JPH10284792A - レーザ光源、露光装置及び露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２００ｎｍ以下の中心波長を有する光を大気
に開放した光路で利用することのできるレーザ光源を提
供する。 【解決手段】 このレーザ光源１０は、２００ｎｍ以下
の中心波長を有する光を出力するレーザ光源において、
レーザ励起部１１を挟む一対の共振器１３ａ、１３ｂの
間に密閉された酸素含有光路１２を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、２００ｎｍ以下の
中心波長を有する光を出力するレーザ光源、この光源か
らの光により微細回路パターンを半導体ウェハやガラス
プレート等の基板上に転写する露光装置及び露光方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスや液晶装置等の製造のた
めの露光装置及び露光工程において、より微細なパター
ンを基板上に形成するには、できるだけ短波長の光によ
り露光を行うことが有利であり、このための光源として
２００ｎｍ以下の中心波長を有する光を出力するＡｒＦ
エキシマレーザが考えられている。しかし、ＡｒＦエキ
シマレーザは、発振周波数が１９３ｎｍ付近にあり、酸
素を含む雰囲気中における酸素ガスの吸収により、その
レーザ光の強度が減衰してしまう。

【０００３】ＡｒＦエキシマレーザによるレーザ光をか
かる露光のために利用するには、光源から光が発し露光
すべき基板に至るまでの間の光路を密閉し、この密閉さ
れた光路を吸収の無い窒素等の気体で置換するか光路を
真空にする必要があった。また、酸素雰囲気中において
酸素ガスがレーザ光を吸収すると、酸素の光分解により
有害なオゾンガスが生成されてしまうことからも、かか
るレーザ光の通過する部分を密閉する必要があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来技術のよ
うに光源から基板に至るまでの間の光路を密閉し、窒素
ガスにより置換したりまたは真空にする構成は、露光装
置の構成が複雑化し大型化するため、製造コスト高につ
ながる。更に、露光装置のメンテナンスのたびに、密閉
空間を開放しメンテナンス後、再び真空吸引や窒素ガス
による置換が必要であり、露光装置を調整する上でも効
率が非常に悪い。

【０００５】本発明は、このような従来技術の問題点を
解消し、２００ｎｍ以下の中心波長を有する光を大気に
開放した光路で利用することのできるレーザ光源、及び
２００ｎｍ以下の中心波長を有する光により大気に開放
した光路を介して所定パターンを基板上に転写すること
のできる露光装置及び露光方法を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のレーザ光源は、
上記目的の達成のため、２００ｎｍ以下の中心波長を有
する光を出力するレーザ光源において、レーザ励起部を
挟む一対の共振器の間に密閉された酸素含有光路を設け
たことを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、一対の共振器の間にレー
ザ励起部が配置されるとともに密閉された酸素含有光路
が設けられるので、レーザ発振時に光が一対の共振器間
で往復するたびに密閉酸素含有光路を通過し、この通過
のたびに光は酸素による吸収を受ける。ところで、酸素
は、光の波長が２００ｎｍ以下において飛び飛びに光の
吸収帯を有する。一方、レーザ光の強度は、所定の波長
を中心に一定の分布を有する。従って、レーザ光源が２
００ｎｍ以下の中心波長を有する光を出力する場合、一
定の強度分布を有する光が密閉酸素含有光路を往復し増
幅されるたびに、酸素による光吸収帯において光が吸収
されその強度が減衰するが、酸素が光を吸収しない（ま
たは吸収する度合の低い）周波数帯においては光の強度
は減衰しない。この結果、本発明によるレーザ光源によ
れば、酸素により吸収される波長の光が一対の共振器間
で往復する間に大幅に減衰し、酸素に吸収されない波長
のレーザ光のみが一対の共振器間で増幅されレーザ光源
から放出される。

