JPH10274662A - 液晶表示パネル検査方法および検査用コンタクトプローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大画面化・高精細度化したＬＣＤの多ピン化
・狭ピッチ化したパネル電極に対して簡単なアライメン
トで確実にコンタクトが得られるコンタクトプローブを
安価に提供する。 【解決手段】 液晶表示パネルの基板（１）上に整列配
置された複数の電極（２２）に押圧する接触子を、前記
電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコンタ
クトリード（２０）を前記電極の間隔よりも小さい間隔
で幅方向に櫛歯状に形成した導体片（１２，１４）で構
成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
検査方法およびその検査工程において用いられるコンタ
クトプローブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示（ＬＣＤ）パネルは、二枚のガ
ラス基板に透明電極をストライプ状に形成し、両電極が
互いに直交するように両電極面を１０μｍ程度の間隔を
あけて対面させ、これら二枚のガラス基板の間のギャッ
プに液晶を注入し、互いに直交する透明電極間に電圧を
印可すると両電極の交点が光スイッチとなって画素を構
成するものである。ガラス基板上には、上記透明電極に
信号電圧を入力するパネル電極が矩形の表示部に隣接し
て整列配置されている。ＬＣＤパネルの検査工程におい
て、基板上に整列配置されたパネル電極に一括して信号
を入力して行う全点灯表示検査（ベタ画像点灯検査）
は、ドライバＩＣや制御基板を搭載する前に不良を発見
し製造コストを下げるためにも重要である。

【０００３】このような全点灯表示検査においては、表
示信号を送るコンタクトプローブの電極をガラス基板上
のパネル電極にコンタクトさせることが必要となる。従
来は、全点灯表示検査を行う際には、図４（ａ）に示す
ように異方性導電ゴムやフィルム状のフレキシブル基板
（FLEXIBLE PRINT CIRCUIT：ＦＰＣ）８０にパターン形
成した端子列８１をＬＣＤパネル１のパネル電極７１に
押圧してコンタクトをとるものが主流であった。また図
４（ｂ）に示すプローブカードは、ガラスエポキシ基板
９０にタングステン等の微細な芯線９１をＬＣＤパネル
１の電極と等ピッチになるように半田付けしたものであ
る。各線芯の遊端は微細に研磨加工されており、導電パ
ターンを形成した多数の芯線９１（ワイヤピンブロック
という）をＬＣＤパネル１の上記パネル上に配列された
電極に押圧してプロービングするものである。ＦＰＣや
プローブカードによるプロービングは、端子列数が多ピ
ン化・狭ピッチ化されていない場合には有効でる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶表
示パネルが大画面化・高精細度化するのに伴い、基板上
に配列される電極数が大幅に増大するとともにパネル電
極の微細化・狭ピッチ化（例えば電極端子幅５０μｍ、
電極ピッチ１００μｍ）する傾向にある。これに対しＦ
ＰＣやプローブカードなどの従来の技術は、端子列や芯
線がパネル上に配列された電極と１対１でコンタクトし
てプロービングするものであるため、大画面化・高精細
度化が進むＬＣＤパネルに対してはコンタクトプローブ
の前後左右のアライメントをとることが困難となり、そ
の結果、全点灯表示検査用のコンタクトプローブがＬＣ
Ｄパネルの電極の多ピン化狭ピッチ化に対応することが
むずかしくなってきている。特に従来主流であったＦＰ
Ｃを押圧するコンタクトプローブには、多ピン化狭ピッ
チ化が進むにつれて接触抵抗値があがったり接触不良を
起こしたりしてコンタクトの信頼性が低下し、精密な検
査には不向きであるという問題があった。

【０００５】また、微細な芯線をパネル電極と同一ピッ
チで多数本並べたプローブカードは、タングステン等の
金属ワイヤをパネル電極に接触する方の遊端を研磨加工
したうえで狭ピッチの電極パッドに対向してミクロンの
オーダーで並べなければならないため、特に多ピン化狭
ピッチ化が進むにつれてその製造に高度な技術が必要と
なり、大量生産が困難である。したがって、コンタクト
プローブが高価なものとなってしまうという問題があっ
た。さらに、微細に加工した多数の芯線を配列したプロ
ーブは外部からの力に弱く容易に精度が破壊されてしま
うため取り扱いが難しいという欠点があった。

