JPH10270406A - 超音波発生装置およびその製法 - Google Patents
超音波発生装置およびその製法Info
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- JPH10270406A JPH10270406A JP9073694A JP7369497A JPH10270406A JP H10270406 A JPH10270406 A JP H10270406A JP 9073694 A JP9073694 A JP 9073694A JP 7369497 A JP7369497 A JP 7369497A JP H10270406 A JPH10270406 A JP H10270406A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は振動子で発生する超音波振動を効
率よく液体に伝播することができる超音波発生装置を提
供することを目的とする。 【解決手段】 液体に超音波振動を与えるための超音波
発生装置において、 圧電素子からなる振動子１１と、
この振動子の表面に形成された電極１２、１３と、 上
記振動子の表面に金属を堆積させることで形成された振
動膜１４と を具備したことを特徴とする。
率よく液体に伝播することができる超音波発生装置を提
供することを目的とする。 【解決手段】 液体に超音波振動を与えるための超音波
発生装置において、 圧電素子からなる振動子１１と、
この振動子の表面に形成された電極１２、１３と、 上
記振動子の表面に金属を堆積させることで形成された振
動膜１４と を具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は液体に超音波振動
を与えるための超音波発生装置およびその製造方法に関
する。
を与えるための超音波発生装置およびその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、液晶製造装置や半導体製造装
置においては、被洗浄物としての液晶用ガラス基板や半
導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工
程がある。このような被洗浄物を洗浄する方式として
は、洗浄液中に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方
式や被洗浄物に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄す
る枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られるとと
もに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されることが多
くなってきている。
置においては、被洗浄物としての液晶用ガラス基板や半
導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工
程がある。このような被洗浄物を洗浄する方式として
は、洗浄液中に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方
式や被洗浄物に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄す
る枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られるとと
もに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されることが多
くなってきている。
【０００３】枚葉方式の１つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
【０００４】洗浄液に超音波振動を付与する洗浄方式に
おいて、従来は20〜50ｋＨｚ程度の超音波が用いられて
いたが、最近では600 〜2000ｋＨｚ程度の極超音波帯域
の音波を用いる超音波洗浄装置が開発されている。
おいて、従来は20〜50ｋＨｚ程度の超音波が用いられて
いたが、最近では600 〜2000ｋＨｚ程度の極超音波帯域
の音波を用いる超音波洗浄装置が開発されている。
【０００５】超音波振動が付与された洗浄液を被洗浄物
に噴射すると、その超音波振動の作用によって被洗浄物
に付着した微粒子の結合力が低下するため、超音波振動
を付与しない場合に比べて洗浄効果を向上させることが
できる。
に噴射すると、その超音波振動の作用によって被洗浄物
に付着した微粒子の結合力が低下するため、超音波振動
を付与しない場合に比べて洗浄効果を向上させることが
できる。
【０００６】上記超音波洗浄装置は洗浄液が供給される
本体を有し、この本体に供給された洗浄液に超音波発生
装置によって超音波振動を与えるようになっている。そ