【０００８】従って、本発明によるレーザ光源からのレ
ーザ光は、酸素による光吸収の起きない波長の光である
から、大気に開放された光路を通過しても、レーザ光の
強度が減衰してしまうことはなく、有害なオゾンガスも
発生しない。よって、光源から露光すべき基板に至るま
での間の光路を密閉する必要はないし、このため、密閉
された光路を窒素等の気体で置換することも光路を真空
にすることも必要ない。また、酸素含有光路は密閉され
ているので、オゾンガスが発生しても大気中に漏洩しな
い。

【０００９】かかる酸素含有光路は酸素含有容器に形成
することができ、この酸素含有容器はレーザ光源の光軸
上に光透過部を有する。

【００１０】この場合、酸素含有容器内に一対の共振器
の少なくとも一方を配置することができ、また、酸素含
有容器内にレーザ励起部を設けることもできる。

【００１１】また、酸素含有容器内にオゾン吸着手段を
備えると、容器内に発生したオゾンガスを減少させるこ
とができて好ましい。特に、容器内のオゾン量が増える
と、酸素含有容器内における光吸収特性が変化し、レー
ザ光源から出力する光の波長が変化するおそれがある
が、これを防止できる。

【００１２】また、酸素含有容器内に設けた酸素検出手
段と、この検出出力に基づき酸素含有容器内の濃度を制
御するための酸素濃度制御装置とを備えることにより、
酸素含有容器内の濃度を一定に制御できるから、酸素濃
度の変動による光吸収特性の変動を防止でき、酸素含有
容器内の光吸収特性を一定にすることができる。

【００１３】また、一対の共振器の間に波長選択機構を
配置することにより、レーザ光源から出力する光の波長
を狭帯化することができる。このような波長選択機構
は、例えば、エタロン、回折格子、プリズム等により構
成できる。この波長選択機構によりレーザ光源の発振周
波数を酸素に吸収されない波長に設定できる。従って、
狭帯化されしかも酸素に吸収されない波長のレーザ光を
得ることができる。また、光が狭帯化されているため、
レーザ光源から出力されるレーザ光自体は小光量でよ
い。従って、光波長選択機構を構成する回折格子等の光
学素子の負担が少なく、光学素子の寿命が長くなる。

【００１４】また、レーザ光源から出力したレーザ光の
光量検出手段を備え、この光量検出出力に基づき波長選
択機構により出力レーザ光の光量が一定になるように調
整する構成にすることにより、レーザ光源から出力する
光の波長変動が生じて光量が変動しても、直ちに波長調
整ができ、波長が一定の安定したした光を出力すること
ができる。

【００１５】また、上述したレーザ光源を備え、２００
ｎｍ以下の中心波長を有するレーザ光により光学系を介
して所定パターンを基板上に転写する露光装置によれ
ば、レーザ光源から酸素に吸収されない波長の光が出力
することから、従来のような密閉光路を備える必要はな
い。このため、装置をより簡略化した構成にできる。ま
た、露光装置において、光の波長が２００ｎｍ以下の短
波長となると、色消しレンズの製造が困難となるため光
学系の縮小投影レンズには単色レンズが用いられること
から、レーザ光のスペクトルを狭帯化する必要がある
が、本発明による露光装置によれば、レーザ光源が波長
選択機構を備えることにより、狭帯化された光を得るこ
とができ、好ましい。

【００１６】また、かかる露光装置が上述した波長選択
機構を有するレーザ光源と、装置の光学系に設けられた
装置側光量検出手段とを具備し、この装置側光量検出手
段からの光量検出出力に基づき波長選択機構によりレー
ザ光源から出力するレーザ光の光量を調整するように構
成すると、レーザ光源から出力する光に波長変動が生じ
て光量が変化しても、直ちに波長選択機構により波長調
整ができる。露光装置の光学系は一定の波長に合わせて
設計されており、この構成によれば露光装置において波
長が一定の安定した光により露光を行うことができるの
で、好ましい。