【０００６】また、ＬＣＤの大画面化・高精細度化に伴
い、ガラス基板上の電極パッドにドライバなどのＩＣチ
ップを直接搭載するいわゆるチップオングラス（CHIP O
N GLASS:ＣＯＧ）実装方式が採用されるようになってい
る。ＣＯＧ実装方式において電極パッドは奇数ラインの
電極パッドと偶数ラインの電極パッドとが極小ピッチで
千鳥に並んでいるのが通常であり、従来のコンタクトプ
ローブではこのような配列の電極パッドに対してプロー
ブ間の絶縁を保ちつつ確実かつ均一に接触させることは
困難であった。

【０００７】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、大画面化・高精細度化したＬ
ＣＤに対応した全点灯検査方法を提供するとともに、多
ピン化狭ピッチ化したＬＣＤパネルのパネル電極に対し
ても簡単なアライメントで確実にコンタクトが得られる
コンタクトプローブを安価に提供することにある。ま
た、本発明は千鳥に配列された電極パッドにも対応した
ＣＯＧ実装方式ＬＣＤパネルの全点灯表示検査用のコン
タクトプローブを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに請求項１に記載された液晶表示パネル検査方法は、
液晶表示パネルの基板上に矩形の表示部に隣接して整列
配置された複数の電極を有するゲートおよびソースにそ
れぞれ一括して電圧を供給し前記液晶表示パネルを点灯
させる液晶表示パネル検査方法において、前記電極の幅
よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコンタクトリー
ドを前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅方向に櫛歯状
に形成し各コンタクトリードの一端を共通に接続した導
体片を接触子とし、前記複数のコンタクトリードが前記
基板に対して９０°未満の所定の角度で前記複数の電極
に接触するように前記接触子を前記複数の電極に押圧し
電圧を供給することを特徴とする。本発明は、複数のコ
ンタクトリードを備えた接触子を押圧することによっ
て、導体片に形成された微細なコンタクトリード群によ
ってＬＣＤパネルの基板上に整列配置された複数の電極
とコンタクトを図るので、電極とコンタクトリードを１
対１でコンタクトさせていた従来の技術とは異なり、電
極の配列方向の微妙なアライメントを調整する必要がな
く、基板上に整列配置された複数の電極のピッチに左右
されることなく検査ができる。また、弾性を有するコン
タクトリードを所定の角度をもって押圧することによ
り、基板上に整列配置された電極と確実にコンタクトを
とって一括して電圧を供給することができる。

【０００９】本発明にかかる液晶表示パネル検査方法に
おいては、基板上に矩形の表示部に隣接して整列配置さ
れた電極に押圧される接触子は複数のコンタクトリード
を形成した一枚の導体片から構成されていてもよいが、
請求項２に記載された液晶表示パネル検査方法は、複数
のコンタクトリードを櫛歯状に形成した上記導体片を絶
縁体からなるスペーサを挟んで前記コンタクトリードの
方向をそろえて複数層に重ね合わせて構成された接触子
を前記複数の電極に押圧し電圧を供給することを特徴と
する。コンタクトリードを櫛歯状に形成した導体片を複
数枚重ねることにより、基板上に矩形の表示部に隣接し
て整列配置された電極とのコンタクトをより確実にとる
ことができる。また、絶縁体からなるスペーサを間に挟
むことによって導体片間に適当な間隔を設け、これによ
って、たとえば千鳥状に複数列にわたって形成された電
極のそれぞれに一括して電圧を供給することができる。

【００１０】また、請求項３に記載された発明は、液晶
表示パネルの基板上に矩形の表示部に隣接して整列配置
された複数の電極に押圧する接触子を備えた液晶表示パ
ネル検査用コンタクトプローブにおいて、前記接触子
は、前記電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数
のコンタクトリードが前記電極の間隔よりも小さい間隔
で幅方向に櫛歯状に形成されて各コンタクトリードの一
端が共通に接続された導体片で構成され、前記コンタク
トリードが前記基板に対して９０°未満の所定の角度を
保つように保持されていることを特徴とする。ここで幅
方向に櫛歯状に形成された複数のコンタクトリードは、
同一平面上において並列配置され、かつ基板上に整列配
置された電極と接触する端部とは反対側の端部が共通に
接続されている。また、上記コンタクトリードは弾性を
有しかつ基板に対して所定の角度をもって押圧されるこ
とにより、基板上に整列配置された電極とより確実にコ
ンタクトを図ることができ、上記導体片を介して一括し
て電圧を供給することができる。

