JPH102740A - Piezoelectric vibration gyro - Google Patents
Piezoelectric vibration gyroInfo
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- JPH102740A JPH102740A JP8155421A JP15542196A JPH102740A JP H102740 A JPH102740 A JP H102740A JP 8155421 A JP8155421 A JP 8155421A JP 15542196 A JP15542196 A JP 15542196A JP H102740 A JPH102740 A JP H102740A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 静止時出力温度特性の安定した圧電振動ジャ
イロを提供する。
【解決手段】 円柱状の圧電セラミックス振動子1の軸
方向の両端部に円筒状スペーサ10を固定する。円筒状
スペーサは、節点又は節線上では圧電セラミックス振動
子の外周部とは非接触で前記外周部を覆う凹部11を有
する。円筒状スペーサを絶縁性の軟弾性ゴムからなる支
持具5の貫通孔6に挿入して接着剤9で接着し、また、
支持具5を樹脂製のホルダー7に固定する。前記凹部内
の節点又は節線上で信号入出力用リード線3の一端を圧
電セラミックス振動子に接続し、信号入出力用リード線
の他端をホルダーに設置された金属端子棒8に半田付け
する。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To provide a piezoelectric vibrating gyroscope having stable output temperature characteristics at rest. SOLUTION: A cylindrical spacer 10 is fixed to both ends of a columnar piezoelectric ceramic vibrator 1 in the axial direction. The cylindrical spacer has a concave portion 11 that covers the outer peripheral portion without contacting the outer peripheral portion of the piezoelectric ceramic vibrator at a node or a nodal line. The cylindrical spacer is inserted into the through hole 6 of the support member 5 made of insulating soft elastic rubber and adhered by the adhesive 9.
The support 5 is fixed to a holder 7 made of resin. One end of the signal input / output lead 3 is connected to the piezoelectric ceramic vibrator at a node or a nodal line in the recess, and the other end of the signal input / output lead is soldered to a metal terminal rod 8 installed on the holder. .
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、カメラ一体型VT
Rの手振れ防止や自動車のナビゲーションシステムなど
に用いられるジャイロスコープの内、圧電振動子の超音
波振動を用いた、いわゆる圧電振動ジャイロに関し、特
に圧電セラミックス振動子の支持方法及び構造に関す
る。The present invention relates to a camera-integrated VT.
The present invention relates to a so-called piezoelectric vibrating gyroscope using ultrasonic vibration of a piezoelectric vibrator, and more particularly to a method and structure for supporting a piezoelectric ceramic vibrator, among gyroscopes used for preventing hand shake of R and for a navigation system of an automobile.
【0002】[0002]
【従来の技術】圧電振動ジャイロは、振動している物体
に回転角速度が与えられると、その振動方向と垂直な方
向にコリオリ力を生ずるという力学現象を利用したジャ
イロスコープである。互いに直交する二つの方向の励振
と検出が可能であるように構成した振動系において、一
方の振動を励振した状態で、振動子自身を二つの振動面
が交わる線と平行な軸を中心軸として回転させると、前
述のコリオリ力の作用によりこの振動と直角な方向に力
が働き、他方の振動が励振される。この振動の大きさ
は、入力側の振動の大きさ及び回転角速度に比例するた
め、入力電圧が一定の場合、出力電圧の大きさから回転
角速度の大きさを求めることができる。図4は、圧電振
動ジャイロの本体である円柱状の圧電セラミックス振動
子1の概略構造を示す図であり、円柱状の圧電セラミッ
クス振動子1の長手方向に対して両端から22.4%の
位置にある屈曲振動の節点を結ぶ線(以下節点線4と略
称)上で且つ各帯状電極2の幅方向中央部に、信号入出
力用リード線3が半田で固定されており、前記帯状電極
2を用いて分極処理を施す。2. Description of the Related Art A piezoelectric vibrating gyroscope is a gyroscope utilizing a mechanical phenomenon that when a rotating angular velocity is given to a vibrating object, a Coriolis force is generated in a direction perpendicular to the vibration direction. In a vibration system configured so that excitation and detection in two directions orthogonal to each other are possible, in a state where one vibration is excited, the vibrator itself is centered on the axis parallel to the line where the two vibration planes intersect When rotated, a force acts in a direction perpendicular to this vibration by the action of the aforementioned Coriolis force, and the other vibration is excited. The magnitude of the vibration is proportional to the magnitude of the vibration on the input side and the rotational angular velocity. Therefore, when the input voltage is constant, the magnitude of the rotational angular velocity can be obtained from the magnitude of the output voltage. FIG. 4 is a view showing a schematic structure of a cylindrical piezoelectric ceramic vibrator 1 which is a main body of the piezoelectric vibrating gyroscope, and a position of 22.4% from both ends with respect to a longitudinal direction of the cylindrical piezoelectric ceramic vibrator 1. A signal input / output lead wire 3 is fixed by solder on a line (hereinafter abbreviated as a node line 4) connecting the nodes of the bending vibration in the width direction and at the center in the width direction of each strip electrode 2. Is subjected to a polarization treatment.
