JPH11198388A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単でかつ低コストの装置で天板と素子基板
の精度良い位置決めを行なうことができ、天板に損傷を
与えることなく短タクトで両者を組み付けることができ
る液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 水平面Ｐに対して斜め後方に傾斜された
治具ベース５０の上面に素子基板２０が貼着されたベー
スプレート３０を位置決め固定し、素子基板２０の上に
天板１０を移載した後に、治具ベース５０に配設した振
動子により振動を加えて、天板１０を傾斜方向に沿って
素子基板２０上をスムーズに移動させ、天板１０の突き
当て基準部１６を素子基板２０の側端面にそして天板１
０の吐出口プレート１１の下部を素子基板２０の前端面
にそれぞれ精度良く接触させ、次いで、振動停止後に、
Ｚ加圧治具５７により天板１０の上面を加圧した状態で
ばね掛け治具によりばねを介して天板１０と素子基板２
０を固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体噴射記録装置
等に使用される液体噴射記録ヘッドの製造方法に関し、
特に、複数の吐出エネルギー発生素子を形成した素子基
板と複数の吐出口や複数の液流路溝を形成した天板を組
み付けて構成する液体噴射記録ヘッドの製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録装置等に使用される液体噴
射記録ヘッドは、インク等の記録液を吐出する複数の吐
出口（オリフィス）、各吐出口にそれぞれ連通する複数
の液流路および各液流路内に位置付けられた吐出エネル
ギー発生素子を備え、吐出エネルギー発生素子に記録情
報に対応した駆動信号を印加し、吐出エネルギー発生素
子の位置する液流路内の記録液に吐出エネルギーを付与
することによって、記録液を微細な吐出口から飛翔液滴
として吐出させて記録を行なうように構成されている。

【０００３】この種の液体噴射記録ヘッドは、図４に図
示するように、レーザ加工等により吐出口プレート１０
１に高精度に形成された複数の吐出口１０２、これらの
吐出口１０２にそれぞれ連通する複数の液流路溝１０
３、記録液を溜めておく液室１０４および液室１０４に
開口して記録液を導入する液供給口１０５を有する天板
１００と、Ｓｉ基板上に複数個配列された吐出エネルギ
ー発生素子（例えば、電気熱変換素子）１０６とこれに
電力を供給するＡｌ等の電気配線（図示しない）が成膜
技術により形成された素子基板１０７とから構成され、
天板１００と素子基板１０７は、吐出口１０１や液流路
溝１０３と吐出エネルギー発生素子１０６をそれぞれ対
応するように位置決めしてばね等の付勢手段あるいは接
着剤により接合され、素子基板１０４の電気配線にワイ
ヤボンディング等により接続される配線とこの配線の端
部に位置して本体装置からの電気信号を受けるパッドを
有する配線基板１０８とともにベースプレート１１０上
に固定されている。

【０００４】ところで、このような素子基板と天板の組
み合わせにおいては、素子基板の吐出エネルギー発生素
子と天板の吐出口および流路溝の位置決めはミクロンオ
ーダーの精密性が要求されており、素子基板と天板の位
置決めを精密に行なうことができる液体噴射記録ヘッド
の製造方法としては、特開平４−１７１１２６号公報や
特開平４−１７１１２８号公報等に開示されている。こ
れらの製造方法においては、素子基板上に形成された吐
出エネルギー発生素子の位置および天板に形成された吐
出口を画像認識で計測し、治具を用いて、天板を素子基
板に対し吐出口配列方向に相対的に移動させて、両者の
位置合わせを行ない、天板の吐出口を素子基板の吐出エ
ネルギー発生素子に合致させている。また、天板の吐出
口プレートの前面を治具で押して素子基板の前端面に押
しつけて吐出口列に直交する方向の位置合わせを行なっ
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の方法においては、画像処理等の非接触法に
より測定しながら位置合わせを行なっているために、そ
のための装置が複雑となって、装置コストも高くなり、
タクトが増大して短時間での位置合わせが困難であっ
た。また、天板の吐出口列に直交する方向の位置合わせ
は、治具を用いて天板の吐出口プレートの前面を押すた
めに、吐出口プレートに傷をつけやすいという欠点があ
った。

