JPS583394A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS583394A JPS583394A JP56100919A JP10091981A JPS583394A JP S583394 A JPS583394 A JP S583394A JP 56100919 A JP56100919 A JP 56100919A JP 10091981 A JP10091981 A JP 10091981A JP S583394 A JPS583394 A JP S583394A
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- Japan
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- piezoelectric element
- diaphragm
- element substrate
- adhesive
- adhesives
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は圧電振動子の製造方法に係り、特に圧電素子
基板とこれと一体化されて音波を発生する振動板との接
着剤による接着方法に関する。
基板とこれと一体化されて音波を発生する振動板との接
着剤による接着方法に関する。
従来の圧電ブザー等におけるセラミック圧電素子基板と
振動板との接着法を第１図で説明すると次のとおりであ
み、まず、セラミック圧電基板１はスクリーン印刷方法
勢によシ両面に電極Ｊａ、１ｂｔ−塗布し、８００℃前
後の温度で電極焼付後、高電界中にて分極処理を施す、
そして、真空吸着治具２によシ保持された薄板金属の振
動板３にディスペンサ方式等により接着剤４をのせ、そ
の上部の位置になるように前記セラミック圧電素子基板
１を真空吸着治具６にて保持配設し、真空吸着治具５そ
の４ので矢印方向に押え付ける。この場合、セラミック
圧電素子基板１と振動板３とを上記と同様に保持し、相
対的に回転を加えながら圧下し、セラミック圧電素子基
板ｌと振動板３とを接着する方法も提案されている（実
開昭５２−３３２７７号）。
振動板との接着法を第１図で説明すると次のとおりであ
み、まず、セラミック圧電基板１はスクリーン印刷方法
勢によシ両面に電極Ｊａ、１ｂｔ−塗布し、８００℃前
後の温度で電極焼付後、高電界中にて分極処理を施す、
そして、真空吸着治具２によシ保持された薄板金属の振
動板３にディスペンサ方式等により接着剤４をのせ、そ
の上部の位置になるように前記セラミック圧電素子基板
１を真空吸着治具６にて保持配設し、真空吸着治具５そ
の４ので矢印方向に押え付ける。この場合、セラミック
圧電素子基板１と振動板３とを上記と同様に保持し、相
対的に回転を加えながら圧下し、セラミック圧電素子基
板ｌと振動板３とを接着する方法も提案されている（実
開昭５２−３３２７７号）。
しかしながらこのような従来法では、ドクタブレード方
法等により製作された０、０５〜０．１５簡と極薄いセ
ラミック圧電素子は電極焼付時や分極処理時に熱や電界
によりそりが生じた状態にてはりつけられ九り、セラミ
ック圧電素子は動きの大きな機械的な力による圧接や回
転によシ接着される。ため、接着時にセラミック圧電素
子周辺がかけたり極端な場合はわれ歩留りを低下させる
。またそりの生じたセラミック圧電素子基板の場合はセ
ラミック圧電素子基板と振動板間に空気層を生じさせ密
着性を悪くする。さらに動きの大きな機械的な力による
圧接や回転の場合、セラミック圧電素子基板がかけたり
、われが生じなくても真空吸着治具のあたるセラミック
圧電素子の主面に設けられた電極面及び振動板面がセラ
ミック圧電素子と接着剤間、接着剤と振動板間のそれぞ
れの接着力が増えていくことにより、セラミック圧電素
子及び振動板の吸着力のアンバランスによシこすれ傷が
発生し圧電ブザの音響特性や信頼性をさげていた。
法等により製作された０、０５〜０．１５簡と極薄いセ
ラミック圧電素子は電極焼付時や分極処理時に熱や電界
によりそりが生じた状態にてはりつけられ九り、セラミ
ック圧電素子は動きの大きな機械的な力による圧接や回
転によシ接着される。ため、接着時にセラミック圧電素
子周辺がかけたり極端な場合はわれ歩留りを低下させる
。またそりの生じたセラミック圧電素子基板の場合はセ
ラミック圧電素子基板と振動板間に空気層を生じさせ密
着性を悪くする。さらに動きの大きな機械的な力による
圧接や回転の場合、セラミック圧電素子基板がかけたり
、われが生じなくても真空吸着治具のあたるセラミック
圧電素子の主面に設けられた電極面及び振動板面がセラ
ミック圧電素子と接着剤間、接着剤と振動板間のそれぞ
れの接着力が増えていくことにより、セラミック圧電素
子及び振動板の吸着力のアンバランスによシこすれ傷が
発生し圧電ブザの音響特性や信頼性をさげていた。
これらの欠点は真空吸着力が吸着方向には強いがその９
０度方向（回転はこの中に入る）からの力には弱いこと
や使用される接着剤の粘度係数が大きいととに４原因が
ある。
０度方向（回転はこの中に入る）からの力には弱いこと
や使用される接着剤の粘度係数が大きいととに４原因が
ある。
