JPH10255657A - カラー受像管の蛍光面形成用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドットマトリックス型蛍光面のマトリックス
ホールやドット状蛍光体層の形状を良好にすることがで
きるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を構成するこ
とを目的とする。 【解決手段】 パネル1 の内面に形成された感光性蛍光
面形成部材層にシャドウマスク4 の開孔に対応するパタ
ーンを焼付ける長光源21を光源とする光源部22と、この
光源部とシャドウマスクとの間に配置され、光源部から
放射される光の透過方向の厚みに偏りのある傾斜平面を
もつ複数個の傾斜レンズ41a,41b からなる傾斜レンズ群
40と、その傾斜レンズを光源部から放射される光の光軸
を回転中心として独立に回転駆動する駆動部とを備える
構造とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、写真印刷法によ
り蛍光面が形成されるカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にカラー受像管は、図９に示すよう
に、パネル１およびファンネル２からなる外囲器を有
し、そのパネル１の内面に３色蛍光体層からなる蛍光面
３が設けられ、この蛍光面３に対向して、その内側にシ
ャドウマスク４が配置されている。一方、ファンネル２
のネック５内に３電子ビーム６B ，６G ，６R を放出す
る電子銃７が配設されている。そして、この電子銃７か
ら放出される３電子ビーム６B ，６G ，６R をファンネ
ル２の外側に装着された偏向装置８により偏向し、シャ
ドウマスク４を介して蛍光面３を水平、垂直走査するこ
とにより、カラー画像を表示する構造に形成されてい
る。

【０００３】このようなカラー受像管において、電子銃
７から放出される３電子ビーム６B，６G ，６R を、同
一平面上を通るセンタービームおよび一対のサイドビー
ムからなる一列配置の３電子ビームとしたインライン型
カラー受像管が、現在、カラー受像管の主流となってい
る。

【０００４】通常のインライン型カラー受像管では、上
記シャドウマスク４の開孔は、ブリッジを介して一列状
に配置されたほぼ矩形状の開孔からなり、この開孔に対
応して、蛍光面３の３色蛍光体層は、ストライプ状に形
成されている。しかし情報機器のディスプレイ管として
用いられる高精細インライン型カラー受像管は、シャド
ウマスク４の開孔を円形とし、この開孔に対応して、３
色蛍光体層は、図１０に示すように、マトリックスホー
ルを円形とするマトリックス状光吸収層１０のマトリッ
クスホールに、ドット状の３色蛍光体層１１B ，１１G
，１１R が埋込まれるように設けられたドットマトリ
ックス型蛍光面３となっている。

【０００５】従来より上記カラー受像管の蛍光面は、シ
ャドウマスク４をフォトマスクとする写真印刷法により
形成され、特に上記ドットマトリックス型蛍光面３につ
いては、図１１（ａ）ないし（ｇ）に示すように、最初
に光吸収層１０を形成し、ついで３色蛍光体層１１B ，
１１G ，１１R を形成する方法で形成されている。

【０００６】すなわち、図１１（ａ）に示したように、
まずパネル１の内面に感光剤を塗布してフォトレジスト
１３を形成する。ついでこのフォトレジスト１３の形成
されたパネル１にシャドウマスク４を装着し、後述する
露光装置を用いて露光し、フォトレジスト１３にシャド
ウマスク４の円形開孔１４に対応するパターンを焼付け
る。つぎにこのパターンの焼付けられたフォトレジスト
１３を現像して未感光部を除去し、同（ｂ）に示すよう
に、ドット状のパターンからなるレジスト１５を形成す
る。つぎにそのレジスト１５の形成されたパネル１の内
面に光吸収塗料を塗布して、同（ｃ）に示すように、光
吸収塗料層１６を形成する。つぎに上記レジスト１５上
に塗布された光吸収塗料層１６をレジスト膜１５ととも
に剥離して、同（ｄ）に示すように、蛍光体ドットを形
成する位置をマトリックスホール１７とするマトリック
ス状光吸収層１０を形成する。

