JPH10258512A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吐出エネルギー発生素子を有する素子基板を
ベースプレートに直接配列し、ベースプレート上におい
て素子基板の位置ズレ等を補正しうるようにし、複数の
素子基板を速やかにかつ精度良く配列することができ、
製品の歩留まりを大幅に向上させることができる液体噴
射記録ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 吐出エネルギー発生素子１ａ列を有する
素子基板１をコレットフィンガー１４によりベースプレ
ート２上面へ搬送してその上面へ直接載置し、そして突
き当て基準プレート１０の基準面１０ａに素子基板１の
前方側面を押し付けてＸ軸方向の位置決めを行ない、Ｘ
軸方向両側から素子基板１を挟み込んだ状態で横押圧体
１２による素子基板１の横側面押しによってＹ軸方向の
所定の位置へ移動させながら、位置検出手段１３で素子
基板１の位置を測定して、位置決めし、複数の素子基板
１を順次ベースプレート２上面に配列して接着固定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体噴射記録装置
等に使用される液体噴射記録ヘッドの製造方法に関し、
特に、複数の吐出エネルギー発生素子が形成された素子
基板をベースプレート上に複数個配列して構成する液体
噴射記録ヘッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録装置等に使用される液体噴
射記録ヘッドは、複数の吐出エネルギー発生素子（例え
ば、電気熱変換素子）を所定の間隔をおいて形成した素
子基板（ヒーターボード）と、インク等の液体を吐出す
る複数の吐出口および各吐出口にそれぞれ連通する複数
の流路溝が形成された天板とからなり、吐出エネルギー
発生素子と吐出口および流路溝を正確に位置合わせした
状態で素子基板と天板とを組み合わせて接合し、吐出エ
ネルギー発生素子により流路溝内の液体に吐出エネルギ
ーを付与することによって吐出口から液体を液滴として
噴射させて印字記録を行なうように構成されている。そ
して、吐出エネルギー発生素子（例えば、電気熱変換素
子）は超精密エッチング技術を用いることにより所定の
高精度で素子基板（ヒーターボード）上に形成され、ま
た、吐出口は例えばレーザー加工等の超精密加工手段を
用いることにより天板の前面に設けられている吐出口プ
レートに所定の高精度で加工形成されている。

【０００３】ところで、液体噴射記録ヘッドにおいて
は、記録装置の印字速度を向上させるために、長尺化に
よるマルチノズル化が望まれ、１４０４ノズルや３００
８ノズル等のように長尺化に進む傾向にあり、例えば、
図５に示すような長尺の液体噴射記録ヘッドが用いられ
ている。

【０００４】この種の長尺の液体噴射記録ヘッドは、上
記のように超精密エッチング技術により複数の吐出エネ
ルギー発生素子４１が形成された素子基板４０を金属や
セラミックス等の材質で作られたベースプレート（基
台）４２上に複数個正確に位置付け配列して接着固定
し、その上にインクを吐出する複数の吐出口４９および
各吐出口４９に連通した複数のインク流路溝（図示しな
い）を有する長尺の天板４８を接合することによって作
製されている。なお、ベースプレート４２には、配線基
板４４が素子基板４０と同様に接着貼付され、配線基板
４４上の信号・電力供給パッド４５は、素子基板４０上
の電力パッド４３と所定の位置関係となるように配置さ
れて、両パッド４３、４５は互いに接続され、また配線
基板４４には外部からの印字信号や駆動電力を供給する
ためのコネクター４６が取り付けられている。