【０００６】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、簡単で
かつ低コストの装置で、天板に損傷を与えることなく、
天板と素子基板の精度の良い位置決めを行なうことがで
き、短タクトで両者を組み付けることができる液体噴射
記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とするもの
である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、複数の
吐出エネルギー発生素子を有する素子基板と、複数の吐
出口および該吐出口にそれぞれ連通する複数の液流路溝
を有するとともに液流路溝配列方向の端部に素子基板と
の突き当て基準部を備えかつ前記吐出口を形成する吐出
口プレートが前記素子基板との接合面より下方に延びて
いる天板とからなり、前記天板の突き当て基準部に前記
素子基板の側端面を突き当てることによって前記天板と
前記素子基板を位置決めし、両者を位置合わせて接合し
てなる液体噴射記録ヘッドの製造方法において、予め素
子基板が貼着されているベースプレートを、装置内の水
平面に対して特定の方向に傾斜している治具ベースに供
給する工程と、前記供給されたベースプレートを前記治
具ベースに位置決め固定する工程と、前記治具ベースに
固定された前記ベースプレート上の前記素子基板の上面
に天板を移載する工程と、前記傾斜している治具ベース
に振動を加えることにより、前記天板を傾斜している方
向に移動させ、該天板の突き当て基準部を前記素子基板
の側端面に、該天板の吐出口プレートの下部を前記素子
基板の前端面にそれぞれ接触もしくは接近させる工程
と、振動停止後に、前記天板を前記素子基板に固定する
工程とを有することを特徴とする。

【０００８】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子を有する素子
基板と、複数の吐出口および該吐出口にそれぞれ連通す
る複数の液流路溝を有するとともに液流路溝配列方向の
端部に素子基板との突き当て基準部を備えかつ前記吐出
口を形成する吐出口プレートが前記素子基板との接合面
より下方に延びている天板とからなり、前記天板の突き
当て基準部に前記素子基板の側端面を突き当てることに
よって前記天板と前記素子基板を位置決めし、両者を位
置合わせて接合してなる液体噴射記録ヘッドの製造方法
において、予め素子基板が貼着されているベースプレー
トを、装置内の治具ベースに供給する工程と、前記供給
されたベースプレートを前記治具ベースに位置決め固定
する工程と、前記治具ベースに固定された前記ベースプ
レート上の前記素子基板の上面に天板を移載する工程
と、前記ベースプレートが位置決め固定されている治具
ベースを水平面に対して特定の方向に傾斜させる工程
と、前記傾斜された治具ベースに振動を加えることによ
り、前記天板を傾斜している方向に移動させ、該天板の
突き当て基準部を前記素子基板の側端面に、該天板の吐
出口プレートの下部を前記素子基板の前端面にそれぞれ
接触もしくは接近させる工程と、振動停止後に、前記傾
斜している治具ベースをほぼ水平に戻す工程と、前記天
板を前記素子基板に固定する工程とを有することを特徴
とする。

【０００９】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法は、吐出エネルギー発生素子が電気熱変換素子で
あり、該素子の加熱により対応する液流路溝内の記録液
を発泡させて液滴として吐出させる型式の液体噴射記録
ヘッドの製造に好適である。

【００１０】

【作用】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法によれ
ば、治具ベースの上面に素子基板が貼着されたベースプ
レートを位置決め固定し、素子基板の上に天板を移載し
た後に、治具ベースに配設した振動子により振動を加え
て、素子基板上の天板を治具ベースの水平面に対する斜
め後方への傾斜方向に沿ってスムーズに移動させて、天
板の突き当て基準部を素子基板の側端面にそして天板の
吐出口プレートの下部を素子基板の前端面にそれぞれ精
度良く接触させ、次いで、振動停止後に、Ｚ加圧治具に
より天板の上面を加圧した状態でばね掛け治具によりば
ね等を介して天板と素子基板を固定するようになし、天
板と素子基板の位置合わせを精度よく行なうことがで
き、天板に損傷を与えることもなく、素子基板の複数の
吐出エネルギー発生素子と天板の液流路溝および吐出口
とを全て精度良く位置決めした状態で両者を組み付ける
ことができる。

