JPH10255657A - Exposure equipment for fluorescent screen formation of color picture tubes - Google Patents

Exposure equipment for fluorescent screen formation of color picture tubes

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Publication number
JPH10255657A
JPH10255657A JP5441797A JP5441797A JPH10255657A JP H10255657 A JPH10255657 A JP H10255657A JP 5441797 A JP5441797 A JP 5441797A JP 5441797 A JP5441797 A JP 5441797A JP H10255657 A JPH10255657 A JP H10255657A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
source unit
light
lenses
phosphor screen
Prior art date
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Pending
Application number
JP5441797A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Ibuki
裕昭 伊吹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP5441797A priority Critical patent/JPH10255657A/en
Publication of JPH10255657A publication Critical patent/JPH10255657A/en
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドットマトリックス型蛍光面のマトリックス
ホールやドット状蛍光体層の形状を良好にすることがで
きるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を構成するこ
とを目的とする。 【解決手段】 パネル1 の内面に形成された感光性蛍光
面形成部材層にシャドウマスク4 の開孔に対応するパタ
ーンを焼付ける長光源21を光源とする光源部22と、この
光源部とシャドウマスクとの間に配置され、光源部から
放射される光の透過方向の厚みに偏りのある傾斜平面を
もつ複数個の傾斜レンズ41a,41b からなる傾斜レンズ群
40と、その傾斜レンズを光源部から放射される光の光軸
を回転中心として独立に回転駆動する駆動部とを備える
構造とした。
[PROBLEMS] To provide an exposure apparatus for forming a phosphor screen of a color picture tube, which can improve the shape of a matrix hole of a dot matrix type phosphor screen and the shape of a dot phosphor layer. . SOLUTION: A light source unit 22 having a long light source 21 as a light source for printing a pattern corresponding to an opening of a shadow mask 4 on a photosensitive phosphor screen forming member layer formed on an inner surface of a panel 1, a light source unit and a shadow. An inclined lens group including a plurality of inclined lenses 41a and 41b, which are arranged between the mask and the inclined plane having a bias in the thickness in the transmission direction of light emitted from the light source unit.
40 and a drive unit that independently drives the tilt lens to rotate about the optical axis of light emitted from the light source unit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、写真印刷法によ
り蛍光面が形成されるカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube in which a fluorescent screen is formed by a photographic printing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にカラー受像管は、図9に示すよう
に、パネル1およびファンネル2からなる外囲器を有
し、そのパネル1の内面に3色蛍光体層からなる蛍光面
3が設けられ、この蛍光面3に対向して、その内側にシ
ャドウマスク4が配置されている。一方、ファンネル2
のネック5内に3電子ビーム6B ,6G ,6R を放出す
る電子銃7が配設されている。そして、この電子銃7か
ら放出される3電子ビーム6B ,6G ,6R をファンネ
ル2の外側に装着された偏向装置8により偏向し、シャ
ドウマスク4を介して蛍光面3を水平、垂直走査するこ
とにより、カラー画像を表示する構造に形成されてい
る。
2. Description of the Related Art In general, a color picture tube has an envelope comprising a panel 1 and a funnel 2, as shown in FIG. 9, and a fluorescent screen 3 comprising a three-color phosphor layer is provided on the inner surface of the panel 1. A shadow mask 4 is arranged inside the fluorescent screen 3 so as to face the fluorescent screen 3. Meanwhile, funnel 2
An electron gun 7 for emitting three electron beams 6B, 6G, 6R is arranged in the neck 5 of the first embodiment. Then, the three electron beams 6B, 6G, 6R emitted from the electron gun 7 are deflected by the deflecting device 8 mounted outside the funnel 2, and the fluorescent screen 3 is scanned horizontally and vertically via the shadow mask 4. Thus, a structure for displaying a color image is formed.

【0003】このようなカラー受像管において、電子銃
7から放出される3電子ビーム6B,6G ,6R を、同
一平面上を通るセンタービームおよび一対のサイドビー
ムからなる一列配置の3電子ビームとしたインライン型
カラー受像管が、現在、カラー受像管の主流となってい
る。
In such a color picture tube, the three electron beams 6B, 6G, 6R emitted from the electron gun 7 are three electron beams arranged in a line consisting of a center beam and a pair of side beams passing on the same plane. In-line color picture tubes are currently the mainstream of color picture tubes.

【0004】通常のインライン型カラー受像管では、上
記シャドウマスク4の開孔は、ブリッジを介して一列状
に配置されたほぼ矩形状の開孔からなり、この開孔に対
応して、蛍光面3の3色蛍光体層は、ストライプ状に形
成されている。しかし情報機器のディスプレイ管として
用いられる高精細インライン型カラー受像管は、シャド
ウマスク4の開孔を円形とし、この開孔に対応して、3
色蛍光体層は、図10に示すように、マトリックスホー
ルを円形とするマトリックス状光吸収層10のマトリッ
クスホールに、ドット状の3色蛍光体層11B ,11G
,11R が埋込まれるように設けられたドットマトリ
ックス型蛍光面3となっている。
In an ordinary in-line type color picture tube, the apertures of the shadow mask 4 are substantially rectangular apertures arranged in a line via a bridge. The three-color phosphor layer 3 is formed in a stripe shape. However, in a high-definition in-line type color picture tube used as a display tube of information equipment, the opening of the shadow mask 4 is circular, and in correspondence with this opening, 3 mm.
As shown in FIG. 10, the color phosphor layers are provided in the matrix holes of the matrix-shaped light-absorbing layer 10 having a circular matrix hole.
, 11R are dot matrix type fluorescent screens 3 provided so as to be embedded.

【0005】従来より上記カラー受像管の蛍光面は、シ
ャドウマスク4をフォトマスクとする写真印刷法により
形成され、特に上記ドットマトリックス型蛍光面3につ
いては、図11(a)ないし(g)に示すように、最初
に光吸収層10を形成し、ついで3色蛍光体層11B ,
11G ,11R を形成する方法で形成されている。
Conventionally, the fluorescent screen of the color picture tube is formed by a photographic printing method using a shadow mask 4 as a photomask. In particular, the dot matrix type fluorescent screen 3 is shown in FIGS. 11 (a) to 11 (g). As shown, first, the light absorption layer 10 is formed, and then the three-color phosphor layers 11B,
It is formed by a method for forming 11G and 11R.

