JPH1022364A

JPH1022364A - 搬送装置における吸着ハンド

Info

Publication number: JPH1022364A
Application number: JP17624796A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Inukai; 泰弘犬飼
Original assignee: Mex KK
Current assignee: Mex KK
Priority date: 1996-07-05
Filing date: 1996-07-05
Publication date: 1998-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】撓んでいるワークでも確実に吸着保持して搬
送できる吸着ハンドを提供すること。【解決手段】搬送装置に取り付けられる吸着ハンド１
は、搬送アームに回動可能に支持されるハンド支持部２
と、ハンド支持部２にその軸心を中心に回動可能に配設
される少なくとも２個のハンド本体部３と、ハンド支持
部２内に配置され、それぞれのハンド本体部３に連結さ
れる駆動モータ４と、ハンド本体部３に固着される回動
軸５と、を備えて構成されている。それぞれの駆動モー
タ４の軸４ａにプーリ６が固定され、プーリ６と、それ
ぞれの回動軸５に取り付けられるプーリ８間にベルト７
が巻回され、駆動モータ４の作動によりそれぞれの回動
軸５を介してハンド本体部３が所定角度回転される。こ
の状態でワークＧをカセットより取り出すためにハンド
１が移動される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス基板等の
薄型ワークを搬送する搬送装置に関し、特に、撓みの生
じるガラス基板等を搬送するための搬送装置の吸着ハン
ドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、薄型ワークを搬送する搬送装置
は、カセットに収納されるワークを取り出し搬送するた
めに、ワークを吸着し直線的に移動するように作動され
る。そしてワークを吸着保持するハンドは、エア口を有
する１枚のプレート状に形成され搬送アーム上に取り付
けられている。エア口はエア通路を介して真空ポンプに
配管される配管部材に接続される。そして、ハンドが、
搬送される１枚のワーク直下に移動され、ワークを吸着
保持するためにワーク下面に接触すると真空ポンプの作
動により、ワークを吸着する。その後ワークを持ち上げ
次工程装置に搬送する。

【０００３】このハンドの形状は、図９に示されるよう
に、ワークの種類によって、それぞれ異なる。例えば、
面積の大きい正方形のガラス基板であれば、図９（ａ）
に示されるような先端部が２つに別れるタイプのものが
使用され、ワークが比較的小さいものであれば、図９
（ｂ）に示されるように、略しゃもじ状に形成されるタ
イプのものや、図９（ｃ）に示されるように、先端部に
フランジ部が形成されているタイプのものが使用され
る。しかし、いずれにしても１枚のプレート状に形成さ
れ、その元部が搬送アームに回動可能に軸支されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ガラス基板等のワーク
は、通常、薄型に形成されその厚みに対して平面視にお
ける面積は比較的大きく形成されている。そのため、成
型時における熱処理の状況によっては僅かであるが全体
的にお椀状に撓んで変形したり、また、両端面だけが支
持されるようなカセットに載置されていると、中央部が
僅かに下方に撓むように変形される。しかし、従来の吸
着ハンドは、１枚のプレート状に形成されているため、
ガラス基板の撓みによる変形を吸収することができず、
ハンドがガラス基板を受け取りに行く際に、ハンドがガ
ラス基板に接触したり、また、場合によっては吸着ミス
を起こしてしまう。

【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、撓んでいるワークでも確実に吸着保持できる吸着
ハンドを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる搬送
装置の吸着ハンドでは、上記の課題を解決するために以
下のように構成するものである。即ち、支持台に収納さ
れるワークを吸着搬送するために、搬送装置に配設され
る吸着ハンドであって、前記吸着ハンドが、ワークを吸
着する少なくとも２個のハンド本体部と、前記ハンド本
体部を回動可能に支持するハンド支持部と、前記ハンド
本体部をその軸心を中心に所定角度回動させる駆動部
と、を有して構成されることを特徴とするものである。

【０００７】また、前記ハンド本体部が、それぞれのハ
ンド本体部に連結される別々の駆動モータによって駆動
されることを特徴とするものであればよい。

【０００８】さらに、前記ハンド本体部が、それぞれの
ハンド本体部に連結される１個の駆動モータによって駆
動されることを特徴とするものであってもよい。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１０】吸着ハンド（以下、ハンドという）１は、
図１の平面図、図２の断面図に示されるように、ハンド
支持部２と、ハンド支持部２にそれぞれ回動可能に並設
されるハンド本体部３、３と、それぞれのハンド本体部
３、３を回動可能に駆動する駆動モータ４、４及び回動
軸５、５と、を備えて構成されている。

