JPH1022199A

JPH1022199A - 回転式現像処理装置

Info

Publication number: JPH1022199A
Application number: JP8174750A
Authority: JP
Inventors: Osamu Shimada; 治島田; Hideaki Mito; 秀明水戸
Original assignee: Matsushita Electronics Corp
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-07-04
Filing date: 1996-07-04
Publication date: 1998-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】回転式現像装置で発生するミストのウエハへ
の付着により現像パターン不良が発生し歩留り低下を引
き起こす。【解決手段】ウエハチャックを持ちウエハを吸着回転
できるスピナー部３１と、カップ排気口４４及びカップ
廃液口４６をもつカップ３２と、前記カップと内接し上
部をカバーするカップ上部カバー３３と、前記カップ上
部カバー及びカップ全体を収納しウエハ取り込み取り出
し口４０とを有する外周カバー部３５と、現像液を吐出
する現像ノズル４１とリンス液を吐出する裏面リンスノ
ズル４２とリンスノズル４３からなる回転式現像処理装
置において、少なくとも外周カバー部の側面カバー３８
とカップ３２の側面部との間の真上の部分に外周カバー
部の上面カバー周辺開口部１を備えたことにより、気流
を調整してミストの付着を防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造におけ
る半導体基板の回転式現像処理装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の回転式現像処理装置は、カップ内
部に発生するミストの付着を防止するために、さまざま
な構成上の工夫がなされている。以下図面を参照しなが
ら従来の回転式現像処理装置の一例について説明する。
図２２は従来の回転式現像処理装置の第１例の構成の平
面図と断面図である。図２２において、３１はウエハチ
ャック、モーター、回転軸からなるスピナー部であり、
ウエハを吸着回転できる。３２はカップで円筒形をして
カップ排気口４４とカップ排気配管４５とカップ廃液口
４６とカップ廃液配管４７とを備える。３３はカップ上
部カバーでカップに内接上下移動する。４１は現像ノズ
ル、４２は裏面リンスノズル、４３はリンスノズルであ
る。３４はカップ内部カバーで廃液をカップ廃液口４６
へミストをカップ排気口４４へ導く。３５は外周カバー
部で前記各部全体を収納し開口部３７を有する上面カバ
ー３６、ウエハ取り込み取り出し口４０を有する側面カ
バー３８、底板３９を備える。従来の回転式現像処理装
置では、上面カバーの開口部３７は図２３に示すように
ないものや、逆に上面カバーが存在しないものもある。

【０００３】以上のように構成された回転式現像処理装
置について、以下その動作について説明する。

【０００４】まず、スピナー部３１にウエハ４８を真空
吸着し、現像ノズル４１より現像液を低速回転するウエ
ハ４８へ吐出し、ウエハ表面に現像液を液盛りし、その
後ウエハの回転を停止し現像する。次にウエハ４８を回
転させながらリンスノズル４３及び裏面リンスノズル４
２よりリンス液を吐出しリンスする。その後、ウエハ４
８は高速回転し、ウエハ表面を脱水し乾燥する。その際
に多量のミストを発生するが、カップ内部カバー３４に
ガイドされ排気口４４より強制排気されるため、カップ
内のミストは、そのほとんどがウエハ４８へ付着するこ
とはなく正常な現像処理がなされる。その後、スピナー
部３１の回転が停止し、カップ上部カバー３３そしてカ
ップ３４が下降し、ウエハ交換が行われ、ウエハ４８は
ウエハ取り込み取り出し口４０より出ていく。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の回転式現像処理装置では、図７の（ａ）に示すよ
うにカップ３２とカップ上部カバー３３との間の隙間５
２からカップ外部へミスト４９が漏れ、カップ外へ漏れ
たミストが図７（ｂ）のようにカップ上部へ回り込みカ
ップ内部のウエハへ再付着したり、図７（ｃ）のように
外周カバー内部にミストが残留し、ウエハ交換時にウエ
ハへ付着したり、図７（ｄ）のようにウエハ取り込み取
り出し口４０より現像前の待機しているウエハ５０にミ
ストが付着したり、また外周カバー部上面カバーに付着
したダスト５１が、回転脱水時の振動でウエハ４８へ落
下するという問題があった。図２３に示すような上部カ
バーに開口部のない密閉タイプのものは、特に図７
（ｂ）のミスト付着が多く、逆に上部カバーのない開放
タイプのものは、図７（ｄ）のミスト付着が多くまたカ
バーの目的とする作業者の安全面で問題がある。したが
って、従来例では図２２に示すように上部カバーの一部
が開口しているものが最も良好である。しかしながら、
図７（ｃ）のケースのようにカップ外ミストがウエハへ
付着するという課題があった。

