JPH10247467A

JPH10247467A - 試料ホルダ

Info

Publication number: JPH10247467A
Application number: JP9049398A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Kitsuka; 徳志木塚; Katsuyoshi Kumazawa; 克芳熊澤; Motoki Kozuka; 基樹小塚; Nobuo Tanaka; 信夫田中; Mikio Naruse; 幹夫成瀬
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1997-03-04
Filing date: 1997-03-04
Publication date: 1998-09-14

Abstract

(57)【要約】【目的】電子顕微鏡を用いて試料表面に蒸着を行い
ながら、その蒸着状態の観察に最も適した断面観察を可
能にすること。【構成】電子銃から出射する電子線の通路の外側を
囲むように配置された電子顕微鏡の鏡筒を貫通する筒状
のホルダ装着部材により、前記電子線の通路に交差する
ホルダ軸方向に沿ってスライド可能に支持されたホルダ
外筒（１１）と、前記ホルダ外筒（１１）に支持され且
つ試料（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）が電子線の通路に平行
な状態で試料（Ｓ）を保持する試料保持部材（２６）
と、前記ホルダ外筒（１１）に支持され且つ前記試料
（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）に対向する位置に配置された
蒸着材料（４３）と、前記蒸着材料（４３）を加熱して
前記被蒸着面（Ｓb）に蒸着させる蒸着材料加熱装置
（Ｊ）とから構成される試料ホルダ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に対する顕微
分析作業を行う電子顕微鏡装置の電子ビーム源（電子
銃）から照射される電子ビームの通路に試料を保持する
試料ホルダに関し、特に、試料表面に蒸着材料が蒸着さ
れる過程を観察できるようにした試料ホルダに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子顕微鏡内で試料表面に真空蒸
着を行いながら試料表面に蒸着される材料の観察を行う
技術として次の（Ｊ01）の技術が知られている。（Ｊ01）図９〜図１２に示す技術図９は従来の一般的な透過型電子顕微鏡の断面図であ
る。図１０は前記図９の要部拡大図である。図１１は前
記図１０に示す部分を改造して、電子顕微鏡内で試料表
面に真空蒸着を行いながら試料表面に蒸着される材料の
観察を行えるようにした透過型電子顕微鏡の説明図であ
る。図１２は前記図１１に示す透過型電子顕微鏡の作用
説明図である。図９、図１０において、電子顕微鏡０１
は、内部を真空に保持されたケース（鏡筒）０２を有
し、ケース０２上端に電子銃０３が設けられている。ケ
ース０２下端部には観察用の蛍光板０４、および観察窓
０６が設けられている。前記電子銃０３の下方には電子
線収束レンズ０７が配置され、前記蛍光板０４の上方に
は対物レンズ０８が配置されている。対物レンズ０８は
対物レンズポールピース（磁極部材）０８aを有してい
る。そして、前記電子線収束レンズ０７および対物レン
ズ０８の間には試料室Ｒおよび試料装着部としてのゴニ
オステージＧが設けられている。ゴニオステージＧは、
ホルダ支持孔０９aを有する円筒状のホルダ支持部材０
９を有している。前記円筒状のホルダ支持部材０９は、
ゴニオステージＧの球面軸受けにより軸の向きが調節可
能に支持されている。ホルダ支持部材０９により、試料
ホルダＨ（図１０参照）が支持されている。前記試料ホ
ルダＨの内端（前方）側には試料Ｓを保持する。試料ホ
ルダＨの先端（前方）側の対向位置には、先端側に位置
決め部材Ｐaを有する試料位置決め部材Ｐが配置され
る。前記位置決め部材Ｐaは、前記試料室Ｒにおいて、
前記試料ホルダＨの先端（前方）側に当接して、試料ホ
ルダＨの前後方向の位置決めを行うための部材である。

