JPH10231499A

JPH10231499A - 不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物

Info

Publication number: JPH10231499A
Application number: JP3677997A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Shimozawa; 宏下澤; Masaru Kumagai; 勝熊谷; Minoru Inada; 実稲田; Shigeo Santo; 茂夫山藤; Nobuhiro Saito; 信宏齋藤
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Silicone Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Momentive Performance Materials Japan LLC
Priority date: 1997-02-20
Filing date: 1997-02-20
Publication date: 1998-09-02

Abstract

(57)【要約】【課題】従来のフロン等がもつ環境および設備上の問
題点を解決して、低分子量フルオロ化合物の沸点を、不
揮発性物質と混合させて上昇させることによって、より
高い蒸気洗浄性が得られる不燃性または難燃性を示す蒸
気洗浄組成物を提供すること。【解決手段】１０〜９９重量％のフルオロカーボン類
（Ａ）と１〜９０重量％の不揮発性物質（Ｂ）との混合
物からなり、その混合物が室温で完全相溶するか、ある
いは少なくともフルオロカーボン類の沸点近傍で相溶し
て均一な溶液となる不燃性または難燃性蒸気洗浄組成
物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】フロンおよび１，１，１−ト
リクロロエタン等の塩素系洗浄剤の代替洗浄剤となる蒸
気洗浄組成物に係わり、特にフルオロカーボン類と不揮
発性物質との混合物からなる不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】光学部品、精密部品等の洗浄溶剤とし
て、従来より、１，１，１−トリクロロエタンやフロン
が使用されていた。これはフロンが化学的に安定してお
り生体に対する毒性が低く、低蒸発熱、低表面張力であ
るため、微細な隙間に浸透して、速やかに乾燥し、さら
に蒸気洗浄を行うことによって清浄度の高い基材表面を
得ることができるという理由からであった。さらに蒸気
洗浄の際、不燃性であるため作業環境が安全であるとい
う長所もある。

【０００３】また、１、１、１−トリクロロエタンは優
れた脱脂力を有しており、フロンはプラスチックやゴム
を侵さないが油脂等を溶解するという特性を有してい
る。しかしフロン等は、このような様々な利点を有する
にも関わらず、オゾン層破壊物質であるため、その使用
が規制されている。

【０００４】さらに、フロン等の蒸気洗浄剤は沸点が低
いため、良好な乾燥性を付与させるには、洗浄工程と乾
燥工程の間に冷浴槽を設置するなどの装置が必要であっ
た。さらにフロンの槽外への蒸気流出を防ぐためには、
より温度の低い冷却水をチラーコイルに流す等の処置を
施さなければならなかった。従って、装置の付随設備が
増え、そのメンテナンスを含めたランニングコストは必
然的に高くなっている。

【０００５】フロンおよび１、１、１−トリクロロエタ
ンに代わる洗浄剤に求められる特性は、オゾン層破壊が
ないこと、化学的に安定していること、そして微細な部
品の隙間に浸透すること、蒸気洗浄によって速乾性を得
るために、低表面張力、低蒸発熱を有することである。
さらに作業環境によっては、不燃性または難燃性という
特性も求められる。

【０００６】これらの条件を満たす溶媒の一つに、フル
オロ化合物、いわゆるハイドロフルオロカーボン（ＣＦ
₃ＣＦＨＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₃）、ハイドロフルオロエー
テル（Ｃ₄Ｆ₉ＯＣＨ₃）等がある。しかしながら、こ
れは分子中に塩素原子を有しないためにこれ自身の、汚
れに対する溶解力、洗浄力はほとんど期待できない。こ
れを克服する方法として、他の、洗浄力のある溶媒で汚
れを除去したのちに、これらフルオロカーボン類に代表
されるフルオロ化合物により蒸気洗浄を行うという方法
がある。フルオロ化合物は、低分子量のものほど化学的
に安定で、さらに前工程で使用される溶媒との溶解性が
良いが、蒸気洗浄効果は低い。これは低分子量フルオロ
化合物が低沸点であることに起因する。低沸点である方
が、乾燥性には優れているが、凝縮しにくいため、蒸気
洗浄効果に劣るのである。凝縮量は、蒸気洗浄剤の沸点
と部品の初期温度との差の２乗に比例するものである。