して、超音波振動が付与された洗浄液は上記本体に形成
されたノズル孔から噴出し、被洗浄物を洗浄することに
なる。
本体を有し、この本体に供給された洗浄液に超音波発生
装置によって超音波振動を与えるようになっている。そ
して、超音波振動が付与された洗浄液は上記本体に形成
されたノズル孔から噴出し、被洗浄物を洗浄することに
なる。
【０００７】上記超音波発生装置はＰＺＴなどの圧電素
子からなる振動子と、この振動子に接合されるタンタル
やサファイヤなどからなる振動板とから構成されてい
て、上記振動子に給電することで、この振動子とともに
振動板が振動して洗浄液に超音波振動を与えるようにな
っている。
子からなる振動子と、この振動子に接合されるタンタル
やサファイヤなどからなる振動板とから構成されてい
て、上記振動子に給電することで、この振動子とともに
振動板が振動して洗浄液に超音波振動を与えるようにな
っている。
【０００８】上記振動板は種々の機能が要求されてお
り、その１つとして振動子が洗浄液に直に接触するのを
防止している。つまり、上記洗浄液には純水、酸性の液
体あるいはアルカリ性の液体が用いられる。
り、その１つとして振動子が洗浄液に直に接触するのを
防止している。つまり、上記洗浄液には純水、酸性の液
体あるいはアルカリ性の液体が用いられる。
【０００９】このような洗浄液を振動子に直に接触させ
ると、振動子の成分が洗浄液に溶出し、洗浄液が汚損さ
れる。すると、その洗浄液によって洗浄される被洗浄物
も汚染される虞があるから、洗浄液が振動子に接触する
のを振動板によって阻止するようにしている。
ると、振動子の成分が洗浄液に溶出し、洗浄液が汚損さ
れる。すると、その洗浄液によって洗浄される被洗浄物
も汚染される虞があるから、洗浄液が振動子に接触する
のを振動板によって阻止するようにしている。
【００１０】また、洗浄液が振動子に直に接触すること
で、振動子の成分が洗浄液に溶出するということが繰り
返されると、その振動子が早期に性能低下を招いたり、
損傷するということがあるから、そのようなことも防止
するようにしている。
で、振動子の成分が洗浄液に溶出するということが繰り
返されると、その振動子が早期に性能低下を招いたり、
損傷するということがあるから、そのようなことも防止
するようにしている。
【００１１】従来、上記振動子はエポキシ樹脂などの接
着剤によって上記振動板に接着固定するようにしてい
た。そのため、振動子と振動板との間に接着剤が層状に
介在することが避けられない。接着剤は有機物であるた
め、圧電素子や金属に比べて超音波振動が透過しにくい
から、その接着層によって振動子から振動板に伝達され
るエネルギに損失が生じ、振動板の振動効率が低下する
ということがあった。
着剤によって上記振動板に接着固定するようにしてい
た。そのため、振動子と振動板との間に接着剤が層状に
介在することが避けられない。接着剤は有機物であるた
め、圧電素子や金属に比べて超音波振動が透過しにくい
から、その接着層によって振動子から振動板に伝達され
るエネルギに損失が生じ、振動板の振動効率が低下する
ということがあった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
音波発生装置は振動子を振動板に接着剤によって接着固
定していたので、振動子で発生した超音波振動が接着層
で減衰され、超音波振動を洗浄液に効率よく伝達できな
いということがあった。この発明は、振動子で発生する
超音波振動を効率よく液体に伝達できるようにした超音
波発生装置およびその製造方法を提供することにある。
音波発生装置は振動子を振動板に接着剤によって接着固
定していたので、振動子で発生した超音波振動が接着層
で減衰され、超音波振動を洗浄液に効率よく伝達できな
いということがあった。この発明は、振動子で発生する
超音波振動を効率よく液体に伝達できるようにした超音
波発生装置およびその製造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液体
に超音波振動を与えるための超音波発生装置において、
圧電素子からなる振動子と、この振動子の表面に形成さ
れた電極と、上記振動子の表面に金属を堆積させること
で形成された振動膜とを具備したことを特徴とする。
に超音波振動を与えるための超音波発生装置において、
圧電素子からなる振動子と、この振動子の表面に形成さ
れた電極と、上記振動子の表面に金属を堆積させること
で形成された振動膜とを具備したことを特徴とする。
【００１４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記振動子には、一方の側面に第１の電極が形成さ
れ、他方の側面に第２の電極が形成されていて、この第
２の電極に上記振動膜が形成されていることを特徴とす
る。
て、上記振動子には、一方の側面に第１の電極が形成さ
