JPH10241127A - アジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定方法及びその測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス
を、アジマス角とモールドガラスの屈折率に影響されず
に正確に計測し、製造上の歩留まりと品質の向上が得ら
れるギャップデプス測定方法とその測定装置を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 アジマス角θとモールドガラス３０の屈
折率ｎを考慮した補正角度分を加味した角度でアジマス
記録ヘッドを傾斜させてギャップデプスを観察し、その
観察方向３２と反対側に置いた透過用光源３３からの透
過光によりギャップデプスの長さを測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特にヘリカルスキ
ャン方式ＶＴＲ等の磁気記録再生装置に用いられるアジ
マス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定方法及びそ
の測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ヘリカルスキャン方式ＶＴＲに用いられ
る磁気ヘッドは、一般的に記録密度を向上させるために
アジマス記録を行ないガードバンドのない、いわゆるベ
タ書き記録が行なわれる。

【０００３】隣合うトラックの記録アジマス角は、記録
波長帯域が狭く比較的短波長であれば、アジマス角も小
さくてすむが、一般にディジタル記録のように広い波長
帯域の記録を行ない、しかも長波長領域を含む場合は、
大きなアジマス角を設定しなければならない。

【０００４】前者の例として家庭用ビデオであるＶＨＳ
方式磁気記録再生装置ではアジマス角は６度であり、家
庭用ディジタルビデオＤＶシステムではアジマス角は２
０度である。

【０００５】これらアジマス記録を行うためには、アジ
マス記録用磁気ヘッドが必要であり、そのアジマス記録
用磁気ヘッドを得るには、その製造工程図である図７の
（ａ）に示す断面Ｃ字状の棒状Ｃコア１と断面Ｉ字状の
棒状Ｉコア２のそれぞれの上部に、図７の（ｂ）に示す
ように、トラック加工によりトラック幅３を残して切欠
４を形成し、その状態で、図７の（ｃ）に示すように、
棒状Ｃコア１と棒状Ｉコア２を、それぞれのトラック幅
３及び切欠４が向かい合うように当接させ、次に、図７
の（ｄ）に示すように、棒状Ｃコア１と棒状Ｉコア２の
上部にモールドガラス５を乗せ、次に、図７の（ｅ）に
示すように、モールドガラス５を切欠４に溶融浸透さ
せ、次に、図７の（ｆ）に示すように、棒状Ｃコア１と
棒状Ｉコア２の上部に残ったモールドガラス５を研磨除
去し、棒状Ｃコア１と棒状Ｉコア２の長手方向に対して
垂直方向からアジマス角θ分だけ傾いた面で棒状Ｃコア
１と棒状Ｉコア２をトラック幅３を挟んで切断し、図７
の（ｇ）、（ｈ）に示すように、Ｃコア６とＩコア７が
向かい合ってギャップ面９を形成し、磁気ヘッド走行方
向に対してアジマス角θ分だけ傾いた方向のギャップ面
９を有するアジマス記録用磁気ヘッド単体を得る。

【０００６】このこととは別に、磁気ヘッドでその性能
を決定する要因の一つとして、上記図７の（ｇ）におけ
るギャップデプス１０、即ち、トラック幅３におけるギ
ャップ面９のＣコア６とＩコア７の上部からの深さがあ
る。ギャップデプス１０は磁気ヘッドの記録時及び再生
時の感度を決定する要素であって、より高感度な磁気ヘ
ッドを設計する時はそのギャップデプス１０は１０μｍ
前後の値となる。このためにそのばらつきも数μｍ以下
に抑えなければ磁気ヘッドの感度のばらつきを３ｄＢ以
内に制御することができない。

