JPH10256123A - 球状デバイス露光装置及び製造方法 - Google Patents
球状デバイス露光装置及び製造方法Info
- Publication number
- JPH10256123A JPH10256123A JP9057609A JP5760997A JPH10256123A JP H10256123 A JPH10256123 A JP H10256123A JP 9057609 A JP9057609 A JP 9057609A JP 5760997 A JP5760997 A JP 5760997A JP H10256123 A JPH10256123 A JP H10256123A
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- Japan
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- exposure apparatus
- central axis
- spherical device
- spherical
- sphere
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 球状デバイス露光に好適な露光装置及び製造
方法を提供すること。 【解決手段】 球状デバイス材料をスピンドルでクラン
プし、スピンドル軸回りに回転させながら、ビーム（例
えば電子ビーム）をフォーカスさせながらスキャン露光
させること。
方法を提供すること。 【解決手段】 球状デバイス材料をスピンドルでクラン
プし、スピンドル軸回りに回転させながら、ビーム（例
えば電子ビーム）をフォーカスさせながらスキャン露光
させること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は球状デバイス露光装
置及び製造方法に関し、特に球状半導体等のデバイスに
好適な露光装置及び製造方法に関するものである。
置及び製造方法に関し、特に球状半導体等のデバイスに
好適な露光装置及び製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンウェハとして平板状のも
のが知られるが、最近直径１ｍｍ程度のボール（球）状
シリコンを用いた球状半導体が提案されている。
のが知られるが、最近直径１ｍｍ程度のボール（球）状
シリコンを用いた球状半導体が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、球状
デバイス露光に好適な露光装置及び製造方法を提供する
ことにある。
デバイス露光に好適な露光装置及び製造方法を提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の球状デバイス露
光装置は、球状デバイス材料を球の中心軸の周りに回転
させ、球面にビームをフォーカスさせて露光することを
特徴とする。
光装置は、球状デバイス材料を球の中心軸の周りに回転
させ、球面にビームをフォーカスさせて露光することを
特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例を示
す。シリコンから成り、露光される面にレジスト膜が塗
布された球状デバイス材料１（直径がｍｍオーダーで、
例えば１ｍｍ）には予め球の中心軸上にノッチ（窪み）
２ａ，２ｂが両極に設けられ、該ノッチをスピンドル３
ａ，３ｂでクランプする。スピンドル３ａ，３ｂは軸受
４ａ，４ｂを介して、エンコーダモータ５ａ，５ｂに連
結され、スピンドル３ａ，３ｂでクランプされた球状デ
バイス材料１は中心軸と一致するスピンドル軸の回りに
回転される。このとき１本の電子ビームが１１ａ，１１
ｂ，１１ｃのように一次元方向（中心軸方向）にビーム
スキャンされるが、電子ビームは各位置で球状デバイス
材料の球表面上にフォーカスしながらスキャンされる。
フォーカス位置は球状デバイス材料の球面設計値又は、
事前計測により記憶されたテーブル値を用いる。電子ビ
ーム１１ａ，１１ｂ，１１ｃは図１で平行になっている
が、各電子ビームが常に球状デバイス材料１の球の中心
に向かうようにスキャンさせても良い。図１で１０は電
子ビーム光学系、１２はコントローラ、２１は電子ビー
ム位置制御信号、２２は電子ビームフォーカス制御信
号、２３はエンコーダモータ制御信号である。これによ
り、スピンドル３ａ，３ｂを連続回転させながら、球の
中心を含む各平面と球表面との各交線即ち各経線におい
て、所望の位置にビームをフォーカスさせながら、球表
面上に回路パターンを露光できる。
す。シリコンから成り、露光される面にレジスト膜が塗
布された球状デバイス材料１（直径がｍｍオーダーで、
例えば１ｍｍ）には予め球の中心軸上にノッチ（窪み）
２ａ，２ｂが両極に設けられ、該ノッチをスピンドル３
ａ，３ｂでクランプする。スピンドル３ａ，３ｂは軸受
４ａ，４ｂを介して、エンコーダモータ５ａ，５ｂに連
結され、スピンドル３ａ，３ｂでクランプされた球状デ
バイス材料１は中心軸と一致するスピンドル軸の回りに
回転される。このとき１本の電子ビームが１１ａ，１１
ｂ，１１ｃのように一次元方向（中心軸方向）にビーム
スキャンされるが、電子ビームは各位置で球状デバイス
材料の球表面上にフォーカスしながらスキャンされる。