【０００３】前記図９、図１０に示す一般的な透過型電
子顕微鏡を用いて、電子顕微鏡内で試料表面に真空蒸着
を行いながら試料表面に蒸着される材料の観察を行う場
合、前記図９、図１０に示す標準構成品の電子顕微鏡の
構成要素（例えば、試料室Ｒ周囲の部材、対物レンズ０
８、対物レンズポールピース（磁極部材）０８a）等の
構成を変更して、図１１に示すように、蒸着源０１０を
取付可能にする必要があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述のように、電子顕
微鏡の構成要素の構成を変更することは、コスト、時間
等の浪費であり、不経済である。また、前記電子顕微鏡
内の試料蒸着（試料表面への蒸着材料の蒸着）は、図１
２に示すように、電子ビームＢに垂直な試料面Ｓaに対
して傾斜した角度（３０°以上）を有する方向Ａから蒸
着を行っていた。このため、試料Ｓの表面Ｓaの蒸着状
態の観察（界面観察）に最も適した断面観察（界面に平
行な方向からの観察）は不可能であった。したがって、
試料表面への蒸着材料の蒸着過程（薄膜形成過程）、表
面および原子クラスタ（複数の原子の固まり）の挙動、
界面の構造等を、詳しく観察することは困難であった。

【０００５】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。（Ｏ01）電子顕微鏡を用いて試料表面に蒸着を行いなが
ら、その蒸着状態の観察（界面観察）に最も適した断面
観察（界面に平行な方向からの観察）を可能にするこ
と。

【０００６】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００７】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の試料ホルダは、下記の要件を備えたことを特徴と
する、（Ａ01）電子銃（３）から出射する電子線（Ｂ）
の通路の外側を囲むように配置された電子顕微鏡（１）
の鏡筒（２）を貫通する筒状のホルダ装着部材（９）に
より、前記電子線（Ｂ）の通路に交差するホルダ軸方向
に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒（１
１）、（Ａ02）前記ホルダ外筒（１１）に支持され且つ
試料（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）が電子線（Ｂ）の通路に
平行な状態で試料（Ｓ）を保持する試料保持部材（２
６）、（Ａ03）前記ホルダ外筒（１１）に支持され且つ
前記試料（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）に対向する位置に配
置された蒸着材料（４３）、（Ａ04）前記蒸着材料（４
３）を加熱して前記被蒸着面（Ｓb）に蒸着させる蒸着
材料加熱装置（Ｊ）。

【０００８】前記試料保持部材（２６）、蒸着材料（４
３）、および蒸着材料加熱装置（Ｊ）等は、前記ホルダ
外筒（１１）に直接支持させることが可能であり、ま
た、ホルダ外筒（１１）に他の支持部材を介して支持さ
せることが可能である。

【０００９】（作用）次に、前述の特徴を備えた本発明
の作用を説明する。前述の特徴を備えた試料ホルダで
は、ホルダ外筒（１１）は電子銃（３）から出射する電
子線（Ｂ）の通路の外側を囲むように配置された電子顕
微鏡（１）の鏡筒（２）を貫通する筒状のホルダ装着部
材（９）により前記電子線（Ｂ）の通路に交差するホル
ダ軸方向に沿ってスライド可能に支持される。前記ホル
ダ外筒（１１）に支持された試料保持部材（２６）は、
試料（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）が電子線（Ｂ）の通路に
平行な状態で前記試料（Ｓ）を保持する。前記試料
（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）に対向する位置に配置された
蒸着材料（４３）は、前記ホルダ外筒（１１）に支持さ
れる。

