JPH10226034A - 積層体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

積層体の製造方法及び製造装置

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JPH10226034A
JPH10226034A JP9030784A JP3078497A JPH10226034A JP H10226034 A JPH10226034 A JP H10226034A JP 9030784 A JP9030784 A JP 9030784A JP 3078497 A JP3078497 A JP 3078497A JP H10226034 A JPH10226034 A JP H10226034A
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intermediate plate
laminated
heat
synthetic resin
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進 梶田
Takeshi Tomizaki
武士 富崎
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Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 均一な品質の積層体を製造できるようにし、
また積層体の表面粗度を小さく維持しつつ冷却の効率を
高めて製造リードタイムを短縮する。 【解決手段】 長尺の金属箔1にシート状合成樹脂材2
を長手方向に沿った複数箇所で重ね、隣合うシート状合
成樹脂材2の間の箇所において金属箔1を折り返すと共
に表面が電気絶縁性の中間板4を金属箔1の間に介在さ
せて各シート状合成樹脂材2を多段に積み重ねることに
よって積層ブロック5を形成し、金属箔1に通電して加
熱しながらこの積層ブロック5を加圧して積層成形した
後、この積層成形した積層ブロック5を加圧しながら冷
却することによって積層体を製造する。そして少なくと
も一部の中間板4にヒートパイプ6を内蔵して設け、ヒ
ートパイプ6を内蔵した中間板4からの放熱で積層成形
した積層ブロック5の冷却が行なわれるようする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属箔に通電する
ことによって加熱し、積層成形を行なうようにした積層
体の製造方法及び製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】金属箔を表面に有する積層体は、金属箔
とシート状合成樹脂材とを一体に積層成形して得られて
いる。そして金属箔として銅箔などを用い、シート状合
成樹脂材としてブリプレグなどを用いて得られる積層体
は、プリント回路板などに使用されている。このような
積層体は、金属箔とプリプレグなどのシート状合成樹脂
材とを重ね、さらに必要に応じて内層材や外層材を重
ね、これを加熱・加圧することによって、シート状合成
樹脂材に含有される合成樹脂を溶融させると共に熱硬化
または冷却硬化させるなどして、成形されている。そし
て上記の加熱加圧成形は、蒸気または電熱などの熱源を
用いるホットプレスまたは真空プレスなどを用いて行な
われている。
【0003】ここで、ホットプレスは、加熱した加圧プ
レートを用い、この加圧プレートによって、積み重ねら
れた銅箔やシート状合成樹脂材などの部材を上下両面か
ら加圧すると共に加熱して成形を行なうようにしたもの
である。また、真空プレスは、積み重ねられた部材をパ
ッキング材によって気密に覆い、その内部を真空化する
とともに、その周辺に高温、高圧のガスを導人して成形
を行なうようにしたものである。このようなホットプレ
スや真空プレスなどで積層成形を行なうときには、一般
に、1枚の積層体となる複数枚のシート状合成樹脂材と
金属箔等を組み合わせて一組の組み合わせ部材とし、そ
してこの組み合わせ部材を中間板を介して複数組積み重
ねることによって積層ブロックとし、この積層ブロック
を加熱加圧成形することによって、同時に複数枚の積層
体を製造することができるようにしている。この中間板
は、各積層体の平面度が確保されるようにするために用
いられるものでり、通常はステンレス板等が使用され
る。
【0004】ところで、上記のように組み合わせ部材が
多重に積み重ねられた積層ブロックをホットプレスによ