【００１１】また、治具ベースを移動可能な構成とする
ことにより、治具ベースを水平状態にして、素子基板が
貼着されたベースプレートおよび天板を治具ベース上へ
供給移載することができ、また、完成品の排出を水平状
態に復帰している治具ベースから行なうことができ、オ
ートハンド等を用いて部品の供給排出を容易にかつ精度
よく行なうことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１３】図１は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法によって組み付けられる液体噴射記録ヘッドの天
板の構成を模式的に図示する斜視図であり、図２は、同
じく液体噴射記録ヘッドの素子基板および配線基板が貼
着されたベースプレートを模式的に図示する斜視図であ
り、図３は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法が
適用される組み立て装置を概略的に図示する斜視図であ
る。

【００１４】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
よって組み付けられる液体噴射記録ヘッドの構成につい
て図１および図２を参照して説明する。

【００１５】液体噴射記録ヘッドを構成する天板１０
は、吐出口プレート１１に形成された複数の吐出口（オ
リフィス）１２、吐出口１２にそれぞれ連通する複数の
液流路溝１３、記録液を溜めておく液室１４、および液
室１４に開口して記録液を導入する液供給口１５を有す
るとともに、複数の液流路溝１３の形成面で溝配列方向
の端部には、素子基板２０との接合時に素子基板２０の
側端面を突き当てることにより天板１０と素子基板２０
との位置決めを行なうための突き当て基準部１６が形成
されている。また、吐出口プレート１１は素子基板２０
に当接する接合面から図１において上方に延長されてい
る。

【００１６】天板１０に接合される素子基板２０は、複
数の吐出エネルギー発生素子（例えば、電気熱変換素
子）２１とこれに電力を供給するＡｌ等の電気配線２２
が成膜技術により形成されている。配線基板２５は、素
子基板２０の配線２２に対応してボンディングワイヤ２
８等により接続される配線２６とその配線の端部に位置
し本体装置からの電気信号を受けるコンタクト部２７を
有し、これらの素子基板２０と配線基板２５はともにベ
ースプレート３０上の所定の位置に貼着固定されてい
る。

【００１７】そして、天板１０と素子基板２０におい
て、素子基板２０の側端面を天板１０の突き当て基準部
１６に突き当てて位置決めすることにより、素子基板２
０の複数の吐出エネルギー発生素子２１と天板の複数の
液流路溝１３および吐出口１２がそれぞれ一致するよう
に構成されており、また、吐出口プレート１１は素子基
板２０の前端面に当接するように設けられている。

【００１８】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法が適用される組み立て装置について、図３に基づい
て、説明する。

【００１９】図３に図示する組み立て装置は、ベースプ
レート３０に貼着されている素子基板２０と天板１０を
位置決めして接合し、液体噴射記録ヘッドを組み付ける
ものであって、ベースプレート３０を載置し保持する治
具ベース５０上には、ベースプレート３０のＸ方向（横
方向）の位置を規制するためのＸ方向位置決めピン５
２、およびＹ方向（前後方向）の位置を規制するための
２個のＹ方向位置決めピン５３ａ、５３ｂがそれぞれ所
定の位置に配置されており、そして、治具ベース５０の
上方には、ベースプレート３０をＸ方向に押してＸ方向
位置決めピン５２に突き当てるためのＸ突き当て治具５
４、ベースプレート３０をＹ方向に押してＹ方向位置決
めピン５３ａ、５３ｂに突き当てるためのＹ突き当て治
具５５、およびベースプレート３０のＺ方向の動きを規
制する２個のＺクランプ治具５６ａ、５６ｂが設けられ
ている。さらに、ベースプレート３０上の素子基板２０
の上に載置され位置決めされた天板１０をその上面から
押圧して加圧保持するＺ加圧治具５７が設けられてい
る。また、治具ベース５０にはその下面側に治具ベース
５０を振動させるピエゾ素子等の振動子（不図示）が配
設されている。

