JPH10256113A - 露光データ作成方法、露光データ作成装置、及び、記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】繰り返しの多い露光パターンデータのデータ量
を少なくすることができる露光データ生成方法を提供す
ること。 【解決手段】ステップ５２において、半導体集積回路の
基データから繰り返し性のある露光パターンデータを露
光パターンデータ群として抽出する。ステップ５４にお
いて、基データを変換した仮露光データを作成する。ス
テップ５５において、露光パターンデータ群を構成する
繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数
まとめ直すまとめ情報テーブルを作成する。そして、ス
テップ５７において、まとめ情報テーブルに基づいて仮
露光データをまとめ直した露光データを再作成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は露光データ作成方
法、露光データ作成装置、及び、記憶媒体に関するもの
である。

【０００２】近年の半導体集積回路（ＬＳＩ）において
は、大規模化及び高集積化が進められ、そのＬＳＩを作
成するために必要な露光データのデータ量も増大してい
る。露光データの増大は露光時間の長時間化、ひいては
ＬＳＩの製造時間の長時間化を招くことから、露光デー
タのデータ量削減が要求されている。

【０００３】

【従来の技術】図２２は、可変矩形型電子ビーム（Ｅ
Ｂ）露光装置の概略構成図である。ＥＢ露光装置１０
は、第１，第２アパーチャ１１，１２を備え、各アパー
チャ１１，１２にはそれぞれ所定面積の矩形窓１３，１
４が形成されている。ＥＢ露光装置１１は、アパーチャ
合わせ用電磁偏向器（第１電磁偏向器）１５を制御し、
第１アパーチャ１１により成形されたビームと第２アパ
ーチャ１２の矩形窓１４との重なる具合を変え、矩形窓
１４を透過するビームの断面形状、即ち露光パターンを
制御する。そして、露光装置１０は、位置合わせ用電磁
偏向器（第２電磁偏向器）１６，パターン用電磁偏向器
（第３電磁偏向器）１７を制御して透過ビームを偏向さ
せると共に、ステージ１８をＸ，Ｙ軸方向に移動させ、
該ステージ１８上に載置された半導体ウェハ１９に所望
のパターンを露光する。

【０００４】第１〜第３電磁偏向器１５〜１７及びステ
ージ１８の制御は、半導体ウェハ１９上に描画する半導
体チップの設計データ（パターンデータ）により作成さ
れた露光データに基づいて制御される。例えば、半導体
ウェハ１９には、図２３に示される半導体チップ２０が
マトリクス状に形成される。半導体チップ２０は、複数
のフィールド２１に分割され、各フィールド２１は更に
複数のサブフィールド２２に分割される。

【０００５】そして、第１電磁偏向器１５は、サブフィ
ールド２２にその時に露光されるパターンの大きさに基
づいて制御され、矩形窓１４を透過するビームがパター
ンの大きさに対応した断面形状に制御される。そして、
第２，第３電磁偏向器１６，１７及びステージ１８は、
その時々に描画されるパターンの位置に基づいて制御さ
れる。例えば、ステージ１８により１つのフィールド２
１が選択され、第２電磁偏向器１６により１つのサブフ
ィールド２２が選択される。そして、第３電磁偏向器１
７により選択されたサブフィールド２２内のパターンが
露光される。

【０００６】ところで、半導体チップ２０の露光パター
ンデータは、図示しない露光データ作成装置により作成
され、上記のＥＢ露光装置１０に供給される。従来の露
光データ作成装置は、半導体チップ２０の露光パターン
データにおいて、中の繰り返しの多いパターンデータを
マトリクス認識により抽出し、マトリクス表現にて露光
データを作成していた。更に、露光データ作成装置は、
露光データを基となる設計データと同様に階層化し、繰
り返しの多い露光パターンデータを露光パターンデータ
群とし、そのデータ群を繰り返し配置定義することによ
り、露光データのデータ量を減少させていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、抽出さ
れる露光パターンデータ群には、繰り返しの多いパター
ンデータ、例えばメモリセルの共通部分が抽出される。
そのため、メモリセルの共通部分を抽出した露光パター
ンデータ群は、領域的に小さくなるので、配置数及び露
光回数が多くなり、露光データもその分多くなる。ま
た、多くの露光装置においては、各種偏向により電子ビ
ームを所定の配置位置まで移動させる。例えば、図２２
に示すＥＢ露光装置１０においては、第１，第２アパー
チャ１１，１２により成形された電子ビームは、第２，
第３電磁偏向器１６，１７、ステージ１８の各種偏向に
より半導体ウェハ１９の所定の配置位置まで移動され
る。

【０００８】従って、繰り返される露光パターンデータ
の配置位置を示す配置データが多くなると、第２，第３
電磁偏向器１６，１７では所望の配置位置までビームを
移動させることができなくなり、ステージ１８を制御す
ることによりウェハ１９の位置を第２，第３電磁偏向器
１６，１７により移動可能な位置まで移動させなければ
ならない。ステージ１８による移動は、第２，第３電磁
偏向器１６，１７による移動に比べて時間がかかる。そ
のため、ビームの移動時間が長くなり、半導体ウェハ１
９全体の露光時間が増大する。

【０００９】更に、各種偏向においては、目的の配置位
置に合わせるときの制御的な問題（ステージの機械的精
度等）によって、位置合わせ誤差が発生する場合があ
る。すると、配置回数が多いほど位置合わせ誤差の発生
する箇所が多くなり、チップ全体の露光精度が低下す
る。このため、大きな領域での繰り返し単位を求めるこ
とが要求されるが、大きな領域の露光パターンには繰り
返し性の無いパターンが付着するため、マトリクス認識
の妨げになると共に、抽出する対象となるデータ量が増
えるので抽出処理時間が増加する。

【００１０】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は繰り返しの多い露光パタ
ーンデータのデータ量を少なくすることができる露光デ
ータ生成方法及び露光データ生成装置を提供することに
ある。

【００１１】また、繰り返しの多い露光パターンデータ
のデータ量を少なくすることができるプログラムを記憶
した記憶媒体を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、半導体集積回路を露光媒
体に対して露光するために用いられる露光データを、前
記半導体集積回路の基データを変換して前記露光データ
を作成する露光データ作成方法であって、前記基データ
から繰り返し性のある露光パターンデータを露光パター
ンデータ群として抽出するステップと、前記露光パター
ンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを所
定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブルを
作成するステップと、前記まとめ情報テーブルに基づい
て前記基データをまとめ直した露光データを作成するス
テップとから構成される。

【００１３】請求項２に記載の発明は、半導体集積回路
を露光媒体に対して露光するために用いられる露光デー
タを、前記半導体集積回路の基データを変換して前記露
光データを作成する露光データ作成方法であって、前記
基データから繰り返し性のある露光パターンデータを露
光パターンデータ群として抽出するステップと、前記基
データを変換した仮露光データを作成するステップと、
前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パタ
ーンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ
情報テーブルを作成するステップと、前記まとめ情報テ
ーブルに基づいて前記仮露光データをまとめ直した露光
データを再作成するステップとから構成される。

【００１４】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の露光データ作成方法において、前記まとめ情報
テーブルは、前記まとめ領域にまとめ直された複数の繰
り返し露光パターンデータを、基の露光パターンデータ
を示すアドレスと、基の露光パターンデータの繰り返し
個数及び繰り返しピッチとからなるマトリックス表現に
て格納したまとめテーブルと、前記露光パターンデータ
群に対して使用する前記まとめ領域を、該まとめ領域を
示すアドレスと、を繰り返し配置する繰り返し個数と繰
り返しピッチとからなるマトリックス表現にて格納した
配置テーブルとから構成される。

【００１５】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のうちのいずれか１項に記載の露光データ作成方法にお
いて、前記まとめ情報を作成するステップは、前記露光
パターンデータ群をマトリックス認識し、前記露光パタ
ーンデータ群を構成する露光パターンデータの繰り返し
個数と繰り返しピッチとを求める第１のステップと、前
記露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチ
とに基づいて、前記まとめ領域に格納する基の露光パタ
ーンデータのまとめ情報テーブルを求める第２のステッ
プと、前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パ
ターンデータ群の配置データを再作成する第３のステッ
プと、前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パ
ターデータのパターンデータを再作成する第４のステッ
プとから構成される。

【００１６】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の露光データ作成方法において、前記第２のステップ
は、前記まとめ領域に対して前記繰り返し露光パターン
データを格納する最大個数を求めるステップと、前記露
光パターンデータ群の全ての繰り返し露光パターンデー
タを格納するのに必要なまとめ領域の個数を求めるステ
ップと、前記まとめ領域に対して繰り返し露光パターン
データを均等配置できるか否かを判断し、その判断結果
に基づいて均等配置できる場合に前記まとめ領域に繰り
返しパターンデータを均等に配置する個数を候補値に設
定するステップと、前記候補値に基づいて、該候補値が
設定されていない場合には前記最大個数をまとめ領域に
対する前記繰り返しパターンデータの併合値に設定し、
前記候補値が設定されている場合には該候補値を併合値
に設定するステップと、前記候補値と併合値とに基づい
て前記まとめ情報テーブルを作成するステップとから構
成される。

【００１７】請求項６に記載の発明は、請求項４又は５
に記載の露光データ作成方法において、前記まとめ情報
を作成するステップは、前記まとめ領域に対するｘ方向
とｙ方向の候補値及び併合値に基づいて前記まとめテー
ブル及び配置テーブルを作成するものであり、前記全て
のまとめ領域に対して均等配置できる場合には１種類の
前記まとめテーブルと配置テーブルとを作成するステッ
プと、前記ｘ方向またはｙ方向に対して均等配置できる
場合にはそれぞれ２種類のまとめテーブルと配置テーブ
ルとを作成するステップと、前記ｘ方向及びｙ方向に対
して均等配置できない場合には４種類のまとめテーブル
と配置テーブルとを作成するステップとから構成され
る。

【００１８】請求項７に記載の発明は、請求項４乃至６
のいずれか１項に記載の露光データ作成方法において、
前記第４のステップは、基の露光パターンデータが単独
表現か、複数の基本パターンデータを繰り返すマトリッ
クス表現かを判断するステップと、前記判断結果に基づ
いて、露光パターンデータが単独表現の場合に露光デー
タの再作成を行うステップと、前記判断結果に基づい
て、基の露光パターンデータがマトリックス表現の場合
に、該基の露光パターンデータを展開して露光データの
再作成を行うステップとから構成される。

【００１９】請求項８に記載の発明は、請求項７に記載
の露光データ作成方法において、前記露光パターンデー
タを展開するときに、前記基の露光パターンデータの繰
り返し個数と、該露光パターンデータを構成する基本パ
ターンデータのマトリックス個数とを比較し、少ない方
を展開して新たな繰り返し露光パターンデータを作成す
るようにしたことを要旨とする。

【００２０】請求項９に記載の発明は、請求項１及至８
のうちのいずれか１項に記載の露光データ作成方法にお
いて、前記露光データは、露光装置に備えられ露光媒体
を移動させるステージと、前記露光媒体を露光するビー
ムを該露光媒体の所望位置に移動させる偏向器とを制御
するために利用されるものであり、前記まとめ領域は、
前記露光装置のビーム移動させる偏向器に対応した領域
に設定されたことを要旨とする。

【００２１】請求項１０に記載の発明は、半導体集積回
路を露光媒体に対して露光するために用いられる露光デ
ータを、前記半導体集積回路の基データを変換して前記
露光データを作成する露光データ作成装置であって、前
記基データから繰り返し性のある露光パターンデータを
露光パターンデータ群として抽出する繰り返しデータ抽
出手段と、前記露光パターンデータ群を構成する繰り返
し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ
直すまとめ情報テーブルを作成するまとめ手段と、前記
まとめ情報テーブルに基づいて前記基データをまとめ直
した露光データを作成する露光データ構築手段とを備え
たことを要旨とする。