【0006】すなわち、図11(a)に示したように、
まずパネル1の内面に感光剤を塗布してフォトレジスト
13を形成する。ついでこのフォトレジスト13の形成
されたパネル1にシャドウマスク4を装着し、後述する
露光装置を用いて露光し、フォトレジスト13にシャド
ウマスク4の円形開孔14に対応するパターンを焼付け
る。つぎにこのパターンの焼付けられたフォトレジスト
13を現像して未感光部を除去し、同(b)に示すよう
に、ドット状のパターンからなるレジスト15を形成す
る。つぎにそのレジスト15の形成されたパネル1の内
面に光吸収塗料を塗布して、同(c)に示すように、光
吸収塗料層16を形成する。つぎに上記レジスト15上
に塗布された光吸収塗料層16をレジスト膜15ととも
に剥離して、同(d)に示すように、蛍光体ドットを形
成する位置をマトリックスホール17とするマトリック
ス状光吸収層10を形成する。
That is, as shown in FIG.
First, a photosensitive agent is applied to the inner surface of the panel 1 to form a photoresist 13. Then, the shadow mask 4 is mounted on the panel 1 on which the photoresist 13 is formed, and is exposed using an exposure device described later, and a pattern corresponding to the circular opening 14 of the shadow mask 4 is printed on the photoresist 13. Next, the photoresist 13 on which the pattern is baked is developed to remove the unexposed portions, and a resist 15 having a dot pattern is formed as shown in FIG. Next, a light absorbing paint is applied to the inner surface of the panel 1 on which the resist 15 is formed, and a light absorbing paint layer 16 is formed as shown in FIG. Next, the light-absorbing paint layer 16 applied on the resist 15 is peeled off together with the resist film 15, and as shown in FIG. The layer 10 is formed.

【0007】その後、上記光吸収層10の形成されたパ
ネル1の内面に、蛍光体と感光剤を主成分とする感光性
蛍光体スラリを塗布して、同(e)に示すように、感光
性蛍光体スラリ層18を形成する。そしてこの感光性蛍
光体スラリ層18の形成されたパネル1にシャドウマス
ク4を装着し、後述する露光装置を用いて露光し、感光
性蛍光体スラリ層18にシャドウマスク4の円形開孔1
4に対応するパターンを焼付ける。つぎにこのパターン
の焼付けられた感光性蛍光体スラリ層18を現像して未
感光部を除去し、同(f)に示すように、光吸収層10
の所定のマトリックスホールにドット状の蛍光体層、た
とえば青蛍光体層11B を形成する。この青蛍光体層1
1B の形成工程を、緑蛍光体および赤蛍光体について繰
返し、同(g)に示すように、光吸収層10の所定のマ
トリックスホールにドット状の緑蛍光体層11G および
赤蛍光体層11R を形成する。
After that, a photosensitive phosphor slurry containing a phosphor and a photosensitive agent as main components is applied to the inner surface of the panel 1 on which the light absorbing layer 10 is formed, and as shown in FIG. The luminescent phosphor slurry layer 18 is formed. Then, the shadow mask 4 is mounted on the panel 1 on which the photosensitive phosphor slurry layer 18 is formed, and is exposed using an exposure device described later.
The pattern corresponding to No. 4 is printed. Next, the photosensitive phosphor slurry layer 18 on which the pattern is baked is developed to remove the unexposed portions, and as shown in FIG.
A dot-shaped phosphor layer, for example, a blue phosphor layer 11B is formed in a predetermined matrix hole. This blue phosphor layer 1
1B is repeated for the green phosphor and the red phosphor, and the green phosphor layer 11G and the red phosphor layer 11R in the form of dots are formed in predetermined matrix holes of the light absorbing layer 10 as shown in FIG. Form.

【0008】上記フォトレジスト13および感光性蛍光
体スラリ層18などにシャドウマスク4の円形開孔14
に対応するパターンを焼付けるときに用いられる露光装
置は、図12(a)に示すように、パネル1を位置決め
支持する支持台20の下部に、この支持台20に位置決
め支持されたパネル1に対して、カラー受像管の電子銃
から放出される一列配置の3電子ビームに対応する位置
に移動可能に直管状の超高圧水銀ランプなどの長光源2
1を光源とする光源部22が設けられ、この光源部22
上に、光源部22から放射される光23の軌道を電子銃
から放出される電子ビームの軌道に近似させる一対のサ
イドビーム対応のΔS補正レンズ24、偏向中心の移動
にともなう補正をおこなうγ−ΔP補正レンズ25、パ
ネル1の内面に対する光量分布を補正する補正フィルタ
ー26などが配置されている。これらΔS補正レンズ2
4、γ−ΔP補正レンズ25および補正フィルター26
は、光源部22との相対位置を保ったまま、光源部22
とともに移動される。
The circular openings 14 of the shadow mask 4 are formed in the photoresist 13 and the photosensitive phosphor slurry layer 18 and the like.
As shown in FIG. 12 (a), an exposure apparatus used when printing a pattern corresponding to the following pattern is provided below the support table 20 for positioning and supporting the panel 1 and on the panel 1 positioned and supported by the support table 20. On the other hand, a long light source 2 such as a straight tube ultra-high pressure mercury lamp movably to a position corresponding to three electron beams arranged in a row and emitted from an electron gun of a color picture tube.
1 is provided as a light source.
Above, a pair of side beam-corresponding ΔS correction lenses 24 for approximating the trajectory of the light 23 emitted from the light source unit 22 to the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun, and γ− for performing the correction accompanying the movement of the deflection center A ΔP correction lens 25, a correction filter 26 for correcting the light amount distribution on the inner surface of the panel 1, and the like are arranged. These ΔS correction lenses 2
4. γ-ΔP correction lens 25 and correction filter 26
Is the light source unit 22 while maintaining the relative position with respect to the light source unit 22.
It is moved with.

【0009】このような露光装置によりパネル1の内面
に形成されたフォトレジストや感光性蛍光体スラリ層な
ど感光性蛍光面形成部材層27にシャドウマスク4の開
孔に対応するパターンを焼付けて、マトリックス状光吸
収層やドット状3色蛍光体層を形成する場合、その光吸
収層のマトリックスホールや3色蛍光体層の形状、大き
さは、光源の形状、光源部22からの光量、各光学部材
の配置、露光時間などにより支配される。特に蛍光面が
ドットマトリックス型であるカラー受像管においては、
電子ビームのランディンク余裕度を大きくして、色純度
を調整しやすいカラー受像管とするためには、その光吸
収層のマトリックスホールを真円にすることが望まれ
る。
A pattern corresponding to the opening of the shadow mask 4 is printed on the photosensitive phosphor screen forming member layer 27 such as a photoresist or a photosensitive phosphor slurry layer formed on the inner surface of the panel 1 by such an exposure apparatus. When a matrix light absorbing layer or a dot-shaped three-color phosphor layer is formed, the shape and size of the matrix hole and the three-color phosphor layer of the light absorbing layer are determined by the shape of the light source, the amount of light from the light source unit 22, It is governed by the arrangement of the optical members, the exposure time, and the like. Especially in a color picture tube whose phosphor screen is a dot matrix type,
In order to increase the landing margin of the electron beam and to obtain a color picture tube in which the color purity can be easily adjusted, it is desired that the matrix hole of the light absorbing layer be a perfect circle.