フォーカス位置は球状デバイス材料の球面設計値又は、
事前計測により記憶されたテーブル値を用いる。電子ビ
ーム１１ａ，１１ｂ，１１ｃは図１で平行になっている
が、各電子ビームが常に球状デバイス材料１の球の中心
に向かうようにスキャンさせても良い。図１で１０は電
子ビーム光学系、１２はコントローラ、２１は電子ビー
ム位置制御信号、２２は電子ビームフォーカス制御信
号、２３はエンコーダモータ制御信号である。これによ
り、スピンドル３ａ，３ｂを連続回転させながら、球の
中心を含む各平面と球表面との各交線即ち各経線におい
て、所望の位置にビームをフォーカスさせながら、球表
面上に回路パターンを露光できる。
【０００６】なお、ビームの一次元スキャンとスピンド
ルの連続回転の組合せの替わりに、ビームの２次元スキ
ャンとスピンドルのステップ回転の組合せを用いること
ができる。即ち球を立体的に眺めた図２に示すように第
１の経線Ｓ１と第２の経線Ｓ２とで範囲指定された斜線
領域をスピンドルの回転を停止させた状態でビームを領
域内の各位置で球表面にフォーカスさせながら２次元ス
キャンさせることができる。第２の経線Ｓ２から第３の
経線Ｓ３に移る際は、スピンドルをステップ回転させ
る。
ルの連続回転の組合せの替わりに、ビームの２次元スキ
ャンとスピンドルのステップ回転の組合せを用いること
ができる。即ち球を立体的に眺めた図２に示すように第
１の経線Ｓ１と第２の経線Ｓ２とで範囲指定された斜線
領域をスピンドルの回転を停止させた状態でビームを領
域内の各位置で球表面にフォーカスさせながら２次元ス
キャンさせることができる。第２の経線Ｓ２から第３の
経線Ｓ３に移る際は、スピンドルをステップ回転させ
る。
【０００７】図３はスピンドルでクランプされるノッチ
近傍をビーム露光できる実施例を示す。スピンドル３
ａ，３ｂを結ぶ方向をビーム走査方向に対し直角から、
直角以外の角度に設定することにより、１次元に１本ビ
ームスキャンされるところの電子ビーム１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ及び球の中心を含む平面と球表面との交線で
ある経線において、ノッチ２ｂ近傍まで露光可能とな
る。ノッチ２ａ近傍を露光する場合は、スピンドル３
ａ，３ｂを結ぶ方向を左上がりから右上がりに変えれば
良い。また図１の実施例と図３の実施例を併用する第３
の実施例として、ビームのスキャン幅を広げずに、球に
対しノッチ部が存在する両極を除く殆ど全ての球表面に
回路パターンが形成可能となるものを以下に示す。なお
図３で、電子ビーム１１ａ，１１ｂ，１１ｃは平行にな
っているが、各電子ビームが常に球状デバイス材料１の
球の中心に向かうようにスキャンされると好ましい。上
述した第３の実施例について図４に具体的構成を示す。
図１のスピンドル３ａ，３ｂとモータエンコーダ５ａ，
５ｂの間に図１の紙面垂直方向にアーム３０を左右対称
に設け、その中心に第３のモータエンコーダ３１を設
け、図１及び図３に示す配置を共に可能にしたものであ
る。
近傍をビーム露光できる実施例を示す。スピンドル３
ａ，３ｂを結ぶ方向をビーム走査方向に対し直角から、
直角以外の角度に設定することにより、１次元に１本ビ
ームスキャンされるところの電子ビーム１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ及び球の中心を含む平面と球表面との交線で
ある経線において、ノッチ２ｂ近傍まで露光可能とな
る。ノッチ２ａ近傍を露光する場合は、スピンドル３
ａ，３ｂを結ぶ方向を左上がりから右上がりに変えれば
良い。また図１の実施例と図３の実施例を併用する第３
の実施例として、ビームのスキャン幅を広げずに、球に
対しノッチ部が存在する両極を除く殆ど全ての球表面に
回路パターンが形成可能となるものを以下に示す。なお
図３で、電子ビーム１１ａ，１１ｂ，１１ｃは平行にな
っているが、各電子ビームが常に球状デバイス材料１の
球の中心に向かうようにスキャンされると好ましい。上
述した第３の実施例について図４に具体的構成を示す。
図１のスピンドル３ａ，３ｂとモータエンコーダ５ａ，
５ｂの間に図１の紙面垂直方向にアーム３０を左右対称
に設け、その中心に第３のモータエンコーダ３１を設
け、図１及び図３に示す配置を共に可能にしたものであ
る。
【０００８】（変形例）スピンドル３ａ，３ｂで球状デ
バイス材料１をクランプするのに、ノッチ（窪み）の替
わりにバンプ（突起）を用い、これを球の中心軸上に両
極に設けても良い。又、電子ビームを上述した一次元ス
キャン方向に複数個設け、スキャン範囲を小さくする、
更にはスキャンさせないように複数個固定するように構
成してもよい。なお、電子ビームで説明したが、光ビー
ムでも良く、例えばビームをスキャンすると共にフォー
カス位置を変えるように制御された光ビームを用いても
良い。又、半導体の他、液晶等のデバイス露光装置とし
て用いることもできる。
バイス材料１をクランプするのに、ノッチ（窪み）の替
わりにバンプ（突起）を用い、これを球の中心軸上に両
極に設けても良い。又、電子ビームを上述した一次元ス
キャン方向に複数個設け、スキャン範囲を小さくする、
更にはスキャンさせないように複数個固定するように構
成してもよい。なお、電子ビームで説明したが、光ビー
ムでも良く、例えばビームをスキャンすると共にフォー
