JPH10249772A

JPH10249772A - 吸着装置

Info

Publication number: JPH10249772A
Application number: JP9057621A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Yabuki; 彰彦矢吹; Hideo Kato; 秀雄加藤; Shigeru Akema; 滋明間; Tetsuo Hizuka; 哲男肥塚
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-03-12
Filing date: 1997-03-12
Publication date: 1998-09-22
Anticipated expiration: 2017-03-12
Also published as: JP3770687B2

Abstract

(57)【要約】【課題】吸着装置に関し、ＰＤ等の被吸着物を位置ず
れなく、特に複数のＰＤ等の被吸着物を同時に且つ位置
ずれなく、正確に且つ吸着することのできる吸着装置を
提供することを目的とする。【解決手段】穴１４を有するボディ１２と、該ボディ
の穴内に可動に配置され、少なくとも一つの吸着部２
６、２８及び観察用貫通穴３０を有する可動体１６と、
該可動体を該ボディに対して支持するために該可動体と
該ボディとの間に延びる少なくとも一対の平行ばね３６
ａ、３６ｂと、該ボディから該可動体を通って該少なく
とも一つの吸着部へ延びる少なくとも一つの吸引通路３
２、３４とからなる構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は吸着装置に関し、例
えばレーザーダイオードが実装されている部品に対して
２つのフォトダイオードを同時に実装するときに使用さ
れる吸着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】吸着装置を使用して物品を移動したり、
組み立てたり、位置決めしたりすることは公知である。
本願の吸着装置は例えば光ディスク用の光学ヘッドを組
み立てるのに使用される。光学ヘッドは、光ディスクへ
向かって光を照射するレーザダイオード（以下ＬＤとい
う）と、光ディスクで反射した光を受けて電気信号を発
生するフォトダイオード（以下ＰＤという）とを備えて
いる。ＬＤ及びＰＤは小さな光学ヘッド内に正確に組付
けられる必要がある。通常は最初にＬＤをその支持部材
に実装し、実装されたＬＤに対して位置合わせしながら
ＰＤを実装する。ＰＤの実装に際して、吸着装置を使用
する。

【０００３】ＰＤが１個の場合には、コレットで吸着し
たＰＤの表面の指標パターンを観察装置で認識し、該指
標パターンが実装位置と一致するようにＰＤの位置決め
を行う方法が一般的である。ＰＤが２個の場合にも、１
個目のＰＤと２個目のＰＤとを順次上記した手順で実装
することができる。しかし、この場合、実装時間が２倍
かかることになり、量産性の問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、２個のＰＤを
同時に実装できるようにすることが望まれる。２個のＰ
Ｄを同時に実装するためには、一つの吸着ヘッドに２つ
の吸着部を設けて、２個のＰＤを一つの吸着ヘッドで同
時に吸着し、そして実装位置へ搬送することが考えられ
る。このとき、２個のＰＤの吸着された位置関係が、２
個のＰＤの実装位置関係と精密に対応していると、２個
のＰＤを吸着して搬送するだけで簡単に実装することが
できる。

【０００５】しかし、ＰＤを吸着ヘッドで吸着すると
き、ＰＤと吸着ヘッドとの間に隙間があると、吸着ヘッ
ドで吸引を開始するときにＰＤが完全に吸着される前に
ＰＤの位置が横にずれてしまうという問題がある。ＰＤ
の位置が横にずれてしまうと、２個のＰＤの位置関係が
ずれてしまい、２個のＰＤを実装位置で同時に位置決め
することができず、２個のＰＤの位置をそれぞれに検出
し、位置合わせをしなければならなくなる。

【０００６】本発明の目的は、ＰＤ等の被吸着物を位置
ずれなく正確に且つ吸着することのできる吸着装置を提
供することである。本発明の他の目的は、複数のＰＤ等
の被吸着物を同時に且つ位置ずれなく正確に吸着するこ
とのできる吸着装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明による吸着装置
は、穴を有するボディと、該ボディの穴内に可動に配置
され、少なくとも一つの吸着部及び観察用貫通穴を有す
る可動体と、該可動体を該ボディに対して支持するため
に該可動体と該ボディとの間に延びる少なくとも一対の
平行ばねと、該ボディから該可動体を通って該少なくと
も一つの吸着部へ延びる少なくとも一つの吸引通路とか
らなることを特徴とするものである。