この発明は上記の点にかんがみなされたもので、圧電素
子基板との接着剤による接着時に圧電素子基板のわれや
かけを生じることなく両者の密着性を高め、歩留り向上
、音響特性の向上をはかる・方法を提供するものである
。
子基板との接着剤による接着時に圧電素子基板のわれや
かけを生じることなく両者の密着性を高め、歩留り向上
、音響特性の向上をはかる・方法を提供するものである
。
すなわちこの発明は、圧電素子基板と振動板との接着時
に微小振幅の機械的振動を接着剤部に与えて接着剤の見
かけ上の粘度係数を低下させ、圧電素子基板と振動板間
に空気層を生じないようにして上記目的を達成する。
に微小振幅の機械的振動を接着剤部に与えて接着剤の見
かけ上の粘度係数を低下させ、圧電素子基板と振動板間
に空気層を生じないようにして上記目的を達成する。
以下図面を参照してこの発明の実施例を説鴫する。第２
図は一実施例ｔ−説明するための図で、１１は両主面に
電極１１ｈ、ｌ１ｂｔ−有するセラミック圧電素子基板
であり、樹脂たとえばジ為うコンで作られた真空吸着治
具１２でｇ＆、看保持されている。１８は金属薄板の振
動板であってその表面にはスクリーン印桐法により接着
剤１７が塗布されておシ、これが真空吸着治具１６によ
り吸着保持されている。真空吸着治具１６は真空吸着力
を均一にするため同心円上に多数の孔１６ａのあいた樹
脂製であって真空装置連結ツクイブ部１４を有する真空
連絡具１５に密着挿入され、仁の真空連絡具・１６は超
音波加振鯨＠１３上に配筐されている。このように圧電
素子基板１ノと振動板１８ｔ一対向させて、圧電素子基
板１１ｔ？接着剤面まで矢印のように降下させて接触さ
せた状態として、超音波加振装置ＩＳをはたらかせ、微
小振幅の機械的振動を与える。
図は一実施例ｔ−説明するための図で、１１は両主面に
電極１１ｈ、ｌ１ｂｔ−有するセラミック圧電素子基板
であり、樹脂たとえばジ為うコンで作られた真空吸着治
具１２でｇ＆、看保持されている。１８は金属薄板の振
動板であってその表面にはスクリーン印桐法により接着
剤１７が塗布されておシ、これが真空吸着治具１６によ
り吸着保持されている。真空吸着治具１６は真空吸着力
を均一にするため同心円上に多数の孔１６ａのあいた樹
脂製であって真空装置連結ツクイブ部１４を有する真空
連絡具１５に密着挿入され、仁の真空連絡具・１６は超
音波加振鯨＠１３上に配筐されている。このように圧電
素子基板１ノと振動板１８ｔ一対向させて、圧電素子基
板１１ｔ？接着剤面まで矢印のように降下させて接触さ
せた状態として、超音波加振装置ＩＳをはたらかせ、微
小振幅の機械的振動を与える。
その後両者の真空吸着力をとりのぞき、一体化した圧電
素子基板１１と振動板１８を１００℃前後の恒温槽に入
れ接着剤１７ｔ−硬化し接着する。
素子基板１１と振動板１８を１００℃前後の恒温槽に入
れ接着剤１７ｔ−硬化し接着する。
ドクタブレード方法等によ）製作された極薄のセラミッ
ク圧電素子は前述のように製造プロセス中にそシが生じ
るがそのそシ量（凹面状セラミック圧電素子周辺の最高
点と中心の最低点の差）は篭者らの行なった実験製造プ
ロセスからすると、セラミック圧電素子の厚さ０．０５
〜０．１５箇、外径が２２−のと！０．５−以下のもの
が大半工あり、この程度のそり量の場合セラミック圧電
素子基板は平坦にするような塑性変形を起こしてもわれ
ることないので真空吸着治具により平坦にして屯問題な
い、そしてこの実施例によれば、接着剤部に小さい振幅
の機械的振動を印加すること゛によシ、接着剤１７は靜
粘度係数状態から動粘度係数状態に変化して見かけ上の
粘度係数が低下し、セラミック圧電素子基板１１と拳動
板１８の間に空気層を介在させずになじみをよくし密着
性ｔ−為めることかできる。この場合、粘度係数の低下
した接着剤はセラミック圧電素子基板１１と振動板１８
間にあって毛細管現象を示しセラミック圧電素子基板の
周辺方向に広が９、振動板１８の中心部よシ周辺部へ移
動するので中心部での空気層の発生はゆるされなくなる
わけである。ｔたこの実施例によれば従来生じていた動
きの大きな機械的な力によるわれもなくなり歩留り及び
音響特性が向上するという効果が得られる。
ク圧電素子は前述のように製造プロセス中にそシが生じ
るがそのそシ量（凹面状セラミック圧電素子周辺の最高
点と中心の最低点の差）は篭者らの行なった実験製造プ
ロセスからすると、セラミック圧電素子の厚さ０．０５
〜０．１５箇、外径が２２−のと！０．５−以下のもの
が大半工あり、この程度のそり量の場合セラミック圧電
素子基板は平坦にするような塑性変形を起こしてもわれ
ることないので真空吸着治具により平坦にして屯問題な
い、そしてこの実施例によれば、接着剤部に小さい振幅
の機械的振動を印加すること゛によシ、接着剤１７は靜
粘度係数状態から動粘度係数状態に変化して見かけ上の
粘度係数が低下し、セラミック圧電素子基板１１と拳動
板１８の間に空気層を介在させずになじみをよくし密着
性ｔ−為めることかできる。この場合、粘度係数の低下
した接着剤はセラミック圧電素子基板１１と振動板１８
間にあって毛細管現象を示しセラミック圧電素子基板の
周辺方向に広が９、振動板１８の中心部よシ周辺部へ移
動するので中心部での空気層の発生はゆるされなくなる
