JPH10239003A

JPH10239003A - 変位センサ

Info

Publication number: JPH10239003A
Application number: JP4427797A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Ito; 厚志伊藤
Original assignee: Sanmei Electric Co Ltd
Current assignee: Sanmei Electric Co Ltd
Priority date: 1997-02-27
Filing date: 1997-02-27
Publication date: 1998-09-11
Anticipated expiration: 2017-02-27
Also published as: JP3632112B2

Abstract

(57)【要約】【課題】コンパクトで精度のよい変位センサを提供す
るとともに、安定した巻線作業を容易に行なうことので
きる実用的な変位センサを提供すること。【解決手段】変位センサ１はケース体３に固定配設さ
れたスケールコイル５と、スケールコイル５内を摺動可
能に配設されるスライダコイル７とを有している。スケ
ールコイル５は、スぺーサ１１を挟んで２個のコイル組
９・９を有し、１個のコイル組９には、複数個のベース
環１３と、ベース環１３の大径部外周面に巻回されるコ
イル１５と、隣接するベース環１３どうしの小径部外周
面に懸架するように嵌合されるヨーク１７と、が配設さ
れる。スぺーサ１１の幅は、一方のコイル組９のコイル
１５のピッチが、スライダコイル７のコイル８のピッチ
に合致され、他方のコイル組９のコイル１５のピッチ
が、スライダコイル７のコイル８のピッチに対して１／
４ピッチのずれを生じるように形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電気マイクロメ
ータのように、電磁誘導型の変位センサに関し、さら
に、ケース体に固着されるスケールコイルと、前記スケ
ールコイル内を摺動するスライダコイルと、を有し、前
記スライダコイルの摺動による位置変位を電気的に変換
する変位センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電磁誘導型の変位センサには、工
作機械等に使用される平板型のインダクトシンが多く使
用されている。このインダクトシン７０は、図１１に示
されるように、平板上にパターンが施されたスライダコ
イル７１とスケールコイル７２とが対向するように構成
されている。そしてスケールコイル７２に交流電圧を加
えて励磁させるとスライダコイル７１側に交流電圧が誘
起され、パターンのピッチの位置関係により電圧の大き
さや向きが変わり、その電圧を信号処理することで、ス
ライダコイル７１とスケールコイル７２との位置変位を
検出するようになっている。、特に、スライダコイル７
１に形成される検出用パターンを１／４ピッチずれるよ
うにし、９０°ずれた信号との信号を比較することによ
って、高精度の検出が可能となっている。

【０００３】しかし、電気マイクロメータのように小型
の測定器等に使用する場合、サイズが大きくさらにパタ
ーンを形成する際、その寸法精度が高いためコスト高と
なり実用化することが困難になっていた。そのため、コ
ンパクトで容易に製作できる円筒型の変位センサが提案
されるようになってきた。

【０００４】例えば、図１２に示される電気マイクロメ
ータ８０は、可動鉄心型差動トランスであり、絶縁のボ
ビン８１に巻回され、ボビン８１の中央位置に配置され
る１個の一次コイル８２と、一次コイル８２の両側に巻
回される２個の二次コイル８３と、一次コイル８２、二
次コイル８３の中心部に位置する可動鉄心８４と、を有
して構成される。

【０００５】一次コイル８２に一定交流電圧を加えて励
磁すると二次コイル８３にそれぞれ電圧ｖ_a ，ｖ_b が発
生する。可動鉄心８４が２個の二次コイル８３の中央に
あるときはｖ_a ＝ｖ_b となり、可動鉄心８４が、図中、
右側に移動すればプラスの電圧が出力され、左側に移動
すればマイナスの電圧が出力される。そして、両二次コ
イル電圧をそれぞれダイオードで整流平滑し加え合わせ
て合成すると、変位に比例して出力電圧ｖとなる。しか
し、従来の差動トランス型の電気マイクロメータはアナ
ログで出力され、そのために出力電圧の変動により直進
性が安定しなくなったり、コイルの巻き数や、可動鉄心
の長さによって機差が生じるため、その校正をしなけれ
ばならない。これを解決するために精度のよいデジタル
式の電気マイクロメータが図１３に示されるように提案
されている。

