆnは、一様であることが望ましいが、板
ばね１１による押圧力は各係止部材７に対して一定に作
用するようになっているので、モータを構成する各部材
の組み立や加工精度などにバラツキがあると、被駆動体
９に対する摺動部材５の押圧面５ａでの押圧力Ｆ1 、Ｆ
2 、〜Ｆn が一様にならないことがあり、これら被駆動
体９に対する押圧力Ｆ1 、Ｆ2 、〜Ｆn の不均一さが摺
動部材５と被駆動体９の間の摩擦力に影響を及ぼし、個
々の超音波モータによる性能のバラツキやモータ自身の
動作安定性を阻害する原因になるという問題があった。
構成によると、モータを構成する各部材のバラツキによ
り、超音波振動子２に沿って配置される被駆動部材９に
対する摺動部材５による押圧力のバランスが均一でなく
なる。つまり、図５に示すように、超音波振動子２の摺
動部材５と被駆動体９との押圧面５ａ各部での押圧力Ｆ
1 、Ｆ2 、〜Ｆnは、一様であることが望ましいが、板
ばね１１による押圧力は各係止部材７に対して一定に作
用するようになっているので、モータを構成する各部材
の組み立や加工精度などにバラツキがあると、被駆動体
９に対する摺動部材５の押圧面５ａでの押圧力Ｆ1 、Ｆ
2 、〜Ｆn が一様にならないことがあり、これら被駆動
体９に対する押圧力Ｆ1 、Ｆ2 、〜Ｆn の不均一さが摺
動部材５と被駆動体９の間の摩擦力に影響を及ぼし、個
々の超音波モータによる性能のバラツキやモータ自身の
動作安定性を阻害する原因になるという問題があった。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、被駆動体に対する押圧力のバランスを改善して、安
定した動作を得られる超音波リニアモータを提供するこ
とを目的とする。
で、被駆動体に対する押圧力のバランスを改善して、安
定した動作を得られる超音波リニアモータを提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
電気−機械エネルギー変換素子を有する超音波振動子に
より被駆動部材を押圧することで該被駆動部材を駆動す
るようにした超音波リニアモータにおいて、前記超音波
振動子を挟むように配置され、前記超音波振動子の定在
波の節に対応する位置に前記被駆動部材に対する押圧力
を作用させる一対の押圧部材と、これら押圧部材を回動
可能に支持する支持部材と、前記一対の押圧部材にそれ
ぞれ設けられ、これら押圧部材による前記被駆動部材へ
の押圧力を各別に調整可能とした押圧力調整手段とによ
り構成している。
電気−機械エネルギー変換素子を有する超音波振動子に
より被駆動部材を押圧することで該被駆動部材を駆動す
るようにした超音波リニアモータにおいて、前記超音波
振動子を挟むように配置され、前記超音波振動子の定在
波の節に対応する位置に前記被駆動部材に対する押圧力
を作用させる一対の押圧部材と、これら押圧部材を回動
可能に支持する支持部材と、前記一対の押圧部材にそれ
ぞれ設けられ、これら押圧部材による前記被駆動部材へ
の押圧力を各別に調整可能とした押圧力調整手段とによ
り構成している。
【０００８】このようにすれば、超音波振動子と被駆動
部材の押圧面での押圧力がバランスよく一様に調整でき
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載において、前
記押圧力調整手段は、超音波振動子と被駆動部材の押圧
面での押圧力が一様になるように調整される。
部材の押圧面での押圧力がバランスよく一様に調整でき
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載において、前
記押圧力調整手段は、超音波振動子と被駆動部材の押圧
面での押圧力が一様になるように調整される。
【０００９】このようにすれば、超音波振動子と被駆動
部材の押圧面での押圧力の不均一さから生じる摩擦力の
影響を除去できる。請求項３記載の発明は、請求項１記
載において、前記押圧力調整手段は、板バネと、この板
バネより押圧部材に作用されるバネ力を調整可能にした
弾性力調整用ネジを有している。このようにすれば、簡
単な構成で超音波振動子と被駆動部材の押圧面での押圧
力を調整できる。
部材の押圧面での押圧力の不均一さから生じる摩擦力の
影響を除去できる。請求項３記載の発明は、請求項１記
載において、前記押圧力調整手段は、板バネと、この板
バネより押圧部材に作用されるバネ力を調整可能にした
弾性力調整用ネジを有している。このようにすれば、簡
単な構成で超音波振動子と被駆動部材の押圧面での押圧
力を調整できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発
明が適用される超音波リニアモータの概略構成を示すも