って加熱・加圧するときには、成形プレスの加圧プレー
トによって積層ブロックが上下から加熱されるので、伝
熱の遅れや、積層ブロックの側面からの放熱などによっ
て、加圧プレートに近い組み合わせ部材と加圧プレート
から遠い組み合わせ部材とでは、加熱温度が異なったも
のとなる。このような加熱温度の不均一は、得られる積
層体製品の品質のばらつきとなって好ましいものではな
い。したがって、ホットプレスでは、積み重ねることが
できる組み合わせ部材の組数は限られるものとなってい
る。
【0005】一方、真空プレスでは、積層ブロックの周
囲から熱が加えられるので、各組み合わせ部材の温度は
ほぼ均一に上昇することになるが、組み合わせ部材の外
周周辺部と中心部との間には、やはり伝熱の遅れによっ
て温度差が生じる。このために、大面積の積層体の成形
は難しいものになる。このような問題を解決する方法と
して、例えばイギリス特許第1321305号に開示さ
れている成形方法がある。この成形方法は、上記の組み
合わせ部材を金属板を介して多段に積み上げて積層ブロ
ックを形成し、金属板に通電してジュール熱で金属板を
発熱させて加熱を行うことによって、多数枚の積層体を
同時に成形するようにしたものである。この成形方法の
ような加熱方式によれば、多段に積み上げた各組み合わ
せ部材を金属板で直接加熱することができるために、積
み上げ方向および積層体の平面方向ともに加熱温度が均
一となって、品質のばらつきが少なくなり、上記のよう
な問題を解決することができるのである。
【0006】また、特公昭62−58903号公報に
は、金属ロール上に金属箔と熱可塑性樹脂フィルムとを
重ね合わせた材料を送りローラーを経て供給し、金属ロ
ールを電極として金属箔に電流を流すことによってジュ
ール熱で発熱させ、金属箔を発熱体として利用して、高
圧加熱接着を行う方法が記載されている。このように金
属箔を利用した加熱方法を用いることによって、積層体
の平面方向の加熱温度を均一とすることができ、積層体
の面内品質のばらつきを少なくすることが可能になる。
【0007】そしてさらに、上記のイギリス特許第13
21305号と特公昭62−58903号公報の方法を
組み合わせたような成形方法が特表平7−508940
号公報で提供されいている。この成形方法は、金属箔と
して長尺のものを用い、金属箔にシート状合成樹脂材を
長手方向に沿った複数箇所で重ねると共に、隣合うシー
ト状合成樹脂材の間の箇所において金属箔を折り返して
金属箔を蛇行状に屈曲し、電気絶縁性に形成された中間
板を金属箔の間に差し込んで、各シート状合成樹脂材を
多段に積み重ねることによって積層ブロックを形成し、
この積層ブロックを成形プレスにセットする。そして、
金属箔に通電して金属箔を発熱させながら積層ブロック
を加圧することによって、加熱加圧成形を行なうように
したものである。このように、積層する金属箔を利用し
てシート状合成樹脂材を直接加熱することができるもの
であり、積み上げ方向および積層体の平面方向ともに加
熱温度を均一化して、品質のばらつきが少ない積層体を
多段で生産性良く製造することができるのである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの金属
箔を利用して加熱を行なう成形方法にあっては、加熱加
圧成形のプロセスでの加熱温度の均一化は達成すること
ができるが、加熱加圧成形の後の冷却のプロセスでは、
従来のホットプレスと同様に加圧しながら自然放冷が行
なわれており、製造リードタイムが長くなるという問題
があった。
【0009】つまり、シート状合成樹脂材として例えば
エポキシ樹脂含浸ガラスクロスのような、ガラスクロス
などの基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して調製したプリ
プレグを用いて積層体を成形した場合について説明する
と、加熱加圧成形のプロセスの後、積層体を冷却するに
あたって、積層体の温度が熱硬化性樹脂のガラス転移温
度以下に低下するまでは熱硬化性樹脂は収縮が大きいの
で、加圧力を保持しておかないと、基材のガラスクロス
の織り目、特にガラス繊維を束ねたヤーンとヤーンとの
交差部分が金属箔の表面に浮き出て、積層体の表面粗度
が悪化する。例えば無加圧で自然放冷によって冷却した
場合には、触針式表面粗さ計でヤーンに対して斜め方向
の表面粗度を測定すると、表面粗度はRmaxで4〜7
μmとなり、積層体をプリント配線板に加工するため
に、エッチングなどによって回路形成を行うにあたっ