【０００６】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で特にカップ外ミストがウエハに付着することを防止す
ることを目的とする回転式現像処理装置を提供するもの
である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の第１の手段は、ウェハチャックを持ちウエハ
を吸着回転できるスピナー部と、排気口及び廃液口をも
つカップと、前記カップと内接し上部をカバーするカッ
プ上部カバーと、前記カップ上部カバー及びカップ全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する外周カバー
部と、現像液を吐出する現像ノズルと、リンス液を吐出
するリンスノズルからなる回転式現像処理装置におい
て、外周カバー部の上面カバー周辺開口部を少なくとも
外周カバー部の側面カバーとカップの側面部の間の真上
の部分に備えたものである。

【０００８】第２の手段は、外周カバー部の上面カバー
の開口部の上部または下部に駆動式遮閉板を備えたもの
である。

【０００９】第３の手段は、開口率が１０％以上４０％
以下となる外周カバー部の上面カバーを備えたものであ
る。

【００１０】第４の手段は、ウエハ現像処理部の真上の
部分を全て開口した外周部の上面カバー中央大開口部を
備えたものである。

【００１１】第５の手段は、カップの外領域で外周カバ
ー部の底部またはその近傍に排気口を備えたものであ
る。

【００１２】第６の手段は、第５の手段の外周カバー部
の排気口が配管上の多数の穴からなることを特徴とする
排気口を有するものである。

【００１３】第７の手段は、第５の手段の外周カバー部
の排気口を備えた第１の手段の上面カバー開口部を有す
るものである。

【００１４】第８の手段は、カップ上部カバーの上面外
向きに外周カバー部に近接するカップ上部上面外カバー
と前記カップ上部上面外カバーと連結し外周部側面カバ
ーに近接し下方へ延びウエハ取り込み取り出し口を開閉
するカップ上部外側面カバーを備えたものである。

【００１５】第９の手段は、外周カバー部上面に送風機
を備えたものである。第１０の手段は、第９の手段の外
周カバー部上部に送風機を備えかつカップの外部領域で
外周カバー底部またはその近傍に排気口を備えたもので
ある。

【００１６】第１１の手段は、カップ上部カバーに蛇腹
状の折り畳み円筒形のカップ上部蛇腹状側面カバーを備
えたものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を参照しながら説明する。図１は、第１の実施形態を示
す回転式現像処理装置の構成図で請求項１に該当する。
図１（ａ），（ｂ）はそれぞれ回転式現像処理装置の上
面カバーの平面図と断面図である。図１（ａ）の平面図
は、図１（ｂ）の断面図で指示のｙ１の部分を示す。

【００１８】次に本装置の構成要素を説明する。３１は
スピナー部であり、モータと回転軸とウエハチャックか
らなる。３２はカップで円筒形をしてカップ排気口４４
及びカップ排気配管４５、カップ廃液口４６及びカップ
廃液配管４７からなる。３３はカップ上部カバーで、カ
ップに内接し上下移動する。４１は現像ノズル、４２は
裏面リンスノズル、４３はリンスノズルである。３４は
カップ内部カバーで廃液をカップ廃液口４６へミストを
カップ排気口４４へ導く。３５は外周カバー部で前記各
部全体を収納し、上面カバー開口部３７及び上面カバー
周辺開口部１を有する上面カバー３６、ウエハ取り込み
取り出し口４０を有する側面カバー３８、底板３９を備
える。