【００２２】請求項１１に記載の発明は、半導体集積回
路を露光媒体に対して露光するために用いられる露光デ
ータを、前記半導体集積回路の基データを変換して前記
露光データを作成する露光データ作成装置であって、前
記基データから繰り返し性のある露光パターンデータを
繰り返し露光パターンデータとし、該パターンデータに
より構成される露光パターンデータ群を抽出する繰り返
しデータ抽出手段と、前記基データを変換した仮露光デ
ータを作成する仮露光データ作成手段と、前記露光パタ
ーンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを
所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブル
を作成するまとめ手段と、前記まとめ情報テーブルに基
づいて前記仮露光データをまとめ直した露光データを再
作成する露光データ構築手段とを備えたことを要旨とす
る。

【００２３】請求項１２に記載の発明は、請求項１乃至
９のうちのいずれか１項に記載のステップよりなるプロ
グラムを格納した記憶媒体をその要旨とする。 （作用）従って、請求項１に記載の発明によれば、基デ
ータから繰り返し性のある露光パターンデータが露光パ
ターンデータ群として抽出され、露光パターンデータ群
を構成する繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ
領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブルが作成され
る。そのまとめ情報テーブルに基づいて基データがまと
め直された露光データが作成される。

【００２４】請求項２に記載の発明によれば、基データ
から繰り返し性のある露光パターンデータを繰り返し露
光パターンデータが露光パターンデータ群として抽出さ
れる。また、基データを変換した仮露光データが作成さ
れる。そして、露光パターンデータ群を構成する繰り返
し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ
直すまとめ情報テーブルが作成され、そのまとめ情報テ
ーブルに基づいて仮露光データがまとめ直された露光デ
ータが再作成される。

【００２５】請求項３に記載の発明によれば、まとめ情
報テーブルは、まとめテーブルと配置テーブルとから構
成される。まとめテーブルには、まとめ領域にまとめ直
された複数の繰り返し露光パターンデータが、基の露光
パターンデータを示すアドレスと、基の露光パターンデ
ータの繰り返し個数及び繰り返しピッチとからなるマト
リックス表現にて格納される。配置テーブルには、露光
パターンデータ群に対して使用するまとめ領域が、まと
め領域を示すアドレスと、を繰り返し配置する繰り返し
個数と繰り返しピッチとからなるマトリックス表現にて
格納される。

【００２６】請求項４に記載の発明によれば、まとめ情
報を作成するステップは、第１〜第４のステップにより
構成される。第１のステップでは、露光パターンデータ
群がマトリックス認識され、露光パターンデータ群を構
成する露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピ
ッチとが求められる。第２のステップでは、露光パター
ンデータの繰り返し個数と繰り返しピッチとに基づい
て、まとめ領域に格納する基の露光パターンデータのま
とめ情報テーブルが求められる。第３のステップでは、
まとめ情報テーブルに基づいて、露光パターンデータ群
の配置データが再作成される。第４のステップでは、ま
とめ情報テーブルに基づいて、露光パターデータのパタ
ーンデータが再作成される。

【００２７】請求項５に記載の発明によれば、第２のス
テップにおいて、まとめ領域に対して繰り返し露光パタ
ーンデータを格納する最大個数と、露光パターンデータ
群の全ての繰り返し露光パターンデータを格納するのに
必要なまとめ領域の個数が求められる。まとめ領域に対
して繰り返し露光パターンデータを均等配置できるか否
かが判断され、その判断結果に基づいて均等配置できる
場合にまとめ領域に繰り返しパターンデータを均等に配
置する個数が候補値に設定され、候補値に基づいて、候
補値が設定されていない場合には最大個数をまとめ領域
に対する繰り返しパターンデータの併合値に設定し、候
補値が設定されている場合には候補値が併合値に設定さ
れる。そして、候補値と併合値とに基づいてまとめ情報
テーブルが作成される。

【００２８】請求項６に記載の発明によれば、まとめ情
報を作成するステップは、まとめ領域に対するｘ方向と
ｙ方向の候補値及び併合値に基づいてまとめテーブル及
び配置テーブルを作成するものであり、全てのまとめ領
域に対して均等配置できる場合には１種類のまとめテー
ブルと配置テーブルとが作成される。また、ｘ方向また
はｙ方向に対して均等配置できる場合にはそれぞれ２種
類のまとめテーブルと配置テーブルとが作成される。更
に、ｘ方向及びｙ方向に対して均等配置できない場合に
は４種類のまとめテーブルと配置テーブルとが作成され
る。

【００２９】請求項７に記載の発明によれば、第４のス
テップにおいて、基の露光パターンデータが単独表現
か、複数の基本パターンデータを繰り返すマトリックス
表現かが判断され、判断結果に基づいて、露光パターン
データが単独表現の場合に露光データの再作成が行われ
る。また、判断結果に基づいて、基の露光パターンデー
タがマトリックス表現の場合に、基の露光パターンデー
タが展開されて露光データの再作成が行われる。

【００３０】請求項８に記載の発明によれば、露光パタ
ーンデータが展開されるときに、基の露光パターンデー
タの繰り返し個数と、露光パターンデータを構成する基
本パターンデータのマトリックス個数とが比較され、少
ない方が展開されて新たな繰り返し露光パターンデータ
が作成される。

【００３１】請求項９に記載の発明によれば、露光デー
タは、露光装置に備えられ露光媒体を移動させるステー
ジと、露光媒体を露光するビームを露光媒体の所望位置
に移動させる偏向器とを制御するために利用されるもの
であり、まとめ領域は、露光装置のビーム移動させる偏
向器に対応した領域に設定される。

【００３２】請求項１０に記載の発明によれば、繰り返
しデータ抽出手段は、基データから繰り返し性のある露
光パターンデータを露光パターンデータ群として抽出す
る。まとめ手段は、露光パターンデータ群を構成する繰
り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域に複数ま
とめ直すまとめ情報テーブルを作成する。露光データ構
築手段は、まとめ情報テーブルに基づいて基データをま
とめ直した露光データを作成する。

【００３３】請求項１１に記載の発明によれば、繰り返
しデータ抽出手段は、基データから繰り返し性のある露
光パターンデータを繰り返し露光パターンデータとし、
パターンデータにより構成される露光パターンデータ群
を抽出する。仮露光データ作成手段は、基データを変換
した仮露光データを作成する。まとめ手段は、露光パタ
ーンデータ群を構成する繰り返し露光パターンデータを
所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ情報テーブル
を作成する。露光データ構築手段は、まとめ情報テーブ
ルに基づいて仮露光データをまとめ直した露光データを
再作成する。

【００３４】請求項１２に記載の発明によれば、記憶媒
体には、請求項１乃至９のうちのいずれか１項に記載の
ステップよりなるプログラムが格納される。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図１〜図２１に従って説明する。図１は、本発明
を適用した露光データ作成装置のシステム構成を示す模
式図である。露光データ作成装置３１は、中央処理装置
（以下、ＣＰＵという）３２、メモリ３３、磁気ディス
ク３４、表示器３５、キーボード３６、テープ装置３７
を備え、それらはバス３８により相互に接続されてい
る。

【００３６】磁気ディスク３４には、図２〜図５に示す
露光データ作成処理のプログラムデータが予め記憶され
ている。その露光データ作成処理のプログラムデータ
は、記憶媒体としての磁気テープ（ＭＴ）３９に記憶さ
れ、供給される。磁気テープ３９は、テープ装置３７に
セットされ、プログラムデータはそのテープ装置３７に
より磁気テープ３９から読み出され、バス３８を介して
磁気ディスク３４に転送され記憶される。図１中のＣＰ
Ｕ３２は、キーボード３６の操作に基づいて起動される
と、図２〜図５に示されるステップに従って露光データ
作成処理を実行する。

【００３７】また、磁気ディスク３４には、図２に示さ
れるデータファイル４１が記憶されている。データファ
イル４１には、例えば図示しないＣＡＤ装置により回路
設計及びレイアウト設計されたメモリ等の繰り返しの多
いパターンを含む半導体装置（ＬＳＩ）チップの設計デ
ータが予め格納されている。図１に示されるＣＰＵ３２
は、データフィル４１から設計データである基データを
入力し、その基データに基づいて図２に示される露光デ
ータ作成処理を実行する。

【００３８】また、図１中の磁気ディスク３４には、図
２に示されるデータファイル４２〜４５が格納される。
また、図１中のメモリ３３には、図２に示されるデータ
ファイル４６，４７が格納される。図１中のＣＰＵ３２
は、図２に示されるフローチャートのステップ５１〜５
７に従って露光データ作成処理を実行し、その処理にお
いて作成した各データを図２に示されるデータファイル
４２〜４７に格納する。

【００３９】即ち、図２に示されるステップ５１は処理
データ入力処理（処理データ入力手段）であって、図１
中のＣＰＵ３２は、データフィル４１から設計データを
基データとして入力する。

【００４０】次に、図２に示されるステップ５２は繰り
返しデータ抽出処理（繰り返しデータ抽出手段）であっ
て、図１中のＣＰＵ３２は、入力した基データから繰り
返し性のある露光パターンデータを露光パターンデータ
群として認識抽出する。そして、ＣＰＵ３２は、抽出し
た露光パターンデータ群を配置データとして図２中のデ
ータファイル４２に格納する。配置データの格納を終了
すると、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステッ
プ５３からステップ５３に移る。

【００４１】次に、図２に示されるステップ５３におい
て、図１中のＣＰＵ３２は、全ての基データ、即ち、図
２中のステップ５２において抽出したパターンデータ群
と、抽出した後のパターンデータに対して、所定の図形
処理、例えば、ＯＲ処理、サイジング処理、シュリンク
処理等のように、ＬＳＩの露光データを作成する上で必
要となる図形処理を施す。そして、図１に示されるＣＰ
Ｕ３２は、図形処理後のレイアウトデータを中間データ
として磁気ディスク３４上のデータファイル４３に格納
する。中間データの格納を終了すると、図１中のＣＰＵ
３２は、図２に示されるステップ５３からステップ５４
に移る。

【００４２】次に、ステップ５４は仮露光データ作成処
理（仮露光データ作成手段）であって、図１中のＣＰＵ
３２は、ステップ５３において図形処理した中間データ
を露光データに変換する。そして、ＣＰＵ３２は、変換
後の露光データを仮露光データとして図２中のデータフ
ァイル４４に格納する。仮露光データの格納を終了する
と、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステップ５
４からステップ５５に移る。

【００４３】ステップ５５はまとめ処理（まとめ手段）
であって、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ５２におい
て作成した配置データに基づいて抽出した露光パターン
データ群に対してまとめ処理を実行する。まとめ処理
は、露光パターンデータ群に含まれる微少な繰り返し露
光パターンデータを、露光パターンデータ群のしめる面
積よりも小さな所望の大きさのまとめ領域内の繰り返し
パターンとしてまとめ直す処理である。更に、まとめ処
理は、まとめ直した繰り返し露光パターンデータが各ま
とめ領域において同じ配置となるようにまとめ直す。

【００４４】図２に示すように、まとめ処理は、大きく
４つのステップから構成される。第１ステップはマトリ
クス認識処理（マトリクス認識手段）であって、図１中
のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４２に格納さ
れた配置データ、即ち、図２中のステップ５２において
抽出した露光パターンデータ群に対してマトリクス認識
を行う。マトリクス認識は、露光パターンデータ群を構
成する繰り返し露光パターンデータ（以下、単に繰り返
しパターンという）が所望のまとめ領域にまとめ直せる
か否かを認識する処理である。

【００４５】そのマトリクス認識処理において、ＣＰＵ
３２は、先ず、露光パターンデータ群を構成する繰り返
しパターンの占める領域の面積（以下、単に領域とい
う）、繰り返しピッチ、繰り返し個数を求める。例え
ば、図６に示すように、図１中のＣＰＵ３２は、繰り返
しパターンＧの領域α、繰り返しパターンＧの繰り返し
ピッチ（以下、マトリクスピッチという）ｇｐ（Ｘ方向
のマトリクスピッチをｇｐ（ｘ），Ｙ方向のマトリクス
ピッチをｇｐ（ｙ）とする）、繰り返しパターンＧの繰
り返し個数（以下、マトリクス個数という）ｇｎ（Ｘ方
向のマトリクス個数をｇｎ（ｘ），Ｙ方向のマトリクス
個数をｇｎ（ｙ）とする）を求める。