【００２０】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の
第１の実施例にしたがって、天板１０と素子基板２０を
位置決めして接合する工程を、図３を参照して、説明す
る。

【００２１】素子基板２０および配線基板２５が貼着さ
れているベースプレート３０を治具ベース５０上に載置
する。なお、治具ベース５０は、図３に図示するよう
に、鉛直線（Ｚ方向）に直交する水平面Ｐに対してＸ方
向およびＹ方向にそれぞれθ₁、θ₂ の角度をもって後
方に傾斜されている。ここで、治具ベース５０の傾斜角
度は、タクト、精度、安定性等を考慮して最適な角度を
選定することが望ましく、本実施例においては、θ₁ 、
θ₂ をともに約３０度に設定した。

【００２２】次に、Ｘ突き当て治具５４およびＹ突き当
て治具５５をそれぞれ作動させて、ベースプレート３０
をＸ方向およびＹ方向にそれぞれ押して移動させ、Ｘ方
向位置決めピン５２およびＹ方向位置決めピン５３ａ、
５３ｂにそれぞれ突き当てて、ベースプレート３０を所
定の位置に位置決めする。その後、Ｚクランプ治具５６
ａ、５６ｂを作動させて、ベースプレート３０を治具ベ
ース５０上に固定する。

【００２３】そして、天板１０をベースプレート３０上
の素子基板２０の上に移載する。このとき、天板１０の
突き当て基準部１６と吐出口プレート１１の下部は、そ
れぞれ素子基板２０の側端面と前端面から離れた位置に
載置される。

【００２４】この状態で、治具ベース５０の下面側に配
設されているピエゾ素子等の振動子（不図示）を作動さ
せて、治具ベース５０を振動させる。この振動子の振動
周波数と振幅、振動時間は、天板の形状や傾斜角度等に
応じて最適な条件に設定することが望ましく、本実施例
においては、移動速度や突き当て精度等を考慮して、振
動周波数を１ＫＨｚ、振幅を１〜２μｍとして、約１秒
間振動を与えた。この振動子の振動により、天板１０
は、治具ベース５０の傾斜方向に沿って、素子基板２０
上をスムーズに移動し、そのＸ方向は、天板１０の突き
当て基準部１６を素子基板２０の側端面に精度良く突き
当てることができ、そして、そのＹ方向は、吐出口プレ
ート１１の下部を素子基板２０の前端面に精度良く突き
当てることができた。振動の振幅は２μｍ弱であるので
天板１０のあばれも少ないために、天板１０は、振動停
止後も、突き当て基準部１６および吐出口プレート１１
が素子基板２０の側端面および前端面にそれぞれほぼ突
き当たった状態を維持している。

【００２５】次に、この状態で、Ｚ加圧治具５７を作動
させて、天板１０の上面を加圧する。なお、本実施例に
おいては、天板１０の上面に液供給口１５が形成されて
いるため、この液供給口１５の上部を天板１０に対して
ほぼ垂直に加圧することにより、天板１０を不要に動か
すことなく加圧することができる。

【００２６】その後に、図示しないばね掛け治具によっ
てばねを介して天板１０を素子基板２０に固定する。こ
のとき、ばねの荷重が天板１０に加わるけれども、上記
のようにＺ加圧治具５７で天板１０を押さえているため
に、天板１０がずれることもなく、精度の良い位置合せ
および固定を行なうことができる。また、ばねに代えて
接着剤により天板１０と素子基板２０を固定することも
可能である。

【００２７】このように、傾斜している治具ベース５０
上の素子基板２０に移載した天板１０を、振動を与える
ことにより素子基板２０上を傾斜方向に沿ってすべらせ
て移動させ、突き当て基準部１６および吐出口プレート
１１を素子基板２０のそれぞれの端面に突き当てるよう
にしたことにより、天板１０に損傷を与えることなく、
天板１０と素子基板２０を位置決めすることができ、素
子基板２０の複数の吐出エネルギー発生素子２１に対し
て天板の液流路溝１３および吐出口１２を全て精度良く
位置合わせし、両者を組み付けることができる。