【００１９】次に上記構成において、動作を説明する。
スピナー部３１のウエハチャック上で真空吸着されたウ
エハ４８へ現像ノズル４１より現像液が吐出される。そ
して現像液は、低速回転するウエハ表面に液が盛られ、
約１分間静止状態で現像する。次に、リンスノズル４３
及び裏面リンスノズル４２からリンス液が吐出される。
この時スピナー部３１の回転数は、１０００［ｒｐｍ／
ｍｉｎ］、リンス液は超純水である。その後、４０００
〜６０００［ｒｐｍ／ｍｉｎ］で高速回転脱水する。現
像液及びリンス液はカップ廃液口４６へ流れ、高速回転
時に発生するカップ内のミストはカップ排気口４４より
吸収される。その後、スピナー部３１は停止し、カップ
下部及びカップ上部がそれぞれ下方へ下がり、ウエハ交
換が行われる。ウエハ交換時のカップの状態を図２
（ｂ）に示す。上記動作において図２（ａ）に示すよう
に高速回転脱水時に、カップ３２とカップ上部カバー３
３の隙間５２よりカップ外に発生したミストは、上面カ
バーの周辺開口部１から入る気流により下方へ移動す
る。通常、現像機はクリーンルーム内に設置されるた
め、常時０．３〜０．８［ｍ／ｓｅｃ］の下方への風量
を受けているため、上面カバーを開口すればある程度の
下方への風量が得られる。またそれと同時に、外周カバ
ー部の底板は、カップ排気配管やスピナー部を通す穴の
隙間があり、その隙間より装置下へミストはゆっくりと
引かれる。図３にクリーンルームに設置された現像装置
の簡略的な断面図を示す。５５は天井、５６は通気の
床、５７は現像装置、５８は現像装置外周カバー部、５
９はメンテナンスルームの壁、６０は通気のない床を示
す。（ａ）（ｂ）の２種類のクリーンルームの例を示し
たが、いずれの場合も現像装置外周カバー部は下方への
気流が存在し、ミストはその気流に沿ってゆっくりと流
れる。したがって、図２（ｂ）に示すようにウエハ交換
の際、外周カバー部内のミストは、前記気流の影響でウ
エハの下方へ移動しているため、ウエハへミストが付着
することはなく、現像パターン不良を防止することがで
きる。

【００２０】図４は、第２の実施形態を示す回転式現像
処理装置の構成図で請求項２及び３に該当する。図４は
回転式現像処理装置の上面カバー平面図と断面図であ
る。平面図は、断面図指示のｙ１の部分を示す。図の番
号は第１の実施形態と同様であるが、１３は遮閉板で１
４の駆動軸を介し、ステップモータ１５にて制御され
る。

