JPH10227700A - 振動・温度検出用一体型センサ - Google Patents
振動・温度検出用一体型センサInfo
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- JPH10227700A JPH10227700A JP3079997A JP3079997A JPH10227700A JP H10227700 A JPH10227700 A JP H10227700A JP 3079997 A JP3079997 A JP 3079997A JP 3079997 A JP3079997 A JP 3079997A JP H10227700 A JPH10227700 A JP H10227700A
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 異常部分を正確に特定することができ、温度
検出の信頼性を高めることができ、且つセンサのコスト
を低減することができる振動・温度検出用一体型センサ
を提供する。 【解決手段】 被測定物に取り付けられるケース内に振
動センサ3と温度センサ4とを収納し、温度センサ4
を、被測定物に対して非接触状態で被測定物表面の近傍
に配置した一体型センサであり、振動と温度を同一測定
点にて同時に検出することができるため異常箇所を正確
に特定することができ、温度センサは振動する被測定物
に対して非接触の状態で温度検出を行うため、温度測定
の信頼性を高めることができる。
検出の信頼性を高めることができ、且つセンサのコスト
を低減することができる振動・温度検出用一体型センサ
を提供する。 【解決手段】 被測定物に取り付けられるケース内に振
動センサ3と温度センサ4とを収納し、温度センサ4
を、被測定物に対して非接触状態で被測定物表面の近傍
に配置した一体型センサであり、振動と温度を同一測定
点にて同時に検出することができるため異常箇所を正確
に特定することができ、温度センサは振動する被測定物
に対して非接触の状態で温度検出を行うため、温度測定
の信頼性を高めることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、生産物の品質管理
や設備診断を行うことを目的として、特に大規模な生産
設備に配備されている回転機械や電動機の運転状態を常
時観測し解析するために、それら回転機械、電動機の振
動及び温度を検出する一体型センサに関するものであ
る。
や設備診断を行うことを目的として、特に大規模な生産
設備に配備されている回転機械や電動機の運転状態を常
時観測し解析するために、それら回転機械、電動機の振
動及び温度を検出する一体型センサに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の生産設備における回転機
械や電動機等の運転状態をリアルタイムで観測すること
により、異常を早期に発見したり、或いは回転機械や電
動機の劣化傾向を把握することによって寿命の予測、い
わゆる設備の診断を行ったり、または設備の運転状態と
密接に関連する生産物を品質管理することが行われてい
る。上記回転機械や電動機の運転状態を観測する方法と
しては、従来は振動を検出する方法が一般的であった
が、近年、振動の検出に加え、回転機械や電動機の表面
温度を観測することの重要性が認識されつつある。
械や電動機等の運転状態をリアルタイムで観測すること
により、異常を早期に発見したり、或いは回転機械や電
動機の劣化傾向を把握することによって寿命の予測、い
わゆる設備の診断を行ったり、または設備の運転状態と
密接に関連する生産物を品質管理することが行われてい
る。上記回転機械や電動機の運転状態を観測する方法と
しては、従来は振動を検出する方法が一般的であった
が、近年、振動の検出に加え、回転機械や電動機の表面
温度を観測することの重要性が認識されつつある。
【0003】振動検出と温度検出を共に行う場合、振動
は例えば電動機外壁に直接取り付けられた振動センサに
よって検出され、また、表面温度についてはその振動セ
ンサとは別の部位の電動機外壁に直接取り付けられた温
度センサによって検出されている。
は例えば電動機外壁に直接取り付けられた振動センサに
よって検出され、また、表面温度についてはその振動セ
ンサとは別の部位の電動機外壁に直接取り付けられた温
度センサによって検出されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
観測方法では、振動センサと温度センサの測定点が一致
していないことから、例えば異常が生じた場合にその位
置を正確に特定することができないという問題がある。
また、従来の温度センサの配置は、被測定物に対して直
接接触させるものであるため、被測定物の振動をまとも