わけである。ｔたこの実施例によれば従来生じていた動
きの大きな機械的な力によるわれもなくなり歩留り及び
音響特性が向上するという効果が得られる。
第３図は超音波加振装置を圧電素子基板側に配置した実
施例である。第２図と対応する部分に第２図と同一番号
を付して詳細な説明を省くが、この実施例によりても先
の実施例と同じ効果を示す。
施例である。第２図と対応する部分に第２図と同一番号
を付して詳細な説明を省くが、この実施例によりても先
の実施例と同じ効果を示す。
以上のよ・うにこの発明によれば、超音波振動のような
微小振幅の機械的振動を与えて圧電素子基板と振動板と
を接着することにより、われやかけが生じることなく密
着性よく両者の接着ができ、圧電振動子の歩誓り向上お
よび音響特性の向上ｔ−Ｆｉかることかできる。
微小振幅の機械的振動を与えて圧電素子基板と振動板と
を接着することにより、われやかけが生じることなく密
着性よく両者の接着ができ、圧電振動子の歩誓り向上お
よび音響特性の向上ｔ−Ｆｉかることかできる。
第１図は従来の圧電振動子の接着時のようすを示す説明
図、第２図はこの発明の一実施例接着方法の説明図、第
３図は他の実施例の接着方法の説明図である。 １１・・・セラミック圧電素子基板％ １１＠ｅＪＪｂ
・・・電極、ｌｉｔ、１６・・・真空吸着治具、１３・
・・超音波加振装置、１７・・・接着剤、１８・・・振
動板。
図、第２図はこの発明の一実施例接着方法の説明図、第
３図は他の実施例の接着方法の説明図である。 １１・・・セラミック圧電素子基板％ １１＠ｅＪＪｂ
・・・電極、ｌｉｔ、１６・・・真空吸着治具、１３・
・・超音波加振装置、１７・・・接着剤、１８・・・振
動板。
Claims (3)
- （１） 両生面に電極を有する圧電素子基板と振動板
金接着して圧電振動子管製造するに際し、前記圧電素子
基板と振動板を間に接着剤をはさんで対向接触させ、前
記圧電素子基板と振動板の少くとも一方に微小振幅の機
械的振動を与えて両者を接着することをＳ＊とする圧電
振動子の製造方法。 - （２）接着剤は圧電素子基板または゛振動板のいずれか
一方に予め印刷法により塗布しておくことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の圧ＩＥ畿励動子製造方法。 - （３）機械的振動は超音波振動であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56100919A JPS583394A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56100919A JPS583394A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS583394A true JPS583394A (ja) | 1983-01-10 |
Family
ID=14286745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56100919A Pending JPS583394A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS583394A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4922594A (en) * | 1988-04-08 | 1990-05-08 | Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Method of making a focussing element for use in a lenseless focussed transducer |
| JPH03148861A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-06-25 | Fuji Electric Co Ltd | パワーｉｃの過熱検出回路とその構造 |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP56100919A patent/JPS583394A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4922594A (en) * | 1988-04-08 | 1990-05-08 | Her Majesty The Queen As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Method of making a focussing element for use in a lenseless focussed transducer |
| JPH03148861A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-06-25 | Fuji Electric Co Ltd | パワーｉｃの過熱検出回路とその構造 |
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