【０００６】この電気マイクロメータ９０には、本体ケ
ース９１に固定された２個のスケールコイル９２とスケ
ールコイル９２内を摺動可能に配設されるスライダコイ
ル９３と、を有する変位センサ９４が示されている。そ
して、スケールコイル９２には２条のコイルが巻回され
るように、内周面から奥に向かってコイル溝９５が形成
され、スケールコイル９２の内側からコイル溝９５の底
側に向かってコイルを巻回するようになっている。２個
のスケールコイル９２は中央に配設されるスぺーサ９６
によって、スライダコイル９３のコイルのピッチに対し
て、一方のスケールコイル９２が他方のスケールコイル
９２に１／４ピッチずれるように配設されている。その
ため、コンパクトな精度よい測定が可能となっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の電気マ
イクロメータ９０の変位センサ９４では、スケールコイ
ル９２に形成されるコイル溝９５の加工が困難であると
ともに、コイルを巻回する作業が、コイル溝９５の底部
を基準として巻かれなければならなかったり、あるいは
巻線されたコイルをコイル溝９５に挿入しなければなら
ないので、非常に困難である。

【０００８】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、コンパクトで精度のよい変位センサを提供すると
ともに、安定した巻線作業が容易に行なえる実用的な変
位センサを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる変位
センサでは、上記の課題を解決するために以下のように
構成するものである。即ち、磁性体で形成されるケース
体に固着され中空状に形成されるスケールコイルと、前
記スケールコイルの中空部に摺動可能に配設されるスラ
イダコイルと、を有し、前記スライダコイルの摺動によ
る変位を電気的に変換する変位センサであって、前記ス
ケールコイルが、２個のコイル組と前記コイル組との間
に配設され非磁性体で形成されるスペース体とを有して
軸心方向に重合され、前記コイル組が、非磁性体で形成
される複数のベース環と、それぞれの前記ベース環の外
周面に巻回されるコイルと、前記コイルを挟着するよう
に配設され磁性体で形成されるリング状のヨークと、を
有して構成されることを特徴とするものである。

【００１０】また好ましくは、前記ベース環の外周面
が、大径部と小径部とを有し、前記大径部の外周面に前
記コイルが巻回され、前記小径部の外周面に前記ヨーク
が嵌合されることを特徴とするものであればよい。

【００１１】さらに、前記コイル組の一方に形成される
コイル間のピッチが、前記スライダコイルに形成される
コイル間のピッチに合致され、他方のコイル組に形成さ
れるコイル間のピッチが、前記スライダコイルに形成さ
れるコイル間のピッチずれを生じさせるように、スぺー
サの幅が形成されていることを特徴とするものであれば
なお好ましい。

【００１２】また、この変位センサは、磁性体で形成さ
れるケース体に固着され中空状に形成されるスケールコ
イルと、前記スケールコイルの中空部に摺動可能に配設
されるスライダコイルと、を有し、前記スライダコイル
の摺動による変位を電気的に変換するものであり、前記
スケールコイルが、軸心方向と平行に１箇所の割部を有
するとともに非磁性体で形成される少なくとも１個のベ
ース環を有し、前記ベース環の外周面に、内側から外側
に向かって屈折するように突出される突起部を備え、前
記突起部が所定間隔に位置されるように配置されるとと
もに、それぞれの位置に円周方向に複数個配置されるよ
うに形成され、前記突起部の外周面にコイルが巻回さ
れ、前記突起部が形成されない前記ベース環の外周面
に、磁性体で形成されるヨークあるいは非磁性体で形成
されるスぺーサが配設されることを特徴とするものであ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１４】本形態の変位センサ１は、図１に示される
ように、磁性体で形成されるケース体３に固着され中空
状に形成されるスケールコイル５と、前記スケールコイ
ル５の中空部に摺動可能に配設されるスライダコイル７
と、を有して構成されている。スケールコイル５は、図
２に示されるように、２個のコイル組９・９とコイル組
９・９との間に配設され非磁性体で形成されるスペーサ
ー１１とを有して軸心方向に接着剤等によって重合さ
れ、コイル組９は、非磁性体で形成される複数（本形態
では各２個）のベース環１３と、それぞれのベース環１
３の外周面に巻回されるコイル１５と、前記コイルを挟
着するように配設され磁性体で形成されるリング状のヨ
ーク１７と、を有して構成されている。