て、ファインな回路パターンを形成することが困難にな
る。これに対して加圧しながら冷却を行なう場合の表面
粗度はRmaxで1μm以下レベルに小さくなる。従っ
て、加熱加圧成形の後の冷却は成形プレスで加圧しなが
ら冷却を行なう必要がある。
【0010】そしてこのように加圧しながら自然放冷で
冷却する場合、積み重ねられた積層体は露出する表面積
が小さいので、冷却するのには非常に時間がかかり、製
造リードタイムが長くなるという問題が生じるのであ
る。そこで、電動送風機などを用いて積層体に対して周
囲から冷却風を当て、強制空冷してやるといった方法も
考えられるが、この方法においても放熱は積層体の外周
からしか行われず、多段に積み重ねられた積層体の内部
の温度を冷やすには非常に時間がかかり、製造リードタ
イムを短縮する効果はあまりない。
【0011】また上記のように、金属箔に通電して金属
箔をジュール熱で発熱させることによって加熱を行な
い、しかも多段に積み重ねて多数枚の積層体を同時に成
形する方式では、金属箔の発熱量をコントロールするた
めに、積層ブロックの温度を測定して金属箔への通電量
を制御する必要がある。このために、積層ブロックの内
部に熱電対を差し込んで積層ブロックの温度を測定する
ことが行なわれている。
【0012】しかし、積層ブロックの内部に熱電対を差
し込んで成形を行なうと、熱電対を差し込んだ部分に成
形される積層体には熱電対の形が付くために製品として
の要をなさず、積層体の製造効率が低下するという問題
がある。予め内部に熱電対を組み込んだ形に成形した積
層体をダミーとして用い、積層ブロックの一部にこのダ
ミーの積層体を組み込むという方法もあるが、この場合
もダミーの積層体を組み込む分、製品の積層体を製造す
るためのスペースが減るので、製造効率が低下するとい
う問題は依然として解決されていない。
【0013】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、均一な品質の積層体を製造することができると共
に、積層体の表面粗度を小さく維持しつつ冷却の効率を
高めて製造リードタイムを短縮することができるように
することを目的とするものであり、加えて製造効率を高
めることができるようにすることを目的とするものであ
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明に係る積層体の製
造方法は、長尺の金属箔1にシート状合成樹脂材2を長
手方向に沿った複数箇所で重ね、隣合うシート状合成樹
脂材2の間の箇所において金属箔1を折り返すと共に表
面が電気絶縁性の中間板4を金属箔1の間に介在させて
各シート状合成樹脂材2を多段に積み重ねることによっ
て積層ブロック5を形成し、金属箔1に通電して加熱し
ながらこの積層ブロック5を加圧して積層成形した後、
この積層成形した積層ブロック5を加圧しながら冷却す
ることによって積層体を製造するにあたって、少なくと
も一部の中間板4にヒートパイプ6を内蔵して設け、ヒ
ートパイプ6を内蔵した中間板4からの放熱で積層成形
した積層ブロック5の冷却が行なわれるようにしたこと
を特徴とするものである。
【0015】本発明に係る積層体の製造装置は、長尺の
金属箔1にシート状合成樹脂材2を長手方向に沿った複
数箇所で重ね、隣合うシート状合成樹脂材2の間の箇所
において金属箔1を折り返すと共に表面が電気絶縁性の
中間板4を金属箔1の間に介在させて各シート状合成樹
脂材2を多段に積み重ねることによって形成される積層
ブロック5と、積層ブロック5の金属箔1に通電して発
熱させる通電加熱装置7と、積層ブロック5を加圧する
成形プレス8とを具備して成り、少なくとも一部の中間
板4はヒートパイプ6を内蔵して形成されたものである
ことを特徴とするものである。
【0016】また請求項3の発明は、ヒートパイプ6を
内蔵した中間板4の温度を測定する温度測定装置9を設
けて成ることを特徴とするものである。また請求項4の
発明は、ヒートパイプ6を内蔵した中間板4の端部を積
層ブロック5から突出させると共に中間板4のこの突出
端部に放熱フィン10を設けて成ることを特徴とするも
のである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。本発明においてシート状合成樹脂材2としては、
エポキシ樹脂含浸ガラスクロスのようなガラスクロスな
どの基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して調製したプリプ
