JPH10267630A - 光学系の表面形状測定装置 - Google Patents
光学系の表面形状測定装置Info
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- JPH10267630A JPH10267630A JP8891397A JP8891397A JPH10267630A JP H10267630 A JPH10267630 A JP H10267630A JP 8891397 A JP8891397 A JP 8891397A JP 8891397 A JP8891397 A JP 8891397A JP H10267630 A JPH10267630 A JP H10267630A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 78
- 210000004087 cornea Anatomy 0.000 abstract description 34
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical group [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検角膜等の被検対象となる光学系の各部お
よび全体の形状を、精度よくかつ連続的に判定でき、し
かも視覚的にも比較的容易に判定可能にする。 【解決手段】 被検光学系22に投影する明暗の縞を有
する第1グリッド21と、被検光学系22に投影された
第1グリッド21の反射像23を結像させるための光学
系24,25,26とを設けて、光学系24,25,2
6により第1グリッド21の反射像23が結像される共
役面28の近くに、第1グリッド21との間でモアレ縞
を生じさせる、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッド
27を配置する。
よび全体の形状を、精度よくかつ連続的に判定でき、し
かも視覚的にも比較的容易に判定可能にする。 【解決手段】 被検光学系22に投影する明暗の縞を有
する第1グリッド21と、被検光学系22に投影された
第1グリッド21の反射像23を結像させるための光学
系24,25,26とを設けて、光学系24,25,2
6により第1グリッド21の反射像23が結像される共
役面28の近くに、第1グリッド21との間でモアレ縞
を生じさせる、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッド
27を配置する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、角膜等の複雑な
形状を有する光学系の表面形状を測定する光学系の表面
形状測定装置に関する。
形状を有する光学系の表面形状を測定する光学系の表面
形状測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、角膜形状の測定装置として、
例えば、オフサルモメータやホトケラトスコープなどが
提案されている。これらのうち、オフサルモメータは角
膜の中心付近の一点の曲率半径しか計測できず、従っ
て、角膜の広い領域に被うコンタクトレンズのフィッテ
ィング用データとして利用するには、不十分である。
例えば、オフサルモメータやホトケラトスコープなどが
提案されている。これらのうち、オフサルモメータは角
膜の中心付近の一点の曲率半径しか計測できず、従っ
て、角膜の広い領域に被うコンタクトレンズのフィッテ
ィング用データとして利用するには、不十分である。
【0003】一方、これに対して、角膜の全体形状の測
定データが得られる前記のようなホトケラトスコープが
提案されるようになった。図11はかかる従来のホトケ
ラトスコープを示す概念図であり、同図において、11
は測定対象である被検角膜、14は被検角膜11の前方
に配置されたプラチッドリングと呼ばれる同心円状の明
暗のリングで、矢印B方向から見た正面形状は図12に
示すように、径の異なる所定幅のリングを一定の間隔を
おいて同心配置したような形状をなす。
定データが得られる前記のようなホトケラトスコープが
提案されるようになった。図11はかかる従来のホトケ
ラトスコープを示す概念図であり、同図において、11
は測定対象である被検角膜、14は被検角膜11の前方
に配置されたプラチッドリングと呼ばれる同心円状の明
暗のリングで、矢印B方向から見た正面形状は図12に
示すように、径の異なる所定幅のリングを一定の間隔を
おいて同心配置したような形状をなす。
【0004】また、12は被検角膜11により反射され
るプラチッドリング14の反対像、13はこの反対像1
2を結像させるための光学系としてのレンズ、15は反
対像12との共役な結像面であり、これらの被検角膜1
1,レンズ13および結像面15は同一の光軸上に配置
されている。
るプラチッドリング14の反対像、13はこの反対像1