【０００７】また沸点が低いということは、蒸発による
消耗を増大させることとなり、これは経済合理性および
設備等の面から望ましくない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
したような従来のフロン等がもつ環境および設備上の問
題点を解決して、低分子量フルオロ化合物の沸点を、不
揮発性物質と混合させて上昇させることによって、より
高い蒸気洗浄性が得られる不燃性または難燃性を示す蒸
気洗浄組成物を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するために鋭意検討を行ったところ、フルオロカ
ーボン類（Ａ）と不揮発性物質（Ｂ）とからなる不燃ま
たは難燃性を示す組成物が、フルオロカーボン類単独に
比べて、沸点を上昇させることによる効果により高い洗
浄性と優れた乾燥特性を示すことを見出だした。

【００１０】すなわち、本発明のフルオロカーボン類
（Ａ）の沸点を上昇させる不燃性または難燃性蒸気洗浄
組成物は、フルオロカーボン類（Ａ）に不揮発性物質
（Ｂ）を添加することによって構成される。さらに、沸
点１３０℃未満の揮発性ポリオルガノシロキサン（Ｃ）
を混合させることによって構成される。

【００１１】まず、ここで沸点上昇のメカニズムについ
て説明する。

【００１２】溶媒に不揮発性の溶質を添加すると、溶媒
が沸騰し、分子が激しく液面から飛び出していくのを溶
質の分子が妨げることによって沸点が上昇する。上昇す
る温度は、溶質の種類ではなく、混合した溶質のモル数
に比例する。ここでいう不揮発性物質とは、溶媒との間
に化学変化を起こすようなものではなく、フルオロカー
ボン類（Ａ）の沸点よりも高い沸点を有するものを言
う。

【００１３】溶媒に揮発性物質を添加すると、組成変化
が起こりやすい、引火点が低くなる、等が生じるため、
揮発性物質は本発明には基本的に使用不可である。ただ
し、後述する沸点１３０℃未満の揮発性ポリオルガノシ
ロキサンは例外である。

【００１４】次に、沸点上昇の算出方法について述べ
る。

【００１５】分子量Ｍの溶質ｄｇを、Ｄｇの溶媒中に溶
かしたときの沸点上昇を△Ｔｂとすると、次の式で算出
される。尚、次式は溶質が溶液内で解離する場合などは
ずれが生じる。本発明は相溶して完全に一液となってい
るため大幅なずれはないと考えられる。

【００１６】△Ｔｂ＝Ｋｂ×１０００ｄ／Ｍ／ＤここでＫｂはモル沸点上昇定数であり、同一の溶媒につ
いては、溶質の種類によって変化しない値である。Ｋｂ
の示す値は、溶媒によって異なる。熱力学上、定数Ｋｂ
は、溶媒の沸点Ｔｂ（絶対温度）および１ｇの溶媒の蒸
発熱ｑと次式より関係づけられる。

【００１７】Ｋｂ＝ＲＴｂ^２／１０００ｑここでＲは気体定数（1.987cal/K・mol ）である。尚、
上式は、実在溶液では±７℃のずれが見込まれる。

【００１８】尚、一般的には、浸漬された状態では、溶
液の静圧頭が付加されるため更に沸点は上昇するが、不
揮発性物質を含む本発明においては、浸漬すると、パー
ティクルの付着や不揮発性物質が吸着する可能性がある
ため、浸漬する場合には、浸漬後に蒸気をあてることが
好ましい。例えば、前工程または蒸気洗浄槽で浸漬した
後、引き上げながら蒸気洗浄を行うことが好ましい。

