JPH11284049A - 薄型基板搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトに構成したダブルリンク式の薄型
基板搬送ロボットを提供すること。 【解決手段】 ロボット１は、機台２上にベースアーム
３を回動可能に支持し、ベースアーム３の先端側におい
て同一軸線上で回動可能に支持される２個のアーム（第
１アーム４・第２アーム５）を上下方向に重なるように
配置している。それぞれのアーム（第１アーム４・第２
アーム５）はそれぞれ駆動モータで駆動されるととも
に、先端側には、２個のハンド（第１ハンド６・第２ハ
ンド７）を備え、それぞれ基板を吸着保持する。第１ア
ーム４・第２アーム５の内部には、それぞれハンド（第
１ハンド６・第２ハンド７）を駆動するためのプーリと
ベルト手段が配置され、それぞれの一方のプーリにベー
スアーム３から立設された１個の固定軸が固着されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハやガラス
基板等の薄型基板を支持して搬送するロボットに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般にシリコンウェハやガラス基板等の
薄型基板は半導体のチップとして使用されクリーンルー
ム内で処理されたり搬送されたりする。そのため、薄型
基板を搬送するロボットもクリーンルーム内に設置さ
れ、水平方向に旋回可能なリンク体を有して薄型基板を
所定の位置から処理される位置に搬送するように構成さ
れていた。従来、薄型基板の搬送ロボットは、クリーン
ルーム内に配置され薄型基板を支持するハンドと前記ハ
ンドを支持するリンク体とを有し、リンク体・ハンド
を、機台内に配置されるモータ、及びリンク体内に配置
されるベルト・プーリで回転駆動することによって、薄
型基板を直線的に搬送するように構成していた。さら
に、薄型基板を効率よく搬送するために、ハンドを支持
するリンク体を２列対称的に並設し、しかもハンドに保
持され搬送される薄型基板を干渉させないように上下方
向に配置したロボットが提供されていた。図６に示す搬
送ロボット８０は、一般的にダブルリンク式ロボットと
呼ばれ、機台８１上に対称的に配置された２列のリンク
体８２Ａ・８２Ｂを有している。それぞれのリンク体８
２Ａ・８２Ｂには、２個のアーム８３・８４を有して先
端部にハンド８５Ａ・８５Ｂが回動可能に支持され、一
方のハンド８５Ａは他方のハンド８５Ｂに保持された薄
型基板の搬送路を確保するためにコ字形に形成して空間
部８６を有するようにしていた。そして一方のハンド８
５Ａでカセットに収納された薄型基板Ｗを取り出して保
持し、他方のハンド８５Ｂで新たに保持した薄型基板Ｗ
を前記ハンド８５Ａの空間部８６を通って直線的に搬送
するようにしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし従来のロボット
８０においては、リンク体が対称位置に２列配置してい
るので、それぞれのハンドを直線的に移動するには、そ
れぞれのリンク体に２個のアームを必要とし、さらに、
２列のリンク体を支持するベースも機台上に配置しなけ
らばならず、機台を含めてロボット自体が大型化されて
いた。しかも、それぞれのリンク体が対称的に旋回する
ので全体の旋回半径も大きなスペースを必要としてい
た。もともと、クリーンルーム内で設置されるロボット
は、その設置スペースが制限されているため、コンパク
トなロボットを提供することが大きな課題として挙げら
れていた。

【０００４】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、従来のダブルリンクの構成を改良してコンパクト
に構成された薄型基板搬送ロボットを提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送ロボットでは、上記の課題を解決するために以
下のように構成するものである。すなわち、基板を支持
する２個の基板保持手段と、それぞれの基板保持手段を
一端側で回動可能に支持するそれぞれのアーム手段と、
それぞれのアーム手段を駆動するためにそれぞれのアー
ム手段に連結するアーム駆動手段と、それぞれの基板保
持手段を駆動するためにそれぞれの基板保持手段に連結
する基板保持駆動手段と、機台に一端が回動可能に支持
される１個のベースアームと、を有して構成され、それ
ぞれのアーム手段が、上下方向に並設されるとともにそ
れぞれのアーム手段の他端側において前記ベースアーム
に前記ベースアームの他端側で同一軸線上で回動支持さ
れるように構成されることを特徴とするものである。