2を結像させるための光学系としてのレンズ、15は反
対像12との共役な結像面であり、これらの被検角膜1
1,レンズ13および結像面15は同一の光軸上に配置
されている。
【0005】そして、このような光学配置からなる表面
形状測定装置により、前記結像面15において、被検角
膜11から反射されたプラチッドリング14の像を観察
することによって、被検角膜11の形状を測定すること
ができる。
形状測定装置により、前記結像面15において、被検角
膜11から反射されたプラチッドリング14の像を観察
することによって、被検角膜11の形状を測定すること
ができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の表面形状測定装置にあっては、結像面15上で観
察されるプラチッドリング14が同心円であるため、目
視では、その結像されたプラチッドリング14の像か
ら、被検角膜11の形状を判定することは極めて困難で
あり、特に、プラチッドリング14の像の中心部と周辺
部との曲率半径の違いは微妙であり、従って観察するプ
ラチッドリングの像も被検角膜11の形状の違いに対し
てわずかしか変化しないことから、測定精度が悪いとい
う課題があった。
従来の表面形状測定装置にあっては、結像面15上で観
察されるプラチッドリング14が同心円であるため、目
視では、その結像されたプラチッドリング14の像か
ら、被検角膜11の形状を判定することは極めて困難で
あり、特に、プラチッドリング14の像の中心部と周辺
部との曲率半径の違いは微妙であり、従って観察するプ
ラチッドリングの像も被検角膜11の形状の違いに対し
てわずかしか変化しないことから、測定精度が悪いとい
う課題があった。
【0007】また、前記被検角膜11の形状は、同心円
の明暗の境界でしか判断することができず、不連続的に
しか被検角膜11の形状を認識することができないとい
う課題があった。
の明暗の境界でしか判断することができず、不連続的に
しか被検角膜11の形状を認識することができないとい
う課題があった。
【0008】この発明は前記のような課題を解決するも
のであり、被検角膜等の被検対象となる光学系の各部お
よび全体の形状を、精度よくかつ連続的に測定でき、し
かも視覚的にも比較的容易に判定することができる光学
系の表面形状測定装置を提供することを目的とする。
のであり、被検角膜等の被検対象となる光学系の各部お
よび全体の形状を、精度よくかつ連続的に測定でき、し
かも視覚的にも比較的容易に判定することができる光学
系の表面形状測定装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的達成のために、
請求項1の発明にかかる光学系の表面形状測定装置は、
被検光学系に投影する明暗の縞を有する第1グリッド
と、前記被検光学系に投影された前記第1グリッドの反
射像を結像させるための光学系とを設けて、該光学系に
より前記第1グリッドの反射像が結像される共役面の近
くに、前記第1グリッドとの間でモアレ縞を生じさせ
る、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッドを配置した
ものである。
請求項1の発明にかかる光学系の表面形状測定装置は、
被検光学系に投影する明暗の縞を有する第1グリッド
と、前記被検光学系に投影された前記第1グリッドの反
射像を結像させるための光学系とを設けて、該光学系に
より前記第1グリッドの反射像が結像される共役面の近
くに、前記第1グリッドとの間でモアレ縞を生じさせ
る、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッドを配置した
ものである。
【0010】請求項2の発明にかかる光学系の表面形状
測定装置は、前記被検光学系により反射された前記第1
グリッドの反射像を結像させる前記光学系において、主
光線を光軸とほぼ平行にするようにしたものである。
測定装置は、前記被検光学系により反射された前記第1
グリッドの反射像を結像させる前記光学系において、主
光線を光軸とほぼ平行にするようにしたものである。
【0011】また、請求項3の発明にかかる光学系の表
面形状測定装置は、曲率半径一定の前記被検光学系によ
って反射された第1グリッドの反射像がほぼ等間隔なグ
リッドになるように、前記第1グリッドのピッチ間隔を
設定するようにしたものである。
面形状測定装置は、曲率半径一定の前記被検光学系によ
って反射された第1グリッドの反射像がほぼ等間隔なグ
リッドになるように、前記第1グリッドのピッチ間隔を
設定するようにしたものである。
【0012】また、請求項4の発明にかかる光学系の表
面形状測定装置は、前記第1グリッドと前記第2グリッ
ドとの交差角を可変にしたものである。
面形状測定装置は、前記第1グリッドと前記第2グリッ
ドとの交差角を可変にしたものである。
【0013】また、請求項5の発明にかかる光学系の表