れ、他方の側面に第２の電極が形成されていて、この第
２の電極に上記振動膜が形成されていることを特徴とす
る。
【００１５】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、上記振動子には、一方の側面に第１の電極が形成さ
れ、他方の側面に第２の電極を兼ねる上記振動膜が形成
されていることを特徴とする。
て、上記振動子には、一方の側面に第１の電極が形成さ
れ、他方の側面に第２の電極を兼ねる上記振動膜が形成
されていることを特徴とする。
【００１６】請求項４の発明は、液体に超音波振動を与
えるための超音波発生装置の製造方法において、圧電素
子からなる振動子の表面に電極を形成する第１の工程
と、上記振動子の表面に金属を堆積させて振動膜を形成
する第２の工程と、電極と振動膜とが形成された振動子
を分極処理する第３の工程とを具備したことを特徴とす
る。
えるための超音波発生装置の製造方法において、圧電素
子からなる振動子の表面に電極を形成する第１の工程
と、上記振動子の表面に金属を堆積させて振動膜を形成
する第２の工程と、電極と振動膜とが形成された振動子
を分極処理する第３の工程とを具備したことを特徴とす
る。
【００１７】請求項１乃至請求項３の発明によれば、振
動子の表面に金属を堆積させて振動膜としたことで、振
動子と振動膜との間に接着層が介在しないから、エネル
ギの損失が低減され、しかも振動膜は振動板に比べて十
分に薄くできるから、振動子からのエネルギの透過効率
を高めることもできる。
動子の表面に金属を堆積させて振動膜としたことで、振
動子と振動膜との間に接着層が介在しないから、エネル
ギの損失が低減され、しかも振動膜は振動板に比べて十
分に薄くできるから、振動子からのエネルギの透過効率
を高めることもできる。
【００１８】請求項４の発明によれば、振動子に電極と
振動膜とを形成してからこの振動子の分極処理を行うた
め、振動子の分極状態が振動膜を形成するときの熱影響
によって損なわれることがない。
振動膜とを形成してからこの振動子の分極処理を行うた
め、振動子の分極状態が振動膜を形成するときの熱影響
によって損なわれることがない。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図１乃至図３を参照して説明する。図３はこの発明の超
音波発生装置１が用いられた超音波洗浄装置２を示す。
この超音波洗浄装置２は本体３を有する。この本体３に
は上方に開放した中空部３ａが形成されていて、その中
空部３ａには供給管４によって洗浄液が供給されるよう
になっている。中空部３ａに供給された洗浄液は本体３
の下端に開口形成されたノズル孔５から図示しない被洗
浄物に向かって噴出されるようになっている。
図１乃至図３を参照して説明する。図３はこの発明の超
音波発生装置１が用いられた超音波洗浄装置２を示す。
この超音波洗浄装置２は本体３を有する。この本体３に
は上方に開放した中空部３ａが形成されていて、その中
空部３ａには供給管４によって洗浄液が供給されるよう
になっている。中空部３ａに供給された洗浄液は本体３
の下端に開口形成されたノズル孔５から図示しない被洗
浄物に向かって噴出されるようになっている。
【００２０】上記本体３の内部には段部３ｂが形成さ
れ、この段部３ｂには上記超音波発生装置１が係合載置
されている。上記本体３の中空部３ａの上記段部３ｂよ
りも上方の部分には押え筒体６が螺合され、上記超音波
発生装置１は弾性部材７を介して上記押え筒体６の下端
面で押圧保持されている。
れ、この段部３ｂには上記超音波発生装置１が係合載置
されている。上記本体３の中空部３ａの上記段部３ｂよ
りも上方の部分には押え筒体６が螺合され、上記超音波
発生装置１は弾性部材７を介して上記押え筒体６の下端
面で押圧保持されている。
【００２１】上記超音波発生装置１は、図１に示すよう
にＰＺＴなどの板状の圧電素子によって上記本体３の中
空部３ａの上記段部３ｂの部分の断面形状とほぼ同じ形
状に形成された振動子１１を有する。この振動子１１の
一方の側面（上面）の周辺部を除く部分には第１の電極
１２が形成され、他方の側面（下面）には第２の電極１
３が形成されている。この第２の電極１３は下面だけで
なく、振動子１１の外周面から上面の周辺部にわたって
連続して形成されている。上記振動子１１の下面の部分
の第２の電極１３には振動膜１４が後述するごとく設け
られている。
にＰＺＴなどの板状の圧電素子によって上記本体３の中
空部３ａの上記段部３ｂの部分の断面形状とほぼ同じ形
状に形成された振動子１１を有する。この振動子１１の
一方の側面（上面）の周辺部を除く部分には第１の電極
１２が形成され、他方の側面（下面）には第２の電極１
３が形成されている。この第２の電極１３は下面だけで
なく、振動子１１の外周面から上面の周辺部にわたって
連続して形成されている。上記振動子１１の下面の部分
の第２の電極１３には振動膜１４が後述するごとく設け