【0010】そのため、上記露光装置では、図12
(b)に示したように、直管状の超高圧水銀ランプなど
の長光源21に接近して、スリット状開口28を有する
カバー29が設けられ、このカバー29に設けられたス
リット状開口28により,実質的に光源の大きさを規制
するものとなっている。
[0010] Therefore, in the above exposure apparatus, FIG.
As shown in (b), a cover 29 having a slit-shaped opening 28 is provided near the long light source 21 such as a straight tube ultra-high pressure mercury lamp, and the slit-shaped opening 28 provided in the cover 29 , Which substantially regulates the size of the light source.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、情報機
器のディスプレイ管として用いられる高精細インライン
型カラー受像管の蛍光面は、マトリックス状光吸収層の
円形マトリックスホールにドット状3色蛍光体層が埋込
まれるように設けられたドットマトリックス型蛍光面と
なっている。このドットマトリックス型蛍光面は、シャ
ドウマスクをフォトマスクとする写真印刷法により、最
初に光吸収層を形成し、ついで3色蛍光体層を形成する
方法で形成される。
As described above, the fluorescent surface of a high-definition in-line type color picture tube used as a display tube of an information device has a dot-shaped three-color phosphor in a circular matrix hole of a matrix-shaped light absorbing layer. It is a dot matrix type fluorescent screen provided so that the layer is embedded. The dot matrix type phosphor screen is formed by forming a light absorbing layer first and then forming a three-color phosphor layer by a photo printing method using a shadow mask as a photo mask.

【0012】したがって上記カラー受像管において、電
子ビームのランディンク余裕度を大きくして、色純度を
調整しやすくするためには、光吸収層のマトリックスホ
ールを真円にすることが望まれる。そのためには、図1
3に示すように、パネルの内面に形成されたフォトレジ
ストにシャドウマスクの開孔に対応するパターンの焼付
けに用いられる露光装置の長光源21からなる光源の大
きさを実質的に規制するカバー29のスリット状開口2
8の幅w(長光源長手方向の開口径)を長光源の内径d
とほぼ等しくする必要がある。しかしこのようにカバー
29のスリット状開口28の幅wを長光源21の内径d
とほぼ等しくすると、大型カラー受像管のように、光源
部からパネル内面までの距離が大きくなる場合には、フ
ォトレジストにシャドウマスクの開孔に対応するパター
ンの焼付ける露光光量が不足する。
Therefore, in the above color picture tube, it is desirable to make the matrix hole of the light absorbing layer a perfect circle in order to increase the landing margin of the electron beam and easily adjust the color purity. For that, Figure 1
As shown in FIG. 3, a cover 29 for substantially restricting the size of the light source composed of the long light source 21 of the exposure device used for printing a pattern corresponding to the opening of the shadow mask on the photoresist formed on the inner surface of the panel. Slit opening 2
8 (the opening diameter in the longitudinal direction of the long light source) to the inside diameter d of the long light source.
Should be approximately equal to However, as described above, the width w of the slit-shaped opening 28 of the cover 29 is
When the distance from the light source unit to the inner surface of the panel becomes large, as in a large color picture tube, the amount of exposure light for printing a pattern corresponding to the opening of the shadow mask in the photoresist becomes insufficient.

【0013】この露光光量の不足を解消するためには、
光源の入力電圧を高くすればよいが、その入力電圧には
限界がある。また光源の寿命が短くなる。また、露光時
間を長くすることでも、露光光量の不足を解消できる
が、このような方法は、生産効率を低下させる。また長
光源の内径を大きくして放射光量を増やすことにより、
露光光量の不足を解消できるが、この場合、長光源のガ
ラス外囲器の強度を保つために、外径も大きくする必要
がある。そのため、光源からカバーのスリット状開口間
での距離が変化し、シャドウマスクの開孔に対して、光
吸収層のマトリックスホールや3色蛍光体層の位置がず
れる。またカバーのスリット状開口の幅を広くすること
でも、露光光量の不足を解消できるが、図14に示すよ
うに、スリット状開口28の幅wを広くすると、光吸収
層のマトリックスホール17が長光源の中心軸方向を長
径とする楕円状となり、ランディンク余裕度が小さくな
る。
In order to solve the shortage of the exposure light quantity,
The input voltage of the light source may be increased, but there is a limit to the input voltage. In addition, the life of the light source is shortened. In addition, by increasing the exposure time, the shortage of the exposure light amount can be solved, but such a method reduces the production efficiency. Also, by increasing the inner diameter of the long light source to increase the amount of radiation,
Insufficient light exposure can be solved, but in this case, the outer diameter needs to be increased in order to maintain the strength of the glass envelope of the long light source. Therefore, the distance between the light source and the slit-shaped opening of the cover changes, and the positions of the matrix holes of the light absorbing layer and the three-color phosphor layer are shifted with respect to the openings of the shadow mask. Also, by increasing the width of the slit-shaped opening of the cover, the shortage of the exposure light quantity can be solved, but as shown in FIG. 14, when the width w of the slit-shaped opening 28 is increased, the matrix hole 17 of the light absorbing layer becomes longer. The light source has an elliptical shape whose major axis is in the center axis direction, and the landing margin is reduced.

