JPH10260135A - 有機物洗浄液の評価方法及び装置 - Google Patents
有機物洗浄液の評価方法及び装置Info
- Publication number
- JPH10260135A JPH10260135A JP6402197A JP6402197A JPH10260135A JP H10260135 A JPH10260135 A JP H10260135A JP 6402197 A JP6402197 A JP 6402197A JP 6402197 A JP6402197 A JP 6402197A JP H10260135 A JPH10260135 A JP H10260135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- organic substance
- cleaning liquid
- concentration
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009615 fourier-transform spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000036284 oxygen consumption Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Butt Welding And Welding Of Specific Article (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルゴン溶接する際に配管内部に充填される
有機物の洗浄度を評価する方法及び装置に関する。 【解決手段】 5.7〜5.9μm帯に存在する有機物
の分子振動に基づく赤外域の吸収量の変化を検出するこ
とにより、溶接時の充填物である有機物の洗浄度を評価
する方法。
有機物の洗浄度を評価する方法及び装置に関する。 【解決手段】 5.7〜5.9μm帯に存在する有機物
の分子振動に基づく赤外域の吸収量の変化を検出するこ
とにより、溶接時の充填物である有機物の洗浄度を評価
する方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は発電プラント等でア
ルゴン溶接する際に配管内部に充填される有機物の洗浄
度を評価する方法及び装置に関する。
ルゴン溶接する際に配管内部に充填される有機物の洗浄
度を評価する方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、発電プラント等でアルゴン溶
接する場合には、配管内部に存在する空気等による溶接
不良を防止するため、配管内部に予め有機物を充填して
アルゴン溶接を行うことが一般的である。この有機物と
しては、その簡便性から水溶性のポリビニルアルコール
系フィルムが用いられることが多い。しかしながら、こ
の有機物はプラントの運用の際に配管内の汚染をもたら
すため、初期通水において早急に除去する必要がある。
接する場合には、配管内部に存在する空気等による溶接
不良を防止するため、配管内部に予め有機物を充填して
アルゴン溶接を行うことが一般的である。この有機物と
しては、その簡便性から水溶性のポリビニルアルコール
系フィルムが用いられることが多い。しかしながら、こ
の有機物はプラントの運用の際に配管内の汚染をもたら
すため、初期通水において早急に除去する必要がある。
【0003】このため、これまでは初期通水の際に洗浄
液をブローしながら洗浄液を採取して、そのCOD(化
学的酸素消費量)やTOC(有機体炭素)等を測定し、
有機物の洗浄度を評価していた。
液をブローしながら洗浄液を採取して、そのCOD(化
学的酸素消費量)やTOC(有機体炭素)等を測定し、
有機物の洗浄度を評価していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
CODやTOCを測定して有機物の洗浄度を評価する方
法は測定に長時間を要するため、洗浄度を逐一評価する
ようなモニタ的な測定には適さないという欠点があっ
た。すなわち、洗浄度の確認に時間がかかるため、必要
以上に洗浄のための通水を行う必要があること、またC
ODやTOCの測定そのものに時間と労力を要すること
などである。
CODやTOCを測定して有機物の洗浄度を評価する方
法は測定に長時間を要するため、洗浄度を逐一評価する
ようなモニタ的な測定には適さないという欠点があっ
た。すなわち、洗浄度の確認に時間がかかるため、必要
以上に洗浄のための通水を行う必要があること、またC
ODやTOCの測定そのものに時間と労力を要すること
などである。
【0005】本発明は上記技術水準に鑑み、溶接時の充
填物である有機物の洗浄度を直接的に評価できるととも
に、迅速なオンライン測定が可能な方法及び装置を提供
しようとするものである。
填物である有機物の洗浄度を直接的に評価できるととも
に、迅速なオンライン測定が可能な方法及び装置を提供
しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は(1)5.7〜
5.9μm帯に存在する有機物の分子振動に基づく赤外
域の吸収量の変化を検出することにより、溶接時の充填
物である有機物の洗浄度を評価することを特徴とする有
機物洗浄液の評価方法、(2)5.7〜5.9μmの光
を発光する光源と、該波長の光を検出する受光器と、該
光源と受光器の間に溶接箇所を通過した洗浄液の流路を
設けてなることを特徴とする有機物洗浄液の評価装置及
び(3)洗浄液の流路の一部に光学結晶を配して該光学
結晶の少なくとも一側面が洗浄液と接触するように構成
し、該光学結晶の上記洗浄液の接触面と相対しない一面
に上記光源からの光を入射し、該入射面の相対する面か
ら出射する光を受光器で受光し、該出射光の変化量を検
出することを特徴とする上記(2)記載の有機物洗浄液
の評価装置である。
5.9μm帯に存在する有機物の分子振動に基づく赤外
域の吸収量の変化を検出することにより、溶接時の充填
物である有機物の洗浄度を評価することを特徴とする有
機物洗浄液の評価方法、(2)5.7〜5.9μmの光
を発光する光源と、該波長の光を検出する受光器と、該
光源と受光器の間に溶接箇所を通過した洗浄液の流路を
設けてなることを特徴とする有機物洗浄液の評価装置及
び(3)洗浄液の流路の一部に光学結晶を配して該光学
結晶の少なくとも一側面が洗浄液と接触するように構成
し、該光学結晶の上記洗浄液の接触面と相対しない一面
に上記光源からの光を入射し、該入射面の相対する面か
ら出射する光を受光器で受光し、該出射光の変化量を検
出することを特徴とする上記(2)記載の有機物洗浄液
の評価装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明は洗浄液の流路に光源と受
光器を付設し、必要によっては該光源と受光器の間に光
学結晶を設けることによって、一般にアルゴン溶接時の
配管充填物として利用される有機物(たとえばポリビニ
ルアルコール系フィルム)の分子吸収に相当する5.7
〜5.9μm帯の光が、光源から出射されて受光器に到
達する間に該有機物の吸収によって生じる光量変化を検
出することにより、直接的に洗浄液中の有機物の存在を
評価できるようにする。
光器を付設し、必要によっては該光源と受光器の間に光
学結晶を設けることによって、一般にアルゴン溶接時の
配管充填物として利用される有機物(たとえばポリビニ
ルアルコール系フィルム)の分子吸収に相当する5.7
〜5.9μm帯の光が、光源から出射されて受光器に到
達する間に該有機物の吸収によって生じる光量変化を検
出することにより、直接的に洗浄液中の有機物の存在を
評価できるようにする。
【0008】(作用)本発明の有機物洗浄液の評価方法
及び装置では、発光器と受光器の間の光路に配管充填物
である有機物が存在すると、該有機物による光の吸収が
起こり受光器へ到達する光の強度はその濃度に応じて変
化するため、受光器での光量変化を追跡することによっ
て、該有機物の濃度を測定することができる。
及び装置では、発光器と受光器の間の光路に配管充填物
である有機物が存在すると、該有機物による光の吸収が
起こり受光器へ到達する光の強度はその濃度に応じて変
化するため、受光器での光量変化を追跡することによっ
て、該有機物の濃度を測定することができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明方法及び装置の具体的な例をあ
げ、本発明の効果を明らかにする。
げ、本発明の効果を明らかにする。
【0010】(実施例1)本発明の有機物洗浄液評価方
法及び装置の一実施例を図1によって説明する。図1は
一実施例に係る有機物洗浄液評価装置の構成図である。
図1において1は赤外半導体レーザ、2はレーザコント
ローラ、3は赤外半導体レーザからでた光を平行光にす
るための凹面鏡、4は洗浄液を通過させるためのフロー
セル、5はフローセル4に付設されたフッ化カルシウム
(波長5.7〜5.9μmの光を吸収しない材料)等で
できた光学窓板、6は該光学窓板5を通過してでてきた
光を光導電素子型等の光検出器7に集光するための凹面
鏡、8は光検出器7の出力を増幅するための増幅器、9
は増幅器8の出力を演算するためのコンピュータであ
る。
法及び装置の一実施例を図1によって説明する。図1は
一実施例に係る有機物洗浄液評価装置の構成図である。
図1において1は赤外半導体レーザ、2はレーザコント
ローラ、3は赤外半導体レーザからでた光を平行光にす
るための凹面鏡、4は洗浄液を通過させるためのフロー
セル、5はフローセル4に付設されたフッ化カルシウム
(波長5.7〜5.9μmの光を吸収しない材料)等で
できた光学窓板、6は該光学窓板5を通過してでてきた
光を光導電素子型等の光検出器7に集光するための凹面
鏡、8は光検出器7の出力を増幅するための増幅器、9
は増幅器8の出力を演算するためのコンピュータであ
る。
【0011】本実施例では、光源1からでた光10は凹
面鏡3で平行な光となり、光学窓板5に入射される。入
口光学窓板5aを通過した光はフローセル4内の洗浄液