カス位置を変えるように制御された光ビームを用いても
良い。又、半導体の他、液晶等のデバイス露光装置とし
て用いることもできる。
【０００９】
【発明の効果】以上、本発明によれば、球状デバイス露
光に好適な露光装置及び製造方法を提供できる。
光に好適な露光装置及び製造方法を提供できる。
【図１】本発明の第１実施例を示す図。
【図２】第１の経線と第２の経線で囲まれる領域を示す
図。
図。
【図３】本発明の第２実施例を示す図。
【図４】本発明の第３実施例を示し図。
１ 球状デバイス材料 ２ａ，２ｂ ノッチ（又はバンプ） ３ａ，３ｂ スピンドル ４ａ，４ｂ 軸受 ５ａ，５ｂ エンコーダモータ １０ 電子ビーム光学系 １１ａ，１１ｂ，１１ｃ 電子ビームのスキャン位置 １２ コントローラ ２１ 電子ビーム位置制御信号 ２２ 電子ビームフォーカス制御信号 ２３ エンコーダモータ制御信号 ３０ アーム ３１ エンコーダモータ
Claims (14)
- 【請求項１】 球状デバイス材料を球の中心軸の回りに
回転させる回転手段と、ビームを球面位置にフォーカス
させる手段を有することを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】 前記ビームが電子ビームである請求項１
記載の露光装置。 - 【請求項３】 前記ビームが光ビームである請求項１記
載の露光装置。 - 【請求項４】 前記ビームを前記中心軸方向にスキャン
させる請求項１記載の露光装置。 - 【請求項５】 前記ビームを前記中心軸方向に複数個設
けた請求項１記載の露光装置。 - 【請求項６】 前記ビームを前記球状デバイス材料の球
の中心に向かうようにスキャンさせる請求項４記載の露
光装置。 - 【請求項７】 前記回転手段を連続回転させると共に、
前記ビームを前記中心軸方向に一次元スキャンさせる請
求項１記載の露光装置。 - 【請求項８】 前記回転手段をステップ回転させると共
に、前記ビームを第一の経線と第二の経線の間の領域内
で二次元スキャンさせる請求項１記載の露光装置。 - 【請求項９】 前記ビームの照射方向と前記中心軸方向
が直角に設定される請求項１記載の露光装置。 - 【請求項１０】 前記ビームの照射方向と前記中心軸方
向が直角以外の角度に設定される請求項１記載の露光装
置。 - 【請求項１１】 前記中心軸方向を球の中心の周りに回
転させる手段を備える請求項１記載の露光装置。 - 【請求項１２】 前記回転手段は球状デバイス材料を球
の中心軸方向にクランプするスピンドル手段を備え、該
スピンドル手段は前記球状デバイス材料のノッチ位置を
クランプする請求項１記載の露光装置。 - 【請求項１３】 前記回転手段は球状デバイス材料を中
心軸方向にクランプするスピンドル手段を備え、該スピ
ンドル手段は前記球状デバイス材料のバンプ位置をクラ
ンプする請求項１記載の露光装置。 - 【請求項１４】 球状デバイス材料を球の中心軸の周り
に回転させる段階と、ビームを球面位置にフォーカスさ
せる段階を有することを特徴とする球状デバイス製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9057609A JPH10256123A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 球状デバイス露光装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9057609A JPH10256123A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 球状デバイス露光装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10256123A true JPH10256123A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=13060611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9057609A Withdrawn JPH10256123A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 球状デバイス露光装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10256123A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006513569A (ja) * | 2003-01-09 | 2006-04-20 | 株式会社山武 | 曲面を有する半導体デバイスに露光する装置および方法 |
-
1997
- 1997-03-12 JP JP9057609A patent/JPH10256123A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006513569A (ja) * | 2003-01-09 | 2006-04-20 | 株式会社山武 | 曲面を有する半導体デバイスに露光する装置および方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |