JPH10247310A - 温湿補整用の順次配置され金属裏打ちされ懸架された絶縁体部分を備えた一体型リード懸架装置湾曲体 - Google Patents

温湿補整用の順次配置され金属裏打ちされ懸架された絶縁体部分を備えた一体型リード懸架装置湾曲体

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JPH10247310A
JPH10247310A JP9349842A JP34984297A JPH10247310A JP H10247310 A JPH10247310 A JP H10247310A JP 9349842 A JP9349842 A JP 9349842A JP 34984297 A JP34984297 A JP 34984297A JP H10247310 A JPH10247310 A JP H10247310A
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metal
insulator
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lead
suspension
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JP9349842A
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S Benin Jeffrey
エス． ベニン ジェフリー
W Butcher Todd
ダブリュ． ブーチャ トッド
J Riberuko Anthony
ジェイ． リベルコ アンソニー
A Lawraine Raymond
エー． ローレイン レイモンド
J Mazz Robert
ジェイ． マッツ ロバート
L Montez Gabriel
エム． モンテス ガブリエル
Supuramanian Karupanan
スプラマニアン カルパナン
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/484—Integrated arm assemblies, e.g. formed by material deposition or by etching from single piece of metal or by lamination of materials forming a single arm/suspension/head unit

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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】誘電性の絶縁体層における変化による歪曲を減
少するように連続的に配置され金属裏打ちされ懸架され
た絶縁体部分を有する一体型リード懸架装置。 【解決手段】伝導性リード層は、金属ベース領域２６に
わたって延在するリードベース領域と金属スプリングア
ーム３０にわたって延在する金属裏打ちしたリードアー
ム部分５２と当該リードアーム部分の１つから延在する
リード懸架部分５４を有する。湾曲体は更に、リードベ
ース領域部分を金属ベース領域に接合しまた当該金属ベ
ース領域からリードベース領域部分を絶縁する絶縁体ベ
ース領域部分６２と，リードアーム部分を金属スプリン
グアームに接合しまた当該金属スプリングアームからリ
ードアーム部分を絶縁する金属裏打ちした絶縁体アーム
部分６４と，リード懸架部分の下方表面上の絶縁体懸架
部分とを有し、金属スプリング層と伝導性リード層の間
にある吸湿性の絶縁体層を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の背景】
【０００２】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的にリジッド
な磁気ディスクドライブのためのヘッド懸架装置に関す
るものである。とりわけ本発明は誘電性の絶縁体層にお
ける変化による歪曲を減少するように連続的に配置され
金属裏打ちされ懸架された絶縁体部分を有する一体型リ
ード懸架装置のための湾曲体である。
【０００３】
【従来の技術】磁気ディスクドライブにおける回転媒体
上に読み書きヘッドスライダを支持するためのヘッド懸
架装置は広く使用され、Christianson 等の米国特許第