【００１９】上記目的を達成する本発明の不燃性または
難燃性蒸気洗浄組成物は、フルオロカーボン類（Ａ）と
不揮発性物質（Ｂ）との混合物からなることを特徴とし
ており、さらに沸点１３０℃未満の揮発性ポリオルガノ
シロキサン（Ｃ）を添加することを特徴としている。

【００２０】以下、本発明に用いる物質について具体的
に説明する。

【００２１】フルオロカーボン類は、蒸発潜熱や表面張
力が低いため乾燥性に優れている。さらに、不燃性また
は難燃性のものが多いため、蒸気洗浄剤として広く用い
られている。（Ａ）のフルオロカーボン類としては、ハ
イドロフルオロエーテル類、ハイドロフルオロカーボン
類、パーフルオロカーボン類等が例示される。

【００２２】ハイドロフルオロエーテル類は、一般式：（Ｃ_ｔＨ_{２ｔ＋１−ｕ}Ｆ_ｕ）−Ｏ−（Ｃ_ｖＨ
_{２ｖ＋１−ｗ}Ｆ_ｗ）（ｔ、ｕ、ｖおよびｗは任意の整数を示し、好ましくは
ｕ＝２ｔ＋１、ｗ＝０である）で示される化合物が使用
でき、具体的には、Ｃ₃Ｆ₇ＯＣＨ₃、Ｃ₄Ｆ₉ＯＣＨ
₃、Ｃ₅Ｆ₁₁ＯＣＨ₃、Ｃ₃Ｆ₇ＯＣ₂Ｈ₅、Ｃ₄Ｆ₉
ＯＣ₂Ｈ₅、Ｃ₅Ｆ₁₁ＯＣ₂Ｈ₅等を挙げることができ
る。中でも、ノナフルオロメトキシブタン（Ｃ₄Ｆ₉Ｏ
ＣＨ₃）が好ましい。

【００２３】ハイドロフルオロカーボン類は、一般式：Ｃ_ｐＨ_ｑＦ_{２ｐ＋２−ｑ}、Ｃ_ｐＨ
_ｑＦ_２ｐ−ｑ、Ｃ_ｐＨ_ｑＦ_{２ｐ−２−} _ｑ（ｐは１から１０、ｑは１から２０の整数を示す）で示
される化合物が使用でき、具体的には、Ｃ₅Ｈ₁Ｆ₁₁、
Ｃ₅Ｈ₂Ｆ₈、Ｃ₅Ｈ₂Ｆ₁₀、Ｃ₅Ｈ₃Ｆ₉、Ｃ₄Ｈ₃
Ｆ₇、Ｃ₆Ｈ₂Ｆ₁₂等を挙げることができる。中でもデ
カフルオロペンタン（Ｃ₅Ｈ₂Ｆ₁₀）が好ましい。

【００２４】フルオロアイオダイドカーボン類として
は、例えば、ＣＦ₃ＣＦ₂ＣＦ₂Ｉ、ＣＨ₂ＦＩ、ＣＦ
₃ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｉ、ＣＦ₂Ｉ₂、ＣＦ₃（Ｃ
Ｆ₂）₄Ｉ等を挙げることができる。

