JPH10280170A - エッチングマスクの形成方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エッチング処理時に不利となる欠陥がエッチ
ングマスク内に存在してしまう事態を未然に防止し、精
密な細線パターンを金属表面上に形成可能にすること。 【解決手段】 エッチングマスクのパターンに相当する
原画を用意するステップと、前記原画を電子写真技術を
用いてトナー像に変換するステップと、前記トナー像を
エッチング対象となる金属の表面上に転写するステップ
と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真技術を用
いてエッチングマスクを形成するエッチングマスクの形
成方法及び装置に係り、特に、精密なフィルム状プリン
ト回路基板等の製作に好適なエッチングマスクの形成方
法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、金属表面を選択的に除去して各
種パターンを形成する場合、エッチング処理の技術が利
用される。このエッチング処理には、その前処理として
エッチングマスクの形成処理が必要となる。

【０００３】例えば、プリント配線基板を製造する場合
にあっては、以下に記す第１若しくは第２のエッチング
マスク形成方法が従来より採用されている。

【０００４】第１のエッチングマスク形成方法を図８
（ａ）〜図８（ｄ）に示す。なお、同図において、１０
０はプリント配線基材、１０１は絶縁層、１０２は金属
層、１０３は感光層、１０４はネガフィルム、１０５は
エッチングマスクである。

【０００５】まず最初の工程では、絶縁層１０１の少な
くとも一面に積層された金属層１０２の表面に、レジス
トインク、あるいはドライフィルム等で感光層１０３を
形成する。

【０００６】次の工程では、感光層１０３上にネガフィ
ルム１０４を配置してＵＶ光を照射し、露光部１０４ａ
と非露光部１０４ｂとを形成する。

【０００７】最後の工程では、露光部１０４ａと非露光
部１０４ｂとの現像液に対する溶解性の差を利用して現
像し、エッチングマスク１０５を形成する。

【０００８】第２のエッチングマスク形成方法を図９
（ａ）〜図９（ｂ）に示す。なお、同図において、１０
０はプリント配線基材、１０１は絶縁層、１０２は金属
層である。

【０００９】この方法にあっては、金属層１０２の表面
に、スクリーン印刷、グラビア印刷、あるいはオフセッ
ト印刷等の方法を用いて直接エッチングマスク１０５を
印刷形成する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記第１の方
法の場合には、工程が複雑で設備コストが高く、また工
数が多くなるので製品コスト高くなる。更に、フィルム
等の機械的強度が乏しい基材への応用では、感光層の形
成時に、しわ等の欠陥ができやすいことから製品の歩留
まりを向上させることが難しいという問題がある。

【００１１】他方、上記第２の方法の場合には、上記し
た直接的な印刷手法でエッチングマスクを形成するた
め、０．３ｍｍ以下の細線パターンに適合したエッチン
グマスクを形成することが困難であり、またエッチング
マスクの厚さが薄くピンホール等の欠陥が生じやすいこ
とから、エッチングマスクの信頼性に欠ける等の問題が
生じる。特に、印刷インクとしてＵＶインクを用いる
と、絶縁性基材に対する密着性が悪くしかもピンホール
等の欠陥が多発すると言う問題がある。さらに、印刷イ
ンクとして酸化重合性インクを用いると、乾燥時間を長
くせねばならずしかも耐熱性のない基材には応用できな
いと言う問題が生じる。

【００１２】本発明は、上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、簡便な
工程で、大きな設備投資を要せず、しかも精細パターン
の形成が可能な、信頼性の高いエッチングマスクの形成
方法及び装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この出願の請求項１（又
は請求項７）に記載の発明は、エッチングマスクのパタ
ーンに相当する原画を用意するステップ（又は手段）
と、前記原画を電子写真法を用いてトナー像に変換する
ステップ（又は手段）と、前記トナー像をエッチング対
象となる金属の表面上に転写するステップ（又は手段）
と、を有することを特徴とするエッチングマスクの形成
方法（又は装置）にある。

【００１４】そして、この出願の請求項１（又は請求項
７）に記載の発明よれば、精細かつ信頼性の高いエッチ
ングマスクを簡便な工程でかつ大きな設備投資を要する
ことなく形成することができる。

