JPH10275465A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH10275465A
JPH10275465A JP9079659A JP7965997A JPH10275465A JP H10275465 A JPH10275465 A JP H10275465A JP 9079659 A JP9079659 A JP 9079659A JP 7965997 A JP7965997 A JP 7965997A JP H10275465 A JPH10275465 A JP H10275465A
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JP
Japan
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circuit
signal
current limiting
semiconductor integrated
integrated circuit
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Application number
JP9079659A
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English (en)
Inventor
Isato Kawamura
勇人 川村
Kazuhiko Kajitani
一彦 梶谷
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 同期回路およびリーク電流制限回路を1チッ
プ内に設け、同時に動作させることにより、処理速度を
大幅に向上する。 【解決手段】 外部クロックであるクロック信号CLK
に同期し、メモリ1の動作の基本となる同期信号を生成
するDLLやPLLなどの同期回路11と、ローデコー
ダ3、カラムデコーダ4、カラムアドレスカウンタ7お
よびリフレッシュカウンタ9に用いられるMOSトラン
ジスタに設けられ、スタンバイ時にはしきい値電圧Vt
hを高くし、アクティブ時にはしきい値電圧Vthを低
くして動作を高速化するリーク電流制限回路をチップセ
レクト信号/CSによって同時に動作させ、リーク電流
制限回路、同期回路の動作時間を短縮化し、かつクロッ
ク信号CLKと同期した高速動作を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路装
置に関し、特に、シンクロナスDRAM(Dynami
c Random Access Memory)など
の高速化に適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、マイクロプロセッサなどの高速動
作に対応するメモリとして、超高速メモリが注目を集め
ている。この超高速メモリとして、単一クロックを同期
して列アドレスと行アドレスを入力し、先頭ビットに続
くある一定のビット長のデータをシリアルにリードライ
トする、いわゆる、シンクロナスDRAMがある。
【0003】本発明者が検討したところによれば、この
シンクロナスDRAMは、デコーダなどのロジック回路
に用いられているMOS(Metal Oxide S
emiconductor)トランジスタのしきい値電
圧を低くして高速化を図っている。
【0004】また、シンクロナスDRAMでは、出力デ
ータをバッファなどにより一時的にそれらの出力データ
を保管し、外部のクロック信号に同期させて出力を行っ
ている。
【0005】なお、この種の半導体集積回路装置につい
て詳しく述べてある例としては、1994年11月5
日、株式会社倍風館発行、伊藤清男(著)、「超LSI
メモリ」P333〜P344があり、この文献には、シ
ンクロナスDRAMなどの超高性能メモリ技術が記載さ
れている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な半導体集積回路装置では、次のような問題点があるこ
とが本発明者により見い出された。
【0007】すなわち、MOSトランジスタのしきい値
電圧を低くすることにより、サブスレショルド電流によ
るスタンバイ時の電流が増大してしまうという問題があ
る。
【0008】また、スタンバイ時には、MOSトランジ
スタのしきい値電圧を高くし、動作時であるアクティブ
時にはしきい値電圧を低くするリーク電流制限回路が知
られているが、この場合、しきい値電圧を変化させるの