【0003】図5は、前記圧電セラミックス振動子をそ
の節点線4上で支持するために用いる軟弾性体からなる
支持具(従来用)5の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a support (conventional) 5 made of a soft elastic material used to support the piezoelectric ceramic vibrator on a node line 4 thereof.
【0004】又、図6は、従来の圧電セラミックス振動
子1のホルダー部の斜視図で、(a)は振動子組込み
前、(b)は振動子組込み後の図である。支持具5は、
中央に圧電セラミックス振動子1の外径と同じ径の貫通
孔6を有する絶縁性のゴム状弾性材料からなる環状体
で、この環状の支持具5の外径と同じ径をもつホルダー
7の貫通孔にはめ込まれて接着される。このホルダー7
にはめ込まれて接着された支持具5の貫通孔6に前記の
圧電セラミックス振動子1を挿入し、支持具5の貫通孔
6の縁部で圧電セラミックス振動子1の屈曲振動の節点
線4を支持し、この環状の支持具5と圧電セラミックス
振動子1の接する部分にシリコーンゴムを主成分とする
接着剤9を注入し接着する。次に、駆動又は検出用の帯
状電極2に接続された信号入出力用リード線3を金属端
子棒8に半田付けする。FIGS. 6A and 6B are perspective views of a holder portion of the conventional piezoelectric ceramic vibrator 1, wherein FIG. 6A is a view before the vibrator is mounted, and FIG. 6B is a view after the vibrator is mounted. The support tool 5
An annular body made of an insulating rubber-like elastic material having a through hole 6 in the center having the same diameter as the outer diameter of the piezoelectric ceramic vibrator 1, and a through hole of a holder 7 having the same diameter as the outer diameter of the annular support 5. It fits into the hole and is glued. This holder 7
The piezoelectric ceramic vibrator 1 is inserted into the through hole 6 of the support 5 which is fitted and adhered, and the nodal line 4 of the bending vibration of the piezoelectric ceramic vibrator 1 is formed at the edge of the through hole 6 of the support 5. An adhesive 9 containing silicone rubber as a main component is injected and bonded to a portion where the annular support 5 and the piezoelectric ceramic vibrator 1 are in contact with each other. Next, the signal input / output lead wire 3 connected to the drive or detection strip electrode 2 is soldered to the metal terminal rod 8.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】図6に示した従来の圧
電振動ジャイロ用振動子においては、ホルダー7にはめ
込み接着された支持具5の貫通孔6に前記圧電セラミッ
クス振動子1を挿入し、前記圧電セラミックス振動子1
と前記環状の支持具5と接する部分にシリコーンゴムを
主成分とする接着剤9を注入し接着している。又、前記
シリコーンゴムを主成分とする接着剤9は、高温にて固
形化するものを用いている。常温から高温に温度を上げ
ていくと、前記シリコーンゴムを主成分とする接着剤9
は常温時と比較して粘度が一旦低下し、更に高温状態に
放置することにより固形化する。前記シリコーンゴムを
主成分とする接着剤9にて接着する際、常温時では粘度
が高いため、接着面及び接着面付近のわずかな隙間には
入り込まないが、高温状態では一旦粘度が低下すること
により毛細管現象により接着面の隅々まで流れ込み、接
着強度が向上する。しかし、圧電セラミックス振動子1
と軟弾性体からなる支持具5との接着部付近では、信号
入出力用リード線3が駆動又は検出用の帯状電極2に電
気的に接続されており、前記シリコーンゴムを主成分と
する接着剤9が信号入出力用リード線3と前記圧電セラ
ミックス振動子1との接合部に付着することにより信号
入出力用リード線3を通じて振動の漏れが生じてしま
う。又、信号入出力用リード線3は、圧電セラミックス
振動子1の節点線4上にて駆動又は検出用帯状電極2に
電気的に接続されてあり、前記シリコーンゴムを主成分
とする接着剤9が、前記信号入出力用リード線3と前記
圧電セラミックス振動子1との接合部に付着することを
極力避けるため、前記軟弾性体からなる支持具5と圧電
セラミックス振動子1との接着部を前記圧電セラミック
ス振動子1の節点線4上より僅かにずらす必要があり、
その結果、圧電セラミックス振動子1の機械的品質係数
であるQmの低下を招き感度が低下する。又、節点線4
上よりずれて支持されているため、前記支持具5を介し
て振動の漏れが生じる。又、逆に前記支持具5を介して
外乱が前記圧電セラミックス振動子1の屈曲振動に影響