【００１１】このような接触子は、導体片を機械的に加
工して櫛歯状のコンタクトリードを形成してもよいが、
多ピン化狭ピッチ化した電極に対応するにはエッチング
によって形成することが望ましい。このときエッチング
はドライエッチングおよび化学エッチングを含むものと
する。または、複数のコンタクトリードをレーザー光線
や放電加工によって櫛歯状に形成してもよい。また、接
触子に用いる導体片の材質は弾性を有するとともに磨耗
に強いことが望ましい。たとえばステンレスやニッケル
−コバルト（Ｎｉ−Ｃｏ）系合金を用いることができ
る。このように接触子を構成することにより、芯線を多
数並べていた従来技術と異なって短期間での大量生産が
可能となり、低い製造コストでコンタクトプローブを提
供することができる。また構造が簡単であるので壊れに
くく、接触子を構成する導体片を交換できるなど、メン
テナンスが容易なコンタクトプローブを提供することが
できる。

【００１２】本発明にかかるコンタクトプローブの接触
子は、コンタクトリードを形成した１枚の導体片から構
成されていてもよいが、請求項４に記載されたコンタク
トプローブは、接触子を前記複数のコンタクトリードを
櫛歯状に形成した上記導体片を絶縁体からなるスペーサ
を挟んで複数層に重ね合わせて構成したことを特徴とす
る。コンタクトリードを櫛歯状に形成した導体片を複数
枚重ねることにより、基板上に矩形の表示部に隣接して
整列配置された電極とのコンタクトをより確実にとるこ
とができる。また、絶縁体からなるスペーサを間に挟む
ことによって導体片間に適当な間隔を設けることによ
り、これによって、ＣＯＧ実装方式の基板上に千鳥に形
成された電極にも一括して電圧を供給することができ
る。しかも上記導体片は絶縁体によって電気的に絶縁さ
れているので、基板上に複数列にわたって整列配置され
た電極に同一の信号を供給することはいうまでもなく、
各列ごとに異なる電圧を供給することも可能である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明にかかるコ
ンタクトプローブの構造を示す図である。コンタクトプ
ローブの接触子は、絶縁体からなるスペーサ１３を挟ん
で重ね合わされた二枚のステンレス箔１２，１４から構
成されている。このステンレス箔１２，１４の一端に
は、後述するように、ＬＤＣのパネル電極（図１には図
示せず）の幅よりも狭い幅を有する複数のコンタクトリ
ードが前記パネル電極の間隔よりも小さい間隔で櫛歯状
に形成され、コンタクトリード群１２ａ，１４ａを形成
している。なお、本実施の形態においてはコンタクトリ
ードに適度の弾性を持たせるために、ステンレス箔１
２，１４の厚さは約１５μｍである。

【００１４】この二枚のステンレス箔１２，１４は、ス
ペーサ１３を挟んだうえ樹脂製のプローブ押さえ１１と
サポートプレート１５とによってコンタクトリード群１
２ａ，１４ａが露出するように挟まれて固定される。サ
ポートプレート１５はプローブホルダ１６上にビスによ
ってＲ＝４５°の角度で固定されており、このサポート
プレート１５から露出したステンレス箔１２，１４のコ
ンタクトリード群１２ａ，１４ａはＬＣＤパネルの基板
と所定の角度をもってパネル電極に押圧されるようにな
っている。

【００１５】またサポートプレート１５はプリント基板
用コネクタ１７に差し込まれる構造になっており、この
ターミナル１７ａ，１７ｂを介して図１には図示しない
外部電源装置からステンレス箔１２，１４に信号電圧が
供給されるようになっている。このとき、コンタクトリ
ード群１２ａ，１４ａと逆に位置しサポートプレート１
５上において延在するステンレス箔１２、１４の他端１
２ｂ，１４ｂは、それぞれプリント基板用コネクタ１７
に設けられたターミナル１７ａ，１７ｂと電気的に接続
されてリード線として作用する。

