JPH10287382A

JPH10287382A - 基板用トレイカセット

Info

Publication number: JPH10287382A
Application number: JP9388997A
Authority: JP
Inventors: Toshio Yoshida; 俊雄吉田
Original assignee: Yodogawa Kasei KK
Current assignee: Yodogawa Kasei KK
Priority date: 1997-04-11
Filing date: 1997-04-11
Publication date: 1998-10-27
Anticipated expiration: 2017-04-11
Also published as: JP3977481B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板等の基板を溝付き側板のリブ状の
棚片で支承する方式とは別の機構に基き、基板の大型化
ないし超大型化に対処しうるトレイ形のカセットを提供
することを目的とする。【解決手段】矩形骨格を形作る周枠(1) と、その周枠
(1) 間に架設された桟(2) とからなる基本構造を有する
格子状のトレイ形のカセットである。周枠(1) のうちの
左周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周枠(1B)により、主
枠を構成する。周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、桟
(2) とにより、副枠を構成する。主枠には、その上面よ
り低い位置に、主枠内側面または主枠底面から張り出す
張出部材(3)を設ける。主枠に付設の張出部材(3) 上お
よび副枠上には、基板(G) を下方から支承するための樹
脂ピン(4) を突設する。さらに主枠は、トレイの積み重
ねを可能にする入り組み係合構造に形成する。格子状の
トレイの底部に底板(5) を設けることもできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大型ないし超大型
のガラス基板等の基板を収容するトレイ形のカセットに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板などの基板を互いに接触しな
いように分離して収容するための基板用カセットとし
て、箱形の枠体の１対の相対向する側面を溝付き側板で
形成し、両溝付き側板の対応する溝間に基板を出入、収
容しうるようにしたものが普及している。溝付き側板の
形状やデザインには種々のものがあるが、いずれも基本
的には、カセットの内部側に向けて側板背肉部から所定
のピッチで平行に多数のリブ状の棚片が張り出した形状
を有している。隣接するリブ状の棚片間の空隙が溝とな
り、そこに基板が出入、収容される。

【０００３】このタイプのカセットには、たとえば、本
出願人の出願にかかる特開平２−２９５１５０号公報、
特開平３−１３３１５２号公報、特開平５−１４７６８
０号公報、特開平６−２４７４８３号公報、特開平６−
２８６８１２号公報、特開平８−４６０２２号公報など
に開示されたカセットがある。

【０００４】ところが、ガラス基板のサイズが大きくな
ると、剛体であるガラス基板であってもその撓みが過大
になるため、溝付き側板のリブ状の棚片でガラス基板を
支える支承方式によっては、棚片間のピッチをかなり大
きくしないとガラス基板の円滑な入出操作を行うことが
できず、１個のカセットに収容しうるガラス基板の枚数
も少なくなる。

【０００５】そこでガラス基板の大型化に対処すべく、
本出願人の出願にかかる特開平９−３６２１９号公報に
あっては、側板のリブ状の棚片の長さを従来に比し著し
く長くしたカセット（さらに詳しくは、棚片の張り出し
長さをカセット有効巾の１／１０〜１／４にしたカセッ
ト）が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ガラス基板の大型化は
益々進んでおり、たとえば、厚みが 0.7mmで、縦横が９
００mm×１１００mmとか１０００mm×１０００mmとかの
サイズになると、ガラス基板をその端部から１０〜２０
mmにおいて支持する従来の方法によっては、ガラス基板
中央付近の撓みは８０〜９０mmにもなる。そして、溝付
き側板のリブ状の棚片の長さを長くする特開平９−３６
２１９号公報の方式を採用しても、撓みを充分には抑制
できなくなる。

【０００７】本発明は、このような背景下において、ガ
ラス基板等の基板を溝付き側板のリブ状の棚片で支承す
る方式とは別の機構に基き、基板の大型化ないし超大型
化に対処しうるトレイ形のカセットを提供することを目
的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の基板用トレイカ
セットは、矩形骨格を形作る周枠(1) と、その周枠(1)
間に架設された桟(2) とからなる基本構造を有する格子
状のトレイ形のカセットであって、周枠(1) のうちの左
周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周枠(1B)により、主枠
が構成されると共に、それら主枠の上面は実質的に同一
平面にあり、周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、桟(2)
とにより、副枠が構成され、主枠は、その上面より低い
位置に、主枠内側面または主枠底面から張り出す張出部
材(3) を有し、主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠
上には、基板(G) を下方から支承するための樹脂ピン
(4) が突設されると共に、これら樹脂ピン(4) の上端
は、主枠上面で形成される平面よりも低位置の実質的に
同一平面にあり、さらに主枠は、トレイの積み重ねを可
能にする入り組み係合構造になされていることを特徴と
するものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。