に受けることになって損傷するか、または寿命が短くな
り、結果として信頼性が低いという問題がある。さらに
また、検知信号を出力するため配線を、振動センサと温
度センサからそれぞれ別々に延設しなければならず、観
測点を多数設けると、配線コストが高くなるという問題
もある。
観測方法では、振動センサと温度センサの測定点が一致
していないことから、例えば異常が生じた場合にその位
置を正確に特定することができないという問題がある。
また、従来の温度センサの配置は、被測定物に対して直
接接触させるものであるため、被測定物の振動をまとも
に受けることになって損傷するか、または寿命が短くな
り、結果として信頼性が低いという問題がある。さらに
また、検知信号を出力するため配線を、振動センサと温
度センサからそれぞれ別々に延設しなければならず、観
測点を多数設けると、配線コストが高くなるという問題
もある。
【0005】本発明は以上のような従来の振動及び温度
を観測する場合における課題を考慮してなされたもので
あり、異常部位を正確に特定することができ、温度検出
の信頼性を高めることができ、且つ配線コストを低減す
ることができる振動・温度検出用一体型センサを提供す
るものである。
を観測する場合における課題を考慮してなされたもので
あり、異常部位を正確に特定することができ、温度検出
の信頼性を高めることができ、且つ配線コストを低減す
ることができる振動・温度検出用一体型センサを提供す
るものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定面に直
交する線上に振動センサと温度センサが配置されるよう
に各センサをケース内に収納するとともに、振動センサ
をケースに固定し、温度センサを、被測定面近傍且つ被
測定面に対して非接触状態でケースに保持してなる振動
・温度検出用一体型センサである。
交する線上に振動センサと温度センサが配置されるよう
に各センサをケース内に収納するとともに、振動センサ
をケースに固定し、温度センサを、被測定面近傍且つ被
測定面に対して非接触状態でケースに保持してなる振動
・温度検出用一体型センサである。
【0007】本発明においては、ケースにおける被測定
面と接触する側に、被測定面に取り付けられている金具
と結合し得る結合軸を突設し、該結合軸内に温度センサ
を収納することができる。また、上記結合軸はねじ軸で
構成することができる。
面と接触する側に、被測定面に取り付けられている金具
と結合し得る結合軸を突設し、該結合軸内に温度センサ
を収納することができる。また、上記結合軸はねじ軸で
構成することができる。
【0008】また、本発明においては、ケースにおける
被測定面と接触する側に、磁石を枠状に配置し、該枠の
中心部に温度センサを保持することもできる。この場
合、温度センサは被測定面に向けて弾発的に付勢させる
ことが好ましい。本発明において、温度センサの少なく
ともその先端には弾性体を備えることが好ましい。
被測定面と接触する側に、磁石を枠状に配置し、該枠の
中心部に温度センサを保持することもできる。この場
合、温度センサは被測定面に向けて弾発的に付勢させる
ことが好ましい。本発明において、温度センサの少なく
ともその先端には弾性体を備えることが好ましい。
【0009】本発明に従えば、被測定物の振動は、被測
定物に取り付けられたケースを介して振動センサから検
出され、被測定物の表面温度は、その振動センサと同軸
上であって被測定物の近傍に保持されている温度センサ
により非接触で検出される。
定物に取り付けられたケースを介して振動センサから検
出され、被測定物の表面温度は、その振動センサと同軸
上であって被測定物の近傍に保持されている温度センサ
により非接触で検出される。
【0010】また、結合軸内に温度センサを収納した本
発明に従えば、温度センサを被測定物に近接させること
ができるとともに、予め被測定面に取り付けられている
被結合金具に対してその結合軸を結合させれば、一体型
センサを簡便に着脱することができる。ケースにおける
被測定面と接触する側に、磁石を枠状に配置した本発明
に従えば、被測定物の任意の箇所に一体型センサを取り
付けることができる。
発明に従えば、温度センサを被測定物に近接させること
ができるとともに、予め被測定面に取り付けられている
被結合金具に対してその結合軸を結合させれば、一体型
センサを簡便に着脱することができる。ケースにおける
被測定面と接触する側に、磁石を枠状に配置した本発明
に従えば、被測定物の任意の箇所に一体型センサを取り
付けることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した好ましい実施
の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図1は、本
発明の一体型センサの基本構成を示したものである。同
図において、一体型センサ1は、被測定面に固定される
防水構造のステンレス製筒状ケース(以下ケースと略称
する)2内に、振動センサ3と温度センサ4とを収納し
たものであり、これら振動センサ3と温度センサ4は、
被測定面に直交する軸線L上に直列に配列され、温度セ
ンサ4が被測定面側に配置される。
の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図1は、本
発明の一体型センサの基本構成を示したものである。同
図において、一体型センサ1は、被測定面に固定される
防水構造のステンレス製筒状ケース(以下ケースと略称
する)2内に、振動センサ3と温度センサ4とを収納し
たものであり、これら振動センサ3と温度センサ4は、
被測定面に直交する軸線L上に直列に配列され、温度セ
ンサ4が被測定面側に配置される。
【0012】上記温度センサ4は、被測定面に対し非接
触状態にてその被測定面の表面温度を測定するものであ
り、測定範囲が0〜150℃である例えばサーミスタか
ら構成され、ケース2下面から突設された結合軸として
のねじ軸5内に収納されている。また、温度センサ4と
ねじ軸5内壁とに生じる隙間には、例えばシリコンゴム
系充填剤のような弾性体が充填されており、温度センサ
4のシール及び緩衝材として機能するようになってい
る。温度変化に応じて温度センサ4から検出される電気
抵抗値は、リード線4a,4a´から取り出されるよう
になっている。なお、上記ねじ軸5の胴部には雄ねじが
形成されており、被測定物に予め固着されている金具と
しての補助金具(後述する)のねじ孔と螺合するように
なっている。
触状態にてその被測定面の表面温度を測定するものであ
り、測定範囲が0〜150℃である例えばサーミスタか
ら構成され、ケース2下面から突設された結合軸として
のねじ軸5内に収納されている。また、温度センサ4と
ねじ軸5内壁とに生じる隙間には、例えばシリコンゴム
系充填剤のような弾性体が充填されており、温度センサ
4のシール及び緩衝材として機能するようになってい
る。温度変化に応じて温度センサ4から検出される電気
抵抗値は、リード線4a,4a´から取り出されるよう
になっている。なお、上記ねじ軸5の胴部には雄ねじが
形成されており、被測定物に予め固着されている金具と
しての補助金具(後述する)のねじ孔と螺合するように
なっている。
【0013】以下、各部の構成について詳しく説明す
る。振動センサ3は、振動を圧電効果を利用して計測す
るものであり、本実施形態では、圧縮型の圧電型加速度
計を利用している。この振動センサ3は、リング状の二
枚の圧電セラミックス板3b,3b´の間に、同じくリ
ング状の電極板3cを挟み込み、上側の圧電セラミック
ス板3b上に負荷質量としてのリング状のおもり3aを
載置し、そのおもり3a,上側圧電セラミックス板3
b,電極板3c,下側圧電セラミックス板3b´に締付
けねじ3dを貫通させ、次いで締付けねじ3dの先端部
に形成されている雄ねじ部を、ねじ軸5の内壁に形成さ
れている雌ねじ部と螺合させることにより、ケース2内
に振動センサ3を固定するようになっている。
る。振動センサ3は、振動を圧電効果を利用して計測す
るものであり、本実施形態では、圧縮型の圧電型加速度
計を利用している。この振動センサ3は、リング状の二
枚の圧電セラミックス板3b,3b´の間に、同じくリ
ング状の電極板3cを挟み込み、上側の圧電セラミック
ス板3b上に負荷質量としてのリング状のおもり3aを
載置し、そのおもり3a,上側圧電セラミックス板3
b,電極板3c,下側圧電セラミックス板3b´に締付
けねじ3dを貫通させ、次いで締付けねじ3dの先端部
に形成されている雄ねじ部を、ねじ軸5の内壁に形成さ
れている雌ねじ部と螺合させることにより、ケース2内
に振動センサ3を固定するようになっている。
【0014】従って、上側圧電セラミックス板3bの上
面と下側圧電セラミックス板3b´の下面は電気的に接
続されており、ケース2に対して上下方向の振動が加え
られると、上側圧電セラミックス3bの上面には、加え
られた振動に応じた電圧が発生することになり、この電
圧は、電極板3cにはんだ付けされて延設されるリード
線3e及びケース2にはんだ付けされて延設されるリー
ド線3e´から取り出される。なお、図中、符号6はリ
ード線3e,3e´及びリード線4a,4a´を集合さ
せた同軸ケーブルである。
面と下側圧電セラミックス板3b´の下面は電気的に接
続されており、ケース2に対して上下方向の振動が加え
られると、上側圧電セラミックス3bの上面には、加え
られた振動に応じた電圧が発生することになり、この電
圧は、電極板3cにはんだ付けされて延設されるリード
線3e及びケース2にはんだ付けされて延設されるリー