【００１５】この出願の請求項２（又は請求項８）に記
載の発明は、この出願の請求項１（又は請求項７）に記
載の発明において、前記転写に先だって、前記金属の表
面上にトナーの付着を促進するための前処理を施すステ
ップを有することを特徴とするエッチングマスクの形成
方法（又は装置）にある。

【００１６】そして、この出願の請求項２（又は請求項
８）に記載の発明よれば、トナー像の転写に先だって金
属の表面上になされる前処理によって、エッチング処理
時に不利となる欠陥がエッチングマスクに生じる事態を
未然に防止することができる。

【００１７】この出願の請求項３（又は請求項９）に記
載の発明は、この出願の請求項２（又は請求項８）に記
載の発明において、前記前処理がコロナ放電による表面
活性化処理であることを特徴とするエッチングマスクの
形成方法（又は装置）にある。

【００１８】そして、この出願の請求項３（又は請求項
９）に記載の発明よれば、トナー像の転写に先だって金
属の表面上になされるコロナ放電による表面活性化処理
によってトナーの静電付着が促進されるため、エッチン
グ処理時に不利となる欠陥がエッチングマスクに生じる
事態を未然に防止することができる。

【００１９】この出願の請求項４（又は請求項１０）に
記載の発明は、この出願の請求項２（又は請求項８）に
記載の発明において、前記前処理が機械的表面粗化処理
であることを特徴とするエッチングマスクの形成方法
（又は装置）にある。

【００２０】そして、この出願の請求項４（又は請求項
１０）に記載の発明よれば、トナー像の転写に先だって
金属の表面上になされる機械的表面粗化処理によってト
ナーの付着が促進されるため、エッチング処理時に不利
となる欠陥がエッチングマスクに生じる事態を未然に防
止することができる。

【００２１】この出願の請求項５（又は請求項１１）に
記載の発明は、この出願の請求項２（又は請求項１２）
に記載の発明において、前記前処理が化学的粗化処理で
あることを特徴とするエッチングマスクの形成方法（又
は装置）にある。

【００２２】そして、この出願の請求項５（又は請求項
１１）に記載の発明よれば、トナー像の転写に先だって
金属の表面上になされる化学的表面粗化処理によってト
ナーの付着が促進されるため、エッチング処理時に不利
となる欠陥がエッチングマスクに生じる事態を未然に防
止することができる。

【００２３】この出願の請求項６（又は請求項１２）に
記載の発明は、この出願の請求項１〜５（請求項７〜１
１）のいずれかに記載の発明において、前記金属がプリ
ント回路基板の金属箔であることを特徴とするエッチン
グマスクの形成方法にある。

【００２４】そして、この出願の請求項６（又は請求項
１２）に記載の発明よれば、分解能に優れたエッチング
マスクをトナー像として形成後、このトナー像をプリン
ト回路基板の金属箔上に転写することでプリント回路基
板の金属箔上にエッチングマスクを所定の厚さに形成す
ることができる。更にトナー像の転写に先だってプリン
ト回路基板の金属箔の表面上になされる前処理によって
エッチング処理時に不利となる欠陥がエッチングマスク
に生じる事態を未然に防止することができる。

【００２５】この出願の請求項１３に記載の発明は、前
記トナーは、アイオモノマー樹脂を主成分とすることを
特徴とする請求項１〜請求項１２のいずれかに記載のエ
ッチングマスクの形成方法若しくは装置にある。

【００２６】そして、この請求項１３に記載の発明によ
れば、トナー自体の化学的性質とも相まって、より一層
信頼性の高い精細なエッチング加工に好適なエッチング
マスクを形成することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態につき、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００２８】先に説明したように、本発明に係るエッチ
ングマスクの形成方法は、エッチングマスクのパターン
に相当する原画を用意するステップと、前記原画を電子
写真技術を用いてトナー像に変換するステップと、前記
トナー像をエッチング対象となる金属の表面に転写する
ステップと、を少なくとも有することを特徴とするもの
である。

【００２９】本発明方法の実施の一形態（以下、第１の
実施の形態という）が図１（ａ）〜図１（ｄ）に示され
ている。なお、この第１の実施の形態は、本発明方法を
フィルム状プリント配線基材にエッチングマスクを形成
するために応用したものである。