【０００７】そのためには、ギャップデプス１０を１μ
ｍの単位で正確に計測し、磁気ヘッドの全面の仕上げ加
工を行なう必要がある。

【０００８】一般に、磁気ヘッドのギャップデプスを測
定するには、磁気ヘッドの側面方向から顕微鏡で直接測
定するのであり、磁気ヘッド走行方向に対してギャップ
面（トラック幅の方向）が垂直な普通の磁気ヘッドのギ
ャップデプスを測定する場合は、普通の磁気ヘッドの上
面図と側面図である図８の（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、Ｃコア１１とＩコア１２の側面に垂直な方向、即
ち、互いに向かい合って当接するＣコア１１とＩコア１
２が形成するギャップ面（トラック幅の方向）１３と平
行な方向１４からギャップデプス１５を測定するために
は、ギャップ面１３とＣコア１１のＣ字状切欠１６を構
成する１辺１７との交点１８と、Ｃコア１１とＩコア１
２の上辺との間の長さを測定することにより行われる
が、この場合は測定方向がギャップ面（トラック幅の方
向）１３と平行な方向１４であるので、ギャップ面１３
は測定方向から見た場合トラック幅に無関係に１本の線
として見え、Ｃ字状切欠１６を構成する１辺１７との交
点１８は１点で正確に確定できる。

【０００９】しかし、前記の図７の（ｇ）、（ｈ）に示
したアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプスを測定
する場合は、アジマス記録用磁気ヘッドの上面図と側面
図である図９の（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｃコア６
とＩコア７の側面に垂直な方向、即ち、Ｃコア６とＩコ
ア７が形成するギャップ面（トラック幅の方向）９とア
ジマス角θ分だけ傾いた測定方向１９からギャップデプ
ス１５を測定すると、ギャップ面９を囲む１辺２０とＣ
コア６のＣ字状切欠２１を構成する１辺２２との交点
は、Ｃコア６のＣ字状切欠２１を構成する１辺２２がア
ジマス角θ分だけ傾いているため、測定方向１９からは
幅を持って見えることになり、ギャップ面９を囲む１辺
２０とＣ字状切欠２１を構成する１辺２２の交点は測定
方向１９から距離の違うところに２つの交点２３、２４
が生じることになり、ギャップデプス１５、１５’が２
種類できることになる。

【００１０】この場合、交点２３、２４を確認しようと
しても、交点２３、２４を見るためには表面が摺ガラス
のようにデコボコしたモールドガラス２５を通して見る
ことになり、また、モールドガラス２５の屈折率の影響
もあり、さらに、観察手段として高倍率な顕微鏡で観察
すればするほど焦点深度が浅くなるため、観察像のダブ
リと焦点ボケのために観察は困難となる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、アジマス角
の大きなアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス
を、上記のように従来の測定方法で測定する場合、測定
点の確認が難しく、正確なギャップデプスの測定が困難
であるという課題を解決するアジマス記録用磁気ヘッド
のギャップデプス測定方法及びその測定装置を提供する
ことを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプ
ス測定方法及びその測定装置は、アジマス角とモールド
ガラスの屈折率を考慮した補正角度分を加味した角度
を、アジマス記録用磁気ヘッドに傾斜角として与える傾
斜手段でアジマス記録用磁気ヘッドを傾斜させ、アジマ
ス記録用磁気ヘッドに対して観察手段と反対側に照明光
源を置き、その透過光によりギャップデプスを観察し、
その長さを測定するものであり、測定点の確認が容易
で、正確なギャップデプスの測定ができるものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、アジマス角とモールドガラスの屈折率を考慮した補
正角度分を加味した角度でアジマス記録用磁気ヘッドを
傾斜させ観察し、アジマス記録用磁気ヘッドに対して観
察方向と反対側から照明を与え、その透過光によりギャ
ップデプスを観察し、その長さを測定するアジマス記録
用磁気ヘッドのギャップデプス測定方法であり、アジマ
ス角とモールドガラスの屈折率を考慮した補正角度分を
加味した角度でアジマス記録用磁気ヘッドを傾斜させ観
察し測定しているので、ギャップデプスの測定にアジマ
ス角とモールドガラスの屈折率による影響がなくなるも
のである。