【０００６】またこの薄型基板搬送ロボットは、基板を
支持する２個の基板保持手段と、それぞれの基板保持手
段を一端側で回動可能に支持するそれぞれのアーム手段
と、それぞれのアーム手段を駆動するためにそれぞれの
アーム手段に連結するアーム駆動手段と、それぞれの基
板保持手段を駆動するためにそれぞれの基板保持手段に
連結する基板保持駆動手段と、機台に一端が回動可能に
支持される１個のベースアームと、を有して構成され、
それぞれのアーム手段が、上下方向に並設されるととも
にそれぞれのアーム手段の他端側において前記ベースア
ームに前記ベースアームの他端側で同一軸線上で回動支
持されるように構成され、それぞれのアーム手段が中空
状に形成されるとともに、内部に前記基板保持駆動手段
が配設され、それぞれの基板保持駆動手段の一部が、前
記ベースアームの他端側で固着支持手段を介して接続さ
れることを特徴とするものである。

【０００７】また好ましくは、前記基板保持駆動手段
が、前記アーム手段の両端部に配設されるそれぞれのプ
ーリ手段と、それぞれのプーリ手段に巻装するベルト手
段を含んで構成されるとともに、前記固着支持手段が、
前記ベースアームから立設する１個の中空状の軸体であ
り、前記軸体がそれぞれのアーム手段に配設するそれぞ
れの一方のプーリ手段に固着連結することを特徴とする
ものであればよい。

【０００８】さらに好ましくは、前記２個の基板保持手
段のうち、一方の基板保持手段が他方の基板保持手段に
支持される基板の搬送路を確保するための空間部を有し
て形成されるとともに、前記２個の基板保持手段に支持
された基板がいずれも２個のアーム手段の上方に位置す
るように前記一方の基板保持手段が形成されることを特
徴とするであればよい。

【０００９】また、前記基板保持駆動手段が、前記アー
ム手段の基板保持手段側に配設され、前記基板保持手段
に連結するモータ手段であることを特徴とするものであ
ってもよい。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１１】本形態の薄型基板搬送ロボット（以下、ロ
ボットという）１は薄型基板としてのウェハやガラス基
板（以下、基板Ｗという）を直線的に移動させて搬送す
るものに適するものであり、図１の斜視図に示すよう
に、機台２と、機台２に対して回動可能に支持されるベ
ースアーム３と、ベースアーム３の先端部で同一軸線上
に回動可能に配置され上下方向に並設する２個の中空状
のアーム（第１アーム４・第２アーム５）と、それぞれ
のアーム（第１アーム４・第２アーム５）に回動可能に
支持される基板保持手段としてのハンド（第１ハンド６
・第２ハンド７）とを有して構成されている。

【００１２】ベースアーム３は、図２〜３の断面図に示
すように、中空状に形成されるとともに、機台２内に配
置される主駆動モータ２１で回動されるように一端（元
部側）が主駆動モータ２１に接続する支持シャフト２２
に固着されている。ベースアーム３の他端（先端側）に
は、ベースアーム３に固着された固着支持手段としての
固定軸３１が上方に配置された第２アーム５を挿通して
第１アーム４の内部まで立設するとともに、下部にアー
ム駆動手段としての第１駆動モータ３２・第２駆動モー
タ３３を収納するモータケース３０が取り付けられてい
る。固定軸３１は中空状に形成され、中空部を連結シャ
フト３４が固定軸３１と同一軸線上に位置するように挿
通するとともに、連結シャフト３４の下端部は第１駆動
モータ３２に接続され、上端部は第１アーム４に固着し
て第１駆動モータ３２の駆動を第１アーム４に伝達し、
第１アーム４が連結軸３４の軸心を中心に回動すること
になる。

【００１３】一方、モータケース３０に配置される第２
駆動モータ３３の上方には第２駆動モータ３３の駆動軸
３６に固着された駆動プーリ３７が取り付けられ、ベー
スアーム３内の固定軸３１の回りに回動可能に支持され
る従動プーリ３８にベルト３９を介して連結されてい
る。従動プーリ３８の上端部は第２アーム５の下壁に固
着され、それによって、第２駆動モータ３３の駆動を第
２アーム５に伝達し、第２アーム５が従動プーリ３８の
軸心を中心に回動することになる。従って、第１アーム
４と第２アーム５とは同一軸線上で回動することにな
る。