５４６１５２５号明細書において概ね開示されている。
このタイプのヘッド懸架装置は典型的には、基部側端部
の取り付け領域、その両側で補剛レールを有したリジッ
ド領域及び当該リジッド領域と上記取り付け領域の間の
半径乃至スプリング領域を有したステンレススチール製
（スプリング材料）ロードビーム並びに当該ロードビー
ムの遠位側（乃至先端側）端部に位置したジンバル乃至
湾曲体を有する。Christianson 等の特許に示された実
施形態においては、上記湾曲体はロードビームとは別に
製造・形成され、後に当該ロードビームに取り付けられ
る。Blaeser 等の米国特許第５１９８９４５号明細書に
示されたような別のタイプのヘッド懸架装置は、ロード
ビームの遠位側端部に直接的に形成されたインテグラル
ジンバルとして知られたところのものを有する。ヘッド
懸架装置の取り付け領域は、ディスクドライブにおいて
ロータリアクチュエータに取り付けられるのに適合し、
典型的には剛性（リジッドさ）を付加するためにこれに
溶接されたベースプレートを有する。
【０００４】読み書きヘッドスライダは、通例は接着剤
によってヘッド懸架装置の湾曲体に取り付けられる。当
該読み書きヘッドスライダは一般にリード線によってデ
ィスクドライブにおける電子回路構成に電気的に接続さ
れている。リード線は読み書きヘッドスライダにおける
ターミナルに超音波を用いてつながれ、鑞付けされ或い
は別の方法で取り付けられ、ヘッド懸架装置の長さづた
いに取り付け領域に延びている。リード線を懸架装置に
固定するために複数のタブがしばしばリジッド領域及び
取り付け領域に含まれる。しかしながら、リード線はヘ
ッド懸架装置に取り付けることが比較的困難で、当該懸
架装置に望ましくない硬直性と重量を加える。
【０００５】従来のワイヤリードを備えたヘッド懸架装
置に代わるものとして、一体型リード乃至「ワイヤレ
ス」懸架装置が公知である。多数の異なるタイプの一体
型リード懸架装置が市販されている。当該一体型リード
懸架装置の１つのタイプは概ねBennin の米国特許第５
５９８３０７号明細書に開示されている。この特許に示
された懸架装置は誘電性絶縁体層によって結合されたス
テンレススチールスプリング材料層と銅伝導性層とを有
するラミネートシート材料から製作される。ロードビー
ムと湾曲体とはフォトリソグラフィック（写真平板）ケ
ミカルエッチングプロセスによってステンレススチール
層から形成される。一体型リードは同様のプロセスによ
って伝導性層と絶縁体層から形成される。
【０００６】Bennin 等の米国特許第５４９１５９７号
明細書は、ロードビームとジンバル相互連結アセンブリ
から組み立てられたヘッド懸架装置を開示する。ジンバ
ル相互連結アセンブリは伝導性スプリング材料の層から
エッチングされ、絶縁誘電体でコーティングされ、ロー
ドビームに据え付けられる。
【０００７】ディスクドライブテクノロジーが進歩する
につれて、ヘッド懸架装置は一層厳しい要求の公差（許
容差）で製造されなければならない。公差が比較的緩や
かであった場合に二次的に重要であったファクターがだ
んだん重要になってきている。そのようなファクターの
一つは、ヘッド懸架装置を作るのに用いられる材料が環
境条件の変化にどのように反応するかである。とりわ
け、一体型リード懸架装置の絶縁体層を形成するのに一
般に用いられる誘電性材料は、典型的には極性ポリマ
ー、代表的には吸湿性の極性ポリマーから形成される。
絶縁体層に吸湿性材料を使用することは、周囲状況にお
いて相対湿度が増すとともに当該絶縁体層をして嵩的に
膨張する。同様にこれら誘電性材料の体積は温度で変化
する。（吸湿性及び／又は熱的ストレスによって引き起
こされる）絶縁体層の体積の変化は、静的態勢のような
ヘッド懸架装置特性に影響を及ぼす。
【０００８】絶縁体層における変化からの影響を減らす
一体型リード懸架装置のための湾曲体が必要とされる。
ビジネス的に存立できるために、どのようなテクノロジ
ーであろうとも幾つかの競争上のデザインのものを比較
対照しなければならない。一体型リード懸架装置湾曲体
は、ヘッドスライダの取り付けと当該スライダとの連絡
を容易にする電気特性を有して設計されなければならな
い。更に、一体型リード懸架装置湾曲体のメカニカル特
性が最適化されなければならない。湾曲体の硬さ（ステ
ィッフネス）は概ね適切なジンバルアクションを可能と
するためにピッチ軸とロール軸において相対的に低い
