JPH0613678A - 外部ミラー形ガスレーザ発振器 - Google Patents
外部ミラー形ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH0613678A JPH0613678A JP17047992A JP17047992A JPH0613678A JP H0613678 A JPH0613678 A JP H0613678A JP 17047992 A JP17047992 A JP 17047992A JP 17047992 A JP17047992 A JP 17047992A JP H0613678 A JPH0613678 A JP H0613678A
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- Japan
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- laser
- ozone
- gas laser
- ultraviolet rays
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ管の発する放電光に含まれる紫外線
や、レーザ発振される紫外線によるオゾンの発生量を減
少させ、その結果としてレーザ出力の低下を防止する。 【構成】 防塵カバー７とレーザミラー５とガスレーザ
管４に囲まれた空間１２内に酸素吸着剤１３を設ける。
これにより空間１２内の酸素量を減少させ、オゾンの発
生量を減少させることができる。オゾンは紫外線を吸収
する特徴があり、レーザ発振の紫外線自身に透過ロスを
与える。また強い酸化力を有しているので、部品の酸化
や劣化を生じさせ、光学的特性を低下させる。以上のよ
うにオゾンに起因する出力低下は本発明によって防止さ
れる。また他の実施例では酸素吸着剤の代わりにオゾン
分解剤を設けることによって、発生したオゾンを再び酸
素へ分解する。これにより同じ目的が達成される。
や、レーザ発振される紫外線によるオゾンの発生量を減
少させ、その結果としてレーザ出力の低下を防止する。 【構成】 防塵カバー７とレーザミラー５とガスレーザ
管４に囲まれた空間１２内に酸素吸着剤１３を設ける。
これにより空間１２内の酸素量を減少させ、オゾンの発
生量を減少させることができる。オゾンは紫外線を吸収
する特徴があり、レーザ発振の紫外線自身に透過ロスを
与える。また強い酸化力を有しているので、部品の酸化
や劣化を生じさせ、光学的特性を低下させる。以上のよ
うにオゾンに起因する出力低下は本発明によって防止さ
れる。また他の実施例では酸素吸着剤の代わりにオゾン
分解剤を設けることによって、発生したオゾンを再び酸
素へ分解する。これにより同じ目的が達成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部ミラー形ガスレー
ザ発振器に関し、特に、防塵カバー内の構造に関する。
ザ発振器に関し、特に、防塵カバー内の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術として、ガスレーザの中でも
アルゴンレーザに関して説明する。従来のブリュースタ
窓とレーザミラー間の防塵構造を図２に示す。ここでは
窒素をフローする発振器について示している。
アルゴンレーザに関して説明する。従来のブリュースタ
窓とレーザミラー間の防塵構造を図２に示す。ここでは
窒素をフローする発振器について示している。
【０００３】アルゴンガスをイオン化してそのエネルギ
遷移によりレーザ発振を行うガスレーザ管４は、高出力
を得るために放電細管１に数＋Ａにも及ぶ大電流を流す
必要がある。この放電により約４００ｎｍ以下の領域の
紫外線が放出される。アルゴンの放電スペクトルが広く
紫外領域に存在していることは、理科年表等の資料によ
っても一般に知られていることである。
遷移によりレーザ発振を行うガスレーザ管４は、高出力
を得るために放電細管１に数＋Ａにも及ぶ大電流を流す
必要がある。この放電により約４００ｎｍ以下の領域の
紫外線が放出される。アルゴンの放電スペクトルが広く
紫外領域に存在していることは、理科年表等の資料によ
っても一般に知られていることである。
【０００４】放電により発生した紫外線の一部分は、ガ
スレーザ管４の軸方向に進み、ブリュースタ窓３とブリ
ュースタバルブ２を透過してガスレーザ管４の外へ放出
される。アルゴンレーザは緑〜青〜紫〜紫外の領域を効
率良く発振させることが目的であるために、ほとんどの
場合ブリュースタ窓３は可視〜紫外領域で透過率の良い
石英ガラスが用いられている。
スレーザ管４の軸方向に進み、ブリュースタ窓３とブリ
ュースタバルブ２を透過してガスレーザ管４の外へ放出
される。アルゴンレーザは緑〜青〜紫〜紫外の領域を効