に時間が掛かってしまい、半導体集積回路装置の高速化
の妨げになるという問題がある。
【0009】さらに、半導体集積回路装置内部の配線経
路などにより入力された外部クロック信号と半導体集積
回路装置の内部クロック信号とに遅延が生じてしまい、
データの出力時などではバッファなどにより一時的にそ
れらのデータを保管し、外部クロック信号と同期させて
出力されているので、その遅延時間などが半導体集積回
路装置の高速化の妨げになるという問題がある。
【0010】本発明の目的は、同期回路およびリーク電
流制限回路を1チップ内に設け、同時に動作させること
により、処理速度を大幅に向上することのできる半導体
集積回路装置を提供することにある。
【0011】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0012】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0013】すなわち、本発明の半導体集積回路装置
は、動作制御信号に基づいて制御が行われ、外部から入
力されるクロック信号と同期したデジタル回路の動作の
基準となる内部クロック信号を生成する同期回路と、動
作制御信号により動作が行われ、スタンバイ時にサブス
レッショルド電流を低減する制御を行うリーク電流制限
回路とを設けたものである。
【0014】また、本発明の半導体集積回路装置は、前
記同期回路が、DLL(DelayLocked Lo
op)またはPLL(Phase Locked Lo
op)のいずれかよりなるものである。
【0015】さらに、本発明の半導体集積回路装置は、
前記同期回路および前記リーク電流制限回路の動作制御
が行われる動作制御信号が、特定の半導体チップを選択
するチップセレクト信号、セルフリフレッシュコマンド
により発生される信号またはダウンモード解除コマンド
により発生される信号のいずれかよりなるものである。
【0016】以上のことにより、半導体集積回路装置の
信号の入出力などの動作を外部クロック信号と同期して
動作を行うことができ、リーク電流制限回路によってス
タンバイ時のサブスレッショルドリークを防止しながら
MOSトランジスタの動作速度を高速化できるので、半
導体集積回路装置を大幅に高速化することができる。
【0017】また、チップセレクト信号などの動作制御
信号により同期回路およびリーク電流制限回路を同時に
動作させるので、同期回路が同期をとるのに必要な期間
を使ってリーク電流制限回路を動作させることができる
ので半導体集積回路装置をより高速化することができ
る。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
【0019】図1は、本発明の一実施の形態によるシン
クロナスDRAMのブロック図、図2は、本発明の一実
施の形態によるシンクロナスDRAMに設けられたしき
い値電圧Vth制御型のリーク電流制限回路の説明図、
図3は、本発明の一実施の形態によるシンクロナスDR
AMに設けられたSwitched Source型の
リーク電流制限回路の説明図、図4は、本発明の一実施
の形態によるSwitched Source型のリー
ク電流制限回路の動作波形図、図5は、本発明の一実施
の形態によるリーク電流制限回路および同期回路の信号
入力説明図、図6は、本発明の一実施の形態によるリー
ク電流制限回路、同期回路の信号タイミングチャートで
ある。
【0020】本実施の形態において、シンクロナスDR
AMであるメモリ(半導体集積回路装置)1は、記憶の
最小単位であるメモリセルが規則正しくアレイ状に並べ
られてメモリマット2が設けられ、このメモリマット2
が4つ設けられた4バンク構成となっている。
【0021】また、メモリ1には、メモリマット2の
内、ロー(行)方向のワード線を選択するローデコーダ
3、カラム(列)方向のビット線の選択を行うカラムデ
コーダ4ならびにカラムデコーダ4のデータの増幅を行
うセンスアンプ5が設けられている。
【0022】そして、これらローデコーダ3、カラムデ
コーダ4およびセンスアンプ5は、4バンク構成の各々
のメモリマット2にそれぞれ設けられている。
【0023】次に、メモリ1は、カラム方向のアドレス
信号が入力され、それぞれの内部アドレス信号を発生さ
せ、後述するカラムアドレスカウンタに出力するカラム
アドレスバッファ6および該カラムアドレスバッファ6
から入力されたアドレス信号に基づいてバーストモード
のアドレスを発生するカラムアドレスカウンタ7が設け
られている。