面形状測定装置は、前記第2グリッドをグリッド間隔の
異る他のグリッドに交換できるようにしたものである。
面形状測定装置は、前記第2グリッドをグリッド間隔の
異る他のグリッドに交換できるようにしたものである。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
図について説明する。この発明の光学系の表面形状測定
装置は、モアレ縞を利用して被検角膜などの被検光学系
の形状を測定するものである。まず、このモアレ縞と被
検光学系の曲率との関係について説明する。
図について説明する。この発明の光学系の表面形状測定
装置は、モアレ縞を利用して被検角膜などの被検光学系
の形状を測定するものである。まず、このモアレ縞と被
検光学系の曲率との関係について説明する。
【0015】前記モアレ縞は、図8に示すような、ピッ
チP0 の等間隔の明暗の縞を有するグリッド17と、
図9に示すようなピッチPの等間隔の明暗の縞を有する
グリッド18と用意し、これらを図10に示すように、
交差用αで重ね合わせることによって生じる。
チP0 の等間隔の明暗の縞を有するグリッド17と、
図9に示すようなピッチPの等間隔の明暗の縞を有する
グリッド18と用意し、これらを図10に示すように、
交差用αで重ね合わせることによって生じる。
【0016】このモアレ縞の角度ωは、tanω=(1
/tanα)−(1/sinα)(P/P0 )とな
る。すなわち、モアレ縞の角度ωは、2つのグリッドの
交差角αと2つのグリッド17,18の各ピッチの比率
で決まる。そして、このモアレ縞の角度ωの大きさや違
いから、被検光学系である被検角膜などの曲率、つまり
形状を認識することができる。
/tanα)−(1/sinα)(P/P0 )とな
る。すなわち、モアレ縞の角度ωは、2つのグリッドの
交差角αと2つのグリッド17,18の各ピッチの比率
で決まる。そして、このモアレ縞の角度ωの大きさや違
いから、被検光学系である被検角膜などの曲率、つまり
形状を認識することができる。
【0017】なお、かかるモアレ縞にもとづいて被検光
学系の形状測定を行えるものとして、被検光学系の結像
部付近に近接して1つのグリッドを配置し、点光源を用
いてモアレ縞を観測するものなどが、例えば米国特許第
5355210号に提案されているものの、角膜などの
動きのある被検体の形状測定が行えない。このため、こ
の発明では、2つのグリッドを結像のための光学系を介
して対向配置して、被検光学系の全体形状(曲率)を測
定できるようにしている。
学系の形状測定を行えるものとして、被検光学系の結像
部付近に近接して1つのグリッドを配置し、点光源を用
いてモアレ縞を観測するものなどが、例えば米国特許第
5355210号に提案されているものの、角膜などの
動きのある被検体の形状測定が行えない。このため、こ
の発明では、2つのグリッドを結像のための光学系を介
して対向配置して、被検光学系の全体形状(曲率)を測
定できるようにしている。
【0018】図1はこの発明の光学系の表面形状測定装
置を示す概念図であり、同図において、21は明暗の縞
を有する被検光学系としての第1グリッドであり、これ
の矢印A方向から見るた正面形状は、図2に示すような
縞状パターンをなす。この縞状パターンは直線状をなさ
ず、かつその各ピッチは等間隔となっていない。なお、
この縞状パターンについては後に詳しく説明する。
置を示す概念図であり、同図において、21は明暗の縞
を有する被検光学系としての第1グリッドであり、これ
の矢印A方向から見るた正面形状は、図2に示すような
縞状パターンをなす。この縞状パターンは直線状をなさ
ず、かつその各ピッチは等間隔となっていない。なお、
この縞状パターンについては後に詳しく説明する。
【0019】また、22は第1グリッド21からの入射
像を反射する測定対象であるところの被検角膜、23は
この被検角膜22にて反射される第1のグリッド21の
反射像、24,25,26は反射像23を結像させるた
めの光学系で、24,26はレンズ、25は各レンズ2
4,26の焦点位置に配置された絞りである。この絞り
25とレンズ24,26とによって主光線が光軸と完全
に平行となるテレセントリック光学系を構成している。
像を反射する測定対象であるところの被検角膜、23は
この被検角膜22にて反射される第1のグリッド21の
反射像、24,25,26は反射像23を結像させるた
めの光学系で、24,26はレンズ、25は各レンズ2
4,26の焦点位置に配置された絞りである。この絞り
25とレンズ24,26とによって主光線が光軸と完全
に平行となるテレセントリック光学系を構成している。
【0020】なお、この発明においては、反射像23を
結像させる光学系の主光線は完全に光軸に平行とする必
要がなく、近似的に光軸に略平行であればよい。
結像させる光学系の主光線は完全に光軸に平行とする必
要がなく、近似的に光軸に略平行であればよい。