【０００５】このような長尺の液体噴射記録ヘッドの製
造方法においては、その一工程として、複数個の素子基
板をベースプレート上に配列する工程を要し、従来は、
例えば、図４に図示するような手法で行なわれている。
組み立て装置等において、その基準台３１上にはベース
プレート用位置決めピン３３やクランプ手段３４が設け
られ、ベースプレート３２はこれらの位置決めピン３３
やクランプ手段３４等によって所定の位置に位置決め固
定され、また、所定数の素子基板３０は仮置き台３５上
に吸引あるいは仮位置決めピン等により予め仮位置決め
される。そして素子基板３０を仮置き台３５からベース
プレート３２へ搬送するために、高精度ステージにクラ
ンプ機構を備えたフィンガー３６が基準台３１上に移動
可能に設けられている。フィンガー３６は、その吸着面
を仮置き台３５に載置されている素子基板３０の表面に
直接当接して吸引作用により吸着保持し、高精度ステー
ジの移動によって、素子基板３０を仮置き台３５からベ
ースプレート３２の所定の位置へ搬送する。その搬送時
に、素子基板３０のクランプ位置を画像処理装置３７等
を用いて非接触で読み取り、ベースプレート基準より規
定の位置へ移動させて、素子基板３０のクランプ位置の
ずれ量を補正し、その後、ベースプレート３２上面の貼
り合わせ位置に素子基板３０を載置して配列する。この
ような操作を順次繰り返し行なうことによって、所定数
の素子基板３０の配列を行ない、ベースプレート３２上
の所定位置に所定数の素子基板３０を接着固定してい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術においては、素子基板の搬送および貼り合わ
せ位置決めのために素子基板の上面を吸着保持するフィ
ンガーが用いられており、このフィンガーの吸着面が素
子基板の上面に直接当接することから、吸着面のバリや
ゴミの噛み込み等によって、素子基板上面を損傷させて
素子基板の配線パターンを傷付けてしまい、このような
素子基板を組み込んだ記録ヘッドはインク不吐等の不良
が発生し、また、素子基板の位置や状態はフィンガーク
ランプ状態において高精度に位置付けられているけれど
も、素子基板を配列するベースプレートの表面の平行性
および平面状態が悪い場合には素子基板がベースプレー
ト上面に接触した時点で素子基板の位置ズレが生じて、
配列精度のバラツキ不良となり、吐出エネルギー発生素
子の並び方向およびインク吐出方向の平行位置ズレ、そ
して傾きズレ等の不良が発生していた。

【０００７】そこで、本発明は、上記従来技術の有する
未解決な課題に鑑みてなされたものであって、吐出エネ
ルギー発生素子を有する素子基板をベースプレートに直
接配列して、ベースプレート上において素子基板の位置
ズレ等を補正しうるようにし、複数の素子基板を速やか
にかつ精度良く配列することができる液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法を提供することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、吐出口
から液体を吐出させるための吐出エネルギー発生素子列
を有する素子基板複数個をベースプレート上に前記吐出
エネルギー発生素子列方向へ配列し、該ベースプレート
に吐出口列および該吐出口列にそれぞれ連通した複数の
液流路を有する長尺の天板を組み合わせ、前記吐出口列
と前記吐出エネルギー発生素子列を位置合わせして接合
形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、吐出
エネルギー発生素子列を有する前記素子基板を前記ベー
スプレートに供給配列する際に、前記素子基板を前記ベ
ースプレート上面へ直接載せ、前記ベースプレートに対
向して配設した基準プレートの基準面に前記素子基板の
前方側面を押し付けて吐出方向の位置決めを行ない、そ
の状態で前記素子基板の横側面押しにより吐出エネルギ
ー発生素子列方向の所定の位置へ移動させて位置決め
し、その後に前記素子基板を前記ベースプレートに接着
固定して配列することを特徴とする。

【０００９】また、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法において、素子基板の搬送供給手段として、前記素
子基板のパターン面に接触することなく搬送することが
できる角錐形状の吸着フィンガーを用いることが好まし
く、さらに、吐出エネルギー発生素子列方向の位置決め
の際に、素子基板を前記吐出エネルギー発生素子列方向
へ移動させながら前記素子基板の位置を非接触で測定
し、前記素子基板が所定の位置に達したときに素子基板
の移動を停止させ、位置決め固定することが好ましく、
また、素子基板を吐出エネルギー発生素子列方向へ移動
させる際にベースプレートに振動を加えながら素子基板
を移動させることが好ましい。

【００１０】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法において、素子基板をベースプレートに接着固定
するために、前記素子基板を前記ベースプレートへ供給
する前に前記ベースプレート側へ接着剤を塗布しておく
ことができ、あるいは前記素子基板の位置決め後に前記
素子基板の周囲に接着剤を塗布することができ、あるい
はまた前記素子基板を前記ベースプレートに載せる直前
に前記素子基板の裏面に接着剤を塗布することができ
る。