【００１０】蒸着材料加熱装置（Ｊ）は、前記蒸着材料
（４３）を加熱して前記試料（Ｓ）の被蒸着面（Ｓb）
に蒸着させる。蒸着材料（４３）は被蒸着面（Ｓb）に
垂直な方向に厚みが増すように付着するので蒸着過程を
観察するには電子線（Ｂ）の通路は前記被蒸着面（Ｓ
b）に平行にする必要がある。本発明では、被蒸着面
（Ｓb）が、電子線（Ｂ）の通路に平行な状態で保持さ
れているので、被蒸着面（Ｓb）の蒸着状態の観察が可
能となる。また、前記試料保持部材（２６）、蒸着材料
（４３）、および蒸着材料加熱装置（Ｊ）等を、前記ホ
ルダ外筒（１１）に直接支持させる構成、または、ホル
ダ外筒（１１）に他の支持部材を介して支持させる構成
のいずれの場合においても、蒸着材料（４３）が蒸着さ
れた被蒸着面（Ｓb）は、電子線（Ｂ）の通路に平行な
状態で保持されているので被蒸着面（Ｓb）の蒸着状態
の観察が可能となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の試料ホル
ダの実施の形態の例（実施例）を説明するが、本発明は
以下の実施例に限定されるものではない。なお、以後の
説明の理解を容易にするために、図面において互いに直
交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方向を
前方、矢印Ｙ方向を左方、矢印Ｚ方向を上方とする。
この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ方向）は後方、Ｙ方向
と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方向と逆向き（−Ｚ方
向）は下方となる。また、Ｘ方向及び−Ｘ方向を含めて
前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ方向及び−Ｙ方向を含
めて左右方向又はＹ軸方向といい、Ｚ方向及び−Ｚ方向
を含めて上下方向又はＺ軸方向ということにする。さら
に図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の
裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が
記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味す
るものとする。

【００１２】（実施例）図１は電子顕微鏡の試料ホルダ
装着用のゴニオステージに、本発明の試料ホルダの実施
例が装着された状態を示す要部拡大図である。図２は前
記図１に示す試料ホルダの全体説明図で、図２Ａは平面
図、図２Ｂは電気的配線の説明図、図２Ｃは前記図２Ａ
の矢印IIＣから見た一部断面図である。図３は前記図２
Ａの矢印IIIで示した楕円形部分の拡大図である。図４
は前記図２に示す試料ホルダの要部説明図で、図４Ａは
平面図、図４Ｂは縦断面図で前記図４ＡのIＶＢ−IＶＢ
線断面図である。図５は前記図４に示すタングステン棒
支持部材の斜視図である。図６は前記図４ＡのＶI−ＶI
線断面図である。図７は前記図４に示す試料保持部材の
斜視図である。図８は同実施例１の作用説明図である。

【００１３】図１に示された電子顕微鏡１は、前記図
９、図１０に示した電子顕微鏡０１の符号０２〜０９，
Ｒ，Ｇで示した要素と同様の要素を備えている。図の説
明において、前記図９、図１０に示す構成要素と同一の
構成要素には、図９、図１０で使用した符号の最上桁の
「０」を除いた符号を付して、その詳細な説明は省略す
る。図１において、電子顕微鏡１の、内部を真空に保持
されたケース（鏡筒）２には、電子銃３および対物レン
ズ８の上方に、試料ホルダ装着部としてのゴニオステー
ジＧが設けられている。ゴニオステージＧは、ホルダ支
持孔９aを有する円筒状のホルダ支持部材（ホルダ装着
部材）９を有している。前記円筒状のホルダ支持部材９
は、ゴニオステージＧの球面軸受けにより軸の向きが調
節可能に支持されている。

【００１４】図２、図３において、前記ホルダ支持部材
９によって支持される試料ホルダＦは、前記ホルダ支持
孔９aを貫通する円筒状のホルダ外筒１１（図２参照）
を有している。ホルダ外筒１１の内端部（前記ケース２
の内部に配置された部分の端部、すなわち、図２の左端
部）外周部には図２Ｃ、図３に示すＯリング１２を収容
するリング状のＯリング収容溝が形成されている。前記
Ｏリング１２は、前記ホルダ支持孔９a（図１参照）の
内側面に圧接して、Ｏリング１２の前方を後方の大気に
対して気密に遮断するため部材である。図３において、
前記ホルダ外筒１１の内端部の内周面には雌ネジを有す
る大径部１１aが形成されており、大径部１１aの後側部
分（−Ｘ側部分）には小径部１１bが形成され、前記大
径部１１aおよび小径部１１bの接続部には段部１１cが
形成されている。

