JPH10249719A - Carrier plate made of fiber reinforced plastic - Google Patents
Carrier plate made of fiber reinforced plasticInfo
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- JPH10249719A JPH10249719A JP5075697A JP5075697A JPH10249719A JP H10249719 A JPH10249719 A JP H10249719A JP 5075697 A JP5075697 A JP 5075697A JP 5075697 A JP5075697 A JP 5075697A JP H10249719 A JPH10249719 A JP H10249719A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐久性が高く、寿命が長い繊維強化プラスチ
ック製キャリアプレート。
【解決手段】 繊維強化プラスチック層を鏡面対称に積
層した繊維強化プラスチック製薄板に、複数の貫通孔１
３０，１４０，１５０を設けたキャリアプレートであっ
て、繊維の配向方向が異なる層どうしでは、その繊維の
配向方向は互いに直交し、かつ、それぞれの貫通孔位置
１３１，１４１，１５１とキャリアプレートの中心１１
１とを結ぶ線１３２，１４２，１５２と、強化繊維の配
向方向とがなす角度のうち最小となる角度α，γ，βを
全ての貫通孔について合算した合計角度が最小となる位
置に、貫通孔を設ける。
(57) [Summary] [Problem] A carrier plate made of fiber reinforced plastic having high durability and long life. SOLUTION: A plurality of through holes 1 are provided in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically.
In the carrier plate provided with 30, 140, and 150, the orientation directions of the fibers are orthogonal to each other in the layers having different orientation directions of the fibers, and the respective through-hole positions 131, 141, and 151 and the carrier plate have different orientation directions. Center 11
1 and lines 132, 142, and 152 and the orientation direction of the reinforcing fibers, the angles α, γ, and β that are the smallest among the angles formed by all the through holes are minimized. A hole is provided.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、ガ
ラス等の薄物の脆性材料を精密に研磨する為のラッピン
グマシンにおいて、被研磨物を保持、駆動する繊維強化
プラスチック製キャリアプレートに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fiber reinforced plastic carrier plate for holding and driving an object to be polished in a lapping machine for precisely polishing a thin brittle material such as a semiconductor wafer and glass.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハ、ガラス等の薄物の脆性材
料の精密な研磨は、例えば、実開昭６０−１６１５５１
号公報の第１図から第４図に図示されたようなラッピン
グマシンと呼ばれる研磨機によって行われている。その
ような研磨作業においては、円板状の薄板であって、外
周にラッピングマシンの内外両歯車と歯合する歯が形成
され、被研磨物を保持するための貫通孔が穿設されたキ
ャリアプレートが用いられる。従来、キャリアプレート
としては金属製の薄板が用いられきたが、研磨時に生じ
るキャリアプレートの微小な屑、錆等が被研磨物に悪影
響を及ぼす不都合があった。また、搬送中の落下や衝突
により塑性変形し易く、変形したキャリアプレートを用
いて研磨すると、被研磨物の研磨精度が低下するといっ
た問題点があった。そこで、化学的に安定で塑性変形し
にくい繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）製キャリアプレ
ートが使用されるようになっている。2. Description of the Related Art Precision polishing of a thin brittle material such as a semiconductor wafer and glass is carried out, for example, in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 60-161551.
This is performed by a polishing machine called a lapping machine as shown in FIG. 1 to FIG. In such a polishing operation, a carrier that is a disk-shaped thin plate, on the outer periphery of which teeth meshing with the internal and external gears of the lapping machine are formed, and through holes for holding an object to be polished are formed. A plate is used. Conventionally, a thin metal plate has been used as a carrier plate. However, there has been a problem that minute debris, rust, etc. of the carrier plate generated at the time of polishing have an adverse effect on the object to be polished. In addition, there is a problem that plastic deformation tends to occur due to a drop or collision during transportation, and polishing using a deformed carrier plate lowers the polishing accuracy of an object to be polished. Therefore, a carrier plate made of fiber reinforced plastic (FRP) which is chemically stable and hardly deformed plastically has been used.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このようなＦＲＰ製キ
ャリアプレートとして、特開昭５８−１４３９５４号公
報、特開昭５８−１８６５７１号公報には、炭素繊維等
の補強繊維を製織して得られる補強繊維クロスにより強
化したＦＲＰ製薄板からなるキャリアプレートが開示さ
れている。しかしながら、このキャリアプレートは、キ
ャリアプレートの素材を単に金属から繊維強化プラスチ
ックに変更しただけで、歯部分の強度が不足したもので
あった。そこで、特開昭６３−２２１９６８号公報に
は、ＦＲＰ製キャリアプレートの外周に切った歯を補強
するために歯の外形に沿って補強繊維を配したキャリア
プレートが開示されている。このキャリアプレートは、
歯部分の強度不足を補うため開発されたものであるが、
上記同様に、単に金属から繊維強化プラスチックに変更
しただけで繊維強化プラスチックが本来的に有している
異方性材料の得失について何ら考慮していないため、一
枚のキャリアプレートにおいても、その歯ごとに剛性に
バラツキがあるものであった。特に、被研磨物を保持す
る貫通孔に近い位置の歯は、その形状に起因して特に剛
性が低いため、研磨作業中に変形し、集中的な摩耗、破
損の原因となり、キャリアプレートの寿命を短くする結
果となっていた。Such an FRP carrier plate is disclosed in JP-A-58-143954 and JP-A-58-186571, which are obtained by weaving reinforcing fibers such as carbon fibers. A carrier plate made of a thin FRP sheet reinforced by a reinforcing fiber cloth is disclosed. However, in this carrier plate, the material of the carrier plate was simply changed from metal to fiber reinforced plastic, and the strength of the tooth portion was insufficient. Therefore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-221968 discloses a carrier plate in which reinforcing fibers are arranged along the outer shape of the teeth to reinforce the teeth cut on the outer periphery of the FRP carrier plate. This carrier plate is
It was developed to compensate for the lack of strength in the teeth,
In the same manner as described above, since only metal was changed to fiber-reinforced plastic and no consideration was given to the advantages and disadvantages of the anisotropic material inherent to fiber-reinforced plastic, even a single carrier plate has its teeth. Each had a variation in rigidity. In particular, the teeth near the through-hole that holds the object to be polished are particularly low in rigidity due to their shape, so they are deformed during polishing, causing intensive wear and damage, and the life of the carrier plate is reduced. Was shortened.
【０００４】別の寿命を短くする原因として、研磨によ
りキャリアプレートの貫通孔の側面にできるＶ字状溝が
挙げられる。Ｖ字状の溝は、破損の原因となるばかりで
なく、研磨中に被研磨物がこの溝に引っかかるために均
一な研磨の妨げともなっていた。Ｖ字状溝は、研磨物が
被研磨物と擦れ合うために貫通孔の壁に沿って形成され
るものであり、被研磨物と貫通孔側面の間に研磨剤や研
磨屑が侵入したり、研磨の均一性向上のために被研磨物
の面取りがされたりしているとさらに顕著に現れる。Another cause of shortening the service life is a V-shaped groove formed on the side surface of the through hole of the carrier plate by polishing. The V-shaped groove not only causes breakage, but also hinders uniform polishing because an object to be polished is caught in the groove during polishing. The V-shaped groove is formed along the wall of the through-hole because the polished object rubs against the polished object, and an abrasive or polishing debris intrudes between the polished object and the side surface of the through-hole, This is more noticeable when the object to be polished is chamfered to improve the polishing uniformity.
【０００５】これらは、キャリアプレート１枚毎の寿命
の長短を決定する１枚のキャリアプレートについてであ
るが、キャリアプレートの寿命はそれを解決しただけで
は単純に長くはならない。従来、キャリアプレートは同
一種のものでも、その耐久性は一定ではなく、バラツキ
が非常に大きいとされている。また、ラッピングマシン
で精密に研磨される半導体ウエハ、ガラス等の薄物の脆
性材料は高価なものが多く、研磨作業中にキャリアプレ
ートに不具合が起こり研磨不良となったり、キャリアプ
レートが破損し、同じく研磨不良、被研磨物への汚染が
発生したりすると、多大な損害につながる。したがっ
て、実際上、万全を期する為、最も寿命の短いものを基
準として、全てのキャリアプレートを交換している。そ
の為、キャリアプレートは結果として寿命が非常に短い
とされるものであった。本発明は、上記問題点を解決
し、従来のキャリアプレートで問題のあった耐久性が低
く、寿命の短い点を改良したキャリアプレートを提供す
ることを課題とするものである。[0005] These are for a single carrier plate that determines the length of life for each carrier plate, but the life of the carrier plate cannot be simply increased by solving the problem. Conventionally, even if the carrier plates are of the same type, the durability thereof is not constant and the dispersion is extremely large. In addition, many thin brittle materials such as semiconductor wafers and glass that are precisely polished by a lapping machine are expensive, and a failure occurs in the carrier plate during the polishing operation, resulting in poor polishing or damage to the carrier plate. Poor polishing or contamination of the object to be polished leads to enormous damage. Therefore, in practice, all the carrier plates are replaced on the basis of the one having the shortest life, in order to ensure completeness. As a result, the life of the carrier plate is considered to be very short. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a carrier plate that solves the above-mentioned problems and has improved durability and short life, which are problems with the conventional carrier plate.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の繊維強化
プラスチック製キャリアプレートは、繊維強化プラスチ
ック層を鏡面対称に積層した繊維強化プラスチック製薄
板に複数の貫通孔を設けたキャリアプレートであって、
繊維の配向方向が異なる層どうしでは、その繊維の配向
方向は互いに直交し、かつ、それぞれの貫通孔位置とキ
ャリアプレートの中心とを結ぶ線と、強化繊維の配向方
向とがなす角度のうち最小となる角度を全ての貫通孔に
ついて合算した合計角度が最小となる位置に、貫通孔が
設けられていることを特徴とするものである。請求項２
記載の繊維強化プラスチック製キャリアプレートは、繊
維強化プラスチック層を鏡面対称に積層した繊維強化プ
ラスチック製薄板に複数の貫通孔を設けたキャリアプレ
ートであって、少なくとも中央層としてヌープ硬度６０
０以上の耐摩耗層を設けたことを特徴とするものであ
る。請求項３記載の繊維強化プラスチック製キャリアプ
レートは、繊維強化プラスチック層を鏡面対称に積層し
た繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設けた
キャリアプレートであって、少なくとも中央層として研
磨対象体との動摩擦係数が０.２以下の耐摩耗層を設け
たことを特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a carrier plate comprising a plurality of through holes formed in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically. ,
In layers having different orientation directions of the fibers, the orientation directions of the fibers are orthogonal to each other, and the minimum angle is formed between a line connecting each through hole position and the center of the carrier plate and the orientation direction of the reinforcing fibers. The through hole is provided at a position where the total angle obtained by summing the angles of all the through holes becomes minimum. Claim 2
The fiber-reinforced plastic carrier plate described above is a carrier plate in which a plurality of through holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, and has a Knoop hardness of at least 60 as a central layer.