【００３０】尚、図において、１はフィルム状プリント
配線基材、２は２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）フィルムで構成された絶縁層、３は１５μ
ｍ厚のアルミニウム箔で構成された金属層、４は表面処
理層、５はトナー像、６はエッチングマスクである。

【００３１】まず、第１の工程では、後述する電子写真
技術によるトナー像の転写に先立つ前処理として、フィ
ルム状プリント配線基材１（図１（ａ）参照）の金属層
（アルミニウム箔）３の表面をコロナ放電により活性化
することにより、コロナ帯電が施された表面処理層４を
形成する（図１（ｂ）参照）。

【００３２】この前処理は、次の理由で行われる。電気
的良導体である金属の帯電に際しては、金属の電解飽和
時間は非常に短いために、大きな電荷を帯電させること
は極めて困難である。このため、後述する電子写真装置
で、トナー像５をフィルム状プリント配線基材１に転写
させる際に電荷帯電量が不足し、鮮明な画像が得られな
かったり、あるいはトナーが移動しない等の不都合が生
ずる虞がある。本工程は、上記トナーの移動に十分な電
荷帯電量を得るための強い電界をフィルム状プリント配
線基材１に印加するために設けた工程である。この工程
は、例えば、セラミック電極に２０〜３０Ｗ／ｍ²／分
の放電電力を投入して形成されるイオンシャワー空間
に、フィルム状プリント配線基材１を通過させることに
よって実現することができ、これにより十分な量の電荷
を金属層３に帯電させることができる。ただし、金属の
飽和速度は早いので、本工程と、次のトナー像転写のた
めの第２の工程との間の時間間隔はできるだけ短くとる
ことが望ましいと思われる。

【００３３】次に、第２の工程では、後述する電子写真
装置で感光体上に現像された回路パターン対応のトナー
像５を、上記帯電処理された金属層３の表面に転写す
る。すなわち、後に詳細に説明するように、予め用意さ
れたエッチングパターンに対応する原画情報は、電子写
真技術を用いてトナー像に変換され、このトナー像が上
記帯電処理された金属層３の表面に転写されるのである
（図１（ｃ）参照）。

【００３４】なお、エッチングパターンに対応する原画
情報をどのような形態で提供するかについては、その電
子写真装置が採用する露光方式により区々であると思わ
れる。例えば、露光方式としてＰＰＣ複写機等で採用さ
れる投影型露光方式が採用されるのであれば、原画情報
はエッチングパターンに対応する原画がプリントされた
紙やシートとして提供することができる。また、露光方
式としてレーザビームプリンタ等で採用されているビー
ム走査型露光方式が採用されるのであれば、原画情報は
コンピュータにて読み取りが可能な各種形式の画像情報
として提供することができる。勿論、この画像情報は、
各種の記録媒体（ハードディスク、ＭＯ、ＤＶＤ等）に
保存しておき、必要に応じて適宜にコンピュータにて読
み出して露光に供することができるであろう。

【００３５】次に、第３の工程では、上記トナー像５を
構成する堆積トナーを、例えば１５０℃程度の高温で１
０分程度の長時間に亘り加熱し、トナーの主成分である
スチレンアクリル系樹脂を溶融させて、金属層３（表面
処理層４）の表面にトナー像５を定着させる。

【００３６】この長時間高温加熱を伴う定着処理は、次
の理由で行われる。ＰＰＣ複写機等に採用されている電
子写真技術においても加熱定着処理は当然に採用されて
いるが、このような従来の加熱定着処理を本発明の対象
となるエッチングマスクの形成方法に適用した場合に
は、回路パターン内に生じたピンホール等の欠陥を除去
することは困難である。これに対して、本発明に係る長
時間加熱を伴う定着処理によれば、トナーを構成する樹
脂成分の溶融に十分な温度と時間が与えられることか
ら、先の転写工程で生じたピンホール等の欠陥は、溶融
樹脂により補修されると共に、基材１とトナー像５との
結合はより一層強固なものとなり、これにより後のエッ
チング工程にも十分耐え得る信頼性の高いエッチングマ
スク６が形成されるのである（図１（ｄ）参照）。

