JPH10242502A - 光半導体素子及び光学ピックアップ装置 - Google Patents

光半導体素子及び光学ピックアップ装置

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JPH10242502A
JPH10242502A JP3793097A JP3793097A JPH10242502A JP H10242502 A JPH10242502 A JP H10242502A JP 3793097 A JP3793097 A JP 3793097A JP 3793097 A JP3793097 A JP 3793097A JP H10242502 A JPH10242502 A JP H10242502A
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JP
Japan
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light
optical
divided
optical semiconductor
signal
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JP3793097A
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English (en)
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Kazuhiko Nemoto
和彦 根本
Noriaki Nishi
紀彰 西
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 主光線を分割しなくとも、ピット深さがλ/
4の光学記録媒体のトラッキングサーボを行うことがで
き、高出力を要する書き込み可能光学記録媒体用に好適
な光半導体素子及び光学ピックアップ装置を提供する。 【解決手段】 受光部が短冊状に4分割されて、さらに
この4分割された受光部が4分割の分割線と交差する線
によりにそれぞれ2分割されて、受光部が8分割された
受光素子PD1 を備えてなる光半導体素子及びこの光半
導体素子を備えた光学ピックアップ装置10を構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光学記録媒
体の記録や再生に用いて好適な光半導体素子及び光学ピ
ックアップ装置に係わる。
【0002】
【従来の技術】現在、光学記録媒体の記録・再生を行う
ための光学ピックアップ装置は、極めて大量に製造され
ており、その量産性の高さから、図4に示すような従来
のディスクリートな光学ピックアップ装置に対して、図
5に示すように発光素子と受光素子とをハイブリッドに
配置した構造の、いわゆるレーザカプラと呼ばれる光半
導体素子の割合が増加してきている。
【0003】図4に示す光学ピックアップ装置50は、
半導体レーザLD、フォトダイオードからなる受光素子
を形成したフォトダイオードIC(PDIC)51、ビ
ームスプリッタBSを個別に配置して成り、さらにビー
ムスプリッタBSと半導体レーザLDとの間に後述する
3スポット法を行うためにグレーティング52が配置さ
れている。
【0004】半導体レーザLDからの出射光LF は、ビ
ームスプリッタBSの表面で反射され、対物レンズ53
で収束されて光学ディスク54上に収束される。そし
て、光学ディスク54の反射面で反射された戻り光LR
は、再び対物レンズ53を通じてビームスプリッタBS
に向かい、ビームスプリッタBSの表面で屈折してビー
ムスプリッタBSの内部を通過し、PDIC51上に集
光される。ビームスプリッタBSは、レーザ光LF ,L
R が上述のように進むように、その位置・角度・表面に
おけるレーザ光の透過率等が設定される。
【0005】しかしながら、この様な光学ピックアップ
装置50は、部品点数が多く、また非常に大型になるだ
けでなく、その配置に高い精度が要求され、生産性が低
いという問題がある。
【0006】これに対して、図5に示すレーザカプラ6
0では、PDIC61からなる受光素子と半導体レーザ
LDとがハイブリッドに配置されてなるレーザカプラ6
0を形成し、半導体レーザLDからの出射光LF と、光
学ディスク63からの戻り光LR とが、レーザカプラ6
0と光学ディスク63及び対物レンズ62との間を同一
経路で進み、戻り光LR が再びレーザカプラ60に入射
する構成を採る。
【0007】この場合には、図4の従来の光学ピックア
ップ装置50の場合と比較して、ビームスプリッタBS
を設ける必要がなく、また半導体レーザLDとPDIC