【００１６】ステンレス箔１２，１４の一端に櫛歯状に
形成されたコンタクトリード群１２ａ，１４ａを、ＬＣ
Ｄパネルのパネル電極と共に図２に示す。図２は、上述
の接触子が基板上の電極に押圧されている様子を示す模
式図である。図２においてＬＣＤパネルの基板１上には
ＩＴＯ（Indium Tin Oxide：In2O3-SnO2）からなる複数
の透明電極２１が幅方向に５０μｍ間隔で並列に形成さ
れている。ＬＣＤパネルはストライプ状に形成された透
明電極が互いに交差するように２枚の基板を対向させる
ことにより透明電極がＸＹのマトリクスを構成してい
る。パネル基板１の図２には図示しない表示部に隣接す
る位置に透明電極２１の端部には幅５０μｍの電極パッ
ド２２が形成されている。これらの電極パッド２２は前
後に１００μｍの間隔をあけて２列を形成するように千
鳥に整列配置されている。

【００１７】これに対し、コンタクトプローブのパネル
基板１に押圧される部分、すなわちコンタクトリード群
１２ａ，１４ａは、図２に示すように、ステンレス箔１
２，１４に長さ０．３ｍｍ、幅１５μｍのコンタクトリ
ード２０を２５μｍの間隔で（１０μｍの間隙をおい
て）櫛歯状に形成することによって構成される。ここ
で、ステンレス箔１２，１４のそれぞれの幅方向に櫛歯
状に形成されたコンタクトリード２０は、同一平面上に
おいて並列配置されて、かつ基板１上に整列配置された
電極と接触する端部とは反対側の端部が共通に接続され
ている。なお、ステンレス箔１２，１４は厚さ１５μｍ
を有することでコンタクトリードに適度の弾性と耐磨耗
性を持たせている。このようなコンタクトリード２０を
多数櫛歯状に形成し、コンタクトリード群１２ａ，１４
ａを構成するには、たとえばステンレス箔１２，１４を
化学エッチングすればよい。さらに耐磨耗性を向上させ
るために、コンタクトリード形成後に硬質金メッキを施
しても良い。

【００１８】本実施の形態に係るコンタクトプローブに
よれば、このようなコンタクトリード群１２ａ，１４ａ
を有する接触子を電極の配列方向に沿って押圧すること
により、配列された電極パッド２２の各々には櫛歯状に
形成されたコンタクトリード２０のうちいずれかが接触
することになる。したがって、幅方向のアライメントを
厳密に取る必要がない。しかも、ステンレスからなるコ
ンタクトリードは適度の弾性を有しかつ耐磨耗性を有す
ることから、確実にしかも繰り返し電極とのコンタクト
を図ることができる。

【００１９】また、図２には図示しないスペーサ１３
（図１参照）の厚さを適当に選ぶことにより、２枚のス
テンレス片１２，１４に形成されたコンタクトリード群
１２ａ，１４ａは、約１００μｍの間隔をもって基板上
に押圧される。これによって全点灯検査を行う際に、千
鳥に整列配置された電極に対しても一括して電圧を供給
することができる。さらに、プリント基板用コネクタ７
に設けられたターミナル１７ａ，１７ｂ（図１参照）を
介して異なる電圧を入力することにより、千鳥に配列さ
れた電極の列ごとに異なる信号を入力することも可能で
ある。

【００２０】なお、本実施の形態では、接触子の材質に
にステンレスを用いた例について説明したが、ステンレ
スに代えてＮｉ−Ｃｏ系合金を用いても良い。また、本
実施の形態においてコンタクトプローブは櫛歯状にコン
タクトリードを形成した二枚のステンレス片１２，１４
をスペーサ１３を挟んで重ね合わせることによって接触
子を構成しているが、これをコンタクトリードを櫛歯状
に形成した一枚のステンレス箔にコンタクトリード群を
形成したものをもって接触子を構成してもよいことは言
うまでもない。

