JPH10236824A - チタニア−ジルコニア系複合酸化物微粉末及びその製造法 - Google Patents

チタニア−ジルコニア系複合酸化物微粉末及びその製造法

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JPH10236824A
JPH10236824A JP9059892A JP5989297A JPH10236824A JP H10236824 A JPH10236824 A JP H10236824A JP 9059892 A JP9059892 A JP 9059892A JP 5989297 A JP5989297 A JP 5989297A JP H10236824 A JPH10236824 A JP H10236824A
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composite oxide
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oxide fine
zirconium
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Masahiro Omori
将弘 大森
Katsutoshi Tamura
克俊 田村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 誘電体等の中間材料として有用な微細で比表
面積の大きく、均一組成のTiO2 −ZrO2 系複合酸
化物微粉末を得ること。 【解決手段】 TiO2 −ZrO2 が固溶したTix Z
r1-x O2 (0<x<1)の微粒子からなり、その比表
面積が15m2 /g以上であるTiO2 −ZrO2 系複
合酸化物微粉末。この微粉末の製造法はチタニウムとジ
ルコニウムの可溶性塩にアルコール又はアルコールと水
及びカルボン酸を加え溶解し、得られた溶液を加熱して
ゲルを形成し、このゲルを400〜900℃以下で熱処
理した後、粉砕することからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高性能誘電体材料
として有用な、例えばチタン酸ジルコン酸バリウム、チ
タン酸ジルコン酸鉛等の中間材料である均一で微細なチ
タニア(TiO2)−ジルコニア(ZrO2 )系複合酸
化物微粉末及びその製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】誘電性電子セラミックスとしてチタン酸
ジルコン酸のBa塩(BaTix Zr1-x O3 )や鉛塩
(PbTix Zr1-x O3 )などが知られている。これ
らの化合物を製造する方法として鉛塩の場合、特開平2
−243565ではPbOとTix Zr1-x O2 を混合
し、加熱反応させた後粉砕して粉末としている。この特
許ではTix Zr1-x O2 は四塩化チタン水溶液と硝酸
ジルコニルの混合溶液にアンモニアを加えてスラリーを
生成させ、これを濾過、乾燥した後、900〜1100
℃で熱処理し、放冷後粉砕することにより製造してい
る。その他TiO2 とZrO2 の粉末を混合し、高温で
熱処理する方法も知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】TiO2 とZrO2 の
混合粉末を用いる方法ではTiO2 とZrO2 が均一に
固溶した複合酸化物を形成させることが難しく、また均
一にするための熱処理温度も高温を必要とするので、生
成する複合酸化物の粒子が成長し、そのために中間材料
として望ましい微細な粒子が得られない。この点上記の
特許の方法はTiO2 とZrO2 はある程度十分に固溶
し、またその粒径も0.05〜0.1μmであり、かな
り微細なものが得られている。しかしながら、それでも
均一な結晶にするための熱処理温度が900〜1100
℃と高いので十分に微細ではなく、また粒子の表面形状
等に由来する比表面積も十分大きなものではない。本発
明はセラミックス誘電体の中間材料として有用なTiO
2 とZrO2 が固溶し、かつ粒径が微細で比表面積の大
きな複合酸化物微粉末を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題解決の
ため鋭意研究した結果開発したもので、その基本は以下
の構成からなる。 1)TiO2 とZrO2 が固溶したTix Zr1-x O2
(0<x<1)の微粒子からなり、その比表面積が15
m2 /g以上であるTiO2 −ZrO2 系複合酸化物微
粉末。 2)チタニウムとジルコニウムの可溶性塩にアルコール
又はアルコールと水及びカルボン酸を加え溶解し、得ら
れた溶液を加熱してゲルを形成し、このゲルを500〜
900℃で熱処理することを特徴とするTiO2 −Zr
O2 系複合酸化物微粉末の製造法。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の複合酸化物微粉末はTi
O2 とZrO2 が均一に固溶し、Tix Zr1-x O2 を
形成している。この化合物を形成していることはX線回
折装置で単純な1種類のピークが得られることで確認で
きる。その結晶構造は一般的にはアナターゼ型である。
X線回折によれば、例えばTiO2 が過剰な場合、Ti
O2 の結晶構造のピークがZrO2 の固溶により低角度
側にシフトしたピークのみが現れ、単一化合物(固溶
体)であることがわかる。
【0006】本発明の複合体Tix Zr1-x O2 におい
てxは0より大きく、1より小さい値であるが、好まし
くは0.6〜0.9、さらに好ましくは0.65〜0.