【００２５】パーフルオロカーボン類は、たとえば、一般式：Ｃ_ｎＦ_２ｎ＋２（式中、ｎは４から１２の整数
を示す）で表されるパーフルオロアルカンや、

【化３】等で表されるパーフルオロポリエーテル等や、（Ｃ_４Ｆ
_９）_３Ｎ、（Ｃ_５Ｆ_１１）_３Ｎ、（Ｃ_２Ｆ_５）_３Ｎ、
（Ｃ_２Ｆ_５）（Ｃ_３Ｆ_８）ＮＦ、（ＣＦ_３）_２ＮＣ_２Ｆ
_５、（ＣＦ_３）_２ＮＣＦ＝ＣＦ_２、（ＣＦ_３）_２ＮＣＦ
_２ＣＦ_２Ｈ、（ＣＦ_３）_２ＮＣＦ_２ＣＦ_３、Ｃ_５Ｆ_１０
Ｎ_２Ｆ_５等のトリフルオロラジカルを生じるパーフルオ
ロアミン、またはＣ₅Ｆ₁₁ＮＯ、ＯＣ₄Ｆ₈ＮＣＦ₂Ｂ
ｒ等のパーフルオロモルホリン等があげられる。中で
も、パーフルオロＮメチルモルホリン（Ｃ₅Ｆ₁₁ＮＯ）
が好ましい。

【００２６】さらに、一般式：（Ｃ_ｘＦ_２ｘ＋１）_２Ｏ（式中、ｘは１から７の整数を示す）で表されるパーフ
ルオロエーテル化合物を挙げることができる。

【００２７】ハイドロフルオロエーテルやハイドロフル
オロカーボンは、パーフルオロカーボンに比べ不揮発性
物質やポリオルガノシロキサンとの溶解性が高く、混合
溶剤を調製しやすい。さらに前工程で用いられるより多
くの洗浄溶剤と相溶性を示すため適用範囲が広い、等の
特徴を有する。これらフルオロ化合物の混合比は１０〜
９９重量％の範囲とすることが好ましい。１０重量％以
上で十分なフルオロ化合物の蒸気量を得ることができ
る。好ましくは４０重量％以上、より好ましくは６０重
量％以上である。

【００２８】（Ｂ）の不揮発性物質は、上述したよう
に、溶媒との間に化学変化を起こすようなものではな
く、低分子量フルオロ化合物の沸点よりも高い沸点を有
するものである。フルオロ化合物に溶解しやすいものが
好ましく、また分子量が小さいものほど、少ない配合量
で沸点を効率良く上昇させることができる。例えば、デ
カンやイソドデカン等の１３０℃以上の沸点を有する炭
化水素類が挙げられる。

【００２９】１３０℃以上の沸点を有するポリオルガノ
シロキサン類として、一般式：

【化４】（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１
価の有機基、ｌは１から５の整数を示す）で表される直
鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式：

【化５】（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１
価の有機基、ｍは３から７の整数を示す）で表される環
状ポリジオルガノシロキサンが挙げられ、具体的には、
オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキ
サン、ドデカメチルペンタシロキサン等の直鎖状ポリジ
オルガノシロキサンが挙げられ、さらにヘキサメチルシ
クロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキ
サン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ドデカメチ
ルシクロヘキサシロキサン等の環状ポリジオルガノシロ
キサンが挙げられる。中でもオクタメチルトリシロキサ
ンが好ましい。

【００３０】融点が５０℃以上の芳香族炭化水素の具体
例としては、ナフタリン、アントラセン、Ｐ−ジクロロ
ベンゼン等が挙げられる。

【００３１】沸点が１３０℃以上のケトンの具体例とし
ては、樟脳が挙げられる。

【００３２】沸点が１３０℃以上のパーフルオロポリエ
ーテルとして、

【化６】が挙げられ、さらに、具体例として、

【化７】が挙げられる。

【００３３】これら不揮発性物質の混合比は１〜９０重
量％の範囲とすることが好ましい。不揮発性物質を１重
量％とすることで実質的なフルオロ化合物の沸点を上昇
させることができる。好ましくは５重量％〜６０重量％
の範囲、より好ましくは１０重量％〜３０重量％の範囲
である。不揮発性物質として、分子量の小さいものほど
フルオロカーボン類に相溶できる添加割合は多くでき
る。