【0014】また他の方法として、特開平7−2352
71号公報には、スリット状開口の幅を広くし、光源部
を長光源の中心軸と直交する方向に振動させる方法が示
されている。しかしこのように光源部を振動させると、
光源の原点位置がずれやすく、ランディンクがずれるお
それがある。また図15(a)に示すように、シャドウ
マスクの開孔を介してパネル内面に投影される光源像3
1が長光源の中心軸と直交する方向の振動により、図1
4に示した光吸収層のマトリックスホールの楕円化は補
正されるが、図15(b)に示すように、マトリックス
ホール17が角張るようになる。
Another method is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-2352.
No. 71 discloses a method in which the width of the slit-shaped opening is widened and the light source unit is vibrated in a direction orthogonal to the central axis of the long light source. However, when the light source is vibrated in this way,
The origin position of the light source is likely to shift, and the landing may be shifted. Further, as shown in FIG. 15A, the light source image 3 projected on the inner surface of the panel through the opening of the shadow mask
1 is caused by vibration in a direction perpendicular to the central axis of the long light source,
Although the ellipticity of the matrix holes in the light absorbing layer shown in FIG. 4 is corrected, the matrix holes 17 become angular as shown in FIG.

【0015】この発明は、上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、ドットマトリックス型蛍光面のマトリック
スホールやドット状蛍光体層の形状を良好にすることが
できるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を構成する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is intended for forming a phosphor screen of a color picture tube in which a matrix hole of a dot matrix type phosphor screen and a shape of a dot phosphor layer can be improved. An object of the present invention is to configure an exposure apparatus.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】カラー受像管の蛍光面形
成用露光装置を、パネルの内面に形成された感光性蛍光
面形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して
配置されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを
焼付ける光を放射する長光源を光源とする光源部と、こ
の光源部とシャドウマスクとの間に配置され、光源部か
ら感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の透過方
向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ複数個の傾斜レン
ズからなる傾斜レンズ群と、その複数個の傾斜レンズを
光源部から感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光
の光軸を回転中心としてそれぞれ独立に回転駆動する駆
動部とを備える構造とした。
An exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube is disposed on a photosensitive fluorescent screen forming member layer formed on the inner surface of a panel so as to face the photosensitive fluorescent screen forming member layer. A light source unit having a long light source for emitting light for printing a pattern corresponding to the opening of the shadow mask, and a light-emitting phosphor layer forming member layer disposed between the light source unit and the shadow mask; Lens group consisting of a plurality of inclined lenses having an inclined plane with a bias in the thickness of the light emitted in the transmission direction, and the plurality of inclined lenses are moved from the light source unit toward the photosensitive phosphor screen forming member layer. And a drive unit that independently drives the rotation about the optical axis of the emitted light.

【0017】また、傾斜レンズ群を、傾斜平面の傾斜角
がほぼ同じでありかつこの傾斜平面が向い合うように同
軸に重ねられた2個の傾斜ンズで構成し、これら傾斜ン
ズを長光源の中心軸と直交する方向で厚みの厚い部分が
一致するように等速逆回転駆動する駆動部を有する構成
とした。
Further, the inclined lens group is composed of two inclined lenses which are coaxially stacked so that the inclined planes have substantially the same inclination angle and face each other, and these inclined lenses are used as a long light source. The drive unit is configured to have a drive unit that performs reverse rotation at a constant speed so that thick portions match in a direction perpendicular to the central axis.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0019】図1にその一形態であるインライン型カラ
ー受像管のドットマトリックス型蛍光面の形成に用いら
れる露光装置を示す。この露光装置は、パネル1を位置
決め支持する支持台20を有し、この支持台20の下部
に、支持台20に位置決め支持されたパネル1に対し
て、カラー受像管の電子銃から放出される同一水平面上
を通るセンタービームおよび一対のサイドビームからな
る一列配置の3電子ビームに対応する位置に移動可能に
光源部22が設けられている。この光源部22は、直管
状の超高圧水銀ランプなどの長光源21を光源とし、こ
の長光源21がその中心軸(管軸)を水平方向として配
置されている。さらにこの長光源21に接近して、実質
的に光源の大きさを規制するスリット状開口28が設け
られたカバー29が配置されている。またこの光源部2
2上に後述する傾斜レンズ群40が配置されている。さ
らにこの傾斜レンズ群40上に、光源部22から放射さ
れる光23の軌道を電子銃から放出される電子ビームの
軌道に近似させる一対のサイドビーム対応のΔS補正レ
ンズ24、偏向中心の移動にともなう補正をおこなうγ
−ΔP補正レンズ25、パネル1の内面に対する光量分
布を補正する補正フィルター26などが配置されてい
る。これら傾斜レンズ群40、ΔS補正レンズ24、γ
−ΔP補正レンズ25および補正フィルター26は、図
示しない機構により、上記光源部22との相対位置を保
ったまま、光源部22とともに移動される。
FIG. 1 shows an exposure apparatus used for forming a dot matrix type fluorescent screen of an in-line type color picture tube which is one embodiment of the present invention. This exposure apparatus has a support table 20 for positioning and supporting the panel 1, and below the support table 20, the panel 1 positioned and supported by the support table 20 is emitted from an electron gun of a color picture tube. A light source unit 22 is provided movably at a position corresponding to three electron beams arranged in a row, which includes a center beam and a pair of side beams passing on the same horizontal plane. The light source unit 22 uses a long light source 21 such as a straight tube ultra-high pressure mercury lamp as a light source, and the long light source 21 is disposed with its central axis (tube axis) being horizontal. Further, a cover 29 provided with a slit-like opening 28 for substantially regulating the size of the light source is arranged near the long light source 21. Also, this light source unit 2
A tilt lens group 40 to be described later is arranged on 2. Further, on the inclined lens group 40, a pair of side beam-corresponding ΔS correction lenses 24 for approximating the trajectory of the light 23 emitted from the light source unit 22 to the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun, and moving the deflection center. Γ to perform the accompanying correction
A -ΔP correction lens 25, a correction filter 26 for correcting the light amount distribution on the inner surface of the panel 1, and the like are arranged. These tilt lens group 40, ΔS correction lens 24, γ
The −ΔP correction lens 25 and the correction filter 26 are moved together with the light source unit 22 by a mechanism (not shown) while maintaining the relative position with respect to the light source unit 22.

【0020】上記傾斜レンズ群40は、長光源21から
カバー29のスリット状開口28を介して放射される光
23の透過方向の厚みに偏りがある傾斜平面をもち、こ
の傾斜平面が向い合うように同軸に配置された2個の傾
斜レンズ41a ,41b からなる。これら傾斜レンズ4
1a ,41b は、上記長光源21からカバー29のスリ
ット状開口28を介して放射される光23の光軸Zl を
回転中心として、等速度で逆方向、かつ長光源21の中
心軸(水平方向)と直交する垂直方向で厚みの厚い部分
が重なるように回転駆動されるものとなっている。
The inclined lens group 40 has an inclined plane in which the thickness of the light 23 radiated from the long light source 21 through the slit-shaped opening 28 of the cover 29 in the transmission direction is biased, and the inclined planes face each other. And two inclined lenses 41a and 41b coaxially arranged. These tilt lenses 4
Reference numerals 1a and 41b denote directions of rotation of the optical axis Zl of the light 23 emitted from the long light source 21 through the slit-shaped opening 28 of the cover 29 at a constant speed in the opposite direction and at the center axis of the long light source 21 (horizontal direction). ) Are driven to rotate so that thick portions overlap in the vertical direction perpendicular to ()).