85である。本発明の複合酸化物粉末は、微細な粒子か
らなり、かつ比表面積が大きい粒子表面形状をしてい
る。具体的には15m2 /g以上の比表面積を有してい
る。その上限は製法上の制約から80m2 /g程度であ
る。粒子の大きさは平均粒径で50nm以下が好まし
い。このように微細にして比表面積が大きいことから、
この複合酸化物をBaO、PbO等と反応させる場合に
反応性が高く、かつ均一組成のBaTix Zr1-x O3
等が得られる。
【0007】次に製造法について説明する。原料として
はチタニウム塩とジルコニウム塩の可溶性塩を用いる。
チタニウム塩としては四塩化チタン、硫酸チタン、チタ
ンアルコキシドが好ましく、またジルコニウム塩として
はオキシ硝酸ジルコニウム、オキシ塩化ジルコニウム、
四塩化ジルコニウムが好ましい。これらのチタニウム塩
とジルコニウム塩を混合し、これにアルコールとカルボ
ン酸を加える。また、さらに水を加えることもできる。
この場合溶液においてアルコールあるいは水を含むアル
コールは可溶性塩を溶解する溶媒となり、またカルボン
酸は可溶性塩と作用し、錯体等の化合物が生成すると考
えられる。可溶性塩にアルコールとカルボン酸を添加す
る順序は特に制限はなくアルコールに塩を加えて溶解
し、次いでカルボン酸を加えてもよく、またアルコール
とカルボン酸の混合溶液に可溶性塩を加えてもよい。チ
タニウム塩とジルコニウム塩の混合割合は目的とするT
ix Zr1-x O3 のxに合わせて定めればよい。
【0008】アルコールは1価アルコール、多価アルコ
ールを使用することができるが、メタノール、エタノー
ル、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、エ
チレングリコール、1,3−プロパンジオール、1,2
−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,3
−ブタンジオール、1,2−ブタンジオール、2,3−
ブタンジオールが好ましい。これらは1種あるいは2種
以上を混合して用いることができる。カルボン酸はクエ
ン酸、リンゴ酸、酒石酸、乳酸、グリコール酸、トリカ
ルバリル酸、コハク酸、シュウ酸、マレイン酸、マロン
酸、アクリル酸、酢酸のうち少なくとも1種を用いるの
が好ましい。
【0009】各原料の添加比率については、溶媒と可溶
性塩との比はモル比が1:1〜100:1が好ましい。
可溶性塩に対する溶媒の比が1未満では溶媒が少なくな
り過ぎて完全に可溶性塩が溶解しなくなる。一方、10
0を越えると重合反応が長時間におよぶため好ましくな
い。また、可溶性塩とカルボン酸との比はモル比で1:
0.1〜1:10が好ましい。この比が0.1未満では
十分な添加効果が得られず、可溶性塩が錯体化等しな
い。一方、10を越えると逆に錯体等の反応生成物が塩
として沈澱することもあり好ましくない。混合溶媒に水
を加える場合は50モル%以下が好ましい。その理由は
水の量が多くなると重合反応が脱水縮重合反応であるた
め、重合反応の進行が妨げられるからである。
【0010】この混合溶液をマントルヒーター、ホット
プレートなどで加熱することにより重合反応を行う。反
応温度は反応時間によっても変わるが、80〜180℃
が適当であり、好ましくは120〜160℃で2〜10
時間である。反応終了後未反応の溶媒を加熱して除去し
濃縮することにより透明なゲルが得られる。次に得られ
た透明ゲルを熱処理する。熱処理装置は通常の電気炉を
用いることができ、その処理雰囲気は有機成分を除去し
うる酸化性雰囲気であればよく、空気、酸素富化空気な
どでよい。処理温度は400℃以上900℃以下が好ま
しい。400℃未満であると有機成分が生成物中に残留
するので好ましくなく、900℃を越えると前述したよ
うに生成物粒子同士が焼結して成長し、比表面積が増大
してしまう。昇温速度はできるだけ早いほうがよく、1
0〜100℃/minが好ましい。焼成後は適当な粉砕
機を用いて、塊状体である生成物の粒度を揃えて製品と
する。