率良く発振させることが目的であるために、ほとんどの
場合ブリュースタ窓３は可視〜紫外領域で透過率の良い
石英ガラスが用いられている。
【０００５】またブリュースタ窓３を支持しているブリ
ュースタバルブ２は、両者の気密シールの信頼性を上げ
るために、熱膨張率の同じ材料が好ましく、やはり石英
ガラスが用いられる。この様な理由から、ブリュースタ
窓３とブリュースタバルブ２には紫外領域迄透過率の良
い石英ガラスが用いられているために、放電により発生
した紫外線は効率良くガスレーザ管４外へ透過する。
ュースタバルブ２は、両者の気密シールの信頼性を上げ
るために、熱膨張率の同じ材料が好ましく、やはり石英
ガラスが用いられる。この様な理由から、ブリュースタ
窓３とブリュースタバルブ２には紫外領域迄透過率の良
い石英ガラスが用いられているために、放電により発生
した紫外線は効率良くガスレーザ管４外へ透過する。
【０００６】また、アルゴンレーザは３５０ｎｍ付近、
２７０ｎｍ付近にも発振波長を有しているために、これ
らの紫外線発振の動作時には、前述の放電による紫外線
に加え、レーザ発振器による発振光である紫外線もガス
レーザ管４外に放出される。
２７０ｎｍ付近にも発振波長を有しているために、これ
らの紫外線発振の動作時には、前述の放電による紫外線
に加え、レーザ発振器による発振光である紫外線もガス
レーザ管４外に放出される。
【０００７】以上の放電とレーザ発振とによりガスレー
ザ管４外に放出された紫外線は防塵カバー７の内部の空
間１２を透過し、オゾンを発生させる。
ザ管４外に放出された紫外線は防塵カバー７の内部の空
間１２を透過し、オゾンを発生させる。
【０００８】空気中に紫外線をあてると、空気中の酸素
をもとにオゾンが発生することは良く知られている。
をもとにオゾンが発生することは良く知られている。
【０００９】この防塵カバー７内部の空間１２に発生し
たオゾンは、紫外線を吸収するという特性から、紫外発
振時のレーザ出力を著しく低下させる。
たオゾンは、紫外線を吸収するという特性から、紫外発
振時のレーザ出力を著しく低下させる。
【００１０】また、オゾンの強い酸化力によって、防塵
カバー７内部の空間１２をかこんでいる防塵カバー７、
支持体６を構成する各種の部品（図２では調整機構等の
詳細部品は省略）の酸化が進行し、レーザミラー５やブ
リュースタ窓３に付く汚れの原因にもなる。
カバー７内部の空間１２をかこんでいる防塵カバー７、
支持体６を構成する各種の部品（図２では調整機構等の
詳細部品は省略）の酸化が進行し、レーザミラー５やブ
リュースタ窓３に付く汚れの原因にもなる。
【００１１】従来は、このオゾンをとり除くために、窒
素や空気を防塵カバー７内の空間１２にフローさせてい
た。
素や空気を防塵カバー７内の空間１２にフローさせてい
た。
【００１２】また、紫外発振動作に比べ出力の低下がゆ
るやかな可視発振動作では特別な対策をほどこしていな
い場合もあった。
るやかな可視発振動作では特別な対策をほどこしていな
い場合もあった。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の外部ミラー
形ガスレーザ発振器には、放電により発生した紫外線
と、紫外発振動作時の発振光である紫外線とによって防
塵カバー７内の空間１２にオゾンが発生するために、発
振光の紫外線が吸収されて出力が低下したり、周囲の部
品の酸化による光学部品の汚れや、光学部品の劣化によ
り、同じく出力が低下するといった課題があった。
形ガスレーザ発振器には、放電により発生した紫外線
と、紫外発振動作時の発振光である紫外線とによって防
塵カバー７内の空間１２にオゾンが発生するために、発
振光の紫外線が吸収されて出力が低下したり、周囲の部
品の酸化による光学部品の汚れや、光学部品の劣化によ
り、同じく出力が低下するといった課題があった。
【００１４】また、発生したオゾンを除去する方策とし
て、窒素や空気を防塵カバー７内の空間１２にフローさ
せるといったことが行われたが、装置が大がかりにな
る、コストが上がる、ランニングコストが大といった課
題があった。
て、窒素や空気を防塵カバー７内の空間１２にフローさ
せるといったことが行われたが、装置が大がかりにな
る、コストが上がる、ランニングコストが大といった課
題があった。
【００１５】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明に目的は、従来の技術に内在
する上記諸課題を解決することを可能とした新規な外部
ミラー形ガスレーザ発振器を提供することにある。
ものであり、従って本発明に目的は、従来の技術に内在
する上記諸課題を解決することを可能とした新規な外部