【００１４】本発明の請求項２に記載の発明は、アジマ
ス記録用磁気ヘッドのアジマス角をθ、ギャップデプス
観察方向である入射角をθｉ、アジマス記録用磁気ヘッ
ドのモールドガラスの屈接率をｎとした場合、θｉ＝Ｓ
ｉｎ^-1｛ｎ・Ｓｉｎ（アジマス角θ）｝の入射角方向か
ら、アジマス記録用磁気ヘッドに対して観察方向と反対
側に配置した透過用光源の透過光によりギャップデプス
を観察し、その長さを測定するアジマス記録用磁気ヘッ
ドのギャップデプス測定方法であり、θｉ＝Ｓｉｎ
^-1｛ｎ・Ｓｉｎ（アジマス角θ）｝の入射角方向からギ
ャップデプスを観察することにより、ギャップデプスを
ギャップ面と平行な方向から観察することになり、ギャ
ップデプス観察方向からは透過用光源によりギャップデ
プスのダブリのない正しい投影形状を観察することがで
きる。

【００１５】本発明の請求項３に記載の発明は、アジマ
ス記録用磁気ヘッドを固定する傾斜用ステージと、アジ
マス角とモールドガラスの屈折率を考慮した補正角度分
を加味した角度を、傾斜用ステージ上に固定したアジマ
ス記録用磁気ヘッドに傾斜角として与える傾斜角調整装
置と、アジマス記録用磁気ヘッドに対してギャップデプ
ス観察方向と反対側から透過光を与える透過用光源と、
その透過光によりギャップデプスを観察しその長さを測
定する計測手段とからなるアジマス記録用磁気ヘッドの
ギャップデプス測定装置であり、傾斜用ステージ上に固
定したアジマス記録用磁気ヘッドに傾斜角調整装置によ
り傾斜角を与えることにより、ギャップデプスの測定に
アジマス角とモールドガラスの屈折率による影響がなく
なるものである。

【００１６】本発明の請求項４に記載の発明は、１個の
ヘッドベースにアジマス角の異なる２個のアジマス記録
用磁気ヘッドを接着したコンビヘッドにおいて、２個の
アジマス記録用磁気ヘッドを透過した光線を合成する合
成光学系に、反射鏡と光を合成するビーム合成ミラーと
を挿入し、アジマス角の異なる２個のアジマス記録用磁
気ヘッドを同時に、アジマス角とモールドガラスの屈折
率を考慮した補正角度分を加味した角度でもって観察
し、両アジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプスの端
部を揃えるアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス
測定方法であり、アジマス角の異なる２個のアジマス記
録用磁気ヘッドのギャップデプスを同時に観察すること
により、２個のヘッド感度のばらつきを少なくすること
ができる。

【００１７】本発明の請求項５に記載の発明は、１個の
ヘッドベースにアジマス角の異なる２個のアジマス記録
用磁気ヘッドを接着したコンビヘッドにおいて、２個の
アジマス記録用磁気ヘッドに対してギャップデプス観察
方向と反対側から透過光を与える透過用光源を設け、２
個のアジマス記録用磁気ヘッドを透過した光線を合成す
る合成光学系に、反射鏡と光を合成するビーム合成ミラ
ーを挿入し、合成光学系からの合成光が入射され、２個
のアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプスを同時に
計測する計測手段と、２個のアジマス記録用磁気ヘッド
の位置を移動させることのできる移動装置とからなるア
ジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定装置であ
り、アジマス角の異なる２個のアジマス記録用磁気ヘッ
ドのギャップデプスを同時に観察することにより、２個
のヘッド感度のばらつきを少なくすることができる。

【００１８】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照して説明する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１におけ
るアジマス記録用磁気ヘッドを上面から見たギャップデ
プス測定方法の測定原理図であり、Ｃコア２６とＩコア
２７が向かい合って当接するところにギャップ面２８が
形成され、Ｃコア２６とＩコア２７の記録テープ当接面
はギャップ面２８を残して切り欠いた切欠２９が形成さ
れ、その切欠２９にモールドガラス３０がモールドされ
ている。

【００１９】ギャップ面２８はＣコア２６とＩコア２７
の側面に垂直な方向３１からアジマス角θだけ傾いてい
る。また、ギャップデプス観察方向３２もＣコア２６と
Ｉコア２７の側面に垂直な方向３１から角度θｉだけ傾
いている。３３はギャップデプス観察方向３２と反対側
のギャップ面２８の延長線上に設けられたギャップデプ
ス観察用の透過用光源である。