【００１４】また、第１アーム４内と第２アーム５内の
固定軸３１の回りにはそれぞれ基板保持駆動手段として
の第１固定プーリ４１・第２固定プーリ５１が固定軸３
１に固着支持されている。第１アーム４内の他端には、
第１アーム４に固着支持された第１枢軸４２が配置され
るとともに第１枢軸４２の回りを第１回転プーリ４３が
回動可能に支持されている。そして、第１固定プーリ４
１と第１回転プーリ４３間に伝達ベルト４４が巻装され
る。第２アーム５内の他端には、第２アーム５に固着支
持された第２枢軸５２が配置されるとともに第２枢軸５
２の回りを第２回転プーリ５３が回動可能に支持されて
いる。そして、第２固定プーリ５１と第２回転プーリ５
３間に伝達ベルト５４が巻装される。

【００１５】第１アーム４の第１回転プーリ４３上端部
には、基板Ｗを吸着保持する第１ハンド６が固着され、
第２アーム４に対して回動可能に支持される。また、第
２アーム５の第２回転プーリ５３の上端部には断面コ字
形の第２ハンド７が固着され、第２アーム５に対して回
動可能に支持される。断面コ字形に形成された第２ハン
ド７は、コ字形を形成する保持部７１と保持部７１に対
して直交するように形成される吸着部７２とを有し（図
１参照）、吸着部７２は第１ハンド６の上方に位置する
とともに、保持部７１は第１ハンド６及び第１ハンド６
に吸着保持された基板Ｗの搬送路を確保するための空間
部７３を形成している。

【００１６】上記のように構成されたロボット１におけ
るそれぞれのハンド（第１ハンド６・第２ハンド７）の
駆動は、それぞれの駆動モータ（第１駆動モータ３２・
第２駆動モータ３３）の駆動によりそれぞれのアーム
（第１アーム４・第２アーム５）を回転すると、その位
相差でそれぞれの固定プーリ（第１固定プーリ４１・第
２固定プーリ５１）の回りをそれぞれの伝達ベルト（伝
達ベルト４４・５４）が移動し、それぞれの回転プーリ
（第１回転プーリ４３・第２回転プーリ５３）を回転さ
せることによって行なわれる。そして、ベースアーム３
の両支点間（支持シャフト２２と連結シャフト３４の軸
心間）の寸法と各アームの両支点間（連結シャフト３４
と第１枢軸４２または第２枢軸５２の軸心間）との寸法
が１：１で、しかも第１固定プーリ４１または第２固定
プーリ５１と第１回転プーリ４３または第２回転プーリ
５３との軸径との寸法が１：２、さらに主駆動モータ２
１と第１駆動モータ３２または第２駆動モータ３３との
回転比が２：１であれば、それぞれのハンド（第１ハン
ド６または第２ハンド７）に吸着保持された基板Ｗは、
支持シャフト２２を通る直線上を移動することができ
る。もちろん基板Ｗの動きはこれに限定するものではな
い。

【００１７】なお、上述の主駆動モータ２１から機台２
上に連結されて配置される全ての部位を含んだ構成体
（ロボットアーム１０という）は、機台２に対して上下
移動（Ｚ軸移動）を行ない、その駆動は機台２内に配置
される図示しない駆動装置によって行なわれる。

【００１８】上記のように構成されたロボット１で、例
えば基板Ｗの搬送を行なうと以下のように作用される。

【００１９】ロボット１は図示しないカセットの正面に
対向するように配置されている。この状態においては、
第１アーム４と第２アーム５は上下方向に重なるように
配置されるとともに、ベースアーム３に対して約６０度
の角度を有して屈曲されていて、第１ハンド６と第２ハ
ンド７はベースアーム３の回転中心位置に向かうように
配置されている。