11を通過し、出口光学窓板5bを通過する。この際、
光10は洗浄液11によって吸収を受ける。このとき、
赤外半導体レーザ1の発振する光の波長をレーザコント
ローラ2によって所定の波長(5.7μm〜5.9μ
m)に固定しているため、洗浄液中の有機物の存在によ
って吸収を受け、その減衰量は有機物の濃度に依存す
る。更にフローセル4を通過した光12は凹面鏡6によ
って光検出器7に集光される。更に光検出器7の出力は
増幅器8で増幅され、コンピュータ9に記憶される。コ
ンピュータ9ではあらかじめ求めておいた光減衰量と濃
度の関係より演算して有機物の濃度を求める。
面鏡3で平行な光となり、光学窓板5に入射される。入
口光学窓板5aを通過した光はフローセル4内の洗浄液
11を通過し、出口光学窓板5bを通過する。この際、
光10は洗浄液11によって吸収を受ける。このとき、
赤外半導体レーザ1の発振する光の波長をレーザコント
ローラ2によって所定の波長(5.7μm〜5.9μ
m)に固定しているため、洗浄液中の有機物の存在によ
って吸収を受け、その減衰量は有機物の濃度に依存す
る。更にフローセル4を通過した光12は凹面鏡6によ
って光検出器7に集光される。更に光検出器7の出力は
増幅器8で増幅され、コンピュータ9に記憶される。コ
ンピュータ9ではあらかじめ求めておいた光減衰量と濃
度の関係より演算して有機物の濃度を求める。
【0012】(実施例2)次に本発明の有機物洗浄液評
価装置の別の一実施例を図2によって説明する。図2に
おいて、21は赤外半導体レーザ、22はレーザコント
ローラ、23は赤外半導体レーザからでた光30を平行
光にするための凹面鏡、24は洗浄液を通過させるため
のフローセル、25はフローセル24に付設されたゲル
マニウム(屈折率の高い材料)等でできた光学結晶、2
6は該光学結晶25を通過してでてきた光32を光導電
素子型等の光検出器27に集光するための凹面鏡、28
は光検出器27の出力を増幅するための増幅器、29は
増幅器28の出力を演算するためのコンピュータであ
る。
価装置の別の一実施例を図2によって説明する。図2に
おいて、21は赤外半導体レーザ、22はレーザコント
ローラ、23は赤外半導体レーザからでた光30を平行
光にするための凹面鏡、24は洗浄液を通過させるため
のフローセル、25はフローセル24に付設されたゲル
マニウム(屈折率の高い材料)等でできた光学結晶、2
6は該光学結晶25を通過してでてきた光32を光導電
素子型等の光検出器27に集光するための凹面鏡、28
は光検出器27の出力を増幅するための増幅器、29は
増幅器28の出力を演算するためのコンピュータであ
る。
【0013】本実施例では、赤外半導体レーザ21から
でた光30は凹面鏡23で平行な光となり、光学結晶2
5に入射される。光学結晶5内で光は全反射を繰り返し
て進行し、光学結晶25の側面25a及び25bに接触
した洗浄液31によって吸収を受ける。この際、赤外半
導体レーザ21の発振する光の波長をレーザコントロー
ラ22によって所定の波長(5.7μm〜5.9μm)
に固定しているため、洗浄液中の有機物の存在によって
吸収を受け、その減衰量は有機物の濃度に依存する。更
に光学結晶25を通過した光32は凹面鏡26によって
光検出器27に集光される。更に光検出器27の出力は
増幅器28で増幅され、コンピュータ29に記憶され
る。コンピュータ29ではあらかじめ求めておいた光減
衰量と濃度の関係より演算して有機物の濃度を求める。
でた光30は凹面鏡23で平行な光となり、光学結晶2
5に入射される。光学結晶5内で光は全反射を繰り返し
て進行し、光学結晶25の側面25a及び25bに接触
した洗浄液31によって吸収を受ける。この際、赤外半
導体レーザ21の発振する光の波長をレーザコントロー
ラ22によって所定の波長(5.7μm〜5.9μm)
に固定しているため、洗浄液中の有機物の存在によって
吸収を受け、その減衰量は有機物の濃度に依存する。更
に光学結晶25を通過した光32は凹面鏡26によって
光検出器27に集光される。更に光検出器27の出力は
増幅器28で増幅され、コンピュータ29に記憶され
る。コンピュータ29ではあらかじめ求めておいた光減
衰量と濃度の関係より演算して有機物の濃度を求める。
【0014】本実施例の装置を用いて求めた有機物の濃
度と吸光度(純水のみの時の光検出器への到達光量と有
機物が存在する時の光検出器への到達光量の比の対数)
の関係を図3に示す。図3では有機物濃度が1〜20p
pmについて確認したが、更に高濃度域についても同様
に検量線を作成することによって定量することが可能で
ある。
度と吸光度(純水のみの時の光検出器への到達光量と有
機物が存在する時の光検出器への到達光量の比の対数)
の関係を図3に示す。図3では有機物濃度が1〜20p
pmについて確認したが、更に高濃度域についても同様
に検量線を作成することによって定量することが可能で
ある。
【0015】本実施例2では単色光源である赤外半導体
レーザを用いて説明したが、その他炭化珪素光源等の白
色光源を用いてフーリエ変換分光法や回折格子、フィル