【００２１】上記構成において、動作を図５において説
明する。１３の遮閉板が１４の駆動軸を介して、１５の
ステップモータで図面の左右方向に移動させることがで
き、希望の開口率の上面カバーをつくることができる。
また、シーケンス制御することで、現像処理途中に上面
カバーの開口率を変更できる。図６に上面カバー開口率
と現像処理後のパターン欠陥率の関係を示す。Ａは排気
量、上部の送風量、カップ外部排気量の強い条件でＢは
逆に弱い条件である。カップ内排気量やカバー上部から
の送風量、カップ外の排気量により開口率最適値が異な
るため、開口率を制御し現像パターン不良を防止するこ
とができる。逆にカップ内排気量は、ウエハ表面に現像
液を盛るパドル現像の場合、現像（寸法）均一性の見地
から使用する条件に制約され、例えば１０〜２０［ｍｍ
Ｈ₂Ｏ］の範囲である。天井からの送風量もクリーンル
ームの設置条件であるため安易に変更できない。したが
ってミストを微妙に制御する方法として、外周部上面カ
バーの開口率が有効となる。図６のデータより条件に関
係なく、開口率１０〜４０［％］であれば、ある程度パ
ターン欠陥率が少ないことがわかる。開口率が小さい場
合は、図７（ｂ）に示すように回り込みによるミストが
ウエハへ付着し、開口率が大きい場合には、図７（ｄ）
に示すように、外周カバーの外へミストが漏れ、外のウ
エハへ付着するためである。市販装置の上面カバーは、
現像処理部真上のみ一部開口されたものがあるが、開口
率は５〜８％である。なお、開口率は外周カバー部の最
大領域の面積に対する上面カバーの開口部の面積比で定
義される。また、ステップモータ等によりシーケンス制
御をすることで、現像ノズルがスプレータイプの場合に
発生する現像液の原液ミストの飛散を現像液の吐出の時
だけ上面カバーを閉じることによって防ぐことができ
る。

【００２２】図８は、第３の実施形態を示す回転式現像
処理装置の構成図で請求項４に該当する。図８は回転式
現像処理装置の上面カバー平面図と断面図である。平面
図は、断面図指示のｙ１の部分を示す。図の番号は第１
の実施形態と同様である。２は上面カバー中央大開口部
で、直径ｄ１は少なくともウェハ直径ｄ２より大きい。
図９に示すように、安全性のため最低限の編み目状カバ
ー２９をつけることもある。

【００２３】上記構成において動作を説明する。上面カ
バーが存在すれば、上面カバーの内側にダスト５１が付
着し、振動等によりウエハへダストが落下付着する場合
があるが、本実施形態のようにウエハ上にカバーが存在
しないため、ダストがウエハへ付着することがなくパタ
ーン不良を防ぐことができる。

【００２４】図１０は、第４の実施形態を示す回転式現
像処理装置の構成図で請求項５に該当する。図１０の
（ａ）は断面図とｙ１で指示した上面カバーの平面図
で、図１０（ｂ）は断面図とｙ２で指示した外周カバー
部の底部の平面図である。図の番号は第１の実施形態と
同様である。３は外周カバー部排気口で４は外周カバー
部排気配管である。上記構成において図１１で動作を説
明する。図１１（ａ）に示すように、高速回転脱水時に
発生しカップ外へ出たミストは、速やかに排気口３から
排気配管４へ引き込まれ、図１１（ｂ）に示すようにウ
エハ交換の際にはほとんどのカップ外ミストは存在しな
いため、ミストがウエハへ付着することはない。

【００２５】図１２は第５の実施形態を示す回転式現像
処理装置の構成図で請求項６に該当する。図１２の
（ａ）は断面図とｙ１で指示した上面カバーの平面図
で、図１２（ｂ）は断面図とｙ２で指示した外周カバー
部の底部の平面図である。本実施形態の構成は第４の実
施形態の構成に加え、排気口６を複数有する外周カバー
部穴開き排気配管５を備える。外周カバー部穴開き排気
配管５は、図１３（ａ）に示すようなもので、図１３
（ｂ）に示す３方配管７などで排気配管４と接続する。
外周カバー部穴開き排気配管５を備えることで、第４の
実施形態よりも、より均等に外周カバー部全体のミスト
を吸引できるため、より確実にミストのウエハへの付着
を防止できる。図１３（ｃ），（ｄ）は接続状態を示す
平面図であり、８は障害物であり、３９は底板である。