【００２０】まず、第１ハンド６がカセットに収納され
た基板Ｗを取り出すために、カセット内に向かって移動
する。この場合は、主駆動モータ２１と第１駆動モータ
３２の駆動によって行なわれ、前述のように第１ハンド
６の吸着中心を直線的に移動するために主駆動モータ２
１と第１駆動モータ３２との回転比を２：１にする。主
駆動モータ２１と第１駆動モータ３２の駆動によって、
図４に示すように、ベースアーム３と第１アーム４及び
第１ハンド６が略一直線状に伸張してカセット内の基板
Ｗを吸着する。この際、第２ハンド７はベースアーム３
の回転に伴って機台２に対して回転するものの、第２ア
ーム５とベースアーム３との角度は約６０度に維持され
たままであり、第２ハンド７はベースアーム３の回転中
心に向かって配置されたままの状態にある。

【００２１】基板Ｗ１を取り出すためには、第１ハンド
６が基板Ｗ１の下方から、Ｚ軸移動によって上昇し、基
板Ｗ１を吸着保持した後、再び主駆動モータ２１と第１
駆動モータ３２を駆動することによって行なわれる。そ
の結果、第１ハンド６に吸着された基板Ｗ１は、ベース
アーム３の回転中心位置に向かって直線的に移動する。

【００２２】次に、ロボットアーム１０を主駆動モータ
２１の単独駆動によりθ回転し、図示しない加工ステー
ジの正面と対向する位置に移動した後、再び主駆動モー
タ２１と第１駆動モータ３２を駆動して第１ハンド６を
伸張させ基板Ｗ１を加工ステージ内に搬送する。

【００２３】基板Ｗ１が加工ステージで加工処理されて
いる間、ロボットアーム１０は主駆動モータ２１により
θ回転してカセット内の次の基板Ｗ２を取り出す作用を
行なう。カセットの正面に対向する位置に移動したロボ
ットハンド１０は、次に主駆動モータ２１と第２駆動モ
ータ３３を駆動して前述と同様に第２ハンド７を伸張さ
せ、基板Ｗ２を取り出す。なお、この場合においても主
駆動モータ２１と第１駆動モータ３２を駆動して第１ハ
ンド６を伸張させて基板Ｗ２を取り出してもよい。第２
ハンド７に基板Ｗ２を吸着保持した後、ロボットハンド
１０を再び主駆動も他の単独駆動でθ回転させて加工ス
テージの前で待機する。

【００２４】基板Ｗ１の加工処理が終了すると、基板Ｗ
２を保持していない第１ハンド６が基板Ｗ１を加工ステ
ージから取り出す。基板Ｗ１を吸着保持した第１ハンド
６がベースアーム３の中心位置に向かって移動してしば
らくすると、基板Ｗ２を吸着保持している第２ハンドが
伸張して基板Ｗ２を加工ステージに搬送することにな
る。この際、第１ハンド６に吸着保持された基板Ｗ１
は、第２ハンド７が伸張する際、第２ハンド７のコ字形
に形成された保持部７１の空間部７３を通るので第２ハ
ンド７に干渉するおそれがない。また、基板Ｗ２は基板
Ｗ１の上方を移動するため、平面視同一直線状を移動し
ても干渉することがない。

【００２５】そして、基板を保持していない第２ハンド
７が元の位置に復帰すると、第１ハンド６に吸着した基
板Ｗ１を次の工程（加工済カセットでもよい）に搬送し
た後、また次の基板の取り出す作用を行なうため、カセ
ットに対向する位置に移動する。そしてこの作用を繰り
返すことになる。

【００２６】ロボット１は上記のように作用されるた
め、基板を効率よく搬送し加工ステージにおける加工効
率（スループット）を向上することができる。

【００２７】なお、上述のロボット１の構成はその要旨
を逸脱するものでなければ上記に限るものではない。例
えば、第１固定プーリ４１と第２固定プーリ５１をベー
スアームに固着する固着支持手段は、固定軸３１に限ら
ず、それぞれベースアーム３に固着されたブラケットで
あってもよい。

【００２８】また、図５に示すように、第１ハンド６と
第２ハンド７をそれぞれ第１アーム４と第２アーム７に
取り付けたモータ４５・５５によって駆動することもで
きる。この形態においては、第１固定プーリ４１（第２
固定プーリ５１）・第１回転プーリ４３（第２回転プー
リ）及び伝達ベルト４４・５４を除くことができ、第１
アーム４・第２アーム５の内部を簡略化することができ
る。しかも第１ハンド６・第２ハンド７の動きの自由度
を高くすることも可能となる。