【００１０】本発明の基板用トレイカセットは、矩形骨
格を形作る周枠(1) と、その周枠(1) 間に架設された桟
(2) とからなる基本構造を有し、全体は格子状のトレイ
形となっている。

【００１１】桟(2) は、矩形骨格を形作る周枠(1) に対
し、たとえば「−」、「＝」、「＋」、「キ」、「井」
の字形のように平行または直角に配置され、また場合に
よっては、「／」、「×」、「XX」のように斜めに配置
させたり、平行・直角形と斜め形とを混在させたり、後
述の図６に例示のように曲線状にしたりすることもでき
る。

【００１２】このトレイカセットにあっては、周枠(1)
のうちの左周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周枠(1B)に
より、主枠が構成されている。そしてそれら主枠の上面
は実質的に同一平面にある。

【００１３】また、周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、
桟(2) とにより、副枠が構成されている。

【００１４】上記の主枠は、その上面より低い位置に、
主枠内側面または主枠底面から張り出す張出部材(3) を
有している。この張出部材(3) は、主枠の全長にわたっ
て設けてよく（たとえば断面視で「Ｌ」のように）、主
枠に部分的に設けてもよい。軽量化の観点からは、張出
部材(3) を主枠に部分的に設ける方が有利である。さら
に張出部材(3) は、後述の図５に例示のように、トレイ
カセットの内側に向けて主枠から長く張り出すように設
けることも好ましい。またこの張出部材(3) は、主枠の
成形時に一体成形により形成されていてもよく、主枠に
事後的に取り付けるようにしてもよい。

【００１５】主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上
には、基板(G) を下方から支承するための樹脂ピン(4)
を突設する。樹脂ピン(4) の個数に限定はないが、たと
えば、張出部材(3) 上に合計で６個ないし２０個程度、
副枠上に３個ないし２０個程度とすればよい。そしてこ
れら樹脂ピン(4) の上端は、上記の主枠上面で形成され
る平面よりも低位置の実質的に同一平面にあるようにす
る。樹脂ピン(4) の高さは任意であるが、樹脂ピン(4)
の上端で基板(G) を下方から支承したときに、基板(G)
の上面が主枠上面で形成される平面よりも上にはみ出な
いようにすることが好ましく、また樹脂ピン(4) で支承
された基板(G) の背面が桟(2) に接触しないように留意
する。

【００１６】さらに主枠は、トレイの積み重ねを可能に
するように、入り組み係合構造に形成する。このときの
入り組み係合構造は、通常は主枠の４隅部に設けるだけ
でよいが、辺部に設けたり、４隅部と辺部との双方に設
けることもできる。

【００１７】上記においては、格子のみで構成された底
のないトレイ形のカセットについて述べたが、その格子
状のトレイの底部に底板(5) を設けることが好ましい。
底板(5) を設けると、樹脂ピン(4) の上端と基板(G) の
背面との摩擦によってたとえ摩耗ゴミが生じても、その
ゴミが下段の基板(G) の上面に落下することが防止され
るからである。底板(5) は、その上面が桟(2) の背面と
同一面になるように設けてもよく、その上面が桟(2) の
背面から若干離れた下方の位置に設けてもよい。なお底
板(5) を設けると、それを設けない場合に比し重量およ
びコストの点では若干不利に作用するので、ユーザーの
要望を考慮して、底板(5) のないトレイカセット、また
は底板(5) のあるトレイカセットとすればよい

【００１８】周枠(1) および桟(2) の材質は、樹脂、金
属、あるいは樹脂−金属複合体とし、通常は樹脂を用い
る。張出部材(3) の材質も、樹脂、金属、あるいは樹脂
−金属複合体とし、通常は樹脂を用いる。底板(5) の材
質は、通常は樹脂を用いる。