【０００７】その後、上記光吸収層１０の形成されたパ
ネル１の内面に、蛍光体と感光剤を主成分とする感光性
蛍光体スラリを塗布して、同（ｅ）に示すように、感光
性蛍光体スラリ層１８を形成する。そしてこの感光性蛍
光体スラリ層１８の形成されたパネル１にシャドウマス
ク４を装着し、後述する露光装置を用いて露光し、感光
性蛍光体スラリ層１８にシャドウマスク４の円形開孔１
４に対応するパターンを焼付ける。つぎにこのパターン
の焼付けられた感光性蛍光体スラリ層１８を現像して未
感光部を除去し、同（ｆ）に示すように、光吸収層１０
の所定のマトリックスホールにドット状の蛍光体層、た
とえば青蛍光体層１１B を形成する。この青蛍光体層１
１B の形成工程を、緑蛍光体および赤蛍光体について繰
返し、同（ｇ）に示すように、光吸収層１０の所定のマ
トリックスホールにドット状の緑蛍光体層１１G および
赤蛍光体層１１R を形成する。

【０００８】上記フォトレジスト１３および感光性蛍光
体スラリ層１８などにシャドウマスク４の円形開孔１４
に対応するパターンを焼付けるときに用いられる露光装
置は、図１２（ａ）に示すように、パネル１を位置決め
支持する支持台２０の下部に、この支持台２０に位置決
め支持されたパネル１に対して、カラー受像管の電子銃
から放出される一列配置の３電子ビームに対応する位置
に移動可能に直管状の超高圧水銀ランプなどの長光源２
１を光源とする光源部２２が設けられ、この光源部２２
上に、光源部２２から放射される光２３の軌道を電子銃
から放出される電子ビームの軌道に近似させる一対のサ
イドビーム対応のΔＳ補正レンズ２４、偏向中心の移動
にともなう補正をおこなうγ−ΔＰ補正レンズ２５、パ
ネル１の内面に対する光量分布を補正する補正フィルタ
ー２６などが配置されている。これらΔＳ補正レンズ２
４、γ−ΔＰ補正レンズ２５および補正フィルター２６
は、光源部２２との相対位置を保ったまま、光源部２２
とともに移動される。

【０００９】このような露光装置によりパネル１の内面
に形成されたフォトレジストや感光性蛍光体スラリ層な
ど感光性蛍光面形成部材層２７にシャドウマスク４の開
孔に対応するパターンを焼付けて、マトリックス状光吸
収層やドット状３色蛍光体層を形成する場合、その光吸
収層のマトリックスホールや３色蛍光体層の形状、大き
さは、光源の形状、光源部２２からの光量、各光学部材
の配置、露光時間などにより支配される。特に蛍光面が
ドットマトリックス型であるカラー受像管においては、
電子ビームのランディンク余裕度を大きくして、色純度
を調整しやすいカラー受像管とするためには、その光吸
収層のマトリックスホールを真円にすることが望まれ
る。

【００１０】そのため、上記露光装置では、図１２
（ｂ）に示したように、直管状の超高圧水銀ランプなど
の長光源２１に接近して、スリット状開口２８を有する
カバー２９が設けられ、このカバー２９に設けられたス
リット状開口２８により，実質的に光源の大きさを規制
するものとなっている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、情報機
器のディスプレイ管として用いられる高精細インライン
型カラー受像管の蛍光面は、マトリックス状光吸収層の
円形マトリックスホールにドット状３色蛍光体層が埋込
まれるように設けられたドットマトリックス型蛍光面と
なっている。このドットマトリックス型蛍光面は、シャ
ドウマスクをフォトマスクとする写真印刷法により、最
初に光吸収層を形成し、ついで３色蛍光体層を形成する
方法で形成される。