【００１７】また、上述したレーザ光源からの２００ｎ
ｍ以下の中心波長を有するレーザ光により光学系を介し
て所定パターンを基板上に転写する露光方法によれば、
従来のように光を密閉光路を介さなくとも露光ができ、
また、オゾンガスの処理対策が不要となるので、露光工
程をより簡略化できる。

【００１８】また、かかる露光方法において、上述の波
長選択機構を有するレーザ光源からのレーザ光の光量を
光学系において検出するステップと、この光量検出出力
に基づき波長選択機構によりレーザ光源からのレーザ光
の波長を調整するステップとを具備することにより、レ
ーザ光源から出力する光に波長変動が生じても、直ちに
波長選択機構により波長調整ができる。露光工程におい
て用いられる光学系は一定の波長に合わせて設計されて
おり、この構成によれば波長が一定の安定した光により
露光工程を行うことができるので、好ましい。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態に
つき図面を参照しながら説明する。図１は、本発明によ
るレーザ光源の一例を概略的に示す図である。図１のレ
ーザ光源１０は、レーザ媒質ガスを内部に密閉し一対の
放電電極１１ｃ、１１ｄを備えるレーザ励起放電部１１
と、酸素ガスを内部に含み密閉された酸素含有密閉容器
１２と、これらのレーザ励起部１１と密閉容器１２とを
間に挟むように配置された一対の共振器１３ａ、１３ｂ
とを備え、各構成部分１１，１２，１３ａ、１３ｂはレ
ーザ光源１０の光軸ｐ上に配置されている。この酸素含
有容器１２内にレーザ光が通る密閉酸素含有光路が形成
され、この光路長は光軸ｐに沿った容器１２の長さに対
応する。

【００２０】レーザ励起放電部１１は、光軸ｐ方向の両
端面に光透過窓１１ａ、１１ｂを備える。また、放電電
極１１ｃ、１１ｄには、レーザ発振時に電源（図示省
略）から所定の電圧が加えられる。密閉容器１２は、光
軸ｐ方向の両端面に光透過窓１２ａ、１２ｂを備え、密
閉容器１１内の酸素ガスは所定の濃度に調整されてい
る。これらの光透過窓は、合成石英等の材料から構成で
きるが、２００ｎｍ以下の中心波長を有する光を透過で
きる材料であればいずれでもよい。

【００２１】共振器の一方１３ａは出力ミラーを構成
し、この出力ミラー１３ａは酸素含有密閉容器１２の光
透過窓１２ａと近接し対向するように配置されている。
密閉容器１２は、その光透過窓１２ｂがレーザ励起放電
部１１の光透過窓１１ａと近接し対向するように配置さ
れている。共振器の他方１３ｂは反射ミラーを構成し、
この反射ミラー１３ｂは、レーザ励起放電部１１の光透
過窓１１ｂと近接し対向するように配置されている。

【００２２】以上のレーザ光源１０の動作を説明する。
レーザ光源１０のレーザ励起放電部１１内のレーザ媒質
ガスを、例えば、ＡｒＦとすると、ＡｒＦエキシマレー
ザ光源が構成される。図７は、ＡｒＦエキシマレーザ光
源から放出されるレーザ光の波長に対する強度分布を表
す曲線（ａ）、及びこのレーザ光の強度分布内における
酸素ガスによる光吸収特性を表す曲線（ｂ）を示す。こ
のレーザ光は、強度分布曲線（ａ）に示すように、波長
１９３．４〜１９３．５ｎｍ近傍に中心波長を有する。
光吸収特性曲線（ｂ）には複数のピーク部と谷部とが存
在し、所定の波長に対応する谷部において酸素による吸
収のためレーザ光の強度が低下するが、所定の波長に対
応するピーク部において酸素による吸収はほとんどない
ことが分かる。