【0021】さらに、28は反射像23が結像される共
役面、27はこの共役面28の近辺に配置される第2グ
リッドであり、これの矢印C方向から見た正面形状は、
図3に示すような縞状パターンを有する。この縞状パタ
ーンは、グリッドのピッチが等間隔で平行な直線状をな
す。そして、前記第1グリッド21は第1グリッド27
に対して既知の角度αだけ傾くように配置されている。
役面、27はこの共役面28の近辺に配置される第2グ
リッドであり、これの矢印C方向から見た正面形状は、
図3に示すような縞状パターンを有する。この縞状パタ
ーンは、グリッドのピッチが等間隔で平行な直線状をな
す。そして、前記第1グリッド21は第1グリッド27
に対して既知の角度αだけ傾くように配置されている。
【0022】次に、前記縞状パターンを持った第1グリ
ッドの形状について、図4を参照しながら説明する。図
4において、22Aは曲率半径rの球面体であり、この
球面体22Aに向けて、第1グリッド21A上の光軸L
からの高さHi位置より発した光線は、その球面体22
Aの表面で反射されて、光軸Lに平行でこれより高さh
iを通過する光線である。
ッドの形状について、図4を参照しながら説明する。図
4において、22Aは曲率半径rの球面体であり、この
球面体22Aに向けて、第1グリッド21A上の光軸L
からの高さHi位置より発した光線は、その球面体22
Aの表面で反射されて、光軸Lに平行でこれより高さh
iを通過する光線である。
【0023】ここで、球面体22Aの中心Oと球面体2
2A上の前記光線の反射点Gとを結ぶ直線の、前記光軸
Lに対する角度をθ、前記球面体22Aから光軸Lに沿
った第1グリッド21Aまでの距離をd0 とすると、
hi=(COS2θ/cosθ)(r/2d0 )×H
iとなる。ここで、2d0 》rである。
2A上の前記光線の反射点Gとを結ぶ直線の、前記光軸
Lに対する角度をθ、前記球面体22Aから光軸Lに沿
った第1グリッド21Aまでの距離をd0 とすると、
hi=(COS2θ/cosθ)(r/2d0 )×H
iとなる。ここで、2d0 》rである。
【0024】前記角度θはhiによって決まる値である
ため、ここで、ある特定の曲率半径r0 について、こ
のときの第1グリッド21A上の光の位置、つまりグリ
ッドパターンの高さ位置Hi0 を逆算すると、Hi0
=(cosθ/cos2θ)(2d0 /r0 )×
hi0 となる。ここで、(cosθ/cos2θ)は
歪曲収差を示しており、従って、Hi0 とhi0 は
比例関係にない。このようにして、図7に示すような縞
状パターンを持った第1グリッド21を形成できる。
ため、ここで、ある特定の曲率半径r0 について、こ
のときの第1グリッド21A上の光の位置、つまりグリ
ッドパターンの高さ位置Hi0 を逆算すると、Hi0
=(cosθ/cos2θ)(2d0 /r0 )×
hi0 となる。ここで、(cosθ/cos2θ)は
歪曲収差を示しており、従って、Hi0 とhi0 は
比例関係にない。このようにして、図7に示すような縞
状パターンを持った第1グリッド21を形成できる。
【0025】次に、このような第1グリッド21上の高
さHi0 位置より発した任意の曲率半径r(人間の角
膜の曲率半径は6〜10mm程度)に対する反射光の高
さhiは、前記式より、hi=(cos2θ’/cos
θ’)(r/2d0 )×hi0 であり、しかもd0
》rであるところから、θ≒θ’としても実用上問題
はない。ここで、hi/hi0 は、前記式のピッチの
比P/P0 と同じであるから、このP/P0 はr/
r0 と同じことになる。すなわち、hi/hi0 や
r/r0 からモアレ縞の角度ωを知ることができ、こ
の結果、被検角膜22などの曲率半径を知ることができ
ることとなる。
さHi0 位置より発した任意の曲率半径r(人間の角
膜の曲率半径は6〜10mm程度)に対する反射光の高
さhiは、前記式より、hi=(cos2θ’/cos
θ’)(r/2d0 )×hi0 であり、しかもd0
》rであるところから、θ≒θ’としても実用上問題
はない。ここで、hi/hi0 は、前記式のピッチの
比P/P0 と同じであるから、このP/P0 はr/
r0 と同じことになる。すなわち、hi/hi0 や
r/r0 からモアレ縞の角度ωを知ることができ、こ
の結果、被検角膜22などの曲率半径を知ることができ
ることとなる。
【0026】例えば、被検角膜22の曲率半径r1のモ
アレ縞M1の角度が、図5に示すようにω1であれば、
異なる被検角膜22の曲率半径r2のモアレ縞M2の角
度が、図6に示すようにω2となることによって、曲率
半径の違いを容易に目視で判別することができる。な
お、前記モアレ縞の傾き角ωの感度は、第1グリッド2
1および第2グリッド27の交差角αを調節することに
よって、容易に変更することができる。
アレ縞M1の角度が、図5に示すようにω1であれば、
異なる被検角膜22の曲率半径r2のモアレ縞M2の角
度が、図6に示すようにω2となることによって、曲率