られている。
【００２２】上記第１の電極１２は超音波発振器１５に
接続され、上記第２の電極１３は上記本体３を介してア
−スされる。したがって、上記超音波発振器１５から振
動子１１に電圧が印加されることで、上記振動子１１が
超音波振動するようになっている。
接続され、上記第２の電極１３は上記本体３を介してア
−スされる。したがって、上記超音波発振器１５から振
動子１１に電圧が印加されることで、上記振動子１１が
超音波振動するようになっている。
【００２３】上記超音波発生装置１は図２に示す手順で
製造される。まず、同図にＳ1 で示すようにＰＺＴなど
の板状の圧電素子からなる振動子１１の上下面が平滑に
なるよう研磨加工される。ついで、同図にＳ2 で示すよ
うに上記振動子１１の上面の周辺部を除く部分に第１の
電極１２を形成するとともに、下面全体から上面の周辺
部に連続する第２の電極１３を形成する。これら第１、
第２の電極１２、１３は通常、ガラスフリットを含む銀
ペ−ストを焼付けることで、５〜１０μｍの厚さの膜状
に形成される。
製造される。まず、同図にＳ1 で示すようにＰＺＴなど
の板状の圧電素子からなる振動子１１の上下面が平滑に
なるよう研磨加工される。ついで、同図にＳ2 で示すよ
うに上記振動子１１の上面の周辺部を除く部分に第１の
電極１２を形成するとともに、下面全体から上面の周辺
部に連続する第２の電極１３を形成する。これら第１、
第２の電極１２、１３は通常、ガラスフリットを含む銀
ペ−ストを焼付けることで、５〜１０μｍの厚さの膜状
に形成される。
【００２４】ついで、図２にＳ3 で示すように振動子１
１の下面、つまり上記第２の電極１３の下面全体にタン
タルやチタンなどの金属をμｍオ−ダの厚さで堆積させ
て振動膜１４を形成する。振動膜１４を形成するには、
ＣＶＤやスパッタなどの薄膜形成手段が用いられる。
１の下面、つまり上記第２の電極１３の下面全体にタン
タルやチタンなどの金属をμｍオ−ダの厚さで堆積させ
て振動膜１４を形成する。振動膜１４を形成するには、
ＣＶＤやスパッタなどの薄膜形成手段が用いられる。
【００２５】このようにして、振動子１１に電極１２、
１３と振動膜１４とが形成されたなら、同図にＳ4 で示
すようにこの振動子１１に高電界を印加することで、振
動子１１の等方性微結晶軸の方向を特定方向に揃えて圧
電性を与える分極処理をする。それによって、上記超音
波発生装置１が製造されることになる。
１３と振動膜１４とが形成されたなら、同図にＳ4 で示
すようにこの振動子１１に高電界を印加することで、振
動子１１の等方性微結晶軸の方向を特定方向に揃えて圧
電性を与える分極処理をする。それによって、上記超音
波発生装置１が製造されることになる。
【００２６】そして、このような構成の超音波発生装置
１は振動膜１４を下方に向けて本体３の段部３ｂに係合
載置され、押え筒体６によって保持固定される。上記構
成の超音波発生装置１によれば、振動子１１に金属を堆
積させることで振動膜１４を形成したから、振動子１１
と振動膜１４とは接着剤を用いずに一体化されている。
１は振動膜１４を下方に向けて本体３の段部３ｂに係合
載置され、押え筒体６によって保持固定される。上記構
成の超音波発生装置１によれば、振動子１１に金属を堆
積させることで振動膜１４を形成したから、振動子１１
と振動膜１４とは接着剤を用いずに一体化されている。
【００２７】そのため、振動子１１を超音波発振器１５
によって駆動すると、この振動子１１で発生する超音波
振動は上記振動膜１４に直接的に伝達される。つまり、
振動子１１で発生する超音波振動はほとんど減衰される
ことなく振動膜１４に伝達されるから、超音波発生装置
１の本体３内に供給される洗浄液に対してこの振動膜１
４により振動子１１の超音波振動を効率よく伝播するこ
とができる。
によって駆動すると、この振動子１１で発生する超音波
振動は上記振動膜１４に直接的に伝達される。つまり、
振動子１１で発生する超音波振動はほとんど減衰される
ことなく振動膜１４に伝達されるから、超音波発生装置
１の本体３内に供給される洗浄液に対してこの振動膜１
４により振動子１１の超音波振動を効率よく伝播するこ
とができる。
【００２８】上記振動膜１４は金属を堆積して形成する
ため、その厚さをμｍオ−ダとすることができる。振動
膜１４の厚さをμｍオ−ダに薄くできれば、この振動膜
１４と振動子１１との共鳴効率を高めることができるか
ら、そのことによっても振動子１１の超音波振動を洗浄
液に高効率で伝播させることができる。
ため、その厚さをμｍオ−ダとすることができる。振動
膜１４の厚さをμｍオ−ダに薄くできれば、この振動膜
１４と振動子１１との共鳴効率を高めることができるか
ら、そのことによっても振動子１１の超音波振動を洗浄
液に高効率で伝播させることができる。
【００２９】上記振動子１１の分極処理を、振動膜１４
を堆積させてから行うようにした。分極処理される振動