【００３７】なお、この第１の実施の形態で使用された
プリント配線基材１は、金属層３としてアルミニウム箔
を用いたが、これに代えて銅箔を用いてもよく、また絶
縁層２として、ポリイミドあるいは０．１ｍｍ厚程度の
ガラエポ等の基板材料を用いることもできる。

【００３８】この第１の実施の形態に係る方法を実施す
るための装置（連続製造設備）が図２に示されている。
同図において、１は先に説明したフィルム状プリント配
線基材、７はフィルム状プリント配線基材１を送り出す
ロール、８はフィルム状配線基材を巻き取るロール、９
は送りローラ、１０は帯電装置、１１は電子写真装置、
１２は加熱定着装置、１３は送りローラである。

【００３９】帯電装置１０は、電子写真装置１１に対す
る前処理装置として設けたもので、後述する電子写真装
置１１でのトナー像の転写に先立って、フィルム状プリ
ント配線基材１に対しコロナ放電を行い、フィルム状プ
リント配線基材１の金属箔をコロナ帯電により表面活性
化させるものである。この帯電装置１０における処理工
程が、前述の第１の工程に対応される。すなわち、この
帯電装置１０においては、例えば、セラミック電極に２
０〜３０Ｗ／ｍ²／分の放電電力を投入して形成される
イオンシャワー空間に、フィルム状プリント配線基材１
を通過させることにより、十分な量の電荷を金属層３に
帯電させることができる。

【００４０】電子写真装置１１は、予め用意されたエッ
チングマスクパターンに対応する原画をトナー像５に変
換すると共に、このトナー像５をプリント配線基材１の
金属層３の表面に転写するために使用されるものであ
り、その一例が図３に示されている。

【００４１】同図に示されるように、この電子写真装置
１１は、矢印方向に回転するドラム式感光体２１、帯電
部２２、露光部２３、現像部２４、転写部２５の各部を
備えている。この電子写真装置１１の動作は、次の通り
である。

【００４２】先ず最初に、帯電部２２においては、光導
電性を有する半導体からなるドラム式感光体２１の全面
にコロナ帯電が施される。

【００４３】次に、露光部２３においては、先の工程で
帯電されたドラム式感光体２１の表面に、原画（エッチ
ングマスクパターン）に対応する露光が行われる。先に
説明したように、この露光は、原画シートを使用した投
影型露光方式、若しくは、デジタル画像情報を使用した
ビーム走査型露光方式のいずれにても行うことができ
る。このとき、感光体２１の表面では、光の当たった部
分は導電性となって電荷の減少が生じるのに対して、光
の当たらなかった部分の電荷はそのまま残されることと
なり、これにより静電潜像が形成される。

【００４４】次に、現像部２４においては、摩擦帯電さ
れたトナー２４ａが静電潜像が形成されたドラム式感光
体２１の表面に接触される。このとき、トナー２４ａ
は、感光体２１上の電荷とは反対極性に帯電されてい
る。そのため、トナー２４ａは、感光体２１上におい
て、電荷の存在する領域にのみ選択的に付着し、これに
より現像が行われて、感光体２１の表面にはエッチング
マスクパターンに対応するトナー像が生成される。

【００４５】最後に、転写部２５においては、感光体２
１上のトナー像は、潜像と同じ極性、すなわちトナーと
は逆極性に帯電させたプリント回路基材１の金属層３の
表面に接触され、これにより感光体２１上のトナー像は
静電引力により基材１側へと移動して、トナー像の転写
が完了する。この電子写真装置１１内における転写に至
る工程が、前述の第２の工程に対応される。

【００４６】加熱定着装置１２は、電子写真装置１１側
から送り出されてくるフィルム状プリント配線基材１に
対しトナーの主成分である樹脂が加熱溶融され得る温度
例えば１５０℃で１０分の時間に亘り加熱し、この加熱
条件でフィルム状プリント配線基材１の金属箔の表面に
上記トナー像を定着させる。このトナー像の定着がなさ
れる工程が前述の第３の工程に対応される。

【００４７】このように帯電装置１０による表面活性
化、電子写真装置１１による静電転写、加熱定着装置１
２によるトナー像の固着が一連の処理としてフィルム状
プリント配線基材１に対し順次なされる。

