JPH1026639A

JPH1026639A - 電流センサ及びこれを内蔵した電気装置

Info

Publication number: JPH1026639A
Application number: JP8181868A
Authority: JP
Inventors: 正 ▲高▼橋; Tadashi Takahashi; Toshihiko Matsuda; 敏彦松田; Yasuo Morooka; 泰男諸岡; Masahiko Watanabe; 正彦渡辺
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-07-11
Filing date: 1996-07-11
Publication date: 1998-01-27

Abstract

(57)【要約】【課題】ＦＦＢやモータなど電気機器に内蔵できる小型
で、交流及び直流，脈流電流を全て検出できる電流セン
サを提供すること。【解決手段】電流バーに絶縁体を介して磁気抵抗効果素
子を対向配置し、電流バーに流れる電流が作る磁界によ
る磁気抵抗効果素子の抵抗変化から電流バーに流れる電
流を検出する電流センサにおいて、電流バーに近接して
磁気回路を設け、磁気回路に設けたギャップ部に磁気抵
抗効果素子を配置する。さらに、磁気抵抗効果素子と電
流バーの間に磁気抵抗効果素子にバイアス磁界を印加す
るバイアス導体を設け、バイアス導体を流れる電流が磁
気抵抗効果素子の位置に作る磁界と電流バーを流れる電
流が磁気抵抗効果素子の位置に作る磁界の和が一定にな
るように制御し、その制御量より電流バーを流れる電流
を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電流センサ及びこれ
を内蔵した電気機器に係わり、特に、電気機器を小型に
できる磁気抵抗効果素子を用いた電流センサ及びこれを
用いた電気機器に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年ＦＦＢ（ヒューズフリーブレー
カ）の電子化に伴いＦＦＢを流れる電流を検出するため
にＦＦＢ内蔵の電流センサが必要になってきた。従来、
ＦＦＢ内蔵電流センサとしては、電流トランスを用いた
ＣＴ方式が主であった。電流トランスは鉄心と２つのコ
イルで構成されており、トランスの一次コイルに電流を
流して二次コイルから電流比例した電圧を取り出してい
た。この値によりＦＦＢの遮断等を制御していた。

【０００３】また、モータなどの電力応用機器の電流セ
ンサとしてＣＴ方式が用いられているか、装置の小型
化，高性能化の観点から限界があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では
（１）トランスの一次コイルに全電流を流すため、トラ
ンスを小型化するのは難しかった。（２）トランスを使
用するため、交流しか検出できなかった。

【０００５】本発明の目的は、ＦＦＢやモータなど電気
機器に内蔵できる小型で、交流及び直流，脈流電流を全
て検出できる電流センサ及びこれを内蔵した電気機器を
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するに
は、電流センサとして小型化が可能で、交流及び直流，
脈流電流を全て検出できる磁気抵抗効果素子を用いるこ
とが好適である。

【０００７】ただし、電気機器に内蔵可能な磁気抵抗効
果素子を用いた電流センサを実現するには、さらに次の
ような課題を解決する必要がある。（１）磁気抵抗効果
素子を磁気飽和させず、検出電流範囲で安定に動作可能
なこと、（２）外部あるいは検出対象以外の電流路から
の磁気ノイズの影響を受けないこと、等である。

【０００８】このような課題は、電流バーに絶縁体を介
して磁気抵抗効果素子を対向配置し、電流バーに流れる
電流が作る磁界による磁気抵抗効果素子の抵抗変化から
電流バーに流れる電流を検出する電流センサにおいて、
電流バーに近接して磁気回路を設け、磁気回路に設けた
ギャップ部に磁気抵抗効果素子を配置することによって
達成される。

【０００９】さらに、上記電流センサにおいて、磁気抵
抗効果素子と電流バーの間に磁気抵抗効果素子にバイア
ス磁界を印加するバイアス導体を設け、バイアス導体を
流れる電流が磁気抵抗効果素子の位置に作る磁界と電流
バーを流れる電流が磁気抵抗効果素子の位置に作る磁界
の和が一定になるように制御し、その制御量より電流バ
ーを流れる電流を検出することによって達成される。