が、ドライブ動作中に湾曲体の横の歪曲を防ぐために側
方硬さは相対的に高い。必要とされるのは、適切なジン
バルアクションを可能としながらも、変化する湿度と温
度の周囲状況において比較的安定な一体型リード懸架装
置湾曲体である。
【０００９】
【発明の概要】本発明は一体型リード懸架装置湾曲体及
び製作方法である。当該湾曲体は金属裏打ちされ、順次
配置された絶縁体部分を吊るして、絶縁体層における変
化のための歪曲を減らす。
【００１０】一体型リード懸架装置湾曲体の一つの実施
形態は、金属ベース領域を有する金属スプリング層、金
属ヘッド接合プラットホーム、及び湾曲体の動きのため
に上記金属ベース領域に上記金属ヘッド接合プラットホ
ームを連結する１つ以上の金属スプリングアームを備え
ている。湾曲体はまた、金属スプリング層に向いた表面
を有し金属ベース領域と金属ヘッド接合プラットホーム
の間に延在する伝導性リード層を備えている。当該伝導
性リード層は、上記金属ベース領域上に延在するリード
ベース領域部分、上記金属スプリングアーム上に延在す
る金属裏打ちされたリードアーム部分及び当該金属裏打
ちされたリードアーム部分の少なくとも１つから延在す
るリード懸架部分を有する。湾曲体は更に、上記リード
ベース領域部分を上記金属ベース領域に接合しまた上記
リードベース領域部分を上記金属ベース領域から絶縁す
るための絶縁体ベース領域部分、上記金属裏打ちされた
リードアーム部分を上記金属スプリングアームに接合し
また上記金属裏打ちされたリードアーム部分を上記金属
スプリングアームから絶縁するための金属裏打ちされた
絶縁体アーム部分及び上記リード懸架部分の下側表面上
の絶縁体懸架部分を有した絶縁体層を金属スプリング層
と伝導性リード層の間に備えている。絶縁体層が体積変
化を受けると、第１の曲げが金属裏打ちされた絶縁体ア
ーム部分の各々で引き起こされ、第２の曲げが絶縁体懸
架部分の各々で引き起こされる。金属裏打ちされた絶縁
体アーム部分と絶縁体懸架部分とは連続配置を有し、そ
の結果、上記第１の曲げの方向は上記第２の曲げの方向
と逆向きになる。
【００１１】
【好適な実施形態の詳細な説明】通常の一体型リード懸
架装置の絶縁体層に一般に用いられる誘電性材料は吸湿
性であり、言い換えれば、容易に水分を吸収し、また解
放する。相対的に乾燥した環境から相対的に湿った環境
に移る場合（例えば相対湿度での５０％の変化）、上記
誘電性材料は環境から水分を吸収し、体積膨張する。
【００１２】図１（Ａ）〜１（Ｅ）と図２（Ａ）〜２
（Ｅ）は一般に、誘電性層と金属層の色々な通常の組み
合わせが、相対的に乾燥した環境（図１Ａ〜１Ｅに示
す）から相対的に湿った環境（図２Ａ〜図２Ｅに示す）
に移る場合に、吸湿変形をどのように受けるかを示して
いる。図１（Ａ）は相対的に乾燥したフリーな誘電性フ
ィルム３１０（例えばポリイミド又はエポキシ）を示
す。相対的に湿った状況となると、当該フィルムは図２
（Ａ）に示されるように全方向において体積膨張する。
図１（Ｂ）は比較的薄く、それ故に相対的に硬さの低い
金属シート３１４（例えば３０２ステンレススチールの
２０ミクロン厚のシート）にくっついた誘電性フィルム
３１２を示す。図２（Ｂ）に示されるように、相対的に
湿った状況となると金属シート３１４にくっついたフィ
ルム３１２の面３１６は伸張できないがフリー面３１８
は伸張する。これによって、図２（Ｂ）に示されるよう
に材料の曲げとなるアンバランスな内部ひずみを生じ
る。比較的薄めの、それ故に比較的高目の硬さの支持シ
ート３２０（例えば３０２ステンレススチールの７５ミ
クロン厚のシート）が誘電性フィルム３２２にくっつい
ている場合、図２（Ｃ）に示されるように、曲げは相対
的に湿った状況において減少する。曲げはまた図１
（Ｄ）と図２（Ｄ）に示されるように、金属シート３２
４と３２６を誘電性フィルム３２８の２つの反対側の面
にくっつけて、誘電性フィルム３２８の中間平面伸張を
可能とする一方で総体的な曲げを防ぐために上下の誘電
性表面をしっかりつなぎ止めることによっても減少させ
ることができる。
【００１３】図１（Ｅ）は伝導性リード３３０を備えた
通常の一体型リード構造体の部分３３２を描写する。ピ
ッチ方向とロール方向における硬さが比較的低い金属層
３３４（例えば３０２ステンレススチールの２０ミクロ
ン厚のシート）がジンバル作用を可能にするために用い
られる。しかしながら、この比較的低い硬さは、上記部
分３３２が図２（Ｅ）に示されるような相対的に湿った