【００４８】この一連の処理において、帯電装置１０に
よる表面活性化は、電子写真装置１１での静電転写時
に、回路パターン内にピンホール等の欠陥が生じる事態
を極力抑制することでき、実質的に欠陥を消去すること
ができる。また、加熱定着装置１２によるトナー像の定
着は、回路パターン内にピンホール等の欠陥が僅かに残
留していたとしてもその欠陥を完全に消去することがで
きる。

【００４９】加えて、このような連続製造設備によれ
ば、つぎのような効果がある。すなわち、フィルム状プ
リント配線基材１の送りを図２の如くの連続ラインで行
うと、（１）上記第１の工程との間の距離を小さくでき
ること、（２）フィルム状プリント配線基材１に引っ張
り力を付加できるので、電子写真装置の領域内でのフィ
ルム状プリント配線基材１に対するしわやうねり等の発
生を防止でき、精度の高いパターン形成ができること、
（３）送り機構を電子写真装置の領域の外部に設けられ
るので、フィルム状プリント配線基材１の両面に対し同
時にパターン形成が可能となり、位置精度の高い両面プ
リント配線板を製作できること、等の格別の効果が得ら
れる。

【００５０】次に、本発明方法の他の実施の一形態（以
下、第２の実施の形態という）を実施するための装置が
図４に示されている。なお、この第２の実施の形態の特
徴は、電子写真装置１１により静電転写がなされるに先
立って、機械的粗化装置３０によりフィルム状プリント
配線基材１の金属箔に対し機械的な表面粗化処理を行う
ことにある。

【００５１】すなわち、この第２の実施の形態において
は、上記第１の実施の形態における、コロナ帯電による
金属箔の表面処理の代わりに、バフ研磨、研磨布紙加
工、ブラシ研磨等の機械的な表面粗化処理を採用してい
る。上記第１の実施の形態では、帯電処理がトナー粒子
の移動エネルギを増加させて基材上へのトナー堆積の信
頼性を向上させるのに対し、本方法は、機械的な表面粗
化によるアンカー効果の発生、あるいは表面酸化膜の除
去によるトナー付着力の向上によって、上記欠陥の発生
を極力抑制することを狙うものである。

【００５２】なお、本方法による表面粗化を過度に実施
すると、トナー堆積パターン内の欠陥を増加させること
になるので、本方法における表面粗化は、表面粗さ３．
０μｍＲｓ以下で実施することが好ましいと思われる。

【００５３】次に、本発明方法のさらに他の実施の一形
態（以下、第３の実施の形態という）を実施するための
装置が図５に示されている。なお、この第３の実施の形
態の特徴は、電子写真装置１１により静電転写がなされ
るに先立って、化学的粗化装置４０によりフィルム状プ
リント配線基材１の金属箔に対し機械的な表面粗化処理
を行うことにある。

【００５４】すなわち、この第３の実施の形態において
は、上記第１の実施の形態における、コロナ帯電による
金属箔の表面処理の代わりに、電解研磨、化学研磨等の
化学的な表面粗化処理を採用している。上記第１の実施
の形態では、帯電処理がトナー粒子の移動エネルギを増
加させて基材上へのトナー堆積の信頼性を向上させるの
に対し、本方法は、金属表面の凹凸を除去して平滑化
し、トナー粒子の接触面積を拡大させて付着力を増加さ
せることにより、上記欠陥の発生を極力抑制することを
狙うものである。

【００５５】上記第１の実施の形態の如く金属箔の材料
がアルミニウムとすると、電解研磨の場合には、例えば
炭酸ナトリウム２０％＋燐酸ナトリウム５％の浴内で、
電流密度３〜６Ａ／ｄｍ²、浴温９０℃、５分の処理を
実施すればよい。また、化学研磨の場合には、燐酸１１
＋過酸化水素水５０ｍｌの浴内で、５分の処理を実施す
ればよい。

【００５６】また、金属箔の材料が銅とすると、電解研
磨の場合には、燐酸７６％＋クロム酸１０％の浴内で、
電流密度３０〜５０Ａ／ｄｍ²、浴温８０℃、１０分の
処理を実施すればよい。また、化学研磨の場合には、硝
酸、硫酸、塩酸の混合浴内での処理を実施すればよい。