【００１０】さらに、上記電流センサにおいて、磁気抵
抗効果素子の近くに磁性体を配置して磁気シールドを行
うことによって達成される。

【００１１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施例を図１〜
図４により説明する。図１は本発明の一実施例を示す電
流センサにおける検出部１−１の断面図である。電流セ
ンサは電流が作る磁界を検出する磁気抵抗効果素子を備
えた検出部及び検出部の電気抵抗変化から電流に対応し
た信号を出力する電流センサ回路から成る。図２は図１
を上からみた平面図である。図１，図２の１は電流セン
サの感磁部である。この感磁部１は絶縁基板１３と磁気
抵抗効果素子１１，バイアス導体１２から構成される。
１４，１５は絶縁部である。また、図２の１１−１，１
１−２の磁気抵抗効果素子１１の端子部であり、１２−
１，１２−２はバイアス導体１２の端子部である。図２
の磁気抵抗効果素子１１は図１に示すようにバイアス導
体１２の絶縁基板１３側に形成される。

【００１２】感磁部１は次のように形成される。まず、
ガラス等の平らな絶縁基板上１３にＮｉ−Ｆｅ等の強磁
性体を蒸着した後、エッチング等により図２のような細
長い短冊状に形成し、磁気抵抗効果素子１１とする。次
にこの上に酸化シリコン等よりなる絶縁層１４をスパッ
タリングなどにより設け、その上にアルミ等の導体を蒸
着、この蒸着膜をエッチング等によりパターニングし、
バイアス導体１２を形成する。更にその上に酸化シリコ
ンなどの絶縁物をスパッタリングなどによりコーテング
する。電流センサはこの感磁部１に絶縁スペーサ６を介
して電流バー（電流導体）２を配置した検出部１−１を
構成する。

【００１３】図３は電流センサ回路の構成図である。感
磁部１の各端子に図示のように回路素子を接続する。磁
気抵抗効果素子１１を定電流源３１に接続し、定電流源
３１の正極側の接続点から抵抗５１を介してアンプ４１
の正入力端子に接続する。更にアンプ４１の正入力端子
を抵抗５２を介して定電圧源３５に接続する。アンプ４
１の出力をバイアス導体１２及びアンプ４２の正入力に
接続し、アンプ４２の負入力を定電圧源３５に接続して
アンプ４２の出力を出力端子５に接続する。電流バー２
の端子２１，２２を電流を検出する対象、例えばＦＦＢ
の電流路に接続する。

【００１４】図４は磁気抵抗効果素子の抵抗値の磁界Ｂ
に対する変化を示す磁気特性図である。強磁性体から成
る磁気抵抗効果素子１１は長手方向に対して直角方向に
磁界Ｂを加えると図４に示すように電気抵抗が減少する
特性を持っている。この特性はＢ＝０の軸に対して対称
であり、抵抗値は磁界の大きさに依存し、符号には依ら
ない。しかしながら、磁気抵抗効果素子１１に図示のよ
うにバイアス磁界Ｂ_0pを加えて動作点をＢ＝０からＢ＝
Ｂ_0pに移動すれば正負に磁界を検出でき、その結果電流
の正負も検出できる。電流バー２を流れる電流が零の
時、磁気抵抗効果素子１１に作用するバイアス磁界がＢ
０になるように定電圧源３５によってアンプ４１の出力
にバイアスを与えてバイアス導体１２の電流を与え、磁
界を発生させる。図３の回路構成で電流バー２に正の電
流が流れると電流に比例した正の磁界Ｂ１が磁気抵抗効
果素子１１に加えられ、磁気抵抗効果素子１１の抵抗が
減少する。この結果磁気抵抗効果素子１１の端子電圧が
減少するので、出力端子５の出力値も減少し、バイアス
導体１２を流れる電流は減少する。そこで、磁気抵抗効
果素子１１に印加されるバイアス磁界がＢ２に減少する
ようになり、磁界Ｂ１とＢ２の合計が磁界Ｂ_0pとなっ
て、磁気抵抗効果素子１１の動作点は元のバイアス磁界
Ｂ_0pに落ちつく。アンプ４２によってアンプ４１の出力
から定電圧３５によるバイアス電圧が差し引かれ、出力
端子５は定電圧３５のバイアス電圧を除いて出力する。
また、電流バー２に負の電流が流れた場合は先ほどとは
逆に磁気抵抗効果素子１１に印加される磁界が減少し、
抵抗が増加する。この結果磁気抵抗効果素子１１の端子
電圧が増加するので、出力端子５の出力値も増加し、バ
イアス導体１２を流れる電流は増加する。そこで、磁気
抵抗効果素子１１に印加されるバイアス磁界が増加する
ようになり、結果的には磁気抵抗効果素子１１の動作点
は元のバイアス磁界Ｂ_0pに落ちつく。