を及ぼし、圧電振動ジャイロの特に静止時出力の特性が
悪くなってしまう。In the conventional vibrator for a piezoelectric vibrating gyroscope shown in FIG. 6, the piezoelectric ceramic vibrator 1 is inserted into a through hole 6 of a support 5 which is fitted into a holder 7 and adhered. The piezoelectric ceramic vibrator 1
An adhesive 9 containing silicone rubber as a main component is injected and adhered to a portion in contact with the annular support 5. The adhesive 9 containing silicone rubber as a main component is one that solidifies at a high temperature. When the temperature is increased from room temperature to high temperature, the adhesive 9 containing the silicone rubber as a main component is used.
Is temporarily reduced in viscosity as compared with that at normal temperature, and is further solidified when left at a high temperature. At the time of bonding with the adhesive 9 containing silicone rubber as a main component, since the viscosity is high at normal temperature, it does not enter into the bonding surface and a small gap near the bonding surface, but the viscosity once decreases in a high temperature state. As a result, it flows into every corner of the bonding surface due to the capillary phenomenon, and the bonding strength is improved. However, the piezoelectric ceramic vibrator 1
A signal input / output lead wire 3 is electrically connected to the driving or detecting band electrode 2 near the bonding portion between the support member 5 and the support member 5 made of a soft elastic body. When the agent 9 adheres to the joint between the signal input / output lead wire 3 and the piezoelectric ceramic vibrator 1, vibration leakage occurs through the signal input / output lead wire 3. The signal input / output lead wire 3 is electrically connected to the driving or detecting strip electrode 2 on the node line 4 of the piezoelectric ceramic vibrator 1 and the adhesive 9 containing silicone rubber as a main component. In order to avoid as much as possible from adhering to the joint between the signal input / output lead wire 3 and the piezoelectric ceramic vibrator 1, the bonding part between the soft elastic support 5 and the piezoelectric ceramic vibrator 1 is It is necessary to shift the piezoelectric ceramic vibrator 1 slightly above the nodal line 4,
As a result, the mechanical quality factor Qm of the piezoelectric ceramic vibrator 1 is reduced, and the sensitivity is reduced. Node line 4
The vibration is leaked through the support member 5 because it is supported by being shifted from above. Conversely, disturbances via the support 5 affect the bending vibration of the piezoelectric ceramic vibrator 1, and the characteristics of the piezoelectric vibrating gyroscope, particularly the output at rest, deteriorate.