61とを同じ側に配置するため、スペースを節約できる
利点がある。
【0008】従って、図5のレーザカプラ60のように
光学ピックアップ装置を集積素子化することで、部品点
数の削減による低コスト化、高信頼性化に加え、小型・
薄型・軽量化が可能となり、非常に大きな利点を発揮す
るものである。
【0009】そして、CD(コンパクトディスク)用の
光半導体素子として、図6に示す構成のレーザカプラ6
0が実現され、広く使われている。図6Aに斜視図を示
すように、このレーザカプラ60は、出力制御モニタ用
のフォトダイオードPDM が作り込まれたシリコン基板
64上にマウントした半導体レーザLDを光源として、
これらの部品とマイクロプリズム65とが基盤すなわ
ち、例えばシリコン基板(PDIC)61上に配置され
てレーザカプラ60を構成している。
【0010】そして、マイクロプリズム65下に2つの
4分割フォトダイオードPD1 (PDa 〜PDd ),P
2 (PDe 〜PDh )が配置される。フォトダイオー
ドPD1 ,PD2 は、シリコン基板61の表面に拡散な
どによって形成される。
【0011】この4分割フォトダイオードPD1 ,PD
2 は、図6Bにその拡大図を示すように、短冊状に4分
割されており、PD1 においてフォトダイオードP
a ,PDb とフォトダイオードPDc ,PDd が対称
であり、フォーカスおよびトラッキングが合った状態で
光量がPDa +PDd =PDb +PDc となるように配
置形成されている。PD2 (PDe 〜PDh )について
も同様である。
【0012】このレーザカプラ60では、半導体レーザ
LDからの出射光LF がマイクロプリズム65の例えば
45°のハーフミラー斜面で反射して図において垂直方
向に向かい、被照射部、例えばディスクに照射される。
ディスクで反射された戻り光LR はマイクロプリズム6
5のハーフミラー斜面よりマイクロプリズム65内に入
射され、まず前段の4分割フォトダイオードPD1 (P
a 〜PDd )で受光されると共に反射されて、これが
マイクロプリズム65上面で反射された後に後段の4分
割フォトダイオードPD2 (PDe 〜PDh )でも受光
される。
【0013】このような構成のレーザカプラ60では、
トラッキングエラー検出法として、通常いわゆるプッシ
ュプル法を用いている。即ち、このレーザカプラ60で
は、4分割フォトダイオードPD1 (PDa 〜P
d ),PD2 (PDe 〜PDh )から得られる、例え
ば[(PDa +PDb)−(PDc +PDd )]+
[(PDg +PDh )−(PDe +PDf )]の信号を
検出信号として、プッシュプル法によりトラッキングサ
ーボを行っている。
【0014】また、例えば[(PDa +PDd )−(P
b +PDc )]−[(PDe +PDh )−(PDf
PDg )]の信号を検出信号としてフォーカスサーボを
行い、例えば(PDa +PDb +PDc +PDd +PD
e +PDf +PDg +PDh)の信号すなわち全ての和
信号を検出信号としてRF信号の検出を行っている。
【0015】プッシュプル法においては、光学ディスク
等光学記録媒体により反射回折された光を、対称に配置
された2分割フォトダイオードPD上の2つの受光部で
受光し、2つの受光部の出力差としてトラッキングエラ
ー信号を取り出す。
【0016】光学ディスク上でのレーザ光の照射スポッ
トのトラッキングがとれている場合には、対称な反射回
折光分布が得られ、2つの受光部で受光する光の強度が
一致する。一方、照射スポットのトラッキングがずれて
いる場合には、左右非対称の回折光分布が得られ、2つ
の受光部で受光する光強度が一致しない。このため、照
射スポットがトラックを横切ったときの2つの受光部の
出力差は、S字曲線となる。
【0017】この場合、プッシュプル信号トラッキング
エラー信号の強度は、光学ディスクのピットの深さがλ
/8n(λはレーザ光の波長;nは正の整数)のとき最
も強くなり、λ/4nのとき干渉する回折光がお互いに
打ち消され強度が0となる。
【0018】CD及びCD−ROMにおいては、ディス
クのピット深さが約λ/5と規定されているため、プッ
シュプル信号が問題なく検出できる。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】ところが、最近開発さ
れてきているDVD(デジタル・ビデオ・ディスクもし
くはデジタル・バーサタイル・ディスク)、例えば読み
出し専用のDVD−ROMでは、その規格上ピット深さ
がλ/4になることも許容されている。ピット深さがλ
/4であると、プッシュプル信号が出なくなり、プッシ