【００２６】図１４は、第６の実施形態を示す回転式現
像処理装置の構成図で請求項７に該当する。図１４の
（ａ）は回転式現像処理装置の上面カバー平面図と断面
図である。平面図は、断面図指示のｙ１の部分を示す。
図１４の（ｂ）は装置底部の平面図と断面図である。平
面図は、断面図指示のｙ２の部分を示す。本装置の構成
要素を説明する。３１はスピナー部であり、モータと回
転軸とウエハチャックからなる。３２はカップで円筒形
をしてカップ排気口４４及びカップ排気配管４５、カッ
プ廃液口４６及びカップ廃液配管４７からなる。３３は
カップ上部カバーでカップに内接し上下移動する。４１
は現像ノズル、４２は裏面リンスノズル、４３はリンス
ノズルである。３４はカップ内部カバーで廃液をカップ
廃液口４６へミストをカップ排気口４４へ導く。３５は
外周カバー部で前記各部全体を収納し、中央の開口部３
７及び周辺開口部１を有する上面カバー３６、ウエハ取
り込み取り出し口４０を有する側面カバー３８、底板３
９を備える。１は上面カバー周辺開口部、４は外周カバ
ー部排気配管で５の外周カバー部穴開き排気配管に連結
する。５の外周カバー部穴開き排気配管は、６の多数の
排気口を有する。

【００２７】上記構成において動作を説明する。スピナ
ー部３１のウエハチャック上で真空吸着されたウエハ４
８へ現像ノズル４１より現像液が吐出される。現像液は
低速回転するウエハ表面に液が盛られ、約１分間静止状
態で現像する。次に、リンスノズル４３及び裏面リンス
ノズル４２からリンス液が吐出される。この時スピナー
部３１の回転数は１０００［ｒｐｍ／ｍｉｎ］、リンス
液は超純水である。その後、４０００〜６０００［ｒｐ
ｍ／ｍｉｎ］で高速回転脱水する。現像液及びリンス液
は、カップ廃液口４６へ流れ、高速回転時に発生するカ
ップ内のミストは、カップ排気口４４より吸収される。
その後、スピナー部３１は停止し、カップ下部及びカッ
プ上部がそれぞれ下方へ下がり、ウエハ交換が行われ
る。ウエハ交換時のカップの状態を図１５（ａ），
（ｂ）に示す。上記動作において図１５（ａ）に示すよ
うに高速回転脱水時に、カップ３２とカップ上部カバー
３３の隙間５２よりカップ外に発生したミストは、上面
カバー周辺開口部から入り、外周カバー部排気口３へ吸
収される気流により速やかに下方へ移動する。上面カバ
ーの開口部からの送風と、底板の排気が両方揃うこと
で、カップ外のミスト排除効果が一段と増す。したがっ
て、ウエハ交換の際外周カバー内にミストはなくウエハ
へミストが付着することはなく、現像パターン不良を防
止することができる。

【００２８】図１６は第７の実施形態を示す回転式現像
処理装置である。カップ上部の上面外周に外周カバー部
に近接するカップ上部上面外カバー９と前記カバー９に
連結し、外周カバー部側面カバー３８に近接し下方へ延
び、ウエハ取り込み取り出し口４０を開閉するカップ上
部外側面カバー１９を有する構成である。動作は図１７
において説明する。図１７（ａ）に示すように、カップ
３２とカップ上部カバー３３との間から外へ出たミスト
４９は、カップ上部上面外カバー９とカップ上部外側面
カバー１９に囲まれており、カップ上部へ回り込んだり
ウエハ取り込み取り出し口４０から外へ出ることはな
い。現像工程処理終了後、図１７（ｂ）に示すように、
カップ３２、カップ上部カバーとともにカップ上部上面
外カバー９及びカップ上部外側面カバー１９も下方へ移
動しその際、ミスト４９も下方へ運ばれる。したがっ
て、カップ外へミストを出さず、またウエハ交換の際に
ウエハ周囲にミストは存在せず、その結果ウエハへミス
トが付着することはなく現像パターン不良を防止するこ
とができる。