It is characterized in that 0 or more wear-resistant layers are provided. The carrier plate made of fiber-reinforced plastic according to claim 3 is a carrier plate in which a plurality of through-holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, and at least a center layer and a polishing object are provided. Is characterized in that a wear-resistant layer having a dynamic friction coefficient of 0.2 or less is provided.
【０００７】請求項４記載の繊維強化プラスチック製キ
ャリアプレートは、繊維強化プラスチック層を鏡面対称
に積層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔
を設けたキャリアプレートであって、少なくとも中央層
が、打込み本数がたて糸、よこ糸とも１本／ｍｍ以上の
強化繊維織布で強化したプラスチック層であることを特
徴とするものである。請求項５記載の繊維強化プラスチ
ック製キャリアプレートは、繊維強化プラスチック層を
鏡面対称に積層した繊維強化プラスチック製薄板に複数
の貫通孔を設けたキャリアプレートであって、全ての各
貫通孔について、貫通孔位置とキャリアプレートの中心
とを結ぶ線と、少なくともいずれか１つの繊維強化プラ
スチック層の繊維の配向方向とがなす角度が−１０〜１
０度となることを特徴とするものである。請求項６記載
の繊維強化プラスチック製キャリアプレートは、繊維強
化プラスチック層を鏡面対称に積層した繊維強化プラス
チック製薄板に複数の貫通孔を設けたキャリアプレート
であって、全ての各貫通孔について、貫通孔位置とキャ
リアプレートの中心とを結ぶ線と、少なくともいずれか
１つの繊維強化プラスチック層の繊維の配向方向とがな
す角度が８０〜１００度となることを特徴とするもので
ある。請求項７記載の繊維強化プラスチック製キャリア
プレートは、繊維強化プラスチック層を鏡面対称に積層
した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設け
たキャリアプレートであって、全ての各貫通孔につい
て、貫通孔位置とキャリアプレートの中心とを結ぶ線
が、少なくともいずれか１つの繊維強化プラスチック層
の繊維の配向方向となす角度が−１０〜１０度となり、
かつ、少なくともいずれか１つの繊維強化プラスチック
層の繊維の配向方向となす角度が８０〜１００度となる
ことを特徴とするものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a carrier plate made of a fiber-reinforced plastic, wherein a plurality of through-holes are provided in a thin sheet made of a fiber-reinforced plastic in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically. Both the warp yarn and the weft yarn are a plastic layer reinforced with a reinforcing fiber woven fabric of 1 / mm or more. The fiber-reinforced plastic carrier plate according to claim 5, wherein a plurality of through-holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, and all of the through-holes are penetrated. The angle between the line connecting the hole position and the center of the carrier plate and the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber reinforced plastic layers is -10 to 1
It is characterized by being 0 degrees. The carrier plate made of fiber-reinforced plastic according to claim 6 is a carrier plate in which a plurality of through-holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically. An angle between a line connecting the hole position and the center of the carrier plate and the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber reinforced plastic layers is 80 to 100 degrees. The carrier plate made of fiber-reinforced plastic according to claim 7 is a carrier plate in which a plurality of through-holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically. An angle between a line connecting the hole position and the center of the carrier plate with the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber-reinforced plastic layers is -10 to 10 degrees,
Further, an angle between the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber reinforced plastic layers is 80 to 100 degrees.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本願発明のキャリアプレートは、
繊維強化プラスチック層が鏡面対称に積層されてなる繊
維強化プラスチック製薄板から構成されることが必要で
ある。繊維強化プラスチックに使用する強化繊維として
は、周知の繊維強化プラスチックの強化繊維として用い
られているものであれば良く、特に限定はしないが、炭
素繊維、ガラス繊維、アラミド繊維、ポリエステル繊維
等が挙げられる。また、２種以上の繊維を組み合わせて
用いても良い。強化繊維による強化形態としては、連続
した強化繊維を一方向引き揃えたもの、連続した強化繊
維を製織して織布としたもの、短く切断した強化繊維を
所望の方向に配向したもの等が挙げられる。繊維強化プ
ラスチックに使用するプラスチックとしては、繊維強化
プラスチックのマトリクス樹脂として従来から用いられ
ているものを使用すればよく、特に限定しないが、不飽
和ポリエステル、ビニルエステル樹脂、エポキシ樹脂等
の熱硬化性樹脂や、ポリアミド、アクリル樹脂等の熱可
塑性樹脂が挙げられる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The carrier plate of the present invention is
It is necessary that the fiber reinforced plastic layer be formed of a fiber reinforced plastic thin plate which is laminated mirror-symmetrically. The reinforcing fiber used in the fiber-reinforced plastic may be any one that is used as a reinforcing fiber of a well-known fiber-reinforced plastic, and is not particularly limited. Examples thereof include carbon fiber, glass fiber, aramid fiber, and polyester fiber. Can be Further, two or more kinds of fibers may be used in combination. Examples of the reinforcing form by the reinforcing fiber include one in which continuous reinforcing fibers are aligned in one direction, one in which continuous reinforcing fibers are woven into a woven fabric, one in which short-cut reinforcing fibers are oriented in a desired direction, and the like. Can be The plastic used for the fiber reinforced plastic may be any of those conventionally used as a matrix resin of the fiber reinforced plastic, and is not particularly limited, but may be a thermosetting resin such as unsaturated polyester, vinyl ester resin, epoxy resin, or the like. Resins and thermoplastic resins such as polyamides and acrylic resins.
【０００９】本発明において繊維強化プラスチック層
は、繊維強化プラスチックが異方向性材料であることに
起因して起こる曲げカップリング、ねじりカップリング
と呼ばれる反りあるいは反りを内在する構成となること
を防ぐために、所謂、鏡面対称に、即ち、積層体の厚み
方向の中央面に対して対称に積層する必要がある。尚、
本発明の特性を損なわない範囲で別の特性を期待して、
連続繊維で強化された繊維強化プラスチック層以外の層
をその層間にあるいは最外層に設けることはもちろんか
まわない。In the present invention, the fiber-reinforced plastic layer is used to prevent the fiber-reinforced plastic from being a warp or a warp called a torsional coupling caused by the fact that the fiber-reinforced plastic is an anisotropic material. In other words, the layers need to be stacked symmetrically with respect to a mirror plane, that is, symmetrically with respect to the center plane in the thickness direction of the stack. still,
Expecting another characteristic within the range that does not impair the characteristics of the present invention,
It goes without saying that a layer other than the fiber-reinforced plastic layer reinforced with continuous fibers may be provided between the layers or as the outermost layer.
【００１０】本発明において貫通孔と称するのは、上述
したように、被研磨物を研磨作業中に、保持する為の孔
であり、被研磨物の大きさ、形状に合わせた大きさ、形
状をしている。尚、本発明において貫通孔位置というの
は、貫通孔が円形の場合はその円の中心を、三角形、方
形等の他の形状の時はその形状の重心をいうものとす
る。キャリアプレートにおいて、繊維強化プラスチック
製の円形の薄板の外周に形成される歯や、内部に穿設さ
れる貫通孔の形成方法については特に限られず、例え
ば、トムソン刃で打ち抜く、高圧水流（ウォータージェ
ット）で切断する、レーザー光線で切断する、維強化プ
ラスチックを硬化する前にトムソン刃等で最終形状に切
断した後に硬化する等が挙げられる。なかでも、繊維強
化プラスチックの損傷、切断面の平滑性等を考慮すると
高圧水流で切断する方法が最も好ましい。In the present invention, the through hole is a hole for holding the object to be polished during the polishing operation, as described above, and has a size and shape corresponding to the size and shape of the object to be polished. You are. In the present invention, the position of the through-hole means the center of the circle when the through-hole is circular, and the center of gravity of the shape when the through-hole has another shape such as a triangle or a square. In the carrier plate, the method of forming the teeth formed on the outer periphery of the circular thin plate made of fiber reinforced plastic and the method of forming the through holes formed in the inside are not particularly limited. ), Cutting with a laser beam, curing to a final shape with a Thomson blade before curing the fiber-reinforced plastic, and the like. Among them, the method of cutting with a high-pressure water flow is most preferable in consideration of damage to the fiber-reinforced plastic, smoothness of the cut surface, and the like.