ュプル信号を用いたトラッキングサーボができなくな
る。
【0020】そこで、このようにピット深さがλ/4の
場合でも、トラッキングエラー信号を得る別の手法とし
て、3スポット法が利用されている。図7Aに示すよう
に、光源である半導体レーザLDと対物レンズ71及び
光学ディスク72を配置した光学系において、対物レン
ズ71の手前に回折格子(グレーティング)73を配し
て、出射光LF を0次回折光及びその外側の2つの1次
回折光の3本の光線に分離する。そして、光学ディスク
72において、0次回折光スポットS0 と、その両側に
2つの1次回折光スポットS1 の合計3つの光スポット
が照射される。
【0021】これらの3つのスポットS0 ,S1 ,S1
は、図7Bに示すように、2つの1次回折光のスポット
1 が、0次回折光のスポットS0 から、それぞれ光学
ディスク72のトラックTの方向に対して反対側に対称
にずれるように配置されている。これら3つのスポット
0 ,S1 ,S1 において回折光を反射して、受光素子
で受光する。図7Bの場合には3つのフォトダイオード
PD0 ,PD1a,PD1bを用意し、中央のフォトダイオ
ードPD0 で、S0 から反射した0次回折光を受光し、
両外側のフォトダイオードPDa 及びPDb で、S1
ら反射した1次回折光を受光する。
【0022】そして、外側の2つのフォトダイオードP
1a及びPD1bで受光した光を、差分増幅器75によ
り、差分信号例えば(PD1b−PD1a)を検出して、こ
れをトラッキングエラー信号TEとすることができるも
のである。尚、図7Bの場合には、中央のフォトダイオ
ードPD0 は4分割されており、例えばフォーカスエラ
ー信号の検出を行うことができる構成となっている。
【0023】しかしながら、この3スポット法によるト
ラッキングエラー信号の検出を採用した場合には、主光
線を分割するためのグレーティング73を必要とするた
め、部品点数が増加する短所がある。また、主光線を分
割しているため、1スポット系に比べて主光線のパワー
効率が悪くなる。これは、高出力を必要とする、DVD
−R,DVD−RAM等の書き込み記録可能の媒体用の
システムにおいて短所となる。
【0024】また、3スポット法では、DVD−R,D
VD−RAM等の光学記録媒体のように、トラックの間
隔が狭く隣接するトラックにスポットがかかるような媒
体に対しては、非対称信号を生じやすく、良好なトラッ
キングエラー信号が得られにくい。
【0025】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、主光線を分割しなくとも、ピット深さがλ/4
の光学記録媒体のトラッキングサーボを行うことがで
き、高出力を要する書き込み可能光学記録媒体用に好適
な光半導体素子及び光学ピックアップ装置を提供するも
のである。
【0026】
【課題を解決するための手段】本発明の光半導体素子
は、受光部が短冊状に4分割されて、さらに4分割され
た受光部が4分割の分割線と交差する線によりにそれぞ
れ2分割されて、受光部が8分割された受光素子を備え
てなるものである。
【0027】また本発明の光学ピックアップ装置は、上
記光半導体素子を備えたものである。
【0028】上述の本発明の光半導体素子及び光学ピッ
クアップ装置によれば、受光部が、短冊状に4分割され
て、さらに4分割された受光部が4分割の分割線と交差
する線によりにそれぞれ2分割されて、8分割された受
光素子を備えていることにより、例えばトラッキングエ
ラー信号の検出においては、ヘテロダイン法とプッシュ
プル法を併用することができる。従って、これを用い
て、例えば光学記録媒体のトラッキングエラー信号、フ
ォーカスエラー信号やRF信号を受光検出することがで
きる。また、ピット深さや記録方式等の光学記録媒体の
規格が異なっていても、それぞれの規格に対応して、こ
れらトラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号や
RF信号等を受光検出することができる。
【0029】
【発明の実施の形態】本発明は、受光部が短冊状に4分
割されて、さらに4分割された受光部が4分割の分割線
と交差する線によりにそれぞれ2分割されて、受光部が
8分割された受光素子を備えてなる光半導体素子であ
る。
【0030】本発明は、上記光半導体素子を備えた光学
ピックアップ装置である。
【0031】また本発明は、上記光半導体素子におい
て、発光素子と、2つの受光素子から成る受光部と、マ
イクロプリズム手段とを有し、2つの受光素子の少なく
とも一方が上記8分割されている受光素子である構成と
する。
【0032】また本発明は、上記光半導体素子におい