【0024】そして、カラムアドレスバッファ6はカラ
ムアドレスカウンタ7と電気的に接続され、カラムアド
レスカウンタ7は、それぞれのカラムデコーダ4と電気
的に接続されている。
【0025】また、メモリ1には、ロー方向のアドレス
信号が入力され、それぞれの内部アドレス信号を発生さ
せ、それぞれのローデコーダに出力するローアドレスバ
ッファ8が設けられている。
【0026】さらに、メモリ1は、リフレッシュ動作の
カウントを行うリフレッシュカウンタ9が設けられ、ロ
ーアドレスバッファ8と電気的に接続されている。
【0027】また、メモリ1には、外部から入力される
クロック信号CLK、クロック信号CLKを受け付ける
許可信号であるクロックイネーブル信号CKEやチップ
の選択を行うチップセレクト信号(動作制御信号)/C
S、ロー方向のアドレスを適当なタイミングで読み込む
ための制御信号であるローアドレスストローブ信号/R
AS、カラム方向のアドレスを適当なタイミングで読み
込むための制御信号であるカラムアドレスストローブ信
号/CAS、書き込み許可信号であるライトイネーブル
信号/WEならびに入出力マスク信号DQMなどの選択
信号などの入力信号およびコマンド用アドレス信号が入
力され、各種の制御信号ならびにコマンドデコード回路
によりコマンド信号がデコードされた制御信号を出力す
るコントロール回路10が設けられている。さらに、前
述したコマンドデコード回路は、コントロール回路10
内に設けられている。
【0028】また、メモリ1には、DLLまたはPLL
のいずれかにより構成され、外部クロックであるクロッ
ク信号CLKに同期した後述する同期信号を生成する同
期回路11が設けられている。
【0029】そして、この同期回路11は、コントロー
ル回路10と電気的に接続され、生成された同期信号が
コントロール回路10に入力され、メモリ1の動作の基
本となるクロック信号として供給されており、コントロ
ール回路10から出力されるコマンド信号が同期回路1
1に入力されている。
【0030】また、メモリ1は、入力データを所定のタ
イミングで取り込む入力バッファ12および出力データ
を同期回路11により生成された同期信号、すなわち、
クロックCLKに同期して出力する出力バッファ13が
設けられている。
【0031】さらに、メモリ1には、該メモリ1のスタ
ンバイ時にはMOSトランジスタのしきい値電圧Vth
を高くし、メモリ1の動作時であるアクティブ時にはし
きい値電圧Vthを低くすることにより、動作速度を高
速化し、スタンバイ時のサブスレッシュルド電流、すな
わちスタンバイ電流を低減するリーク電流制限回路が、
ローデコーダ3、カラムデコーダ4、カラムアドレスカ
ウンタ7およびリフレッシュカウンタ9に用いられてい
るMOSトランジスタに設けられている。
【0032】このリーク電流制限回路LLは、図2に示
すように、MOSトランジスタの基板バイアスによるし
きい値電圧Vth制御型と、図3に示すSwitche
dSource型がある。
【0033】まず、図2に示す基板バイアスによるしき
い値電圧Vth制御型のリーク電流制限回路LLでは、
前述したMOSトランジスタのウェル電圧を制御してい
るメモリ1に設けられた電源回路によってアクティブ時
にはグランド電位Vssにし、スタンバイ時にはグラン
ド電位Vss−αにすることによりしきい値電圧を下げ
ている。
【0034】そして、電源回路に入力されるチップセレ
クト信号/CSによってスタンバイ、アクティブの判断
を行っている。また、このスタンバイ、アクティブの判
断は、チップセレクト信号/CS以外にも、セルフリフ
レッシュコマンドにより発生される信号やダウンモード
解除コマンドにより発生される信号などを用いるように
してもよい。
【0035】次に、図3に示すSwitched So
urce型のリーク電流制限回路LLは、MOSトラン
ジスタのしきい値電圧を低下させるための回路であるイ
ンバータIv1〜Iv4およびサブスレッショルド電流
を防止するスイッチングMOSトランジスタであるトラ
ンジスタTr1,Tr2が設けられている。
【0036】また、インバータIv1〜Iv4は、それ
ぞれが直列接続され、PチャネルMOSであるトランジ
スタTr1のソースは、電源電圧Vccに接続されてい
る。
【0037】さらに、トランジスタTr1のドレインは
内部電源発生回路のサブ電源電圧Vctと接続され、ゲ
ートにはチップセレクト信号/CSが入力されるように
接続されてる。
【0038】次に、NチャネルMOSであるトランジス