【００１１】［実施形態例１］請求項１に記載されてい
る発明は、繊維強化プラスチック層を鏡面対称に積層し
た積層板の中でも最も簡単な積層構成である直交積層し
た繊維強化プラスチック薄板を用いて、貫通孔の配置を
制御し、キャリアプレートの長寿命化を図ろうとするも
のである。直交積層とは、ある方向に繊維が配向した繊
維強化プラスチック層とこれに直交する方向に繊維が配
向した繊維強化プラスチック層の２方向に繊維強化プラ
スチック層を積層する方法を示す。即ち、図１，２に示
すように、キャリアプレート１１０を構成するＸ1方向
に繊維が配向した繊維強化プラスチック層１７０、１８
０に対して、これに積層する繊維強化プラスチック層１
６０、１９０の繊維は、Ｘ1方向に直交するＹ1方向に繊
維が配向している。本図示例では合計３個の円形の貫通
孔１３０、１４０、１５０が設けられている。[First Embodiment] The invention described in claim 1 uses an orthogonally laminated fiber reinforced plastic thin plate, which is the simplest lamination structure among laminated plates in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically. Thus, the arrangement of the through holes is controlled to extend the life of the carrier plate. Orthogonal lamination refers to a method of laminating a fiber reinforced plastic layer in two directions: a fiber reinforced plastic layer in which fibers are oriented in a certain direction and a fiber reinforced plastic layer in which fibers are oriented in a direction perpendicular to the layer. That is, as shown in FIGS. 1 and 2, fiber-reinforced plastic layer fibers are oriented in the X 1 direction constituting the carrier plate 110 170,18
0, the fiber-reinforced plastic layer 1 laminated on this
Fibers of 60,190, the fibers are oriented in the Y 1 direction perpendicular to the X 1 direction. In the illustrated example, a total of three circular through holes 130, 140, and 150 are provided.
【００１２】本願発明において、「貫通孔位置とキャリ
アプレートの中心とを結ぶ線（以下、方位直線と称す
る）」とは、上述したように貫通孔１３０，１４０，１
５０のそれぞれの中心である貫通孔位置１３１、１４
１、１５１と、キャリアプレートの中心１１１とを結ぶ
直線１３２、１４２、１５２を意味する。また、図示例
のものでは、強化繊維の配向方向とは、Ｘ1方向または
Ｙ1方向であるので、例えば、貫通孔１３０について、
方位直線１３２と強化繊維の配向方向とがなす角度とは
α，α’，α''等を示す。さらに、それら角度α，
α’，α''において最小となる角度とはαを意味する
（α＜α’＜α''）。図示例では、各貫通孔１３０，１
４０，１５０について、その最小となる角度は、α、
β、γとなる。そして、請求項１記載の発明において
は、これら全ての各貫通孔の最小角度α，β，γの和
（α＋β＋γ）が、最小となるように、各貫通孔１３
０，１４０，１５０を設ける。In the present invention, the “line connecting the position of the through hole and the center of the carrier plate (hereinafter referred to as an azimuth straight line)” refers to the through hole 130, 140, 1 as described above.
Through-hole positions 131 and 14 at the center of each of 50
Lines 132, 142, and 152 connecting 1, 151 to the center 111 of the carrier plate. Also, by way of illustrative example, the orientation direction of the reinforcing fibers, since it is the direction X 1 or Y 1 direction, for example, the through hole 130,
The angle formed by the azimuth line 132 and the orientation direction of the reinforcing fiber indicates α, α ′, α ″, and the like. Furthermore, those angles α,
The minimum angle in α ′ and α ″ means α (α <α ′ <α ″). In the illustrated example, each of the through holes 130, 1
For 40 and 150, the minimum angle is α,
β and γ. According to the first aspect of the present invention, each through-hole 13 is set such that the sum of the minimum angles α, β, and γ (α + β + γ) of all the through-holes is minimized.
0, 140, and 150 are provided.
【００１３】これら各最小角度の合計角度の最小値は、
貫通孔の数によって異なり、例えば貫通孔の数が３、
４、５、６個の場合の理論値は、それぞれ、６０、０、
１０８、１２０度となる。合計角度はこの理論値である
ことが最適であるが、若干この角度が大きくなってもよ
い。その許容範囲としては、貫通孔数が３、４、５、６
個の場合、それぞれ６０±６度、０±６０度、１０８±
３度、１２０±１０度である。このような請求項１記載
の配置で貫通孔を設けることにより、キャリアプレート
の寿命を延ばすことができる。The minimum value of the total angle of these minimum angles is:
It depends on the number of through holes, for example, the number of through holes is 3,
The theoretical values for 4, 5, and 6 are 60, 0,
108 and 120 degrees. The total angle is optimally the theoretical value, but the angle may be slightly larger. As the allowable range, the number of through holes is 3, 4, 5, 6
60 ± 6 degrees, 0 ± 60 degrees, 108 ±
3 degrees, 120 ± 10 degrees. Providing the through-holes in such an arrangement according to claim 1 can extend the life of the carrier plate.
【００１４】［実施形態例２］請求項２または３記載の
発明は、被研磨物と擦れ合って摩耗しやすい貫通孔の壁
を改善し、キャリアプレートの寿命の延長を図るもので
ある。そこで、キャリアプレートの反りを防ぎ、力学的
な強度の保持を最も有効に活用させるために、例えば図
３に示すように、鏡面積層構成のキャリアプレート１０
の中央層（鏡面）１２として、耐摩耗性を有するヌープ
硬度６００以上の耐摩耗層、または研磨対象体との動摩
擦係数が０.２以下の耐摩耗層を配置する。ヌープ硬度
６００以上の材質としては、特に限られるものではな
く、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2等が挙げられる。動摩
擦係数が０.２以下の耐摩耗層としては、特に限られる
ものではないが、研磨対象体がシリコン結晶体の場合、
ナイロン樹脂、四フッ化樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ
アセタール樹脂等の結晶性プラスチックが挙げられる。
尚、耐摩耗層として、上記ヌープ硬度と動摩擦係数の両
要件を共に満足するものを適用しても良いのは勿論のこ
とである。[Embodiment 2] The invention according to claim 2 or 3 is intended to improve the wall of the through-hole which is liable to be rubbed against the object to be polished, and to extend the life of the carrier plate. Therefore, in order to prevent the warp of the carrier plate and to make the most of the maintenance of the mechanical strength, the carrier plate 10 having a mirror area layer structure as shown in FIG.
As the center layer (mirror surface) 12, a wear-resistant layer having a Knoop hardness of 600 or more having wear resistance or a wear-resistant layer having a dynamic friction coefficient with the object to be polished of 0.2 or less is disposed. The material having a Knoop hardness of 600 or more is not particularly limited, and examples thereof include SiO 2 , Al 2 O 3 , and TiO 2 . The wear-resistant layer having a dynamic friction coefficient of 0.2 or less is not particularly limited, but when the object to be polished is a silicon crystal,
Crystalline plastics such as nylon resin, tetrafluoride resin, polyethylene resin, and polyacetal resin are exemplified.
It is needless to say that a layer that satisfies both requirements of the Knoop hardness and the coefficient of kinetic friction may be applied as the wear-resistant layer.
【００１５】また、耐摩耗層以外の繊維強化プラスチッ
ク層を構成するプラスチック中に耐摩耗性を向上するこ
とを目的として、粉体、フィラ状とした前述の耐摩耗層
を形成する材料や、粉体、フィラ状のフッ素系樹脂のよ
うな低摩擦係数を持った成分を混合させても良い。ま
た、この請求項２または請求項３に係る発明と上記請求
項１に係る発明を共に満足するようなキャリアプレート
としても良い。In order to improve abrasion resistance in the plastic constituting the fiber-reinforced plastic layer other than the abrasion-resistant layer, a powder or a material for forming the above-mentioned abrasion-resistant layer in the form of a filler, A component having a low coefficient of friction, such as a body or filler-like fluororesin, may be mixed. Further, the carrier plate may satisfy both the invention according to claim 2 or claim 3 and the invention according to claim 1.
【００１６】［実施形態例３］請求項４記載の発明は、
上述の請求項２または３記載の発明と同様に、被研磨物
と擦れ合って摩耗しやすい貫通孔の壁を改善し、キャリ
アプレートの寿命の延長を図るものである。この発明に
おいては、少なくとも最も摩耗を受けやすい中央層に、
打込み本数がたて糸、よこ糸とも１本／ｍｍ以上という
徴密な組織の強化繊維織布で強化した繊維強化プラスチ
ック層を配置することを特徴とする。この緻密な組織を
有する強化繊維織布を構成する強化繊維は、従来から繊
維強化プラスチックの強化繊維として用いられているも
のであれば良く、特に限定はしないが、炭素繊維、ガラ
ス繊維、アラミド繊維、ポリエステル繊維等が挙げられ
る。また、２種以上の繊維を組み合わせて用いても良
い。本請求項４の発明においては摩耗性を改善する層と
して緻密な組織の強化繊維織布を用いることが重要であ
り、その織組織は平織、綾織、朱子織等、特に限定され
ない。[Embodiment 3] The invention described in claim 4 is
As in the second or third aspect of the present invention, the wall of the through-hole which is easily worn by rubbing against the object to be polished is improved, and the life of the carrier plate is extended. In the present invention, at least the central layer, which is most susceptible to wear,
A fiber reinforced plastic layer reinforced with a reinforced fiber woven fabric having a dense structure in which both the warp yarn and the weft yarn are 1 yarn / mm or more is provided. The reinforcing fibers constituting the reinforcing fiber woven fabric having this dense structure may be those conventionally used as reinforcing fibers of fiber-reinforced plastics, and are not particularly limited, but include carbon fibers, glass fibers, and aramid fibers. , Polyester fibers and the like. Further, two or more kinds of fibers may be used in combination. In the invention of the fourth aspect, it is important to use a reinforced fiber woven fabric having a dense structure as a layer for improving abrasion, and the woven structure is not particularly limited, such as plain weave, twill weave, and satin weave.