ミラー形ガスレーザ発振器を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る外部ミラー形ガスレーザ発振器は、放
電細管１とこの放電細管１内を放電させるために電極１
１と一対のブリュースタ窓３からなるガスレーザ管４
と、光共振器を構成するための一対のレーザミラー５
と、ガスレーザ管４とレーザミラー５を保持する支持体
６と、ガスレーザ管４とレーザミラー５の間を防塵する
防塵カバー７とを有し、さらにガスレーザ管４と防塵カ
バー７とレーザミラー５と支持体６によって囲まれた空
間１２内に存在する酸素を吸着し減少させるための酸素
吸着剤を空間１２の内部に備えて構成される。
に、本発明に係る外部ミラー形ガスレーザ発振器は、放
電細管１とこの放電細管１内を放電させるために電極１
１と一対のブリュースタ窓３からなるガスレーザ管４
と、光共振器を構成するための一対のレーザミラー５
と、ガスレーザ管４とレーザミラー５を保持する支持体
６と、ガスレーザ管４とレーザミラー５の間を防塵する
防塵カバー７とを有し、さらにガスレーザ管４と防塵カ
バー７とレーザミラー５と支持体６によって囲まれた空
間１２内に存在する酸素を吸着し減少させるための酸素
吸着剤を空間１２の内部に備えて構成される。
【実施例】次に本発明をその好ましい一実施例について
図面を参照して具体的に説明する。
図面を参照して具体的に説明する。
【００１７】図１は本発明に係る外部ミラー形ガスレー
ザ発振器の一実施例を示す縦断面図である。なお、外部
ミラー形ガスレーザ発振器の出力側と全反射側は基本的
に構造が類似しているので出力側のみを表示し一方を省
略している。
ザ発振器の一実施例を示す縦断面図である。なお、外部
ミラー形ガスレーザ発振器の出力側と全反射側は基本的
に構造が類似しているので出力側のみを表示し一方を省
略している。
【００１８】図１を参照するに、ガスレーザ管４とレー
ザ発振器を構成するレーザミラー５は、支持体６を介し
て固定され、相対的に位置決めされている。放電細管１
をはさみ両端に位置する一対の電極１１間で放電がスタ
ートすると、紫外線が放射され、ガスレーザ管４の軸方
向へ進んだ紫外線は、可視域から２００ｎｍ付近迄効率
良く透過する石英ガラス製のブリュースタ窓３とブリュ
ースタバルブ２を透過する。
ザ発振器を構成するレーザミラー５は、支持体６を介し
て固定され、相対的に位置決めされている。放電細管１
をはさみ両端に位置する一対の電極１１間で放電がスタ
ートすると、紫外線が放射され、ガスレーザ管４の軸方
向へ進んだ紫外線は、可視域から２００ｎｍ付近迄効率
良く透過する石英ガラス製のブリュースタ窓３とブリュ
ースタバルブ２を透過する。
【００１９】また、紫外発振動作時には、放電細管１と
レーザミラー５の相対位置により決定される光路を発振
光は通りブリュースタ窓３を透過する。
レーザミラー５の相対位置により決定される光路を発振
光は通りブリュースタ窓３を透過する。
【００２０】以上の２種類の紫外線が空間１２を通る
が、酸素吸着剤１３により空間１２内の酸素量が減少し
ているために、オゾンの生成量が抑えれる。
が、酸素吸着剤１３により空間１２内の酸素量が減少し
ているために、オゾンの生成量が抑えれる。
【００２１】なお、酸素吸着剤１３はその一例として
「エージレス」という品名で三菱瓦斯化学より市販され
ている。一般向には食品用の脱酸素材として量産されて
いるので、コスト的にも廉価である。
「エージレス」という品名で三菱瓦斯化学より市販され
ている。一般向には食品用の脱酸素材として量産されて
いるので、コスト的にも廉価である。
【００２２】また、酸素吸着剤１３の容器は、通気性が
良くかつ酸素吸着剤１３が、こぼれ出なければ良く、特
に材質形状を限定するものではない。また、その容器の
置き場所も空間１２内という部分以外は特に限定されな
い。
良くかつ酸素吸着剤１３が、こぼれ出なければ良く、特
に材質形状を限定するものではない。また、その容器の
置き場所も空間１２内という部分以外は特に限定されな
い。
【００２３】本発明の他の実施例として、酸素吸着剤の
代わりに、発生したオゾンを分解するためのオゾン分解
剤を防塵カバー７内の空間１２に設けたもので実現され
る。
代わりに、発生したオゾンを分解するためのオゾン分解
剤を防塵カバー７内の空間１２に設けたもので実現され
る。
【００２４】なおオゾン分解剤はその一つ例として「セ
カード」の品名で品川白煉瓦（株）より市販されてい
る。
カード」の品名で品川白煉瓦（株）より市販されてい
る。
【００２５】前記実施例と同様に、容器の材質、形状、
設置場所を限定するものでない。
設置場所を限定するものでない。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
酸素吸着剤１３によって防塵カバー７内の空間１２の酸