【００２９】さらに、第２ハンドはコ字形に形成するの
ではなく、第１ハンドと同様に第２アーム５の先端上部
から平面上に延設するように形成してもよい。この場合
では、第２ハンド及び第２ハンドに吸着保持される基板
は第１アーム４と第２アーム５との間を通ることにな
る。

【００３０】さらに基板保持駆動手段は、プーリーとベ
ルトの組み合わせに限らず、歯車でもよく、また、プー
リーとワイヤの組み合わせであってもよい。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、薄型基板搬送ロボット
は、基板を支持する２個の基板保持手段と、それぞれの
基板保持手段を一端側で回動可能に支持するそれぞれの
アーム手段と、それぞれのアーム手段を駆動するために
それぞれのアーム手段に連結するアーム駆動手段と、そ
れぞれの基板保持手段を駆動するためにそれぞれの基板
保持手段に連結する基板保持駆動手段と、機台に一端が
回動可能に支持される１個のベースアームと、を有して
構成され、それぞれのアーム手段が、上下方向に並設さ
れるとともにそれぞれのアーム手段の他端側において前
記ベースアームに前記ベースアームの他端側で同一軸線
上で回動支持されるように構成される。そして、１個の
ベースアームがそれぞれのアーム手段を支持するため、
従来の２個のアームで構成するものに比べて簡略化でき
るとともに、前記アーム手段が同軸でそれぞれ旋回でき
るように構成されているので旋回半径を小さくすること
ができコンパクトなロボットを提供することが可能とな
る。

【００３２】また、このロボットは、基板を支持する２
個の基板保持手段と、それぞれの基板保持手段を一端側
で回動可能に支持するそれぞれのアーム手段と、それぞ
れのアーム手段を駆動するためにそれぞれのアーム手段
に連結するアーム駆動手段と、それぞれの基板保持手段
を駆動するためにそれぞれの基板保持手段に連結する基
板保持駆動手段と、機台に一端が回動可能に支持される
１個のベースアームと、を有して構成され、それぞれの
アーム手段が、上下方向に並設されるとともにそれぞれ
のアーム手段の他端側において前記ベースアームに前記
ベースアームの他端側で同一軸線上で回動支持されるよ
うに構成され、それぞれのアーム手段が中空状に形成さ
れるとともに、内部に前記基板保持駆動手段が配設さ
れ、それぞれの基板保持駆動手段の一部が、前記ベース
アームの他端側で固着支持手段を介して接続されるてい
る。そして、１個のベースアームがそれぞれのアーム手
段を支持するため、従来の２個のアームで構成するもの
に比べて簡略化できるとともに、前記アーム手段が同軸
でそれぞれ旋回できるように構成されているので旋回半
径を小さくすることができコンパクトなロボットを提供
することが可能となる。

【００３３】さらにこのロボットは、前記基板保持駆動
手段が、前記アーム手段の両端部に配設されるそれぞれ
のプーリ手段と、それぞれのプーリ手段に巻装するベル
ト手段を含んで構成されるとともに、前記固着支持手段
が、前記ベースアームから立設する１個の中空状の軸体
であり、前記軸体がそれぞれのアーム手段に配設するそ
れぞれの一方のプーリ手段に固着連結することができ
る。従って、上下方向に２個並設したアーム手段をそれ
ぞれ回動することによって、その位相差でそれぞれのア
ーム手段内に配設されるプーリー手段を作動させること
が可能となり、極めて容易な構成で基板保持手段を作動
することができる。

【００３４】また、前記２個の基板保持手段のうち、一
方の基板保持手段が他方の基板保持手段に支持される基
板の搬送路を確保するための空間部を有して形成される
とともに、前記２個の基板保持手段に支持された基板が
いずれも２個のアーム手段の上方に位置するように前記
一方の基板保持手段が形成されるので、例えアーム手段
内に塵埃が発生しても、基板上に塵埃の付着するおそれ
がない。

【００３５】さらに、前記基板保持駆動手段が、前記ア
ーム手段の基板保持手段側に配設され、前記基板保持手
段に連結するモータ手段であれば、プーリ手段を除くこ
とができて簡略化できるとともに、基板保持手段の自由
度も高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による一形態のロボットを示す全体図