【００１２】したがって上記カラー受像管において、電
子ビームのランディンク余裕度を大きくして、色純度を
調整しやすくするためには、光吸収層のマトリックスホ
ールを真円にすることが望まれる。そのためには、図１
３に示すように、パネルの内面に形成されたフォトレジ
ストにシャドウマスクの開孔に対応するパターンの焼付
けに用いられる露光装置の長光源２１からなる光源の大
きさを実質的に規制するカバー２９のスリット状開口２
８の幅ｗ（長光源長手方向の開口径）を長光源の内径ｄ
とほぼ等しくする必要がある。しかしこのようにカバー
２９のスリット状開口２８の幅ｗを長光源２１の内径ｄ
とほぼ等しくすると、大型カラー受像管のように、光源
部からパネル内面までの距離が大きくなる場合には、フ
ォトレジストにシャドウマスクの開孔に対応するパター
ンの焼付ける露光光量が不足する。

【００１３】この露光光量の不足を解消するためには、
光源の入力電圧を高くすればよいが、その入力電圧には
限界がある。また光源の寿命が短くなる。また、露光時
間を長くすることでも、露光光量の不足を解消できる
が、このような方法は、生産効率を低下させる。また長
光源の内径を大きくして放射光量を増やすことにより、
露光光量の不足を解消できるが、この場合、長光源のガ
ラス外囲器の強度を保つために、外径も大きくする必要
がある。そのため、光源からカバーのスリット状開口間
での距離が変化し、シャドウマスクの開孔に対して、光
吸収層のマトリックスホールや３色蛍光体層の位置がず
れる。またカバーのスリット状開口の幅を広くすること
でも、露光光量の不足を解消できるが、図１４に示すよ
うに、スリット状開口２８の幅ｗを広くすると、光吸収
層のマトリックスホール１７が長光源の中心軸方向を長
径とする楕円状となり、ランディンク余裕度が小さくな
る。

【００１４】また他の方法として、特開平７−２３５２
７１号公報には、スリット状開口の幅を広くし、光源部
を長光源の中心軸と直交する方向に振動させる方法が示
されている。しかしこのように光源部を振動させると、
光源の原点位置がずれやすく、ランディンクがずれるお
それがある。また図１５（ａ）に示すように、シャドウ
マスクの開孔を介してパネル内面に投影される光源像３
１が長光源の中心軸と直交する方向の振動により、図１
４に示した光吸収層のマトリックスホールの楕円化は補
正されるが、図１５（ｂ）に示すように、マトリックス
ホール１７が角張るようになる。

【００１５】この発明は、上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、ドットマトリックス型蛍光面のマトリック
スホールやドット状蛍光体層の形状を良好にすることが
できるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を構成する
ことを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】カラー受像管の蛍光面形
成用露光装置を、パネルの内面に形成された感光性蛍光
面形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して
配置されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを
焼付ける光を放射する長光源を光源とする光源部と、こ
の光源部とシャドウマスクとの間に配置され、光源部か
ら感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の透過方
向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ複数個の傾斜レン
ズからなる傾斜レンズ群と、その複数個の傾斜レンズを
光源部から感光性蛍光面形成部材層方向に放射される光
の光軸を回転中心としてそれぞれ独立に回転駆動する駆
動部とを備える構造とした。

【００１７】また、傾斜レンズ群を、傾斜平面の傾斜角
がほぼ同じでありかつこの傾斜平面が向い合うように同
軸に重ねられた２個の傾斜ンズで構成し、これら傾斜ン
ズを長光源の中心軸と直交する方向で厚みの厚い部分が
一致するように等速逆回転駆動する駆動部を有する構成
とした。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。