【0021】図2にこの傾斜レンズ群40の駆動機構を
示す。この駆動機構では、傾斜レンズ41a ,41b
は、それぞれ環状の支持枠43a ,43b に支持され、
これら支持枠43a ,43b の外周にそれぞれ独立に取
付けられた環状歯車44a ,44b と、駆動装置45の
回転主軸に取付けられて、傾斜レンズ41b を支持する
支持枠43b に取付けられた環状歯車44b と噛合する
歯車46と、両環状歯車44a ,44b と噛合し、歯車
46および環状歯車44b を介して伝達される回転駆動
力を環状歯車44a に伝達する歯車47とから構成され
ている。この駆動機構によれば、歯車46を一方向に回
転する回転駆動力のみにより、各傾斜レンズ41a ,4
1b を等速度で逆方向に回転させることができ、あらか
じめ両傾斜レンズ41a ,41b の厚みの厚い部分を一
致させ、これら傾斜レンズ41a ,41b の厚い部分を
長光源の中心軸と直交する垂直方向に位置決めすること
により、長光源の中心軸と直交する垂直方向で厚みの厚
い部分が重なるように回転駆動することができる。
FIG. 2 shows a drive mechanism of the tilt lens group 40. In this drive mechanism, the tilt lenses 41a, 41b
Are respectively supported by annular support frames 43a and 43b,
Annular gears 44a, 44b independently mounted on the outer circumferences of these support frames 43a, 43b, and an annular gear 44b mounted on the support frame 43b mounted on the rotating main shaft of the driving device 45 and supporting the inclined lens 41b. The gear 46 is configured to mesh with the gear 46 and a gear 47 that meshes with the two annular gears 44a and 44b and transmits the rotational driving force transmitted through the gear 46 and the annular gear 44b to the annular gear 44a. According to this driving mechanism, each of the inclined lenses 41a, 41a, 4 is driven only by the rotational driving force for rotating the gear 46 in one direction.
1b can be rotated in the opposite direction at a constant speed. The thick portions of the two inclined lenses 41a, 41b are matched in advance, and the thick portions of the inclined lenses 41a, 41b are aligned in the vertical direction perpendicular to the central axis of the long light source. , It is possible to rotate the light source so that thick portions overlap in the vertical direction perpendicular to the central axis of the long light source.

【0022】上記のように傾斜平面が対向するように同
軸に配置された2個の傾斜レンズ41a ,41b からな
る傾斜レンズ群40を光源部22上に配置し、この2個
の傾斜レンズ41a ,41b を、光源部22からカバー
29のスリット状開口28を介して放射される光23の
光軸Zl を回転中心として、等速度で逆方向、かつ長光
源21の中心軸と直交する垂直方向で厚みの厚い部分が
重なるように回転すると、実質的に光源の大きさを規制
するカバー29のスリット状開口28の幅を広くして、
光源部22から放射される光量を多くしても、パネル1
の内面に形成されたフォトレジスト13に焼付けられる
シャドウマスク4の開孔に対応するパターンの形状を改
善でき、形成されるマトリックス状光吸収層のマトリッ
クスホールを真円にすることができる。また光源部22
から放射される光量の増加により、露光時間を短くする
ことができる。
As described above, the inclined lens group 40 including the two inclined lenses 41a and 41b coaxially arranged so that the inclined planes face each other is arranged on the light source section 22, and the two inclined lenses 41a and 41b are arranged. 41b, the light 23 emitted from the light source unit 22 through the slit-shaped opening 28 of the cover 29 is rotated around the optical axis Zl of the light 23 in the opposite direction at a constant speed and in the vertical direction perpendicular to the central axis of the long light source 21. When the thick portions are rotated so as to overlap, the width of the slit-shaped opening 28 of the cover 29 that substantially regulates the size of the light source is increased,
Even if the amount of light emitted from the light source unit 22 is increased, the panel 1
The shape of the pattern corresponding to the opening of the shadow mask 4 to be baked on the photoresist 13 formed on the inner surface of the substrate can be improved, and the matrix hole of the formed matrix-like light absorbing layer can be made a perfect circle. The light source unit 22
Exposure time can be shortened by increasing the amount of light emitted from the.

【0023】すなわち、図3(a)に示したように、光
源部22上に厚さ一定の透明平板48を配置した場合
は、光源部22からカバーのスリット状開口を介して放
射される光の光軸Zl に対して垂直方向に一定角度で放
射され、シャドウマスク4の開孔14を通ってパネル1
の内面に達する光23は、点49a ,49b で示したよ
うに、光軸Zl に対してパネル1内面の対称位置に達す
る。
That is, as shown in FIG. 3A, when a transparent plate 48 having a constant thickness is disposed on the light source unit 22, light emitted from the light source unit 22 through the slit-shaped opening of the cover is provided. Is radiated at a constant angle perpendicular to the optical axis Zl of the panel 1 through the aperture 14 of the shadow mask 4.
Reaches the inner surface of the panel 1 with respect to the optical axis Zl, as indicated by points 49a and 49b.