【００１７】緻密な組織を有する強化繊維織布とともに
繊維強化プラスチック層を構成するプラスチックとして
は、繊維強化プラスチックのマトリクス樹脂として従来
から用いられているものを使用すればよく、特に限定し
ないが、不飽和ポリエステル、ビニルエステル樹脂、エ
ポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂やポリアミド、アクリル樹
脂等の熱可塑性樹脂が挙げられる。さらに、プラスチッ
ク中に耐摩耗性を向上することを目的として、粉体、フ
ィラ状とした前述の耐摩耗層を形成する材料や、粉体、
フィラ状のフッ素系樹脂のような低摩擦係数を持った成
分を混合させても良い。また、この請求項４に係る発明
と、上述した請求項１、請求項２、請求項３のいずれか
１つ以上に係る発明とを共に満足するようなキャリアプ
レートとしても良い。As the plastic constituting the fiber reinforced plastic layer together with the reinforced fiber woven fabric having a dense structure, those conventionally used as a matrix resin of the fiber reinforced plastic may be used. Thermosetting resins such as saturated polyester, vinyl ester resin and epoxy resin, and thermoplastic resins such as polyamide and acrylic resin can be used. Furthermore, for the purpose of improving wear resistance in plastic, powder, a material for forming the above-mentioned wear-resistant layer in a filler shape, powder,
A component having a low friction coefficient such as a filler-like fluororesin may be mixed. Further, a carrier plate that satisfies both the invention according to claim 4 and the invention according to any one or more of the above-described claims 1, 2, and 3 may be provided.
【００１８】［実施形態例４］請求項５記載の発明は、
全ての貫通孔について、貫通孔位置とキャリアプレート
の中心とを結ぶ線（方位直線）が、少なくとも１つの繊
維強化プラスチック層の強化繊維となす角度が０±１０
度となるようにするものである。特に、その角度が０
゜、すなわち、方位直線と繊維の配向方向とが平行にな
る場合が最適である。このように繊維強化プラスチック
層を配することで、キャリアプレート外周の歯の剛性の
バラツキ低減とキャリアプレート製品間の寿命のバラツ
キの低減を達成することができる。さらに、上記の条件
を満たした上に、すべての貫通孔について、それぞれの
方位直線が強化繊維となす角度が８０から１００度とな
る繊維強化プラスチック層を少なくとも１つ存在させる
ことで、より一層、キャリアプレート外周の歯の剛性の
バラツキ低減とキャリアプレート製品間の寿命のバラツ
キが低減することとなり好ましい。尚、この請求項５に
係る発明と、さらに、上述した請求項１〜４のいずれか
１つ以上に係る発明とを共に満足するようなキャリアプ
レートとしても良い。[Embodiment 4] The invention described in claim 5 is as follows:
For all the through holes, the line (azimuth line) connecting the position of the through hole and the center of the carrier plate has an angle of 0 ± 10 with the reinforcing fibers of at least one fiber reinforced plastic layer.
It is to be a degree. In particular, the angle is 0
゜, that is, the case where the azimuth straight line and the fiber orientation direction are parallel is optimal. By arranging the fiber reinforced plastic layer in this manner, it is possible to reduce the variation in the rigidity of the teeth on the outer periphery of the carrier plate and the variation in the life between the carrier plate products. Furthermore, in addition to satisfying the above conditions, for all the through-holes, the presence of at least one fiber-reinforced plastic layer in which the angle between each azimuth straight line and the reinforcing fiber is 80 to 100 degrees, It is preferable because the variation in the rigidity of the teeth on the outer periphery of the carrier plate and the variation in the life between the carrier plate products are reduced. The carrier plate may satisfy both the invention according to claim 5 and the invention according to any one or more of the above-described claims 1 to 4.
【００１９】［実施形態例５］請求項６記載の発明は、
全ての貫通孔について、貫通孔位置とキャリアプレート
の中心とを結ぶ線（方位直線）が強化繊維となす角度が
８０から１００度となる繊維強化プラスチック層を少な
くとも１つ存在させるもので、特に、その角度が９０
゜、即ち、方位直線と垂直に強化繊維を配向した繊維強
化プラスチック層を配することが最適である。このよう
にすることで、キャリアプレート外周の歯の剛性のバラ
ツキ低減とキャリアプレート製品間の寿命のバラツキの
低減を達成することができる。さらに、上記の条件を満
たした上に、全ての貫通孔について、方位直線が強化繊
維となす角度が０±１０度となる繊維強化プラスチック
層を存在させることで、より一層、キャリアプレート外
周の歯の剛性のバラツキ低減とキャリアプレート製品間
の寿命のバラツキの低減を図ることができて好ましい。
尚、この請求項６に係る発明と、さらに、上述した請求
項１〜４のいずれか１つ以上に係る発明とを共に満足す
るようなキャリアプレートとしても良い。[Embodiment 5] The invention according to claim 6 is
For every through hole, at least one fiber reinforced plastic layer in which an angle between a line (direction line) connecting the position of the through hole and the center of the carrier plate and the reinforcing fiber is 80 to 100 degrees is present. The angle is 90
゜, that is, it is optimal to arrange a fiber-reinforced plastic layer in which reinforcing fibers are oriented perpendicular to the azimuth line. By doing so, it is possible to reduce the variation in the rigidity of the teeth on the outer periphery of the carrier plate and the variation in the life between the carrier plate products. Furthermore, by satisfying the above conditions and providing a fiber reinforced plastic layer in which the angle formed by the azimuth straight line with the reinforcing fiber is 0 ± 10 degrees for all the through holes, the teeth on the outer periphery of the carrier plate are further enhanced. It is preferable because the variation in rigidity and the variation in life between carrier plate products can be reduced.
In addition, a carrier plate that satisfies both the invention according to claim 6 and the invention according to any one or more of the above-described claims 1 to 4 may be used.
【００２０】[0020]
【実施例】以下、実施例により、本発明をさらに具体的
に説明する。尚、実施例中において、従来のガラス繊維
強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命（基準寿
命）とは、従来品であるガラス繊維織布強化エポキシ樹
脂製キャリアプレートの寿命である２００バッチ（１バ
ッチは３０分）を意味する。The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. In the examples, the life (reference life) of the conventional glass fiber reinforced epoxy resin carrier plate is 200 batches (one batch is the life of the conventional glass fiber woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate). 30 minutes).
【００２１】［請求項１に係る実施例］ 〔実施例１〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に圧
延し樹脂目付を９０ｇ／m2とした上に、ガラスクロス
（鐘紡株式会社製「ＫＳ１６００」、打込み本数［たて
１.６本／mm（４１本／２５mm）、よこ１.３本／mm（３
２本／２５mm）］繊維目付２０５ｇ／m2）を重ね、ガラ
ス繊維にエポキシ樹脂を含浸して厚み０.１５ｍｍのガ
ラス繊維プリプレグ（１−１）を得た。これを切断しガ
ラスクロスの配向角度を揃えて４枚積層し、離型剤処理
を行った平らな鏡面鉄板上に置いた。この際、最下層に
位置するガラスクロスと最上層に位置するガラスクロス
の繊維の配向方向を同方向（Ｘ2方向）とし、他の層を
これらと直交する方向（Ｙ2方向）に配向させた。その
後、その上から同じく離型剤処理をした平らな鏡面板で
挟んで、プレス機にかけて１５０℃まで４℃／分の速度
で昇温し、３０ｋｇ／cm2の圧力を加え１時間保持後、
５℃／分で常温に戻した。このようにして得られた繊維
強化プラスチック製薄板の厚みは、０.６０ｍｍであっ
た。[Example 1] [Example 1] An epoxy resin cured at 130 ° C was rolled on release paper to a resin weight of 90 g / m 2 , and a glass cloth (“KS1600” manufactured by Kanebo Co., Ltd.) was used. ], The number of shots [vertical 1.6 / mm (41 / 25mm), horizontal 1.3 / mm (3
2 pieces / 25 mm)] and a fiber weight of 205 g / m 2 ) were laminated, and the glass fiber was impregnated with an epoxy resin to obtain a glass fiber prepreg (1-1) having a thickness of 0.15 mm. This was cut, and four glass cloths were laminated with the orientation angle of the glass cloth aligned, and placed on a flat mirror-finished iron plate treated with a release agent. At this time, is oriented in the orientation direction of the glass cloth of fibers positioned on the glass cloth and the top layer located at the lowermost layer and in the same direction (X 2 direction), direction perpendicular to these other layers (Y 2 direction) Was. After that, it was sandwiched between the flat mirror plates treated with the release agent from above, heated to 150 ° C. at a rate of 4 ° C./min using a press machine, and after applying a pressure of 30 kg / cm 2 for 1 hour,
The temperature was returned to room temperature at 5 ° C./min. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.60 mm.