【００２３】レーザ光源１０の励起のため、レーザ励起
放電部１１の放電電極１１ｃ、１１ｄ間に所定の電圧を
加えると、両電極間に放電が生じ、この放電により生じ
る励起状態のエキシマの誘導放出によってレーザ光源１
０はパルス発振する。これにより、光軸ｐ方向の一対の
共振器１３ａ、１３ｂ間でレーザ光が反射し往復する。
このため、レーザ光が一対の共振器１３ａ、１３ｂ間で
往復するたびに酸素含有密閉容器１２内を通過し、この
通過のたびに光は酸素による吸収を受ける。

【００２４】図７のＡｒＦｅエキシマレーザ光の酸素に
よる光吸収特性曲線（ｂ）に示したように、レーザ光
は、所定の波長に対応する複数の谷部において酸素によ
り吸収されその強度が減衰するが、所定の波長に対応す
る複数のピーク部においては酸素による吸収の度合が低
いため光の強度は減衰しない。この結果、酸素により吸
収される波長の光が一対の共振器１３ａ、１３ｂ間で往
復する間に大幅に減衰し、酸素により吸収されない波長
の光のみが、一対の共振器１３ａ、１３ｂ間で増幅さ
れ、レーザ光源１０が発振臨界状態に達すると、出力ミ
ラー１３ａから放出される。

【００２５】従って、図１に示すレーザ光源１０から出
力されるレーザ光は、酸素による光吸収の起きない波長
の光であるから、大気に開放された光路を通過しても、
レーザ光の強度が減衰してしまうことはなく、有害なオ
ゾンガスも発生しない。

【００２６】なお、図１の例では、酸素含有密閉容器１
２は、レーザ励起放電部１１と出力ミラー１３ａとの間
に配置したが、レーザ励起放電部１１と反射ミラー１３
ｂとの間に配置してもよく、また、両方に配置してもよ
い。

【００２７】図２に本発明による他の実施の形態を示
す。図２に示すレーザ光源は、図１に示したものに中心
波長選択素子２１を加えた以外は、基本的構成が同じで
ある。図２のレーザ光源２０は、レーザ励起放電部１１
の光透過窓１１ｂと共振器の反射ミラー１３ｂとの間
に、中心波長選択素子として回折格子２１を配置したも
のである。このため、レーザ光源２０の光軸ｐは回折格
子２１により折り曲げられている。

【００２８】レーザ光が一対の共振器１３ａ、１３ｂ間
で往復するたびに酸素含有密閉容器１２内を通過し、こ
の通過のたびに光が酸素による吸収を受けると同時に、
光の中心波長が、回折格子２１により設定された波長に
狭帯化される。この回折格子２１の設定波長を酸素に吸
収されない波長に設定することができるから、狭帯化さ
れしかも酸素に吸収されない波長のレーザ光を得ること
ができる。

【００２９】また、回折格子２１に回転微動機構（図示
省略）を備えさせ、レーザ光源２０から出力するレーザ
光の波長変動が生じたら、回折格子２１を図２のｒ方向
に回転微動して光源の光軸ｐに対する傾きを変えること
により波長調整ができ、出力レーザ光の中心波長を一定
に保つことができる。なお、中心波長選択素子として
は、他に、エタロンやプリズムを使用できる。また、中
心波長選択素子は、酸素含有密閉容器１２と出力ミラー
１３ａとの間に配置してもよい。

【００３０】図３及び図４に、上述のレーザ光源１０，
２０における酸素含有密閉容器についての別の二例を示
す。図３に示す酸素含有密閉容器２２は、両端面に光透
過窓２２ａ、２２ｂを備え、その内表面にオゾン吸着材
２２ｃを設けている。このオゾン吸着材２２ｃは、例え
ば活性炭から構成できる。オゾン吸着材２２ｃにオゾン
ガスを吸着させることにより容器内に発生したオゾンガ
スを減少させることができる。特に、容器内のオゾン量
が増えると、酸素含有容器内における光吸収特性が変化
し、レーザ光源から出力する光の波長が変化するおそれ
があるが、これを防止できる。