レグを複数枚重ねたもの、あるいはこのプリプレグと表
面に回路形成をした内層板や外層板を重ねたものなどを
用いることができる。また本発明において金属箔1とし
ては長尺の銅箔などを用いることができるものであり、
本実施の形態では2枚の金属箔1を用いるようにしてい
る。
【0018】そして、2枚の金属箔1の間にシート状合
成樹脂材2を長手方向に沿った複数箇所で重ねることに
よって積層組み合わせ材3を形成し、隣合うシート状合
成樹脂材2の間の箇所において金属箔2を折り返すと共
に中間板4を上下に対向する金属箔1の間に差し込んで
金属箔1が接触し合わないように中間板4を介在させな
がら積層組み合わせ材3を蛇行状に屈曲することによっ
て、各シート状合成樹脂材2を多段に積み重ねた図2の
ような積層ブロック5を形成する。
【0019】中間板4は少なくとも表面が電気絶縁性材
料で形成されるものであり、一部の中間板4aはヒート
パイプ6を内蔵して形成してある。中間板4の総てにヒ
ートパイプ6を内蔵した中間板4aを用いる必要はな
く、他の中間板4bは、例えばアルミニウム板などの金
属板の表面を硬質アルマイト処理した後、ポリ四フッ化
エチレンを含浸して厚み30〜40μmの電気絶縁皮膜
を表面に形成して作製したものを用いることができる。
【0020】またヒートパイプ6を内蔵した中間板4a
は、例えば図3に示すように、アルミニウム板などの金
属板に複数本のヒートパイプ6を平行に埋め込んだもの
として作製することができる。あるいは、アクトロニク
ス社製の極薄型プレートヒートパイプ(TPHP)のよ
うに、金属プレートの片面に予め蛇行パターン溝を設
け、この金属プレートに金属平板をろう接合して蛇行パ
ターン溝に作動液を封入した構造の平面型ヒートパイプ
で作製することもできる。いずれのものも、上記の中間
板4bと同様に表面に電気絶縁皮膜を形成して電気絶縁
性を確保してある。この中間板4aの一方の端部は放熱
部15となるものであり、各ヒートパイプ6は図3のよ
うにその一方の端部が放熱部15に位置するように配置
してある。放熱部15には放熱性を高めるために放熱フ
ィン10を設けておくのが望ましい。
【0021】図2の実施の形態では、最上段と最下段の
中間板4としてヒートパイプ6を内蔵した中間板4aを
用い、他の中間板4としてヒートパイプ6を内蔵しない
中間板4bを用いるようにしてあり、ヒートパイプ6を
内蔵した中間板4aはその放熱部15を積層ブロック5
から外方へ突出させるようにしてある。そして図2のよ
うに積層した積層ブロック5を、図1に示すように成形
プレス8の加圧盤16,16の間にセットすると共に、
金属箔1の両端に通電加熱装置7を接続し、成形を行な
う。成形プレス8としては真空チャンバー内でプレスを
行なう真空積層プレスを用いることができるものであ
り、真空チャンバー内を真空排気して10トールの圧力
まで減圧した後、加圧盤16,16で上下から10kg
f/cm2の圧力で積層ブロック5を加圧すると同時
に、通電加熱装置7の電源から2枚の各金属箔1に直流
電流を通電し、金属箔1を電気抵抗体として発熱させ、
加熱を行なう。このようにシート状合成樹脂材2に接触
している金属箔1によって各シート状合成樹脂材2を直
接加熱して成形を行なうことができ、シート状合成樹脂
材2を積み上げ方向および平面方向の両方向に均一な温
度で加熱することができるものであり、品質のばらつき
が少ない積層体を多段で生産性良く製造することができ
るものである。
【0022】ここで、ヒートパイプ6は熱伝導性が金属
の数百倍と極めて高く、熱応答性にも優れるという特性
を有している。このようなヒートパイプ6を内蔵する中
間板4aは、積層ブロック5に差し込まれて金属箔1と
接触している部分が受熱部17となり、受熱部17で積
層ブロック5から受熱された熱はヒートパイプ6で放熱
部15へと速やかに伝えられる。このために中間板4a
の受熱部17と放熱部15の間の温度は非常に小さなも
のになる。通常のアルミニウム板などで作製した中間板
4bを同様に用いた場合は、積層ブロック5に差し込ま
れて金属箔1と接触している受熱部と、積層ブロック5
から突出する放熱部とには大きな温度差が生じる。これ
はアルミニウム板の熱伝導率がヒートパイプ6に比べて
遙かに小さく、熱応答性も悪いため、受熱部の熱が放熱
部に十分に伝わらないためである。
【0023】そして上記のようにヒートパイプ6を内蔵
する中間板4aの受熱部17と放熱部15の間の温度は