【００２２】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
オータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。このとき、図４に示すように、各方位
直線２２，２４，２６が強化繊維の配向方向（Ｘ2また
はＹ2）となす最小の角度がα＝０度、β＝３０度、γ
＝３０度、その合計角度が６０度となるように繊維強化
プラスチック製薄板の固定角度を調節した。得られたキ
ャリアプレートをシリコンウエハースの研磨に使用した
ところ、寿命が従来のガラス繊維強化エポキシ樹脂製キ
ャリアプレートの寿命に対して約１０％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was trimmed on the outer periphery and three through holes were formed. At this time, as shown in FIG. 4, the minimum angles formed by the respective azimuth lines 22, 24, and 26 with the orientation direction (X 2 or Y 2 ) of the reinforcing fibers are α = 0 degrees, β = 30 degrees, and γ.
= 30 degrees, and the fixed angle of the fiber reinforced plastic thin plate was adjusted so that the total angle was 60 degrees. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 10% with respect to the life of the conventional glass fiber reinforced epoxy resin carrier plate.
【００２３】〔実施例２〕図５に示すように貫通孔の数
を４個とし、α＝β＝γ＝δ＝０度とした他は実施例１
と同様の繊維強化プラスチック製薄板を用い、同様に操
作して、キャリアプレートを得た。得られたキャリアプ
レートをシリコンウエハースの研磨に使用したところ、
寿命が基準寿命に対して最高で約３０％向上した。[Embodiment 2] As shown in FIG. 5, the number of through holes is 4, and α = β = γ = δ = 0 ° except that the first embodiment is used.
A carrier plate was obtained using the same fiber-reinforced plastic thin plate as described above and operating in the same manner. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer,
The service life is improved up to about 30% with respect to the reference life.
【００２４】〔実施例３〕図６に示すように貫通孔の数
を５個とし、α＝０度、β＝１８度、γ＝３６度、δ＝
３６度、ε＝１８度とした他は実施例１と同様の繊維強
化プラスチック製薄板を用い、同様に操作して、キャリ
アプレートを得た。得られたキャリアプレートをシリコ
ンウエハースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガ
ラス繊維強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に
対して約１０％向上した。[Embodiment 3] As shown in FIG. 6, the number of through-holes is 5, α = 0 °, β = 18 °, γ = 36 °, δ =
A carrier plate was obtained by using the same fiber-reinforced plastic thin plate as in Example 1 except that 36 ° and ε = 18 ° were used. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 10% with respect to the life of the conventional glass fiber reinforced epoxy resin carrier plate.
【００２５】［請求項２に係る実施例］ 〔実施例４〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に圧
延し樹脂目付を６８ｇ／m2とした上に、Ｅガラス繊維を
打込み本数［たて２.４本／mm（６０本／２５mm）、よ
こ２.３本／mm（５７本／２５mm）］で平織りした目付
１０８ｇ／m2のガラス繊維織布を重ね、織布にエポキシ
樹脂を含浸して厚み０.１０ｍｍのＥガラス繊維織布プ
リプレグ（２−１）を得た。耐摩耗層として、Ａｌ2Ｏ3
製板（厚み０.２ｍｍ、ヌープ硬度Ｈｋ２１００、
（株）ノリタケカンパニーリミテッド社製）を用意し
た。これらを切断し、下記のように５枚積層し、離型剤
処理を行った平らな鏡面鉄板上に置いた。 Ｅガラス織布（０度／９０度） Ｅガラス織布（４５度／−４５度） 耐摩耗層 Ｅガラス織布（４５度／−４５度） Ｅガラス織布（０度／９０） そして、その上から同じく離型剤処理をした平らな鏡面
板で挟んで、プレス機にかけて１５０℃まで４℃／分の
速度で昇温し、３０ｋｇ／cm2の圧力を加え１時間保持
後、５℃／分で常温に戻した。このようにして得られた
繊維強化プラスチック製薄板の厚みは、０.５８ｍｍで
あった。Example 4 Example 4 An epoxy resin cured at 130 ° C. was rolled on release paper to a resin weight of 68 g / m 2, and the number of E glass fibers was set. A glass fiber woven fabric with a basis weight of 108 g / m 2 plain woven at 2.4 lines / mm (60 lines / 25 mm) and 2.3 lines / mm (57 lines / 25 mm)] is impregnated with epoxy resin. As a result, an E glass fiber woven prepreg (2-1) having a thickness of 0.10 mm was obtained. Al 2 O 3 as a wear-resistant layer
Plate making (0.2 mm thick, Knoop hardness Hk2100,
(Manufactured by Noritake Company Limited). These were cut, five sheets were laminated as described below, and placed on a flat mirror-finished iron plate that had been treated with a release agent. E glass woven cloth (0 degree / 90 degree) E glass woven cloth (45 degree / -45 degree) Wear-resistant layer E glass woven cloth (45 degree / -45 degree) E glass woven cloth (0 degree / 90) From above, sandwiched by a flat mirror plate which has also been treated with a release agent, the temperature is raised to 150 ° C. at a rate of 4 ° C./min using a press machine, a pressure of 30 kg / cm 2 is applied, and the temperature is maintained for 1 hour. / Min to room temperature. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.58 mm.
【００２６】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
オータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。得られたキャリアプレートをシリコン
ウエハースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガラ
ス織布強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に対
して約４００％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was subjected to external gear cutting and three through holes. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 400% with respect to the life of the conventional glass woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate.
【００２７】〔実施例５〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を
離型紙上に圧延し樹脂目付を２３ｇ／m2とした上に炭素
繊維（三菱レイヨン株式会社製「ＴＲ４０」）を一方向
に引き揃えて繊維目付を４１ｇ／m2として重ね、炭素繊
維にエポキシ樹脂を含浸して厚み０.０４２ｍｍの炭素
繊維プリプレグ（２−２）を得た。これと実施例４で用
意したＥガラス繊維織プリプレグ（２−１）および耐磨
耗層をそれぞれ切断し、下記のように７枚積層し、ポリ
フッ化エチレンからなる離型フィルムを配置した平らな
鏡面鉄板上に置いた。 プリプレグ（２−１）（０度／９０度） プリプレグ（２−２）１２０度 プリプレグ（２−２）２４０度 耐摩耗層 プリプレグ（２−２）２４０度 プリプレグ（２−２）１２０度 プリプレグ（２−２）（０度／９０度） そして、その上からポリフッ化エチレンからなる離型フ
ィルム、ガラス繊維織布からなるブリードクロスを重
ね、全体を耐熱性バックフィルムで密封し、その中を真
空にして１時間保持した。これをオートクレーブ中に移
し、１３０℃まで２℃／分の速度で昇温し、４ｋｇ／cm
2の圧力を加え１時間保持後、２℃／分で常温に戻し
た。このようにして得られた繊維強化プラスチック製薄
板の厚みは、０.５７ｍｍであった。Example 5 An epoxy resin cured at 130 ° C. was rolled on release paper to a resin weight of 23 g / m 2, and carbon fibers (“TR40” manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) were aligned in one direction. The fiber basis weight was 41 g / m 2 , and carbon fibers were impregnated with epoxy resin to obtain carbon fiber prepreg (2-2) having a thickness of 0.042 mm. This and the E glass fiber woven prepreg (2-1) and the abrasion-resistant layer prepared in Example 4 were cut, respectively, and laminated seven sheets as described below. It was placed on a mirror-surface iron plate. Prepreg (2-1) (0 degree / 90 degree) Prepreg (2-2) 120 degree Prepreg (2-2) 240 degree Abrasion resistant layer Prepreg (2-2) 240 degree Prepreg (2-2) 120 degree Prepreg ( 2-2) (0 degrees / 90 degrees) Then, a release film made of polyfluorinated ethylene and a bleed cloth made of a woven fabric of glass fiber are stacked on top of each other, and the whole is sealed with a heat-resistant back film, and the inside is evacuated. And kept for 1 hour. This was transferred into an autoclave, heated to 130 ° C. at a rate of 2 ° C./min, and 4 kg / cm
After applying the pressure of 2 and holding for 1 hour, the temperature was returned to room temperature at 2 ° C./min. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.57 mm.
【００２８】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
オータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。得られたキャリアプレートをシリコン
ウエハースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガラ
ス織布強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に対
して約３００％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was trimmed on the outer periphery and three through holes were made. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 300% with respect to the life of the conventional glass woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate.
【００２９】［請求項３に係る実施例］ 〔実施例６〕耐摩耗層として、Ａｌ2Ｏ3製板の代りにナ
イロン製板（厚み０.２ｍｍ、動摩擦係数が０.１（研磨
対象体：シリコン結晶体）、ＨＤＴ１４０℃、（株）利
昌工業社製「ＲＣ−１０５１」）を用いるほかは、実施
例４と同様に操作し、キャリアプレートを得た。シリコ
ンウエハースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガ
ラス織布強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に
対して約５０％向上した。[Embodiment 3] [Embodiment 6] Instead of an Al 2 O 3 plate, a nylon plate (thickness: 0.2 mm, dynamic friction coefficient: 0.1 (object to be polished)) is used instead of the Al 2 O 3 plate. : Silicon crystal), HDT 140 ° C, and “RC-1051” manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.), except that a carrier plate was obtained in the same manner as in Example 4. When used for polishing silicon wafers, the service life was improved by about 50% over the service life of the conventional glass woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate.