ので、（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面
図を示している。
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発
明が適用される超音波リニアモータの概略構成を示すも
ので、（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面
図を示している。
【００１１】図において、２１は超音波振動子で、この
超音波振動子２１は、略直方体形状の弾性体２２を有し
ていて、この弾性体２２の上端部の長手方向に沿って矩
形の切欠２２ａを２ケ所設け、これら切欠２２ａに、そ
れぞれ積層型圧電素子２３を挟み込んで固定している。
また、弾性体２２の振動の腹となる下端面位置には、２
つの摺動部材２４を固着している。さらに、超音波振動
子２１は、２次の定在波の節となる位置であって、２つ
の積層型圧電素子２３の間となる弾性体２２両側面から
支持軸２５をそれぞれ突設している。
超音波振動子２１は、略直方体形状の弾性体２２を有し
ていて、この弾性体２２の上端部の長手方向に沿って矩
形の切欠２２ａを２ケ所設け、これら切欠２２ａに、そ
れぞれ積層型圧電素子２３を挟み込んで固定している。
また、弾性体２２の振動の腹となる下端面位置には、２
つの摺動部材２４を固着している。さらに、超音波振動
子２１は、２次の定在波の節となる位置であって、２つ
の積層型圧電素子２３の間となる弾性体２２両側面から
支持軸２５をそれぞれ突設している。
【００１２】そして、このような超音波振動子２１を挟
むように、その両側に一対の係合部材２６を配置し、こ
れら係合部材２６により超音波振動子２１両側に突出し
た支持軸２５を係合するようにしている。これら係合部
材２６は、その中間部に支持軸２５を係合する凹部２６
ａを有するとともに、基端部を固定部材２８側に設けた
軸部２９に回動可能に支持され、この軸部２９を中心と
した回動により支持軸２５を介して超音波振動子２１の
定在波の節に対応する位置に被駆動部材２７に対する押
圧力を作用させるようにしている。
むように、その両側に一対の係合部材２６を配置し、こ
れら係合部材２６により超音波振動子２１両側に突出し
た支持軸２５を係合するようにしている。これら係合部
材２６は、その中間部に支持軸２５を係合する凹部２６
ａを有するとともに、基端部を固定部材２８側に設けた
軸部２９に回動可能に支持され、この軸部２９を中心と
した回動により支持軸２５を介して超音波振動子２１の
定在波の節に対応する位置に被駆動部材２７に対する押
圧力を作用させるようにしている。
【００１３】この場合、固定部材２８は、一対の係合部
材２６をさらに挟むように配置されており、これら固定
部材２８の間に係合部材２６を回動自在に支持する軸部
２９を設けている。
材２６をさらに挟むように配置されており、これら固定
部材２８の間に係合部材２６を回動自在に支持する軸部
２９を設けている。
【００１４】固定部材２８は、取付けネジ３１により基
礎３０上に固定している。基礎３０は、超音波振動子２
１と、この振動子２１に押圧力を作用する係合部材２６
に対応する部分に長孔３０ａ（同図（ｃ））を形成した
もので、この長孔３０ａの長手方向側縁に沿って固定部
材２８を固定している。また、基礎３０は、長孔３０ａ
の底部にボール３２を介して被駆動部材２７を移動自在
に支持している。この被駆動部材２７は、超音波振動子
２１の長手方向に沿って配置され、超音波振動子２１の
超音波振動により摺動部材２４に押圧された状態で、基
礎３０のボール３２をガイドとして直線駆動するように
なっている。
礎３０上に固定している。基礎３０は、超音波振動子２
１と、この振動子２１に押圧力を作用する係合部材２６
に対応する部分に長孔３０ａ（同図（ｃ））を形成した
もので、この長孔３０ａの長手方向側縁に沿って固定部
材２８を固定している。また、基礎３０は、長孔３０ａ
の底部にボール３２を介して被駆動部材２７を移動自在
に支持している。この被駆動部材２７は、超音波振動子
２１の長手方向に沿って配置され、超音波振動子２１の
超音波振動により摺動部材２４に押圧された状態で、基
礎３０のボール３２をガイドとして直線駆動するように
なっている。
【００１５】一方、固定部材２８には、板バネ３２の基
端部を取付けネジ３１により固定している。この板バネ
３２は、係合部材２６に沿って配置され、その先端に弾
性力調整用ネジ３３を突設し、このネジ３３で係合部材
２６の先端部を押圧するようにしている。この場合、弾
性力調整用ネジ３３は、係合部材２６に対する突出量を
調整可能にしていて、この突出量を調整することによ
り、係合部材２６先端部に対する押圧力を可変できるよ
うにしている。
端部を取付けネジ３１により固定している。この板バネ
３２は、係合部材２６に沿って配置され、その先端に弾