【００１９】図１にその一形態であるインライン型カラ
ー受像管のドットマトリックス型蛍光面の形成に用いら
れる露光装置を示す。この露光装置は、パネル１を位置
決め支持する支持台２０を有し、この支持台２０の下部
に、支持台２０に位置決め支持されたパネル１に対し
て、カラー受像管の電子銃から放出される同一水平面上
を通るセンタービームおよび一対のサイドビームからな
る一列配置の３電子ビームに対応する位置に移動可能に
光源部２２が設けられている。この光源部２２は、直管
状の超高圧水銀ランプなどの長光源２１を光源とし、こ
の長光源２１がその中心軸（管軸）を水平方向として配
置されている。さらにこの長光源２１に接近して、実質
的に光源の大きさを規制するスリット状開口２８が設け
られたカバー２９が配置されている。またこの光源部２
２上に後述する傾斜レンズ群４０が配置されている。さ
らにこの傾斜レンズ群４０上に、光源部２２から放射さ
れる光２３の軌道を電子銃から放出される電子ビームの
軌道に近似させる一対のサイドビーム対応のΔＳ補正レ
ンズ２４、偏向中心の移動にともなう補正をおこなうγ
−ΔＰ補正レンズ２５、パネル１の内面に対する光量分
布を補正する補正フィルター２６などが配置されてい
る。これら傾斜レンズ群４０、ΔＳ補正レンズ２４、γ
−ΔＰ補正レンズ２５および補正フィルター２６は、図
示しない機構により、上記光源部２２との相対位置を保
ったまま、光源部２２とともに移動される。

【００２０】上記傾斜レンズ群４０は、長光源２１から
カバー２９のスリット状開口２８を介して放射される光
２３の透過方向の厚みに偏りがある傾斜平面をもち、こ
の傾斜平面が向い合うように同軸に配置された２個の傾
斜レンズ４１a ，４１b からなる。これら傾斜レンズ４
１a ，４１b は、上記長光源２１からカバー２９のスリ
ット状開口２８を介して放射される光２３の光軸Ｚl を
回転中心として、等速度で逆方向、かつ長光源２１の中
心軸（水平方向）と直交する垂直方向で厚みの厚い部分
が重なるように回転駆動されるものとなっている。

【００２１】図２にこの傾斜レンズ群４０の駆動機構を
示す。この駆動機構では、傾斜レンズ４１a ，４１b
は、それぞれ環状の支持枠４３a ，４３b に支持され、
これら支持枠４３a ，４３b の外周にそれぞれ独立に取
付けられた環状歯車４４a ，４４b と、駆動装置４５の
回転主軸に取付けられて、傾斜レンズ４１b を支持する
支持枠４３b に取付けられた環状歯車４４b と噛合する
歯車４６と、両環状歯車４４a ，４４b と噛合し、歯車
４６および環状歯車４４b を介して伝達される回転駆動
力を環状歯車４４a に伝達する歯車４７とから構成され
ている。この駆動機構によれば、歯車４６を一方向に回
転する回転駆動力のみにより、各傾斜レンズ４１a ，４
１b を等速度で逆方向に回転させることができ、あらか
じめ両傾斜レンズ４１a ，４１b の厚みの厚い部分を一
致させ、これら傾斜レンズ４１a ，４１b の厚い部分を
長光源の中心軸と直交する垂直方向に位置決めすること
により、長光源の中心軸と直交する垂直方向で厚みの厚
い部分が重なるように回転駆動することができる。

【００２２】上記のように傾斜平面が対向するように同
軸に配置された２個の傾斜レンズ４１a ，４１b からな
る傾斜レンズ群４０を光源部２２上に配置し、この２個
の傾斜レンズ４１a ，４１b を、光源部２２からカバー
２９のスリット状開口２８を介して放射される光２３の
光軸Ｚl を回転中心として、等速度で逆方向、かつ長光
源２１の中心軸と直交する垂直方向で厚みの厚い部分が
重なるように回転すると、実質的に光源の大きさを規制
するカバー２９のスリット状開口２８の幅を広くして、
光源部２２から放射される光量を多くしても、パネル１
の内面に形成されたフォトレジスト１３に焼付けられる
シャドウマスク４の開孔に対応するパターンの形状を改
善でき、形成されるマトリックス状光吸収層のマトリッ
クスホールを真円にすることができる。また光源部２２
から放射される光量の増加により、露光時間を短くする
ことができる。

【００２３】すなわち、図３（ａ）に示したように、光
源部２２上に厚さ一定の透明平板４８を配置した場合
は、光源部２２からカバーのスリット状開口を介して放
射される光の光軸Ｚl に対して垂直方向に一定角度で放
射され、シャドウマスク４の開孔１４を通ってパネル１
の内面に達する光２３は、点４９a ，４９b で示したよ
うに、光軸Ｚl に対してパネル１内面の対称位置に達す
る。

【００２４】これに対して、図３（ｂ）に示したよう
に、光源部２２上に傾斜レンズ４１の厚みの厚い部分を
−垂直方向（−Ｖ軸方向）にして配置すると、シャドウ
マスク４の同一開孔１４を通ってパネル１の内面に達す
る光２３は、傾斜レンズ４１の厚みの厚い部分側では、
点４９a から点４９c と、垂直方向外側にシフトし、薄
い部分側では、点４９b から点４９d と、垂直方向内側
にシフトする。またこの傾斜レンズ４１の向きを逆にし
て、同（ｃ）に示したように、傾斜レンズ４１の厚みの
厚い部分を＋垂直方向にすると、同様に傾斜レンズ４１
の厚みの厚い部分側では、点４９b から点４９d と、垂
直方向外側にシフトし、薄い部分側では、点４９a から
点４９c と、垂直方向内側にシフトする。つまり、傾斜
レンズ４１の向きを交互に逆にすることにより、光源部
を動かすことなく、シャドウマスク４の同一開孔１４を
通ってパネル１の内面に達する光の到達点を垂直方向に
揺動させることができる。

【００２５】したがって上記傾斜レンズ４１を光源部２
２からカバーのスリット状開口を介して放射される光の
光軸Ｚl を回転中心として回転させると、常に傾斜レン
ズ４１の厚みの厚い部分が光軸Ｚl を中心とする放射方
向に位置し、パネル１の内面への光の到達点は、図４に
示すように、中心部では円軌道５０C 、垂直軸端部では
垂直方向を長径とする楕円状軌道５０V 、水平軸（Ｈ
軸）端部では水平方向を長径とする楕円状軌道５０H 、
対角軸（Ｄ軸）端部では対角軸方向を長径とする楕円状
軌道５０D を描く。

【００２６】そこで、光源部のカバーのスリット状開口
の幅を広くして、パネルの内面に形成されたフォトレジ
ストをシャドウマスクを介して露光すると、図５に示す
ように、得られるマトリックス状光吸収層のマトリック
スホール１７は、垂直軸端部では補正できても、中心部
では水平方向を長径とする楕円状、対角軸端部では対角
軸方向を長径とする楕円状となり、水平軸端部では水平
方向を長径とする楕円状が助長され、蛍光面全面にわた
り、マトリックスホール１７を真円化することはできな
い。

【００２７】ところが、前記のように２個の傾斜レンズ
を傾斜面を向い合わせ、かつ厚みの厚い部分を一致さ
せ、この厚みの厚い部分を垂直方向として配置し、これ
ら傾斜レンズを光源部からカバーのスリット状開口を介
して放射される光の光軸Ｚl を回転中心として等速度で
逆方向に回転させると、図６（ａ）ないし（ｄ）に１／
４周期（９０°回転）ごとの相対関係を示したように、
２個の傾斜レンズ４１a，４１b の相対関係が変化す
る。この２個の傾斜レンズ４１a ，４１b の相対関係
を、１枚の等価な傾斜レンズで置換えて示すと、図７
（ａ）ないし（ｄ）に示す状態となる。すなわち、１枚
の等価な傾斜レンズ４１で示すと、２個の傾斜レンズ４
１a ，４１b の厚みの厚い部分が逆向きとなって、等価
な平板レンズとなる状態から厚みの厚い部分が重なっ
て、１枚の等価な傾斜レンズ４１の傾斜面の傾斜角が最
大となる状態まで連続的に変化する。なお、光軸と交わ
る部分では、厚みがすべて等しくなっている。