【0011】本発明により均一で微細な複合酸化物がで
きる理由は明らかではないが、可溶性塩の錯体等の形成
段階で均一化したゲルとしていること、これを短時間で
熱分解することで均一性を保ったまま酸化物となると考
えられる。
【0012】
【実施例】以下実施例により具体的に説明する。実施例
の反応に用いた還流冷却器付き反応槽を図1に示す。図
において1が混合溶液2を充填した反応槽でこれに還流
冷却器3が設置されている。4は撹拌機、5は温度計、
6は反応槽を加熱するための装置である。
【0013】(実施例1)図1に示したような還流冷却
器付きのガラスフラスコにエチレングリコール2モル
(384g)を入れ、これに無水クエン酸0.5モル
(31g)を溶解させた後、四塩化チタン0.8モル
(152g)とオキシ塩化ジルコニウム8水和物0.2
モル(65g)を添加して約60℃に加熱して完全に溶
解させる。これをマントルヒーターで120℃に保持し
て、エチレングリコールとクエン酸を重合させる。約6
時間保持した後、該溶液をビーカーに移してさらに約1
60℃で保持することで、未反応のエチレングリコール
を蒸発させ透明なゲルを得る。さらに約2時間保持し
て、液量を約1/5程度になってからビーカーを空気雰
囲気中350℃の電気炉内で、有機成分を分解させ固形
物として取り出す。この固形物をめのう乳鉢で十分に粉
砕してから空気雰囲気中700℃の電気炉内で2時間保
持することで完全に有機成分を分解させて目的とする微
粉体を得た。
【0014】この微粉体の比表面積をBET法で測定し
たところ25m2 /gであった。また、走査型電子顕微
鏡(SEM)で観察した結果を図2に示した。図より該
粉体は1次粒子の平均粒子径が50nmと非常に微細で
あることが明らかとなった。さらにX線回折装置による
該粉体の同定を図3に示した。図よりこの粉体はアナタ
ーゼ型の酸化チタンが低角度側にシフトしたピークのみ
が得られ、このことは該粉体が均一化していることを示
している。
【0015】(実施例2)実施例1においてクエン酸を
リンゴ酸、エチレングリコールをイソプロパノールに変
えた以外は実施例1と同様にして目的とする微粉体を得
た。この微粉体の比表面積をBET法で測定したところ
60m2 /gであった。また、走査型電子顕微鏡(SE
M)で観察した結果、1次粒子の平均粒子径が25nm
と非常に微細であることが明らかとなった。さらにX線
回折装置で該粉体の同定を行ったところアナターゼ型の
酸化チタンが低角度側にシフトしたピークのみが得ら
れ、このことは該粉体が均一化していることを示してい
る。
【0016】(比較例1)酸化チタン(和光純薬製 9
9.9%)79.8gと酸化ジルコニウム(和光純薬製
99.9%)123.2gとをジルコニアビーズを用
いたボールミル中で2時間撹拌し、ろ過・乾燥後めのう
乳鉢を用いて十分に粉砕してから、空気雰囲気中700
℃の電気炉内で10時間保持して目的とする粉体を得
た。この微粉体の比表面積をBET法で測定したところ
20m2 /gであり、走査型電子顕微鏡(SEM)で観
察した結果より該粉体は1次粒子の平均粒子径が60n
mと微細であることが明らかとなった。しかしながらX
線回折装置で該粉体の同定を行ったところアナターゼ型
の酸化チタンと酸化ジルコニウムとの2種のピークのみ
が観察された。このことは該粉体が単なる混合物である
ことを示している。
【0017】(比較例2)熱処理の条件を1400℃、
10時間とした以外は比較例1と同様にして目的とする
粉体を得た。X線回折装置により該粉体の同定を行った
ところ実施例1と同じくアナターゼ型の酸化チタンが低
角度側にシフトしたピークのみが得られ、該粉体が均一
化したことを示しているが、この微粉体の比表面積をB
ET法で測定したところ10m2 /gであり、また走査
型電子顕微鏡(SEM)で観察した結果より該粉体は1
次粒子の平均粒子径が900nmと非常に大きく、粒子
が焼結していることが明らかとなった。
【0018】
【発明の効果】本発明により、均一で微細な比表面積1