非常に小さいので、積層ブロック5から突出する放熱部
15の温度を測定することによって、金属箔1の発熱に
よる積層ブロック5の加熱温度を検出することができ
る。従って、中間板4aの放熱部15の温度測定の結果
に基づいて、通電加熱装置7による金属箔1への通電量
を制御して金属箔1の発熱を制御し、積層ブロック5の
加熱温度をコントロールすることができるものであり、
加熱温度を設定された温度、例えば180℃にコントロ
ールしながら成形を行なうことができるものである。中
間板4aの受熱部17と放熱部15の間の温度差は非常
に小さいが、放熱部15からの放熱があるために全く同
じにはならない。通常はこの温度差は問題にはならない
が、加熱温度を厳密に調整する場合には、例えば予め、
放熱部15の温度を放射温度計などで、受熱部17の温
度を熱電対などで測定しておき、両者の温度の相関関係
をとっておくことによって、この相関関係に基づいて放
熱部15の温度から受熱部17の正確な温度を容易に検
出することができるものである。
【0024】ここで、ヒートパイプ6を内蔵する中間板
4aの放熱部15の温度測定は、図1に示すような放射
温度計9aや熱電対などの温度測定装置9を用いて行な
うことができるものであり、放熱部15は積層ブロック
5から突出しているために、積層ブロック5の外部で積
層ブロック5の温度の検出を行なうことができる。従っ
て、従来のように熱電対を積層ブロック5内に差し込ん
だり、熱電対を内蔵したダミーの積層板を積層ブロック
5に入れたりして成形を行なう必要がなく、積層体の製
造効率が減少することを防ぐことができるものである。
【0025】上記のように通電加熱装置7で金属箔1に
通電して加熱加圧成形を所定時間行なった後、成形プレ
ス8による加圧は維持したまま、金属箔1への通電を停
止し、成形した積層ブロック5の冷却を行なう。この冷
却のプロセスにおいて、ヒートパイプ6を内蔵する中間
板4aは、積層ブロック5内に差し込まれている受熱部
17から積層ブロック5の熱を受熱し、ヒートパイプ6
によって放熱部15へとこの熱を速やかに伝え、そして
この熱を放熱部15から放熱する作用をなすので、成形
した積層ブロック5の冷却を短時間で行なうことができ
るものである。放熱部15に放熱フィン10を設けてお
けば、放熱フィン10によって放熱効率を高く得ること
ができ、冷却効果を高めて冷却時間を一層短縮すること
ができるものである。また、電動送風機などを用いて放
熱フィン10を強制空冷すれば、放熱効率さらに高くし
て冷却効果をさらに高めることができるものである。あ
るいは、放熱部15に水冷ジャケットを取り付けて水冷
を行なうことも可能である。
【0026】ここで、加熱加圧成形した積層ブロック5
を冷却するにあたって、ヒートパイプ6を内蔵する中間
板4aを用いずに積層ブロック5を加圧しながら自然放
冷する場合は、温度が180℃からガラス転移温度以下
の100℃まで低下するのに5時間を要する。またヒー
トパイプ6を内蔵する中間板4aを用いずに積層ブロッ
ク5を加圧しながら周囲から電動送風機を用いて強制空
冷をする場合は、この温度低下に要する時間は1時間で
ある。一方、本発明のようにヒートパイプ6を内蔵する
中間板4aを用い、電動送風機で放熱フィン10を強制
空冷しながら冷却を行なった場合は、この温度低下に要
する時間は10分になり、大幅に製造リードタイムを短
縮することができるものである。
【0027】また成形した積層ブロック5をこのように
冷却するにあたって、ヒートパイプ6を内蔵する中間板
4aの放熱部15の温度を測定することによって、積層
ブロック5の温度低下を検出することができる。従っ
て、中間板4aの放熱部15の温度測定によって、積層
ブロック5の温度が所定の設定温度にまで低下したこと
が検出された時点で、成形プレス8を開いて積層ブロッ
ク5を取り出すように制御することができるものであ
る。
【0028】そしてこのように取り出した積層ブロック
5を、金属箔1の折り曲げ部分で切り離すことによっ
て、シート状合成樹脂材2の両面に金属箔1が積層一体
化された積層体を得ることができるものである。本発明
では上記のように加圧しながら冷却するようにしている
ので、積層体の表面粗度はRmaxが1μm以下であ
り、ファインな回路形成が可能な積層体を得ることがで
きるものである。
【0029】
【発明の効果】上記のように本発明は、長尺の金属箔に
シート状合成樹脂材を長手方向に沿った複数箇所で重
ね、隣合うシート状合成樹脂材の間の箇所において金属