子１１は、約１５０℃以上に加熱されると、分極状態が
損なわれることがある。
を堆積させてから行うようにした。分極処理される振動
子１１は、約１５０℃以上に加熱されると、分極状態が
損なわれることがある。
【００３０】そのため、振動子１１を分極処理する前に
振動膜１４をＣＶＤやスパッタなどの手段で堆積させ、
その後で分極処理するようにしたことで、振動子１１が
１５０℃以上に温度上昇しても、なんら問題が生じるこ
とがない。
振動膜１４をＣＶＤやスパッタなどの手段で堆積させ、
その後で分極処理するようにしたことで、振動子１１が
１５０℃以上に温度上昇しても、なんら問題が生じるこ
とがない。
【００３１】図４はこの発明の超音波発生装置１Ａの変
形例を示す。すなわち、この超音波発生装置１Ａは振動
子１１の上面に第１の電極１２を形成し、下面には第２
の電極１３を形成せずに、その下面に金属を直に堆積さ
せて振動膜１４を形成するようにした。そして、この振
動膜１４を上記第１の電極１２と対をなす第２の電極と
しても利用するようにした。
形例を示す。すなわち、この超音波発生装置１Ａは振動
子１１の上面に第１の電極１２を形成し、下面には第２
の電極１３を形成せずに、その下面に金属を直に堆積さ
せて振動膜１４を形成するようにした。そして、この振
動膜１４を上記第１の電極１２と対をなす第２の電極と
しても利用するようにした。
【００３２】このような構成においては、上記一実施の
形態のように振動子１１に第２の電極１３を形成せずに
すむから、その分、製造工程の簡略化を図ることができ
るばかりか、振動膜１４が振動子１１に直に設けられる
ため、第２の電極１３を介して設ける場合に比べて高強
度に設けることができる。
形態のように振動子１１に第２の電極１３を形成せずに
すむから、その分、製造工程の簡略化を図ることができ
るばかりか、振動膜１４が振動子１１に直に設けられる
ため、第２の電極１３を介して設ける場合に比べて高強
度に設けることができる。
【００３３】
【発明の効果】請求項１乃至請求項３の発明によれば、
振動子の表面に金属を堆積させて振動膜としたことで、
振動子と振動膜との間に接着層が介在しないから、エネ
ルギの損失が低減され、しかも振動膜は従来の振動板に
比べて十分に薄くできるから、振動子との共鳴効率を高
めることもできる。
振動子の表面に金属を堆積させて振動膜としたことで、
振動子と振動膜との間に接着層が介在しないから、エネ
ルギの損失が低減され、しかも振動膜は従来の振動板に
比べて十分に薄くできるから、振動子との共鳴効率を高
めることもできる。
【００３４】請求項３の発明によれば、振動膜を振動子
に直に設け、この振動膜を電極としても利用するように
したから、電極を別に形成する場合に比べて製造工程を
簡略化することができるばかりか、上記振動膜を電極を
介して振動子に取付ける場合に比べて高強度で取付ける
ことができる。つまり、振動膜が振動子から剥離しにく
くなる。
に直に設け、この振動膜を電極としても利用するように
したから、電極を別に形成する場合に比べて製造工程を
簡略化することができるばかりか、上記振動膜を電極を
介して振動子に取付ける場合に比べて高強度で取付ける
ことができる。つまり、振動膜が振動子から剥離しにく
くなる。
【００３５】請求項４の発明によれば、振動子に電極と
振動膜とを形成してからこの振動子の分極処理を行うた
め、振動子の分極状態が熱影響によって損なわれること
がない。
振動膜とを形成してからこの振動子の分極処理を行うた
め、振動子の分極状態が熱影響によって損なわれること
がない。
【図１】この発明の一実施の形態を示す超音波発生装置
の拡大断面図。
の拡大断面図。
【図２】図２は同じく超音波発生装置の製造手順の説明
図。
図。
【図３】同じく超音波洗浄装置の概略的構成の断面図。
【図４】この発明の他の実施の形態を示す超音波発生装
置の拡大断面図。
置の拡大断面図。
１１…振動子 １２…第１の電極 １３…第２の電極 １４…振動膜
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年４月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 超音波発生装置およびその製法 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年４月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】上記振動膜１４は金属を堆積して形成する
ため、その厚さをμｍオ−ダとすることができる。振動
膜１４の厚さをμｍオ−ダに薄くできれば、この振動膜
１４と振動子１１からのエネルギの透過効率を高めるこ
とができるから、そのことによっても振動子１１の超音
波振動を洗浄液に高効率で伝播させることができる。
ため、その厚さをμｍオ−ダとすることができる。振動