【００２１】次に本発明の第２の実施の形態として上述
のコンタクトプローブを用いたＬＣＤパネルの検査方法
について図３を参照して説明する。図３においてＬＣＤ
パネル１の表示部３１は、二枚のガラス基板にＩＴＯか
らなる透明電極をストライプ状に形成し、両電極が互い
に直交するように両電極面を１０μｍ程度の間隔をあけ
て対面させ、これら二枚のガラス基板の間のギャップに
液晶を注入し、互いに直交する透明電極の交点が光スイ
ッチとなってマトリクス状に画素を構成したものであ
る。この表示部３１に隣接してＬＣＤパネル１の基板上
には、表示部３１の透明電極に信号電圧を入力するゲー
ト電極３２と二つのソース電極３３，３４が形成されて
いる。ここでゲート電極３２とソース電極３３，３４
は、図２に示したように上記透明電極と電気的に接続さ
れた多数の電極パッドが千鳥に整列配置されたものであ
る。

【００２２】図３において３つのコンタクトプローブ
４，５，６は、図２に示したように複数のコンタクトリ
ードを櫛歯状に形成した二枚のステンレス箔を、図１に
示すようにスペーサ１３を挟んで重ね合わされて構成さ
れた接触子を備えている。ただし、図３においては図１
に示したプリント基板用コネクタは省略した。ここで各
コンタクトリードの幅はゲート電極３２、ソース電極３
３，３４を構成する個々の電極パッドの幅よりも狭く、
またコンタクトリードのピッチは各電極の電極パッドの
ピッチよりも狭くなるように形成されている。このと
き、接触子を構成する二枚のステンレス箔のギャップを
千鳥に配列された電極パッドの間隔に対応させるため、
二枚のステンレス箔の間にスペーサとして挿入するスペ
ーサ１３（図１参照）の厚さはゲート用のコンタクトプ
ローブとソース用のコンタクトプローブとでは異なって
いてもよい。

【００２３】なお、図３には図示しないが、これらコン
タクトプローブ２，３，４のプローブホルダをＬＣＤパ
ネル１を取り囲む枠に固定してもよい。このときコンタ
クトプローブ２，３，４の接触子の幅をゲート電極１
１、ソース電極１２，１３の幅よりも十分長く構成する
ことにより、幅方向、すなわち左右方向のアライメント
を省略することができる。さらにコンタクトプローブ
２，３，４のプローブホルダ４１６，５１６，６１６を
マイクロメータを介して上記枠に固定し、このマイクロ
メータで前後方向の微調整ができるようにしてもよい。

【００２４】図３に示す３つのコンタクトプローブ４，
５，６を用いてＬＤＣ１の全点灯表示検査を行うには次
のようにする。まず、上述のコンタクトプローブ４，
５，６のコンタクトリード群４０，５０，６０のアライ
メントを調整し、ＬＣＤパネル１上の各パネル電極３
２，３３，３４に押圧する。このとき、コンタクトプロ
ーブ４，５，６は櫛歯状に形成されたコンタクトリード
群４０，５０，６０によって電極パッドとのコンタクト
をとるので、横方向（幅方向）のアライメントを厳密に
調整する必要はない。なお、ソース電極３３，３４に対
して１個のコンタクトプローブを押圧してもよいが、本
実施の形態に示すように、２個のコンタクトプローブ
５，６を独立して押圧することによって、仮にＬＣＤパ
ネル１の基板が反っていた場合でも確実にコンタクトを
図ることができる。

【００２５】接触子を押圧したならば、ゲート電極用の
コンタクトプローブ４とソース電極用のコンタクトプロ
ーブ５，６の間に外部電源装置から直流電圧を印加す
る。具体的には各コンタクトプローブ４，５，６のステ
ンレス箔４１２ａと４１２ｂ，５１２ａと５１２ｂ，６
１２ａと６１２ｂを介してコンタクトリード群４０，５
０，６０に一括して入力電圧を印加し、ゲート電極３２
とソース電極３３，３４との間に直流電圧を供給し、Ｌ
ＣＤパネル１を点灯させ検査を行う。このとき二つのソ
ース電極用コンタクトプローブ３，４には同じ電圧を同
時に供給することによって全点灯試験を行っても良い
が、片方ずつ電圧を入力することによってＬＣＤパネル
１の片側のみを点灯させるようにしても良いことは言う
までもない。また、本実施の形態においてはゲート電極
とソース電極の間に直流電圧を供給するとして説明した
が、これを交流電圧であってもよい。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、ＬＣＤパネルの基板上
に矩形の表示部に隣接して整列配置された電極の幅より
も狭い幅でかつ弾性を有する複数のコンタクトリードを
前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅方向に櫛歯状に形
成した導体片を接触子として前記電極に押圧し電圧を供
給するので、様々なピッチや大きさの電極に対して確実
にかつ容易にコンタクトをとることができる。特に、コ
ンタクトリード群によって基板上の電極と接触を図るの
で横方向のアライメントを必要がなくなり、微細化・狭
ピッチ化が進んだＬＣＤパネルの点灯検査の精度と能率
を向上させることができる。