ド線3e´から取り出される。なお、図中、符号6はリ
ード線3e,3e´及びリード線4a,4a´を集合さ
せた同軸ケーブルである。
【0015】上記した振動センサ3からは、振動数によ
って周波数の変化する電圧が得られ、振動の強さととも
に振動数が測定できる。本実施形態に用いた振動センサ
3における振動数の検出範囲は、5Hz〜10,000Hz
である。
って周波数の変化する電圧が得られ、振動の強さととも
に振動数が測定できる。本実施形態に用いた振動センサ
3における振動数の検出範囲は、5Hz〜10,000Hz
である。
【0016】図2は上記一体型センサ1の使用状態を示
したものであり、被測定物としての電動モータ10の外
壁面(被測定面)に取り付けた状態を示している。同図
において、電動モータ10の外壁面10aには、エポキ
シ系接着剤11を用いて予めリング状の補助金具(金
具)11が固着されている。
したものであり、被測定物としての電動モータ10の外
壁面(被測定面)に取り付けた状態を示している。同図
において、電動モータ10の外壁面10aには、エポキ
シ系接着剤11を用いて予めリング状の補助金具(金
具)11が固着されている。
【0017】この補助金具12中央にはねじ孔12aが
形成されており、このねじ孔12aに、上記した一体型
センサ1に突設されているねじ軸5が螺合される。ま
た、ねじ軸5が補助金具12に締め付けられた状態にお
いて、ねじ軸5の下端面と電動モータ10の外壁面10
aとの間には若干の隙間tが確保されるようになってお
り、その隙間tには空気層が封じ込まれた状態となって
いる。
形成されており、このねじ孔12aに、上記した一体型
センサ1に突設されているねじ軸5が螺合される。ま
た、ねじ軸5が補助金具12に締め付けられた状態にお
いて、ねじ軸5の下端面と電動モータ10の外壁面10
aとの間には若干の隙間tが確保されるようになってお
り、その隙間tには空気層が封じ込まれた状態となって
いる。
【0018】このような構成において、温度センサ4は
電動モータ10の外壁面10aと接触しておらず、従っ
て本実施形態の一体型センサ1では、補助金具12を介
して伝わる熱伝導及び空気層を伝わる放射により、電動
モータ10の外壁面10aの表面温度を間接的に測定す
ることになる。
電動モータ10の外壁面10aと接触しておらず、従っ
て本実施形態の一体型センサ1では、補助金具12を介
して伝わる熱伝導及び空気層を伝わる放射により、電動
モータ10の外壁面10aの表面温度を間接的に測定す
ることになる。
【0019】一方、振動センサ3を収納しているケース
は、締め付けに便利なように六角ナット状に形成されて
おり、ケース2の下面は取付金具12の上面と密着して
いるため、電動モータ10の振動を直接的に測定するこ
とができる。
は、締め付けに便利なように六角ナット状に形成されて
おり、ケース2の下面は取付金具12の上面と密着して
いるため、電動モータ10の振動を直接的に測定するこ
とができる。
【0020】このように、本実施形態の一体型センサ1
では、補助金具12のねじ孔に対して一体型センサ1の
ねじ軸5を締め付けることにより、電動モータ10の外
壁面10aから若干離れた状態で温度センサ4を位置決
めすることができる。また、締め戻しを行うことによ
り、一体型センサ1を被測定物に簡便に着脱することが
できる。
では、補助金具12のねじ孔に対して一体型センサ1の
ねじ軸5を締め付けることにより、電動モータ10の外
壁面10aから若干離れた状態で温度センサ4を位置決
めすることができる。また、締め戻しを行うことによ
り、一体型センサ1を被測定物に簡便に着脱することが
できる。
【0021】なお、上記した実施形態では螺合によって
一体型センサを固定する構成であったが、これに限ら
ず、例えばねじ軸を雄型、補助金具を雌型からなるカプ
ラで構成することもできる。
一体型センサを固定する構成であったが、これに限ら
ず、例えばねじ軸を雄型、補助金具を雌型からなるカプ
ラで構成することもできる。
【0022】図3は本発明の一体型センサの他の実施形
態を示したものであり、図3( b)は同図( a) に示す
温度センサ部分を拡大して示したものである。なお、図
3において、図1と同じ構成要素については同一符号を
付してその説明を省略する。
態を示したものであり、図3( b)は同図( a) に示す
温度センサ部分を拡大して示したものである。なお、図
3において、図1と同じ構成要素については同一符号を
付してその説明を省略する。
【0023】図3( a) に示す一体型センサ20では、
筒状の金属製ケース21の下部(取付け側端部)にスカ
ート部20aが形成されており、そのスカート部20a
内にリング状(枠状)の磁石22が固着され、その磁石
22の吸着作用によって一体型センサ20を被測定物の