状況に変わることがあると展開する曲げを可能とする。
リード３３０は金属層３３４と反対側の誘電性フィルム
３３６の一部分にくっついているけれども、リードの表
面範囲は誘電性部分３３６の表面範囲よりも小さく、曲
げとなる誘電性の上表面の側方伸張を可能とする。
【００１４】同様に、通常の一体型リード懸架装置の絶
縁体層に一般に用いられる誘電性材料は、典型的には通
常の一体型リード懸架装置の金属スプリング層及び伝導
性リード層に一般に用いられる金属の熱膨張係数よりも
相対的に大きい熱膨張係数を有する。温度変化にさらさ
れる場合、絶縁体層に用いられた誘電性の層は周辺の金
属層よりも大きな程度で伸張し（あるいは収縮し）、図
１（Ａ）〜（Ｅ）と図２（Ａ）〜（Ｅ）に示された湿度
曲げ作用にかなり似た曲げ効果が幾らか生じる。それ
故、絶縁体層材料の吸湿性及び／又は熱的性質（即ち、
湿度と温度に関する性質）は、静止姿勢のようなヘッド
懸架装置の特性に影響を与えうる絶縁体層における変化
を引き起こす。
【００１５】図３は、ロードビーム１４の遠位側端部に
取り付けられた本発明に係る一体型リード湾曲体１０を
有するヘッド懸架装置１２を示す。１４のようなロード
ビームは公知であり、本発明の譲渡人であるミネソタ州
Hutchinson 在の Hutchinson Technology Incorporate
d を含む多数の供給元から入手可能である。典型的には
ロードビーム１４はその基部側端部での取り付け領域１
６、相対的にリジッドな領域１８、取り付け領域１６と
リジッド領域１８の間のスプリング領域２０を有する。
湾曲体１０はロードビーム１４に溶接されるか、その他
の方法で取り付けられ、スライダ接合領域２２に粘着的
に接合されたヘッドスライダ（図示せず）を有するのに
適する。
【００１６】湾曲体１０は図３〜１０に関してより詳細
に記載される。一体型リード湾曲体１０は金属ベース領
域２６を有する第１（上方）及び第２（下方）表面を備
えた金属スプリング層２４（図５Ｃにおそらく最も良く
示される）、金属ヘッド接合プラットホーム２８、金属
クロス部材３７及び１対の金属スプリングアーム３０を
有している。金属ベース領域２６は湾曲体１０の基部側
端部に位置し、典型的には溶接によってロードビーム１
４の相対的にリジッドな領域１８に取り付けられる。図
３〜１０に示された実施形態において、金属ベース領域
２６はまた孔３２を有している。当該孔は湾曲体１０が
ロードビーム１４に取り付けられる場合に相対的にリジ
ッドな領域１８における対応孔回りに湾曲体１０を位置
調整するのに用いられうる。金属スプリングアーム３
０、金属クロス部材３７及び金属ヘッド接合プラットホ
ーム２８を有する金属ジンバル領域３４が金属ベース領
域２６から延びている。金属クロス部材３７と金属ヘッ
ド接合プラットホーム２８とは、ピッチ軸線及びロール
軸線回りの動きを可能にするように金属スプリングアー
ム３０によって金属ベース領域２６に連結された金属ジ
ンバル領域３４の遠位側端部でＴ形状の構造体を形成す
る。金属ヘッド接合プラットホーム２８はヘッドスライ
ダ（図示せず）の取り付けと支持に適し、金属スプリン
グアーム３０に隣接し且つそれらの間に位置する。図３
〜１０に示された実施形態において、金属ヘッド接合プ
ラットホーム２８は湾曲体１０の金属クロス部材３７か
ら金属ベース領域２６に向かって延びる舌状の片持ち梁
ビームであり、金属ベース領域２６や金属スプリングア
ーム３０からギャップ３６だけ隔たっている。同様に金
属スプリング層２４は、ロードビーム１４の取り付け領
域１６の側方エッジをおおい且つ当該取り付け領域１６
の側方エッジを越えて延びる金属取り付け領域３８を有
してなっている。
【００１７】一体型リード懸架装置１０はまた、吸湿性
絶縁体層４４の頂上に伝導性リード層４２を備えてなる
リード構造４０を有している。伝導性リード層４２（図
５Ａにおそらく最も良く示される）は対向する第１（上
方）及び第２（下方）表面を有し、当該伝導性リード層
４２の下方表面は金属スプリング層２４の上方表面に向
き、概ね絶縁体層４４によってそこから隔てられる。細
長く概ね平行なシングルリード４６が伝導性リード層４
２に形成される。典型的には、当該リード４６は２本一
組で形成され、等しい数のリード４６が湾曲体１０の各
側方側面にある。リード４６の正確な数と形状は、ヘッ
ド懸架装置の所望の機械的特性によって並びにヘッドス
ライダと当該ヘッドスライダからの信号を加工処理する