タTr2のソースはサブ電源のグランドであるサブグラ
ンド電位Vstに接続され、ドレインは電源電圧のグラ
ンド電位Vssと接続されており、ゲートにはチップセ
レクト信号の反転信号である反転チップセレクト信号C
Sが入力されるように接続されてる。
【0039】また、インバータIv1,Iv3の電源供
給部は電源電圧Vccとグランド電位Vstが接続さ
れ、インバータIv2,Iv4はサブ電源電圧Vctと
サブグランド電位Vstが接続されている。
【0040】そして、トランジスタTr1,Tr2がチ
ップセレクト信号/CS、反転チップセレクト信号CS
によりスタンバイ時には’ON’となり、アクティブ時
には’OFF’となるように駆動されることになる。
【0041】たとえば、トランジスタTr1,Tr2
が’OFF’であると、図4に示すように、サブ電源電
圧Vct、サブグランド電位Vstがリーク電流により
それぞれ下降、上昇し、インバータを構成するMOSト
ランジスタのうち、OFFしている方のMOSトランジ
スタのソース、ゲート間電圧が逆バイアスされることに
よりリーク電流、すなわち、サブスレッショルド電流が
減少させられる。
【0042】一方、トランジスタTr1,Tr2が’O
N’すると、各々のMOSトランジスタが電源電圧Vc
cのレベルまで復帰し、低いしきい値電圧Vthによる
大きなドレイン−ソース電流Idsによる高速動作を可
能としている。
【0043】次に、本実施の形態の作用について、図
1、図5の信号入力説明図および図6の信号タイミング
チャートを用いて説明する。
【0044】まず、図5に示すように、メモリ1に設け
られたリーク電流制限回路および同期回路11には、チ
ップセレクト信号/CSが入力されるようになってお
り、このチップセレクト信号/CSにより制御が行われ
ている。
【0045】そして、図6に示すように、たとえば、マ
イクロコンピュータなどからチップセレクト信号/CS
が、それぞれのローデコーダ3、カラムデコーダ4、カ
ラムアドレスカウンタ7およびリフレッシュカウンタ9
のリーク電流制限回路、同期回路11に入力されると、
同期回路11は、外部クロックであるクロック信号CL
Kと同期した同期信号(内部クロック信号)CKiを生
成する。
【0046】また、同時に、前述したリーク電流制限回
路は、スタンバイ時に高めていたMOSトランジスタの
しきい値電圧を低くするために、グランド電位Vss−
αからグランド電位Vssに電位を上げ、高速動作を行
える状態とする。
【0047】よって、同期回路11とリーク電流制限回
路とを同一のチップセレクト信号/CSによって同時に
動作させ、メモリ1のアクティブ時にはクロック信号C
LKと同期した高速動作を行うことができる。
【0048】それにより、本実施の形態では、メモリ1
に設けられた同期回路11によりメモリ1がクロック信
号CLKと同期した動作を行うことができ、かつリーク
電流制限回路により、スタンバイ時のサブスレッショル
ド電流を零にし、MOSトランジスタの動作速度を高速
化できるので、メモリ1を大幅に高速化することができ
る。
【0049】また、メモリ1に入力されるチップセレク
ト信号/CSにより同期回路11およびリーク電流制限
回路を同時に動作させることにより、それぞれの回路の
動作時間を短縮することができる。
【0050】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。
【0051】たとえば、前記実施の形態においては、超
高速のメモリシンクロナスDRAMの半導体集積回路装
置について記載したが、Rambus DRAM、Sy
nclink DRAMおよび通常のDRAMなどのC
MOS(Complimentary MOS)が用い
られた半導体集積回路装置に同期回路およびリーク電流
制限回路を設けることにより、半導体集積回路装置の動
作速度を高速化することができる。
【0052】
【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0053】(1)本発明によれば、半導体集積回路装
置にリーク電流制限回路および同期回路を設けることに
より、リーク電流制限回路によってスタンバイ時のサブ
スレッショル電流を大幅に低減しながらMOSトランジ
スタの高速動作させることがきる。
【0054】(2)また、本発明では、チップセレクト
信号、セルフリフレッシュコマンドにより発生される信
号またはダウンモード解除コマンドにより発生される信
号のいずれかの動作制御信号により同期回路およびリー