【００２９】図１８は第８の実施形態を示す回転式現像
処理装置である。構成要素は、従来例の上面カバーに吸
気口１１を有した送風機１０を設ける。送風機は風速測
定装置や制御機構を備え安定した送風を可能とする。温
度制御はある方が好ましい。動作は第１の実施形態と同
様であり、送風機より安定した風量がカップ内とカップ
外へ流れ、ミストのカップ内への回り込みを抑えること
ができる。また装置外部の環境、例えば天井からの送風
量に影響されず、より安定した送風が得られミストのウ
エハへの付着を防止できる。

【００３０】図１９は第９の実施形態を示す回転式現像
処理装置である。構成要素は、前記実施形態に外周カバ
ー部排気口３と外周カバー部排気配管４を設ける。送風
機は風速測定装置や制御機構を備え、安定した送風を可
能とする。温度制御はある方が好ましい。動作は第８の
実施形態と同様であり、送風機より安定した風量がカッ
プ内とカップ外へ流れ、ミストのカップ内への回り込み
を抑えることができ、カップ外のミストを速やかに排気
口３より引き込み、ウエハ交換時のウエハへのミスト付
着を防止する。また装置外部の環境、例えば天井からの
送風量に影響されず、またクリーンルームの気流による
装置下部の引き込み量にも影響されず、より安定した送
風が得られミストのウエハへの付着を防止できる。

【００３１】図２０は第１０の実施形態を示す回転式現
像処理装置である。構成要素は、従来例のカップ上部カ
バー３３の部分にカップ３２と直接接続した折り畳み式
円筒形のカップ上部蛇腹状側面カバー１２を有する。動
作は、図２１に示すようにカップ３２に折り畳み式円筒
形のカップ上部蛇腹状側面カバー１２が直接接続されて
いるため、従来カップ上部カバーとの間に存在した隙間
がなく、カップ内に発生したミストが外へ漏れることが
ない。ウエハ交換時にカップ上部蛇腹状側面カバー１２
は、図２１（ｂ）に示すように折り畳むことにより下方
へ移動することができる。したがって、ミストがウエハ
へ付着することなしにウエハを交換することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
ではカップ外ミストのウエハへの付着を防止し現像不良
によるパターン欠陥率を低減する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態における回転式現像処
理装置を示す図