て、受光素子からヘテロダイン法でトラッキング誤差信
号を得る構成とする。
【0033】また本発明は、上記光半導体素子におい
て、受光素子からプッシュプル法でトラッキング誤差信
号を得る構成とする。
【0034】以下、図面を参照して本発明の光半導体素
子及び光学ピックアップ装置の実施例を説明する。図1
に示す光学ピックアップ装置、いわゆるレーザカプラ1
0は、出力制御モニタ用のフォトダイオードPDM が作
り込まれたシリコン基板2上にマウントした半導体レー
ザLDを光源として、これらの部品とマイクロプリズム
3とが基盤すなわち、例えばシリコン基板(PDIC)
1上に配置されてレーザカプラ10を構成している。即
ち、前出の図6に示したレーザカプラ60の光学系と同
様の構成を有してなる。
【0035】そして、マイクロプリズム3下に2つのフ
ォトダイオードPD1 (PDa 〜PDh ),PD2 (P
i 〜PDl )が配置される。フォトダイオードP
1 ,PD2 は、シリコン基板50の表面に拡散などに
よって形成される。
【0036】本例においては、前段のフォトダイオード
PD1 は、図1Bにその拡大図を示すように、図6の場
合と同様に中央の分割線に対して対称であり、フォーカ
スおよびトラッキングが合った状態で、外側の2区画と
内側の2区画とにおいて受光する光量が等しくなるよう
に短冊状に4分割され、更にこの4分割の分割線と交差
する分割線、この例では4分割の分割線と略直交する分
割線により、それぞれ2分割されて、8分割のフォトダ
イオードを構成している。
【0037】一方、後段のフォトダイオードPD2 は、
図6の場合と同様に、中央の分割線に対して対称であ
り、フォーカスおよびトラッキングが合った状態で、外
側の2区画と内側の2区画とにおいて受光する光量が等
しくなるように短冊状に4分割されている。
【0038】このレーザカプラでは、半導体レーザLD
からの出射光LF がマイクロプリズム3の例えば45°
のハーフミラー斜面で反射して、図において垂直方向に
向かい、被照射部、例えばディスクに照射される。ディ
スクで反射された戻り光LRは、マイクロプリズム3の
ハーフミラー斜面よりマイクロプリズム3内に入射さ
れ、まず前段の8分割フォトダイオードPD1 (PDa
〜PDh )で受光されると共に反射されて、これがマイ
クロプリズム3上面で反射された後に後段の4分割フォ
トダイオードPD2 (PDi 〜PDl )でも受光され
る。
【0039】本例のレーザカプラ10では、ヘテロダイ
ン法を用いてトラッキングエラー信号の検出を行うこと
ができる。ヘテロダイン法における信号検出回路の概略
図を図3に示す。例えば田の字形状に4分割されたフォ
トダイオードPD11,PD12,PD21,PD22によって
受光した信号を、差分増幅器21により(PD12+PD
21)−(PD11+PD22)という対角和の差信号をヘテ
ロダイン信号HTDとして得ることができる。
【0040】尚、図3に示す回路では、加算器22によ
り、4分割フォトダイオードの和信号をRF信号として
得て、このRF信号をエッジ検出回路23,24を通し
て、これをHTD信号の後段の2つのサンプルホールド
回路25,26にそれぞれ送って、エッジの検出に応じ
て最終段の差分増幅器27で差信号を得て、この差信号
からトラッキングエラー信号TEを検出している。
【0041】本例のレーザカプラ10では、次の数1に
示す対角和の差信号であるヘテロダイン信号HTDを得
て、ヘテロダイン法によってトラッキングエラー信号を
得ることができる。
【0042】
【数1】HTD=(PDa +PDb +PDg +PDh
−(PDc +PDd +PDe +PDf
【0043】上述のヘテロダイン法は、光学ディスクの
ピットの深さにあまり影響されないという特徴を持って
いるため、これによりプッシュプル信号が得られない可
能性のあるようなDVD−ROM等の光学記録媒体に対
しても、記録・再生が可能な光半導体素子及び光学ピッ
クアップ装置を構成することができる。また、ヘテロダ
イン法は、フォトダイオードPD上でレーザ光のスポッ
トが動いても、プッシュプル法で見られるようなオフセ
ットの発生が少ないという特徴を有する。従って、本例
によりレンズシフトやディスクスキュー等に強く、プッ
シュプル信号のようにオフセットキャンセルのための回
路系を必要としない、レーザカプラ10が実現できる。
【0044】さらに、本例のレーザカプラ10は、図6
に示した従来のレーザカプラ60と互換の信号も得られ
る構成になっており、CD用等の従来のレーザカプラの
光学系に用いられているプッシュプル信号PPやRF信
号、フォーカスエラー信号FEも検出できる。これらの