【００２８】つまり、２個の傾斜レンズ４１a ，４１b
を傾斜面を向い合わせ、かつ厚みの厚い部分を一致さ
せ、この厚みの厚い部分を垂直方向として配置し、これ
ら傾斜レンズ４１a ，４１b を光源部２２からカバ２９
ーのスリット状開口２８を介して放射される光２３の光
軸Ｚl を回転中心として等速度で逆方向に回転させる
と、１／４周期ごとに、フラット→最大傾斜が＋垂直方
向→フラット→最大傾斜が−垂直方向となる１枚の等価
な傾斜レンズ４１とすることができる。

【００２９】その結果、図８に示すように、シャドウマ
スクの開孔を介してパネルの内面に投影される光源像の
軌跡５２は、中心部、垂直、水平軸端部では垂直方向に
シフトし、延びた瓢箪形となり、対角軸端部では対角軸
と直交する方向に延びた瓢箪形となる。なお、図中の矢
印は、上側の傾斜レンズ４１a が時計まわりで、下側の
傾斜レンズ４１b が反時計まわりの場合を示している。
このように光源像の軌跡５２が水平方向にくらべ垂直方
向の変位が大きく、かつ水平方向にも揺動しているの
で、実質的に光源の大きさを規制するカバー２９のスリ
ット状開口２８の幅を広くして、光源部２２から放射さ
れる光量を多くしても、パネル１の内面に形成されたフ
ォトレジストに焼付けられるシャドウマスクの開孔に対
応するパターンの形状を改善して、形成されるマトリッ
クス状光吸収層１０のマトリックスホール１７を真円に
することができる。また光源部２２から放射される光量
の増加により、露光時間を短くすることができる。

【００３０】なお、上記実施の形態では、マトリックス
状光吸収層のマトリックスホールを形成する場合につい
て説明したが、この発明は、ドット状蛍光体層を形成す
る場合に適用して、同様の効果が得られる。

【００３１】

【発明の効果】カラー受像管の蛍光面形成用露光装置
を、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成部材層
にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配置されたシ
ャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付ける光を
放射する長光源を光源とする光源部と、この光源部とシ
ャドウマスクとの間に配置され、光源部から感光性蛍光
面形成部材層方向に放射される光の透過方向の厚みに偏
りのある傾斜平面をもつ複数個の傾斜レンズからなる傾
斜レンズ群と、その複数個の傾斜レンズを光源部から感
光性蛍光面形成部材層方向に放射される光の光軸を回転
中心としてそれぞれ独立に回転駆動する駆動部とを備え
る構造とし、また、その傾斜レンズ群を、傾斜平面の傾
斜角をほぼ同じとしかつこの傾斜平面が向い合うように
同軸に重ねられた２個の傾斜レンズで構成し、これら傾
斜レンズを長光源の中心軸と直交する方向で厚みの厚い
部分が一致するように等速逆回転駆動する駆動部を有す
る構成とすると、実質的に光源の大きさを規制するカバ
ーのスリット状開口の幅を広くして、光源部から放射さ
れる光量を多くしても、マトリックス状光吸収層のマト
リックスホールやドット状蛍光体層を真円にすることが
できる。また光源部から放射される光量の増加により、
露光時間を短くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の一形態であるインライン型カ
ラー受像管の蛍光面形成用露光装置の構成を示す図であ
る。