【００１５】このように電流バー２を流れる電流に依存
せず磁気抵抗効果素子１１の動作点がほぼ同じ磁界に保
たれるので、磁気抵抗効果素子は磁気飽和せず、検出範
囲で検出感度を一定に保つことができ、安定に動作させ
ることができる。そして、磁気抵抗効果素子１１の磁気
特性のばらつきを押さえることができる。磁気抵抗効果
素子にバイアスを加えてそれを制御することで高い測定
感度を広い電流範囲で確保できる。また、センサにダイ
ナミックレンジを広くできる。さらに、本発明の電流セ
ンサで小型軽量であり、ＦＦＢの電流バーの上に簡単に
装着できる。

【００１６】図５は電流センサを内蔵したＦＦＢに関す
る実施例である。２３はＦＦＢの入力端子であり、入力
電流バー２４を介してその先端に固定接点２５を付けて
いる。２７は可動電流バーであり、その先端に可動接点
２６を固定接点２５に対向して配置する。可動電流バー
２７は支点１００を中心に可動接点２６側が移動し、可
動接点２６と固定接点２５が接触したり離れたりする。
可動電流バー２７の一端と出力側の電流バー２の一端に
は柔軟な電線２−１を取り付けて可動電流バー２７が動
き易いようにしてある。出力側の電流バー２の他端は出
力端子２８として出力電線が接続できるようにしてあ
る。また、可動電流バー２７は接点２６と固定接点２５
が接触すると第１のバネで押しつけ、第２のバネをチャ
ージする構造にしており、接点２５，２６の解放はトリ
ップコイル７５を励磁することで、可動レバー７３を下
に押し下げて第２のバネを解放して行う。再び接点を接
触させるにはレバー７２を手で上方に上げることで行
う。１−２は図１，図３に示す電流検出ユニットであ
り、この電流検出ユニットで検出した電流値を元に制御
回路７４で遮断するかどうかを判断し、もし遮断するな
らトリップコイルを励磁して可動接点２６を固定接点２
５から引き離す。図５には１つの電流路しか示してない
が、単相交流や直流の場合は２組の電流路、３相交流の
場合は３つの電流路がそれぞれ設けられる。

【００１７】ＦＦＢには単相で２本の電流バーが、３相
では３本の電流バーがそれぞれ設けられる。このため、
検出対象とする電流バー以外からの磁界が問題となり、
その対策としてそれらの磁界を遮蔽する磁気シールド構
造が必要である。図６はこのようなシールド構造に関す
る実施例を示す。感磁部１，絶縁スペーサ６，電流バー
２の配置は図１と同じでこれらが検出部１−１を構成し
ている。この検出部１−１の周囲に所定の間隔を設けて
円形状の磁性体９を配置する。この様な構成により、検
出対象である電流バー２以外からの外部磁界を磁性体９
で遮蔽し、感磁部１に対する外部磁界の影響を阻止でき
る。検出部１−１と円形状の磁性体９の間に絶縁物６−
１を充填して検出部１−１を固定する。検出部１−１と
円形状の磁性体９の間隔は狭い方が装置を小型にできる
が、狭すぎると磁性体９が電流バー２の磁界を短絡し、
感磁部１に磁界が到達しなくなるので適当な大きさに間
隔を設定する必要がある。図６に示すような構造体を検
出ユニット１−２と呼ぶ。図７は検出ユニットの他の実
施例である。磁気シールドを磁性体９１，９２と２つの
部分に分割し組み立てやすくしたものである。図６，図
７の磁気シールド構造によると、ＦＦＢ内の複数の電流
バーの電流をお互いの干渉なく正確に検出できる。