性力調整用ネジ３３を突設し、このネジ３３で係合部材
２６の先端部を押圧するようにしている。この場合、弾
性力調整用ネジ３３は、係合部材２６に対する突出量を
調整可能にしていて、この突出量を調整することによ
り、係合部材２６先端部に対する押圧力を可変できるよ
うにしている。
【００１６】このような構成において、まず、弾性力調
整用ネジ３３の係合部材２６に対する突出量を可変し
て、板バネ３２により作用する係合部材２６先端部への
バネ力を調整する。このような弾性力調整用ネジ３３に
よる係合部材２６先端部に対するバネ力の調整は、超音
波振動子２１を挟むように配置される係合部材２６につ
いて各別に行われる。
整用ネジ３３の係合部材２６に対する突出量を可変し
て、板バネ３２により作用する係合部材２６先端部への
バネ力を調整する。このような弾性力調整用ネジ３３に
よる係合部材２６先端部に対するバネ力の調整は、超音
波振動子２１を挟むように配置される係合部材２６につ
いて各別に行われる。
【００１７】これにより、各係合部材２６は、軸部２９
を中心とした回動力が各別に調整され、係合部材２６の
凹部２６ａに係合される超音波振動子２１の各支持軸２
５には、それぞれ係合部材２６より調整された押圧力が
与えられ、超音波振動子２１の摺動部材２４を介した被
駆動部材２７に対する押圧力が調整される。
を中心とした回動力が各別に調整され、係合部材２６の
凹部２６ａに係合される超音波振動子２１の各支持軸２
５には、それぞれ係合部材２６より調整された押圧力が
与えられ、超音波振動子２１の摺動部材２４を介した被
駆動部材２７に対する押圧力が調整される。
【００１８】この場合、超音波振動子２１の摺動部材２
４と被駆動部材２７の押圧面での押圧力は、超音波振動
子２１を挟むように配置された係合部材２６からの押圧
力を別個に調整することで、押圧面各部について調整す
ることが可能になるので、モータを構成する各部材の組
み立て精度などによらず、摺動部材２４と被駆動部材２
７の押圧面での押圧力をバランスよく設定できるように
なる。
４と被駆動部材２７の押圧面での押圧力は、超音波振動
子２１を挟むように配置された係合部材２６からの押圧
力を別個に調整することで、押圧面各部について調整す
ることが可能になるので、モータを構成する各部材の組
み立て精度などによらず、摺動部材２４と被駆動部材２
７の押圧面での押圧力をバランスよく設定できるように
なる。
【００１９】そして、この状態から、超音波振動子２１
を駆動し、超音波振動子２１に超音波振動を発生させる
と、この超音波振動により、弾性体２２の振動の腹部分
に固着された摺動部材２４に押圧された被駆動部材２７
は、基礎３０のボール３２をガイドとして直線方向に駆
動されるようになる。
を駆動し、超音波振動子２１に超音波振動を発生させる
と、この超音波振動により、弾性体２２の振動の腹部分
に固着された摺動部材２４に押圧された被駆動部材２７
は、基礎３０のボール３２をガイドとして直線方向に駆
動されるようになる。
【００２０】従って、このようにすれば、超音波振動子
２１の摺動部材２４と被駆動部材２７の押圧面各部での
押圧力を、超音波振動子２１を挟むように配置された係
合部材２６からの押圧力を別個に調整することにより、
バランスよく一様に調整できるようになり、かかる押圧
面での押圧力の不均一さから生じる摩擦力の影響による
モータの性能のバラツキや動作の安定性を阻害する原因
も除去でき、安定した動作を得られるようになる。 （第２の実施の形態）図２（ａ）（ｂ）は、本発明の第
２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には、同符号を付している。
２１の摺動部材２４と被駆動部材２７の押圧面各部での
押圧力を、超音波振動子２１を挟むように配置された係
合部材２６からの押圧力を別個に調整することにより、
バランスよく一様に調整できるようになり、かかる押圧
面での押圧力の不均一さから生じる摩擦力の影響による
モータの性能のバラツキや動作の安定性を阻害する原因
も除去でき、安定した動作を得られるようになる。 （第２の実施の形態）図２（ａ）（ｂ）は、本発明の第
２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には、同符号を付している。
【００２１】この場合、超音波振動子２１の両側に配置
される係合部材２６の先端部には、それぞれ弾性力調整
軸４１を設けている。これら弾性力調整軸４１は、先端
にネジ頭４１ａを有し、このネジ頭４１ａと係合部材２
６先端部との間にコイルバネ４２を介在させ、さらに、
この係合部材２６先端部を貫通して基礎３０に螺装して
いる。
される係合部材２６の先端部には、それぞれ弾性力調整
軸４１を設けている。これら弾性力調整軸４１は、先端