5m2 /g以上のTiO2 −ZrO2系複合酸化物が得
られる。これを用いて高温固相法によってBaO等と反
応させることにより従来より低い温度において微細で均
一組成のチタン酸ジルコン酸バリウム等が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における反応に用いた還流冷却器付き反
応槽である。
【図2】実施例1により得られたTiO2 −ZrO2 系
複合酸化物の走査型電子顕微鏡写真(5万倍)である。
【図3】本発明のTiO2 −ZrO2 系複合酸化物及び
TiO2 (アナターゼ)のX線回折図である。
【符号の説明】
1 反応槽 2 混合溶液 3 還流冷却器 4 撹拌機 5 温度計 6 加熱装置

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チタニアとジルコニアが固溶したTix
    Zr1-x O2 (0<x<1)の微粒子からなり、その比
    表面積が15m2 /g以上であるチタニア−ジルコニア
    系複合酸化物微粉末。
  2. 【請求項2】 xの値が0.6〜0.9である請求項1
    記載の複合酸化物微粉末。
  3. 【請求項3】 微粒子の平均粒子径が50nm以下であ
    る請求項1又は2記載の複合酸化物微粉末。
  4. 【請求項4】 チタニウムとジルコニウムの可溶性塩に
    アルコール又はアルコールと水及びカルボン酸を加え溶
    解し、得られた溶液を加熱してゲルを形成し、このゲル
    を400〜900℃で熱処理することを特徴とするチタ
    ニア−ジルコニア系複合酸化物微粉末の製造法。
  5. 【請求項5】 アルコールがメタノール、エタノール、
    プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレ
    ングリコール、1,3−プロパンジオール、1,2−プ
    ロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,3−ブ
    タンジオール、1,2−ブタンジオール、2,3−ブタ
    ンジオールのうち少なくとも1種である請求項4に記載
    の複合酸化物微粉末の製造法。
  6. 【請求項6】 チタンの可溶性塩が四塩化チタン、硫酸
    チタン、チタンアルコキシドのうち少なくとも1種であ
    る請求項4又は5に記載の複合酸化物微粉末の製造法。
  7. 【請求項7】 ジルコニウムの可溶性塩がオキシ硝酸ジ
    コニウム、オキシ塩化ジルコニウム又は四塩化ジルコニ
    ウムのうち少なくとも1種である請求項4〜6に記載の
    複合酸化物微粉末の製造法。
  8. 【請求項8】 カルボン酸がクエン酸、リンゴ酸、酒石
    酸、乳酸、グリコール酸、トリカルバリル酸、コハク
    酸、シュウ酸、マレイン酸、マロン酸、アクリル酸、酢
    酸のうち少なくとも1種である請求項4〜7に記載の複
    合酸化物微粉末の製造法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000046154A1 (en) * 1999-02-04 2000-08-10 Japan Science And Technology Corporation Process for producing anatase titania or composite oxide containing anatase titania
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KR100916129B1 (ko) 2008-03-20 2009-09-08 재단법인서울대학교산학협력재단 지르코니아-티타니아 복합금속산화물에 담지된 니켈 촉매,그 제조방법 및 상기 촉매를 이용한 에탄올의자열개질반응에 의한 수소 제조방법

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