【００３４】（Ｃ）の沸点１３０℃未満の揮発性ポリオ
ルガノシロキサンとしては、ヘキサメチルジシロキサン
等が挙げられ、この揮発性ポリオルガノシロキサンの混
合比は１〜６０重量％の範囲であることが好ましい。フ
ルオロ化合物の種類によって多少異なるが、おおよそ６
０重量％以下とすることによって、揮発性ポリオルガノ
シロキサン自身の引火性を抑制することができる。好ま
しくは３０重量％以下、より好ましくは２０重量％以下
である。例えば、６０℃付近の沸点を有するフルオロ化
合物は２５重量％以下で難燃性、８０℃付近の沸点を有
するフルオロ化合物は１５重量％以下で難燃性を示す。
低沸点のフルオロ化合物ほど、揮発性ポリオルガノシロ
キサンを混合することができる。

【００３５】本発明の必須条件は、構成成分であるフル
オロカーボン類と不揮発性物質とが室温で完全相溶する
か、あるいは少なくともフルオロカーボン類の沸点近傍
で相溶することである。不揮発性物質は、分子量の小さ
いものほどフルオロカーボン類に相溶できる添加割合を
増やすことができる。パーフルオロエーテル以外の不揮
発性物質は、揮発性ポリオルガノシロキサンであるヘキ
サメチルジシロキサンには溶けやすいが、フルオロカー
ボン類には溶けにくい。したがって、ヘキサメチルジシ
ロキサンは、フルオロカーボン類と不揮発性物質とを相
溶化させる「つなぎ剤」として機能する。

【００３６】以上、本発明に用いる物質について説明し
たきたが、本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物
の沸点は５５℃以上、１３０℃以下であることが好まし
い。より好ましくは、６０℃以上、１１０℃以下であ
り、さらに好ましくは７０℃以上、１００℃以下であ
る。

【００３７】さらに、本発明の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物により蒸気洗浄を行う前に用いる溶媒につい
てもここでふれておく。

【００３８】蒸気洗浄の前工程に使う溶媒には、溶解力
が高く、本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物と
相溶性の高いものを用いる。具体的には、Ｔｅｒｔ−ブ
タノ一ル、酢酸イソプロピル、乳酸エチル等の有機溶剤
が挙げられる。通常、これらの前工程で使用される溶剤
は、室温、あるいは、洗浄効果をあげるために加温する
場合もある。

【００３９】本発明によれば、蒸気洗浄の効果を上げる
ために沸点を上げることによって洗浄物の表面で結露す
る凝縮液量を増加させている。この沸点と液凝縮量の関
係について説明する。

【００４０】蒸気洗浄の際の部品表面の温度と液凝縮量
は、凝縮量Ｙ（ｇ）＝（Ｂｐ−Ｗｔ）×Ｇ×Ｃｗ／Ｐ（ここで、Ｂｐは蒸気洗浄剤の沸点（℃）、Ｗｔは部品
の初期温度（℃）、Ｇは部品の重量（ｇ）、Ｃｗは部品
の比熱（ｃａｌ／ｇ）、Ｐは蒸気洗浄剤の蒸発潜熱（ｃ
ａｌ／ｇ）を示す）で表される。

【００４１】部品は、蒸気洗浄剤雰囲気中にさらされる
ために温度が上昇する。Ｃｗを温度変化によらず一定と
すると、液凝縮量Ｙは、Ｗｔの関数と見なせる。Ｗｔが
室温Ｒｔから蒸気洗浄剤の沸点Ｂｐまで上昇した場合の
全凝縮量は、

【数１】で表される。この式より、部品が最終的に沸点温度まで
上昇して、凝縮が終了するまでの全凝縮量は、蒸気洗浄
剤の沸点と部品の初期温度（Ｒｔ）の差の２乗に比例す
ることがわかる。