半径の違いを容易に目視で判別することができる。な
お、前記モアレ縞の傾き角ωの感度は、第1グリッド2
1および第2グリッド27の交差角αを調節することに
よって、容易に変更することができる。
【0027】図7は被検角膜22によるモアレ縞M3の
一例を示す。角膜は曲率半径が一定の球面体でないた
め、被検角膜22の形状に応じて、モアレ縞の角度が図
7に示すように変化する。このため、被検角膜22各部
の、すなわち、被検角膜22全体の形状を正確に判別す
ることができる。
一例を示す。角膜は曲率半径が一定の球面体でないた
め、被検角膜22の形状に応じて、モアレ縞の角度が図
7に示すように変化する。このため、被検角膜22各部
の、すなわち、被検角膜22全体の形状を正確に判別す
ることができる。
【0028】なお、第1グリッド21と第2グリッド2
7との交差角αを変えることにより測定感度を上げるこ
とができ、この場合には測定範囲が小さくなる。従っ
て、この場合には、第2グリッド27のピッチを、既知
の別の曲率半径のピッチに変更すればよい。
7との交差角αを変えることにより測定感度を上げるこ
とができ、この場合には測定範囲が小さくなる。従っ
て、この場合には、第2グリッド27のピッチを、既知
の別の曲率半径のピッチに変更すればよい。
【0029】この実施の形態によれば測定感度を変えた
り、測定基準を変えたりすることができるとともに、連
続的に変化する形状を確実に認識でき、例えば角膜に対
するコンタクトレンズ成形時のフィッティングデータと
してその測定データを使用できることとなる。
り、測定基準を変えたりすることができるとともに、連
続的に変化する形状を確実に認識でき、例えば角膜に対
するコンタクトレンズ成形時のフィッティングデータと
してその測定データを使用できることとなる。
【0030】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、被検光学系に投影する明暗の縞を有する第1グリッ
ドと、前記被検光学系に投影された前記第1グリッドの
反射像を結像させるための光学系とを設けて、該光学系
により前記第1グリッドの反射像が結像される共役面の
近くに、前記第1グリッドとの間でモアレ縞を生じさせ
る、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッドを配置する
ように構成したので、被検角膜等の被検対象となる光学
系の各部および全体の形状を、精度よくかつ連続的に測
定でき、しかも視覚的にも比較的容易に判定することが
できるという効果が得られる。
ば、被検光学系に投影する明暗の縞を有する第1グリッ
ドと、前記被検光学系に投影された前記第1グリッドの
反射像を結像させるための光学系とを設けて、該光学系
により前記第1グリッドの反射像が結像される共役面の
近くに、前記第1グリッドとの間でモアレ縞を生じさせ
る、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッドを配置する
ように構成したので、被検角膜等の被検対象となる光学
系の各部および全体の形状を、精度よくかつ連続的に測
定でき、しかも視覚的にも比較的容易に判定することが
できるという効果が得られる。
【0031】また、請求項2の発明によれば、前記被検
光学系により反射された前記第1グリッドの反射像を結
像させる前記光学系において、主光線を光軸とほぼ平行
にするように構成したので、光軸を中心として、これの
上下部に第1グリッドの反射像を乱さずに正確に第2グ
リッド側へ導くことができ、従って、被検光学系の正確
な形状測定を実現できるという効果が得られる。
光学系により反射された前記第1グリッドの反射像を結
像させる前記光学系において、主光線を光軸とほぼ平行
にするように構成したので、光軸を中心として、これの
上下部に第1グリッドの反射像を乱さずに正確に第2グ
リッド側へ導くことができ、従って、被検光学系の正確
な形状測定を実現できるという効果が得られる。
【0032】また、請求項3の発明によれば、曲率半径
一定の前記被検光学系によって反射された第1グリッド
の反射像がほぼ等間隔なグリッドになるように、前記第
1グリッドのピッチ間隔を設定するように構成したの
で、縞状パターンが直線状でなく、しかもピッチ間隔が
異なる第1グリッドの、被検光学系からの反射像を、第
2グリッドに正しく重ね合わせることができ、従来の2
枚の直線形グリッドによる場合と同様のモアレ縞の観測
を行うことができる。
一定の前記被検光学系によって反射された第1グリッド
の反射像がほぼ等間隔なグリッドになるように、前記第
1グリッドのピッチ間隔を設定するように構成したの
で、縞状パターンが直線状でなく、しかもピッチ間隔が
異なる第1グリッドの、被検光学系からの反射像を、第
2グリッドに正しく重ね合わせることができ、従来の2
枚の直線形グリッドによる場合と同様のモアレ縞の観測
を行うことができる。