タ等により5.7μm〜5.9μm帯の波長域における
光減衰量を求めることによって実施することも可能であ
り、これらを用いても何ら問題はない。
レーザを用いて説明したが、その他炭化珪素光源等の白
色光源を用いてフーリエ変換分光法や回折格子、フィル
タ等により5.7μm〜5.9μm帯の波長域における
光減衰量を求めることによって実施することも可能であ
り、これらを用いても何ら問題はない。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、配管充填物である有機
物の分子振動に基づく赤外域の吸収波長に相当する波長
の光を用いて、洗浄液が通過する配管に光源や光検出器
を付設して有機物の存在による光伝送量の変化を検出す
るようにしたものであるから、有機物の存在を直接的に
評価できるとともに、迅速なオンライン測定が可能とな
る。また洗浄液を採取して測定する必要がなく、遠隔監
視も可能であるため、基本的に無人運転が可能である。
物の分子振動に基づく赤外域の吸収波長に相当する波長
の光を用いて、洗浄液が通過する配管に光源や光検出器
を付設して有機物の存在による光伝送量の変化を検出す
るようにしたものであるから、有機物の存在を直接的に
評価できるとともに、迅速なオンライン測定が可能とな
る。また洗浄液を採取して測定する必要がなく、遠隔監
視も可能であるため、基本的に無人運転が可能である。
【図1】本発明の一実施例に係る有機物洗浄液評価装置
の構成図。
の構成図。
【図2】本発明の別の一実施例に係る有機物洗浄液評価
装置の構成図。
装置の構成図。
【図3】前記本発明の別の一実施例で作成した有機物濃
度と吸光度の関係図。
度と吸光度の関係図。
Claims (3)
- 【請求項1】 5.7〜5.9μm帯に存在する有機物
の分子振動に基づく赤外域の吸収量の変化を検出するこ
とにより、溶接時の充填物である有機物の洗浄度を評価
することを特徴とする有機物洗浄液の評価方法。 - 【請求項2】 5.7〜5.9μmの光を発光する光源
と、該波長の光を検出する受光器と、該光源と受光器の
間に溶接箇所を通過した洗浄液の流路を設けてなること
を特徴とする有機物洗浄液の評価装置。 - 【請求項3】 洗浄液の流路の一部に光学結晶を配して
該光学結晶の少なくとも一側面が洗浄液と接触するよう
に構成し、該光学結晶の上記洗浄液の接触面と相対しな
い一面に上記光源からの光を入射し、該入射面の相対す
る面から出射する光を受光器で受光し、該出射光の変化
量を検出することを特徴とする請求項2記載の有機物洗
浄液の評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6402197A JPH10260135A (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | 有機物洗浄液の評価方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6402197A JPH10260135A (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | 有機物洗浄液の評価方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10260135A true JPH10260135A (ja) | 1998-09-29 |
Family
ID=13246098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6402197A Pending JPH10260135A (ja) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | 有機物洗浄液の評価方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10260135A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6485578B1 (en) * | 2000-03-20 | 2002-11-26 | Sk Corporation | Chemical cleaning process for removing fouling |
| EP1166088B1 (de) * | 1999-04-07 | 2006-06-14 | Austria Wirtschaftsservice Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur infrarot-optischen bestimmung der konzentration zumindest eines analyten in einer flüssigen probe |
-
1997