箔を折り返すと共に表面が電気絶縁性の中間板を金属箔
の間に介在させて各シート状合成樹脂材を多段に積み重
ねることによって積層ブロックを形成し、金属箔に通電
して加熱しながらこの積層ブロックを加圧して積層成形
した後、この積層成形した積層ブロックを加圧しながら
冷却することによって積層体を製造するようにしたの
で、金属箔で各シート状合成樹脂材を直接加熱して成形
を行なうことができ、シート状合成樹脂材を積み上げ方
向および平面方向の両方向に均一な温度で加熱して、品
質のばらつきが少ない積層体を多段で生産性良く製造す
ることができると共に、また加圧しながら冷却すること
によって表面粗度の小さい積層体を得ることができるも
のである。しかも、少なくとも一部の中間板にヒートパ
イプを内蔵して設け、ヒートパイプを内蔵した中間板か
らの放熱で積層成形した積層ブロックの冷却が行なわれ
るようにしたので、積層ブロック内の熱をヒートパイプ
によって速やかに伝熱して放熱することができ、成形し
た積層ブロックの冷却時間を短縮して製造リードタイム
を短縮することができるものである。
【0030】また、ヒートパイプを内蔵した中間板の温
度を測定する温度測定装置を設けるようにしたので、こ
の中間板の温度を測定することによって、積層ブロック
の温度を検出することができ、温度測定用の熱電対など
を積層ブロック内に入れたりする必要がなくなり、無駄
な積層体が生じなくなって、積層体の製造効率の減少を
防ぐことができるものである。
【0031】また、ヒートパイプを内蔵した中間板の端
部を積層ブロックから突出させると共に中間板のこの突
出端部に放熱フィンを設けるようにしたので、放熱フィ
ンによる高い放熱効果で冷却時間を一層短縮することが
でき、製造リードタイムをさらに短縮することができる
ものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示す概略正面図で
ある。
【図2】同上の積層ブロックの概略斜視図である。
【図3】同上のヒートパイプを内蔵する中間板の斜視図
である。
【符号の説明】
1 金属箔 2 シート状合成樹脂材 3 積層組み合わせ材 4 中間板 5 積層ブロック 6 ヒートパイプ 7 通電加熱装置 8 成形プレス 9 温度測定装置 10 放熱フィン

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長尺の金属箔にシート状合成樹脂材を長
    手方向に沿った複数箇所で重ね、隣合うシート状合成樹
    脂材の間の箇所において金属箔を折り返すと共に表面が
    電気絶縁性の中間板を金属箔の間に介在させて各シート
    状合成樹脂材を多段に積み重ねることによって積層ブロ
    ックを形成し、金属箔に通電して加熱しながらこの積層
    ブロックを加圧して積層成形した後、この積層成形した
    積層ブロックを加圧しながら冷却することによって積層
    体を製造するにあたって、少なくとも一部の中間板にヒ
    ートパイプを内蔵して設け、ヒートパイプを内蔵した中
    間板からの放熱で積層成形した積層ブロックの冷却が行
    なわれるようにすることを特徴とする積層体の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 長尺の金属箔にシート状合成樹脂材を長
    手方向に沿った複数箇所で重ね、隣合うシート状合成樹
    脂材の間の箇所において金属箔を折り返すと共に表面が
    電気絶縁性の中間板を金属箔の間に介在させて各シート
    状合成樹脂材を多段に積み重ねることによって形成され
    る積層ブロックと、積層ブロックの金属箔に通電して発
    熱させる通電加熱装置と、積層ブロックを加圧する成形
    プレスとを具備して成り、少なくとも一部の中間板はヒ
    ートパイプを内蔵して形成されたものであることを特徴
    とする積層体の製造装置。
  3. 【請求項3】 ヒートパイプを内蔵した中間板の温度を
    測定する温度測定装置を設けて成ることを特徴とする請
    求項2に記載の積層体の製造装置。
  4. 【請求項4】 ヒートパイプを内蔵した中間板の端部を
    積層ブロックから突出させると共に中間板のこの突出端
    部に放熱フィンを設けて成ることを特徴とする請求項2
    又は3に記載の積層体の製造装置。
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