【００１８】図８は本発明の磁気回路の第１の実施例で
ある。磁気抵抗効果素子１１は微小磁界に対する感度が
高いので、電流バー２の電流が大きいとバイアス電流の
値も大きくなり、ついにダイナミックレンジをオーバー
してしまう。これに対し、図８は電流バー２からの磁界
を磁気回路で振り分けて感磁部１の磁界を分流させるこ
とで、大電流にも使用できるようにした検出ユニットの
構成を示す。検出部１−１における感磁部１，絶縁スペ
ーサ６，電流バー２の配置は図１と同じである。本実施
例の検出ユニットは、検出部１−１に磁気回路８１，８
２と磁気ギャップ８３，８５を追加したものである。こ
れらを絶縁性の樹脂６−１などにより固定し、検出ユニ
ット１−２を構成する。この様な構成にすると電流バー
２によって発生する磁界が磁気回路中を磁気ギャップ８
３，８５の寸法に反比例して流れるので、感磁部１の構
造が同じでも前記ギャップの寸法を適当に選ぶことで、
検出対象の電流の大きさに対応できる。ただし、図６に
於いて検出部１−１と円状の磁性体９の間隔を狭くする
ことで、上記と同じ効果を得ることもできる。本発明の
磁気回路を有する検出ユニットを用いると同じ感磁部の
構成で、磁界分流用磁気回路を変えるのみで微小電流か
ら大電流まで検出できる。

【００１９】図９は磁気回路を有する検出ユニットの他
の実施例である。図１０は同じく磁気回路を有する検出
ユニットのさらに他の実施例である。図９と図１０は外
部磁界及び検出対象以外の電流バー２による磁界の影響
を防止できる構成に関する実施例を示す。図９は図６の
構成に磁気回路８１，８２及び磁気ギャップ８３，８５
を追加したものであり、図１０は図８の構成における感
磁部１の近くのみを磁気シールドするための磁性体９を
追加した構成である。この様な構成により、図６と図８
で説明した２つの効果が同時に得られる。

【００２０】図１１は磁界分流のための磁気回路を改良
した他の実施例である。電流バー２に近い方の磁気回路
のギャップ８３を感磁部１が配置される磁気回路のギャ
ップ８５より狭くして電流バーの作る磁界が他に漏れに
くいようにした。本実施例では絶縁スペーサを６−１，
６−２と２つ使用して感磁部１の位置合わせを容易にし
ている。動作は図１０と同じである。

【００２１】図１２は磁界分流を円筒磁気回路で実現し
た実施例である。電流バー２からの磁界は円筒磁気回路
８１を介して円筒方向に導かれるが、エアギャップ８３
よりエアギャップ８５の方が広いので、エアギャップ８
３の磁界よりエアギャップ８５の磁界の方が小さい。エ
アギャップ８５に感磁部１を配置しているので、電流バ
ー２の電流が大きなものでも対応できる。また、電流バ
ー２の外側に円筒磁気回路を電流バーに沿って連続して
配置し、各エアギャップ８５の部分にスペーサ６と感磁
部１を設け、接着剤等で空間を充填した後所定の長さに
切断すれば大量生産しやすい。更に感磁部１を円筒磁気
回路８１の表面より若干内側に配置することにより、外
部磁気ノイズは磁気回路の表面に吸収されるので、感磁
部１をシールドできる。

【００２２】磁気抵抗効果素子１１はＮｉ−Ｆｅなどの
金属で形成され、高温まで使用できるが、温度により電
気抵抗値が変化する。次に温度特性の改良を提案する。
金属の抵抗値は温度に対して直線的に変化し、補償しや
すいが、今回のように小型が要求され、磁気抵抗効果素
子１１の長さが１〜１０mmで幅が５〜１００ミクロンｍ
と非常に小さな場合、素子のすぐ近くの温度を測定して
補償する必要がある。図１３〜図１５は良好な温度補償
機能を有する電流センサの一実施例である。図１３は検
出部１−１の断面図である。図１４は図１３を上からみ
た平面図である。図１３，図１４において、磁気抵抗効
果素子１１の温度を正確に検出できるように、小間隔を
置いて温度検出用の金属導体１６を磁気抵抗効果素子の
横に配置する。金属導体１６は磁気抵抗効果を持たない
金属により形成され、蒸着，エッチングにより磁気抵抗
効果素子１１とほぼ同じような短冊形状に作製される。
端子１６−１，１６−２により、金属導体１６は回路に
接続される。

【００２３】図１５は図１３，図１４の検出部を用いて
電流を検出する回路の構成図である。図１３，図１４に
示す構成の検出部１−１，感磁部１を図１５のように磁
気抵抗効果素子１１と定電流源３１を接続し、その接続
点から抵抗５１を介してアンプ４の正入力に、アンプ４
の正入力は抵抗５２を介して定電圧源３５を接続する。
金属導体１６は定電流源３２を接続し、その接続点から
抵抗５３を介してアンプ４１の正入力に接続し、アンプ
４１の出力はバイアス導体１２に接続する。金属導体１
６は定電流源３２に接続し、その接続点から抵抗５３を
介してアンプ４１の負入力に接続し、アンプ４１の負入
力と出力間には抵抗５４を接続する。アンプ４１の出力
はアンプ４２の正入力に接続し、アンプ４２の負入力は
定電圧源３５に接続し、アンプ４２の出力は出力端子５
に接続する。電流バー２の端子２１，２２はＦＦＢの電
流路に接続される。