【００１１】

【作用】本発明によれば、吐出口から液体を吐出させる
ための吐出エネルギー発生素子列を有する素子基板複数
個をベースプレート上に吐出エネルギー発生素子列方向
へ配列し、ベースプレートに吐出口列および該吐出口列
にそれぞれ連通した複数の液流路を有する長尺の天板を
組み合わせて接合形成する液体噴射記録ヘッドの製造方
法において、吐出エネルギー発生素子列を有する素子基
板をベースプレートに供給配列する際に、ベースプレー
ト上面へ素子基板を直接載せ、ベースプレートに対向し
て配設した突き当て基準プレートの基準面に素子基板の
前方側面を押し付けてインク吐出方向の位置決めを行な
い、その状態で素子基板の横側面押しにより吐出エネル
ギー発生素子列方向の所定の位置へ移動させて位置決め
し、その後に素子基板をベースプレートに接着固定して
配列するようになし、ベースプレート上面において素子
基板の位置を確認しながら補正をかける位置決めを行な
うことができ、素子基板を配列するベースプレート上面
の平行性および平面状態等の影響によって生じていた素
子基板の位置ズレや配列精度のバラツキを防止する。ま
た、インク吐出方向の位置決めに突き当て基準プレート
を用いることにより、素子基板の位置決め操作を速やか
に行なうことができ、さらに吐出エネルギー発生素子列
方向の位置決めを加振状態で行なうようにすることによ
って素子基板の位置精度を向上させることができるとと
もに位置合わせタクトを短縮できる。

【００１２】また、ベースプレート上面への素子基板の
搬送供給手段として、素子基板のパターン面に接触する
ことなく吸着保持して搬送することができる角錐形状の
吸着フィンガーを用いることができ、素子基板の配線パ
ターンを損傷させることがなく、製品の歩留まりを向上
させることができる。

【００１３】そして、素子基板をベースプレートへ接着
するための接着剤の供給は種々の態様で行なうことがで
きる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１５】図１は、本発明の実施例を説明する模式図
であり、同図（ａ）は組み立て装置の基準台に位置決め
クランプされたベースプレート上に素子基板を配列して
いる状態を模式的に図示する斜視図であり、同図（ｂ）
はコレットフィンガーの一部を破断して模式的に図示す
る側面図である。

【００１６】ベースプレート２は、組み立て装置の基準
台１６上に図示しない位置決めクランプ手段等により位
置決めクランプされ、ベースプレート２の表面には素子
基板１を接着固定する位置に予め接着剤塗布溝４、４…
が設けられており、これらの接着剤塗布溝４、４…に接
着剤３が塗布される。基準台１６には、素子基板１のＸ
軸方向（インク吐出方向）の位置を規制するＸ軸方向の
突き当て基準プレート１０が治具取付け台１０ｂを介し
て、位置決めクランプされたベースプレート２に対向し
て配置され、突き当て基準プレート１０はその基準面１
０ａが素子基板１の前方側面に当接して素子基板１を位
置決めする。そして、素子基板１を突き当て基準プレー
ト１０の基準面１０ａに突き当て押し付けるためのＸ軸
方向に伸縮可能に設けられた突き当て体１１が突き当て
基準プレート１０に対向して設けられ、また、素子基板
１をＹ軸方向（吐出エネルギー発生素子列方向）に押圧
して移動させるために素子基板１の横側面に当接して移
動させるＹ軸方向の横押圧体１２が設けられている。そ
して、基準台１６の上方には、素子基板１の位置（例え
ば、素子基板１上に予め設定されている基準パターンの
位置）を検出する画像処理方式等の位置検出手段１３が
設けられている。さらに、素子基板１をベースプレート
２上面へ搬送供給する手段として、素子基板１の周辺に
当接して素子基板１の表面を傷付けることなく素子基板
１を吸着保持することができる角錐状コレット１５を備
えたコレットフィンガー１４を用い、このコレットフィ
ンガー１４は、図示しない仮置き台上に予め仮位置決め
された素子基板１を吸着保持して、ベースプレート２上
の所定の位置へ搬送する。