【００１５】ホルダ外筒１１の内側の内端部（図２で左
端部）にはステンレス製の内端側ホルダ１３の外端部
（後端部）が挿入されている。内端側ホルダ１３の外端
部（後端部）は円筒形をしており、その外周部にはリン
グ状大径部１３aおよび雄ネジ部１３bが形成されてい
る。前記リング状大径部１３aは前記段部１１cに当接す
る位置まで挿入されている。前記内端側ホルダ１３の前
記リング状大径部１３aよりも外端側部分（−Ｘ側部
分）は前記ホルダ外筒１１の小径部１１bと嵌合してお
り、内端側ホルダ１３の前記嵌合部の外周面にはＯリン
グ１４を収容するリング状のＯリング溝が形成されてい
る。前記Ｏリング１４は、前記ホルダ外筒１１の内側面
に圧接して、Ｏリング１４の前方を後方の大気に対して
気密に遮断するため部材である。

【００１６】前記ホルダ外筒１１の内端部の雌ネジを有
する大径部１１aと、この大径部に挿入されている前記
内端側ホルダ１３のリング状大径部１３aの前側の小径
部分である雄ネジ部１３bとには円筒状連結部材１７が
螺合する。前記円筒状連結部材１７により前記内端側ホ
ルダ１３と前記外筒１１とは連結するようになってい
る。前記内端側ホルダ１３は、前記円筒状連結部材１７
（図３参照）の前端よりも前方の部分は、その上面およ
び下面が図２Ａ、図２Ｃから分かるように平坦に切除さ
れており、その左側面（Ｙ側の面）および右側面（−Ｙ
側の面）のみが円筒面（図６参照）に形成されている。

【００１７】図４において、前記内端側ホルダ１３の内
端（前端）には、被位置決め用球１８が接着されてい
る。この被位置決め用球１８は、内端側ホルダ１３の前
後方向の位置決めを行うための部材であり、図１におい
て、内端側ホルダ１３が前記ゴニオステージＧの後側か
ら前方に挿入された際に、試料位置決め部材Ｐの位置決
め部材Ｐaに当接する部材である。図４において、内端
側ホルダ１３の内端部には、上下に貫通する試料保持部
材収容孔２１が形成されている。試料保持部材収容孔２
１の後側には下壁部２２を有する凹部２３が形成されて
いる。内端側ホルダ１３には、前記凹部２３の後端より
後方にケーブル挿通孔２４が形成されている。したがっ
て、前記凹部２３は、その後端においてケーブル挿通孔
２４と接続している。前記試料保持部材収容孔２１には
試料保持部材２６が収容されている。試料保持部材２６
の左右（Ｙ軸方向）の側面はそれぞれネジ２７，２７に
より前記内端側ホルダ１３に左右軸回りの回転位置が調
節可能に支持されている。

【００１８】図７において、前記試料保持部材２６は、
前記ネジ２７，２７が当接する凹部２８aを有する被支
持部２８，２８と、前記被支持部２８，２８より高さが
低く且つ前記被支持部２８，２８の各前方（Ｘ方向）側
面を連結する連結部２９と、前記連結部２９と同じ高さ
で前記被支持部２８，２８の互いに対向する側に形成さ
れた試料載置部３１とを有している。前記試料載置部３
１には、被蒸着面Ｓbを有する試料Ｓが載置される。ま
た、試料載置部３１には固定用ネジ３２により試料押さ
え板３３の各後方（−Ｘ方向）側が固定されている。前
記試料押さえ板３３により試料Ｓは、前記試料載置部３
１に押圧され、固定される。固定された前記試料Ｓの被
蒸着面Ｓbは、前記内端側ホルダ１３内でホルダ軸と交
差するようになっている。