【００２４】電流バー２の電流が零の時にバイアス磁界
はＢ０になるように定電圧源３５によってアンプ４２の
出力にバイアスを与えてバイアス導体１２にバイアス電
流を与える。電流バー２の正の電流を流すと電流に比例
した正の磁界が磁気抵抗効果素子１１に加えられ、磁気
抵抗効果素子１１の抵抗が減少する。この結果磁気抵抗
効果素子１１の端子電圧も減少するので、バイアス導体
１２の電流も減少し、磁気抵抗効果素子１１のバイアス
磁界が減少する。この結果電流バーによる磁界とバイア
ス磁界の減少分が相殺されて合計磁界はＢ_0pとなって、
磁気抵抗効果素子１１の動作点は元のバイアス磁界Ｂ_0p
に落ちつく。このときアンプ４１の負入力には金属導体
１６からの出力が入るが、金属導体１６は磁気抵抗効果
を持たないので温度が一定なら抵抗値は一定であり、上
記の制御には変化を与えない。しかし、温度変化に対し
ては磁気抵抗効果素子１１の温度が高くなれば、隣接し
て配置された金属導体１６の温度も高くなり、両者の電
気抵抗が高くなり、アンプ４１の正負入力の電圧が同時
に増加するので、相殺されてアンプ４１の出力にはその
変化が現れず、温度補償ができる。温度が低下した場合
も同様にアンプ４１の正負入力の電圧が同時に減少する
ので、相殺されてアンプ４１の出力には温度変化による
影響が生じない。また、電流バー２に負の電流を流した
場合は先ほどとは逆に磁気抵抗効果素子１１の磁界が減
少し、抵抗が増加するが、バイアス導体１２の電流も増
加して電流バー２による磁界減少とバイアス導体１２に
よる磁界増加分が相殺されて合計磁界は元のＢ_0pに落ち
つく。出力端子５は定電圧３５のバイアス電圧を除いて
出力するため、アンプ４２によってアンプ４１の出力か
ら定電圧３５のバイアス電圧を差し引いて出力するの
で、出力端子５には電流バー２の電流に比例した値が得
られる。以上のように温度変化に対して温度特性を補償
できる。磁気抵抗効果素子１１と金属導体１６の温度係
数が異なる場合でも、アンプ等のゲインを調整して合わ
せることができる。本実施例の電流センサは高温でも使
用でき、温度補償用の金属導体を蒸着，エッチングによ
り磁気抵抗効果素子のごく近傍に作るので、正確な温度
補償が可能である。

【００２５】以上では、本発明の電流センサをＦＦＢに
適用した場合を述べた。

【００２６】本発明の電流センサはモータや電源装置な
ど電流検出が必要な電気機器に対しても適用可能であ
る。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば小型で、構成が簡単な、
ノイズや温度の影響を受けにくい、精度の高い、かつ信
頼性の高い機器内蔵電流センサを実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す電流センサ部の断面図
である。