のに用いられる増幅・処理回路構成（図示せず）の電気
的要件によって決定される。リード４６は、概ねロード
ビーム１４の取り付け領域１６と金属取り付け領域３８
をおおってこれらと並んで延在するリード取り付け領域
部分４８と、金属ベース領域２６をおおって延在するリ
ードベース領域５０と、金属裏打ちアーム部分５２と、
リード懸架部分５４と、概ね金属ジンバル領域３４をお
おって延在するリードクロス部材部分５５とを備えてな
っている。リード金属裏打ちアーム部分５２はリードベ
ース領域部分５０から延び、金属ジンバル領域３４の金
属スプリングアーム３０によって裏打ちされている。
【００１８】リード懸架部分５４はギャップ３６を介し
てリード金属裏打ちアーム部分５２から延び、金属スプ
リング層２４から自由である（言い換えれば、これらに
よって裏打ちされて(裏続きになって)いない）。リード
懸架部分５４は概ね金属スプリングアーム３０に近接
し、ギャップ３６の部分５６によってこれから隔たって
いる（図６におそらく最も良く示される）。リードクロ
ス部材部分５５は金属クロス部材３７を介してリード懸
架部分５４から延びている。リード４６はリード取り付
け領域部分４８の基部側端部で取り付け領域接合パッド
５８において終端する。取り付け領域接合パッド５８
は、通常の接合（ボンディング）技術を用いて、アクチ
ュエータアーム上に位置するかディスクドライフの部分
としての増幅・処理回路構成に電気的に接続する。リー
ド４６は湾曲体１０の遠位側端部で、ヘッドスライダ
（図示せず）に電気的に接続するスライダ接合パッド６
０において終端する。図３〜１０に示された実施形態に
おいて、スライダ接合パッド６０は金属ヘッド接合プラ
ットホーム２８上に位置している。
【００１９】第１（上方）表面と第２（下方）表面とを
有する湾曲体１０の吸湿性絶縁体層４４（図５Ｂにおそ
らく最も良く示される）は概ね金属スプリング層２４と
伝導性リード層４２の間に位置する。絶縁体層４４の上
方表面は伝導性リード層４２の下方表面に面し、絶縁体
層４４の下方表面は金属スプリング層２４の上方表面に
面している。特に、絶縁体層４４は金属取り付け領域３
８にリード取り付け部分４８を接合する絶縁体取り付け
領域部分６１と、金属ベース領域２６にリードベース領
域部分５０を接合する絶縁体ベース領域部分６２とを備
えてなっている。絶縁体層４４はまた、絶縁体ベース領
域部分６２から延び金属スプリングアーム３０に金属裏
打ちされたリードアーム部分５２をつなぎ当該金属スプ
リングアーム３０から当該リードアーム部分５２を絶縁
する１対の金属裏打ちされた絶縁体アーム部分６４を備
えてなっている。絶縁体層４４は更に、金属裏打ちされ
た絶縁体アーム部分６４から延びそれらの上方表面をリ
ード懸架部分５４の下方表面につなぎそれらの下方表面
を金属スプリング層２４からフリーとする下方表面１対
の絶縁体懸架部分６６を備えてなっている。金属裏打ち
された絶縁体部分６４と絶縁体懸架部分６６とがお互い
に概ね連続するように配置され、その結果、ジンバル領
域の各側方側にとって金属裏打ちされた絶縁体部分６４
と絶縁体懸架部分６６とは互いに近接し長手方向に間隔
をおいている。絶縁体層４４は更に遠位側端部で、絶縁
体懸架部分６６から延び金属クロス部材３７にリードク
ロス部材部分５５を接合する１対の絶縁体クロス部材部
分６３と、絶縁体クロス部材部分６３から延び金属ヘッ
ド接合プラットホーム２８にスライダ接合パッド６０を
接合する絶縁体接合パッド部分６５とを有する。
【００２０】図１０は相対的に湿った状態での湾曲体１
０の側面図である。金属裏打ちされた絶縁体アーム部分
６４の上方表面をリード４６で拘束し、当該金属裏打ち
された絶縁体アーム部分６４の下側表面を金属スプリン
グアーム３０で拘束することで重大に吸湿変形を減ら
す。しかしながら当該金属裏打ちされた絶縁体アーム部
分６４は上方表面をリード４６によって完全に拘束され
ていない。例えば、図８（Ａ）に示されるように、２つ
のリード４６のある側でそれらの間に金属裏打ちされた
絶縁体アーム部分６４の上方表面の拘束されていない部
分７１がある。図１０に示されるように、相対的に湿っ
た状態において、部分的に拘束されない絶縁体層４４
は、ジンバル領域の金属裏打ちされた絶縁体アーム部分
６４づたいに金属スプリング層２４の下側表面において
概ね凹んだ形状を形成する第１曲げ６８を引き起こしが
ちである。第１曲げ６８の影響を打ち消すように、絶縁