【0024】これに対して、図3(b)に示したよう
に、光源部22上に傾斜レンズ41の厚みの厚い部分を
−垂直方向(−V軸方向)にして配置すると、シャドウ
マスク4の同一開孔14を通ってパネル1の内面に達す
る光23は、傾斜レンズ41の厚みの厚い部分側では、
点49a から点49c と、垂直方向外側にシフトし、薄
い部分側では、点49b から点49d と、垂直方向内側
にシフトする。またこの傾斜レンズ41の向きを逆にし
て、同(c)に示したように、傾斜レンズ41の厚みの
厚い部分を+垂直方向にすると、同様に傾斜レンズ41
の厚みの厚い部分側では、点49b から点49d と、垂
直方向外側にシフトし、薄い部分側では、点49a から
点49c と、垂直方向内側にシフトする。つまり、傾斜
レンズ41の向きを交互に逆にすることにより、光源部
を動かすことなく、シャドウマスク4の同一開孔14を
通ってパネル1の内面に達する光の到達点を垂直方向に
揺動させることができる。
On the other hand, as shown in FIG. 3B, when the thick portion of the inclined lens 41 is arranged on the light source section 22 in the -vertical direction (-V axis direction), the shadow mask 4 The light 23 that reaches the inner surface of the panel 1 through the same opening 14 of
The point 49a shifts from the point 49c to the outside in the vertical direction, and on the thinner side, the point 49b shifts from the point 49d to the point in the vertical direction. When the direction of the tilt lens 41 is reversed and the thick portion of the tilt lens 41 is set in the + vertical direction as shown in FIG.
On the side of the thick part, the point shifts from the point 49b to the point 49d in the vertical direction outward, and on the side of the thin part, the point 49a shifts from the point 49a to the point 49c in the vertical direction inside. That is, by alternately reversing the direction of the inclined lens 41, the arrival point of light reaching the inner surface of the panel 1 through the same opening 14 of the shadow mask 4 is vertically swung without moving the light source unit. Can be done.

【0025】したがって上記傾斜レンズ41を光源部2
2からカバーのスリット状開口を介して放射される光の
光軸Zl を回転中心として回転させると、常に傾斜レン
ズ41の厚みの厚い部分が光軸Zl を中心とする放射方
向に位置し、パネル1の内面への光の到達点は、図4に
示すように、中心部では円軌道50C 、垂直軸端部では
垂直方向を長径とする楕円状軌道50V 、水平軸(H
軸)端部では水平方向を長径とする楕円状軌道50H 、
対角軸(D軸)端部では対角軸方向を長径とする楕円状
軌道50D を描く。
Therefore, the tilt lens 41 is connected to the light source 2
2 is rotated about the optical axis Zl of the light radiated through the slit-shaped opening of the cover, the thick portion of the inclined lens 41 is always located in the radial direction centered on the optical axis Zl. As shown in FIG. 4, the light reaches the inner surface of the first orbit 1 at a center in a circular orbit 50C, at an end of a vertical axis at an elliptical orbit 50V having a major axis in the vertical direction, and at a horizontal axis (H
Axis) At the end, an elliptical orbit 50H whose major axis is in the horizontal direction,
At the end of the diagonal axis (D axis), an elliptical orbit 50D having a major axis in the diagonal axis direction is drawn.

【0026】そこで、光源部のカバーのスリット状開口
の幅を広くして、パネルの内面に形成されたフォトレジ
ストをシャドウマスクを介して露光すると、図5に示す
ように、得られるマトリックス状光吸収層のマトリック
スホール17は、垂直軸端部では補正できても、中心部
では水平方向を長径とする楕円状、対角軸端部では対角
軸方向を長径とする楕円状となり、水平軸端部では水平
方向を長径とする楕円状が助長され、蛍光面全面にわた
り、マトリックスホール17を真円化することはできな
い。
Therefore, when the width of the slit-shaped opening of the cover of the light source section is widened and the photoresist formed on the inner surface of the panel is exposed through a shadow mask, as shown in FIG. The matrix hole 17 of the absorbing layer has an elliptical shape whose major axis is in the horizontal direction at the center, and has an elliptical shape whose major axis is in the diagonal axis direction at the diagonal axis end, even if it can be corrected at the vertical axis end. At the end, an ellipse whose major axis is in the horizontal direction is promoted, and the matrix hole 17 cannot be made into a perfect circle over the entire phosphor screen.

【0027】ところが、前記のように2個の傾斜レンズ
を傾斜面を向い合わせ、かつ厚みの厚い部分を一致さ
せ、この厚みの厚い部分を垂直方向として配置し、これ
ら傾斜レンズを光源部からカバーのスリット状開口を介
して放射される光の光軸Zl を回転中心として等速度で
逆方向に回転させると、図6(a)ないし(d)に1/
4周期(90°回転)ごとの相対関係を示したように、
2個の傾斜レンズ41a,41b の相対関係が変化す
る。この2個の傾斜レンズ41a ,41b の相対関係
を、1枚の等価な傾斜レンズで置換えて示すと、図7
(a)ないし(d)に示す状態となる。すなわち、1枚
の等価な傾斜レンズ41で示すと、2個の傾斜レンズ4
1a ,41b の厚みの厚い部分が逆向きとなって、等価
な平板レンズとなる状態から厚みの厚い部分が重なっ
て、1枚の等価な傾斜レンズ41の傾斜面の傾斜角が最
大となる状態まで連続的に変化する。なお、光軸と交わ
る部分では、厚みがすべて等しくなっている。
However, as described above, the two inclined lenses face the inclined surfaces, and the thick portions are made to coincide with each other, and the thick portions are arranged in the vertical direction. 6 (a) through 6 (d), when the optical axis Zl of the light emitted through the slit-shaped aperture is rotated in the opposite direction at a constant speed around the rotation center.
As shown the relative relationship every four cycles (90 ° rotation),
The relative relationship between the two inclined lenses 41a and 41b changes. FIG. 7 shows the relative relationship between the two inclined lenses 41a and 41b replaced by one equivalent inclined lens.
The state shown in (a) to (d) is obtained. In other words, when shown by one equivalent tilt lens 41, two tilt lenses 4
The thick portions of 1a and 41b are turned in the opposite direction and become equivalent plate lenses, and the thick portions overlap and the inclination angle of the inclined surface of one equivalent inclined lens 41 becomes maximum. It changes continuously until. Note that the thicknesses are all equal at a portion intersecting the optical axis.

【0028】つまり、2個の傾斜レンズ41a ,41b
を傾斜面を向い合わせ、かつ厚みの厚い部分を一致さ
せ、この厚みの厚い部分を垂直方向として配置し、これ
ら傾斜レンズ41a ,41b を光源部22からカバ29
ーのスリット状開口28を介して放射される光23の光
軸Zl を回転中心として等速度で逆方向に回転させる
と、1/4周期ごとに、フラット→最大傾斜が+垂直方
向→フラット→最大傾斜が−垂直方向となる1枚の等価
な傾斜レンズ41とすることができる。
That is, the two inclined lenses 41a and 41b
The slanted lenses 41a and 41b are moved from the light source 22 to the cover 29 so that the slanted surfaces 41a and 41b
When the light 23 radiated through the slit-like opening 28 is rotated in the opposite direction at a constant speed around the optical axis Zl of the light 23, the flat → maximum inclination is + vertical → flat → One equivalent tilt lens 41 having the maximum tilt in the negative direction can be obtained.