【００１５】ベース環１３はリング状に形成され、ベー
ス環１３の外周面は、略中央部に配設される大径部１４
の大径部外周面１４ａと大径部１４両側に配設される小
径部外周面１３ａ・１３ｂとの２段で形成される。ま
た、ベース環１３の小径部外周面１３ａ・１３ｂはそれ
ぞれ幅の大きさが異なり、一方の小径部外周面１３ａ
は、他方の小径部外周面１３ｂの略倍の大きさに形成さ
れ、小径部外周面１３ａの幅の大きさはヨーク１７の幅
の大きさと略同一に形成される。そして、各コイル体９
のベース環１３は、一方の小径部外周面１３ａがベース
環１３の両外側になるように配置され、他方の小径部外
周面１３ｂが、内側になるように配置される。従って、
ヨーク１７は小径部外周面１３ａ上にそれぞれ１個づつ
嵌合され、対向する２個の小径部外周面１３ｂ上に懸架
するようにヨーク１７が１個嵌合されることになる。ヨ
ーク１７間の大径部外周面１４ａにコイル１５が挟着さ
れるように巻回されて配置される。なお、隣り合うコイ
ル１５は、巻き方向が逆方向になるように巻回されて配
置されている。また、スケールコイル５の両端面は、ベ
ース環１３の端面、ヨーク１７の端面と略同一面上にな
る。さらに、ヨーク１７には、図３に示されるように、
外端部の一部に切欠部１７ａが一か所形成され、それぞ
れのヨーク１７の切欠部１７ａが同一方向になるように
配置されている。そして、それぞれのコイル１５が導通
できるように、それぞれのコイル１５の一端がヨーク１
７の切欠部１７ａを通ってコイル体９の両端部でまとめ
て束ねられ外部に配線される（図４参照）。この場合、
スぺーサ１１に切欠部を形成して一方の側にまとめて配
線してもよい。

【００１６】スライダコイル７はスケールコイル５の中
空部に摺動可能に配設されるように、外周面が丸状に形
成され、内部に軸心方向に貫通孔７ａが形成される。外
周面には、等ピッチ間隔で複数のコイル溝７ｂが形成さ
れ、それぞれのコイル溝７ｂにコイル８が巻回されてい
る。コイル溝７ｂのピッチは、コイル組９に巻回される
コイル１５のピッチと同ピッチに形成される。なお、コ
イル溝７ｂに巻回されるコイル８の巻き方向は、スケー
ルコイル５に巻回されるコイル１５と同様、隣り合うコ
イル８の巻き方向と逆に巻回されることになる。また、
スライダコイル７の外端部の一部に一か所切欠部７ｃが
形成され、それぞれのコイル８が導通できるように、そ
れぞれのコイル８の一端が切欠部７ｃを通ってスライダ
コイル７の一端側にまとめて束ねられ外部に配線される
（図５参照）。

【００１７】スぺーサ１１は、外周面がヨーク１７の外
周面と一致し、内周面がベース環１３の内周面と一致す
るように円筒状に形成され、その幅は、一方のコイル組
９のコイル１５のピッチが、スライダコイル７のコイル
８のピッチに対して１／４ピッチ分ずれて配置されるよ
うに、形成されている。なお、上述のように、スぺーサ
１１の外端部の一部に一か所、切欠部を形成するように
してもよい。

【００１８】なお、上述のスケールコイル５を構成する
ベース環１３あるいはスぺーサ１１は、上記に限らず図
６〜８に示されるように、各種の変形が考えられる。

【００１９】図６に示されるものは、１個のコイル組２
０に対してベース環が４個配設されるものであり、ケー
ス体３内にコイル組２０の外端部側に配置される１個の
ベース環２１と、内側のスぺーサ側に配置される３個の
ベース環２３と、を有している。ベース環２１は、その
外周面が略中央部配設される大径部２２の外周面２２ａ
と、大径部２２の両側に配設される小径部外周面２１ａ
・２１ｂと、を有し、一方の小径部外周面２１ａはヨー
ク１７と同一の幅に形成され外側に配置される。他方の
小径部外周面２１ｂはヨーク１７より大きめの幅に形成
されベース環２３側に配置される。ベース環２３の外周
面は、一端側に大径部２４の外周面２４ａと他端側に配
設される小径部外周面２３ａとが形成され、大径部２４
の内部に凹部２４ｂが形成されている。そして、ベース
環２１の大径部外周面２２ａとベース環２３の大径部外
周面２４ａにはコイル１５が巻回され、ベース環２１に
隣接されるベース環２３の大径部２４の凹部２４ｂはベ
ース環２１の小径部外周面２１ｂにヨーク１７を挟着す
るように嵌合され、他のベース環２３の大径部２４の凹
部２４ａはベース環２１側に隣接されるベース環２３の
小径部外周面２３ａにヨーク１７を挟着するように嵌合
される。この形態のコイル組２０は３個のベース環２３
が同一形状に形成される効果がある。