【図２】本発明の第１の実施形態における回転式現像処
理装置の動作を説明する図

【図３】本発明の第１の実施形態におけるクリーンルー
ムに設置された回転式現像処理装置を示す図

【図４】本発明の第２の実施形態における回転式現像処
理装置の図

【図５】本発明の第２の実施形態における回転式現像処
理装置の動作を説明する図

【図６】本発明の第２の実施形態における開口率とパタ
ーン欠陥率との関係を示す図

【図７】従来の回転式現像処理装置の動作を説明する図

【図８】本発明の第３の実施形態における回転式現像処
理装置を示す図

【図９】本発明の第３の実施形態における回転式現像処
理装置を示す図

【図１０】本発明の第４の実施形態における回転式現像
処理装置を示す図

【図１１】本発明の第４の実施形態における回転式現像
処理装置の動作を説明する図

【図１２】本発明の第５の実施形態における回転式現像
処理装置を示す図

【図１３】本発明の第５の実施形態における回転式現像
処理装置の部品を示す図

【図１４】本発明の第６の実施形態における回転式現像
処理装置を示す図

【図１５】本発明の第６の実施形態における回転式現像
処理装置の動作を説明する図

【図１６】本発明の第７の実施形態における回転式現像
処理装置を示す図

【図１７】本発明の第７の実施形態における回転式現像
処理装置の動作を説明する図

【図１８】本発明の第８の実施形態における回転式現像
処理装置を示す図

【図１９】本発明の第９の実施形態における回転式現像
処理装置を示す図

【図２０】本発明の第１０の実施形態における回転式現
像処理装置を示す図

【図２１】本発明の第１０の実施形態における回転式現
像処理装置の動作を説明する図

【図２２】従来の回転式現像処理装置を示す図

【図２３】従来の回転式現像処理装置を示す図

【符号の説明】

１上面カバー周辺開口部２上面カバー中央大開口部３外周カバー部排気口４外周カバー部排気配管５外周カバー部穴開き排気配管６外周カバー部穴開き排気配管排気口７三方配管８障害物９カップ上部上面外カバー１０送風機１１吸気口１２カップ上部蛇腹状側面カバー１３遮閉板１４駆動軸１５ステップモータ１９カップ上部外側面カバー２９編み目状カバー３１スピナー部３２カップ３３カップ上部カバー３４カップ内部カバー３５外周カバー部３６上面カバー３７上面カバー開口部３８側面カバー３９底板４０ウエハ取り込み取り出し口４１現像ノズル４２裏面リンスノズル４３リンスノズル４４カップ排気口４５カップ排気配管４６カップ廃液口４７カップ廃液配管４８ウエハ４９ミスト５０待機ウエハ５１付着ダスト５２隙間５５天井５６通気のある床５７現像装置５８現像装置外周カバー部５９壁６０通気のない床

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェハチャックを備えウェハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、少なくとも外周カバー
部の側面カバーとカップの側面部との間の真上の部分に
外周カバー部の上面カバーの開口部を備えた回転式現像
処理装置。
【請求項２】ウェハチャックを備えウエハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、外周カバー部の上面カ
バーの開口部の上部または下部に駆動式遮閉板を備えた
回転式現像処理装置。
【請求項３】ウェハチャックを備えウエハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、開口率が１０％以上４
０％以下となる外周カバー部の上面カバーを備えた回転
式現像処理装置。
【請求項４】ウェハチャックを備えウエハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する駆動式現像ノズルとリンス液
を吐出する駆動式リンスノズルと裏面リンスノズルから
なるノズル部と、前記カップ上部カバー及びカップ及び
ノズル部全体を収納しウエハ取り込み取り出し口を有す
る側面カバーと、底板と上面カバーで構成される外周カ
バー部からなる回転式現像処理装置において、ウエハ現
像処理部の真上の部分を開口した外周カバー部の上面カ
バーを備えた回転式現像処理装置。
【請求項５】ウェハチャックを備えウエハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、カップの外部領域で外
周カバー部の底部またはその近傍に排気口を備えた回転
式現像処理装置。
【請求項６】外周カバー部の排気口が配管上の多数の
穴からなることを特徴とする請求項５記載の回転式現像
処理装置。
【請求項７】請求項５記載の外周カバー部の排気口を
備えることを特徴とする請求項１記載の回転式現像処理
装置。
【請求項８】ウェハチャックを備えウエハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、カップ上部カバーの上
面外向きに外周カバー部側面カバーに近接するカップ上
部上面外カバーと前記カップ上部上面外カバーと連結し
外周カバー部側面カバーに近接し下方へ延びウエハ取り
込み取り出し口を開閉するカップ上部外側面カバーを備
えた回転式現像処理装置。
【請求項９】ウェハチャックを備えウエハを吸着回転
できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、外周カバー部上面に送
風機を備えた回転式現像処理装置。
【請求項１０】請求項９記載の外周カバー部上部に送
風機を備えかつカップの外部領域で外周カバー底部また
はその近傍に排気口を備えた請求項５記載の回転式現像
処理装置。
【請求項１１】ウェハチャックを備えウエハを吸着回
転できるスピナー部と、排気口及び廃液口をもつカップ
と、前記カップと隣接し上部をカバーするカップ上部カ
バーと、現像液を吐出する現像ノズルとリンス液を吐出
するリンスノズルと裏面リンスノズルからなるノズル部
と、前記カップ上部カバー及びカップ及びノズル部全体
を収納しウエハ取り込み取り出し口を有する側面カバー
と、底板と上面カバーで構成される外周カバー部からな
る回転式現像処理装置において、カップ上部カバーに蛇
腹状の折り畳み円筒形をしたカップ上部蛇腹状側面カバ
ーを備えた回転式現像処理装置。