【0029】その結果、図8に示すように、シャドウマ
スクの開孔を介してパネルの内面に投影される光源像の
軌跡52は、中心部、垂直、水平軸端部では垂直方向に
シフトし、延びた瓢箪形となり、対角軸端部では対角軸
と直交する方向に延びた瓢箪形となる。なお、図中の矢
印は、上側の傾斜レンズ41a が時計まわりで、下側の
傾斜レンズ41b が反時計まわりの場合を示している。
このように光源像の軌跡52が水平方向にくらべ垂直方
向の変位が大きく、かつ水平方向にも揺動しているの
で、実質的に光源の大きさを規制するカバー29のスリ
ット状開口28の幅を広くして、光源部22から放射さ
れる光量を多くしても、パネル1の内面に形成されたフ
ォトレジストに焼付けられるシャドウマスクの開孔に対
応するパターンの形状を改善して、形成されるマトリッ
クス状光吸収層10のマトリックスホール17を真円に
することができる。また光源部22から放射される光量
の増加により、露光時間を短くすることができる。
As a result, as shown in FIG. 8, the trajectory 52 of the light source image projected on the inner surface of the panel through the opening of the shadow mask shifts in the vertical direction at the center, the vertical, and the end of the horizontal axis. At the end of the diagonal axis, it becomes a gourd shape extending in a direction perpendicular to the diagonal axis. The arrows in the figure indicate the case where the upper inclined lens 41a is clockwise and the lower inclined lens 41b is counterclockwise.
Since the trajectory 52 of the light source image has a larger vertical displacement than the horizontal direction and swings in the horizontal direction as well, the slit-shaped opening 28 of the cover 29 that substantially regulates the size of the light source is formed. Even if the width is increased and the amount of light radiated from the light source unit 22 is increased, the shape of the pattern corresponding to the opening of the shadow mask to be printed on the photoresist formed on the inner surface of the panel 1 is improved and formed. The matrix holes 17 of the matrix-shaped light absorbing layer 10 to be formed can be made a perfect circle. Further, the exposure time can be shortened by increasing the amount of light emitted from the light source unit 22.

【0030】なお、上記実施の形態では、マトリックス
状光吸収層のマトリックスホールを形成する場合につい
て説明したが、この発明は、ドット状蛍光体層を形成す
る場合に適用して、同様の効果が得られる。
In the above embodiment, the case where the matrix holes are formed in the matrix light absorbing layer has been described. However, the present invention is applied to the case where the dot phosphor layer is formed, and the same effect is obtained. can get.

【0031】[0031]

【発明の効果】カラー受像管の蛍光面形成用露光装置
を、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層
にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配置されたシ
ャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける光を
放射する長光源を光源とする光源部と、この光源部とシ
ャドウマスクとの間に配置され、光源部から感光性蛍光
面形成部材層方向に放射される光の透過方向の厚みに偏
りのある傾斜平面をもつ複数個の傾斜レンズからなる傾
斜レンズ群と、その複数個の傾斜レンズを光源部から感
光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の光軸を回転
中心としてそれぞれ独立に回転駆動する駆動部とを備え
る構造とし、また、その傾斜レンズ群を、傾斜平面の傾
斜角をほぼ同じとしかつこの傾斜平面が向い合うように
同軸に重ねられた2個の傾斜レンズで構成し、これら傾
斜レンズを長光源の中心軸と直交する方向で厚みの厚い
部分が一致するように等速逆回転駆動する駆動部を有す
る構成とすると、実質的に光源の大きさを規制するカバ
ーのスリット状開口の幅を広くして、光源部から放射さ
れる光量を多くしても、マトリックス状光吸収層のマト
リックスホールやドット状蛍光体層を真円にすることが
できる。また光源部から放射される光量の増加により、
露光時間を短くすることができる。
According to the present invention, an exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube is mounted on a photosensitive fluorescent screen forming member layer formed on the inner surface of a panel by using a shadow mask disposed opposite to the photosensitive fluorescent screen forming member layer. A light source unit having a long light source that emits light for printing a pattern corresponding to the opening, and a light source unit disposed between the light source unit and the shadow mask, and emitted from the light source unit toward the photosensitive phosphor screen forming member layer. Lens group consisting of a plurality of inclined lenses having inclined planes that are deviated in thickness in the direction of light transmission, and light emitted from the light source unit toward the photosensitive phosphor screen forming member layer from the plurality of inclined lenses. And a drive unit that rotates independently around the optical axis of the optical axis, and the inclined lens groups are coaxially stacked such that the inclined planes have substantially the same inclination angle and the inclined planes face each other. Done 2 If the tilt lens is configured to have a driving unit that performs reverse rotation at a constant speed so that the thicker portions in the direction perpendicular to the central axis of the long light source coincide with each other, the size of the light source is substantially increased. Even if the width of the slit-shaped opening of the cover that regulates the height is increased and the amount of light emitted from the light source unit is increased, the matrix holes and the dot-shaped phosphor layer of the matrix-shaped light absorbing layer can be made a perfect circle. it can. Also, due to the increase in the amount of light emitted from the light source,
Exposure time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の一形態であるインライン型カ
ラー受像管の蛍光面形成用露光装置の構成を示す図であ
る。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an exposure apparatus for forming a fluorescent screen of an in-line type color picture tube according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2(a)はその傾斜レンズの駆動機構の構成
を示す斜視図、図2(b)は同じくその断面図である。
FIG. 2A is a perspective view showing a configuration of a drive mechanism of the tilt lens, and FIG. 2B is a cross-sectional view thereof.

【図3】図3(a)ないし(c)はそれぞれ上記傾斜レ
ンズの作用を説明するための図である。
FIGS. 3A to 3C are diagrams for explaining the operation of the tilt lens.

【図4】上記傾斜レンズを光源部から放射される光の光
軸を回転中心として回転させた場合のパネル内面での光
の到達点の軌跡を説明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining a trajectory of an arrival point of light on the inner surface of the panel when the tilt lens is rotated around an optical axis of light emitted from a light source unit as a rotation center.

【図5】上記傾斜レンズを光源部から放射される光の光
軸を回転中心として回転し、かつ光源部のカバーのスリ
ット状開口の幅を広くした場合に得られるマトリックス
状光吸収層のマトリックスホールの形状を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram illustrating a matrix of a matrix-shaped light absorbing layer obtained when the tilted lens is rotated about the optical axis of light emitted from the light source unit and the width of the slit-shaped opening of the cover of the light source unit is increased. It is a figure showing the shape of a hole.