【0006】そこで、本発明の課題は、上記従来の圧電
振動ジャイロの組立工程及び構造に起因する欠点を除去
し、特に静止時出力温度特性の安定した圧電振動ジャイ
ロを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrating gyroscope which eliminates the above-mentioned drawbacks caused by the assembly process and structure of the conventional piezoelectric vibrating gyroscope, and in particular, has a stable output temperature characteristic at rest.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一波長
共振で振動する円柱状の圧電セラミックス振動子1を、
軟弾性体からなる支持具5を介しホルダー7に接着固定
する圧電振動ジャイロにおいて、前記圧電セラミックス
振動子の軸方向の両端部に固定され、且つ、節点又は節
線上では前記圧電セラミックス振動子の外周部とは非接
触で、且つ、これを覆う凹部11を有する円筒状スペー
サが設置され、前記円筒状スペーサを前記圧電セラミッ
クス振動子の節点又は節線上にて軟弾性体からなる支持
具5とシリコーンゴムを主成分とする接着剤9にて支持
し、又、前記圧電セラミックス振動子の表面の節点線4
上から取り出される信号入出力用リード線3がシリコー
ンゴムを主成分とする接着剤9により前記圧電セラミッ
クス振動子の節点線上以外の部分に固定されることが無
い圧電振動ジャイロが、得られる。According to the present invention, a cylindrical piezoelectric ceramic vibrator 1 vibrating at one wavelength resonance is provided.
In a piezoelectric vibrating gyroscope that is bonded and fixed to a holder 7 via a support member 5 made of a soft elastic body, the piezoelectric vibrating gyroscope is fixed to both ends in the axial direction of the piezoelectric ceramic vibrator, and at a node or a nodal line, the outer periphery of the piezoelectric ceramic vibrator A cylindrical spacer having a concave portion 11 that is in non-contact with and covers the portion is provided, and the cylindrical spacer and the support member 5 made of a soft elastic material and a silicone at a node or a line of the piezoelectric ceramic vibrator. It is supported by an adhesive 9 containing rubber as a main component, and a nodal line 4 on the surface of the piezoelectric ceramic vibrator.
A piezoelectric vibrating gyroscope is obtained in which the signal input / output lead wire 3 taken out from above is not fixed to a portion other than the node line of the piezoelectric ceramic vibrator by the adhesive 9 containing silicone rubber as a main component.
【0008】又、本発明によれば、信号入出力用リード
線にシリコーンゴムを主成分とする接着剤9が付着する
ことを回避するために、圧電セラミックス振動子の支持
部位を前記圧電セラミックス振動子の節点又は節線より
ずらす必要のない圧電振動ジャイロが得られる。Further, according to the present invention, in order to prevent the adhesive 9 containing silicone rubber as a main component from adhering to the signal input / output lead wire, the supporting portion of the piezoelectric ceramic vibrator is connected to the piezoelectric ceramic vibrator. A piezoelectric vibrating gyroscope that does not need to be displaced from the child node or node line is obtained.
【0009】[0009]
【作用】本発明の圧電振動ジャイロでは、圧電セラミッ
クス振動子1と、圧電セラミックス振動子1の節点線4
上から取り出される信号入出力用リード線3が、シリコ
ーンゴムを主成分とする接着剤9で節点線上以外に固着
されることがないため、信号入出力用リード線3から漏
れる振動がなく、又、軟弾性体からなる支持具5により
前記圧電セラミックス振動子1は節点線4上からずれる
こと無く支持されるので、前記軟弾性体からな支持具5
を介して振動が外部に漏れることが無い。言い換える
と、本発明では、外乱は圧電セラミックス振動子1の節
点線上以外には加わらないため、外乱が変化しても特に
静止時出力温度特性が安定した圧電振動ジャイロが得ら
れる。In the piezoelectric vibrating gyroscope according to the present invention, the piezoelectric ceramic vibrator 1 and the nodal line 4 of the piezoelectric ceramic vibrator 1 are provided.
Since the signal input / output lead wire 3 taken out from above is not fixed except on the nodal line with the adhesive 9 containing silicone rubber as a main component, there is no vibration leaking from the signal input / output lead wire 3 and Since the piezoelectric ceramic vibrator 1 is supported by the support member 5 made of a soft elastic body without being displaced from the nodal line 4, the support member 5 made of the soft elastic body
Vibration does not leak to the outside via. In other words, in the present invention, since no disturbance is applied to portions other than the node line of the piezoelectric ceramic vibrator 1, even when the disturbance changes, a piezoelectric vibrating gyroscope having particularly stable output temperature characteristics at rest can be obtained.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態例を
図面を用いて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0011】図1は、円柱状の圧電セラミックス振動子
1のホルダー7に支持具5と、円筒状スペーサ10を取
り付けられた圧電セラミックス振動子1を組み込んだ状
態を示す。同図は、圧電セラミックス振動子1の支持の
状態を理解し易くするために、圧電セラミックス振動子
1の軸方向断面を示す。FIG. 1 shows a state in which a support member 5 and a piezoelectric ceramics vibrator 1 to which a cylindrical spacer 10 is attached are incorporated into a holder 7 of a columnar piezoelectric vibrator 1. FIG. 1 shows an axial cross section of the piezoelectric ceramic vibrator 1 in order to facilitate understanding of a support state of the piezoelectric ceramic vibrator 1.