【００２８】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法の第２の実施例についてさらに説明する。前述した
第１の実施例では、ベースプレート３０を載置する治具
ベース５０を水平面に対して予めある角度をもって斜め
後方に傾斜させているが、オートハンド等を用いて、ベ
ースプレート３０や天板１０を傾斜した治具ベース５０
上に移載したり、完成品を傾斜した治具ベース５０上か
ら排出したりすることは、傾斜に合わせて取り置きする
ことを要し、作業上や精度上からきわめて困難である。
そこで、本実施例においては、治具ベース５０を水平状
態から第１の実施例のような傾斜状態へ移動しうる構成
とした。

【００２９】先ず、移動可能な治具ベース５０を水平状
態にして、ベースプレート３０を治具ベース５０上へ移
載して位置決めし、そして、天板１０を素子基板２０上
へ移載する。治具ベース５０が水平状態であるために、
オートハンドにより比較的容易にそれぞれの部品を移載
することが可能となる。

【００３０】次に、治具ベース５０を、図３に図示する
ように、水平面Ｐに対してＸ方向およびＹ方向にそれぞ
れθ₁ 、θ₂ の角度をもって斜め後方に傾斜させて、以
下、前述の第１の実施例と同様に、斜め後方に傾斜した
治具ベース５０に振動子により振動を加える。この振動
によって、天板１０は、傾斜方向に沿って素子基板２０
上をスムーズに移動し、天板１０の突き当て基準部１６
は素子基板２０の側端面に精度良く突き当たり、そし
て、吐出口プレート１１の下部は素子基板２０の前端面
に精度良く突き当たる。その後に、振動を停止させ、Ｚ
加圧治具５７を作動させて、天板１０の液供給口１５の
上部を加圧する。

【００３１】その後に、治具ベース５０を水平状態に復
帰させて、ばね掛け治具によってばねを介して天板１０
を素子基板２０に固定する。また、ばねに代えて接着剤
により天板１０と素子基板２０を固定することも可能で
ある。

【００３２】このようにして、天板１０と素子基板２０
の精度の良い位置合せおよび固定を行なうことができ
る。そして、本実施例においては、水平状態にある治具
ベース５０に対して素子基板２０を貼着したベースプレ
ート３０や天板１０を移載供給し、完成品の排出を水平
状態に復帰している治具ベース５０から行なうことがで
き、これらの部品の供給排出を容易にかつ精度よく行な
うことができ、オートハンド等により自動化することが
可能である。

【００３３】また、本発明は、特に液体噴射記録方式の
中で熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を
行なう、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。

【００３４】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。

【００３５】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００３６】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００３７】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００３８】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００３９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４０】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。

【００４１】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４２】以上の説明においては、インクを液体とし
て説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクで
あって、室温で軟化もしくは液体となるもの、あるい
は、インクジェットにおいて一般的に行なわれている温
度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃以下の温度範
囲で軟化もしくは液体となるものでもよい。すなわち、
使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば
よい。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をイン
クの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとし
て使用せしめることで防止するか、または、インクの蒸
発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いる
かして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じ
た付与によってインクが液化してインク液状として吐出
するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始
めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化
する性質のインクの使用も可能である。このような場合
インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開
昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質
シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持
された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形
態としてもよい。上述した各インクに対して最も有効な
ものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００４３】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
治具ベース上の素子基板の上に移載した天板を、振動を
与えることにより、素子基板上を治具ベースの傾斜方向
に沿ってすべらせて移動させ、天板の突き当て基準部お
よび吐出口プレートを素子基板の側端面および前端面に
それぞれ突き当てることにより、天板に損傷を与えるこ
ともなく、素子基板の複数の吐出エネルギー発生素子と
天板の液流路溝および吐出口とを全て精度良く位置決め
し組み付けることができる。しかも、画像処理等の位置
検出手段も必要とせず、装置コストの低減とタクトアッ
プを図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法によっ
て組み付けられる液体噴射記録ヘッドの天板の構成を模
式的に図示する斜視図である。