【００４６】尚、図６においては、１つのまとめ領域Ｓ
にまとめられた繰り返しパターンＧを示しており、実際
には、図２中のステップ５２において、図７に示すよう
にまとめ領域Ｓよりも大きな面積の露光パターンデータ
群Ｒが抽出され、その露光パターンデータ群Ｒを構成す
る一部の複数の繰り返しパターンＧがまとめ領域Ｓにま
とめ直される。

【００４７】次に、ＣＰＵ３２は、求めた領域α等が、
マトリクス認識の認識条件を満足するか否かを判断す
る。そのマトリクス認識の認識条件は、繰り返しパター
ンＧの領域αが所望のまとめ領域Ｓの面積の半分以下で
あり、マトリクスピッチｇｐがまとめ領域Ｓよりも小さ
いことである。この認識条件を満たさない場合は、複数
の領域αをまとめ領域Ｓにまとめることが不可能とな
る。

【００４８】尚、本実施形態では、所望のまとめ領域Ｓ
は、図２３に示されるサブフィールド２２の大きさに設
定されている。従って、まとめ領域Ｓにまとめ直された
複数の繰り返しパターンＧは、図２２に示されるＥＢ露
光装置１０の第３電磁偏向器１７を制御することにより
露光される。

【００４９】第２ステップはまとめ情報テーブル作成処
理（まとめ情報テーブル作成手段）であって、図１中の
ＣＰＵ３２は、第１ステップにおいて認識条件を満足す
る領域αの繰り返しパターンＧのまとめ情報を求める。
そして、ＣＰＵ３２は、求めたまとめ情報をまとめ情報
テーブルとして図２中のデータファイル４６，４７に格
納する。図８に示すように、まとめ情報テーブル６１
は、まとめテーブル６２と配置テーブル６３とから構成
される。図１中のＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２を
データファイル４６に、配置テーブル６３をデータファ
イル４７に格納する。

【００５０】まとめテーブル６２は、基の繰り返しパタ
ーンデータを示すアドレス６４、ｘ方向のまとめ個数ｍ
ｎ（ｘ）、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ（ｙ）、ｘ方向の繰
り返しピッチｍｐ（ｘ）、及び、ｙ方向の繰り返しピッ
チｍｐ（ｙ）とから構成される。アドレス６２は、まと
め領域Ｓにまとめる繰り返しパターンＧのパターンデー
タのアドレスが格納される。まとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍ
ｎ（ｙ）は、それぞれまとめ領域Ｓにまとめられる繰り
返しパターンＧのｘ方向とｙ方向との個数を示してい
る。ピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）は、それぞれ繰り返
しパターンＧのｘ方向とｙ方向との繰り返しピッチを示
している。従って、まとめテーブル６１には、まとめ領
域Ｓに対して、繰り返しパターンＧをｘ方向とｙ方向と
にどのように配置してまとめるかを示した情報が格納さ
れる。

【００５１】配置テーブル６３は、種類数６５、まとめ
情報アドレス６６、ｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）、
ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）、ｘ方向の繰り返しピ
ッチｓｐ（ｘ）、及び、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ
（ｙ）とから構成される。まとめ情報アドレス６６に
は、使用するまとめ領域Ｓの情報が格納されたまとめテ
ーブル６２の先頭アドレスが格納される。繰り返し個数
ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）と繰り返しピッチｓｐ（ｘ），
ｓｐ（ｙ）には、まとめ領域Ｓの繰り返し個数と繰り返
しピッチがそれぞれ格納される。

【００５２】種類数６５には、まとめ領域Ｓの種類の数
が格納され、まとめ領域Ｓの種類は、そのまとめ領域Ｓ
にまとめられた繰り返しパターンＧの状態に応じて設定
される。

【００５３】図７に示すように、抽出した露光パターン
データ群Ｒの各繰り返しパターンＧをまとめ領域Ｓにま
とめ直す、即ち、複数の繰り返しパターンＧを複数のま
とめ領域Ｓに分割する方法として、図７左下に示す「単
純配置」と、図７右下に示す「均等配置」とがある。
「単純配置」は、まとめ領域Ｓにまとめられる（収容さ
れる）最大個数の繰り返しパターンＧを所定の方向（図
７において、ｘ方向では左端、ｙ方向では下端）から順
にまとめ領域Ｓに分割する方法である。図７には、ｘ方
向とｙ方向とに「単純配置」された場合が示されてい
る。

【００５４】図１中のＣＰＵ３２は、抽出した露光パタ
ーンデータ群Ｒの各繰り返しパターンＧをｘ方向とｙ方
向とにそれぞれ複数のまとめ領域Ｓに対して「均等配
置」できるか否かを判断する。ｘ，ｙ方向それぞれに対
して「均等配置」可能な場合、ＣＰＵ３２は、繰り返し
パターンＧを複数のまとめ領域Ｓに対して均等に配置し
てまとめ直した露光データを作成する。一方、ｘ，ｙ方
向のそれぞれに対して「均等配置」不可能な場合、ＣＰ
Ｕ３２は、繰り返しパターンＧを複数のまとめ領域Ｓに
対して「単純配置」を行う。そして、ＣＰＵ３２は、繰
り返しパターンＧを複数のまとめ領域に対して単純に配
置してまとめ直した露光データを作成する。

【００５５】「単純配置」する方法では、最大個数の繰
り返しパターンＧがまとめ直されたまとめ領域Ｓ（図７
においてまとめ領域Ｓ１）と、余りの繰り返しパターン
Ｇがまとめ直されたまとめ領域Ｓ（図７においてまとめ
領域Ｓ２〜Ｓ４）とが発生する。尚、まとめ領域Ｓ２に
はｘ方向の余りの繰り返しパターンＧが、まとめ領域Ｓ
３にはｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが、まとめ領
域Ｓ４にはｘｙ方向の余りの繰り返しパターンＧが格納
される。従って、ｘｙ方向に「単純配置」された場合、
まとめ領域Ｓ内の繰り返しパターンＧの状態、即ち、ま
とめ領域Ｓの種類は４種類となり、図８中の種類数６５
には「４」が格納される。

【００５６】一方、「均等配置」は、複数のまとめ領域
Ｓに対して、同じ数の繰り返しパターンＧを分割する方
法である。図７には、ｘ方向とｙ方向とに「均等配置」
された場合が示されている。この場合、全てのまとめ領
域Ｓ内の繰り返しパターンＧの状態は同じとなるので、
まとめ領域Ｓの種類は１種類となり、図８中の種類数６
５には「１」が格納される。

【００５７】尚、図７において、ｘ方向（図７の左右方
向）とｙ方向（図７の上下方向）に異なる分割方法が採
用される場合がある。即ち、ｘ方向に「単純配置」さ
れ、ｙ方向に「均等配置」される。この場合、ｘ方向の
まとめ領域Ｓは２種類、ｙ方向のまとめ領域Ｓは１種類
となり、全体としてまとめ領域Ｓの種類は２種類となる
ので、図８中の種類数６５には「２」が格納される。同
様に、ｘ方向に「均等配置」され、ｙ方向に「単純配
置」された場合、ｘ方向のまとめ領域Ｓは１種類、ｙ方
向のまとめ領域Ｓは２種類となり、全体としてまとめ領
域Ｓの種類は２種類となるので、図８中の種類数６５に
は「２」が格納される。

【００５８】従って、まとめテーブル６２は、まとめ領
域の種類の数だけ作成される。例えば、まとめ領域Ｓが
２種類の場合、図８の実線で示すまとめテーブル６２と
破線で示すまとめテーブル６２の合計２個のまとめテー
ブル６２が作成される。そして、配置デーブル６３に
は、各まとめテーブル６２に対して上記のまとめ情報ア
ドレス６５からｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）まで
の情報が格納される。

【００５９】即ち、配置デーブル６３には、複数の繰り
返しパターンＧをまとめ直したまとめ領域Ｓが何種類あ
り、どの種類のまとめ領域Ｓを幾つどの様に配置するす
るかを示した情報が格納される。従って、露光パターン
データ群は、複数のまとめ領域のパターンデータにより
表現され、各まとめ領域のパターンデータは、同じ配置
の微少な繰り返し露光パターンデータにより表現され
る。即ち、露光パターンデータ群は、微少な繰り返し露
光パターンデータによるまとめ領域のパターンデータの
繰り返しによって表現される。従来の方法では、露光パ
ターンデータ群は、微少な繰り返し露光パターンデータ
のマトリクス（繰り返し）によって表現される。従っ
て、本実施形態における露光パターンデータ群のデータ
量は、従来のデータ量に比べて少なくなる。

【００６０】第３ステップは露光データ（配置データ）
再作成処理（露光データ（配置データ）再作成手段）で
あって、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイ
ル４２に格納された配置データを入力する。そして、Ｃ
ＰＵ３２は、前記第２ステップにおいて作成した図８中
のまとめ情報テーブル６１に基づいて、基の配置データ
をまとめた後の配置データに再作成し、その再作成後の
配置データを中間データとしてデータファイル４４に格
納する。

【００６１】第４ステップは露光データ（パターン）再
作成処理（露光データ（パターン）再作成手段）であっ
て、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４
４に格納された仮露光データを入力する。次に、ＣＰＵ
３２は、前記第２ステップにおいて作成した図８中のま
とめ情報テーブル６１に基づいて、基の繰り返し露光パ
ターンデータをまとめた後の繰り返し露光パターンデー
タに再作成する。そして、ＣＰＵ３２は、その再作成後
の繰り返し露光パターンデータをデータファイル４４に
格納し、図２中のステップ５５におけるまとめ処理を終
了し、ステップ５６に移る。

【００６２】図２に示されるステップ５６はデータ終了
判断処理（データ終了判断手段）であって、図１中のＣ
ＰＵ３２は、データファイル４２に格納された配置デー
タ、即ち、ステップ５２において抽出した全てのパター
ンデータ群に対してステップ５５のまとめ処理を実行し
たか否かを判断する。そして、全てのパターンデータ群
に対してまとめ処理が実行されていない場合、図１中の
ＣＰＵ３２は、ステップ５５へ戻り、次のパターンデー
タ群に対してまとめ処理を実行する。

【００６３】即ち、ＣＰＵ３２は、ステップ５５のまと
め処理を繰り返し実行し、抽出した全てのパターンデー
タ群に対してまとめ処理を実行する。そして、抽出した
全てのパターンデータ群に対するまとめ処理が終了する
と、図１中のＣＰＵ３２は、図２に示されるステップ５
６からステップ５７へ移る。

【００６４】ステップ５７は露光データ構築処理（露光
データ構築手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、ス
テップ５５において作成したまとめテーブルと配置テー
ブルとに基づいて、ステップ５４において作成した仮露
光データをつなぎ合わせ、正式な露光データとして図２
に示されるデータファイル４５に格納する。そして、正
式な露光データの格納を終了すると、図１中のＣＰＵ３
２は露光データ作成処理を終了する。

【００６５】データファイル４５に格納された正式な露
光データは、露光媒体としてのウェハ１９を露光する場
合に利用される。即ち、図２２に示す電子ビーム露光装
置１０において、データファイル４５に格納された露光
データに基づいて、第１〜第３電磁偏向器１５〜１７及
びステージ１８が制御され、ウェハ１９の所定位置に所
望の露光パターンが露光される。

【００６６】この時、図２３に示される半導体チップ２
０において、繰り返しパターンデータＧは、まとめ領域
Ｓ毎に露光される。即ち、その時のまとめ領域Ｓ内にま
とめ直された繰り返しパターンデータＧが露光される。
そして、まとめ領域Ｓの大きさは、図２３に示される半
導体チップ２０のサブフィールド２２の大きさに設定さ
れている。従って、まとめ領域Ｓ内にまとめ直された繰
り返しパターンＧは、図２２におけるＥＢ露光装置１０
の第３電磁偏向器１７の制御のみにより偏光される電子
ビームによって露光され、第２偏向器１６およびステー
ジ１８は制御されない。

【００６７】ところで、従来の繰り返し露光パターンデ
ータ抽出においても、図７に示される本実施形態の繰り
返しパターンＧよりなる露光パターンデータＲが抽出さ
れる。そして、露光パターンデータ群Ｒを従来の方法に
より変換した露光データを用いた場合、各繰り返しパタ
ーンＧは、例えば、最下列左端から上方に向かって順番
に露光される。