- 1997-03-18 JP JP6402197A patent/JPH10260135A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1166088B1 (de) * | 1999-04-07 | 2006-06-14 | Austria Wirtschaftsservice Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur infrarot-optischen bestimmung der konzentration zumindest eines analyten in einer flüssigen probe |
| US7276701B2 (en) | 1999-04-07 | 2007-10-02 | Innovationsagentur Gesellschaft M.B.H. | Method of infrared-optically determining the concentration of at least one analyte in a liquid sample |
| US6485578B1 (en) * | 2000-03-20 | 2002-11-26 | Sk Corporation | Chemical cleaning process for removing fouling |
| KR100688715B1 (ko) * | 2000-03-20 | 2007-02-28 | 에스케이 주식회사 | 파울링 제거를 위한 화학적 세정공정 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2430465B1 (en) | Particulate detection and calibration of sensors | |
| JPH0464023B2 (ja) | ||
| JPS5847657B2 (ja) | リユウタイブンセキキ | |
| SE8800686D0 (sv) | Forfarande och anordning for bestemning av koncentrationen av ett emne som er bundet till partiklar i ett strommande medium | |
| CA2269620C (en) | Scalable non-contact optical backscatter insertion probe | |
| JPH10260135A (ja) | 有機物洗浄液の評価方法及び装置 | |
| JPH0228541A (ja) | 光式濃度検出装置 | |
| JPH0526804A (ja) | 多種ガス検出装置 | |
| US20030228083A1 (en) | Fiber optical probes for temperature measurement with high speed | |
| FR2784464A1 (fr) | Tete de mesure optique, notamment pour un analyseur automatique de reaction chimique ou biochimique | |
| JPH07294429A (ja) | 濁度計及び濁色度計 | |
| JPH0599627A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JP2000187786A (ja) | 火災検出装置及び火災検出装置における汚れ補償方法 | |
| US4499379A (en) | Infrared radiation gas analyzer | |
| US3706497A (en) | Method and apparatus for determining colorimetric concentrations | |
| US4922747A (en) | Method for the determination of volative components in continuous flow condensed phase sample stream | |
| JP4176535B2 (ja) | 赤外線分析装置 | |
| US11828705B2 (en) | Apparatus and method for spectroscopically detecting a sample | |
| JP4910588B2 (ja) | 水質測定装置 | |
| JP2003156437A (ja) | 赤外線水分測定方法及び装置 | |
| JPH03220444A (ja) | 吸光状態測定方法および吸光測定装置 | |
| JP4906477B2 (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 | |
| JPH09182740A (ja) | 生体の光学的測定装置 | |
| JPS6033391Y2 (ja) | 油分濃度計のワイパ装置 | |
| JPH07294410A (ja) | 粒度分布測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031202 |