素量を減らし、オゾンの発生を抑えたので、オゾンの吸
収による紫外線出力の低下を防ぎ、またオゾンの強酸化
力に基づく部品の酸化による光学部品の汚れを抑えて、
レーザ出力の低下を防止するという効果が得られる。
酸素吸着剤１３によって防塵カバー７内の空間１２の酸
素量を減らし、オゾンの発生を抑えたので、オゾンの吸
収による紫外線出力の低下を防ぎ、またオゾンの強酸化
力に基づく部品の酸化による光学部品の汚れを抑えて、
レーザ出力の低下を防止するという効果が得られる。
【００２７】本発明によれば、また、従来使用されてい
た窒素や空気のフロー用の装置が不要になるために、装
置の大きさを縮小することができ、コストも抑えること
ができる。
た窒素や空気のフロー用の装置が不要になるために、装
置の大きさを縮小することができ、コストも抑えること
ができる。
【００２８】以上より本発明は、長寿命、小形、低価格
の外部ミラー形ガスレーザ発振器を提供することができ
る。
の外部ミラー形ガスレーザ発振器を提供することができ
る。
【図１】本発明に係る外部ミラー形ガスレーザ発振器の
一実施例を示す縦断面図である。
一実施例を示す縦断面図である。
【図２】従来における外部ミラー形ガスレーザ発振器の
縦断面図である。
縦断面図である。
１…放電細管 ２…ブリュースタバルブ ３…ブリュースタ窓 ４…ガスレーザ管 ５…レーザミラー ６…支持体 ７…防塵カバー ８…放電細管端面部品 ９…窒素配管（ｉｎ） １０…窒素配管（ｏｕｔ） １１…電極 １２…空間 １３…酸素吸着剤 １４…発振光
Claims (2)
- 【請求項１】 放電細管と前記放電細管内を放電させる
ための電極と、一対のブリュースタ窓からなるガスレー
ザ管と、光共振器を構成するための一対のレーザミラー
と、前記ガスレーザ管と前記レーザミラーを保持する支
持体と、前記ガスレーザ管と前記レーザミラー間を防塵
する防塵カバーとによって構成される外部ミラー形ガス
レーザ発振器において、前記ガスレーザ管と前記防塵カ
バーと前記レーザミラーと前記支持体によって囲まれた
空間内に存在する酸素を吸着し減少させるための酸素吸
着剤を前記空間内に備えたことを特徴とする外部ミラー
形ガスレーザ発振器。 - 【請求項２】 前記酸素吸着剤の代わりに、前記空間内
に存在するオゾンを分解し減少させるためにオゾン分解
剤を前記空間内に備えることを更に特徴とする請求項１
に記載の外部ミラー形ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17047992A JPH0613678A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17047992A JPH0613678A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613678A true JPH0613678A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15905714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17047992A Pending JPH0613678A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 外部ミラー形ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613678A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
| CN102769246A (zh) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 山东能源机械集团大族再制造有限公司 | 一种二氧化碳激光器 |
| JP2023059180A (ja) * | 2021-10-14 | 2023-04-26 | 川崎重工業株式会社 | レーザ照射装置 |
-
1992
- 1992-06-29 JP JP17047992A patent/JPH0613678A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
| CN102769246A (zh) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 山东能源机械集团大族再制造有限公司 | 一种二氧化碳激光器 |
| JP2023059180A (ja) * | 2021-10-14 | 2023-04-26 | 川崎重工業株式会社 | レーザ照射装置 |
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