信号を次の数2に示す。
【0045】
【数2】プッシユプル信号=(PDa +PDb +PDe
+PDf )+(PDk +PDl)〕−〔(PDc +PD
d +PDg +PDh )+(PDi +PDj )〕 RF信号=PDa +PDb +PDc +PDd +PDe
PDf +PDg +PDh +PDi +PDj +PDk +P
l FE=[(PDa +PDd +PDe +PDh )−(PD
b +PDc +PDf +PDg )]−[(PDi +P
l )−(PDj +PDk )]
【0046】従って、ヘテロダイン法ではトラッキング
エラー信号の検出ができないような光学記録媒体、例え
ばグルーブディスクに対しても、トラッキングエラー信
号を得ることもできる。即ち、グルーブ記録やランド記
録がなされる書き込み可能の光学記録媒体用の光学ピッ
クアップヘも適用できる。
【0047】また、上述の例では、1スポットでトラッ
キングエラー信号の検出を行うことができるため、出射
光LF の分割や戻り光LR の分割が不要で、部品点数の
削減できる点や、隣接トラックとの間隔が狭い場合でも
トラッキングエラー信号の検出ができる点において利点
を有する。
【0048】図1では、前段のフォトダイオードPD1
を8分割としているが、後段のフォトダイオードPD2
を8分割としても同様の効果が得られる。即ち、2つの
フォトダイオードPD1 ,PD2 の少なくともどちらか
一方が8分割になっていればよい。
【0049】より好ましくは、2つのフォトダイオード
PD1 ,PD2 を共に8分割とする。このようにすれ
ば、例えば半導体レーザLDの取付位置が変わった場合
等、レーザ光のスポットの位置が違っていても、ヘテロ
ダイン法によりトラッキングサーボを問題なく行うこと
ができる。
【0050】本発明は、既に量産実績のあるCD用光集
積素子(レーザカプラ)の技術で実現うることが可能で
あり、それ自体が大きな利点である。即ち、充分に量産
性(特に低コスト、高信頼性)に優れたデバイスとなり
得る。
【0051】尚、この他のトラッキングサーボの方法と
して、DPD法(Diffrential Phase Detection )と呼
ばれる方法があるが、基本的にはヘテロダイン法の手法
と同一と見なされるものであるため、前述の本発明の内
容に含まれるものである。
【0052】上述の実施例では、マイクロプリズム10
を用いた光半導体素子に適用した例であったが、その他
の構成の光半導体素子及び光学ピックアップ装置にも本
発明を適用することができる。
【0053】例えば図2に示すように、2つのフォトダ
イオードPD1 ,PD2 が形成されたPDIC11上に
ホログラム素子12を配して、このホログラム素子12
により光学ディスクからの戻り光LR を2本の光線に分
割して、それぞれPDIC11の2つのフォトダイオー
ドPD1 ,PD2 で受光する構成の光半導体素子20に
も本発明を適用することができる。PDIC11とホロ
グラム素子12との間には図示しないが透明部材が配置
されて、ホログラム素子12とフォトダイオードP
1 ,PD2 との位置合わせがなされる。
【0054】この例では、PDIC11の2つのフォト
ダイオードPD1 ,PD2 の少なくとも一方を、図1B
と同様の構成の8分割フォトダイオードとすることによ
り、これを用いてヘテロダイン法によるトラッキングサ
ーボを行うことができる。この場合も、光学ディスクの
ピットの深さがλ/4であっても、トラッキングエラー
信号を得ることができる等、前述の例と同様の効果を有
する。
【0055】上述の各例では、受光素子であるフォトダ
イオードPDを2つ形成してその少なくとも一方を8分
割フォトダイオードとして光半導体素子を構成している
が、1つの8分割フォトダイオードにより受光部を構成
した光半導体素子においても、同様に本発明を適用する
ことができる。この場合も、短冊状に4分割され、さら
に4分割の分割線と交差する分割線によりそれぞれ2分
割された、8分割のフォトダイオードを構成することに
より、ヘテロダイン法やプッシュプル法によるトラッキ
ングエラー信号の検出や、フォーカスエラー信やRF信
号等各種信号の受光検出を行うことができる。
【0056】本発明の光半導体素子及び光学ピックアッ
プ装置は、上述の例に限定されるものではなく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得
る。
【0057】
【発明の効果】上述の本発明によれば、ディスクピット
深さ依存の少ないトラッキングエラー信号が得られるた
め、プッシュプル信号が得られないピット深さがλ/4
の光学記録媒体に対しても、トラッキングサーボを行う