【０００８】この構成において、ボディはロボット又は
移動ステージ等により動かされる可動体は平行ばねによ
りボディに支持されており、ボディとともに動く。吸着
部をＰＤ等の被吸着物に向かって押しつけるときに、可
動体はボディに対して押しつけ方向にのみコンプライア
ンスをもって支持されていることになる。押しつけ方向
以外の方向においては、可動体は実質的にボディと一体
に移動する。

【０００９】従って、ＰＤ等の被吸着物を吸着するとき
には、ボディをＰＤ等の被吸着物に対して位置決めし、
ボディを下降させて吸着部をＰＤ等の被吸着物に向かっ
て押しつける。このときに、可動体は押しつけ方向にコ
ンプライアンスをもってボディに支持されているので、
ＰＤ等の被吸着物を損傷させることはない。そして、吸
着部がＰＤ等の被吸着物に接触した状態で吸着部を真空
を供給し、ＰＤ等の被吸着物を吸着する。従って、吸着
に際して、ＰＤ等の被吸着物の位置が横にずれてしまう
という問題はない。ＰＤ等の被吸着物を吸着したら、ボ
ディを移動させて、ＰＤ等の被吸着物を実装位置等へ搬
送する。

【００１０】上記構成とともに、下記の特徴を含むこと
ができる。前記少なくとも一対の平行ばねが前記ボディ
及び前記可動体のそれぞれ上面側及び下面側に平行に配
置された板ばねからなる。前記少なくとも一つの吸着部
が複数の吸着部からなり、前記観察用貫通穴が該複数の
吸着部の間の中央に配置されることを特徴とする請求項
１に記載の吸着装置。

【００１１】前記少なくとも一対の平行ばねが前記可動
体の観察用貫通穴の両側に直線上に配置された少なくと
も２対のばねからなる。前記少なくとも一対の平行ばね
が前記可動体の観察用貫通穴の両側に第１の直線上に配
置された２対の平行ばねと前記可動体の観察用貫通穴の
両側に前記第１の直線と交差する第２の直線上に配置さ
れた２対の平行ばねとからなる。

【００１２】前記少なくとも一つの吸着部が前記可動体
の観察用貫通穴の両側に配置された２つの吸着部からな
り、前記少なくとも一つの吸引通路は前記ボディから前
記可動体を通って前記吸着部の一方に延びる第１の吸引
通路と、前記ボディから前記可動体を通って前記吸着部
の他方に延びる第２の吸引通路とからなり、該第１の吸
引通路と該第２の吸引通路とは該可動体の中心に関して
互いに対向し且つ該第１の直線と該第２の直線とが形成
する角度の中心線上に配置される。

【００１３】前記ボディの穴の内周壁は円筒形状であ
り、前記可動体の外周壁は円筒形状である。前記ボディ
はリング状の外周部分と、該外周部分の直径方向にブリ
ッジ状に延びるブリッジ部分とを有し、前記ボディの穴
は該ブリッジ部分に設けられる。前記少なくとも一つの
吸着部が前記可動体の観察用貫通穴の両側に配置された
２つの吸着部からなり、前記少なくとも一つの吸引通路
は前記ボディから前記可動体を通って前記吸着部の一方
に延びる第１の吸引通路と、前記ボディから前記可動体
を通って前記吸着部の他方に延びる第２の吸引通路とか
らなり、該第１の吸引通路及び該第２の吸引通路は該ボ
ディにおいては該ブリッジ部分に設けられる。

【００１４】前記可動体の観察用貫通穴は該ブリッジ部
分に対して垂直方向に長い長円形状をしている。さらに
該可動体を該ボディに対して固定的に保持するための電
磁保持手段を備える。前記ボディを移動させるための移
動手段と、前記少なくとも一つの吸着部に支持される被
吸着物を前記観察用貫通穴を介して観察するための観察
手段とを備える。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明を光ディスク用の光学
ヘッドの実装に使用される吸着装置を例として説明す
る。図４は光ディスク用の光学ヘッド１を示している。
光学ヘッド１は、レーザダイオード（以下ＬＤという）
２と２個のフォトダイオード（以下ＰＤという）３、４
とを含む。最初にＬＤ２がその支持部材に固定され、２
個のＰＤ３、４はＬＤ２に対して位置合わせしながら所
定の位置に実装される。