体懸架部分６６の連続配置は、金属スプリング層２４の
下側表面において絶縁体懸架部分６６づたいに第１曲げ
と同じ程度で当該第１曲げ６８と概ね反対向きの方向に
曲がった概ね凸状形状を形成する第２曲げ７０を引き起
こす。第１曲げ６８は金属ベース領域２６の遠位側エッ
ジから金属裏打ちされた絶縁体アーム部分６４づたいに
結節点７３に延び、第２曲げ７０は当該結節点７３から
絶縁体懸架部分６６づたいに湾曲体１０の遠位側先端に
延びる。結節点７３は第１曲げ６８と第２曲げ７０がぶ
つかる変曲点によって定義される。湾曲体１０における
絶縁体層４４の吸湿変形からの影響は、金属裏打ちされ
た絶縁体アーム部分６４と絶縁体懸架部分６６の連続配
置が金属ヘッド接合プラットホーム２８上に位置したヘ
ッドスライダ取り付け場所の静止姿勢において最小の変
化しかもたらさないか変化しないならば、効果的に減ら
されうる。一体型リード懸架装置湾曲体１１０、即ち、
本発明の第２実施形態が図１１〜１６に示される。当該
湾曲体１１０は（下記の個所を除いて）上記湾曲体１０
と類似しており、下記類似のプロセスを用いて製造する
ことができる。湾曲体１０において対応する要素を有す
る湾曲体１１０の要素は、１００だけ増加した数字で言
及される（例えば、湾曲体１０の金属スプリング層２４
は湾曲体１１０の金属スプリング層１２４に対応す
る）。湾曲体１１０の金属スプリング層１２４において
形成された追加的特徴（おそらく図１２Ｂに最も良く示
される）は、金属層スプリングアーム１３０において形
成され第１及び第２ステップ１３３，１３５を有する凹
所１３１を含んでいる。同様に、４対の孔１２７が金属
ジンバル領域１３４の４つのコーナーに形成される。絶
縁体層１４４において形成された追加的特徴（おそらく
図１２Ａに最も良く示される）は、金属スプリングアー
ム１３０の側方エッジから延びる第１懸架部分１７２と
金属スプリングアーム１３０の側方エッジからギャップ
１３６の部分１５６によって分離した第２懸架部分１７
４を備えている絶縁体懸架部分１６６を含んでいる。第
１懸架部分１７２は第１ステップ１３３によって金属ス
プリングアーム１３０において形成された空隙のために
懸架される（即ち、金属スプリング層１２４によって裏
打ちされない）。第２懸架部分１７４は第２ステップ１
３５によって金属スプリングアーム１３０において形成
された空隙のために懸架される。第２懸架部分１７４は
金属スプリングアーム１３０からギャップ１３６の部分
１５６によって分離される。当該部分１５６は金属スプ
リング層１２４における凹所１３１と絶縁体層１４４に
おいて形成された凹所１７６によって形成された空隙の
共通部分によって定義される。絶縁体懸架部分１６６は
更に、金属スプリング層１２６において形成された孔１
２７のために懸架された孔懸架部分１７８を備えてい
る。金属スプリング層１２４と絶縁体層１４４において
様々な凹所を備えた金属裏打ちされた絶縁体アーム部分
１６４と絶縁体懸架部分１６６を形成することで、ジン
バル領域のピッチとロールの硬さを最適化するためにリ
ード１４６を一定の経路とすることができる。
【００２１】湾曲体１０（及び、同様に湾曲体１１０）
を製造するための方法は、図１７に示されるようなラミ
ネート状金属シート９０を準備することを含んでいる。
ラミネート状シート９０は、互いに分かれ誘電性絶縁体
層９６によって互いに接合したスプリング金属層９２と
伝導性金属層９４を有している。９０のようなラミネー
ト状シートはアリゾナ州 Chandler 在の Rogers Corpor
ation を含む多数の供給元から入手可能である。
【００２２】１つの実施形態において、スプリング金属
層９２は約１８ミクロンメートルから２５ミクロンメー
トルの厚みを有したステンレススチール層である。伝導
性金属層９４は約１０ミクロンメートルから１８ミクロ
ンメートルの厚みを有したＣ７０２５銅合金の層であ
る。誘電性層９６は約１０ミクロンメートルから１８ミ
クロンメートルの厚みを有したポリイミド層である。湾
曲体製造方法は更に、フォトリソグラフィックエッチン
グプロセスを用いて、スプリング金属層９２において金
属スプリング層２４を形成するステップ、伝導性金属層
９４において伝導性リード層４２を形成するステップ、
及び誘電性層９６において絶縁体層４４を形成するステ
ップを有している。これに代わりに、湾曲体１０は、蒸
着(vapor deposition)のような一般に公知の析出技術を