【００１７】次に、上記のような構成を備えた装置によ
る素子基板の配列手順の一例を説明すると、組み立て装
置の基準台１６上に、図示しない位置決めクランプ手段
等により、ベースプレート２を位置決めクランプする。
ベースプレート２に設けられている接着剤塗布溝４、４
…には接着剤３を事前に塗布しておく。一方、ベースプ
レート２上に配列する素子基板１は図示しない仮置き台
に予め仮位置決めされており、仮置き台上の素子基板１
をコレットフィンガー１４の角錐状コレット１５の吸着
面に吸着して搬送し、ベースプレート２の上面の所定の
位置近傍へ仮置き押し付けを行なう。その後、コレット
フィンガー１４は吸着作用を解除して次の素子基板の搬
送に備えて仮置き台の上方へ退避する。そして、突き当
て体１１を作動させて、ベースプレート２上に仮置きさ
れた素子基板１を突き当て基準プレート１０側へ突き当
て押し付けを行ない、素子基板１の前方側面を基準プレ
ート１０の基準面１０ａに押し付け位置決めする。続い
て、横押圧体１２を作動させる。横押圧体１２は、突き
当て基準プレート１０の基準面１０ａと突き当て体１１
とによりＸ軸方向両側から挟み込まれた状態にある素子
基板１の横側面に当接し、素子基板１をＹ軸方向へ移動
させる。その際に、上方に配設した画像処理方式等によ
る位置検出手段１３によって、素子基板１の予め設定さ
れている基準パターンの位置を画像処理方式によって読
み取り、その基準パターンが所定の位置に達した時に、
横押圧体１２の押し付けを止めて素子基板１のＹ軸方向
の移動を停止させ、素子基板１を位置決めする。なお、
横押圧体１２により素子基板１をＹ軸方向へ移動させる
際に、ベースプレート２に圧電素子等の振動発生器を用
いて振動を加えることにより、Ｙ軸方向の移動を軽い加
圧力で制御することができ、素子基板を安定した移動精
度で位置決めを行なうことができる。このような手順に
よって、複数の素子基板１をベースプレート２の上面に
順次精度良く配列することができる。

【００１８】そして、素子基板１の上部から紫外線光を
照射することにより、接着剤３を硬化させ、複数の素子
基板１をベースプレート２上に接着固定する。

【００１９】このように複数の素子基板１をベースプレ
ート２上に固定した後に、図５に示すように、このベー
スプレート２上に、吐出口列および該吐出口列にそれぞ
れ連通した複数の液流路を有する長尺の天板を組み付
け、天板の吐出口列と素子基板の吐出エネルギー発生素
子列を位置合わせして接合し、液体噴射記録ヘッドを作
成する。

【００２０】以上のように、素子基板１をベースプレー
ト２上面へ直接仮置きし、ベースプレート２の表面の平
面状態にならわせて、素子基板１をＸ軸方向（インク吐
出方向）およびＹ軸方向（吐出エネルギー発生素子列方
向）に移動させ、そして素子基板１の位置を非接触で測
定して位置決めし、接着固定するようにしたことによっ
て、高精度の配列位置決めを達成することができる。そ
して、ベースプレート２の上面の姿勢状態で直接素子基
板１の位置を確認しながら補正をかける位置決めが可能
となり、素子基板１をベースプレート２の上面に載置し
た際に生じていた位置ズレをなくすことができ、位置精
度を向上させかつ生産の安定性が確保でき、さらに歩留
まりの向上にもつながる。

【００２１】また、従来は、図４に示すように、素子基
板の位置合わせをフィンガーによる素子基板の吸着搬送
時に行っていたけれども、本発明においては、素子基板
を吸着搬送するコレットフィンガーは搬送の機能のみと
し、素子基板の位置決めの機能はベースプレート表面で
行なうようしており、素子基板を吸着搬送する部材とし
て、素子基板の周辺に当接して素子基板の表面を傷付け
ることなく素子基板を吸着保持することができる角錐状
コレットを採用することができる。

【００２２】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法における接着剤塗布についての変形例を図２に基づ
いて説明する。前述した実施例においては、ベースプレ
ート２に素子基板１を配列する前にベースプレート２側
に接着剤３を塗布するようにしているが、ベースプレー
ト２に素子基板１を位置決めした後に接着剤を塗布する
ようにすることもできる。

【００２３】図２において、ベースプレート２の上面
に、素子基板１の形状に応じて接着剤３を塗布する部分
を形成する塗布溝４ａとこの塗布溝４ａに連通した接着
剤導入部４ｂを予め設けておき、素子基板１を前述した
実施例と同様に位置決めした後に、接着剤塗布手段５を
用いて、素子基板１の後端部に位置する接着剤導入部４
ｂに接着剤３を供給することによって、接着剤３は塗布
溝４ａに沿って流れ、素子基板１を接着する。その後
に、紫外線光の照射によって接着剤３は硬化し、素子基
板１を接着固定する。

【００２４】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おける接着剤塗布についての他の変形例を図３に基づい
て説明する。前述した実施例ではいずれも接着剤３をベ
ースプレート２側に塗布しているけれども、この例で
は、素子基板１の裏面に接着剤３を塗布して、ベースプ
レート２の表面に押し付け、その状態でＸ軸方向および
Ｙ軸方向の位置決めを行ない、そして貼り付けを行なう
ようにするものである。