【００４２】蒸気洗浄で良好な乾燥性をもたせるために
は、リンス液の蒸気乾燥の効果は考えないとすると、蒸
気洗浄時に部品に付着しているリンス液を蒸気洗浄剤と
完全に置換すればよい。したがって、そのために必要な
全凝縮量は、部品に付着しているリンス液の量をＸ
（ｇ）とすると、Ｙｔ／Ｃｙ＞Ａ・Ｘ／Ｃｘ（ここで、Ｙｔは全凝縮量、Ｃｙは蒸気洗浄剤の比重、
Ｃｘはリンス液の比重、Ａは１以上の実数を示す）が成
立することが必要最低条件となる。

【００４３】例えば、重量１０ｇ、比熱１cal/g 、蒸発
潜熱30cal/g 、初期温度２５℃の部品を、６０℃の沸点
を有するフルオロ化合物で蒸気洗浄する場合、液凝縮量
を式１より計算すると、２０４．１ｇとなる。また、同
じ部品を、６５℃の沸点を有するフルオロ化合物で蒸気
洗浄する場合の液凝縮量は、２６６．６ｇとなる。従っ
て、沸点が５℃上昇すると、部品表面で結露する液凝縮
量は、３０．６重量％増加することになる。このように
液凝縮量が増加することによって、蒸気洗浄剤による液
置換性が高くなり、良好な蒸気洗浄性を得ることができ
る。

【００４４】ただし、部品に付着しているリンス剤の量
に対して必要な凝縮量は、部品の形状により大きく異な
る。沸点が高くなればなるほど、凝縮量が２乗で増加す
るため、部品の形状は影響しなくなる傾向がある。

【００４５】本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成
物には、極性溶媒、安定化剤などを添加しても良い。

【００４６】本発明において好ましく用いられる極性溶
媒としては、例えば、１−ブタノール、２−ブタノー
ル、イソブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブタノール、１
−ペンタノール、２−ペンタノール、３−ペンタノー
ル、２−メチル−１−ブタノール、イソペンチルアルコ
ール、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、メチ
ルエチルケトン、２−ペンタノン、３−ペンタノン、２
−ヘキサノン、酢酸、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸
イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸sec ブチル、メチ
ルイソブチルケトン、ギ酸、ギ酸プロピル、ギ酸ｎ−ブ
チル、ギ酸イソブチル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、トリフルオロエタノール等が挙げられる。

【００４７】極性溶媒の組成比は特に限定されるもので
はないが、不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物１００重
量部に対して０．１から１００００重量部以下、好まし
くは、１０００重量部以下、より好ましくは、１００重
量部以下である。なお、上述した極性溶媒は単独で、あ
るいは２種以上併用して添加することができる。

【００４８】また、本発明の不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物に添加できる安定化剤としては、例えばグリシ
ドール、シクロヘキセンオキシド等のエポキシド類、
ｌ，４−ジオキセン、１，３，５−トリオキセン等のエ
ーテル類、１−ペンテン、１−へキセン等の不飽和炭化
水素類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル等のアク
リル酸エステル等が挙げられる。これら安定化剤は、洗
浄剤の全重量に対して０．１から５重量％程度の割合で
添加することが好ましい。なお上述した安定化剤は単独
で、あるいは２種以上併用して添加することができる。

【００４９】本発明の不燃性または難燃性蒸気洗浄組成
物は、各種被洗浄物に対して適用可能であり、被洗浄物
の材質は特に限定されるものではなく、金属、半金属、
セラミックス、プラスチック材料等が挙げられる。例え
ば、金属や半金属としては鉄、アルミニウム、シリコ
ン、銅、ステンレス等が、セラミックスとしては窒化ケ
イ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウム、ガラス、磁器等
が、プラスチックとしてはポリアミド、ポリイミド、エ
ポキシ、ポリオレフィン、ポリエステル、アクリル樹脂
等が例示され、またこれらの複合材料であってもよい。
具体的にはプリント基板や実装部品等の電子部品、電気
部品、半導体部品、金属部品、表面処理部品、精密機器
部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品、プラ
スチック部品等が挙げられる。これら被洗浄物の耐熱温
度は８０℃以上であることが好ましく、例えば、金属部
品、ウエハー、マスク、ガラスレンズの耐熱温度は１３
０℃、実装基板の耐熱温度は１１０℃である。被洗浄物
の耐熱温度は、より好ましくは７０℃以上であり、例え
ばプラスチック、エラストマーの耐熱温度は７０℃であ
る。