【００２０】このような状態で、アジマス記録用磁気ヘ
ッドのギャップデプスを測定する場合、前述のアジマス
角θの影響を除いて容易に且つ正確にギャップデプスを
測定する必要があるが、図２に示すように、アジマス記
録用磁気ヘッド全体を基台に対してアジマス角θだけ傾
斜させて、ギャップデプス観察方向３２を基台に対して
垂直な方向、即ち、ギャップ面２８に平行な方向（Ｃコ
ア２６とＩコア２７の側面に垂直な方向３１からアジマ
ス角θだけ傾いた観察方向、この場合はθｉ＝θ）か
ら、ギャップデプスを観察するのが常であるが、これだ
けでは、まだモールドガラス３０の屈折率による影響の
ため、ギャップ面２８を見る方向は図２におけるギャッ
プ面２８と平行なＸ方向ではなく、Ｃコア２６とＩコア
２７の側面に垂直な方向３１から角度θｒ傾いたＹ方向
となり、ギャップ面２８におけるアジマス角θの傾斜を
なくしたことにならず、さらに、モールドガラス３０の
屈折率を考慮する必要がある。そのためには、角度θｒ
がアジマス角θになる角度θｉ（入射角）を求めればよ
いことになる。

【００２１】そこで本実施の形態１のギャップデプス測
定方法では、屈接率ｎ＝Ｓｉｎθｉ／Ｓｉｎθｒ（ただ
し、ｎはモールドガラス３０の屈折率）の関係から、Ｃ
コア２６とＩコア２７の側面に垂直な方向３１から角度
θｉだけ傾いているギャップデプス観察方向３２を求め
ればよい。即ち、上式において、θｒ＝（アジマス角）
θと置くことにより、ギャップデプス観察方向３２（入
射角θｉ）は、 θｉ＝Ｓｉｎ^-1（ｎ・Ｓｉｎθ） θｉ＝Ｓｉｎ^-1｛ｎ・Ｓｉｎ（アジマス角）｝ となり、アジマス角θとモールドガラス３０の屈折率ｎ
を考慮したギャップデプス観察方向３２（入射角θｉ）
は、アジマス記録用磁気ヘッドの外側ではギャップ面２
８と平行な方向ではないが、アジマス記録用磁気ヘッド
の内側では、ギャップデプスをギャップ面２８と平行な
方向から観察することになり、ギャップデプス観察方向
３２からは透過光源３３によりギャップデプスのダブリ
のない正しい投影形状を観察することができる。

【００２２】（実施の形態２）図３は、本発明の実施の
形態２におけるアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデ
プス測定装置の構成図であり、前記の実施の形態１に示
した構造のアジマス記録用磁気ヘッド、即ち、Ｃコア２
６とＩコア２７が向かい合って当接するところにギャッ
プ面２８を形成し、Ｃコア２６とＩコア２７の記録テー
プ当接面にギャップ面２８を残して切り欠いた切欠２９
を形成し、その切欠２９にモールドガラス３０をモール
ドし、ギャップ面２８をＣコア２６とＩコア２７の側面
に垂直方向からアジマス角θだけ傾けたアジマス記録用
磁気ヘッドを傾斜用ステージ３４の上に固定し、ギャッ
プデプス観察方向側に設けた計測手段である顕微鏡３５
と観察方向と反対側に設けた透過用光源３６とでモール
ドガラス３０を透過照明し、傾斜用ステージ３４の傾斜
角調整装置３７で傾斜角θｈを微調し、計測手段の顕微
鏡３５の焦点を合わせつつ観察画像の明瞭になる点を求
める。

【００２３】最も明瞭に観察された時の傾斜角θｈとア
ジマス角θの関係はモールドガラス３０の光の屈折率ｎ
に関係した。

【００２４】この場合、使用されているモールドガラス
３０は酸化鉛を主成分とした鉛ガラスであって、その屈
折率は約１．５であるため、アジマス角θ＝２０度の場
合には入射角θｉが３１度の時にモールドガラス３０に
２０度の屈折角θｒで入射し、アジマス角２０度と一致
したために画像の重なりによる不明瞭さがなくなったた
めである。