【００６８】この場合、繰り返しパターンＧは、図８に
示されるまとめ領域Ｓにまとめ直されていないので、Ｅ
Ｂ露光装置１０は、まとめ領域Ｓを越えて、即ち、図２
３中のサブフィールド２２を越えて繰り返しパターンＧ
を露光する。即ち、ＥＢ露光装置１０は、露光データに
基づいて第２，第３電磁偏向器１６，１７を制御する。
すると、サブフィールド２２内の一列の繰り返しパター
ンＧが露光される毎に、第２電磁偏向器１６が制御され
る。即ち、図２３に示されるサブフィールド２２内の繰
り返し露光パターンＧを露光している間にも第２電磁偏
向器１６が制御されるので、第２電磁偏向器１６が制御
される回数が多くなり、その分だけビーム移動時間が長
くなる。

【００６９】一方、本実施形態では、図８に示されるま
とめ領域Ｓ内の複数の繰り返しパターンＧを露光してい
る間、第２電磁偏向器１６は制御されないので、第２電
磁偏向器１６を制御する回数が従来に比べて減少する。
従って、第２電磁偏向器１６が制御されなくなった分だ
け、ビーム移動時間が少なくなる。

【００７０】更に、まとめ領域Ｓ内の繰り返しパターン
Ｇが第３電磁偏向器１７により露光される間、第２電磁
偏向器１６及びステージ１８は制御されないので、位置
合わせ誤差の発生が防止されれ、露光精度が向上する。

【００７１】次に、図２中のステップ５５におけるまと
め処理を、図３に示されるフローチャートのステップ７
１〜８１に従って詳述する。先ず、図３に示されるステ
ップ７１は図２中のステップ５５における第１ステップ
であって、マトリクス認識処理（マトリクス認識手段）
である。図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイ
ル４２に格納された配置データ、即ち、図２中のステッ
プ５２において抽出した露光パターンデータ群に対して
マトリクス認識を行い、マトリックス個数ｇｎ（ｘ），
ｇｎ（ｙ）、マトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ
（ｙ）を求める。

【００７２】図３に示されるステップ７２〜７７は図２
中のステップ５５における第２ステップであって、まと
め情報テーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手
段）である。先ず、図1 中のＣＰＵ３２は、図7 に示さ
れる露光パターンデータ群Ｒのｘ方向に対して処理を行
う。

【００７３】ステップ７２において、図１中のＣＰＵ３
２は、図２中のステップ５２において抽出した露光パタ
ーンデータ群Ｒ（図７参照）の繰り返しパターンＧがま
とめ領域Ｓに最大幾つはいるかを求める。図1 中のＣＰ
Ｕ３２は、まとめ領域Ｓのｘ方向の長さを繰り返しパタ
ーンＧの領域αのｘ方向の長さで除算し、余りを切り捨
てた結果をまとめ領域Ｓに対してｘ方向に収容可能な最
大個数ａ（ｘ）とする。

【００７４】次に、図３に示されるステップ７３におい
て、図１中のＣＰＵ３２は、ｘ方向に対してまとめ領域
Ｓの必要な個数を求める。ＣＰＵ３２は、図７中の露光
パターンデータ群Ｒのマトリックス個数ｇｎ（ｘ）をス
テップ７２において求めた最大個数ａで除算し、切り上
げた結果をまとめ領域Ｓが必要な個数ｂ（ｘ）とする。

【００７５】次に、図３に示されるステップ７４におい
て、図１中のＣＰＵ３２は、ｘ方向に対して「均等配
置」できるか否かを判断する。ＣＰＵ３２は、まとめ領
域Ｓに対して分割する最小個数「２」からステップ７３
において求めた個数ｂまでの数でｘ方向のマトリックス
個数ｇｎ（ｘ）を除算する。更に、ＣＰＵ３２は、その
除算結果が割り切れる場合、その商が最大個数ａ（ｘ）
以下か否かを判断する。そして、ＣＰＵ３２は、割り切
れた除算結果の商が最大個数ａ以下の場合、「均等配
置」可能であると判断し、その商の値をまとめ領域Ｓに
対する分割の候補値ｃ（ｘ）に設定する。

【００７６】そして、ＣＰＵ３２は、ステップ７３にお
いて求めた個数ｂ（ｘ）まで確認すると、ステップ７４
からステップ７５に移る。個数ｂまでしか確認しないの
は、繰り返しパターンＧをまとめ領域Ｓの必要個数ｂ
（ｘ）よりも多くに分配すると、まとめ領域Ｓの配置個
数が「単純配置」の場合よりも多くなり、かえって露光
パターンデータのデータ量を多くするため、有効ではな
いからである。また、除算結果の商が最大個数ａ（ｘ）
よりも多い場合には、まとめ領域Ｓ内に繰り返しパター
ンＧをまとめることができないため、この場合も有効と
しない。

【００７７】即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ領域Ｓに対す
る繰り返しパターンＧの配置数が図７に示すように左下
から単純にまとめた場合の数以下であって、まとめ領域
Ｓにまとめる数がそのまとめ領域Ｓの最大個数ａ（ｘ）
以下であり、且つ、全てのまとめ領域Ｓにおいて均等で
ある場合である。これ以外の場合、ＣＰＵ３２は、候補
値ｃ（ｘ）を設定しない。

【００７８】次に、図３に示されるステップ７５におい
て、図１中のＣＰＵ３２は、繰り返しパターンＧをまと
め領域Ｓにまとめる併合値ｄ（ｘ）を設定する。併合値
ｄ（ｘ）は、まとめ領域Ｓに対してｘ方向に繰り返しパ
ターンＧをまとめ直すときの配置数である。

【００７９】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４にお
いて候補値ｃ（ｘ）が設定されている場合、その候補値
ｃ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）に格納する。一方、ステップ
７４において候補値ｃ（ｘ）が設定されていない場合、
図１中のＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２において
求めた最大個数ａ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）に格納する。
そして、ＣＰＵ３２は、併合値ｄ（ｘ）の設定を終了す
ると、図３中のステップ７５からステップ７６に移る。

【００８０】ステップ７６において、図１中のＣＰＵ３
２は、併合値の設定をｘ，ｙ方向ともに終了したか否か
を判断する。そして、ＣＰＵ３２は、ｙ方向の併合値ｄ
（ｙ）の設定が終了していない場合、ステップ７２に戻
り、ｙ方向に対する処理を実行する。即ち、図１中のＣ
ＰＵ３２は、ｘ方向の併合値ｄ（ｘ）と同様に、最大個
数ａ（ｙ），必要個数ｂ（ｙ），候補値ｃ（ｙ）を求
め、併合値ｄ（ｙ）を設定する。そして、ｙ方向に対す
る処理を終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、ステップ
７６からステップ７７に移る。

【００８１】図３に示されるステップ７７はまとめ情報
テーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手段）であ
って、図１中のＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２か
らステップ７６のループにおいて求めたｘ方向の候補値
ｃ（ｘ）及び併合値ｄ（ｘ）とｙ方向の候補値ｃ（ｙ）
及び併合値ｄ（ｙ）とに基づいて、まとめ情報テーブル
を作成する。そのまとめ情報テーブルの作成において、
図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）及び
併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）により発生するまとめ領域Ｓ
の種類を求める。

【００８２】この時、Ｘ，Ｙ方向それぞれにb4で候補値
ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）が設定されている場合と設定されて
いない場合とがある。候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）がそれ
ぞれ設定されている場合は、まとめ領域Ｓに対して繰り
返しパターンＧが均等に分配可能、即ち、図７に示す
「均等配置」の場合である。一方、候補値ｃ（ｘ），ｃ
（ｙ）がそれぞれ設定されていない場合、まとめ領域Ｓ
に対して繰り返しパターンＧが均等に分配不可能、即
ち、図７に示す「単純配置」の場合である。

【００８３】従って、発生するまとめ領域Ｓの種類は、
最大４種類となる。そして、図１中のＣＰＵ３２は、各
々の組み合わせに応じてまとめ情報テーブルを作成す
る。図８に示すように、まとめ情報テーブル６１は、ま
とめテーブル６２と配置テーブル６３とから構成され
る。

【００８４】図１中のＣＰＵ３２は、図８中のまとめテ
ーブル６２に対して、基の繰り返し露光パターンデータ
をどのようにまとめ直すかの情報をマトリクス表現で格
納する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ直す基の繰り返し
パターンＧのアドレスをアドレス６４に格納する。更
に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７２〜７６におい
て求めた候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）及び併合値ｄ
（ｘ），ｄ（ｙ）に基づいて図８に示されるまとめ個数
ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）を求め、まとめテーブル６２に
格納する。また、ＣＰＵ３２は、抽出した繰り返しパタ
ーンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を
それぞれ繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）として
まとめテーブル６２に格納する。

【００８５】また、ＣＰＵ３２は、図８中の配置テーブ
ル６３に対して、まとめ直した繰り返し露光パターンデ
ータをどの位置に配置するのかの情報をマトリクス表現
で格納する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ直したまとめ
領域Ｓの種類を種類数６５に格納する。更に、ＣＰＵ３
２は、使用する種類のまとめ領域Ｓのアドレスをアドレ
ス６６に、まとめ領域Ｓの繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓ
ｎ（ｙ）、まとめ領域Ｓの繰り返しピッチｓｐ（ｘ），
ｓｐ（ｙ）を格納する。

【００８６】図１中のＣＰＵ３２は、図８に示されるま
とめテーブル６２を図１中のデータテーブル４６に、図
８に示される配置テーブル６３を図１中のデータファイ
ル４７に格納する。そして、両データファイル４６，４
７への格納が終了すると、図１中のＣＰＵ３２は、図３
に示されるステップ７７からステップ７８に移る。

【００８７】次に、図３に示されるステップ７８は図２
中のステップ５５における第３ステップであって、露光
データ（配置データ）再作成処理（露光データ（配置デ
ータ）再作成手段）である。図２中のデータファイル４
２に格納された配置データを入力する。そして、図１中
のＣＰＵ３２は、ステップ７７において作成した図８中
のまとめ情報テーブル６１に基づいて、基の配置データ
をまとめた後の配置データに再作成し、その再作成後の
配置データを中間データとしてデータファイル４４に格
納する。

【００８８】次に、図３に示されるステップ７９〜８１
は図２中のステップ５５における第４ステップであっ
て、露光データ（パターン）再作成処理（露光データ
（パターン）再作成手段）である。ステップ７９におい
て、図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４
４に格納された仮露光データを入力し、基の露光パター
ン、即ち、繰り返しパターンＧ（図７参照）が単独表現
か否かを判断する。そして、繰り返しパターンＧが単独
表現の場合、図１中のＣＰＵ３２は、図３に示されるス
テップ７９からステップ８０に移る。

【００８９】ステップ８０において、図１中のＣＰＵ３
２は、ステップ７７において作成した図８中のまとめ情
報テーブル６１に基づいて、基の繰り返し露光パターン
データをまとめた後の繰り返し露光パターンデータに再
作成する。そして、ＣＰＵ３２は、その再作成後の繰り
返し露光パターンデータをデータファイル４４に格納す
る。

【００９０】一方、図３中のステップ７９において繰り
返しパターンＧが単独表現ではない、即ち、繰り返しパ
ターンＧが更に複数の基本パターンデータをｘ，ｙ方向
に繰り返すマトリックス表現である場合、図１中のＣＰ
Ｕ３２はステップ７９からステップ８１に移る。ステッ
プ８１はパターンデータ展開処理（パターンデータ展開
手段）であって、図１中のＣＰＵ３２は、マトリックス
表現の繰り返しパターンＧの展開処理を行う。

【００９１】この時、図１中のＣＰＵ３２は、入力した
繰り返しパターンＧを構成する基本パターンデータのマ
トリックス個数と、図３中のステップ７７において求め
られ図８中のまとめテーブル６２に格納された繰り返し
パターンＧのまとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）とを比
較する。そして、ＣＰＵ３２は、比較結果に基づいて、
個数の少ない方を展開したマトリックス表現にて再作成
した新たな露光パターンデータをデータファイル４４に
格納する。