【００５０】

【発明の実施の形態】以下に実施例をあげ、本発明の具
体的に説明し、その効果を明らかにするが、本発明はこ
れらの実施例の記載に限定されるものでない。

【００５１】実施例１〜１１、比較例１〜３まず、フルオロカーボン類の純溶媒としての沸点を温度
計を用いて測定した。表１の最右欄にこの結果を示す。

【００５２】次にその純溶媒に既知量の不揮発性物質を
混合し、再び、同じ温度計を用いて沸点を測定した。そ
れぞれの溶媒の沸点上昇△Ｔを求めると共に、各成分の
室温から沸点までの相溶性を目視で評価した。さらに引
火性を、タグ密閉式およびクリーブランド開放式の引火
点測定器を用いて評価した。それらの結果を併せて表１
に示す。

【００５３】

【表１】本発明の実施例１〜９では、室温で各成分が相溶性を示
した。実施例１０および１１は沸点近傍で相溶性を示し
た。これら実施例は、不燃性あるいは難燃性を示し、沸
点が△Ｔ分上昇した。比較例１および２では、沸点にお
いても、各成分が相溶性を示さず沸点が上昇しなかっ
た。比較例３では、各成分が相溶し、沸点が上昇した
が、タグ密閉式およびクリーブランド解放式で引火点が
確認された。

【００５４】実施例１２、１３、比較例４〜６工作油Ｇ−６０４０（商品名、日本工作製）に浸漬した
銅製の金属部品２０Ｐ（エンベロープ部品）を被洗浄物
として、極性溶媒で洗浄を行った後、本発明の蒸気洗浄
剤を用いて、洗浄後の状態を評価した。なお、洗浄は以
下の手順で実施した。すなわち、まず極性溶媒を収容し
た第１の洗浄槽で、超音波を照射しながら約３０℃で上
記被洗浄物を洗浄した後、第２の洗浄槽において実施例
１２の液組成を加熱沸騰させて発生させた蒸気に被洗浄
物をさらすことによって乾燥させた。

【００５５】上記工程において、金属部品２０Ｐが、実
施例１２の液組成の蒸気槽で凝縮する液量を凝縮液受け
皿の代わりにガラスビーカーを使って受け止めて、液凝
縮量を測った。また、洗浄後の表面状態評価試験を行っ
た。試験方法は工作油あるいは洗浄剤の残留によるシミ
が観察されるエンベロープ部品の数で表す。０／２０の
場合、シミが観察されなかったことを示す。さらに表面
に残留する油分量を測定した。測定方法としては、洗浄
後のサンプルを任意に２個サンプリングして、３００ｍ
ｌの四塩化炭素により残留する油分を抽出し、ＨＯＲＩ
ＢＡ油分濃度計ＯＣＭＡ−２２０を用いて定量した。実
施例１３についても、同様に評価を行った。それらの測
定結果を表２に示す。また、本発明の比較例として、ノ
ナフルオロメトキシブタン単独の洗浄剤（比較例４）、
デカフルオロペンタン単独の洗浄剤（比較例５）、１，
１，１−トリクロロエタン（比較例６）をそれぞれ用い
て、上記実施例と同様に洗浄を実施して評価を行った。
それらの結果を併せて表２に示す。