外壁面に着脱できるように構成されている。
筒状の金属製ケース21の下部(取付け側端部)にスカ
ート部20aが形成されており、そのスカート部20a
内にリング状(枠状)の磁石22が固着され、その磁石
22の吸着作用によって一体型センサ20を被測定物の
外壁面に着脱できるように構成されている。
【0024】おいて、金属製ケース21内には、振動セ
ンサ3と、その振動センサ3と同軸上で且つ振動センサ
3の下方(取付け側)に配置された温度センサ4とが収
納されており、温度センサ4は、被測定物外壁面から若
干離れた部位に配置されている。
ンサ3と、その振動センサ3と同軸上で且つ振動センサ
3の下方(取付け側)に配置された温度センサ4とが収
納されており、温度センサ4は、被測定物外壁面から若
干離れた部位に配置されている。
【0025】詳しくは、金属製ケース21内の磁石21
上面に跨って円板部20bを有し、この円板部20bの
中心に貫通孔20cが形成され、この貫通孔20cの縁
部から下向きに筒状ガイド20dが形成されている。ま
た、この筒状ガイド20d内には、図3( b) に示すよ
うに、筒状ガイド20d内壁に沿って移動し得るスリー
ブ20eが挿入されており、筒状ガイド20dとスリー
ブ20eとの隙間には圧縮コイルばね20fが配置さ
れ、スリーブ20eの鍔部と当接してそのスリーブ20
eを下向きに付勢するようになっている。
上面に跨って円板部20bを有し、この円板部20bの
中心に貫通孔20cが形成され、この貫通孔20cの縁
部から下向きに筒状ガイド20dが形成されている。ま
た、この筒状ガイド20d内には、図3( b) に示すよ
うに、筒状ガイド20d内壁に沿って移動し得るスリー
ブ20eが挿入されており、筒状ガイド20dとスリー
ブ20eとの隙間には圧縮コイルばね20fが配置さ
れ、スリーブ20eの鍔部と当接してそのスリーブ20
eを下向きに付勢するようになっている。
【0026】温度センサ4は上記スリーブ20e内の下
端寄りに配置され、スリーブ20e内に充填されたシリ
コン接着剤等の弾性材20fによって被測定面から隙間
tが確保されるように位置決めされている。
端寄りに配置され、スリーブ20e内に充填されたシリ
コン接着剤等の弾性材20fによって被測定面から隙間
tが確保されるように位置決めされている。
【0027】このような構成において、磁石22を被測
定物に吸着させることにより一体型センサ20を取り付
けると、スリーブ20eの下端が被測定物外壁面と当接
し、その外壁面が曲面で構成されている場合には圧縮コ
イルばね20fの付勢力に抗してスリーブ20eが矢印
A方向に引き込まれる。それにより、温度センサ4は被
測定物外壁面から常に一定の隙間tを維持することがで
きる。換言すれば、温度センサ4を被測定面に対して非
接触状態に維持することができる。
定物に吸着させることにより一体型センサ20を取り付
けると、スリーブ20eの下端が被測定物外壁面と当接
し、その外壁面が曲面で構成されている場合には圧縮コ
イルばね20fの付勢力に抗してスリーブ20eが矢印
A方向に引き込まれる。それにより、温度センサ4は被
測定物外壁面から常に一定の隙間tを維持することがで
きる。換言すれば、温度センサ4を被測定面に対して非
接触状態に維持することができる。
【0028】このように金属製ケース21の取付け側に
磁石を備えた構成の一体型センサによれば、測定箇所を
任意を選択することができるとともに、一体型センサの
着脱を簡便に行える。
磁石を備えた構成の一体型センサによれば、測定箇所を
任意を選択することができるとともに、一体型センサの
着脱を簡便に行える。
【0029】上記した実施形態の一体型センサによれ
ば、被測定物が発生する振動は振動センサによって検出
され、被測定物から生じる温度は、その振動センサと同
軸上であって被測定物近傍に配置された温度センサによ
って検出され、検出時において温度センサは、被測定物
の温度を非接触状態にて検出する。
ば、被測定物が発生する振動は振動センサによって検出
され、被測定物から生じる温度は、その振動センサと同
軸上であって被測定物近傍に配置された温度センサによ
って検出され、検出時において温度センサは、被測定物
の温度を非接触状態にて検出する。
【0030】図4は上記一体型センサを用いて構成され
る回転機器診断システムのブロック図である。同図に示
す診断システムは、被測定物としての回転機器Mを、振
動と温度の双方から同時に監視を行うことにより異常を
早期に発見したり、回転機器Mをリアルタイムに監視す
ることで劣化傾向の把握と寿命の予測をするものであ
り、回転機器Mに取り付けた一体型センサ1から得られ
る振動信号及び温度信号をインターフェイス30を介し
て多重伝送システムに接続し、その多重伝送システムと