【００３１】図４に示す酸素含有密閉容器３２は、両端
面に光透過窓３２ａ、３２ｂを備え、内部に酸素濃度測
定のための酸素センサ３２ｃを備える。この酸素センサ
３２ｃの濃度検出信号は、管３２ｄにより容器３２の内
部と連通され容器３２の外部に設けられた酸素濃度制御
装置３３に送られ、この信号に基づき酸素濃度制御装置
３３は、容器３２内の酸素濃度を調整するため酸素ガス
を供給し、また、窒素等の酸素以外のガスを供給する。
これにより、酸素含有密閉容器３２内の酸素濃度を一定
にできるため、酸素含有密閉容器３２における光吸収特
性を一定にすることができる。従って、レーザ光源から
出力するレーザ光の波長特性を一定に保つことができ
る。

【００３２】図５に本発明によるレーザ光源の別の例を
示す。図５に示すレーザ光源は、一対の共振器の両方を
酸素含有密閉容器中に配置した以外は、図１のものと基
本的構成が同じである。図５のレーザ光源４０は、レー
ザ媒質ガスを内部に密閉し一対の放電電極４１ｃ、４１
ｄを備えるレーザ励起放電部４１と、この放電部４１の
光透過窓４１ａ、４１ｂの両側であって光軸ｐ上に設け
られた酸素含有密閉容器４２，４４とを備える。

【００３３】この容器４２の一端面は光透過窓４２ａが
設けられ、他端面はレーザ励起放電部４１の光透過窓４
１ａの面に直接に接合されている。容器４４の一端面は
レーザ励起放電部４１の光透過窓４１ｂの面に直接に接
合され、他端面は閉鎖されている。このように、両容器
４２，４４は密閉された状態で、内部に一定濃度の酸素
ガスを含んでいる。容器４２の内部にはその光透過窓４
２ａに近接して対向するように出力ミラー４３ａが配置
されている。また、容器４４の内部には反射ミラー４３
ｂが配置されている。レーザ光は容器４２の光透過窓４
２ａから放出される。

【００３４】このようなレーザ光源４０において、一対
の放電電極４１ｃ、４１ｄ間に所定の電圧を加えること
で図１の場合と同様に、酸素による光吸収の起きない波
長の光が出力する。また、一対の共振器４３ａ、４３ｂ
の間の光軸ｐ上の光路は、密閉された容器４２，４４内
に形成されるから、レーザ光は容器４２の光透過窓４２
ａから放出されるまで、大気中を通らない。このため、
オゾンガスが外部で発生することは全くない。

【００３５】図６に本発明によるレーザ光源の更に別の
例を示す。図６に示すレーザ光源は、レーザ励起放電部
及び一対の共振器を酸素含有密閉容内に配置した以外
は、図５のものと基本的構成が同じである。図６のレー
ザ光源５０は、レーザ媒質ガスを内部に密閉し一対の放
電電極５１ｃ、５１ｄを備えるレーザ励起放電部５１
と、一対の共振器５３ａ、５３ｂと、この放電部５１と
一対の共振器５３ａ、５３ｂとを内部に含む酸素含有密
閉容器５２とを備える。

【００３６】この容器５２の一端面は光透過窓５２ａが
設けられ、他端面は閉鎖されている。レーザ励起放電部
５１は、光軸ｐ方向の両端面に光透過窓５１ａ、５１ｂ
が設けられ、容器５２内に配置されている。この放電部
５１を挟むように一対の共振器５３ａ、５３ｂも容器５
２内に配置されている。出力ミラー５３ａは、容器５２
の光透過窓５２ａに近接して対向するように配置され、
レーザ励起放電部５１の光透過窓５１ａに対して所定距
離だけ離れて配置されている。また、反射ミラー５３ｂ
は放電部５１の光透過窓５１ｂに対向するように配置さ
れている。容器５２は密閉された状態で、内部に一定濃
度の酸素ガスを含んでいる。レーザ光は容器５２の光透
過窓５２ａから放出される。