【００５６】

【表２】表２に示す測定結果から明らかなように、上記実施例１
２、１３による蒸気洗浄は、洗浄性および乾燥性に優れ
るとともに、比較例４、５の単独の洗浄剤より洗浄性お
よび乾燥性が優れていることがわかる。また１，１，１
−トリクロロエタンと同等以上の優れた洗浄性および乾
燥性を示すことがわかる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物によれば、オゾン層を破壊せ
ず、化学的に安定していて、微細な部品の隙間に浸透す
るばかりでなく、速乾性に優れたフルオロカーボン類の
低沸点であるが故の低い蒸気洗浄効果を、不揮発性物質
を添加して補うことによって、高い蒸気洗浄性という効
果を得ることができる。

【００５８】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者稲田実神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者山藤茂夫東京都港区六本木６丁目２番31号東芝シリコーン株式会社内 (72)発明者齋藤信宏東京都港区六本木６丁目２番31号東芝シリコーン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１０〜９９重量％のフルオロカーボン類
（Ａ）と１〜９０重量％の不揮発性物質（Ｂ）との混合
物からなり、前記混合物が室温で完全相溶するか、ある
いは少なくとも前記フルオロカーボン類の沸点近傍で相
溶して均一な溶液となることを特徴とする不燃性または
難燃性蒸気洗浄組成物。
【請求項２】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記混合物に、沸点１３０℃未満の揮発性ポリオルガノ
シロキサン（Ｃ）を１〜６０重量％混合したことを特徴
とする不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物。
【請求項３】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記フルオロカーボン類（Ａ）が、ハイドロフルオロエ
ーテル類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物。
【請求項４】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記フルオロカーボン類（Ａ）が、ハイドロフルオロカ
ーボン類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物。
【請求項５】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記フルオロカーボン類（Ａ）が、パーフルオロカーボ
ン類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物。
【請求項６】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記不揮発性物質（Ｂ）が、沸点１３０℃以上の不揮発
性ポリオルガノシロキサン類であることを特徴とする不
燃性または難燃性蒸気洗浄組成物。
【請求項７】請求項３記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記ハイドロフルオロエーテル類が、ノナフルオロメト
キシブタンであることを特徴とする不燃性または難燃性
蒸気洗浄組成物。
【請求項８】請求項４記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記ハイドロフルオロカーボン類が、デカフルオロペン
タンであることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気洗
浄組成物。
【請求項９】請求項５記載の不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物において、前記パーフルオロカーボン類が、パーフルオロＮメチル
モルホリンであることを特徴とする不燃性または難燃性
蒸気洗浄組成物。
【請求項１０】請求項６記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、前記不揮発性ポリオルガノシロキサンが、一般式【化１】（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１
価の有機基、ｌは１から５の整数を示す）で表される直
鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式【化２】（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１
価の有機基、ｍは３から７の整数を示す）で表される環
状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１
種の低分子量ポリオルガノシロキサンから選ばれた少な
くとも１種からなることを特徴とする不燃性または難燃
性蒸気洗浄組成物。
【請求項１１】請求項１０記載の不燃性または難燃性
蒸気洗浄組成物において、前記不揮発性ポリオルガノシロキサンが、ヘキサメチル
シクロトリシロキサンであることを特徴とする不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物。
【請求項１２】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、前記不揮発性物質（Ｂ）が、融点５０℃以上の芳香族炭
化水素であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気
洗浄組成物。
【請求項１３】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、前記不揮発性物質（Ｂ）が、沸点１３０℃以上のパーフ
ルオロポリエーテル類であることを特徴とする不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物。
【請求項１４】請求項１記載の不燃性または難燃性蒸
気洗浄組成物において、前記不揮発性物質（Ｂ）が、沸点１３０℃以上のケトン
類であることを特徴とする不燃性または難燃性蒸気洗浄
組成物。
【請求項１５】請求項１および請求項２記載の不燃性
または難燃性蒸気洗浄組成物において、前記不燃性または難燃性蒸気洗浄組成物の沸点が、５５
℃以上、１３０℃以下であることを特徴とする不燃性ま
たは難燃性蒸気洗浄組成物。