【0012】組立手順を説明すると、まず、樹脂製のホ
ルダー7の両端付近の貫通孔に、圧電セラミックス振動
子1の軸方向に対して直交するように絶縁性を有する軟
弾性ゴム製の支持具5をはめ込んで接着する。支持具5
は、断面が三角形状の環状体である。The assembling procedure will be described. First, a soft elastic rubber support having insulating properties is provided in a through hole near both ends of a resin holder 7 so as to be perpendicular to the axial direction of the piezoelectric ceramic vibrator 1. 5 is fitted and adhered. Supporting device 5
Is an annular body having a triangular cross section.
【0013】次に、圧電セラミックス振動子1の軸方向
の両端に固定されている円筒状スペーサ10を、支持具
5の貫通孔6内に挿入する。円筒状スペーサ10には、
圧電セラミックス振動子1の外周部とは非接触で、且
つ、これを覆う凹部11が設けられている。この凹部1
1内において、圧電セラミックス振動子1の表面の節点
線には、信号入出力用リード線3が半田付けされてい
る。Next, cylindrical spacers 10 fixed to both ends of the piezoelectric ceramic vibrator 1 in the axial direction are inserted into the through holes 6 of the support 5. In the cylindrical spacer 10,
A concave portion 11 is provided which is not in contact with the outer peripheral portion of the piezoelectric ceramic vibrator 1 and covers the same. This recess 1
In FIG. 1, a signal input / output lead wire 3 is soldered to a node line on the surface of the piezoelectric ceramic vibrator 1.
【0014】続いて、円筒状スペーサ10と支持具5の
貫通孔6の縁部とが接する部分の付近にシリコーンゴム
を主成分とする接着剤9を注入し、支持具5を介して円
筒状スペーサ10をホルダー7に仮接着する。ここで使
用する接着剤は、熱硬化型シリコーン接着剤である。Subsequently, an adhesive 9 containing silicone rubber as a main component is injected near a portion where the cylindrical spacer 10 and the edge of the through hole 6 of the support 5 are in contact with each other. The spacer 10 is temporarily bonded to the holder 7. The adhesive used here is a thermosetting silicone adhesive.
【0015】更に、ホルダー7を高温雰囲気内に放置す
る。シリコーンゴムを主成分とする接着剤9は、常温で
はゼリー状であったものが、粘度が低下して液化し、細
部に行き渡り、更に、高温状態に放置することにより固
形化する。Further, the holder 7 is left in a high temperature atmosphere. The adhesive 9 containing silicone rubber as a main component, which was in a jelly state at normal temperature, liquefies due to a decrease in viscosity, spreads over details, and solidifies when left at a high temperature.
【0016】また、金属端子棒8をホルダー7に設置
し、信号入出力用リード線3を金属端子棒8に半田付け
する。The metal terminal rod 8 is placed on the holder 7 and the signal input / output lead 3 is soldered to the metal terminal rod 8.
【0017】図2は、本発明の一実施の形態例による圧
電振動ジャイロの静止時出力温度特性を示す。FIG. 2 shows a static output temperature characteristic of the piezoelectric vibrating gyroscope according to one embodiment of the present invention.
【0018】図3は、従来の圧電振動ジャイロの静止時
出力温度特性を示す。FIG. 3 shows a static output temperature characteristic of a conventional piezoelectric vibrating gyroscope.