接続されたコンピュータ31によって回転機器をリアル
タイムで監視するようになっている。具体的には、コン
ピュータ31の画面31a上に測定データ、寿命予測、
警報監視に関する情報等を表示するようになっている。
図4中、符号32は伝送制御ユニットであり、符号33
はコンピュータ31の画面上に表示された各種情報等を
出力するためのプリンタである。
る回転機器診断システムのブロック図である。同図に示
す診断システムは、被測定物としての回転機器Mを、振
動と温度の双方から同時に監視を行うことにより異常を
早期に発見したり、回転機器Mをリアルタイムに監視す
ることで劣化傾向の把握と寿命の予測をするものであ
り、回転機器Mに取り付けた一体型センサ1から得られ
る振動信号及び温度信号をインターフェイス30を介し
て多重伝送システムに接続し、その多重伝送システムと
接続されたコンピュータ31によって回転機器をリアル
タイムで監視するようになっている。具体的には、コン
ピュータ31の画面31a上に測定データ、寿命予測、
警報監視に関する情報等を表示するようになっている。
図4中、符号32は伝送制御ユニットであり、符号33
はコンピュータ31の画面上に表示された各種情報等を
出力するためのプリンタである。
【0031】また、本発明において温度センサは上記実
施形態ではサーミスタで構成したが、これに限らず、被
測定物の運転温度に応じて例えば熱電対等の温度センサ
を使用することができる。
施形態ではサーミスタで構成したが、これに限らず、被
測定物の運転温度に応じて例えば熱電対等の温度センサ
を使用することができる。
【0032】また、本発明の一体型センサは、電動モー
タ,送風機,各種ポンプ,各種圧縮機等の機器に適用す
ることができる。また、本発明の一体型センサに防水ゴ
ムカバーを装着して一体型センサを保護すれば、信頼性
をより高めることができる。
タ,送風機,各種ポンプ,各種圧縮機等の機器に適用す
ることができる。また、本発明の一体型センサに防水ゴ
ムカバーを装着して一体型センサを保護すれば、信頼性
をより高めることができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明の一体型センサによれば、振動センサと温度セン
サが同軸上に配置されているため、異常部分を正確に特
定することができ、温度センサは被測定物に対し非接触
状態で被測定物の温度を検出するため被測定物の振動を
受けず、信頼性を高めることができる。また、振動セン
サのリード線と温度センサのリード線とを集合させるこ
とができるため、センサから延設される配線のコストを
低減することができる
本発明の一体型センサによれば、振動センサと温度セン
サが同軸上に配置されているため、異常部分を正確に特
定することができ、温度センサは被測定物に対し非接触
状態で被測定物の温度を検出するため被測定物の振動を
受けず、信頼性を高めることができる。また、振動セン
サのリード線と温度センサのリード線とを集合させるこ
とができるため、センサから延設される配線のコストを
低減することができる
【図1】本発明の一体型センサの実施形態を示す縦断面
図である。
図である。
【図2】本発明を被測定物に取り付けた状態を示す説明
図である。
図である。
【図3】本発明の他の実施形態を示す縦断面図である。
【図4】本発明の一体型センサを用いた診断システムの
ブロック図である。
ブロック図である。
1 一体型センサ 2 ケース 3 振動センサ 4 温度センサ 5 ねじ軸 6 同軸ケーブル 10 被測定物 12 補助金具
Claims (6)
- 【請求項1】 被測定面に直交する線上に振動センサと
温度センサが配置されるように各センサをケース内に収
納するとともに、前記振動センサを前記ケースに固定
し、前記温度センサを、前記被測定面近傍且つ被測定面
に対して非接触状態で前記ケースに保持してなることを
特徴とする振動・温度検出用一体型センサ。 - 【請求項2】 前記ケースにおける前記被測定面と接触
する側に、前記被測定面に取り付けられている金具と結
合し得る結合軸が突設され、該結合軸内に前記温度セン
サが収納されている請求項1記載の振動・温度検出用一
体型センサ。 - 【請求項3】 前記結合軸がねじ軸で構成されている請
求項2記載の振動・温度検出用一体型センサ。 - 【請求項4】 前記ケースにおける前記被測定面と接触
する側に、磁石を枠状に配置し、該枠の中心部に前記温
度センサを保持してなる請求項1記載の振動・温度検出
用一体型センサ。 - 【請求項5】 前記温度センサが前記被測定面に向けて
弾発的に付勢されている請求項4記載の振動・温度検出
用一体型センサ。 - 【請求項6】 前記温度センサの少なくともその先端に
弾性体が備えられている請求項1〜5のいずれかに記載