【００１６】図１及び図２は本発明の実施例による吸着
装置（吸着ヘッド）１０を示している。吸着装置１０
は、その中心に円筒形状の穴１４を有する円筒形状のボ
ディ１２と、このボディ１２の穴１４内に可動に配置さ
れた円筒形状の可動体１６とからなる。ボディ１２の穴
１４の内周壁と可動体１６の外周壁との間には、例えば
数１０μｍの隙間ができるようになっている。

【００１７】ボディ１２はリング状の外周部分１８と、
この外周部分１８の直径方向にブリッジ状に延びるブリ
ッジ部分２０とを有し、前記ボディの穴１４はブリッジ
部分２０に設けられている。外周部分１８とブリッジ部
分２０との間には、ボディ１２の上面側から下面側まで
貫通した円弧状の空所部分２２が設けられる。さらに、
ボディ１２上面側及び下面側には、外周部分１８とブリ
ッジ部分２０との段差として、穴１４と同心円状の円形
のキャビティ２４が形成される。

【００１８】可動体１６はその下面側に突出する２つの
吸着部２６、２８及びその中央に位置して上面側から下
面側まで貫通した観察用貫通穴３０を有する。吸着部２
６、２８は真空吸引口を有する。図２には２つのＰＤ
３、４が吸着部２６、２８に吸着された状態が示されて
おり、図２には吸着部２６、２８に吸着された２つのＰ
Ｄ３、４が上方から観察用貫通穴３０を通して見えてい
るところが示される。

【００１９】２つの吸着部２６、２８はそれぞれ第１の
吸引通路３２及び第２の吸引通路３４に接続されてい
る。第１の吸引通路３２は、ボディ１２に形成された吸
引通路部分３２ａ及び可動体１６に形成された吸引通路
部分３２ｂによって形成され、よってボディ１２から可
動体１６を通って一方の吸着部２６に延びる。第２の吸
引通路３４は、ボディ１２に形成された吸引通路部分３
４ａ及び可動体１６に形成された吸引通路部分３４ｂに
よって形成され、よってボディ１２から可動体１６を通
って他方の吸着部２８に延びる。

【００２０】第１の吸引通路３２のボディ１２に形成さ
れた吸引通路部分３２ａの内端部分はボディ１２の上面
又は下面と平行に延び、且つ可動体１６に形成された吸
引通路部分３２ｂの内端部分もボディ１２の上面又は下
面と平行に延び、これらの内端部分は上記したボディ１
２の穴１４の内周壁と可動体１６の外周壁との間の間隙
を介して対向する。

【００２１】同様に、第２の吸引通路３４のボディ１２
に形成された吸引通路部分３４ａの内端部分はボディ１
２の上面又は下面と平行に延び、且つ可動体１６に形成
された吸引通路部分３４ｂの内端部分もボディ１２の上
面又は下面と平行に延び、これらの内端部分は上記した
ボディ１２の穴１４の内周壁と可動体１６の外周壁との
間の間隙を介して対向する。

【００２２】上記したボディ１２の穴１４の内周壁と可
動体１６の外周壁との間の数１０μｍの隙間は、可動体
１６のボディ１２に対する相対運動を可能とするととも
に、これらの吸引通路部分の引き継ぎ部３２ａ─３２
ｂ、３４ａ─３４ｂにおける洩れができるだけ少なくな
るように設定されている。そして、第１及び第２の吸引
通路３２、３４はボディ１２及び可動体１６の内部に形
成されているので、例えばこれらの吸引通路をボディ１
２及び可動体１６に取りつけられたチューブ等で形成す
る場合と比べて可動体１６にボディ１２に対して好まし
くない力を与えることがない。

【００２３】さらに、可動体１６をボディ１２に対して
支持するために、少なくとも一対の（実施例においては
４対の）平行ばね３６ａ、３６ｂが可動体１６とボディ
１２との間に延びる。各対の平行ばね３６ａ、３６ｂは
ボディ１２及び可動体１６のそれぞれ上面側及び下面側
に平行に配置された板ばねからなる。実施例において
は、各ばね３６ａ、３６ｂはボディ１２及び可動体１６
のそれぞれ上面及び下面にねじ３８によって取りつけら
れる。