【００３７】このようなレーザ光源５０において、一対
の放電電極５１ｃ、５１ｄ間に所定の電圧を加えること
で図５の場合と同様に、酸素による光吸収の起きない波
長の光が出力する。また、かかる構成によると、酸素含
有容器５２内のオゾンガスの吸着や酸素濃度の調整を一
の容器内で行えば足りるので有利である。

【００３８】次に、図８及び図９により上述したレーザ
光源を備える露光装置について説明する。図８は、図２
に示したレーザ光源２０を備える露光装置の概略的な構
成を示す模式図である。レーザ光源２０から出力したレ
ーザ光は、ハーフミラー７１を通過し光強度一様化照明
部７２を通り反射ミラー７３で折りまげられた後、コン
デンサーレンズ７４を通って、レチクル７５を照射す
る。レチクル７５は回路パターン等が描かれたマスクで
ある。このレチクル７５を通過したレーザ光は、投影レ
ンズ７６を介し、ウエハー基板７７上で上記回路パター
ンを結像する。

【００３９】レーザ光源２０から出力したレーザ光は、
その一部がハーフミラー７１で反射されて受光素子７８
に入射し、レーザ光の光量を検出し、この検出信号を制
御装置７９に送る。レーザ光光量の検出信号に変動が生
じると、制御装置７９から駆動装置８０に信号が送ら
れ、駆動装置８０は、回折格子２１をｒ方向に回転微動
させ、レーザ光の光量が一定となるように光源の光軸ｐ
に対する回折格子２１の傾きを変える。

【００４０】レーザ光源２０から出力したレーザ光は回
折格子２１により狭帯化されている。そして、狭帯化さ
れた光に波長変動が起きると、受光素子７８における検
出光量が変化する。従って、レーザ光の光量が一定にな
るように回折格子２１の傾きを調整することによって、
出力レーザ光の中心波長を一定に制御することができ
る。露光装置の投影レンズ７６等の光学系は一定の波長
に合わせて設計されており、図８に示した露光装置の構
成によれば、波長が一定の安定した光により露光をウエ
ハ基板７７上で行うことができるので、好ましい。

【００４１】また、レーザ光源２０から出力するレーザ
光は、酸素に吸収されない波長のレーザ光であるから、
レーザ光の酸素吸収による強度の減少という問題はな
く、オゾンガスも発生しない。従って、従来のように投
影レンズ７６等の光学系を密閉し窒素雰囲気等に置換す
る必要がないため、装置構成を簡略化でき、装置のコス
トの低減を図ることができる。

【００４２】図９は、図２に示したレーザ光源２０を備
える露光装置の別の概略的な構成を示す模式図である。
図９に示す露光装置は、反射ミラー７３とコンデンサー
レンズ７４との間にハーフミラー８１を配置し、ハーフ
ミラー８１で反射した光が受光素子８２に入射し、レー
ザ光の光量を検出し、この検出信号を制御装置７９に送
る。レーザ光の光量の検出信号に変動が生じると、制御
装置７９から駆動装置８０に信号が送られ、駆動装置８
０は、レーザ光強度を一定とするように回折格子２１を
ｒ方向に回転微動させる。従って、図９に示した露光装
置の構成によれば、図８の場合と同様の効果を得ること
ができる。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、２００ｎｍ以下の中心
波長を有する光を大気に開放した光路で利用することの
できるレーザ光源を提供することができる。また、２０
０ｎｍ以下の中心波長を有する光により大気に開放した
光路を介して所定パターンを基板上に転写することので
きる露光装置及び露光方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ光源の一例を示す模式的な
側断面図である。