の振動・温度検出用一体型センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079997A JPH10227700A (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 振動・温度検出用一体型センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079997A JPH10227700A (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 振動・温度検出用一体型センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10227700A true JPH10227700A (ja) | 1998-08-25 |
Family
ID=12313737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3079997A Pending JPH10227700A (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 振動・温度検出用一体型センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10227700A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008175576A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 聴診具 |
| JP2008232620A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 曲面の表面温度計測用温度計、内部に流体が流れる被計測物の曲面の表面温度計測用温度計の施工方法、および曲面を有し内部に流体が流れる被計測物の表面温度の計測方法 |
| CN102135454A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-07-27 | 西安交通大学 | 一种用于测量轴承温度和振动信号的测量装置 |
| JP2014209059A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 三菱電機株式会社 | 振動測定用センサ装置 |
| JP2015111103A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-06-18 | 株式会社テイエルブイ | 熱電対付き振動センサ |
| CN104807535A (zh) * | 2015-02-08 | 2015-07-29 | 北京博华信智科技股份有限公司 | 一种多轴无线振动和温度节点 |
| JP2016125964A (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-11 | 株式会社テイエルブイ | センサ装置 |
| JP2018112477A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | 日本精機株式会社 | 振動検出装置 |
| WO2018168073A1 (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-20 | オムロン株式会社 | 回転機の状態監視システム、回転機の状態監視方法、プログラムおよび記録媒体 |
| CN109870304A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-06-11 | 上海航天动力科技工程有限公司 | 一种能测振动的温度传感器 |
| JP2020112355A (ja) * | 2019-01-08 | 2020-07-27 | 三菱マテリアル株式会社 | 温度センサ装置及びセンサシステム |
| JP2022068854A (ja) * | 2020-10-22 | 2022-05-10 | 株式会社ミヤワキ | 計測装置及びプローブユニット |
| JP2022121141A (ja) * | 2021-02-08 | 2022-08-19 | 株式会社ミヤワキ | 計測装置およびその製造方法 |
| JP2022122060A (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-22 | 株式会社ミヤワキ | 振動プローブおよび計測装置 |
| JP7133120B1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-07 | 株式会社テイエルブイ | センサ装置 |