【００２５】図３において、コレットフィンガーによっ
て素子基板１を仮置き台からベースプレート２へ搬送す
る経路の途中に、接着剤を塗布する接着剤塗布手段５ａ
が設けられている。コレットフィンガーにより吸着保持
されてベースプレート２の上面へ搬送される素子基板１
は、接着剤塗布手段５ａによって素子基板１の裏面に接
着剤３が複数箇所（図３においては４か所）塗布され
る。そして、素子基板１はベースプレート２の上面の位
置決め位置付近に押し付けられ、その状態で、前述した
実施例と同様に、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の配列位置決
めが行なわれ、そして次工程で接着剤の硬化による固定
が行なわれる。

【００２６】なお、使用する接着剤としては、シリコン
系の硬化収縮率の小さいものを用い、硬化時の素子基板
１の位置精度ズレを防止することが好ましい。

【００２７】以上のように本発明においては、素子基板
をベースプレート上面へ直接仮置きし、ベースプレート
の表面の平面状態に倣わせて、素子基板をＸ軸方向およ
びＹ軸方向にそれぞれ移動させ、そして素子基板の位置
を非接触で測定し、所定の位置に達した時にその移動を
停止させ、位置決めし、接着固定するようにしたことに
よって、高精度の配列位置決めを達成することができ
る。そして、ベースプレートの上面の姿勢状態で直接素
子基板の位置確認しながら補正をかける位置決めが可能
となり、位置精度を向上させかつ生産の安定性が確保で
き、さらに、素子基板を吸着搬送する部材として、素子
基板の周辺に当接して素子基板の表面を傷付けることな
く素子基板を吸着保持することができる角錐状コレット
フィンガーを用いることができ、素子基板の表面に傷を
付けることが全くなくなり、歩留まりの向上を図ること
ができる。

【００２８】なお、本発明は、特に液体噴射記録方式の
中で熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を
行なう、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。

【００２９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。

【００３０】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００３１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００３２】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００３３】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００３４】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００３５】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。

【００３６】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００３７】以上の説明においては、インクを液体とし
て説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクで
あって、室温で軟化もしくは液体となるもの、あるい
は、インクジェットにおいて一般的に行なわれている温
度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃以下の温度範
囲で軟化もしくは液体となるものでもよい。すなわち、
使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば
よい。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をイン
クの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとし
て使用せしめることで防止するか、または、インクの蒸
発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いる
かして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じ
た付与によってインクが液化してインク液状として吐出
するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始
めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化
する性質のインクの使用も可能である。このような場合
インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開
昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質
シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持
された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形
態としてもよい。上述した各インクに対して最も有効な
ものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００３８】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次のような効果が得られる。

【００４０】（１）従来の技術では、ベースプレート上
面に素子基板が接触した時点での配列の位置ズレが発生
し、位置精度の不良になり、その後の位置補正もできな
かったけれども、本発明においては、ベースプレート上
面の姿勢状態で直接素子基板の位置を確認しながら、補
正をかける位置決めが可能になることで、位置精度が格
段に向上し、かつ生産の安定性が確保され、歩留まり向
上にもつながる。

【００４１】（２）Ｘ軸方向（インク吐出方向）の位置
決め方法として、機構的な突き当て基準を用いることに
よって、Ｘ軸方向の配列段差のバラツキ不良を軽減で
き、さらに位置決め動作のスピードが上げられ、タクト
短縮が図れる。

【００４２】（３）Ｙ軸方向（吐出エネルギー発生素子
列方向）の配列位置の移動方法として、突き当て基準プ
レートと突き当て体で素子基板を両側からはさみ込んだ
状態で振動を加えることによって、Ｙ軸方向の移動が軽
い押し圧で制御することができ、素子基板の移動停止精
度や位置精度が向上し、また位置合わせタクトも短縮が
図れる。

【００４３】（４）従来は素子基板の上面を吸着するこ
とによって、搬送と位置合わせの機能を持たせていた
が、本発明においては、素子基板を吸着搬送するフィン
ガーは、搬送の機能のみとし、素子基板の位置決めはベ
ースプレート表面で行なうようしており、素子基板を吸
着搬送する部材として、素子基板の周辺に当接して素子
基板の表面を傷付けることなく素子基板を吸着保持する
ことができる角錐状コレットフィンガー方式を採用する
ことができ、素子基板の表面に傷を付けることが全くな
くなり、歩留まりの向上が図れる。