【００９２】例えば、図９（ａ）に示すように、まとめ
領域Ｓには９個の繰り返しパターンＧがまとめ直されて
おり、各繰り返しパターンＧは、それぞれ４個の基本パ
ターンデータＧ１のマトリックスにより表現されてい
る。この場合、繰り返しパターンＧのまとめ個数ｍｎ
（ｘ），ｍｎ（ｙ）はそれぞれ「３」であり、基本パタ
ーンデータＧ１のマトリックス個数はｘ，ｙ方向にそれ
ぞれ「２」である。そして、図９（ａ）に実線で示す露
光パターンデータＧ１により構成される繰り返しパター
ンＧを、点線で示すようにｘ方向，ｙ方向に９回繰り返
し露光する。

【００９３】従って、図１中のＣＰＵ３２は、少ない
方、即ち、基本パターンデータＧ１のマトリックス個数
を展開し、３×３のマトリックス表現された基本パター
ンデータＧ１により構成される２×２、即ち、４個の新
たな繰り返しパターンＧ２に展開する。そして、図９
（ａ）と同様に図９（ｂ）においても実線で示す露光パ
ターンデータＧ１により構成される繰り返しパターンＧ
２を点線で示すようにｘ方向，ｙ方向に４回繰り返し露
光する。従って、まとめ領域Ｓの繰り返し数は、９個か
ら４個の減少する。

【００９４】ところで、露光データは、繰り返し露光さ
れる繰り返し露光パターンデータがその繰り返し数だけ
並べて記述される。従って、露光データは、まとめ領域
Ｓを構成する９個の繰り返しパターンＧを４個の繰り返
しパターンＧ２に変更することにより、その分だけデー
タ量が少なくなる。

【００９５】次に、ステップ７７におけるまとめ情報テ
ーブル作成処理（まとめ情報テーブル作成手段）を図４
及び図５に示されるフローチャートに従って詳述する。
先ず、図４中のステップ１０１，１０２と図５中のステ
ップ１０３において、図１中のＣＰＵ３２は、まとめ領
域Ｓに対する分割方法に応じて分岐する。即ち、ＣＰＵ
３２は、ｘ方向とｙ方向とにそれぞれ設定される「均等
配置」又は「単純配置」に基づいて、分岐する。

【００９６】具体的には、図１中のＣＰＵ３２は、先ず
図４中のステップ１０１において、図３中のステップ７
４において求めた候補値ｃ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とを
比較する。そして、ＣＰＵ３２は、候補値ｃ（ｘ）と併
合値ｄ（ｘ）とが一致する場合にはステップ１０２へ、
一致しない場合には図５中のステップ１０３へ分岐す
る。

【００９７】次に、ステップ１０２，１０３において、
図１中のＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４において
求めた候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とをそれぞれ比
較する。そして、ＣＰＵ３２は、図４のステップ１０２
において、候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｙ）とが一致す
る場合にはステップ１０４へ、一致しない場合にはステ
ップ１０７へ分岐する。また、ＣＰＵ３２は、図５のス
テップ１０３において、候補値ｃ（ｙ）と併合値ｄ
（ｙ）とが一致する場合にはステップ１１２へ、一致し
ない場合にはステップ１１７へ分岐する。

【００９８】即ち、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ
（ｘ），ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）とが一致
する、即ち、ｘ方向及びｙ方向に「均等配置」される場
合に図４中のステップ１０４に分岐する。そして、ＣＰ
Ｕ３２は、先ずステップ１０４において、図８中の配置
テーブル６３の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種
類数「１」を格納する。

【００９９】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のス
テップ１０５においてまとめテーブル６２（図８参照）
を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２
のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）を、まとめ個
数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）を格納する。また、ＣＰ
Ｕ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそ
れぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパ
ターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）
を格納する。

【０１００】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のス
テップ１０６において配置テーブル６３（図８参照）を
作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリックス認識（図
３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇ
ｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ（ｘ），ｄ
（ｙ）にて除算した結果を配置テーブル６３の繰り返し
個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納する。また、ＣＰＵ
３２は、求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ
（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）とをそれぞれ乗算し
た結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納
する。

【０１０１】また、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ
（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）が一致し候補値ｃ（ｙ）と併合
値ｄ（ｙ）とが一致しない、即ち、ｘ方向には「均等配
置」されｙ方向には「単純配置」される場合に図４中の
ステップ１０７に分岐する。そして、ＣＰＵ３２は、先
ずステップ１０７において、図８中の配置テーブル６３
の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種類数「２」を
格納する。

【０１０２】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のス
テップ１０８において１種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）
を格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ
（ｙ）に併合値ｄ（ｙ）、即ち、ｙ方向の最大個数ａ
（ｙ）を格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返し
ピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステ
ップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリッ
クスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１０３】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のス
テップ１０９において１種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリック
ス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリッ
クス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ
（ｘ），ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））で除算した結
果を配置テーブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ
（ｙ）に格納する。また、ＣＰＵ３２は、求めたマトリ
ックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）と併合値ｄ
（ｘ），ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））とをそれぞれ
乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）
に格納する。

【０１０４】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のス
テップ１１０において２種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）
を格納する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ
（ｙ）にマトリックス個数ｇｎ（ｙ）を最大個数ａ
（ｙ）にて除算した余りを格納する。更にまた、ＣＰＵ
３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれ
ぞれ図３中のステップ７１において求めた繰り返しパタ
ーンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を
格納する。

【０１０５】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図４中のス
テップ１１１において２種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対
してマトリックス認識（図３，ステップ７１）において
求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）に
て除算した結果を繰り返し個数ｓｎ（ｘ）に格納する。
一方、ｙ方向に対しては、２種類目のまとめ領域Ｓに
は、単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納さ
れるので、まとめ領域Ｓのｙ方向への繰り返しはない。
そのため、ＣＰＵ３２は、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ
（ｙ）に「１」を格納する。

【０１０６】また、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対して求め
たマトリックスピッチｇｐ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とを
乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ）に格納する。
一方、ｙ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがないた
め、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｙ）に
「０」を格納する。

【０１０７】また、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ
（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）が一致せず候補値ｃ（ｙ）と併
合値ｄ（ｙ）が一致する、即ち、ｘ方向には「単純配
置」されｙ方向には「均等配置」される場合に図５中の
ステップ１１２に分岐する。そして、ＣＰＵ３２は、先
ずステップ１１２において、図８中の配置テーブル６３
の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓの種類数「２」を
格納する。

【０１０８】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１１３において１種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ
（ｘ）、即ち、ｘ方向の最大個数ａ（ｘ）を格納する。
また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併合値ｄ
（ｙ）を格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返し
ピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステ
ップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマトリッ
クスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１０９】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１１４において１種類目の配置テーブル６３を作
成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリックス認識（図
３，ステップ７１）において求めたマトリックス個数ｇ
ｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ（ｘ）（＝最
大個数ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）で除算した結果を配置テー
ブル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納
する。また、ＣＰＵ３２は、求めたマトリックスピッチ
ｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数
ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）とをそれぞれ乗算した結果を繰り
返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納する。

【０１１０】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１１５において２種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）にマトリックス個
数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）にて除算した余りを格納
する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併
合値ｄ（ｙ）を格納する。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰
り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中
のステップ７１において求めた繰り返しパターンＧのマ
トリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１１１】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１１６において２種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ｘ方向に対して２種類目の
まとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパター
ンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｘ方向への繰り
返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｘ方向のマトリ
ックス個数ｓｎ（ｘ）に「１」を格納する。一方、ＣＰ
Ｕ３２は、ｙ方向に対してマトリックス認識（図３，ス
テップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ
（ｙ）を併合値ｄ（ｙ）にて除算した結果を配置テーブ
ル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）に格納する。

【０１１２】また、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り
返しがないため、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓ
ｐ（ｘ）に「０」を格納する。一方、ＣＰＵ３２は、ｙ
方向に対して求めたマトリックスピッチｇｐ（ｙ）と併
合値ｄ（ｙ）とを乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ
（ｙ）に格納する。

【０１１３】また、図１中のＣＰＵ３２は、候補値ｃ
（ｘ），ｃ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ），ｄ（ｙ）が共に一
致しない、即ち、ｘ方向及びｙ方向に「単純配置」され
る場合に図５中のステップ１１７に分岐する。そして、
ＣＰＵ３２は、先ずステップ１１７において、図８中の
配置テーブル６３の種類数６６に作成するまとめ領域Ｓ
の種類数「４」を格納する。

【０１１４】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１１８において１種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）
（＝最大個数ａ（ｘ））を、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併
合値ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））を格納する。ま
た、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ
（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた
繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），
ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１１５】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１１９において１種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、マトリック
ス認識（図３，ステップ７１）において求めたマトリッ
クス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれぞれ併合値ｄ
（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ）），ｄ（ｙ）（＝最大個数
ａ（ｙ））にて除算した結果を配置テーブル６３の繰り
返し個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に格納する。また、Ｃ
ＰＵ３２は、求めたマトリックスピッチｇｐ（ｘ），ｇ
ｐ（ｙ）と併合値ｄ（ｘ）（＝最大個数ａ（ｘ）），ｄ
（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））とをそれぞれ乗算した結
果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に格納す
る。

【０１１６】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１２０において２種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）にマトリックス個
数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）にて除算した余りを格納
する。また、ＣＰＵ３２は、まとめ個数ｍｎ（ｙ）に併
合値ｄ（ｙ）（＝最大個数ａ（ｙ））を格納する。ま
た、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ（ｘ），ｍｐ
（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１において求めた
繰り返しパターンＧのマトリックスピッチｇｐ（ｘ），
ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１１７】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１２１において２種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ｘ方向に対して２種類目の
まとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパター
ンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｘ方向への繰り
返しはない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｘ方向のマトリ
ックス個数ｓｎ（ｘ）に「１」を格納する。一方、ＣＰ
Ｕ３２は、ｙ方向に対してマトリックス認識（図３，ス
テップ７１）において求めたマトリックス個数ｇｎ
（ｙ）を併合値ｄ（ｙ）にて除算した結果を配置テーブ
ル６３の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）に格納する。

【０１１８】また、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り
返しがないため、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓ
ｐ（ｘ）に「０」を格納する。一方、ＣＰＵ３２は、ｙ
方向に対して求めたマトリックスピッチｇｐ（ｙ）と併
合値ｄ（ｙ）とを乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ
（ｙ）に格納する。

【０１１９】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１２２において３種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）に併合値ｄ（ｘ）
（＝最大個数ａ（ｘ））を格納する。また、ＣＰＵ３２
は、、まとめ個数ｍｎ（ｙ）にマトリックス個数ｇｎ
（ｙ）を最大個数ａ（ｙ）にて除算した余りを格納す
る。更にまた、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ
（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１に
おいて求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチ
ｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１２０】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１２３において３種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対
してマトリックス認識（図３，ステップ７１）において
求めたマトリックス個数ｇｎ（ｘ）を併合値ｄ（ｘ）に
て除算した結果を繰り返し個数ｓｎ（ｘ）に格納する。
一方、ｙ方向に対しては、３種類目のまとめ領域Ｓに
は、単純配置された余りの繰り返しパターンＧが格納さ
れるので、まとめ領域Ｓのｙ方向への繰り返しはない。
そのため、ＣＰＵ３２は、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ
（ｙ）に「１」を格納する。

【０１２１】また、ＣＰＵ３２は、ｘ方向に対して求め
たマトリックスピッチｇｐ（ｘ）と併合値ｄ（ｘ）とを
乗算した結果を繰り返しピッチｓｐ（ｘ）に格納する。
一方、ｙ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り返しがないた
め、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッチｓｐ（ｙ）に
「０」を格納する。

【０１２２】次に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１２４において４種類目のまとめテーブル６２
（図８参照）を作成する。即ち、ＣＰＵ３２は、まとめ
テーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ），ｍｎ（ｙ）に対
して、マトリックス個数ｇｎ（ｘ），ｇｎ（ｙ）をそれ
ぞれ最大個数ａ（ｘ），ａ（ｙ）にて除算した余りを格
納する。また、ＣＰＵ３２は、繰り返しピッチｍｐ
（ｘ），ｍｐ（ｙ）にそれぞれ図３中のステップ７１に
おいて求めた繰り返しパターンＧのマトリックスピッチ
ｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）を格納する。