【００２５】入射角θｉの正弦と屈折角θｒの正弦の比
が屈折率ｎであり、モールドガラス３０面内の屈折角θ
ｒがアジマス角θに相当したことによる。

【００２６】（実施の形態３）本発明の実施の形態３
は、１個のヘッドベースにアジマス角の異なる２個のア
ジマス記録用磁気ヘッドを接着した場合のギャップデプ
ス測定方法及びその測定装置に関するものであり、図４
は実施の形態３におけるアジマス記録用磁気ヘッドのギ
ャップデプス測定方法の測定原理及びギャップデプス測
定装置の構成の説明図であり、アジマス角の異なる２個
のアジマス記録用磁気ヘッド３８、３９は互いにアジマ
ス角が＋２０度と−２０度で逆アジマスになっているた
めにヘッドベース４０を交互に傾斜させるわけにはいか
ない。

【００２７】そこで、透過用光源４１をアジマス記録用
磁気ヘッド３８、３９のギャップ面の間隔４２の中線上
に配置し、両アジマス記録用磁気ヘッド３８、３９を透
過した光線を合成する合成光学系４３により、同時に両
アジマス記録用磁気ヘッド３８、３９を観察する。合成
光学系４３は両アジマス記録用磁気ヘッド３８、３９へ
の最適入射角θｉを形成する反射鏡４４、４５と光を合
成するビーム合成ミラー４６より構成され、合成光はひ
とまとまりとなって計測手段４７に入射し計測される。

【００２８】計測時の基準サンプルは、別途作成され、
基準サンプルにギャップデプスおよびギャップ間隔が整
合するようにアジマス記録用磁気ヘッド３９を移動装置
４８の触診４９で微動させ、目標位置で接着される。

【００２９】図５は透過用光源４１と計測手段４７とア
ジマス記録用磁気ヘッド３８、３９の相対位置関係図で
あり、図５においてアジマス記録用磁気ヘッド３８、３
９のギャップデプス方向の位置を揃えると、ギャップデ
プスのばらつきの差を小さくすることができる。

【００３０】図６は、１個のヘッドベース４０にアジマ
ス角の異なる２個のアジマス記録用磁気ヘッド３８、３
９を搭載したいわゆるコンビヘッドの概略斜視図であ
る。

【００３１】以上のように、本実施の形態３によれば、
１個のヘッドベース４０にアジマス角の異なる２個のア
ジマス記録用磁気ヘッド３８、３９を接着した場合で
も、１個のヘッドベース４０に２個のアジマス記録用磁
気ヘッド３８、３９を接着した状態で、ギャップデプス
観察方向として、アジマス角とモールドガラスの屈折率
を考慮した補正角を傾けた方向から計測することによ
り、正確な計測が可能であり、また、照明光源として透
過光を用いればより明確にギャップデプスを観察するこ
とができ、コンビヘッドの組み立てに最適な方法及び装
置である。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、本発明のアジマス記録用
磁気ヘッドのギャップデプス測定方法及びその測定装置
によれば、アジマス角の大きなアジマス記録用磁気ヘッ
ドのギャップデプスの管理、計測が容易となり、製造工
程において歩留まりの向上と製造工数の削減に貢献し、
コンビヘッドの製造工程に導入すると、２個のヘッド感
度のばらつきを少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１におけるアジマス記録用
磁気ヘッドを上面から見たギャップデプス測定方法の測
定原理図