【００２７】また、本発明にかかるコンタクトプローブ
においては、エッチング等の技術を用いることにより簡
単に櫛歯状のコンタクトリード群を導体片に形成するこ
とができる。この様に接触子の製造に高度な技術を必要
としないことから製造が簡単となり、ＬＣＤパネル検査
用コンタクトプローブの単価を下げることができる。ま
た、簡単な構造を有することから丈夫でメンテナンスが
簡単のコンタクトプローブを提供することができる。

【００２８】また、特に請求項２または請求項４に記載
された発明によれば、複数のコンタクトリードを櫛歯状
に形成した導体片を絶縁体からなるスペーサを挟んで複
数層に重ね合わせて構成された接触子を基板上に矩形の
表示部に隣接して整列配置された電極に押圧するので、
たとえば千鳥のように複数列にわたって配列された電極
に対しても一括して電圧を供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態に係るコンタクト
プローブの構成を示す図である。

【図２】 上記コンタクトプローブの接触子がＬＣＤパ
ネル基板上の電極に押圧されている様子を示す模式図で
ある。

【図３】 本発明の第２の実施の形態に係るＬＣＤパネ
ルの検査方法を説明する図である。

【図４】 従来の技術を説明する図である。

【符号の説明】

１…液晶表示（ＬＣＤ）パネル、１１…プローブ押さ
え、１２，１４…ステンレス箔、１２ａ，１４ａ…コン
タクトリード群、１３…スペーサ、１５…サポートプレ
ート、１６…プローブホルダ、１７…プリント基板用コ
ネクタ、２０…コンタクトリード、２１…透明電極、２
２…電極パッド、３１…表示部、３２…ゲート電極、３
３，３４…ソース電極、４，５，６…コンタクトプロー
ブ、４０，５０，６０…コンタクトリード群、４１２
ａ，４１２ｂ，５１２ａ，５１２ｂ，６１２ａ，６１２
ｂ…ステンレス箔、４１６，５１６，６１６…プローブ
ホルダ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示パネルの基板上に矩形の表示部
   に隣接して整列配置された複数の電極を有するゲートお
   よびソースにそれぞれ一括して電圧を供給し前記液晶表
   示パネルを点灯させる液晶表示パネル検査方法におい
   て、 前記電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコ
   ンタクトリードを前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅
   方向に櫛歯状に形成し各コンタクトリードの一端を共通
   に接続した導体片を接触子とし、 前記複数のコンタクトリードが前記基板に対して９０°
   未満の所定の角度をもって前記複数の電極に接触するよ
   うに前記接触子を前記複数の電極に押圧し電圧を供給す
   ることを特徴とする液晶表示パネル検査方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された液晶表示パネル検
   査方法において、 前記接触子は、 前記導体片を絶縁体からなるスペーサを挟んで前記コン
   タクトリードの方向をそろえて複数層に重ね合わせて構
   成されたことを特徴とする液晶表示パネル検査方法。
3. 【請求項３】 液晶表示パネルの基板上に矩形の表示部
   に隣接して整列配置された複数の電極に押圧する接触子
   を備えた液晶表示パネル検査用コンタクトプローブにお
   いて、 前記接触子は、 前記電極の幅よりも狭い幅でかつ弾性を有する複数のコ
   ンタクトリードが前記電極の間隔よりも小さい間隔で幅
   方向に櫛歯状に形成されて各コンタクトリードの一端が
   共通に接続された導体片で構成され、 前記コンタクトリードが前記基板に対して９０°未満の
   所定の角度を保つように保持されていることを特徴とす
   る液晶表示パネル検査用コンタクトプローブ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載された液晶表示パネル検
   査用コンタクトプローブにおいて、 前記接触子は、 前記導体片を絶縁体からなるスペーサを挟んで前記コン
   タクトリードの方向をそろえて複数層に重ね合わせて構
   成されたことを特徴とする液晶表示パネル検査用コンタ
   クトプローブ。