【０１２３】更に、図１中のＣＰＵ３２は、図５中のス
テップ１２５において４種類目の配置テーブル６３（図
８参照）を作成する。即ち、ｘ方向に対して、４種類目
のまとめ領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパタ
ーンＧが格納されるので、まとめ領域Ｓのｘ方向への繰
り返しはない。また、ｙ方向に対して４種類目のまとめ
領域Ｓには単純配置された余りの繰り返しパターンＧが
格納されるので、まとめ領域Ｓのｙ方向への繰り返しは
ない。そのため、ＣＰＵ３２は、ｘ，ｙ方向の繰り返し
個数ｓｎ（ｘ），ｓｎ（ｙ）に「１」を格納する。

【０１２４】また、ｘ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り
返しがない。また、ｙ方向に対してまとめ領域Ｓの繰り
返しがない。従って、ＣＰＵ３２は、マトリックスピッ
チｓｐ（ｘ），ｓｐ（ｙ）に「０」を格納する。

【０１２５】次に、上記のように構成された露光データ
作成装置３１の作用を図１０〜２１に従って説明する。
先ず、図１０〜１２に従って、Ｘ，Ｙ方向共に均等配置
できる場合について説明する。

【０１２６】図１中のＣＰＵ３２は、図２中のデータフ
ァイル４１に格納された設計データから図１０に示す露
光パターンデータ群Ｒを抽出する。露光パターンデータ
群Ｒは、８１個の繰り返しパターンＧがｘ方向とｙ方向
のマトリックスに配列されている。

【０１２７】図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを
入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパター
ンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ
（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝９と、マトリックスピッチｇ
ｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。

【０１２８】次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７
２において図１０に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な
最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３におい
てまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。

【０１２９】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４にお
いて判定条件に当てはまるため均等配置可能と判断し、
候補値ｃ（ｘ）＝３を設定する。これにより、ＣＰＵ３
２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）が
設定されているため、併合値ｄ（ｘ）＝候補値ｃ（ｘ）
＝３を設定する。

【０１３０】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６にお
いてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中
のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数
ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ
（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、Ｃ
ＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはま
るため均等配置可能であると判断して候補値ｃ（ｙ）＝
３を設定し、ステップ７５において併合値ｄ（ｙ）＝候
補値ｃ（ｙ）＝３を設定する。

【０１３１】次に、図３中のステップ７７において、図
１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図
３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）
共に設定されているため、図１中のＣＰＵ３２は、図４
中のステップ１０１，１０２の判定によりステップ１０
４へ分岐する。

【０１３２】図４中のステップ１０４において、図１中
のＣＰＵ３２は、Ｘ，Ｙ方向共に均等配置できるためま
とめ領域Ｓの種類は１種類となり、図８中のまとめテー
ブル６２の種類数６５に「１」を格納する。

【０１３３】次に、図４中のステップ１０５において、
図１中のＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２を作成す
る。まとめ領域Ｓにまとめ直す繰り返しパターンＧの併
合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝３であるため、ＣＰＵ３
２は、まとめテーブル６２のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ
（ｘ）＝３，ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝３を設定する。

【０１３４】更に、図４中のステップ１０６において、
図１中のＣＰＵ３２は、配置テーブル６３を作成する。
この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）
＝９，ｇｎ（ｙ）＝９、併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）
＝３であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数
ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝９÷３＝３、ｙ方
向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝
９÷３＝３となる。また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り
返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ
（ｘ）×３、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ
（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×３となる。

【０１３５】その結果、図１１に示すように、各値が格
納された１種類のまとめテーブル６２と配置テーブル６
３とにより図１０中の露光パターンデータ群Ｒのまとめ
情報テーブル６１が構成される。

【０１３６】図３中のステップ７８において、図１中の
ＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づい
て、ステップ７１にて入力した８１個の繰り返しパター
ンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓの配置データに
置き換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７
９〜８１において基の繰り返し露光パターンデータをま
とめ情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返
し露光パターンデータとして出力する。

【０１３７】従って、図１０に示される露光パターンデ
ータ群Ｒの配置数は、８１個から９個に減少する。そし
て、図１２に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍ
ｎ（ｙ）＝３×３個の繰り返しパターンＧにより構成さ
れる１種類のまとめ領域Ｓを、繰り返しピッチｓｐ
（ｘ），ｓｐ（ｙ）にて露光する事により、露光パター
ンデータ群Ｒが露光される。

【０１３８】次に、図１３〜１５に従って、Ｘ方向にの
み均等配置できる場合について説明する。図１中のＣＰ
Ｕ３２は、図２中のデータファイル４１に格納された設
計データから図１３に示す露光パターンデータ群Ｒを抽
出する。露光パターンデータ群Ｒは、９０個の繰り返し
パターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックスに配列され
ている。

【０１３９】図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを
入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパター
ンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ
（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝１０と、マトリックスピッチ
ｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。

【０１４０】次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７
２において図１３に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な
最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３におい
てまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。

【０１４１】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４にお
いて判定条件に当てはまるため均等配置可能と判断し、
候補値ｃ（ｘ）＝３を設定する。そのため、ＣＰＵ３２
は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）が設
定されているので、併合値ｄ（ｘ）＝候補値ｃ（ｘ）＝
３を設定する。

【０１４２】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６にお
いてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中
のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数
ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ
（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、Ｃ
ＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはま
らないため均等配置不可能であると判断して候補値ｃ
（ｙ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ３２は、ステッ
プ７５において併合値ｄ（ｙ）＝最大個数ａ（ｙ）＝４
を設定する。

【０１４３】次に、図３中のステップ７７において、図
１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図
３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ）は設定され
ているが候補値ｃ（ｙ）は設定されていないので、図１
中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０１，１０２の
判定によりステップ１０７へ分岐する。そして、図４中
のステップ１０７において、図１中のＣＰＵ３２は、図
８中のまとめテーブル６２の種類数６５にまとめ領域Ｓ
の種類数「２」を格納する。

【０１４４】次に、図４中のステップ１０８において、
図１中のＣＰＵ３２は、１種類目のまとめテーブル６２
ａ（図１４参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）
＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ａ
のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝３，ｍｎ（ｙ）＝
ｄ（ｙ）＝４を設定する。更に、図４中のステップ１０
９において、図１中のＣＰＵ３２は、１種類目の配置テ
ーブル６３を作成する。この時、繰り返しパターンＧの
繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝９，ｇｎ（ｙ）＝１０、併合
値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）＝４であるため、まとめ領域
Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ
（ｘ）＝９÷３＝３、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）
＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝１０÷４＝２（商）となる。
また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ
（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×３、ｙ方
向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）
＝ｇｐ（ｙ）×４となる。

【０１４５】次に、図４中のステップ１１０において、
図１中のＣＰＵ３２は、２種類目のまとめテーブル６２
ｂ（図１４参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝３，ｄ（ｙ）
＝ａ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテー
ブル６２ｂのｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）
＝３を設定する。更に、ＣＰＵ３２は、ｙ方向のまとめ
個数ｍｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｙ）÷最大個
数ａ（ｙ）＝１０÷４の余り）を設定する。

【０１４６】更に、図４中のステップ１１１において、
図１中のＣＰＵ３２は、２種類目の配置テーブル６３を
作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数
ｇｎ（ｘ）＝９、併合値ｄ（ｘ）＝３であるため、まと
め領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ
（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝９÷３＝３となる。一方、２種類目
のまとめ領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納さ
れるｙ方向の繰り返し配置が無いので、繰り返し個数ｓ
ｎ（ｙ）＝１となる。

【０１４７】また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピ
ッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×
３となる。一方、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの繰
り返しパターンＧが格納されｙ方向の繰り返し配置は無
いので、繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝０となる。

【０１４８】その結果、図１４に示すように、各値が格
納された２種類のまとめテーブル６２ａ，６２ｂと、配
置テーブル６３とにより図１３中の露光パターンデータ
群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。従って、
図１５に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ
（ｙ）＝３×４のマトリックスの繰り返しパターンＧよ
りなる１種類目のまとめ領域Ｓａと、繰り返し個数ｍｎ
（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝３×２のマトリックスの繰り返し
パターンＧよりなる２種類目のまとめ領域Ｓｂとが構成
される。そして、露光パターンデータ群Ｒは、６個の１
種類目のまとめ領域Ｓａと３個の２種類目のまとめ領域
Ｓｂにより露光される。

【０１４９】図３中のステップ７８において、図１中の
ＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づい
て、ステップ７１にて入力した９０個の繰り返しパター
ンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓ（６個のまとめ
領域Ｓａと３個のまとめ領域Ｓｂ）の配置データに置き
換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７９〜
８１において基の繰り返し露光パターンデータをまとめ
情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返し露
光パターンデータとして出力する。この結果、繰り返し
パターンデータの配置数は、９０個から９個に減少す
る。

【０１５０】次に、図１６〜１８に従って、Ｙ方向にの
み均等配置できる場合について説明する。図１中のＣＰ
Ｕ３２は、図２中のデータファイル４１に格納された設
計データから図１６に示す露光パターンデータ群Ｒを抽
出する。露光パターンデータ群Ｒは、９９個の繰り返し
パターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックスに配列され
ている。

【０１５１】図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを
入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパター
ンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ
（ｘ）＝１１，ｇｎ（ｙ）＝９と、マトリックスピッチ
ｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。

【０１５２】次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７
２において図１６に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な
最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３におい
てまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。

【０１５３】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４にお
いて判定条件に当てはまらないため均等配置不可能と判
断し、候補値ｃ（ｘ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ
３２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）
が設定されていないため、併合値ｄ（ｘ）＝最大個数ａ
（ｘ）＝４を設定する。

【０１５４】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６にお
いてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中
のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数
ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ
（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、Ｃ
ＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはま
るため均等配置可能であると判断して候補値ｃ（ｙ）＝
３を設定する。そのため、ＣＰＵ３２は、ステップ７５
において候補値ｃ（ｙ）が設定されているので、併合値
ｄ（ｙ）＝候補値ｃ（ｙ）＝３を設定する。

【０１５５】次に、図３中のステップ７７において、図
１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図
３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ）は設定され
ていないが候補値ｃ（ｙ）は設定されているので、図１
中のＣＰＵ３２は、図４中のステップ１０１及び図５中
のステップ１０３の判定によりステップ１１２へ分岐す
る。そして、図５中のステップ１１２において、図１中
のＣＰＵ３２は、図８中のまとめテーブル６２の種類数
６５にまとめ領域Ｓの種類数「２」を格納する。

【０１５６】次に、図５中のステップ１１３において、
図１中のＣＰＵ３２は、１種類目のまとめテーブル６２
ａ（図１７参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝ａ（ｘ）＝
４，ｄ（ｙ）＝３であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテ
ーブル６２ａのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝４，
ｍｎ（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝３を設定する。

【０１５７】更に、図５中のステップ１１４において、
図１中のＣＰＵ３２は、１種類目の配置テーブル６３を
作成する。この時、繰り返しパターンＧの繰り返し個数
ｇｎ（ｘ）＝１１，ｇｎ（ｙ）＝９、併合値ｄ（ｘ）＝
４，ｄ（ｙ）＝３であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の
繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝１１
÷４＝３（商）、ｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇ
ｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝９÷３＝３となる。また、まとめ
領域Ｓのｘ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ
（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×４、ｙ方向の繰り返し
ピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）
×３となる。

【０１５８】次に、図５中のステップ１１５において、
図１中のＣＰＵ３２は、２種類目のまとめテーブル６２
ｂ（図１７参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）
＝３であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｂ
のｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝３（繰り返し個数ｇ
ｎ（ｘ）÷併合値ｄ（ｘ）＝１１÷４の余り）を設定す
る。更に、ＣＰＵ３２は、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ
（ｙ）＝ｄ（ｙ）＝３を設定する。

【０１５９】更に、図５中のステップ１１６において、
図１中のＣＰＵ３２は、２種類目の配置テーブル６３を
作成する。この時、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの
繰り返しパターンＧが格納されるｘ方向の繰り返し配置
が無いので、繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝１となる。一
方、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇｎ（ｙ）＝
９、併合値ｄ（ｙ）＝３であるため、まとめ領域Ｓのｙ
方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）
＝９÷３＝３となる。