【００２４】従って、吸着部２６、２８をＰＤ３、４に
向かって押しつけるときに、可動体１６はボディ１２に
対して押しつけ方向にのみコンプライアンスをもって支
持されていることになり、押しつけ方向以外の方向にお
いては、可動体１６は実質的にボディ１２と一体に移動
する。実施例では、４ｍｍ／ｋｇｆで吸着部２６、２８
をＰＤ３、４に向かって押しつけることができる。

【００２５】また、平行ばね３６ａ、３６ｂの配置にお
いて、２対の平行ばね３６ａ、３６ｂは可動体１６の観
察用貫通穴３０の両側に直線上に配置されている。そし
て、４対の平行ばね３６ａ、３６ｂの配置において、２
対の平行ばね３６ａ、３６ｂは可動体１６の観察用貫通
穴３０の両側に第１の直線上に配置され、他の２対の平
行ばね３６ａ、３６ｂは可動体１６の観察用貫通穴３０
の両側に前記第１の直線と交差する第２の直線上に配置
されている。このようにして、平行ばね３６ａ、３６ｂ
は横方向にあるいは回転方向にずれることなく、押しつ
け方向以外では剛性よく可動体１６を支持する。

【００２６】そして、第１の吸引通路３２及び第２の吸
引通路３４は可動体１６の中心に関して互いに対向し且
つ前記第１の直線と前記第２の直線とが形成する角度の
中心線上に配置される。これによって、吸引力が平行ば
ね３６ａ、３６ｂにもたらす曲げモーメントをほぼ０に
することができる。実施例においては、前記第１の直線
及び前記第２の直線はボディのブリッジ部分２０に交差
するように配置され、第１の吸引通路３２及び第２の吸
引通路３４とブリッジ部分２０の中心線に沿って配置さ
れる。また、可動体１６の観察用貫通穴３０はブリッジ
部分２０に対して垂直方向に長い長円形状をしている。

【００２７】図３は、ボディ１２を移動させるための移
動手段４０と、吸着部２６、２８に支持されるＰＤ３、
４を観察用貫通穴３０を介して観察するための観察手段
４２とを備えた吸着装置全体を示す図である。実施例に
おいては、移動手段４０は多軸ステージからなり、観察
手段４２はＣＣＤカメラからからなる。観察手段４２は
Ｚ軸ステージ４３に取りつけられている。さらに、第１
の吸引通路３２及び第２の吸引通路３４はそれぞれ電磁
弁４４、４６を介してバキュームポンプ４８に接続され
るようになっている。ホストコンピュータ５０が移動手
段４０及びＺ軸ステージ４３を制御し、且つ観察手段４
２は画像処理装置５２を介してホストコンピュータ５０
に接続される。

【００２８】図５は本発明による吸着装置１０の変形例
を示す図である。この吸着装置１０は図１及び図２に示
される吸着装置１０と基本的に類似した構成を有し、同
じ部材は同じ参照番号で示されている。図５において
は、吸着装置１０はさらに可動体１６をボディ１２に対
して固定的に保持するための電磁保持手段６０を備えて
いる。電磁保持手段６０はアーム６０ａに取りつけられ
た電磁ソレノイド６０ｂからなる。アーム６０ａはボデ
ィ１２に固定され、電磁ソレノイド６０ｂは可動体１６
に近接した位置に配置される。

【００２９】以下上記実施例の作動について図６から図
１１を参照して説明する。吸着装置１０は電磁保持手段
６０を備えたものとする。図６に示されるように、観察
手段４２が可動体１６の観察用貫通穴３０を介してＰＤ
３を観察できるように、１枚目のＰＤ３を一方の吸着部
２６の下の観察手段４２の視野内に搬送し、観察手段４
２をＰＤ３の表面に焦点を合わせ、ＰＤ３の表面と可動
体１６の吸着部２６の先端との間の距離を測定する。