にネジ頭４１ａを有し、このネジ頭４１ａと係合部材２
６先端部との間にコイルバネ４２を介在させ、さらに、
この係合部材２６先端部を貫通して基礎３０に螺装して
いる。
【００２２】このようにすると、係合部材２６先端部に
設けた弾性力調整軸４１のネジ頭４１ａにドライバーの
ような工具を当てて基礎３０に対する弾性力調整軸４１
の捩じ込み量を調整し、コイルバネ４２の係合部材２６
に対するバネ力を調整することにより、超音波振動子２
１の摺動部材２４を介した被駆動部材２７に対する押圧
力が調整される。この場合も、超音波振動子２１の摺動
部材２４と被駆動部材２７の押圧面での押圧力は、超音
波振動子２１を挟むように配置された係合部材２６から
の押圧力を別個に調整することにより、押圧面各部につ
いて調整することが可能になる。
設けた弾性力調整軸４１のネジ頭４１ａにドライバーの
ような工具を当てて基礎３０に対する弾性力調整軸４１
の捩じ込み量を調整し、コイルバネ４２の係合部材２６
に対するバネ力を調整することにより、超音波振動子２
１の摺動部材２４を介した被駆動部材２７に対する押圧
力が調整される。この場合も、超音波振動子２１の摺動
部材２４と被駆動部材２７の押圧面での押圧力は、超音
波振動子２１を挟むように配置された係合部材２６から
の押圧力を別個に調整することにより、押圧面各部につ
いて調整することが可能になる。
【００２３】従って、このようにしても、第１の実施の
形態と同様な効果を期待でき、さらに係合部材２６先端
部にコイルバネ４２を有する弾性力調整軸４１を設ける
だけなので、第１の実施の形態の板バネ３２先端に弾性
力調整用ネジ３３を設けたものと比べ、構成を簡単にで
きる。 （第３の実施の形態）図３（ａ）（ｂ）は、本発明の第
３の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には、同符号を付している。
形態と同様な効果を期待でき、さらに係合部材２６先端
部にコイルバネ４２を有する弾性力調整軸４１を設ける
だけなので、第１の実施の形態の板バネ３２先端に弾性
力調整用ネジ３３を設けたものと比べ、構成を簡単にで
きる。 （第３の実施の形態）図３（ａ）（ｂ）は、本発明の第
３の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には、同符号を付している。
【００２４】この場合、超音波振動子２１の両側に配置
される係合部材２６の先端部には、それぞれ弾性力調整
用の捩じりコイルバネ５１を設けている。これら捩じり
コイルバネ５１は、中空部に挿入された軸体５２を介し
て基礎３０に支持している。また、これら捩じりコイル
バネ５１の一方端部を基礎３０に螺装された調整ビス５
３先端に当接し、さらに他端部を係合部材２６の先端部
に各別に当接している。
される係合部材２６の先端部には、それぞれ弾性力調整
用の捩じりコイルバネ５１を設けている。これら捩じり
コイルバネ５１は、中空部に挿入された軸体５２を介し
て基礎３０に支持している。また、これら捩じりコイル
バネ５１の一方端部を基礎３０に螺装された調整ビス５
３先端に当接し、さらに他端部を係合部材２６の先端部
に各別に当接している。
【００２５】このようにすると、基礎３０に螺装された
調整ビス５３先端にドライバーのような工具を当てて捩
じりコイルバネ５１に対する調整ビス５３の突出量を調
整し、コイルバネ５１の捩じりを可変して係合部材２６
に対するバネ力を調整することにより、超音波振動子２
１の摺動部材２４を介した被駆動部材２７に対する押圧
力が調整される。この場合も、超音波振動子２１の摺動
部材２４と被駆動部材２７の押圧面での押圧力は、超音
波振動子２１を挟むように配置された係合部材２６から
の押圧力を別個に調整することにより、押圧面各部につ
いて調整することが可能になる。
調整ビス５３先端にドライバーのような工具を当てて捩
じりコイルバネ５１に対する調整ビス５３の突出量を調
整し、コイルバネ５１の捩じりを可変して係合部材２６
に対するバネ力を調整することにより、超音波振動子２
１の摺動部材２４を介した被駆動部材２７に対する押圧
力が調整される。この場合も、超音波振動子２１の摺動
部材２４と被駆動部材２７の押圧面での押圧力は、超音
波振動子２１を挟むように配置された係合部材２６から
の押圧力を別個に調整することにより、押圧面各部につ
いて調整することが可能になる。
【００２６】従って、このようにしても、第１の実施の
形態と同様な効果を期待でき、さらに係合部材２６先端
部に捩じりコイルバネ５１を設けるだけなので、第１の
実施の形態の板バネ３２先端に弾性力調整用ネジ３３を
設けたものと比べ、構成を簡単にできる。
形態と同様な効果を期待でき、さらに係合部材２６先端
部に捩じりコイルバネ５１を設けるだけなので、第１の