【図２】本発明による波長選択機構を備えるレーザ光源
の一例を示す模式的な側断面図である。

【図３】図１及び図２に示すレーザ光源において用いる
ことのできる酸素含有密閉容器の例を示す模式的な側断
面図である。

【図４】図１及び図２に示すレーザ光源において用いる
ことのできる酸素含有密閉容器の他の例を示す模式的な
側断面図である。

【図５】本発明によるレーザ光源の他の一例を示す模式
的な側断面図である。

【図６】本発明によるレーザ光源の別の一例を示す模式
的な側断面図である。

【図７】ＡｒＦエキシマレーザから出力される光の強度
分布曲線（ａ）及び酸素による光吸収特性曲線（ｂ）で
ある。

【図８】本発明による露光装置の一例を示す概略的な模
式図である。

【図９】本発明による露光装置の他の一例を示す概略的
な模式図である。

【符号の説明】

１０，２０，４０，５０ レーザ光源 １１，４１，５１ レーザ励起放
電部 １２，２２，３２、４２，５２、４４ 酸素含有密閉
容器 １１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ 光透過窓 ２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ 光透過窓 ４１ａ，４１ｂ，４２ａ 光透過窓 ５１ａ，５１ｂ，５２ａ 光透過窓 ２１ 回折格子 ２２ｃ オゾン吸着手
段 ３２ｃ 酸素センサ ３３ 酸素濃度制御
装置 １３ａ，１３ｂ 一対の共振器 ４３ａ，４３ｂ 一対の共振器 ５３ａ，５３ｂ 一対の共振器 ７１，８１ ハーフミラー ７５ レチクル ７６ 投影レンズ ７７ ウエハ基板 ７８，８２ 受光素子

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２００ｎｍ以下の中心波長を有する光を
   出力するレーザ光源において、 レーザ励起部を挟む一対の共振器の間に密閉された酸素
   含有光路を設けたことを特徴とするレーザ光源。
2. 【請求項２】 光透過部を有する酸素含有容器を備え、
   この酸素含有容器に前記酸素含有光路が形成される請求
   項１記載のレーザ光源。
3. 【請求項３】 前記酸素含有容器内に前記一対の共振器
   の少なくとも一方を配置した請求項２記載のレーザ光
   源。
4. 【請求項４】 前記酸素含有容器内に前記レーザ励起部
   を設けた請求項２または３記載のレーザ光源。
5. 【請求項５】 前記酸素含有容器内にオゾン吸着手段を
   備える請求項２、３または４記載のレーザ光源。
6. 【請求項６】 前記酸素含有容器内に設けた酸素検出手
   段と、この検出出力に基づき前記酸素含有容器内の濃度
   を制御するための酸素濃度制御装置とを備える請求項
   ２、３、４または５記載のレーザ光源。
7. 【請求項７】 前記一対の共振器の間に波長選択機構を
   配置した請求項１、２、３、４、５または６記載のレー
   ザ光源。
8. 【請求項８】 出力レーザ光の光量検出手段を備え、こ
   の光量検出出力に基づき前記波長選択機構により出力レ
   ーザ光の波長を調整する請求項７記載のレーザ光源。
9. 【請求項９】 請求項１から８のいずれかに記載のレー
   ザ光源を備え、このレーザ光により光学系を介して所定
   パターンを基板上に転写する露光装置。
10. 【請求項１０】 レーザ光により光学系を介して所定パ
    ターンを基板上に転写する露光装置において、 請求項７または８記載のレーザ光源と、 前記光学系に設けられた装置側光量検出手段と、を具備
    し、 前記装置側光量検出手段からの光量検出出力に基づき前
    記波長選択機構により前記レーザ光源から出力するレー
    ザ光の波長を調整することを特徴とする露光装置。
11. 【請求項１１】 請求項１から８のいずれかに記載のレ
    ーザ光源からのレーザ光により光学系を介して所定パタ
    ーンを基板上に転写する露光方法。
12. 【請求項１２】 レーザ光により光学系を介して所定パ
    ターンを基板上に転写する露光方法において、 請求項７または８記載のレーザ光源からのレーザ光の光
    量を前記光学系において検出するステップと、 この光量検出出力に基づき前記波長選択機構により前記
    レーザ光源からのレーザ光の波長を調整するステップ
    と、を具備する露光方法。