【００３０】それから、ＰＤ３の表面の指標パターンを
位置認識し、吸着装置のＸ、Ｙ位置、Ｚ軸回りのθ姿勢
を決定し、多軸ステージからなる移動手段４０を駆動し
て吸着装置１０をＰＤ３に対して位置決めする。そこ
で、焦点位置誤差（例えば±μｍ）を吸収し、且つ５ｇ
ｆの接触力で吸着部２６をＰＤ３に押しつけるため、Ｐ
Ｄ３の表面と可動体１６の吸着部２６の先端との間の前
記測定距離よりも２０μｍだけ多く吸着装置１０をＰＤ
３の表面に向かって下降させる。

【００３１】このときに、可動体１６はばね３６ａ、３
６ｂにより押しつけ方向にコンプライアンスをもってボ
ディ１２に支持されているので、ＰＤ３を損傷させるこ
とはない。そして、図７に示されるように、吸着部２６
がＰＤ３に接触したら、吸着部２６に真空を供給し、Ｐ
Ｄ３を吸着する。従って、吸着に際して、ＰＤ３の位置
が横にずれてしまうという問題はない。

【００３２】それから、図８及び図９に示されるよう
に、吸着装置１０を上昇させた後で、同様の手順でもう
一つの吸着部２８を２枚目のＰＤ４に押しつけ、２枚目
のＰＤ４を吸着する。この場合にも２枚目のＰＤ４の表
面の指標パターンを位置認識する。そして、２枚目のＰ
Ｄ４が既に吸着している１枚目のＰＤ３に対して規定の
位置関係になるように移動手段４０を駆動して吸着装置
１０をＰＤ４に対して位置決めする。

【００３３】図１０に示されるように、ＰＤ３、４を吸
着した吸着装置１０をＰＤ３、４の実装位置へ搬送す
る。吸着装置１０が実装位置へ搬送されたら（あるいは
吸着装置１０が実装位置へ搬送される前）、ＰＤ３、４
が吸着されている状態で電磁保持手段６０を作動させ、
可動体１６を電磁ソレノイド６０ｂに吸引し、それによ
って可動体１６をボディ１２に対して一体化する。それ
から図１１に示されるように、観察手段４２（又はそれ
と等々の観察装置）によって可動体１６の観察用貫通穴
３０を介してＰＤ３を観察しながら、ＰＤ３、４を光学
ヘッド１の支持部材上に位置決めし、ＰＤ３、４を光学
ヘッド１の支持部材上に接着等の固定処理を行った後
で、吸着部２６、２８への真空の供給を停止し、吸着を
解除する。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＰＤ等の被吸着物を位置ずれなく、特に複数のＰＤ等の
被吸着物を同時に且つ位置ずれなく、正確に且つ吸着す
ることのできる吸着装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による吸着装置を示す平面図で
ある。