【図２】アジマス記録用磁気ヘッドを上面から見たギャ
ップデプス測定方法の測定原理図

【図３】本発明の実施の形態２におけるアジマス記録用
磁気ヘッドのギャップデプス測定装置の構成図

【図４】本発明の実施の形態３におけるアジマス記録用
磁気ヘッドのギャップデプス測定方法の測定原理及びギ
ャップデプス測定装置の構成の説明図

【図５】図４における説明図の一部相対位置関係図

【図６】コンビヘッドの概略斜視図

【図７】アジマス記録用磁気ヘッドの製造工程図

【図８】アジマス記録用磁気ヘッドでない普通の磁気ヘ
ッドの上面図と側面図

【図９】アジマス記録用磁気ヘッドの上面図と側面図

【符号の説明】

１ 棒状Ｃコア ２ 棒状Ｉコア ３ トラック幅 ４，２９ 切欠 ５，２５，３０ モールドガラス ６，１１，２６ Ｃコア ７，１２，２７ Ｉコア ９，１３，２８ ギャップ面 １０，１５ ギャップデプス １４ ギャップ面（トラック幅の方向）１３と平行な方
向 １６，２１ Ｃ字状切欠 １７，２０，２２ １辺 １８，２３，２４ 交点 １９ アジマス角θ分だけ傾いた測定方向 ３１ Ｃコア２６とＩコア２７の側面に垂直な方向 ３２ ギャップデプス観察方向 ３３，３６，４１ 透過用光源 ３４ 傾斜用ステージ ３５ 顕微鏡 ３７ 傾斜角調整装置 ３８，３９ アジマス記録用磁気ヘッド ４０ ヘッドベース ４２ ギャップ面の間隔 ４３ 合成光学系 ４４，４５ 反射鏡 ４６ ビーム合成ミラー ４７ 計測手段 ４８ 移動装置 ４９ 触診

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アジマス角とモールドガラスの屈折率を
   考慮した補正角度分を加味した角度でアジマス記録用磁
   気ヘッドを傾斜させ観察し、アジマス記録用磁気ヘッド
   に対して観察方向と反対側から照明を与え、その透過光
   によりギャップデプスを観察し、その長さを測定するア
   ジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定方法。
2. 【請求項２】 アジマス記録用磁気ヘッドのアジマス角
   をθ、ギャップデプス観察方向である入射角をθｉ、ア
   ジマス記録用磁気ヘッドのモールドガラスの屈接率をｎ
   とした場合、θｉ＝Ｓｉｎ^-1｛ｎ・Ｓｉｎ（アジマス角
   θ）｝の入射角方向から、アジマス記録用磁気ヘッドに
   対して観察方向と反対側に配置した透過用光源の透過光
   によりギャップデプスを観察し、その長さを測定するア
   ジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定方法。
3. 【請求項３】 アジマス記録用磁気ヘッドを固定する傾
   斜用ステージと、アジマス角とモールドガラスの屈折率
   を考慮した補正角度分を加味した角度を、傾斜用ステー
   ジ上に固定したアジマス記録用磁気ヘッドに傾斜角とし
   て与える傾斜角調整装置と、アジマス記録用磁気ヘッド
   に対してギャップデプス観察方向と反対側から透過光を
   与える透過用光源と、その透過光によりギャップデプス
   を観察しその長さを測定する計測手段とからなるアジマ
   ス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定装置。
4. 【請求項４】 １個のヘッドベースにアジマス角の異な
   る２個のアジマス記録用磁気ヘッドを接着したコンビヘ
   ッドにおいて、２個のアジマス記録用磁気ヘッドを透過
   した光線を合成する合成光学系に、反射鏡と光を合成す
   るビーム合成ミラーとを挿入し、アジマス角の異なる２
   個のアジマス記録用磁気ヘッドを同時に、アジマス角と
   モールドガラスの屈折率を考慮した補正角度分を加味し
   た角度でもって観察し、両アジマス記録用磁気ヘッドの
   ギャップデプスの端部を揃えるアジマス記録用磁気ヘッ
   ドのギャップデプス測定方法。
5. 【請求項５】 １個のヘッドベースにアジマス角の異な
   る２個のアジマス記録用磁気ヘッドを接着したコンビヘ
   ッドにおいて、２個のアジマス記録用磁気ヘッドに対し
   てギャップデプス観察方向と反対側から透過光を与える
   透過用光源を設け、２個のアジマス記録用磁気ヘッドを
   透過した光線を合成する合成光学系に、反射鏡と光を合
   成するビーム合成ミラーを挿入し、合成光学系からの合
   成光が入射され、２個のアジマス記録用磁気ヘッドのギ
   ャップデプスを同時に計測する計測手段と、２個のアジ
   マス記録用磁気ヘッドの位置を移動させる移動装置とか
   らなるアジマス記録用磁気ヘッドのギャップデプス測定
   装置。