| CN119756559A (zh) * | 2025-01-16 | 2025-04-04 | 上海邦芯半导体科技有限公司 | 检测装置及半导体设备 |
-
1997
- 1997-02-14 JP JP3079997A patent/JPH10227700A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008175576A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 聴診具 |
| JP2008232620A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 曲面の表面温度計測用温度計、内部に流体が流れる被計測物の曲面の表面温度計測用温度計の施工方法、および曲面を有し内部に流体が流れる被計測物の表面温度の計測方法 |
| CN102135454A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-07-27 | 西安交通大学 | 一种用于测量轴承温度和振动信号的测量装置 |
| JP2014209059A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 三菱電機株式会社 | 振動測定用センサ装置 |
| JP2015111103A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-06-18 | 株式会社テイエルブイ | 熱電対付き振動センサ |
| JP2016125964A (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-11 | 株式会社テイエルブイ | センサ装置 |
| CN104807535A (zh) * | 2015-02-08 | 2015-07-29 | 北京博华信智科技股份有限公司 | 一种多轴无线振动和温度节点 |
| JP2018112477A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | 日本精機株式会社 | 振動検出装置 |
| WO2018168073A1 (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-20 | オムロン株式会社 | 回転機の状態監視システム、回転機の状態監視方法、プログラムおよび記録媒体 |
| JP2018151232A (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-27 | オムロン株式会社 | 回転機の状態監視システム、回転機の状態監視方法、プログラムおよび記録媒体 |
| CN110100158A (zh) * | 2017-03-13 | 2019-08-06 | 欧姆龙株式会社 | 旋转机的状态监视系统、旋转机的状态监视方法、程序以及存储介质 |
| JP2020112355A (ja) * | 2019-01-08 | 2020-07-27 | 三菱マテリアル株式会社 | 温度センサ装置及びセンサシステム |
| CN109870304A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-06-11 | 上海航天动力科技工程有限公司 | 一种能测振动的温度传感器 |
| JP2022068854A (ja) * | 2020-10-22 | 2022-05-10 | 株式会社ミヤワキ | 計測装置及びプローブユニット |
| JP2022121141A (ja) * | 2021-02-08 | 2022-08-19 | 株式会社ミヤワキ | 計測装置およびその製造方法 |
| JP2022122060A (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-22 | 株式会社ミヤワキ | 振動プローブおよび計測装置 |
| JP7133120B1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-07 | 株式会社テイエルブイ | センサ装置 |
| WO2022201871A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 株式会社テイエルブイ | センサ装置 |
| CN119756559A (zh) * | 2025-01-16 | 2025-04-04 | 上海邦芯半导体科技有限公司 | 检测装置及半导体设备 |
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