【図２】図１の吸着装置の断面図である。

【図３】図１及び図２の吸着装置の全体構成を示す図で
ある。

【図４】被吸着装置の一例である光学ヘッドを示す斜視
図である。

【図５】図２に類似した吸着装置の変形例を示す断面図
である。

【図６】吸着装置の作動の第１段階である押しつけ工程
を示す斜視図である。

【図７】吸着装置の作動の次の段階である吸着工程を示
す斜視図である。

【図８】吸着装置の作動の次の段階である押しつけ工程
を示す斜視図である。

【図９】吸着装置の作動の次の段階である吸着工程を示
す斜視図である。

【図１０】吸着装置の作動の次の段階である可動体固定
工程を示す斜視図である。

【図１１】吸着装置の作動の次の段階である実装工程を
示す斜視図である。

【符号の説明】

１…光学ヘッド２…レーザダイオード３、４…フォトダイオード１０…吸着装置１２…ボディ１４…穴１６…可動体１８…リング状の外周部分２０…ブリッジ部分２６、２８…吸着部３０…観察用貫通穴３２、３４…吸引通路３６ａ、３６ｂ…ばね６０…電磁保持手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者明間滋神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者肥塚哲男神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】穴を有するボディと、該ボディの穴内に
可動に配置され、少なくとも一つの吸着部及び観察用貫
通穴を有する可動体と、該可動体を該ボディに対して支
持するために該可動体と該ボディとの間に延びる少なく
とも一対の平行ばねと、該ボディから該可動体を通って
該少なくとも一つの吸着部へ延びる少なくとも一つの吸
引通路とからなることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】前記少なくとも一対の平行ばねは前記ボ
ディ及び前記可動体のそれぞれ上面側及び下面側に平行
に配置された板ばねからなることを特徴とする請求項１
に記載の吸着装置。
【請求項３】前記少なくとも一つの吸着部が複数の吸
着部からなり、前記観察用貫通穴が該複数の吸着部の間
の中央に配置されることを特徴とする請求項１に記載の
吸着装置。
【請求項４】前記少なくとも一対の平行ばねが前記可
動体の観察用貫通穴の両側に直線上に配置された少なく
とも２対のばねからなることを特徴とする請求項３に記
載の吸着装置。
【請求項５】前記少なくとも一対の平行ばねが前記可
動体の観察用貫通穴の両側に第１の直線上に配置された
２対の平行ばねと前記可動体の観察用貫通穴の両側に前
記第１の直線と交差する第２の直線上に配置された２対
の平行ばねとからなることを特徴とする請求項４に記載
の吸着装置。
【請求項６】前記少なくとも一つの吸着部が前記可動
体の観察用貫通穴の両側に配置された２つの吸着部から
なり、前記少なくとも一つの吸引通路は前記ボディから
前記可動体を通って前記吸着部の一方に延びる第１の吸
引通路と、前記ボディから前記可動体を通って前記吸着
部の他方に延びる第２の吸引通路とからなり、該第１の
吸引通路と該第２の吸引通路とは該可動体の中心に関し
て互いに対向し且つ該第１の直線と該第２の直線とが形
成する角度の中心線上に配置されることを特徴とする請
求項５に記載の吸着装置。
【請求項７】前記ボディの穴の内周壁は円筒形状であ
り、前記可動体の外周壁は円筒形状であることを特徴と
する請求項１に記載の吸着装置。
【請求項８】前記ボディはリング状の外周部分と、該
外周部分の直径方向にブリッジ状に延びるブリッジ部分
とを有し、前記ボディの穴は該ブリッジ部分に設けられ
ることを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
【請求項９】前記少なくとも一つの吸着部が前記可動
体の観察用貫通穴の両側に配置された２つの吸着部から
なり、前記少なくとも一つの吸引通路は前記ボディから
前記可動体を通って前記吸着部の一方に延びる第１の吸
引通路と、前記ボディから前記可動体を通って前記吸着
部の他方に延びる第２の吸引通路とからなり、該第１の
吸引通路及び該第２の吸引通路は該ボディにおいては該
ブリッジ部分に設けられることを特徴とする請求項８に
記載の吸着装置。
【請求項１０】前記可動体の観察用貫通穴は該ブリッ
ジ部分に対して垂直方向に長い長円形状をしていること
を特徴とする請求項９に記載の吸着装置。
【請求項１１】さらに該可動体を該ボディに対して固
定的に保持するための電磁保持手段を備えることを特徴
とする請求項１に記載の吸着装置。
【請求項１２】前記ボディを移動させるための移動手
段と、前記少なくとも一つの吸着部に支持される被吸着
物を前記観察用貫通穴を介して観察するための観察手段
とを備えることを特徴とする請求項１に記載の吸着装
置。
【請求項１３】穴を有するボディと、該ボディの穴内
に可動に配置され、少なくとも一つの吸着部及び観察用
貫通穴を有する可動体と、該可動体を該ボディに対して
支持するために該可動体と該ボディとの間に延びる少な
くとも一対のばねと、該ボディから該可動体を通って該
少なくとも一つの吸着部へ延びる少なくとも一つの吸引
通路とからなり、該少なくとも一対のばねは前記可動体
の観察用貫通穴の両側に直線上に配置された少なくとも
２つのばねからなることを特徴とする吸着装置。
【請求項１４】前記少なくとも一対のばねが前記可動
体の観察用貫通穴の両側に第１の直線上に配置された２
つの平行ばねと前記可動体の観察用貫通穴の両側に前記
第１の直線と交差する第２の直線上に配置された２つの
ばねとからなることを特徴とする請求項１３に記載の吸
着装置。