【００５７】最後に、以上の各実施の形態にて使用され
るトナーの材質について言及する。上記第１の実施の形
態における、第２の工程（電子写真装置による工程）で
用いるトナーとしては、アイオノマー樹脂を主成分とし
たトナーを用いることができる。

【００５８】このアイオノマー樹脂を主成分としたトナ
ーは、例えば低分子ポリプロピレンからなるワックス及
び金属からなる帯電制御材を、熱を加えながら混練し、
これをシート状に延ばした後に冷却して粉砕、更にこの
粉体表面に疎水化処理したシリカからなる流動化剤を付
着させて製造することができる。

【００５９】アイオノマー樹脂は、ポリエチレンの分子
鎖にカルボン酸基の側鎖があり、そのをカルボン酸基の
一部が金属陽イオンによって分子鎖間で架橋された図６
に示すような構造を持っている。金属イオンによる架橋
結合は熱によって結合力が弱くなり、冷却すると強くな
る特徴があり、また、カルボン酸基を持っているので金
属等への安定した熱接着性がある。

【００６０】このアイオノマー樹脂が持つ特徴は、上記
第１の実施の形態における、第３の工程（加熱定着装置
による工程）でピンホール等の欠陥の消失、あるいは金
属箔上へのトナーの接着に良好な効果をもたらす。

【００６１】なお、上述した第１、第２、第３の実施の
形態の構成は、トナー像の転写に先立って、前処理とし
て金属箔の表面活性化あるいは表面粗化を行う（第１の
工程に対応）構成のものであるが、それ等の前処理を行
う装置は図７に示すように省くことも可能である。

【００６２】図７に示されるように前処理装置を省くこ
とができる構成を採用し得る場合は、図３の電子写真装
置の要部をなす転写部２５の電気的な定格の大きさが条
件となる。

【００６３】すなわち、その転写部２５において、フィ
ルム状プリント配線基材１の金属箔に対し与えることが
できる電荷帯電量が十分に大きいと、トナー像の転写前
の前処理として金属箔の表面活性化あるいは表面粗化を
行うことなくトナー像の転写時にトナー像の欠陥発生を
抑制することが可能となる。

【００６４】例えば、トナー像の転写前の前処理として
金属箔の表面活性化がなされ、これにより転写時に所望
した程度にトナー像の欠陥発生を抑制することができた
とする。この時点の金属箔の電荷帯電量は、前処理によ
る残留値と転写部２５から付与された電荷量の総和であ
る。この総和の電荷帯電量を転写部２５のみで得ること
できると、上記前処理を行う装置を省くことができる。

【００６５】以上説明した第１〜第３の実施の形態によ
れば、フィルム状絶縁性基材の少なくても一面に被着さ
れた金属箔の表面をコロナ放電等を用いて活性化、ある
いはペーパー研磨等の機械的方法、電解研磨等の化学的
方法を用いて表面粗化した後、公知の電子写真技術によ
ってポリマー粉末（トナー）を所望回路パターン形状に
堆積、さらに１５０℃程度の温度で１０分間加熱してト
ナーの主成分である樹脂を溶融させて金属箔上に固着さ
せるという工程で所望回路パターン形状のエッチングマ
スクを得ることができ、これにより次にような格別の効
果を有するものである。

【００６６】すなわち、本発明ではエッチングマスクパ
ターンを電子写真技術によって形成するため、（１）１
００μｍ以下の細線からなる導体回路を作製することが
できること、（２）簡単な設備で製作することが可能
で、大きな設備投資を要さないこと、（３）加工工数が
少なく、製造コストを低下させることができること、
（４）ネガフィルムの必要がなく、回路パターンはハー
ドディスクのメモリに記憶できるので、図面管理を効率
良く行えること、（５）さらに、回路の一部変更等の設
計変更を短時間で実行することができること、（６）ト
ナー内の樹脂成分の溶融によりピンホールが埋められ、
信頼度の高いマスク形成を行えること、（７）また上記
熱処理は短時間であるため、耐熱性に乏しい基材にも応
用することができること、（８）感光層形成の必要もな
いため、フィルム状の機械的強度に乏しい基材でもしわ
等の欠陥の発生がないこと、等の優れた効果が得られ
る。