【００１９】図４において、前記試料Ｓの被蒸着面Ｓb
の後方（−Ｘ方向）には耐熱性の絶縁部材で構成された
タングステン棒支持部材３４が、固定用ネジ３６により
前記内端側ホルダ１３の下壁部２２に固定されている。
図５において、前記タングステン棒支持部材３４は、略
直方体状の部材で、上面の中央には下面に貫通する固定
用ネジ貫通孔３７が形成されており、前記固定用ネジ貫
通孔３７の左右方向（Ｙ軸方向）両側には導線固定用ネ
ジ孔３８，３８が形成されている。前記各導線固定用ネ
ジ孔３８内には、内周面に雌ネジが形成された導電性円
筒部材３９が埋め込まれている。図４、図５において、
前記タングステン棒支持部材３４の前側（Ｘ側）の面
は、前記内端側ホルダ１３内で前記試料Ｓの被蒸着面Ｓ
b（図４Ａ参照）と対向しており、前記前側の面にはタ
ングステン棒４１，４１が嵌合され、タングステン棒支
持部材３４に支持されている。タングステン棒４１，４
１の被支持部分（−Ｘ側部分）は前記導電性円筒部材３
９の円周面を貫通して、前記導電性円筒部材３９と接触
するようになっている。前記試料Ｓの被蒸着面Ｓb側に
延びる各タングステン棒４１先端側には電熱線支持用切
込み４１a（図５参照）が形成されている。電熱線支持
用切込み４１aには、タングステンワイヤで構成された
電熱線４２が支持されている。電熱線４２には蒸着材料
４３が巻き付けてある。

【００２０】前記導線固定用ネジ孔３８，３８に埋め込
まれた導電性円筒部材３９に螺合する導線固定用ネジ４
４，４４（図４Ａ、図６参照）により加熱電流供給用ケ
ーブル４６の導線４６a，４６bがタングステン棒支持部
材３４の上面に固定されている。前記導線４６a，４６b
に供給された電流は、前記導線固定用ネジ４４，４４が
螺合する各導電性円筒部材３９から、各導電性円筒部材
３９に接触する前記タングステン棒４１を経て、前記タ
ングステン棒４１の先端側に支持された電熱線４２に供
給され、電熱線４２が発熱して蒸着材料４３を加熱する
ようになっている。また、前記導線固定用ネジ４４，４
４の頭部が、前記導線固定用ネジ４４，４４に対する導
線４６a，４６bの巻き付け具合によりタングステン棒支
持部材３４の上面から浮き上がり前記導線固定用ネジ４
４の先端部が前記タングステン棒４１，４１に届かず直
接接触しない場合でも、前記各導電性円筒部材３９を介
して導線４６a，４６b、タングステン棒４１および電熱
線４２の導通が可能である。前記符号３４〜４６で示す
構成要素から蒸着材料加熱装置Ｊ（図４、図６参照）が
構成される。

【００２１】図４において、前記加熱電流供給用ケーブ
ル４６はケーブル固定部材４７およびこれと螺合する前
後（Ｘ軸方向）に離れた一対のネジ４８（図４Ａ参照）
により前記内側ホルダ１３の下壁部２２に固定されてい
る。前記加熱電流供給用ケーブル４６は導線４６a，４
６b、および導線４６a，４６bの周囲を被覆するシール
ド線４６cにより構成されている。図２において、前記
加熱電流供給用ケーブル４６は、内端側ホルダ１３の前
記ケーブル挿通孔２４（図３、図４Ｂ参照）を内端側か
ら外端側に貫通している。内端側ホルダ１３の外端には
加熱電流供給用導線４９a，４９b（図２Ｂ、図３参照）
を有するインシュレータ４９が固着されている。インシ
ュレータ４９は、インシュレータ４９の前側の内端側ホ
ルダ１３の内側と、後側のホルダ外筒１１の内側とを気
密に遮断するとともに、内端側ホルダ１３の内側とホル
ダ外筒１１の内側との間の電気的接続を可能にする機能
を有する部品である。