【００１１】ハンド支持部２は、中空状の箱形に形成さ
れ、図示しない搬送アームの軸部に回動可能に取り付け
られるように、上下方向に軸穴２ａが形成されている。
ハンド支持部２内には小型の駆動モータ４が２個並設さ
れ、それぞれの駆動モータ４の軸４ａに、プーリ６が取
り付けられる。プーリ６にはベルト７の一方が巻回さ
れ、ベルト７の他方はハンド支持部２の端部側に配置さ
れるプーリ８に巻回されている。それぞれのプーリ８に
は回動軸５が固定され、回動軸５はハンド支持部２の前
方（図１中、右側）の壁２ｂに軸受９によって支持さ
れ、前方に向かって延設されハンド本体部３に連結され
ている。

【００１２】ハンド本体部３は、ハンド支持部３の下部
に形成され回動軸５がノックピン等によって固着される
軸連結部３ａと、軸連結部３ａの上部に形成されワーク
（例えばガラス基板）Ｇを保持する吸着部３ｂとを有し
て形成されている。吸着部３ｂにはエア口１０が２か所
形成され、エア口１０からハンド本体部３の後端までエ
ア通路１１が形成されている。そして、エア通路１１に
図示しない真空ポンプに連結される配管部材が接続され
る。

【００１３】このように構成されるハンド１は、周知の
搬送装置、例えば、図３に示されるように、機枠１３上
に配設される第１アーム１４、第２アーム１５を備える
搬送装置Ｍであったり、図４に示されるように、搬送ア
ーム１９が機枠２０に対して直線的に移動可能に配設さ
れる搬送装置Ｍ１等に取り付けられる。

【００１４】搬送装置Ｍの場合、第２アーム１５の先端
部に、第２アームに支持される軸１６に対して水平方向
に回動可能に取り付けられ、ガラス基板Ｇに対して直線
的に移動される。そして、図５に示されるように、カセ
ット１７に収納されるガラス基板Ｇはカセット１７内に
形成されるワーク支持部１８に両端部が支持されて配置
されている。ガラス基板Ｇは、成型時における熱処理の
影響や、カセット１７に両端部を支持されて載置される
ことによって、中央部が下方に向かって凹部を有するよ
うに僅かに撓んでいる。ハンド１がガラス基板Ｇに向か
って移動する前に、それぞれのハンド本体部３はガラス
基板Ｇのデータに基づいて予め、所定角度回転される。

【００１５】この制御について説明する。

【００１６】制御装置は搬送装置Ｍ内に配置されてい
て、カセット１７に載置されるガラス基板Ｇのサイズが
予め入力されている。基板Ｇのサイズによってその撓み
量のデータが記憶されているので、搬送される基板Ｇの
サイズを入力することによって、図６に示されるよう
に、吸着ハンド１のそれぞれのハンド本体部３、３がハ
ンド支持体２に対して、所定角度内側方向に回転され
る。

【００１７】この状態で第１アーム１４、第２アーム１
５が駆動されてハンド１がガラス基板Ｇの直下まで直線
的に移動されると、それぞれのハンド本体部３、３の吸
着部３ｂ、３ｂは、下方に撓んでいるガラス基板Ｇの下
面に対して略平行に配置されることになる。その後、ハ
ンド１がガラス基板Ｇを保持するために、上昇してガラ
ス基板Ｇの下面に接触し、真空ポンプが作動してガラス
基板Ｇを吸着保持する。そして、ガラス基板Ｇとともに
僅かに上昇し、次工程に移動する。

【００１８】またこのハンド１は、図７に示されるよう
に、ガラス基板Ｇの上方からガラス基板Ｇの上面を吸着
することもできる。この場合、入力されたガラス基板Ｇ
の撓み量に基づいて、ハンド本体部３を外側方向に所定
角度回転した後、第１アーム１４、第２アーム１５が駆
動され、ハンド１がガラス基板Ｇの直上に移動される。
そして、僅かに下降してガラス基板Ｇの上面に接触する
と、真空ポンプが作動してガラス基板Ｇを吸着する。そ
の後、僅かに上昇して次工程に移動される。

【００１９】なお、ガラス基板Ｇがカセット１７に上方
に向かって凹部を有するように載置されていれば、吸着
ハンド１のハンド本体部３は前述の回転と反対の方向に
回転されることになる。例えば、ガラス基板Ｇの下側か
ら吸着する場合であれば、ハンド本体部３は外側方向に
所定角度回転され、ガラス基板Ｇの上側から吸着する場
合は、ハンド本体部３は内側方向に所定角度回転され
る。