用いて絶縁体層４４と伝導性リード層４２を金属スプリ
ング層２４上に析出するアディティブプロセスを用いて
製造可能である。
【００２３】本発明の別の実施形態（図示せず）におい
て、湾曲体はロードビームと一体的に形成される。その
ように一体的に形成された一体型リードヘッド懸架装置
は、Bennin の米国特許第５５９８３０７号明細書に開
示されたプロセスに類似したプロセスを用いて製造可能
である。そのような一体的に形成されたヘッド懸架装置
において、図３〜１０に示された湾曲体１０の金属ジン
バル領域３４に類似の金属ジンバル領域は、ロードビー
ムの遠位側端部から延び、ロードビームと同じ金属層か
ら形成される。例えば、ロードビームと金属ジンバル領
域とは図１７に示されたラミネート９０のスプリング金
属層９２から形成することが可能である。図３〜１０に
示された湾曲体１０の伝導性層４２と絶縁体層４４に類
似した伝導性層と絶縁体層は、温湿補整のために金属裏
打ちされた絶縁体アーム部分と絶縁体懸架部分の連続配
置を備えるために、ラミネート９０の伝導性金属層９４
と絶縁体層９６において形成することが可能である。
【００２４】本発明の湾曲体は多数の重要な利点を提供
する。絶縁体層における温度と湿度の変化からのスライ
ダ接合領域における影響は、ジンバル領域の硬さを本質
的に増加させることなく減らすことができる。したがっ
て、湾曲体は環境安定性を増加しながら、なお適切なジ
ンバル作用を可能とする。他の利点は、本発明の湾曲体
が効率的で正確で経済的なフォトリソグラフィックケミ
カルエッチングプロセスを用いてラミネート材料から製
造可能であることにある。
【００２５】本発明は好適な実施形態に関して記載され
たが、当業者であれば本発明の精神と範囲を逸脱するこ
となく形態と詳細において変更を行うことができること
を認識しよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）〜（Ｅ）とも相対的に乾燥した状態での
誘電性層と金属層の色々な従来の組み合わせの断面的な
等尺図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｅ）とも相対的に湿った状態でのそ
れぞれ図１（Ａ）〜図１（Ｅ）に示された構造の断面的
な等尺図である。
【図３】本発明の１つの実施形態にしたがう湾曲体を有
したヘッド懸架装置の平面図である。
【図４】図３に示されたヘッド懸架装置の湾曲体の平面
図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ図４に示された湾曲
体の伝導性リード層、絶縁体層及び金属スプリング層の
平面図である。
【図６】図４に示された湾曲体のジンバル領域の詳細な
平面図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ図６に示されたジン
バル領域の絶縁体層と金属スプリング層の平面図であ
る。
【図８】（Ａ）は図６に示され線８Ａ-８Ａで横切られ
るジンバル領域の金属裏打ちされた部分の横断面図であ
り、（Ｂ）は図６に示され線８Ｂ-８Ｂで横切られるジ
ンバル領域の懸架部分の横断面図である。
【図９】図６に示されたジンバル領域の詳細な平面図で
ある。
【図１０】相対的に湿った状態での図４に示された湾曲
体の側面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態にしたがう湾曲体のジ
ンバル領域の平面図である。
【図１２】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ図１１に示された
ジンバル領域の絶縁体層と金属スプリング層の平面図で
ある。
【図１３】図１１に示されたジンバル領域の詳細な平面
図である。
【図１４】図１３に示され線１４-１４で横切られるジ
ンバル領域の金属スプリングアームの横断面図である。
【図１５】図１３に示され線１５-１５で横切られるジ
ンバル領域の金属スプリングアームの横断面図である。
【図１６】図１３に示され線１６-１６で横切られるジ
ンバル領域の金属スプリングアームの横断面図である。
【図１７】本発明にしたがう湾曲体を作り出すのに用い