【図２】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法によっ
て組み付けられる液体噴射記録ヘッドの素子基板および
配線基板が貼着されたベースプレートを模式的に図示す
る斜視図である。

【図３】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法が適用
される組み立て装置を概略的に図示する斜視図である。

【図４】液体噴射記録ヘッドの構成を一部を破断して模
式的に図示する斜視図である。

【符号の説明】

１０ 天板 １１ 吐出口プレート １２ 吐出口 １３ 液流路溝 １６ 突き当て基準部 ２０ 素子基板 ２１ 吐出エネルギー発生素子 ２５ 配線基板 ３０ ベースプレート ５０ 治具ベース ５２ Ｘ方向位置決めピン ５３ａ、５３ｂ Ｙ方向位置決めピン ５４ Ｘ突き当て治具 ５５ Ｙ突き当て治具 ５６ａ、５６ｂ Ｚクランプ治具 ５７ Ｚ加圧治具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小瀧 靖夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 古川 雅朗 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 大川 雅由 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の吐出エネルギー発生素子を有する
   素子基板と、複数の吐出口および該吐出口にそれぞれ連
   通する複数の液流路溝を有するとともに液流路溝配列方
   向の端部に素子基板との突き当て基準部を備えかつ前記
   吐出口を形成する吐出口プレートが前記素子基板との接
   合面より下方に延びている天板とからなり、前記天板の
   突き当て基準部に前記素子基板の側端面を突き当てるこ
   とによって前記天板と前記素子基板を位置決めし、両者
   を位置合わせて接合してなる液体噴射記録ヘッドの製造
   方法において、 予め素子基板が貼着されているベースプレートを、装置
   内の水平面に対して特定の方向に傾斜している治具ベー
   スに供給する工程と、 前記供給されたベースプレートを前記治具ベースに位置
   決め固定する工程と、 前記治具ベースに固定された前記ベースプレート上の前
   記素子基板の上面に天板を移載する工程と、 前記傾斜している治具ベースに振動を加えることによ
   り、前記天板を傾斜している方向に移動させ、該天板の
   突き当て基準部を前記素子基板の側端面に、該天板の吐
   出口プレートの下部を前記素子基板の前端面にそれぞれ
   接触もしくは接近させる工程と、 振動停止後に、前記天板を前記素子基板に固定する工程
   とを有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造
   方法。
2. 【請求項２】 複数の吐出エネルギー発生素子を有する
   素子基板と、複数の吐出口および該吐出口にそれぞれ連
   通する複数の液流路溝を有するとともに液流路溝配列方
   向の端部に素子基板との突き当て基準部を備えかつ前記
   吐出口を形成する吐出口プレートが前記素子基板との接
   合面より下方に延びている天板とからなり、前記天板の
   突き当て基準部に前記素子基板の側端面を突き当てるこ
   とによって前記天板と前記素子基板を位置決めし、両者
   を位置合わせて接合してなる液体噴射記録ヘッドの製造
   方法において、 予め素子基板が貼着されているベースプレートを、装置
   内の治具ベースに供給する工程と、 前記供給されたベースプレートを前記治具ベースに位置
   決め固定する工程と、 前記治具ベースに固定された前記ベースプレート上の前
   記素子基板の上面に天板を移載する工程と、 前記ベースプレートが位置決め固定されている治具ベー
   スを水平面に対して特定の方向に傾斜させる工程と、 前記傾斜された治具ベースに振動を加えることにより、
   前記天板を傾斜している方向に移動させ、該天板の突き
   当て基準部を前記素子基板の側端面に、該天板の吐出口
   プレートの下部を前記素子基板の前端面にそれぞれ接触
   もしくは接近させる工程と、 振動停止後に、前記傾斜している治具ベースをほぼ水平
   に戻す工程と、 前記天板を前記素子基板に固定する工程とを有すること
   を特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 吐出エネルギー発生素子が電気熱変換素
   子であり、該素子の加熱により対応する液流路溝内の記
   録液を発泡させて液滴として吐出させることを特徴とす
   る請求項１または２記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。