【0033】また、請求項4の発明によれば、第1グリ
ッドと前記第2グリッドとの交差角を可変にしたり、前
記第2グリッドをグリッド間隔の異る他のグリッドに交
換するようにしたことで、モアレの傾き角の感度、すな
わち、測定感度を任意に変更できるという効果が得られ
る。
ッドと前記第2グリッドとの交差角を可変にしたり、前
記第2グリッドをグリッド間隔の異る他のグリッドに交
換するようにしたことで、モアレの傾き角の感度、すな
わち、測定感度を任意に変更できるという効果が得られ
る。
【図1】この発明の実施の一形態による光学系の表面形
状測定装置を示す概念図である。
状測定装置を示す概念図である。
【図2】図1における第1グリッドを示す正面図であ
る。
る。
【図3】図1における第2のグリッドを示す正面図であ
る。
る。
【図4】この発明における第1グリッドの形成方法を概
念的に示す説明図である。
念的に示す説明図である。
【図5】この発明により得られるモアレ縞を示す説明図
である。
である。
【図6】この発明により得られるモアレ縞を示す説明図
である。
である。
【図7】この発明により得られる被検角膜によるモアレ
縞を示す説明図である。
縞を示す説明図である。
【図8】一般的なモアレ縞の発生に用いるグリッドを示
す説明図である。
す説明図である。
【図9】一般的なモアレ縞の発生に用いる他のグリッド
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図10】図8および図9における各グリッドを重ね合
わせた状態を示す説明図である。
わせた状態を示す説明図である。
【図11】従来のホトケラトスコープを示す概念図であ
る。
る。
【図12】図11におけるプラチッドリングを示す正面
図である。
図である。
21 第1グリッド 22 被検角膜(被検光学系) 23 反対像 24 レンズ(光学系) 25 絞り(光学系) 26 レンズ(光学系) 27 第2グリッド 28 共役面 L 光軸
Claims (5)
- 【請求項1】 被検光学系に投影する明暗の縞を有する
第1グリッドと、前記被検光学系に投影された前記第1
グリッドの反射像を結像させるための光学系と、該光学
系により前記第1グリッドの反射像が結像される共役面
の近くに配置され、前記第1グリッドとの間でモアレ縞
を生じさせる、等間隔の明暗の縞を有する第2グリッド
とを備えたことを特徴とする光学系の表面形状測定装
置。 - 【請求項2】 前記被検光学系により反射された前記第
1グリッドの反射像を結像させる前記光学系において、
主光線を光軸とほぼ平行にしたことを特徴とする請求項
1に記載の光学系の表面形状測定装置。 - 【請求項3】 曲率半径一定の前記被検光学系によって
反射された第1グリッドの反射像がほぼ等間隔なグリッ
ドになるように、前記第1グリッドのピッチ間隔が設定
されていることを特徴とする請求項1に記載の光学系の
表面形状測定装置。 - 【請求項4】 前記第1グリッドと前記第2グリッドと
の交差角を可変にしたことを特徴とする請求項1に記載
の光学系の表面形状測定装置。 - 【請求項5】 前記第2グリッドをグリッド間隔の異る
他のグリッドに交換できるようにしたことを特徴とする
請求項1に記載の光学系の表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8891397A JPH10267630A (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 光学系の表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8891397A JPH10267630A (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 光学系の表面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10267630A true JPH10267630A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13956187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8891397A Pending JPH10267630A (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 光学系の表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10267630A (ja) |
-
1997
- 1997-03-24 JP JP8891397A patent/JPH10267630A/ja active Pending
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