られるラミネート材の横断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トッド ダブリュ． ブーチャ アメリカ合衆国 ミネソタ州 55385 ス チュワート ルーラル ルート ２ ボッ クス 161 (72)発明者 アンソニー ジェイ． リベルコ アメリカ合衆国 ミネソタ州 55350− 2460 ハッチンソン フィフス アベニュ ー サウスウエスト 216 (72)発明者 レイモンド エー． ローレイン アメリカ合衆国 ミネソタ州 55364 マ ウンド バートレット ブールバード 5982 (72)発明者 ロバート ジェイ． マッツ アメリカ合衆国 ミネソタ州 55322 コ ロン モーガン レーン 9230 (72)発明者 ガブリエル エム． モンテス アメリカ合衆国 ミネソタ州 55350 ハ ッチンソン ジャクソン ストリート 540 (72)発明者 カルパナン スプラマニアン アメリカ合衆国 ミネソタ州 55305 ホ プキンス ロビンウッド レーン 621 アパートメント ９

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一体型リードヘッド懸架装置用の湾曲体
    にして、 金属ベース領域と金属ヘッド接合プラットホームと湾曲
    体の動きのために上記金属ベース領域に金属ヘッド接合
    プラットホームを連結する１つ以上の金属スプリングア
    ームとを備え、対向する第１表面と第２表面を有する金
    属スプリング層と；対向する第１表面と第２表面を有
    し、当該第２表面が上記金属スプリング層の第１表面と
    向き合い金属ベース領域と金属ヘッド接合プラットホー
    ムの間で延在し、上記金属ベース領域にわたって延在す
    るリードベース領域と上記金属スプリングアームにわた
    って延在する金属裏打ちされたリードアーム部分と当該
    金属裏打ちされたリードアーム部分の少なくとも１つか
    ら延在するリード懸架部分とを備える伝導性リード層
    と；上記リードベース領域部分を上記金属ベース領域に
    接合しまた当該金属ベース領域から上記リードベース領
    域部分を絶縁するための絶縁体ベース領域部分と，上記
    金属裏打ちされたリードアーム部分を上記金属スプリン
    グアームに接合しまた当該金属スプリングアームから上
    記金属裏打ちされたリードアーム部分を絶縁するための
    金属裏打ちされた絶縁体アーム部分と，上記リード懸架
    部分の第２表面上の絶縁体懸架部分とを備え、上記金属
    スプリング層と伝導性リード層の間にある絶縁体層とを
    有してなる湾曲体であって、上記絶縁体層が体積変化を
    受ける際に金属裏打ちされた絶縁体アーム部分の各々に
    第１曲げが引き起こされ絶縁体懸架部分の各々に第２曲
    げが引き起こされて、金属裏打ちされた絶縁体アーム部
    分と絶縁体懸架部分とが連続して配置され、その結果、
    第１曲げの方向が第２曲げの方向と反対であるようにな
    った湾曲体。
  2. 【請求項２】 更に、第１曲げと第２曲げがぶつかる変
    曲点によって定義された結節点と中心を有し上記金属ヘ
    ッド接合プラットホーム上に位置したヘッドスライダ取
    り付け個所とを有してなり、上記金属裏打ちされた絶縁
    体アーム部分と絶縁体懸架部分とが上記ヘッドスライダ
    取り付け個所の中心に上記結節点を整列させるのに有効
    な連続配置を有するようになった請求項１の湾曲体。
  3. 【請求項３】 上記金属スプリング層がステンレススチ
    ールを有して構成され、上記伝導性リード層が銅又は銅
    合金を有して構成され、上記絶縁体層がポリイミドを有
    して構成される請求項１の湾曲体。
  4. 【請求項４】 上記絶縁体懸架部分が更に、上記金属ス
    プリングアームの側方エッジから延びる第１懸架部分
    と、上記金属スプリングアームに形成された複数の凹所
    と上記絶縁体懸架部分に形成された複数の凹所との共通
    部分によって形成されたギャップによって上記金属スプ
    リングアームの側方エッジから分離した第２懸架部分と
    を有してなる請求項１の湾曲体。
JP9349842A 1996-12-19 1997-12-18 温湿補整用の順次配置され金属裏打ちされ懸架された絶縁体部分を備えた一体型リード懸架装置湾曲体 Pending JPH10247310A (ja)

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