【００２０】図７に示されるものも、ケース体３内に配
置される１個のコイル組３０に対して４個のベース環が
配置され、さらにスぺーサの形状が変形されている。ス
ぺーサ３１の外周面は、中央部に大径部３２の外周面３
２ａと両端部に小径部外周面３１ａとを有して形成され
ている。スぺーサ３１側に配置される３個のベース環３
４の外周面は、中央部に大径部３５の外周面３５ａと両
端部に小径部外周面３４ａが形成され、小径部外周面３
４ａの幅の大きさはスぺーサ３１の小径部外周面３１ａ
と同一寸法に形成されている。スぺーサ３１の小径部外
周面３１ａと隣接されるベース環３４の小径部外周面３
４ａ、あるいは隣接されるベース環３４の小径部外周面
３４ａ間を懸架するようにそれぞれヨーク１７が配置さ
れる。また、コイル組３０の外側に配置される１個のベ
ース環３７の外周面は略中央部に配設される大径部３８
の外周面３８ａと大径部３８の両側に配設される小径部
外周面３７ａ・３７ｂとを有して形成され、ベース環３
４側に隣接される小径部外周面３７ａはベース環３４の
小径外周面３４ａの幅と同一寸法に形成され、ベース環
３４の小径部外周面３４ａとの間を懸架するようにヨー
ク１７が嵌合され、ベース環３７の外側に配置される小
径部外周面３７ｂは、ヨーク１７の幅と同一寸法に形成
され、ヨーク１７が嵌合される。ベース環３４の大径部
外周面３５ａ、ベース環３７の大径部外周面３８ａには
コイル１５がそれぞれ巻回されている。

【００２１】図８に示されるスケールコイル４０は、図
２におけるスケールコイル２のコイル組９のベース環１
３・１３間に、図７におけるコイル組３０のベース環３
４を配置させるようにし、コイル１５及びヨークを図７
のように配置することによって構成しているものであ
る。

【００２２】上記のように構成された変位センサ１は、
例えば、図９に示されるような電気マイクロメータ５０
に使用することができる。図９に示される変位センサの
コイル組は、図２に示されるもので説明する。

【００２３】円筒状に形成され磁性体で形成されるケー
ス体５１の内部にスケールコイル５とスライダコイル７
を備える変位センサ１が配設されている。この形態の場
合、変位センサ１に構成されるケース体３は電気マイク
ロメータ５０のケース体５１に置き換えられる。なお、
ケース体５１の内周面に別のケース体３を配設するよう
にしてもよい。

【００２４】スケールコイル５はケース体５１内に固定
されスケールコイル５内にスライダコイル７が摺動可能
に配設されている。スライダコイル７に形成される貫通
孔７ａの一方の側には雌ねじ５２が形成され、雌ねじ５
２に測定子５３がケース体５１に支持されながら螺着さ
れている。また、スライダコイル７の貫通孔７ａの他方
の側にはケース体５１の端部に固定されたガイドシャフ
ト５４が取り付けられ、スライダコイル７がガイドシャ
フト５４にガイドされながら摺動される。そして、スラ
イダコイル７を測定子５３側に付勢するようにコイルば
ね５５がガイドシャフト５４の回りに配置されている。

【００２５】スケールコイル５のコイル１５とスライダ
コイル７のコイル８の一端側に束ねられたリード線１５
ａ・８ａはケース体５１に固定されたケーブル５６を通
って外部に配線されている。

【００２６】上記構成の電気マイクロメータ５０の作用
を次に説明する。まず測定子５３を被測定物に当てると
測定子５３と共にスライダコイル７がスケールコイル５
に対してコイルばね５５の付勢力に抗して、図９中、右
方向に摺動する。スライダコイル７のコイル８には予め
交流電圧が加えられ、スケールコイル５のコイル１５に
電磁誘導による交流電圧が誘起されている。スライダコ
イル７が摺動すると、スライダコイル７のコイル８とス
ケールコイル５のコイル１５との位置関係が変わるた
め、コイル８とコイル１５の電磁誘導の度合いが変わ
る。つまりスライダコイル７の摺動量の大きさに伴って
コイル１５に誘起される交流電圧の大きさが変わる。こ
の電圧信号を処理して変位移動量を電気的に変換する。