【００２２】前記加熱電流供給用ケーブル４６の導線４
６a，４６bは前記加熱電流供給用導線４９a，４９bの内
端に接続され、またシールド線４６cは前記内側ホルダ
１３本体を介してアースされるようになっている。図３
において、前記インシュレータ４９の後側の前記ホルダ
外筒１１内側には、電流供給ケーブル５１が前記ホルダ
外筒１１の後端側へ延びて配置されている。図２Ｂ、図
３において、電流供給ケーブル５１は、前記加熱電流供
給用ケーブル４６と同様に、周囲を被覆絶縁材で被覆さ
れた電流供給線５１a，５１b等を有している。

【００２３】図２において、前記ホルダ外筒１１の外端
には円形プレート５２が連結されている。円形プレート
５２の後側面には、前記電流供給ケーブル５１を固定支
持するためのケーブル固定部材５３が固定されている。
また前記円形プレート５２には、前記ケーブル固定部材
５３および電流供給ケーブル５１の外端部等を被覆する
円筒ケース５４が固定されている。円筒ケース５４の後
側面には、外部接続用端子５６が支持されており、外部
接続端子の前端部には前記電流供給ケーブル５１の前記
電流供給線５１a，５１bが接続されるようになってい
る。そして、前記外部接続用端子５６の後端には図示し
ない電源に接続された電源ケーブル５７（図２Ｃ参照）
の着脱式ケーブル端子５７aが着脱されるようになって
いる。

【００２４】（実施例の作用）図４において、試料Ｓ
（厚さ約５０ｎｍ）の被蒸着面Ｓbの位置が前記タング
ステン棒支持部材３４の電熱線４２に対向するように、
試料保持部材２６の試料載置部３１，３１に前記試料Ｓ
を載置する。図４、図７において、載置された試料Ｓの
上面から試料押さえ板３３を押圧させ、試料Ｓを試料載
置部３１，３１に固定する。前記電熱線４２に蒸着材料
４３を巻き付ける。前記試料保持部材２６を前記内端側
ホルダ１３の左右軸回りに回動させ、前記被蒸着面Ｓb
がホルダ軸に垂直に交差するように調節する。このよう
な状態で、試料ホルダＦを前記ゴニオステージＧのホル
ダ支持孔９aに装着する。このとき、前記被蒸着面Ｓbは
試料ホルダＦ内でホルダ軸と垂直に交差する状態、すな
わち、前記被蒸着面Ｓbは前記ホルダ軸と交差する電子
線の通路とほぼ平行な状態に保持されている。前記ゴニ
オステージＧのホルダ支持孔９aにより支持された試料
ホルダＦを、ホルダ外筒１１の軸（ホルダ軸）に沿って
スライドまたはホルダ軸回りに回動させたり、前記試料
ホルダＦを支持する円筒状のホルダ支持部材９をゴニオ
ステージＧの球面軸受けにより回動させて試料ホルダＦ
のホルダ軸の向きを調節して、前記被蒸着面Ｓbの観察
位置は調節可能である。

【００２５】前記被蒸着面Ｓbの観察位置を調節した
後、前記被蒸着面Ｓbを観察しながら図示しない電源か
ら電流を供給して前記電熱線４２を発熱させて蒸着材料
４３を蒸発させ、図８に示すように蒸発した蒸着材料を
前記試料Ｓの被蒸着面Ｓbに蒸着させる。このとき、前
記被蒸着面Ｓbは電子線Ｂの通路と平行なので、前記被
蒸着面Ｓbのホルダ軸方向に蒸着した蒸着材料（図８に
おいて点で図示）を前記被蒸着面Ｓbに平行な電子線Ｂ
が透過し、蒸着状態の観察（界面観察）に最も適した断
面観察（界面に平行な方向からの観察）が可能となる。
前記電子顕微鏡１にＴＶカメラを装着すれば、本発明の
試料ホルダＦにより、界面の形成過程を断面的に原子レ
ベルの空間分解能で連続観察が可能となる。特に半導体
素子作製過程で支配的な役割を持つエピタキシャル成長
過程（母材の結晶の表面に付着する別の物質が、母材の
結晶の表面にある定まった方位関係をとって成長する過
程）における界面の構造変化の解析が可能となる。ま
た、表面構造とその上の蒸着物質の吸着、核生成、薄膜
形成など様々な物理現象に関する実験、観察が可能とな
る。