実施の形態の板バネ３２先端に弾性力調整用ネジ３３を
設けたものと比べ、構成を簡単にできる。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、超
音波振動子と被駆動部材の押圧面での押圧力がバランス
よく一様に調整できるようになり、かかる押圧面での押
圧力の不均一さから生じる摩擦力の影響によるモータの
性能のバラツキや動作の安定性を阻害する原因も除去で
き、安定した動作を得られる超音波リニアモータを提供
できる。
音波振動子と被駆動部材の押圧面での押圧力がバランス
よく一様に調整できるようになり、かかる押圧面での押
圧力の不均一さから生じる摩擦力の影響によるモータの
性能のバラツキや動作の安定性を阻害する原因も除去で
き、安定した動作を得られる超音波リニアモータを提供
できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図２】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図３】本発明の第３の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図４】従来の超音波リニアモータの概略構成を示す
図。
図。
【図５】従来の超音波リニアモータを説明するための
図。
図。
２１…超音波振動子、 ２２…弾性体、 ２２ａ…切欠、 ２３…積層型圧電素子、 ２４…摺動部材、 ２５…支持軸、 ２６…係合部材、 ２６ａ…凹部、 ２７…被駆動部材、 ２８…固定部材、 ２９…軸部、 ３０…基礎、 ３０ａ…長孔、 ３１…取付けネジ、 ３２…ボール、 ３３…弾性力調整用ネジ、 ４１…弾性力調整軸、 ４１ａ…ネジ頭、 ４２…コイルバネ、 ５１…捩じりコイルバネ、 ５２…軸体、 ５３…調整ビス。
Claims (3)
- 【請求項１】 電気−機械エネルギー変換素子を有する
超音波振動子により被駆動部材を押圧することで該被駆
動部材を駆動するようにした超音波リニアモータにおい
て、 前記超音波振動子を挟むように配置され、前記超音波振
動子の定在波の節に対応する位置に前記被駆動部材に対
する押圧力を作用させる一対の押圧部材と、 これら押圧部材を回動可能に支持する支持部材と、 前記一対の押圧部材にそれぞれ設けられ、これら押圧部
材による前記被駆動部材への押圧力を各別に調整可能と
した押圧力調整手段とを具備したことを特徴とする超音
波リニアモータ。 - 【請求項２】 前記押圧力調整手段は、超音波振動子と
被駆動部材の押圧面での押圧力が一様になるように調整
されることを特徴とする請求項１記載の超音波リニアモ
ータ。 - 【請求項３】 前記押圧力調整手段は、板バネと、この
板バネより押圧部材に作用されるバネ力を調整可能にし
た弾性力調整用ネジを有することを特徴とする請求項１
記載の超音波リニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9015311A JPH10215588A (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 超音波リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9015311A JPH10215588A (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 超音波リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10215588A true JPH10215588A (ja) | 1998-08-11 |
Family
ID=11885251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9015311A Withdrawn JPH10215588A (ja) | 1997-01-29 | 1997-01-29 | 超音波リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10215588A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017051040A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
-
1997
- 1997-01-29 JP JP9015311A patent/JPH10215588A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017051040A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040406 |