【００２０】図４に示される搬送装置Ｍ１において、搬
送アーム１９に取り付けられるハンド１の作用も上述と
同様である。

【００２１】次に、別の形態として、図８に示されるよ
うに、ハンド本体部２３を１個のモータ２４によって回
動する場合について説明する。ハンド２１のハンド支持
部２２は中空状の箱形に形成され、図示しない搬送アー
ムに回転可能に軸支される軸穴２２ａが上下方向に形成
されている。ハンド支持部２２内に、駆動モータ２４が
取り付けられ、モータ２４の軸２４ａに第１歯車２５が
取り付けられ、第１歯車２５の先端側に第１歯車２５と
並設されるように第１プーリ２６が取り付けられてい
る。そして、第１歯車２５に齒合される第２歯車２７
が、ハンド支持部２２に回転可能に配設される軸２９に
固定されている。軸２９の先端側には、第１プーリ２６
と並ぶように第２プーリ３０が取り付けられる。

【００２２】一方、ハンド支持部２２の駆動モータ２４
を挟んで両側に、回動軸３１、３１がハンド支持部２２
の前方の壁２２ｂに軸受３２を介してそれぞれ支持され
て配設されている。それぞれの回動軸３１、３１に、第
１プーリ２６と対応する第３プーリ３３が一方の回動軸
３１に取り付けられ、第２プーリ３０と対応する第４プ
ーリ３４が、他方の回動軸に取り付けられている。そし
て、第１プーリ２６と第３プーリ３３とを巻回するよう
にベルト３５が配設され、第２プーリ３０と、第４プー
リ３４とを巻回するようにベルト３６が配設されてい
る。そして、回動軸３１、３１のプーリ側と対する側は
ハンド本体部２３にノックピン等により固着される。

【００２３】このように構成されるハンド２１の作用
は、図１に示される形態のハンド１と同様であるため省
略する。

【００２４】なお、ハンド１及びハンド２１における、
モータの駆動を伝達する手段はプーリと、ベルトでなく
ても歯車によるものであってもよい。また、上記の形態
における各部位の設計変更は、発明の要旨を逸脱するも
のでなければ自由に行なえるものである。

【００２５】

【発明の効果】上記のように、本発明によれば、本発明
の吸着ハンドは、撓みを有するワークを吸着して搬送す
る搬送装置に特に有効であって、前記吸着ハンドが、ワ
ークを吸着する少なくとも２個のハンド本体部と、前記
ハンド本体部を回動可能に支持するハンド支持部と、前
記ハンド本体部をその軸心を中心に所定角度回動させる
駆動部と、を有して構成されている。そして、ワークの
撓み量に合わせて、予め、それぞれのハンド本体部を所
定角度回転させ、その状態でワークまで移動させ、ワー
クを吸着保持することができる。そのため、吸着ハンド
の移動時に、ワークに干渉することがなく、また、ワー
クを確実に吸着保持することできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による吸着ハンドの平面
一部断面図

【図２】同図１のII−II断面図

【図３】同図１のハンドを搬送装置Ｍに使用する状態を
示す図。

【図４】同図１のハンドを別の搬送装置に使用する状態
を示す図

【図５】カセットに収納されているワークの状態を示す
図

【図６】図１のハンドの作用を示す図

【図７】図１のハンドの別の形態の作用を示す図

【図８】本発明の別の形態を示す吸着ハンドの平面一部
断面図

【図９】従来のハンドを示す図

【符号の説明】

１、２１…吸着ハンド２、２２…ハンド支持部３、２３…ハンド本体部４、２４…駆動モータ５、３１…回動軸

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持台に収納されるワークを吸着搬送す
るために、搬送装置に配設される吸着ハンドであって、前記吸着ハンドが、ワークを吸着する少なくとも２個の
ハンド本体部と、前記ハンド本体部を回動可能に支持す
るハンド支持部と、前記ハンド本体部をその軸心を中心
に所定角度回動させる駆動部と、を有して構成されるこ
とを特徴とする搬送装置における吸着ハンド。
【請求項２】前記ハンド本体部が、それぞれのハンド
本体部に連結される別々の駆動モータによって駆動され
ることを特徴とする請求項１記載の搬送装置における吸
着ハンド。
【請求項３】前記ハンド本体部が、それぞれのハンド
本体部に連結される１個の駆動モータによって駆動され
ることを特徴とする請求項１記載の搬送装置における吸
着ハンド。