【００２６】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。

【００２７】（Ｈ01）前記試料保持部材２６は前記内端
側ホルダ１３にネジ２７，２７で回転自在に支持されて
いるが他の支持方法を採用することが可能である。（Ｈ02）前記試料保持部材２６は試料Ｓを加熱させる構
成が採用可能である。この場合、試料の温度に対する界
面形成過程の観察が可能となる。（Ｈ03）本実施例では蒸着材料４３は電熱線４２に巻き
付けて加熱した場合を例示したが、平板な発熱体等、蒸
着材料を加熱する部材上に蒸着材料を載置する構成が可
能である。（Ｈ04）本発明の試料ホルダＦは透過型電子顕微鏡以外
の他の荷電粒子線装置に装着可能である。

【００２８】

【発明の効果】前述の本発明の試料ホルダは、下記の効
果を奏することができる。（Ｅ01）電子顕微鏡を用いて試料表面に蒸着を行いなが
ら、その蒸着状態の観察（界面観察）に最も適した断面
観察（界面に平行な方向からの観察）を可能にすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は電子顕微鏡の試料ホルダ装着用のゴニ
オステージに、本発明の試料ホルダの実施例が装着され
た状態を示す要部拡大図である。

【図２】図２は前記図１に示す試料ホルダの全体説明
図で、図２Ａは平面図、図２Ｂは電気的配線の説明図、
図２Ｃは前記図２Ａの矢印IIＣから見た一部断面図であ
る。

【図３】図３は前記図２Ａの矢印IIIで示した楕円形
部分の拡大図である。

【図４】図４は前記図２に示す試料ホルダの要部説明
図で、図４Ａは平面図、図４Ｂは縦断面図で前記図４Ａ
のIＶＢ−IＶＢ線断面図である。

【図５】図５は前記図４に示すタングステン棒支持部
材の斜視図である。

【図６】図６は前記図４ＡのＶI−ＶI線断面図であ
る。

【図７】図７は前記図４に示す試料保持部材の斜視図
である。

【図８】図８は同実施例１の作用説明図である。

【図９】図９は従来の一般的な透過型電子顕微鏡の断
面図である。

【図１０】図１０は前記図９の要部拡大図である。

【図１１】図１１は前記図１０に示す部分を改造して、
電子顕微鏡内で試料表面に真空蒸着を行いながら試料表
面に蒸着される材料の観察を行えるようにした透過型電
子顕微鏡の説明図である。

【図１２】図１２は前記図１１に示す透過型電子顕微鏡
の作用説明図である。

【符号の説明】

Ｂ…電子線、Ｆ…試料ホルダ、Ｊ…蒸着材料加熱装置、
Ｓ…試料、Ｓb…被蒸着面、１…電子顕微鏡、２…鏡
筒、３…電子銃、９…ホルダ装着部材、１１…ホルダ外
筒、２６…試料保持部材、４３…蒸着材料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者成瀬幹夫東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号日本電子株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下記の要件を備えた試料ホルダ、（Ａ0
1）電子銃から出射する電子線の通路の外側を囲むよう
に配置された電子顕微鏡の鏡筒を貫通する筒状のホルダ
装着部材により、前記電子線の通路に交差するホルダ軸
方向に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒、
（Ａ02）前記ホルダ外筒に支持され且つ試料の被蒸着面
が電子線の通路に平行な状態で試料を保持する試料保持
部材、（Ａ03）前記ホルダ外筒に支持され且つ前記試料
の被蒸着面に対向する位置に配置された蒸着材料、（Ａ
04）前記蒸着材料を加熱して前記被蒸着面に蒸着させる
蒸着材料加熱装置。