ことができる。
【0058】受光素子上のレーザ光のスポット移動によ
るオフセットが少ないトラッキングエラー信号が得られ
るため、レンズシフトやディスクスキュー等に強く、プ
ッシュプル信号をトラッキングエラー信号とする場合の
ように、オフセットをキャンセルするための回路系を必
要としない。従って、ピックアップ装置の簡略化が図れ
る。
【0059】また、1つのスポットでトラッキングエラ
ー信号の検出ができるので、ピットディスクに対しても
グルーブディスクに対しても、トラッキングエラー信号
を検出することができ、隣接トラックとの間隔が短い光
学ディスクに対しても使用することができる。
【0060】また、本発明の光学ピックアップ装置は、
フォトダイオードからなる受光素子の構成を変更するだ
けで、既に量産されている光半導体素子及び光学ピック
アップ装置の製造技術がそのまま適用できるので、製造
コストが低く、信頼性が良好で、量産性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光半導体素子及び光学ピックアッ
プ装置の実施例の概略構成図である。 A 光学ピックアップ装置の斜視図である。 B 図1Aにおけるフォトダイオードの拡大図である。
【図2】本発明による光半導体素子の他の実施例の概略
構成図である。
【図3】ヘテロダイン法における信号検出回路の概略図
である。
【図4】従来の光学ピックアップ装置の光学系の概略構
成図である。
【図5】従来のレーザカプラの光学系の概略構成図であ
る。
【図6】従来のレーザカプラの概略構成図である。 A レーザカプラの斜視図である。 B 図6Aにおけるフォトダイオードの拡大図である。
【図7】A、B 3スポット法を説明する図である。
【符号の説明】
1 シリコン基板(PDIC)、2 シリコン基板、3
マイクロプリズム、11 PDIC、12 ホログラ
ム素子、20 光半導体素子、21,27 差分増幅
器、22 加算器、23,24 エッジ検出回路、2
5,26 サンプルホールド回路、50 光学ピックア
ップ装置、51,61 フォトダイオードIC(PDI
C)、52 グレーティング、53,62 対物レン
ズ、54,63光学ディスク、60 レーザカプラ、7
1 対物レンズ、72 光学ディスク、73 回折格子
(グレーティング)、75 差分増幅器、LD 半導体
レーザ、PD1 ,PD2 ,PDa ,PDb ,PDc ,P
d ,PDe ,PDf ,PDg ,PDh ,PDi ,PD
j ,PDk ,PDl ,PD11,PD12,PD21,P
22,PD0 ,PD1a,PD1b フォトダイオード、L
レーザ光、LF 出射光、LR 戻り光、S0 0次
回折光スポット、S1 1次回折光スポット、P ピッ
ト、T トラック

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 受光部が短冊状に4分割されて、さらに
    該4分割された受光部が4分割の分割線と交差する線に
    よりにそれぞれ2分割されて、受光部が8分割された受
    光素子を備えてなることを特徴とする光半導体素子。
  2. 【請求項2】 上記請求項1に記載の光半導体素子を備
    えたことを特徴とする光学ピックアップ装置。
  3. 【請求項3】 発光素子と、2つの受光素子から成る受
    光部と、マイクロプリズム手段とを有し、上記2つの受
    光素子の少なくとも一方が、請求項1に記載の8分割さ
    れた受光素子であることを特徴とする光半導体素子。
  4. 【請求項4】 上記受光素子からヘテロダイン法でトラ
    ッキング誤差信号を得ることを特徴とすることを特徴と
    する請求項1に記載の光半導体素子。
  5. 【請求項5】 上記受光素子からプッシュプル法でトラ
    ッキング誤差信号を得ることを特徴とすることを特徴と
    する請求項1に記載の光半導体素子。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001085786A (ja) * 1999-07-09 2001-03-30 Sony Corp レーザパワー制御装置、光学ヘッド及び光記録再生装置
WO2001059897A1 (en) * 2000-02-10 2001-08-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser drive device, optical head, and optical information processor

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