ク電流制限回路を同時に動作させるので、同期回路が同
期をとるのに必要な期間を使ってリーク電流制限回路を
動作させることができるので半導体集積回路装置をより
高速化することができる。
【0055】(3)さらに、本発明においては、上記
(1),(2)により、半導体集積回路装置の動作速度
を大幅に高速化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態によるシンクロナスDR
AMのブロック図である。
【図2】本発明の一実施の形態によるシンクロナスDR
AMに設けられたしきい値電圧Vth制御型のリーク電
流制限回路の説明図である。
【図3】本発明の一実施の形態によるシンクロナスDR
AMに設けられたSwitched Source型の
リーク電流制限回路の説明図である。
【図4】本発明の一実施の形態によるSwitched
Source型のリーク電流制限回路の動作波形図で
ある。
【図5】本発明の一実施の形態によるリーク電流制限回
路および同期回路の信号入力説明図である。
【図6】本発明の一実施の形態によるリーク電流制限回
路、同期回路の信号タイミングチャートである。
【符号の説明】
1 メモリ(半導体集積回路装置) 2 メモリマット 3 ローデコーダ 4 カラムデコーダ 5 センスアンプ 6 カラムアドレスバッファ 7 カラムアドレスカウンタ 8 ローアドレスバッファ 9 リフレッシュカウンタ 10 コントロール回路 11 同期回路 12 入力バッファ 13 出力バッファ LL リーク電流制限回路 CLK クロック信号 CKE クロックイネーブル信号 /CS チップセレクト信号(動作制御信号) /RAS ローアドレスストローブ信号 /CAS カラムアドレスストローブ信号 /WE ライトイネーブル信号 DQM 入出力マスク信号 CKi 同期信号(内部クロック信号) Vth しきい値電圧 Tr1,Tr2 トランジスタ Iv1〜Iv4 インバータ Vss グランド電位 Vst サブグランド電位 Vcc 電源電圧 Vct サブ電源電圧 Ids ドレイン−ソース電流

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 動作制御信号に基づいて制御が行われ、
    外部から入力されるクロック信号と同期したデジタル回
    路の動作の基準となる内部クロック信号を生成する同期
    回路と、動作制御信号に基づいて動作が行われ、スタン
    バイ時にサブスレッショルド電流を低減する制御を行う
    リーク電流制限回路とを設けたことを特徴とする半導体
    集積回路装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路装置にお
    いて、前記同期回路が、DLLまたはPLLのいずれか
    であることを特徴とする半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の半導体集積回路
    装置において、前記同期回路および前記リーク電流制限
    回路の動作制御が行われる動作制御信号が、特定の半導
    体チップを選択するチップセレクト信号、セルフリフレ
    ッシュコマンドにより発生される信号またはダウンモー
    ド解除コマンドにより発生される信号のいずれかである
    ことを特徴とする半導体集積回路装置。
JP9079659A 1997-03-31 1997-03-31 半導体集積回路装置 Pending JPH10275465A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6768690B2 (en) 2001-06-30 2004-07-27 Hynix Semiconductor Inc. Register controlled DLL for reducing current consumption
US7099225B2 (en) 2004-09-06 2006-08-29 Fujitsu Limited Semiconductor memory device with reduced leak current
JP2016149177A (ja) * 2015-02-09 2016-08-18 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、又は該半導体装置を有する電子機器

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