【図２】図１のロボットのベースアームの構成を示す断
面図

【図３】図１のロボットのハンドを駆動する機構を示す
断面図

【図４】図１のロボットにおける一方のハンドを伸張さ
せた状態を示す全体図

【図５】基板保持駆動手段の別の形態を示す断面図

【図６】従来のダブルリンク式ロボットを示す図

【符号の説明】

１…ロボット ２…機台 ３…ベースアーム ４…第１アーム（アーム手段） ５…第２アーム（アーム手段） ６…第１ハンド（基板保持手段） ７…第２ハンド（基板保持手段） １０…ロボットアーム ２１…主駆動モータ ３１…固定軸（固着支持手段） ３２…第１駆動モータ（アーム駆動手段） ３３…第２駆動モータ（アーム駆動手段） ３４…連結シャフト ３８…従動プーリ ４１…第１固定プーリ（基板保持駆動手段） ４３…第１回転プーリ（基板保持駆動手段） ４４…伝達ベルト（基板保持駆動手段） ５１…第２固定プーリ（基板保持駆動手段） ５３…第２回転プーリ（基板保持駆動手段） ５４…伝達ベルト（基板保持駆動手段） Ｗ…基板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を支持する２個の基板保持手段と、
   それぞれの基板保持手段を一端側で回動可能に支持する
   それぞれのアーム手段と、それぞれのアーム手段を駆動
   するためにそれぞれのアーム手段に連結するアーム駆動
   手段と、それぞれの基板保持手段を駆動するためにそれ
   ぞれの基板保持手段に連結する基板保持駆動手段と、機
   台に一端が回動可能に支持される１個のベースアーム
   と、を有して構成され、 それぞれのアーム手段が、上下方向に並設されるととも
   にそれぞれのアーム手段の他端側において前記ベースア
   ームに前記ベースアームの他端側で同一軸線上で回動支
   持されるように構成されることを特徴とする薄型基板搬
   送ロボット。
2. 【請求項２】 基板を支持する２個の基板保持手段と、
   それぞれの基板保持手段を一端側で回動可能に支持する
   それぞれのアーム手段と、それぞれのアーム手段を駆動
   するためにそれぞれのアーム手段に連結するアーム駆動
   手段と、それぞれの基板保持手段を駆動するためにそれ
   ぞれの基板保持手段に連結する基板保持駆動手段と、機
   台に一端が回動可能に支持される１個のベースアーム
   と、を有して構成され、 それぞれのアーム手段が、上下方向に並設されるととも
   にそれぞれのアーム手段の他端側において前記ベースア
   ームに前記ベースアームの他端側で同一軸線上で回動支
   持されるように構成され、 それぞれのアーム手段が中空状に形成されるとともに、
   内部に前記基板保持駆動手段が配設され、 それぞれの基板保持駆動手段の一部が、前記ベースアー
   ムの他端側で固着支持手段を介して接続されることを特
   徴とする薄型基板搬送ロボット。
3. 【請求項３】 前記基板保持駆動手段が、前記アーム手
   段の両端部に配設されるそれぞれのプーリ手段と、それ
   ぞれのプーリ手段に巻装するベルト手段を含んで構成さ
   れるとともに、前記固着支持手段が、前記ベースアーム
   から立設する１個の中空状の軸体であり、前記軸体がそ
   れぞれのアーム手段に配設するそれぞれの一方のプーリ
   手段に固着連結することを特徴とする請求項２記載の薄
   型基板搬送ロボット。
4. 【請求項４】 前記２個の基板保持手段のうち、一方の
   基板保持手段が他方の基板保持手段に支持される基板の
   搬送路を確保するための空間部を有して形成されるとと
   もに、前記２個の基板保持手段に支持された基板がいず
   れも２個のアーム手段の上方に位置するように前記一方
   の基板保持手段が形成されることを特徴とする請求項１
   または２記載の薄型基板搬送ロボット。
5. 【請求項５】 前記基板保持駆動手段が、前記アーム手
   段の基板保持手段側に配設され、前記基板保持手段に連
   結するモータ手段であることを特徴とする請求項１記載
   の薄型基板搬送ロボット。