【図6】図6(a)ないし(d)はそれぞれ2個の傾斜
レンズを傾斜面を向い合わせ、かつ厚みの厚い部分を一
致させ、光源部から放射される光の光軸を回転中心とし
て等速度で逆方向に回転した場合の2個の傾斜レンズの
相対関係を示す図である。
FIGS. 6 (a) to 6 (d) show two inclined lenses, each having an inclined surface facing each other, and having thick portions coincident with each other, with the optical axis of the light emitted from the light source unit as the center of rotation. It is a figure which shows the relative relationship of two inclination lenses when rotating in the opposite direction at a constant speed.

【図7】図7(a)ないし(d)はそれぞれ図6に示し
た2個の傾斜レンズを1個の等価な傾斜レンズで置換え
た場合の傾斜レンズの状態を示す図である。
7 (a) to 7 (d) are views showing states of the tilted lenses when the two tilted lenses shown in FIG. 6 are replaced by one equivalent tilted lens, respectively.

【図8】上記2個の傾斜レンズを傾斜面を向い合わせか
つ厚みの厚い部分を一致させ、光源部から放射される光
の光軸を回転中心として等速度で逆方向に回転した場合
のパネル内面での光源像の揺動を説明するための図であ
る。
FIG. 8 is a panel in which the two inclined lenses are rotated in the opposite direction at a constant speed around the optical axis of light emitted from the light source unit, with the inclined surfaces facing each other and the thick portions thereof being matched. It is a figure for explaining rocking | fluctuation of a light source image on an inner surface.

【図9】カラー受像管の構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a color picture tube.

【図10】図10(a)はドットマトリックス型蛍光面
の構成を示す平面図、図10(b)は断面図である。
FIG. 10A is a plan view showing a configuration of a dot matrix type fluorescent screen, and FIG. 10B is a sectional view.

【図11】図11(a)ないし(g)はそれぞれ上記ド
ットマトリックス型蛍光面の形成方法を説明するための
図である。
FIGS. 11A to 11G are diagrams for explaining a method of forming the dot matrix type fluorescent screen.

【図12】図12(a)は上記ドットマトリックス型蛍
光面の形成に用いられる従来の露光装置の構成を示す
図、図12(b)はその光源部の構成を示す図である。
FIG. 12A is a diagram showing a configuration of a conventional exposure apparatus used for forming the dot matrix type fluorescent screen, and FIG. 12B is a diagram showing a configuration of a light source unit thereof.

【図13】上記露光装置の光源部を構成するカバーのス
リット状開口の幅を説明するための図である。
FIG. 13 is a view for explaining the width of a slit-shaped opening of a cover constituting a light source unit of the exposure apparatus.

【図14】図14(a)および(b)はそれぞれ上記光
源部を構成するカバーのスリット状開口の幅と光吸収層
のマトリックスホールの形状との関係を説明するための
図である。
FIGS. 14A and 14B are diagrams for explaining the relationship between the width of a slit-shaped opening of a cover constituting the light source unit and the shape of a matrix hole of a light absorbing layer.

【図15】図15(a)は光源部を構成するカバーのス
リット状開口の幅を広くし、かつ光源部を長光源の中心
軸と直交する方向に振動させた場合の光源像の揺動を説
明するための図、図15(b)はその結果得られる光吸
収層のマトリックスホールの形状を説明するための図で
ある。
FIG. 15 (a) is a light source image swinging when the width of a slit-shaped opening of a cover constituting a light source unit is widened and the light source unit is vibrated in a direction orthogonal to a central axis of a long light source. FIG. 15B is a diagram for explaining the shape of the matrix holes of the light absorbing layer obtained as a result.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…パネル 4…シャドウマスク 21…長光源 22…光源部 28…スリット状開口 29…カバー 40…傾斜レンズ群 41a ,41b …傾斜レンズ 44a ,44b …環状歯車 45…駆動装置 46…歯車 47…歯車 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Panel 4 ... Shadow mask 21 ... Long light source 22 ... Light source part 28 ... Slit-shaped opening 29 ... Cover 40 ... Inclined lens group 41a, 41b ... Inclined lens 44a, 44b ... Annular gear 45 ... Drive device 46 ... Gear 47 ... Gear

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配
置されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
付ける光を放射する長光源を光源とする光源部と、 この光源部と上記シャドウマスクとの間に配置され、上
記光源部から上記感光性蛍光面形成部材層方向に放射さ
れる光の透過方向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ複
数個の傾斜レンズからなる傾斜レンズ群と、 上記複数個の傾斜レンズを上記光源部から感光性蛍光面
形成部材層方向に放射される光の光軸を回転中心として
それぞれ独立に回転駆動する駆動部とを具備することを
特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
1. A light for printing a pattern corresponding to an opening of a shadow mask disposed on the photosensitive phosphor screen forming member layer facing the photosensitive phosphor screen forming member layer on the photosensitive phosphor screen forming member layer formed on the inner surface of the panel. A light source unit having a long light source as a light source; and a light source unit disposed between the light source unit and the shadow mask, the light source unit being biased in a thickness in a transmission direction of light emitted from the light source unit toward the photosensitive phosphor screen forming member layer. An inclined lens group consisting of a plurality of inclined lenses having inclined planes having a plurality of inclined planes; and a plurality of the inclined lenses each having the optical axis of light emitted from the light source section toward the photosensitive phosphor screen forming member layer as a center of rotation. An exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube, comprising: a drive unit that is independently driven to rotate.
【請求項2】 傾斜レンズ群は傾斜平面の傾斜角がほぼ
同じでありかつこの傾斜平面が向い合うように同軸に重
ねられた2個の傾斜レンズからなり、これら傾斜ンズを
長光源の中心軸と直交する方向で厚みの厚い部分が一致
するように等速逆回転駆動する駆動部を有することを特
徴とする請求項1記載のカラー受像管の蛍光面形成用露
光装置。
2. The tilt lens group is composed of two tilt lenses which are coaxially stacked so that the tilt planes have substantially the same tilt angle and face each other. These tilt lenses are connected to the central axis of the long light source. 2. The exposure apparatus for forming a fluorescent screen of a color picture tube according to claim 1, further comprising a drive unit that performs reverse rotation at a constant speed so that the thick portions coincide with each other in a direction perpendicular to the direction perpendicular to the direction.
JP5441797A 1997-03-10 1997-03-10 Exposure equipment for fluorescent screen formation of color picture tubes Pending JPH10255657A (en)

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