膜１４の厚さをμｍオ−ダに薄くできれば、この振動膜
１４と振動子１１からのエネルギの透過効率を高めるこ
とができるから、そのことによっても振動子１１の超音
波振動を洗浄液に高効率で伝播させることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】
【発明の効果】請求項１乃至請求項３の発明によれば、
振動子の表面に金属を堆積させて振動膜としたことで、
振動子と振動膜との間に接着層が介在しないから、エネ
ルギの損失が低減され、しかも振動膜は従来の振動板に
比べて十分に薄くできるから、振動子からのエネルギの
透過効率を高めることもできる。
振動子の表面に金属を堆積させて振動膜としたことで、
振動子と振動膜との間に接着層が介在しないから、エネ
ルギの損失が低減され、しかも振動膜は従来の振動板に
比べて十分に薄くできるから、振動子からのエネルギの
透過効率を高めることもできる。
Claims (4)
- 【請求項１】 液体に超音波振動を与えるための超音波
発生装置において、 圧電素子からなる振動子と、この振動子の表面に形成さ
れた電極と、 上記振動子の表面に金属を堆積させることで形成された
振動膜とを具備したことを特徴とする超音波発生装置。 - 【請求項２】 上記振動子には、一方の側面に第１の電
極が形成され、他方の側面に第２の電極が形成されてい
て、この第２の電極に上記振動膜が形成されていること
を特徴とする請求項１記載の超音波発生装置。 - 【請求項３】 上記振動子には、一方の側面に第１の電
極が形成され、他方の側面に第２の電極を兼ねる上記振
動膜が形成されていることを特徴とする請求項２記載の
超音波発生装置。 - 【請求項４】 液体に超音波振動を与えるための超音波
発生装置の製造方法において、 圧電素子からなる振動子の表面に電極を形成する第１の
工程と、 上記振動子の表面に金属を堆積させて振動膜を形成する
第２の工程と、 電極と振動膜とが形成された振動子を分極処理する第３
の工程とを具備したことを特徴とする超音波発生装置の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9073694A JPH10270406A (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | 超音波発生装置およびその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9073694A JPH10270406A (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | 超音波発生装置およびその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10270406A true JPH10270406A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13525592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9073694A Pending JPH10270406A (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | 超音波発生装置およびその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10270406A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002066267A3 (de) * | 2001-02-21 | 2002-12-27 | Sonosys Ultraschallsysteme Joh | Piezoelektrischer transducer zur ultraschallerzeugung |
| CN106179930A (zh) * | 2016-07-11 | 2016-12-07 | 杨林 | 超声波振子单元 |
-
1997
- 1997-03-26 JP JP9073694A patent/JPH10270406A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002066267A3 (de) * | 2001-02-21 | 2002-12-27 | Sonosys Ultraschallsysteme Joh | Piezoelektrischer transducer zur ultraschallerzeugung |
| CN106179930A (zh) * | 2016-07-11 | 2016-12-07 | 杨林 | 超声波振子单元 |
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