【０１６０】また、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの
繰り返しパターンＧが格納されｘ方向の繰り返し配置は
無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝０となる。一
方、まとめ領域Ｓのｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）
＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×３となる。

【０１６１】その結果、図１７に示すように、各値が格
納された２種類のまとめテーブル６２ａ，６２ｂと、配
置テーブル６３とにより図１６中の露光パターンデータ
群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。従って、
図１８に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ
（ｙ）＝４×３のマトリックスの繰り返しパターンＧよ
りなる１種類目のまとめ領域Ｓａと、繰り返し個数ｍｎ
（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝３×３のマトリックスの繰り返し
パターンＧよりなる２種類目のまとめ領域Ｓｂとが構成
される。そして、露光パターンデータ群Ｒは、６個の１
種類目のまとめ領域Ｓａと３個の２種類目のまとめ領域
Ｓｂにより露光される。

【０１６２】図３中のステップ７８において、図１中の
ＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに基づい
て、ステップ７１にて入力した９９個の繰り返しパター
ンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓ（６個のまとめ
領域Ｓａと３個のまとめ領域Ｓｂ）の配置データに置き
換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７９〜
８１において基の繰り返し露光パターンデータをまとめ
情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな繰り返し露
光パターンデータとして出力する。この結果、繰り返し
パターンデータの配置数は、９９個から９個に減少す
る。

【０１６３】更に次に、図１９〜２１に従って、Ｘ，Ｙ
方向共に均等配置できない場合について説明する。図１
中のＣＰＵ３２は、図２中のデータファイル４１に格納
された設計データから図１９に示す露光パターンデータ
群Ｒを抽出する。露光パターンデータ群Ｒは、１００個
の繰り返しパターンＧがｘ方向とｙ方向のマトリックス
に配列されている。

【０１６４】図１中のＣＰＵは、繰り返しパターンＧを
入力し、図３中のステップ７１において繰り返しパター
ンＧのマトリクス認識を行い、マトリクス個数ｇｎ
（ｘ）＝１０，ｇｎ（ｙ）＝１０と、マトリックスピッ
チｇｐ（ｘ），ｇｐ（ｙ）とを求める。

【０１６５】次に、ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７
２において図１９に示されるまとめ領域Ｓに収容可能な
最大個数ａ（ｘ）＝４を、図３中のステップ７３におい
てまとめ領域Ｓの必要個数ｂ（ｘ）＝３を求める。

【０１６６】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７４にお
いて判定条件に当てはまらないため均等配置不可能と判
断し、候補値ｃ（ｘ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ
３２は、図３中のステップ７５において候補値ｃ（ｘ）
が設定されていないため、併合値ｄ（ｘ）＝最大個数ａ
（ｘ）＝４を設定する。

【０１６７】ＣＰＵ３２は、図３中のステップ７６にお
いてｙ方向に対して処理を終了していないため、図３中
のステップ７２〜７５においてｙ方向のマトリクス個数
ｇｎ（ｙ）について同様の処理を行い、最大個数ａ
（ｙ）＝４、必要個数ｂ（ｙ）＝３を求める。更に、Ｃ
ＰＵ３２は、ステップ７４において判定条件に当てはま
らないため均等配置不可能であると判断して候補値ｃ
（ｙ）を設定しない。そのため、ＣＰＵ３２は、ステッ
プ７５において候補値ｃ（ｙ）が設定されていないた
め、併合値ｄ（ｙ）＝最大値ａ（ｙ）＝４を設定する。

【０１６８】次に、図３中のステップ７７において、図
１中のＣＰＵ３２はまとめ情報を作成する。この時、図
３中のステップ７４において候補値ｃ（ｘ），ｃ（ｙ）
は共に設定されていないので、図１中のＣＰＵ３２は、
図４中のステップ１０１及び図５中のステップ１０３の
判定によりステップ１１７へ分岐する。そして、図５中
のステップ１１７において、図１中のＣＰＵ３２は、図
８中のまとめテーブル６２の種類数６５にまとめ領域Ｓ
の種類数「４」を格納する。

【０１６９】次に、図５中のステップ１１８において、
図１中のＣＰＵ３２は、１種類目のまとめテーブル６２
ａ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）
＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ａ
のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ（ｘ）＝４，ｍｎ（ｙ）＝
ｄ（ｙ）＝４を設定する。

【０１７０】更に、図５中のステップ１１９において、
図１中のＣＰＵ３２は、１種類目の配置テーブル６３
（図２０参照）を作成する。この時、繰り返しパターン
Ｇの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝１０，ｇｎ（ｙ）＝１
０、併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）＝４であるため、ま
とめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝ｇｎ
（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝１０÷４＝２（商）、ｙ方向の繰り
返し個数ｓｎ（ｙ）＝ｇｎ（ｙ）÷ｄ（ｙ）＝１０÷４
＝２（商）となる。また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り
返しピッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ
（ｘ）×４、ｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝ｇｐ
（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×４となる。

【０１７１】次に、図５中のステップ１２０において、
図１中のＣＰＵ３２は、２種類目のまとめテーブル６２
ｂ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝４，ｄ（ｙ）
＝４であるため、ＣＰＵ３２は、まとめテーブル６２ｂ
のｘ方向のまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝２（繰り返し個数ｇ
ｎ（ｘ）÷併合値ｄ（ｘ）＝１０÷４の余り）を設定す
る。更に、ＣＰＵ３２は、ｙ方向のまとめ個数ｍｎ
（ｙ）＝併合値ｄ（ｙ）＝４を設定する。

【０１７２】更に、図５中のステップ１２１において、
図１中のＣＰＵ３２は、２種類目の配置テーブル６３
（図２０参照）を作成する。この時、２種類目のまとめ
領域Ｓには余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ方向
の繰り返し配置が無いので、繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝
１となる。一方、繰り返しパターンＧの繰り返し個数ｇ
ｎ（ｙ）＝１０、併合値ｄ（ｙ）＝４であるため、まと
め領域Ｓのｙ方向の繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝２（繰り
返し個数ｇｎ（ｙ）÷併合値ｄ（ｙ）＝１０÷４の余
り）となる。

【０１７３】また、２種類目のまとめ領域Ｓには余りの
繰り返しパターンＧが格納されｘ方向の繰り返し配置は
無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝０となる。一
方、まとめ領域Ｓのｙ方向の繰り返しピッチｓｐ（ｙ）
＝ｇｐ（ｙ）×ｄ（ｙ）＝ｇｐ（ｙ）×４となる。

【０１７４】次に、図５中のステップ１２２において、
図１中のＣＰＵ３２は、３種類目のまとめテーブル６２
ｃ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまとめ直
す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝ａ（ｘ）＝
４，ｄ（ｙ）＝ａ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２
は、まとめテーブル６２ｃのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝ｄ
（ｘ）＝４，ｍｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数ｇｎ（ｙ）
÷併合値ｄ（ｙ）＝１０÷４の余り）を設定する。

【０１７５】更に、図５中のステップ１２３において、
図１中のＣＰＵ３２は、３種類目の配置テーブル６３
（図２０参照）を作成する。この時、繰り返しパターン
Ｇの繰り返し個数ｇｎ（ｘ）＝１０、併合値ｄ（ｘ）＝
４であるため、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返し個数ｓ
ｎ（ｘ）＝ｇｎ（ｘ）÷ｄ（ｘ）＝１０÷４＝２（商）
となる。一方、３種類目のまとめ領域Ｓにはｙ方向の余
りの繰り返しパターンＧが格納されｙ方向の繰り返し配
置がないので、繰り返し個数ｓｎ（ｙ）＝１となる。

【０１７６】また、まとめ領域Ｓのｘ方向の繰り返しピ
ッチｓｐ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×ｄ（ｘ）＝ｇｐ（ｘ）×
４となる。一方、３種類目のまとめ領域Ｓにはｙ方向の
余りの繰り返しパターンＧが格納されｙ方向の繰り返し
配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｙ）＝０とな
る。

【０１７７】更に次に、図５中のステップ１２４におい
て、図１中のＣＰＵ３２は、４種類目のまとめテーブル
６２ｄ（図２０参照）を作成する。まとめ領域Ｓにまと
め直す繰り返しパターンＧの併合値ｄ（ｘ）＝ａ（ｘ）
＝４，ｄ（ｙ）＝ａ（ｙ）＝４であるため、ＣＰＵ３２
は、まとめテーブル６２ｄのまとめ個数ｍｎ（ｘ）＝２
（繰り返し個数ｇｎ（ｘ）÷併合値ｄ（ｘ）＝１０÷４
の余り）を、まとめ個数ｍｎ（ｙ）＝２（繰り返し個数
ｇｎ（ｙ）÷併合値ｄ（ｙ）＝１０÷４の余り）設定す
る。

【０１７８】次に、図５中のステップ１２５において、
図１中のＣＰＵ３２は、４種類目の配置テーブル６３
（図２０参照）を作成する。この時、３種類目のまとめ
領域Ｓにはｘ方向及びｙ方向の余りの繰り返しパターン
Ｇが格納されｘ，ｙ方向共に繰り返し配置がないので、
繰り返し個数ｓｎ（ｘ）＝１，ｓｎ（ｙ）＝１となる。
また、３種類目のまとめ領域Ｓにはｘ方向及びｙ方向の
余りの繰り返しパターンＧが格納されｘ，ｙ方向共に繰
り返し配置は無いので、繰り返しピッチｓｐ（ｘ）＝
０，ｓｐ（ｙ）＝０となる。

【０１７９】その結果、図２０に示すように、各値が格
納された４種類のまとめテーブル６２ａ〜６２ｄと、配
置テーブル６３とにより図１９中の露光パターンデータ
群Ｒのまとめ情報テーブル６１が構成される。従って、
図２１に示すように、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ
（ｙ）＝４×４のマトリックスの繰り返しパターンＧよ
りなる１種類目のまとめ領域Ｓａと、繰り返し個数ｍｎ
（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝２×４のマトリックスの繰り返し
パターンＧよりなる２種類目のまとめ領域Ｓｂと、繰り
返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝４×２のマトリック
スの繰り返しパターンＧよりなる３種類目のまとめ領域
Ｓｃと、繰り返し個数ｍｎ（ｘ）×ｍｎ（ｙ）＝２×２
のマトリックスの繰り返しパターンＧよりなる４種類目
のまとめ領域Ｓｄとが構成される。そして、露光パター
ンデータ群Ｒは、４個の１種類目のまとめ領域Ｓａ、２
個の２種類目のまとめ領域Ｓｂ、２個の３種類目のまと
め領域Ｓｃ、及び、１個の４種類目のまとめ領域Ｓｄに
より露光される。

【０１８０】そして、図３中のステップ７８において、
図１中のＣＰＵ３２は、作成したまとめ情報テーブルに
基づいて、ステップ７１にて入力した１００個の繰り返
しパターンＧの配置データを９個のまとめ領域Ｓ（４個
のまとめ領域Ｓａ、２個のままとめ領域Ｓｂ、２個のま
とめ領域Ｓｃ、及び、１個のまとめ領域Ｓｄ）の配置デ
ータに置き換える。更に、ＣＰＵ３２は、図３中のステ
ップ７９〜８１において基の繰り返し露光パターンデー
タをまとめ情報テーブル６１に基づいて展開し、新たな
繰り返し露光パターンデータとして出力する。この結
果、繰り返しパターンデータの配置数は、１００個から
９個に減少する。

【０１８１】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 ○半導体集積回路の基データから繰り返し性のある露光
パターンデータを露光パターンデータ群として抽出する
とともに、基データを変換した仮露光データを作成す
る。露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パタ
ーンデータを所定のまとめ領域にまとめ直すまとめ情報
テーブルを作成する。そして、作成したまとめ情報テー
ブルに基づいて、仮露光パターンデータをまとめなおし
た正式な露光データを作成するようにした。その結果、
繰り返し露光パターンデータを所定のまとめ領域にまと
め直した分、露光データのデータ量を少なくすることが
できる。