【００４４】（５）さらに、所望の幅をもった長尺の液
体噴射記録ヘッドを精度良く製造することができ、歩留
まりの向上、低コスト化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を説明する模式図であり、
（ａ）は、組み立て装置の基準台に位置決めクランプさ
れたベースプレート上に素子基板を配列している状態を
模式的に図示する斜視図であり、（ｂ）はコレットフィ
ンガーの一部を破断して模式的に図示する側面図であ
る。

【図２】本発明の接着剤塗布に関する変形例を説明する
模式図であり、ベースプレート上に素子基板を配列した
後に接着剤を塗布する態様を図示する。

【図３】本発明の接着剤塗布に関する他の変形例を説明
する模式図であり、素子基板をベースプレートに配列す
る直前に素子基板の裏面に接着剤を塗布する態様を図示
する。

【図４】長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、複数の素子基板をベースプレートに配列する従来の
手法を説明するための概略的な斜視図である。

【図５】長尺の液体噴射記録ヘッドの構成を示す模式的
斜視図である。

【符号の説明】

１ 素子基板（ヒーターボード） １ａ 吐出エネルギー発生素子 ２ ベースプレート ３ 接着剤 ４、４ａ （接着剤）塗布溝 ５、５ａ 接着剤塗布手段 １０ 突き当て基準プレート １０ｂ 治具取付け台 １１ 突き当て体 １２ 横押圧体 １３ 位置検出手段 １４ コレットフィンガー １５ 角錐状コレット １６ 基準台 ４０ 素子基板 ４１ 吐出エネルギー発生素子 ４２ ベースプレート ４４ 配線基板 ４８ 天板 ４９ 吐出口

フロントページの続き (72)発明者 林崎 公之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 深井 恒 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小野 敬之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 大川 雅由 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出口から液体を吐出させるための吐出
   エネルギー発生素子列を有する素子基板複数個をベース
   プレート上に前記吐出エネルギー発生素子列方向へ配列
   し、該ベースプレートに吐出口列および該吐出口列にそ
   れぞれ連通した複数の液流路を有する長尺の天板を組み
   合わせ、前記吐出口列と前記吐出エネルギー発生素子列
   を位置合わせして接合形成する液体噴射記録ヘッドの製
   造方法において、 吐出エネルギー発生素子列を有する前記素子基板を前記
   ベースプレートに供給配列する際に、前記素子基板を前
   記ベースプレート上面へ直接載せ、前記ベースプレート
   に対向して配設した基準プレートの基準面に前記素子基
   板の前方側面を押し付けて吐出方向の位置決めを行な
   い、その状態で前記素子基板の横側面押しにより吐出エ
   ネルギー発生素子列方向の所定の位置へ移動させて位置
   決めし、その後に前記素子基板を前記ベースプレートに
   接着固定して配列することを特徴とする液体噴射記録ヘ
   ッドの製造方法。
2. 【請求項２】 素子基板の搬送供給手段として、前記素
   子基板のパターン面に接触することなく搬送することが
   できる角錐形状の吸着フィンガーを用いて、前記素子基
   板をベースプレート上面に搬送し仮置きするようにした
   ことを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの
   製造方法。
3. 【請求項３】 吐出エネルギー発生素子列方向の位置決
   めの際に、素子基板を横側面押しにより前記吐出エネル
   ギー発生素子列方向へ移動させながら前記素子基板の位
   置を非接触で測定し、前記素子基板が所定の位置に達し
   たときに素子基板の移動を停止させ、位置決め固定する
   ことを特徴とする請求項１または２記載の液体噴射記録
   ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 素子基板を吐出エネルギー発生素子列方
   向へ移動させる際にベースプレートに振動を加えながら
   素子基板を移動させることを特徴とする請求項１ないし
   ３のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。
5. 【請求項５】 素子基板をベースプレートに接着固定す
   るために、前記素子基板を前記ベースプレートへ供給す
   る前に、前記ベースプレート側へ接着剤を塗布しておく
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載
   の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 素子基板をベースプレートに接着固定す
   るために、前記素子基板の位置決め後に、前記素子基板
   の周囲に接着剤を塗布することを特徴とする請求項１な
   いし４のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造
   方法。
7. 【請求項７】 素子基板をベースプレートに接着固定す
   るために、前記素子基板を前記ベースプレートに載せる
   直前に、前記素子基板の裏面に接着剤を塗布し、接着剤
   が塗布された素子基板を前記ベースプレートに貼り合わ
   せ位置決めして、接着固定させることを特徴とする請求
   項１ないし４のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘッド
   の製造方法。