【図２】図２（ａ）はその傾斜レンズの駆動機構の構成
を示す斜視図、図２（ｂ）は同じくその断面図である。

【図３】図３（ａ）ないし（ｃ）はそれぞれ上記傾斜レ
ンズの作用を説明するための図である。

【図４】上記傾斜レンズを光源部から放射される光の光
軸を回転中心として回転させた場合のパネル内面での光
の到達点の軌跡を説明するための図である。

【図５】上記傾斜レンズを光源部から放射される光の光
軸を回転中心として回転し、かつ光源部のカバーのスリ
ット状開口の幅を広くした場合に得られるマトリックス
状光吸収層のマトリックスホールの形状を示す図であ
る。

【図６】図６（ａ）ないし（ｄ）はそれぞれ２個の傾斜
レンズを傾斜面を向い合わせ、かつ厚みの厚い部分を一
致させ、光源部から放射される光の光軸を回転中心とし
て等速度で逆方向に回転した場合の２個の傾斜レンズの
相対関係を示す図である。

【図７】図７（ａ）ないし（ｄ）はそれぞれ図６に示し
た２個の傾斜レンズを１個の等価な傾斜レンズで置換え
た場合の傾斜レンズの状態を示す図である。

【図８】上記２個の傾斜レンズを傾斜面を向い合わせか
つ厚みの厚い部分を一致させ、光源部から放射される光
の光軸を回転中心として等速度で逆方向に回転した場合
のパネル内面での光源像の揺動を説明するための図であ
る。

【図９】カラー受像管の構成を示す図である。

【図１０】図１０（ａ）はドットマトリックス型蛍光面
の構成を示す平面図、図１０（ｂ）は断面図である。

【図１１】図１１（ａ）ないし（ｇ）はそれぞれ上記ド
ットマトリックス型蛍光面の形成方法を説明するための
図である。

【図１２】図１２（ａ）は上記ドットマトリックス型蛍
光面の形成に用いられる従来の露光装置の構成を示す
図、図１２（ｂ）はその光源部の構成を示す図である。

【図１３】上記露光装置の光源部を構成するカバーのス
リット状開口の幅を説明するための図である。

【図１４】図１４（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上記光
源部を構成するカバーのスリット状開口の幅と光吸収層
のマトリックスホールの形状との関係を説明するための
図である。

【図１５】図１５（ａ）は光源部を構成するカバーのス
リット状開口の幅を広くし、かつ光源部を長光源の中心
軸と直交する方向に振動させた場合の光源像の揺動を説
明するための図、図１５（ｂ）はその結果得られる光吸
収層のマトリックスホールの形状を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１…パネル ４…シャドウマスク ２１…長光源 ２２…光源部 ２８…スリット状開口 ２９…カバー ４０…傾斜レンズ群 ４１a ，４１b …傾斜レンズ ４４a ，４４b …環状歯車 ４５…駆動装置 ４６…歯車 ４７…歯車

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パネルの内面に形成された感光性蛍光面
   形成部材層にこの感光性蛍光面形成部材層に対向して配
   置されたシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
   付ける光を放射する長光源を光源とする光源部と、 この光源部と上記シャドウマスクとの間に配置され、上
   記光源部から上記感光性蛍光面形成部材層方向に放射さ
   れる光の透過方向の厚みに偏りのある傾斜平面をもつ複
   数個の傾斜レンズからなる傾斜レンズ群と、 上記複数個の傾斜レンズを上記光源部から感光性蛍光面
   形成部材層方向に放射される光の光軸を回転中心として
   それぞれ独立に回転駆動する駆動部とを具備することを
   特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
2. 【請求項２】 傾斜レンズ群は傾斜平面の傾斜角がほぼ
   同じでありかつこの傾斜平面が向い合うように同軸に重
   ねられた２個の傾斜レンズからなり、これら傾斜ンズを
   長光源の中心軸と直交する方向で厚みの厚い部分が一致
   するように等速逆回転駆動する駆動部を有することを特
   徴とする請求項１記載のカラー受像管の蛍光面形成用露
   光装置。