【００３０】〔実施例７〕耐摩耗層として、Ａｌ2Ｏ3製
板のかわりに実施例６で用いたナイロン製板を用いるほ
かは、実施例５と同様に操作し、キャリアプレートを得
た。シリコンウエハースの研磨に使用したところ、寿命
が従来のガラス織布強化エポキシ樹脂製キャリアプレー
トの寿命に対して約４０％向上した。Example 7 A carrier plate was obtained in the same manner as in Example 5, except that the nylon plate used in Example 6 was used instead of the Al 2 O 3 plate as the wear-resistant layer. . When used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 40% compared to the life of the conventional glass woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate.
【００３１】［請求項４に係る実施例］ 〔実施例８〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に圧
延し樹脂目付を６１ｇ／m2とした上に、Ｅガラス繊維を
打込み本数［たて４.８本／ｍｍ（１２０本／２５m
m）、よこ２.１本／ｍｍ（５２本／２５mm）］で平織り
した繊維目付１２７ｇ／m2のＥガラス繊維織布を重ね、
織布にエポキシ樹脂を含浸して厚み０.１ｍｍのＥガラ
ス繊維織布プリプレグ（３−１）を得た。[Embodiment 4] [Embodiment 8] An epoxy resin cured at 130 ° C is rolled on release paper to give a resin basis weight of 61 g / m 2, and the number of E glass fibers is set. 4.8 / mm (120 / 25m
m), weave E glass fiber woven fabric with a fiber weight of 127 g / m 2 plain woven with a width of 2.1 lines / mm (52 lines / 25 mm).
The woven fabric was impregnated with an epoxy resin to obtain a 0.1 mm-thick E glass fiber woven prepreg (3-1).
【００３２】別途、１３０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙
上に圧延し樹脂目付を１５０ｇ／m2とした上にＥガラス
繊維を打込み本数［たて１.３本／ｍｍ（３２本／２５m
m）、よこ１本／ｍｍ（２５本／２５mm）］で平織りし
た繊維目付３１７ｇ／m2のＥガラス繊維織布を重ね、織
布にエポキシ樹脂を含浸して厚み０.２５ｍｍのＥガラ
ス繊維織布プリプレグ（３−２）を得た。Separately, an epoxy resin cured at 130 ° C. was rolled on release paper to give a resin weight of 150 g / m 2, and E glass fibers were driven in. The number of pieces was 1.3 [vertical / mm (32/25 m2).
m), weft 1 / mm (25/25 mm)], woven woven E-glass fiber with a basis weight of 317 g / m 2 , and impregnated the woven fabric with epoxy resin to obtain a 0.25-mm-thick E-glass fiber A woven prepreg (3-2) was obtained.
【００３３】これらを切断し、下記のように５枚積層
し、離型剤処理を行った平らな鏡面鉄板上に置いた。 プリプレグ（３−１）（０度／９０度） プリプレグ（３−１）（９０度／０度） プリプレグ（３−２）（４５度／−４５度） プリプレグ（３−１）（９０度／０度） プリプレグ（３−１）（０度／９０度） そして、その上から同じく離型剤処理をした平らな鏡面
板で挟んで、プレス機にかけて１５０℃まで４℃／分の
速度で昇温し、３０ｋｇ／cm2の圧力を加え１時間保持
後、５℃／分で常温に戻した。このようにして得られた
繊維強化プラスチック製薄板の厚みは、０.６０ｍｍで
あった。These were cut, five sheets were laminated as described below, and placed on a flat mirror-finished iron plate that had been treated with a release agent. Pre-preg (3-1) (0 degree / 90 degree) Pre-preg (3-1) (90 degree / 0 degree) Pre-preg (3-2) (45 degree / -45 degree) Pre-preg (3-1) (90 degree / 0 °) Pre-preg (3-1) (0 ° / 90 °) And sandwiched from above with a flat mirror-plate which has been treated with a mold release agent, it is raised to 150 ° C by a press at a rate of 4 ° C / min. After heating and applying a pressure of 30 kg / cm 2 for 1 hour, the temperature was returned to room temperature at 5 ° C./min. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.60 mm.
【００３４】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
オータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。得られたキャリアプレートをシリコン
ウエハースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガラ
ス織布強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に対
して約２０％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was trimmed on the outer periphery and three through holes were formed. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 20% compared to the life of the conventional glass woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate.
【００３５】〔実施例９〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を
離型紙上に圧延し樹脂目付を３４ｇ／m2とした上に炭素
繊維（三菱レイヨン株式会社製「ＴＲ４０」）を一方向
に引き揃えて繊維目付を５４ｇ／m2として重ね、炭素繊
維にエポキシ樹脂を含浸して厚み０.０５８ｍｍの炭素
繊維プリプレグ（３−３）を得た。これとは別に、１３
０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に圧延し樹脂目付を６
８ｇ／m2とした上にＥガラス繊維を打込み本数［たて
２.４本／ｍｍ（６０本／２５mm）、よこ２.３本／ｍｍ
（５７本／２５mm）］で平織りした繊維目付１０８ｇ／
m2のＥガラス繊維織布を重ね、織布にエポキシ樹脂を含
浸して厚み０.１１ｍｍのＥガラス繊維織布プリプレグ
（３−４）を得た。Example 9 An epoxy resin cured at 130 ° C. was rolled on release paper to a resin weight of 34 g / m 2, and carbon fibers (“TR40” manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) were aligned in one direction. The fiber weight was set to 54 g / m 2 , and carbon fibers were impregnated with an epoxy resin to obtain carbon fiber prepregs (3-3) having a thickness of 0.058 mm. Apart from this, 13
Roll the epoxy resin cured at 0 ° C on release paper to obtain a resin weight of 6
8 g / m 2, and the number of E glass fibers to be implanted [fresh 2.4 / mm (60/25 mm), horizontal 2.3 / mm
(57 strands / 25 mm)]
superposed E glass fiber woven m 2, and impregnated with an epoxy resin to obtain a E glass fiber woven fabric prepreg thickness 0.11 mm (3-4) to fabric.
【００３６】これらと実施例１で得たＥガラス繊維織布
プリプレグ（１−１）を切断し、下記のように７枚積層
し、ポリフッ化エチレンからなる離型フィルムを配置し
た平らな鏡面鉄板上に置いた。 プリプレグ（３−４）（０度／９０度） プリプレグ（３−３）（１２０度） プリプレグ（３−３）（２４０度） プリプレグ（１−１）（０度／９０度） プリプレグ（３−３）（２４０度） プリプレグ（３−３）（１２０度） プリプレグ（３−４）（０度／９０度） そして、その上からポリフッ化エチレンからなる離型フ
ィルム、ガラス繊維織布からなるブリードクロスを重
ね、全体を耐熱性バックフィルムで密封し、その中を真
空にして１時間保持した。これをオートクレーブ中に移
し、１３０℃まで２℃／分の速度で昇温し、４ｋｇ／cm
2の圧力を加え１時間保持後、２℃／分で常温に戻し
た。このようにして得られた繊維強化プラスチック製薄
板の厚みは、０.５８ｍｍであった。A polished E glass fiber woven fabric prepreg (1-1) obtained in Example 1 was cut, and seven sheets were laminated as follows, and a flat mirror-surface iron plate on which a release film made of polyfluoroethylene was disposed. Put on top. Pre-preg (3-4) (0 degree / 90 degree) Pre-preg (3-3) (120 degree) Pre-preg (3-3) (240 degree) Pre-preg (1-1) (0 degree / 90 degree) Pre-preg (3- degree 3) (240 degrees) Pre-preg (3-3) (120 degrees) Pre-preg (3-4) (0 degrees / 90 degrees) And a release film made of polyfluorinated ethylene and a bleed made of glass fiber woven cloth The cloth was overlaid, the whole was sealed with a heat-resistant back film, and the inside was evacuated and held for 1 hour. This was transferred into an autoclave, heated to 130 ° C. at a rate of 2 ° C./min, and 4 kg / cm
After applying the pressure of 2 and holding for 1 hour, the temperature was returned to room temperature at 2 ° C./min. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.58 mm.
【００３７】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
オータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。得られたキャリアプレートをシリコン
ウエハースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガラ
ス織布強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に対
して約５０％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was trimmed on the outer periphery and three through holes were made. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 50% with respect to the life of the conventional glass woven cloth reinforced epoxy resin carrier plate.
【００３８】［請求項５に係る実施例］ 〔実施例１０〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に
圧延し樹脂目付を１５ｇ／m2とした上にＴガラス繊維を
打込み本数［たて１.６本／ｍｍ（４０／２５mm）、よ
こ１.６本／ｍｍ（４０本／２５mm）］で平織りした繊
維目付１５ｇ／m2のＴガラス繊維織布を重ね、織布にエ
ポキシ樹脂を含浸して厚み０.０２ｍｍのＴガラス繊維
織布プリプレグ（４−１）を得た。これとは別に、１３
０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に圧延し樹脂目付を４
９ｇ／m2とした上に炭素繊維（三菱レイヨン株式会社製
「ＴＲ４０」）を一方向に引き揃えて繊維目付を１００
ｇ／m2として重ね、炭素繊維にエポキシ樹脂を含浸して
厚み０.０９５ｍｍの炭素繊維プリプレグ（４−２）を
得た。[Embodiment 5] [Embodiment 10] An epoxy resin cured at 130 ° C is rolled on release paper to give a resin basis weight of 15 g / m 2, and T glass fibers are driven into the tube. .6 present / mm (40 / 25mm), lateral 1.6 present / mm (40 present / 25 mm)] superimposed T glass fiber woven fabric of fibers having a basis weight 15 g / m 2 was plain woven, impregnated with an epoxy resin to the fabric Thus, a T glass fiber woven prepreg (4-1) having a thickness of 0.02 mm was obtained. Apart from this, 13
Roll epoxy resin cured at 0 ° C on release paper to obtain resin weight of 4
9 g / m 2, and carbon fibers (“TR40” manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) were aligned in one direction to obtain a fiber weight of 100.
g / m 2 , and carbon fibers were impregnated with an epoxy resin to obtain carbon fiber prepreg (4-2) having a thickness of 0.095 mm.
【００３９】これらを切断し、下記のように８枚積層
し、ポリフッ化エチレンからなる離型フィルムを配置し
た平らな鏡面鉄板上に置いた。 プリプレグ（４−１）（０度／９０度） プリプレグ（４−２）（０度） プリプレグ（４−２）（１２０度） プリプレグ（４−２）（２４０度） プリプレグ（４−２）（２４０度） プリプレグ（４−２）（１２０度） プリプレグ（４−２）（０度） プリプレグ（４−１）（０度／９０度） そして、その上からポリフッ化エチレンからなる離型フ
ィルム、ガラス繊維織布からなるブリードクロスを重
ね、全体を耐熱性バックフィルムで密封し、その中を真
空にして１時間保持した。これをオートクレーブ中に移
し、１３０℃まで２℃／分の速度で昇温し、４ｋｇ／cm
2の圧力を加え１時間保持後、２℃／分で常温に戻し
た。このようにして得られた繊維強化プラスチック製薄
板の厚みは、０.６０ｍｍであった。These pieces were cut, eight pieces were laminated as described below, and placed on a flat mirror-surface iron plate on which a release film made of polyfluoroethylene was arranged. Pre-preg (4-1) (0 degree / 90 degree) Pre-preg (4-2) (0 degree) Pre-preg (4-2) (120 degrees) Pre-preg (4-2) (240 degrees) Pre-preg (4-2) ( 240 degrees) Pre-preg (4-2) (120 degrees) Pre-preg (4-2) (0 degrees) Pre-preg (4-1) (0 degrees / 90 degrees) Then, a release film made of polyfluoroethylene from above, A bleed cloth made of a glass fiber woven fabric was overlaid, the whole was sealed with a heat-resistant back film, and the inside was evacuated and held for 1 hour. This was transferred into an autoclave, heated to 130 ° C. at a rate of 2 ° C./min, and 4 kg / cm
After applying the pressure of 2 and holding for 1 hour, the temperature was returned to room temperature at 2 ° C./min. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.60 mm.
【００４０】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
ォータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。このとき、貫通孔位置とキャリアプレ
ートの中心とを結ぶ線が繊維強化プラスチック製薄板の
炭素繊維の配向方向（０、１２０、２４０度）と等しく
なるように繊維強化プラスチック製薄板の固定角度を調
節した。得られたキャリアプレートをシリコンウエハー
スの研磨に使用したところ、寿命が従来のガラス繊維強
化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に対して約５
００％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was trimmed on the outer periphery and three through holes were made. At this time, the fixing angle of the fiber reinforced plastic thin plate is adjusted so that the line connecting the position of the through hole and the center of the carrier plate is equal to the orientation direction (0, 120, 240 degrees) of the carbon fibers of the fiber reinforced plastic thin plate. did. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was about 5 times that of the conventional glass fiber reinforced epoxy resin carrier plate.
It improved by 00%.
【００４１】［請求項６に係る実施例］ 〔実施例１１〕１３０℃硬化エポキシ樹脂を離型紙上に
圧延し樹脂目付を７１ｇ／m2とした上に炭素繊維（三菱
レイヨン株式会社製「ＴＲ４０」）を一方向に引き揃え
て繊維目付を１３３ｇ／m2として重ね、炭素繊維にエポ
キシ樹脂を含浸して厚み０.１３ｍｍの炭素繊維プリプ
レグ（５−１）を得た。これと実施例９，１０で得た炭
素繊維プリプレグ（３−３）、Ｅガラス繊維織布プリプ
レグ（４−１）、炭素繊維プリプレグ（４−２）を切断
し、下記のように８枚積層し、ポリフッ化エチレンから
なる離型フィルムを配置した平らな鏡面鉄板上に置い
た。 プリプレグ（４−１）（０度／９０度） プリプレグ（３−３）（９０度） プリプレグ（４−２）（２１０度） プリプレグ（５−１）（３３０度） プリプレグ（５−１）（３３０度） プリプレグ（４−２）（２１０度） プリプレグ（３−３）（９０度） プリプレグ（４−１）（０度／９０度） そして、その上からポリフッ化エチレンからなる離型フ
ィルム、ガラス繊維織布からなるブリードクロスを重
ね、全体を耐熱性バックフィルムで密封し、その中を真
空にして１時間保持した。これをオートクレーブ中に移
し、１３０℃まで２℃／分の速度で昇温し、４ｋｇ／cm
2の圧力を加え１時間保持後、２℃／分で常温に戻し
た。このようにして得られた繊維強化プラスチック製薄
板の厚みは、０.６０ｍｍであった。Example 11 According to claim 11, an epoxy resin cured at 130 ° C. was rolled on release paper to give a resin weight of 71 g / m 2 and carbon fibers (trade name “TR40” manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.). ) Were aligned in one direction, the fiber weight was 133 g / m 2 , and carbon fibers were impregnated with epoxy resin to obtain carbon fiber prepreg (5-1) having a thickness of 0.13 mm. This and the carbon fiber prepreg (3-3), E glass fiber woven prepreg (4-1), and carbon fiber prepreg (4-2) obtained in Examples 9 and 10 were cut, and eight sheets were laminated as follows. Then, it was placed on a flat mirror-surface iron plate on which a release film made of polyfluoroethylene was arranged. Pre-preg (4-1) (0 degree / 90 degree) Pre-preg (3-3) (90 degree) Pre-preg (4-2) (210 degree) Pre-preg (5-1) (330 degree) Pre-preg (5-1) ( 330 degrees) Pre-preg (4-2) (210 degrees) Pre-preg (3-3) (90 degrees) Pre-preg (4-1) (0 degrees / 90 degrees) Then, a release film made of polyfluoroethylene from above, A bleed cloth made of a glass fiber woven fabric was overlaid, the whole was sealed with a heat-resistant back film, and the inside was evacuated and held for 1 hour. This was transferred into an autoclave, heated to 130 ° C. at a rate of 2 ° C./min, and 4 kg / cm
After applying the pressure of 2 and holding for 1 hour, the temperature was returned to room temperature at 2 ° C./min. The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.60 mm.
【００４２】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
オータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。このとき、貫通孔位置とキャリアプレ
ートの中心とを結ぶ線が繊維強化プラスチック製薄板の
炭素繊維の配向方向（９０、２１０、３３０度）と垂直
となるように繊維強化プラスチック製薄板の固定角度を
調節した。得られたキャリアプレートをシリコンウエハ
ースの研磨に使用したところ、寿命が従来のガラス繊維
強化エポキシ樹脂製キャリアプレートの寿命に対して約
５００％向上した。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was trimmed on the outer periphery and three through holes were formed. At this time, the fixing angle of the fiber reinforced plastic thin plate is set so that the line connecting the position of the through hole and the center of the carrier plate is perpendicular to the orientation direction (90, 210, 330 degrees) of the carbon fibers of the fiber reinforced plastic thin plate. Adjusted. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 500% with respect to the life of the conventional glass fiber reinforced epoxy resin carrier plate.
【００４３】［請求項７に係る実施例］ 〔実施例１２〕実施例９で得たＥガラス繊維織布プリプ
レグ（３−４）を切断し、下記のように６枚積層し、ポ
リフッ化エチレンからなる離型フィルムを配置した平ら
な鏡面鉄板上に置いた。 プリプレグ（３−４）（０度／９０度） プリプレグ（３−４）（１２０度／２１０度） プリプレグ（３−４）（２４０度／３３０度） プリプレグ（３−４）（２４０度／３３０度） プリプレグ（３−４）（１２０度／２１０度） プリプレグ（３−４）（０度／９０度） そして、その上からポリフッ化エチレンからなる離型フ
ィルム、ガラス繊維織布からなるブリードクロスを重
ね、全体を耐熱性バックフィルムで密封し、その中を真
空にして１時間保持した。これをオートクレーブ中に移
し、１３０℃まで２℃／分の速度で昇温し、４ｋｇ／cm
2の圧力を加え１間保持後、２℃／分で常温に戻した。
このようにして得られた繊維強化プラスチック製薄板の
厚みは、０.５９ｍｍであった。[Embodiment 7] [Embodiment 12] The E glass fiber woven prepreg (3-4) obtained in Embodiment 9 is cut, and six sheets are laminated as described below to obtain a polyethylene fluoride. Was placed on a flat mirror-surface iron plate on which a release film consisting of Pre-preg (3-4) (0 degree / 90 degrees) Pre-preg (3-4) (120 degrees / 210 degrees) Pre-preg (3-4) (240 degrees / 330 degrees) Pre-preg (3-4) (240 degrees / 330 degrees Degree) Pre-preg (3-4) (120 degrees / 210 degrees) Pre-preg (3-4) (0 degrees / 90 degrees) And a release film made of polyfluoroethylene and a bleed cloth made of glass fiber woven cloth , And the whole was sealed with a heat-resistant back film, and the inside thereof was evacuated and held for 1 hour. This was transferred into an autoclave, heated to 130 ° C. at a rate of 2 ° C./min, and 4 kg / cm
After applying the pressure of 2 and holding for 1 hour, the temperature was returned to room temperature at 2 ° C./min.
The thickness of the fiber reinforced plastic thin plate thus obtained was 0.59 mm.
【００４４】得られた繊維強化プラスチック製薄板をウ
ォータージェットを用いて、外周の歯切り、３個の貫通
孔あけを行った。このとき、貫通孔位置とキャリアプレ
ートの中心とを結ぶ線が繊維強化プラスチック製薄板の
ガラス繊維の配向方向（０／９０、１２０／２１０、２
４０／３３０度）とが等しくかつ垂直となるように繊維
強化プラスチック製薄板の固定角度を調節した。得られ
たキャリアプレートをシリコンウエハースの研磨に使用
したところ、寿命が従来のガラス繊維強化エポキシ樹脂
製キャリアプレートの寿命に対して約２００％向上し
た。Using a water jet, the obtained fiber reinforced plastic thin plate was subjected to external gear cutting and three through holes. At this time, the line connecting the position of the through hole and the center of the carrier plate is oriented in the orientation direction of the glass fiber of the fiber reinforced plastic thin plate (0/90, 120/210, 2).
(40/330 degrees) and the vertical angle was adjusted. When the obtained carrier plate was used for polishing a silicon wafer, the life was improved by about 200% with respect to the life of the conventional glass fiber reinforced epoxy resin carrier plate.
【００４５】[0045]
【発明の効果】本発明の繊維強化プラスチック製キャリ
アプレートであると、耐久性が高く、寿命が長い。特
に、請求項２〜４に記載の発明であると、被研磨物と擦
れ合って摩耗しやすい貫通孔の壁の耐久性が高められ、
キャリアプレートの寿命の長いものである。また、請求
項５〜７記載の発明であると、キャリアプレート外周の
歯の剛性のバラツキが低減し、かつ、キャリアプレート
製品間の寿命のバラツキも低減することができる。According to the carrier plate of the present invention, the durability is high and the life is long. In particular, according to the invention as set forth in claims 2 to 4, the durability of the wall of the through hole, which easily rubs against the workpiece to be polished, is enhanced,
The life of the carrier plate is long. Further, according to the fifth to seventh aspects of the present invention, the variation in the rigidity of the teeth on the outer periphery of the carrier plate can be reduced, and the variation in the life between the carrier plate products can be reduced.
【図１】 実施形態例１のキャリアプレートを示す平面
図である。FIG. 1 is a plan view showing a carrier plate according to a first embodiment.
【図２】 図１中のII−II側断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.
【図３】 実施形態例２のキャリアプレートの側断面図
である。FIG. 3 is a side sectional view of a carrier plate according to a second embodiment.
【図４】 実施例１の貫通孔が３個のキャリアプレート
の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a carrier plate having three through holes according to the first embodiment.
【図５】 実施例２の貫通孔が４個のキャリアプレート
の平面図である。FIG. 5 is a plan view of a carrier plate having four through holes according to a second embodiment.
【図６】 実施例３の貫通孔が５個のキャリアプレート
の平面図である。FIG. 6 is a plan view of a carrier plate having five through holes according to a third embodiment.
１１０ キャリアプレート １１１ キャリアプレートの中心 １２０ 歯 １３０、１４０、１５０ 貫通孔 １３１、１４１、１５１ 貫通孔位置 １３２、１４２、１５２ 貫通孔位置とキャリアプレー
トの中心とを結ぶ直線 １６０、１７０、１８０、１９０ 繊維強化プラスチッ
ク層110 Carrier plate 111 Center of carrier plate 120 Teeth 130, 140, 150 Through hole 131, 141, 151 Through hole position 132, 142, 152 Straight line connecting through hole position and center of carrier plate 160, 170, 180, 190 Fiber Reinforced plastic layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石森 巧 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 沼田 喜春 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 岡野 博文 神奈川県秦野市曽屋30 東芝セラミックス 株式会社秦野事業所内 (72)発明者 益田 則雄 東京都新宿区西新宿１−26−２新宿野村ビ ル 東芝セラミックス株式会社シリコン事 業部内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takumi Ishimori 4-1-1 Ushikawadori, Toyohashi-shi, Aichi Pref. Inside the Toyohashi Plant of Mitsubishi Rayon Co., Ltd. (72) Inventor Yoshiharu Numata 4-1-1 Ushikawadori, Toyohashi-shi, Aichi Prefecture Address No. 2 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Toyohashi Plant (72) Inventor Hirofumi Okano 30 Soya, Hadano-shi, Kanagawa Toshiba Ceramics Co., Ltd. Hadano Plant (72) Inventor Norio Masuda 1-26-2 Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Shinjuku Nomura Building Toshiba Ceramics Corporation Silicon Division
Claims (7)
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、繊維の配向方向が異な
る層どうしでは、その繊維の配向方向は互いに直交し、
かつ、それぞれの貫通孔位置とキャリアプレートの中心
とを結ぶ線と、強化繊維の配向方向とがなす角度のうち
最小となる角度を全ての貫通孔について合算した合計角
度が最小となる位置に、貫通孔が設けられていることを
特徴とする繊維強化プラスチック製キャリアプレート。1. A carrier plate having a plurality of through-holes formed in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein the orientation directions of the fibers are different between layers having different orientation directions of the fibers. Orthogonal to each other,
And, a line connecting each through-hole position and the center of the carrier plate, and a position at which the total angle obtained by summing the minimum angles among the angles formed by the orientation directions of the reinforcing fibers for all the through-holes is the minimum, A carrier plate made of fiber reinforced plastic, characterized by having a through hole.
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、少なくとも中央層とし
てヌープ硬度６００以上の耐摩耗層を設けたことを特徴
とする繊維強化プラスチック製キャリアプレート。2. A carrier plate in which a plurality of through-holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein a wear-resistant layer having a Knoop hardness of 600 or more is provided as at least a central layer. A carrier plate made of fiber-reinforced plastic.
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、少なくとも中央層とし
て研磨対象体との動摩擦係数が０.２以下の耐摩耗層を
設けたことを特徴とする繊維強化プラスチック製キャリ
アプレート。3. A carrier plate in which a plurality of through holes are provided in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein at least a central layer has a coefficient of dynamic friction with an object to be polished of 0.2 or less. A carrier plate made of fiber-reinforced plastic, provided with a wear-resistant layer.
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、少なくとも中央層が、
打込み本数がたて糸、よこ糸とも１本／ｍｍ以上の強化
繊維織布で強化したプラスチック層であることを特徴と
する繊維強化プラスチック製キャリアプレート。4. A carrier plate in which a plurality of through-holes are provided in a fiber-reinforced plastic thin plate in which fiber-reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein at least a central layer comprises:
A carrier plate made of fiber-reinforced plastic, characterized in that both the warp yarn and the weft yarn are a plastic layer reinforced with a reinforced fiber woven fabric of 1 yarn / mm or more.
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、全ての各貫通孔につい
て、貫通孔位置とキャリアプレートの中心とを結ぶ線
と、少なくともいずれか１つの繊維強化プラスチック層
の繊維の配向方向とがなす角度が−１０〜１０度となる
ことを特徴とする繊維強化プラスチック製キャリアプレ
ート。5. A carrier plate in which a plurality of through holes are provided in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein the positions of the through holes and the center of the carrier plate are determined for all of the through holes. Wherein the angle between the line connecting the two and the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber reinforced plastic layers is -10 to 10 degrees.
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、全ての各貫通孔につい
て、貫通孔位置とキャリアプレートの中心とを結ぶ線
と、少なくともいずれか１つの繊維強化プラスチック層
の繊維の配向方向とがなす角度が８０〜１００度となる
ことを特徴とする繊維強化プラスチック製キャリアプレ
ート。6. A carrier plate in which a plurality of through holes are provided in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein the position of the through hole and the center of the carrier plate are determined for all of the through holes. Wherein the angle between the line connecting the two and the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber reinforced plastic layers is 80 to 100 degrees.
層した繊維強化プラスチック製薄板に複数の貫通孔を設
けたキャリアプレートであって、全ての各貫通孔につい
て、貫通孔位置とキャリアプレートの中心とを結ぶ線
が、少なくともいずれか１つの繊維強化プラスチック層
の繊維の配向方向となす角度が−１０〜１０度となり、
かつ、少なくともいずれか１つの繊維強化プラスチック
層の繊維の配向方向となす角度が８０〜１００度となる
ことを特徴とする繊維強化プラスチック製キャリアプレ
ート。7. A carrier plate in which a plurality of through holes are provided in a fiber reinforced plastic thin plate in which fiber reinforced plastic layers are laminated mirror-symmetrically, wherein the position of the through hole and the center of the carrier plate are determined for all of the through holes. The angle between the orientation direction of the fibers of at least one of the fiber-reinforced plastic layers is -10 to 10 degrees,
A fiber reinforced plastic carrier plate, wherein an angle between the fiber orientation direction of at least one fiber reinforced plastic layer and the fiber orientation direction is 80 to 100 degrees.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075697A JPH10249719A (en) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | Carrier plate made of fiber reinforced plastic |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075697A JPH10249719A (en) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | Carrier plate made of fiber reinforced plastic |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249719A true JPH10249719A (en) | 1998-09-22 |
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ID=12867696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5075697A Pending JPH10249719A (en) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | Carrier plate made of fiber reinforced plastic |
Country Status (1)
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| JP (1) | JPH10249719A (en) |
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