【００６７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、簡便な工程で、大きな設備投資を要せず、しか
も精細パターンの形成が可能な、信頼性の高いエッチン
グマスクの形成方法及び装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る方法を説明す
るために用いた状態遷移図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る方法を実施す
るための装置の概略を示す構成図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態に係る方法を実施す
るための装置の要部をなす電子写真装置の詳細説明図で
ある。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係る方法を実施す
るための装置の概略を示す構成図である。

【図５】本発明の第３の実施の形態に係る方法を実施す
るための装置の概略を示す構成図である。

【図６】本発明の実施に好適なトナーの主成分となるア
イオノマー樹脂の構造を示す図である。

【図７】本発明の第４の実施の形態に係る方法を実施す
るための装置の概略を示す構成図である。

【図８】従来の第１のエッチングマスクの形成方法を説
明するために用いた状態遷移図である。

【図９】従来の第２のエッチングマスクの形成方法を説
明するために用いた状態遷移図である。

【符号の説明】 １ プリント状配線基材 ２ 絶縁層 ３ 金属箔 ４ 表面処理層 ５ トナー像 ６ エッチングマスク ７ 送り出しロール ８ 巻き取りロール ９ 送りローラ １０ 帯電装置 １１ 電子写真装置 １２ 加熱定着装置 １３ 送りローラ ２１ ドラム式感光体 ２２ 帯電部 ２３ 露光部 ２４ 現像部 ２４ａ トナー ２５ 転写部 ３０ 機械的粗化装置 ４０ 化学的粗化装置

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エッチングマスクのパターンに相当する
   原画を用意するステップと、 前記原画を電子写真法を用いてトナー像に変換するステ
   ップと、 前記トナー像をエッチング対象となる金属の表面に転写
   するステップと、 を有することを特徴とするエッチングマスクの形成方
   法。
2. 【請求項２】 前記転写に先だって、前記金属の表面に
   トナーの付着を促進するための前処理を施すステップを
   有することを特徴とする請求項１に記載のエッチングマ
   スクの形成方法。
3. 【請求項３】 前記前処理がコロナ放電による表面活性
   化処理であることを特徴とする請求項２に記載のエッチ
   ングマスクの形成方法。
4. 【請求項４】 前記前処理が機械的表面粗化処理である
   ことを特徴とする請求項２に記載のエッチングマスクの
   形成方法。
5. 【請求項５】 前記前処理が化学的表面粗化処理である
   ことを特徴とする請求項２に記載のエッチングマスクの
   形成方法。
6. 【請求項６】 前記金属がプリント回路基板の金属箔で
   あることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに
   記載のエッチングマスクの形成方法。
7. 【請求項７】 エッチングマスクのパターンに相当する
   原画を用意する手段と、 前記原画を電子写真法を用いてトナー像に変換する手段
   と、 前記トナー像をエッチング対象となる金属の表面に転写
   する手段と、 を有することを特徴とするエッチングマスクの形成装
   置。
8. 【請求項８】 前記転写に先だって、前記金属の表面に
   トナーの付着を促進するための前処理を施す手段を有す
   ることを特徴とする請求項７に記載のエッチングマスク
   の形成装置。
9. 【請求項９】 前記前処理がコロナ放電による表面活性
   化処理であることを特徴とする請求項７に記載のエッチ
   ングマスクの形成装置。
10. 【請求項１０】 前記前処理が機械的表面粗化処理であ
    ることを特徴とする請求項７に記載のエッチングマスク
    の形成装置。
11. 【請求項１１】 前記前処理が化学的表面粗化処理であ
    ることを特徴とする請求項７に記載のエッチングマスク
    の形成装置。
12. 【請求項１２】 前記金属がプリント回路基板の金属箔
    であることを特徴とする請求項７〜請求項１１のいずれ
    かに記載のエッチングマスクの形成装置。
13. 【請求項１３】 前記トナーは、アイオモノマー樹脂を
    主成分とすることを特徴とする請求項１〜請求項１２の
    いずれかに記載のエッチングマスクの形成方法若しくは
    装置。