【0019】図2と図3とを対比すると、温度が上昇下
降しても、本発明の静止時出力は、従来のそれよりも増
減しないことが判明する。A comparison between FIG. 2 and FIG. 3 shows that even when the temperature rises and falls, the stationary output of the present invention does not increase or decrease more than the conventional output.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、一波長共振で振動する円柱状の圧電セラミックス振
動子の屈曲振動モードを利用して回転角速度を検出する
圧電振動ジャイロにおいて、圧電セラミックス振動子の
支持部及び信号入出力用リード線からの振動の漏れがな
く、特に静止時出力温度特性に優れ、又、外乱の変化に
対して特性の安定した圧電振動ジャイロを提供可能であ
る。As described above, according to the present invention, there is provided a piezoelectric vibrating gyroscope for detecting a rotational angular velocity using a bending vibration mode of a cylindrical piezoelectric ceramic vibrator vibrating at one wavelength resonance. There is no leakage of vibration from the support part of the ceramic vibrator and the signal input / output lead wire, and it is possible to provide a piezoelectric vibrating gyroscope which has excellent output temperature characteristics especially at rest and has stable characteristics against changes in disturbance. .
【図1】本発明の一実施の形態例の要部の断面図であ
る。FIG. 1 is a sectional view of a main part of an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施の形態例の静止時出力温度特性
を示す。FIG. 2 shows a static output temperature characteristic of an embodiment of the present invention.
【図3】従来の圧電振動ジャイロの静止時出力温度特性
を示す。FIG. 3 shows a static output temperature characteristic of a conventional piezoelectric vibrating gyroscope.
【図4】円柱状の圧電セラミックス振動子の概略を示す
斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically showing a columnar piezoelectric ceramic vibrator.
【図5】従来の支持具の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a conventional support.
【図6】従来の圧電振動ジャイロの組立前後の斜視図で
あり、(a)は組立前の状態を示し、(b)は組立後の
状態を示す。6A and 6B are perspective views of a conventional piezoelectric vibrating gyroscope before and after assembly, wherein FIG. 6A shows a state before assembly and FIG. 6B shows a state after assembly.
1 圧電セラミックス振動子 2 帯状電極 3 信号入出力用リード線 4 節点線 5 支持具 6 貫通孔 7 ホルダー 8 金属端子棒 9 接着剤 10 円筒状スペーサ 11 凹部 REFERENCE SIGNS LIST 1 piezoelectric ceramic vibrator 2 strip electrode 3 signal input / output lead wire 4 node line 5 support 6 through hole 7 holder 8 metal terminal rod 9 adhesive 10 cylindrical spacer 11 recess
Claims (1)
ミックス振動子の屈曲振動モードを利用して回転角速度
を検出する圧電振動ジャイロにおいて、前記圧電セラミ
ックス振動子の軸方向の両端部に固定され、且つ、節点
又は節線上では前記圧電セラミックス振動子の外周部と
は非接触で前記外周部を覆う凹部を有する円筒状スペー
サを、絶縁性の弾性材料からなる支持具を介してホルダ
ーに取り付け、前記凹部内の節点又は節線上で信号入出
力用リード線を前記圧電セラミックス振動子に接続する
ことを特徴とする圧電振動ジャイロ。1. A piezoelectric vibrating gyroscope for detecting a rotational angular velocity using a bending vibration mode of a cylindrical piezoelectric ceramic vibrator vibrating at one wavelength resonance, wherein the piezoelectric vibrating gyroscope is fixed to both ends in the axial direction of the piezoelectric ceramic vibrator. And, at a node or a node line, a cylindrical spacer having a concave portion covering the outer peripheral portion in a non-contact manner with the outer peripheral portion of the piezoelectric ceramic vibrator is attached to a holder via a support made of an insulating elastic material, A piezoelectric vibrating gyroscope, wherein a signal input / output lead wire is connected to the piezoelectric ceramic vibrator at a node or a nodal line in the concave portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8155421A JPH102740A (en) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | Piezoelectric vibration gyro |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8155421A JPH102740A (en) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | Piezoelectric vibration gyro |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH102740A true JPH102740A (en) | 1998-01-06 |
Family
ID=15605642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8155421A Withdrawn JPH102740A (en) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | Piezoelectric vibration gyro |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH102740A (en) |
-
1996
- 1996-06-17 JP JP8155421A patent/JPH102740A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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