【００２７】例えば、変位移動量をＸとする。この時
に、スケールコイル５のそれぞれのコイル組９Ａ・９Ｂ
から出力される各々の電圧をＶａ、Ｖｂとすると、Ｖａ＝ＫＩｓｉｎ（２πＸ／Ｐ）ｓｉｎωｔＶｂ＝ＫＩｃｏｓ（２πＸ／Ｐ）ｓｉｎωｔで表される。

【００２８】Ｋ：スケールコイル５のコイル組９への誘起係数Ｐ：コイルの巻ピッチＩ：スライダコイル７電流の振幅 ω：スライダコイル７の角周波数ｔ：時間Ｘ：変位移動量とする。

【００２９】Ｖａ、Ｖｂを測定し、Ｖａ、Ｖｂの出力電
圧を合成する（Ｖ）と、Ｖ＝ＫＩｓｉｎ（ωｔ＋２πＸ／Ｐ）となる。

【００３０】ここにおいて変位量Ｘは位相の変化２πＸ
／Ｐとして検出される。

【００３１】例えばＰ＝２ｍｍとし、電気的に２０００
等分して１μｍ単位で測定する。スライダコイル７の出
力電圧（Ｖｃ）とスケールコイル５の合成の出力電圧
（Ｖ）のズレをＮ＝７８０カウントとすれば、７８０／
２０００＝２π（Ｘ／Ｐ）／２π、Ｘ＝７８０×２／２０００＝０．７８ｍｍとなり、変位移動量Ｘを求めることができ被測定物を測
定することができる。

【００３２】変位センサ１は、このように電気マイクロ
メータ５０に使用すれば、変位移動量を電気的に変換し
て測定することができる。

【００３３】なお、本発明の変位センサ１のスケールコ
イル５の形状は上記に限らず、他の形態にすることもで
きる。

【００３４】図１０（ａ）、（ｂ）は、スケールコイル
のコイル組６０に構成されるベース環６１を示すもので
ある。ベース環６１は上述の複数個のベース環を１個で
形成するもので、ステンレス等の非磁性体で円筒状に形
成されたベース環６１の一部に、軸心方向に沿って割部
６２を設けている。この割部６２によって、図２に示さ
れるヨーク１７を装着する際に、ベース環６１を全体的
に円周方向に撓ませることができる。ベース環６１の円
周方向に、図２に示されるコイル１５が巻回されるため
の突起部６３が複数個形成されている。この突起部６３
は、図２において、ベース環１３が配置されるピッチと
同ピッチになる位置にそれぞれ円周方向に等分に３乃至
４個配設され、ベース環６１から一端を残して円周方向
に切欠を形成し、上方に突出するように形成するもので
ある。図１０は、ベース環６１の略中央部に、図２にお
けるスぺーサ１１及び２個のヨーク１７が配置される分
の幅を残し、左右両側にそれぞれ等ピッチ間隔で突起部
６３が形成されている。このベース環６１の中央部にス
ぺーサ１１と、前記スぺーサ１１を挟着するように２個
のヨーク１７を嵌合し、また、突起部６３と突起部６３
間、さらに両端部側にそれぞれヨーク１７を嵌合してコ
イルボビンの形状を形成し、それぞれのヨーク１７・１
７間にコイル１５を巻回しケース体３を周囲に設けるこ
とによって、スケールコイルが形成される。このスケー
ルコイルにおけるスぺーサ１１を挟んで右側と左側のコ
イル組が、スライダコイル７のコイル８のピッチに対し
て１／４ピッチずれているのは言うまでもない。

【００３５】また、上記に限らず、ベース体６１を各コ
イル組ごとの大きさに形成することも可能である。

【００３６】

【発明の効果】本発明の変位センサによれば、変位セン
サはケース体に固定配設されるスケールコイルと前記ス
ケールコイル内に摺動可能に配設されるスライダコイル
とを含んで構成されている。前記スケールコイルは２個
のコイル組とスぺーサとを有し、前記コイル組が、軸心
方向に重合された複数個の非磁性体のベース環と、前記
ベース環の外周面に配設されるコイルとヨークとを有し
て構成されている。従って前記コイルを前記ベース環に
巻回する際には、前記ベース環の外周面に沿って行なう
ことができるので、従来スケールコイルに形成されるコ
イル溝にコイル溝の底部を基準として巻回するものに比
べて、極めて安定して巻回することができるとともにそ
の作業も極めて容易に行なえる。