【０１８２】○データファイル４５に格納された正式な
露光データは、露光媒体としてのウェハ１９を露光する
場合に利用され、繰り返しパターンデータＧは、まとめ
領域Ｓ毎に露光される。即ち、その時のまとめ領域Ｓ内
にまとめ直された繰り返しパターンデータＧが露光され
る。そして、まとめ領域Ｓの大きさは、図２３に示され
る半導体チップ２０のサブフィールド２２の大きさに設
定されている。従って、まとめ領域Ｓ内にまとめ直され
た繰り返しパターンＧは、図２２におけるＥＢ露光装置
１０の第３電磁偏向器１７の制御のみにより偏光される
電子ビームによって露光され、第２偏向器１６およびス
テージ１８は制御されない。その結果、第２電磁偏向器
１６を制御する回数が従来に比べて減少し、第２電磁偏
向器１６が制御されなくなった分だけ、ビーム移動時間
が少なくなる。更に、まとめ領域Ｓ内の繰り返しパター
ンＧが第３電磁偏向器１７により露光される間、第２電
磁偏向器１６及びステージ１８は制御されないので、位
置合わせ誤差の発生が防止されれ、露光精度が向上す
る。

【０１８３】尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の
態様で実施してもよい。上記実施形態では、まとめ領域
Ｓの大きさを図２３に示される半導体チップ２０のサブ
フィールド２２の大きさに設定したが、適宜変更して実
施してもよい。例えば、まとめ領域Ｓの大きさをサブフ
ィールド２２を更に複数に分割した１つの大きさ、複数
のサブフィールド２２をまとめた大きさ、フィールド２
１の大きさ等に設定して実施しても良い。

【０１８４】上記実施形態では、図３中のステップ７２
〜７６のループにおいて先ずｘ方向に対する併合値ｄ
（ｘ）等を求め、次にｙ方向に対する併合値ｄ（ｙ）等
を求める用にしたが、ステップ７２〜７５においてｘ方
向とｙ方向の各値をそれぞれ求め、ステップ７６を省略
して実施してもよい。

【０１８５】上記実施形態において、ブロックパターン
データ５１を格納するデータファイル４５と、ブロック
配置データ６１を格納するデータファイル４６をメモリ
３３上に設けたが、データファイル４５，４６をそれぞ
れ磁気ディスク３４上に設けて実施してもよい。

【０１８６】上記実施形態では、露光媒体として半導体
ウェハ１９にＬＳＩの設計パターンを露光する場合につ
いて説明したが、露光媒体としてはウェハ以外の物でも
よく、例えば、ＬＣＤやＰＤＰ等のパネルにパターンを
露光する場合に用いてもよい。

【０１８７】上記実施形態のプログラムを記憶した記憶
媒体は、コンピュータソフトウエアを記録できるものな
らどのようなものでもよい。具体的には、半導体メモ
リ、フロッピ−デイスク（ＦＤ）、ハードディスク（Ｈ
Ｄ）、光ディスク（ＣＤ−ＲＯＭ）、光磁気ディスク
（ＭＯ，ＭＤ）、相変化ディスク（ＰＤ）、磁気テープ
等を含むものである。

【０１８８】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１乃至９に
記載の発明によれば、繰り返しの多い露光パターンデー
タのデータ量を少なくすることが可能な露光データ生成
方法を提供することができる。

【０１８９】また、請求項１０又は１１に記載の発明に
よれば、繰り返しの多い露光パターンデータのデータ量
を少なくすることが可能な露光データ生成装置を提供す
ることができる。

【０１９０】更に、請求項１２に記載の発明によれば、
繰り返しの多い露光パターンデータのデータ量を少なく
することが可能なプログラムを記憶した記憶媒体を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 一実施形態の露光データ作成装置の概略構成
図。

【図２】 一実施形態の露光データ作成処理のフローチ
ャート。

【図３】 一実施形態のまとめ処理のフローチャート。

【図４】 一実施形態のまとめ情報テーブル作成処理の
フローチャート。

【図５】 一実施形態のまとめ情報テーブル作成処理の
フローチャート。

【図６】 繰り返し露光領域とまとめ領域との関係を示
す説明図。

【図７】 繰り返しパターンのまとめ方を示す説明図。

【図８】 まとめ情報テーブルの概略構成図。

【図９】 （ａ）（ｂ）は繰り返し露光パターンデータ
の展開を示す説明図。

【図１０】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。

【図１１】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを
示す説明図。

【図１２】 生成される露光パターンデータと描画状態
を示す説明図。

【図１３】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。

【図１４】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを
示す説明図。

【図１５】 生成される露光パターンデータと描画状態
を示す説明図。

【図１６】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。

【図１７】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを
示す説明図。

【図１８】 生成される露光パターンデータと描画状態
を示す説明図。

【図１９】 繰り返しパターンと領域を示す説明図。

【図２０】 繰り返しパターンのまとめ情報テーブルを
示す説明図。

【図２１】 生成される露光パターンデータと描画状態
を示す説明図。

【図２２】 電子ビーム露光装置の概略構成図。

【図２３】 半導体チップの概略平面図。

【符号の説明】

５２ 繰り返しデータ抽出手段 ５４ 仮露光データ作成手段 ５５ まとめ手段 ５７ 露光データ構築手段

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体集積回路を露光媒体に対して露光
   するために用いられる露光データを、前記半導体集積回
   路の基データを変換して前記露光データを作成する露光
   データ作成方法であって、 前記基データから繰り返し性のある露光パターンデータ
   を露光パターンデータ群として抽出するステップと、 前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パタ
   ーンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ
   情報テーブルを作成するステップと、 前記まとめ情報テーブルに基づいて前記基データをまと
   め直した露光データを作成するステップとから構成され
   る露光データ作成方法。
2. 【請求項２】 半導体集積回路を露光媒体に対して露光
   するために用いられる露光データを、前記半導体集積回
   路の基データを変換して前記露光データを作成する露光
   データ作成方法であって、 前記基データから繰り返し性のある露光パターンデータ
   を露光パターンデータ群として抽出するステップと、 前記基データを変換した仮露光データを作成するステッ
   プと、 前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パタ
   ーンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ
   情報テーブルを作成するステップと、 前記まとめ情報テーブルに基づいて前記仮露光データを
   まとめ直した露光データを再作成するステップとから構
   成される露光データ作成方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の露光データ作成
   方法において、 前記まとめ情報テーブルは、 前記まとめ領域にまとめ直された複数の繰り返し露光パ
   ターンデータを、基の露光パターンデータを示すアドレ
   スと、基の露光パターンデータの繰り返し個数及び繰り
   返しピッチとからなるマトリックス表現にて格納したま
   とめテーブルと、 前記露光パターンデータ群に対して使用する前記まとめ
   領域を、該まとめ領域を示すアドレスと、を繰り返し配
   置する繰り返し個数と繰り返しピッチとからなるマトリ
   ックス表現にて格納した配置テーブルとから構成された
   露光データ作成方法。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のうちのいずれか１項に
   記載の露光データ作成方法において、 前記まとめ情報を作成するステップは、 前記露光パターンデータ群をマトリックス認識し、前記
   露光パターンデータ群を構成する露光パターンデータの
   繰り返し個数と繰り返しピッチとを求める第１のステッ
   プと、 前記露光パターンデータの繰り返し個数と繰り返しピッ
   チとに基づいて、前記まとめ領域に格納する基の露光パ
   ターンデータのまとめ情報テーブルを求める第２のステ
   ップと、 前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パターン
   データ群の配置データを再作成する第３のステップと、 前記まとめ情報テーブルに基づいて、前記露光パターデ
   ータのパターンデータを再作成する第４のステップとか
   ら構成された露光データ作成方法。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の露光データ作成方法に
   おいて、 前記第２のステップは、 前記まとめ領域に対して前記繰り返し露光パターンデー
   タを格納する最大個数を求めるステップと、 前記露光パターンデータ群の全ての繰り返し露光パター
   ンデータを格納するのに必要なまとめ領域の個数を求め
   るステップと、 前記まとめ領域に対して繰り返し露光パターンデータを
   均等配置できるか否かを判断し、その判断結果に基づい
   て均等配置できる場合に前記まとめ領域に繰り返しパタ
   ーンデータを均等に配置する個数を候補値に設定するス
   テップと、 前記候補値に基づいて、該候補値が設定されていない場
   合には前記最大個数をまとめ領域に対する前記繰り返し
   パターンデータの併合値に設定し、前記候補値が設定さ
   れている場合には該候補値を併合値に設定するステップ
   と、 前記候補値と併合値とに基づいて前記まとめ情報テーブ
   ルを作成するステップとから構成された露光データ作成
   方法。
6. 【請求項６】 請求項４又は５に記載の露光データ作成
   方法において、 前記まとめ情報を作成するステップは、 前記まとめ領域に対するｘ方向とｙ方向の候補値及び併
   合値に基づいて前記まとめテーブル及び配置テーブルを
   作成するものであり、 前記全てのまとめ領域に対して均等配置できる場合には
   １種類の前記まとめテーブルと配置テーブルとを作成す
   るステップと、 前記ｘ方向またはｙ方向に対して均等配置できる場合に
   はそれぞれ２種類のまとめテーブルと配置テーブルとを
   作成するステップと、 前記ｘ方向及びｙ方向に対して均等配置できない場合に
   は４種類のまとめテーブルと配置テーブルとを作成する
   ステップとから構成された露光データ作成方法。
7. 【請求項７】 請求項４乃至６のいずれか１項に記載の
   露光データ作成方法において、 前記第４のステップは、 基の露光パターンデータが単独表現か、複数の基本パタ
   ーンデータを繰り返すマトリックス表現かを判断するス
   テップと、 前記判断結果に基づいて、露光パターンデータが単独表
   現の場合に露光データの再作成を行うステップと、 前記判断結果に基づいて、基の露光パターンデータがマ
   トリックス表現の場合に、該基の露光パターンデータを
   展開して露光データの再作成を行うステップとから構成
   された露光データ作成方法。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の露光データ作成方法に
   おいて、 前記露光パターンデータを展開するときに、前記基の露
   光パターンデータの繰り返し個数と、該露光パターンデ
   ータを構成する基本パターンデータのマトリックス個数
   とを比較し、少ない方を展開して新たな繰り返し露光パ
   ターンデータを作成するようにした露光データ作成方
   法。
9. 【請求項９】 請求項１及至８のうちのいずれか１項に
   記載の露光データ作成方法において、前記露光データ
   は、露光装置に備えられ露光媒体を移動させるステージ
   と、前記露光媒体を露光するビームを該露光媒体の所望
   位置に移動させる偏向器とを制御するために利用される
   ものであり、 前記まとめ領域は、前記露光装置のビーム移動させる偏
   向器に対応した領域に設定された露光データ作成方法。
10. 【請求項１０】 半導体集積回路を露光媒体に対して露
    光するために用いられる露光データを、前記半導体集積
    回路の基データを変換して前記露光データを作成する露
    光データ作成装置であって、 前記基データから繰り返し性のある露光パターンデータ
    を露光パターンデータ群として抽出する繰り返しデータ
    抽出手段と、 前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パタ
    ーンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ
    情報テーブルを作成するまとめ手段と、 前記まとめ情報テーブルに基づいて前記基データをまと
    め直した露光データを作成する露光データ構築手段とを
    備えた露光データ作成装置。
11. 【請求項１１】 半導体集積回路を露光媒体に対して露
    光するために用いられる露光データを、前記半導体集積
    回路の基データを変換して前記露光データを作成する露
    光データ作成装置であって、 前記基データから繰り返し性のある露光パターンデータ
    を繰り返し露光パターンデータとし、該パターンデータ
    により構成される露光パターンデータ群を抽出する繰り
    返しデータ抽出手段と、 前記基データを変換した仮露光データを作成する仮露光
    データ作成手段と、 前記露光パターンデータ群を構成する繰り返し露光パタ
    ーンデータを所定のまとめ領域に複数まとめ直すまとめ
    情報テーブルを作成するまとめ手段と、 前記まとめ情報テーブルに基づいて前記仮露光データを
    まとめ直した露光データを再作成する露光データ構築手
    段とを備えた露光データ作成装置。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至９のうちのいずれか１項
    に記載のステップよりなるプログラムを格納した記憶媒
    体。