【図２】図１を上からみた平面図である。

【図３】本発明の電流センサ回路構成図である。

【図４】磁気抵抗効果素子の磁界に対する抵抗の変化を
示す磁気特性図である。

【図５】本発明のＦＦＢに電流センサを内蔵した実施例
である。

【図６】本発明のシールドの実施例である。

【図７】本発明のシールドの他の実施例である。

【図８】本発明の磁気回路の第１の実施例である。

【図９】本発明の磁気回路の第２の実施例である。

【図１０】本発明の磁気回路の第３の実施例である。

【図１１】磁界分流の磁気回路を改良した他の実施例で
ある。

【図１２】磁界分流を円筒磁気の回路で構成した実施例
である。

【図１３】本発明の他の一実施例を示す電流センサ部の
断面図である。

【図１４】図１３を上からみた平面図である。

【図１５】本発明の他の回路構成図である。

【符号の説明】１ …感磁部、１−１…検出部、１−２…電流検出ユニッ
ト、２…電流バー、６…スペーサ、９…磁性体、１１…
磁気抵抗効果素子、１２…バイアス導体、１３…絶縁基
板、１６…金属導体、３１，３２…定電流源、３５…定
電圧源、４１，４２…アンプ、８１…磁気回路、８５…
磁気ギャップ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者渡辺正彦茨城県日立市大みか町七丁目２番１号株式会社日立製作所電力・電機開発本部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電流バーに絶縁体を介して磁気抵抗効果素
子を対向配置し、前記電流バーに流れる電流が作る磁界
による前記磁気抵抗効果素子の抵抗変化から前記電流バ
ーに流れる電流を検出する電流センサにおいて、前記電流バーに近接して磁気回路を設け、前記磁気回路
に設けたギャップ部に前記磁気抵抗効果素子を配置した
ことを特徴とする電流センサ。
【請求項２】請求項１において、前記磁気抵抗効果素子
と前記電流バーの間に前記磁気抵抗効果素子にバイアス
磁界を印加するバイアス導体を設け、前記バイアス導体
を流れる電流が前記磁気抵抗効果素子の位置に作る磁界
と前記電流バーを流れる電流が前記磁気抵抗効果素子の
位置に作る磁界の和が一定になるように制御し、その制
御量より前記電流バーを流れる電流を検出する電流セン
サ。
【請求項３】請求項１において、前記磁気回路に第一の
ギャップ部と前記第一のギャップ部よりギャップ幅の大
きな第二のギャップ部を設け、前記第二のギャップ部に
前記磁気抵抗効果素子を配置したことを特徴とする電流
センサ。
【請求項４】請求項１において、前記磁気抵抗効果素子
に近接して金属導体を配置し、金属導体の温度による抵
抗値変化を検出し、これに基づいて前記磁気抵抗効果素
子の抵抗値の温度変化を補正して出力値の温度補償を行
うことを特徴とする電流センサ。
【請求項５】請求項１において、前記磁気回路は金属磁
性体又はフェライト系材料で形成されることを特徴とす
る電流センサ。
【請求項６】請求項１において、前記磁気抵抗効果素子
に対し、少なくとも前記電流バーと反対側に磁気シール
ドを配置したことを特徴とする電流センサ。
【請求項７】請求項１において、前記電流バー，前記磁
気抵抗効果素子及び前記磁気回路を包むように磁気シー
ルドを配置したことを特徴とする電流センサ。
【請求項８】請求項６または７において、前記磁気シー
ルドは金属磁性体又はフェライト系の材料で形成される
ことを特徴とする電流センサ。
【請求項９】一方向に延びた電流バーを包むよう、前記
電流バーとの間に隙間を設けて筒状の磁性体を配置し、
前記筒状の磁性体には、前記電流バーの長手方向にそれ
ぞれ所定のギャップ幅を有する複数のギャップ部を相互
に間隔をあけて形成し、各ギャップ部には磁気抵抗効果
素子を配置し、前記電流バー，前記筒状の磁性体及び複
数の磁気抵抗効果素子を一体的に固定した後、これを隣
合った磁気抵抗効果素子の間で切断して各電流センサに
切り離すことを特徴とする電流センサの製造方法。
【請求項１０】ＦＦＢ内の電流バーを流れる電流を、請
求項１〜請求項７に記載の電流センサで検出し、検出し
た電流値により、電流遮断を制御することを特徴とする
ＦＦＢ装置。
【請求項１１】機器内の電流バーに絶縁体を介して磁気
抵抗効果素子とバイアス導体及び金属導体を対向配置
し、前記バイアス導体に流す電流を制御して前記磁気抵
抗効果素子の動作点を安定化し、電流バーに流れる電流
が作る磁界を前記磁気抵抗効果素子の抵抗変化として検
出し、更に金属導体の温度による抵抗変化を検出して前
記磁気抵抗効果素子の抵抗変化を補正し、この値によ
り、機器を制御することを特徴とする機器内蔵電流セン
サ。
【請求項１２】請求項１〜請求項７に記載の電流センサ
によりモータのコイルを流れる電流を検出し、検出した
電流値により、モータを制御することを特徴とするモー
タ制御装置。
【請求項１３】請求項１〜請求項７に記載の電流センサ
によりモータのコイルを流れる電流を検出し、検出した
電流値を出力する出力端子を備えたモータ装置。