【００３７】前記ベース環の外周面が、大径部と小径部
とを有し、前記大径部の外周面に前記コイルが巻回さ
れ、前記小径部の外周面に前記ヨークが嵌合されること
を特徴としているため、１個のベース環に巻回するコイ
ルの巻回作業が容易で安定するとともにヨークを容易に
挿入できる。

【００３８】さらに、前記コイル組の一方に形成される
コイル間のピッチが、前記スライダコイルに形成される
コイル間のピッチに合致され、他方のコイル組に形成さ
れるコイル間のピッチが、前記スライダコイルに形成さ
れるコイル間のピッチずれを生じさせるように、スぺー
サの幅が形成されているため、精度よい測定を行なうこ
とができる。

【００３９】また、スケールコイルに対して少なくとも
１個のベース環を形成し、前記ベース環に内側から外側
に向かって屈折するように突出されるコイル巻回用の複
数個の突起部を形成するようにすれば、部品点数を少な
くすることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一形態による変位センサを示す断面図

【図２】図１におけるスケールコイルの詳細を示す断面
図

【図３】図１におけるヨークの斜視図

【図４】図１におけるスケールコイルの斜視図

【図５】図１におけるスライダコイルの斜視図

【図６】ベース環の別の形態を示す断面図

【図７】ベース環とスぺーサの別の形態を示す断面図

【図８】スケールコイルの別の形態を示す断面図

【図９】図１の変位センサを電気マイクロメータに使用
する状態を示す断面図

【図１０】ベース環のさらに別の形態を示す斜視図と断
面図

【図１１】従来の平型のインダクトシンを示す図

【図１２】従来の変位センサを使用する電気マイクロメ
ータを示す断面図

【図１３】従来の電気マイクロメータを示す断面図

【符号の説明】

１…変位センサ３…ケース体５…スケールコイル７…スライダコイル８、１５…コイル９…コイル組１１…スぺーサ１３…ベース環１３ａ…小径部外周面１４…大径部１４ａ…大径部外周面１７…ヨーク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁性体で形成されるケース体に固着され
中空状に形成されるスケールコイルと、前記スケールコ
イルの中空部に摺動可能に配設されるスライダコイル
と、を有し、前記スライダコイルの摺動による変位を電
気的に変換する変位センサであって、前記スケールコイルが、２個のコイル組と前記コイル組
との間に配設され非磁性体で形成されるスペース体とを
有して軸心方向に重合され、前記コイル組が、非磁性体で形成される複数のベース環
と、それぞれの前記ベース環の外周面に巻回されるコイ
ルと、前記コイルを挟着するように配設され磁性体で形
成されるリング状のヨークと、を有して構成されること
を特徴とする変位センサ。
【請求項２】前記ベース環の外周面が、大径部と小径
部とを有し、前記大径部の外周面に前記コイルが巻回さ
れ、前記小径部の外周面に前記ヨークが嵌合されること
を特徴とする請求項１記載の変位センサ。
【請求項３】前記コイル組の一方に形成されるコイル
間のピッチが、前記スライダコイルに形成されるコイル
間のピッチに合致され、他方のコイル組に形成されるコ
イル間のピッチが、前記スライダコイルに形成されるコ
イル間のピッチずれを生じさせるように、スぺーサの幅
が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載
の変位センサ。
【請求項４】磁性体で形成されるケース体に固着され
中空状に形成されるスケールコイルと、前記スケールコ
イルの中空部に摺動可能に配設されるスライダコイル
と、を有し、前記スライダコイルの摺動による変位を電
気的に変換する変位センサであって、前記スケールコイルが、軸心方向と平行に１箇所の割部
を有するとともに非磁性体で形成される少なくとも１個
のベース環を有し、前記ベース環の外周面に、内側から外側に向かって屈折
するように突出される突起部を備え、前記突起部が所定
間隔に位置されるように配置されるとともに、それぞれ
の位置に円周方向に複数個配置されるように形成され、前記突起部の外周面にコイルが巻回され、前記突起部が
形成されない前記ベース環の外周面に、磁性体で形成さ
れるヨークあるいは非磁性体で形成されるスぺーサが配
設されることを特徴とする変位センサ。