【００１９】樹脂ピン(4) は、基板(G) との摩擦によっ
ても発塵を生じがたい発塵防止性樹脂（たとえば、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイ
ミド、ポリアセタール、ポリアミド、超高分子量ポリエ
チレン、ポリテトラフルオロエチレン、各種エラストマ
ーなど）の成形体を用いることが望ましく、そのときに
はフィラーを実質的に配合しないナチュラル品を用いて
成形を行う。

【００２０】上記構造のトレイカセットに収容する基板
としては、ガラス基板、セラミックス基板をはじめとす
る各種の基板があげられ、特にガラス基板が重要であ
る。基板が大型ないし超大型であっても、何の問題もな
く対処できるという利点がある。

【００２１】〈作用〉溝付き側板のリブ状の棚片でガラ
ス基板をその両辺側で支承する従来の方式にあっては、
ガラス基板の大型化につれて撓みが大きくなり、また厚
みが薄いほど撓みが大きくなる。ガラス基板のサイズ
（巾×奥行×厚み）と最大撓み量との関係は、たとえば
次の表１に如くである。

【００２２】

【表１】ガラスサイズ重量基板端からの撓み量 (mm) (kg) 支持長 (mm) (mm) 550× 650×0.7 0.603 10 10 650× 830×0.7 0.910 10 20 900×1100×1.1 2.625 15 28 1000×1000×1.1 2.651 15 36

【００２３】支持長を長くすれば（つまり溝付き側板の
リブ状の棚片の長さを長くすれば）、撓み量は小さくな
るが、強度的な制約があり、またロボットのハンド（フ
ォーク）(6) の挿抜の邪魔になるので、おのずから限界
がある。

【００２４】本発明のトレイカセットにあっては、ガラ
ス基板等の基板を溝付き側板のリブ状の棚片で支承する
従来の方式とは別の機構に基き、格子状のトレイ形のカ
セットを用いている。そして、主枠に付設の張出部材
(3) 上および副枠上に突設した樹脂ピン(4) 上に基板
(G) を載置して、樹脂ピン(4) の上端で基板(G) を下方
から支承するようにしている。そのため、基板(G) が大
型ないし超大型であっても、基板(G) はほとんど撓むこ
となく確実に支承され、またロボットのハンド（フォー
ク）(6) による基板(G) の出入にも何ら支障を生じな
い。

【００２５】格子状のトレイの底部に底板(5) を設ける
と、樹脂ピン(4) の上端と基板(G)の背面との摩擦によ
ってたとえ摩耗ゴミが生じても、そのゴミが下段の基板
(G)の上面に落下することが防止される。

【００２６】張出部材(3) の張り出し長さを長くして、
その遊端側に樹脂ピン(4) を突設すると、基板(G) の撓
み量がさらに小さくなるので、より好ましいものとな
る。

【００２７】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。

【００２８】実施例１図１は本発明のトレイカセットの一例を示した斜視図で
ある。図２は図１のトレイカセットのＡ部の拡大図であ
る。図３は図１のトレイカセットのＢ部の拡大図であ
る。

【００２９】図１〜３のトレイカセットは、矩形骨格を
形作る周枠(1) と、その周枠(1) 間に架設された桟(2)
とでできている。周枠(1) および桟(2) は、たとえば高
分子量ポリカーボネートやポリエーテルイミドを射出成
形することにより得られる。

【００３０】周枠(1) のうちの左周枠(1L)、右周枠(1R)
および後方周枠(1B)により、主枠が構成されている。主
枠の上面は同一平面にある。

【００３１】周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と桟(2) と
により、副枠が構成されている。この実施例１では、桟
(2) は、前方周枠(1F)−後方周枠(B) 間に１本を、前方
周枠(1F)の上面と桟(2) の上面とが同一平面となるよう
に、架設してあり、また左周枠(1L)−右周枠(1R)間に２
本を、前方周枠(1F)の上面よりも桟(2) の上面が低くな
るように、架設してある。

【００３２】主枠のうち左周枠(1L)および右周枠(1R)に
は、その上面より低い位置に、主枠内側面から張り出す
張出部材(3) を、カセット内側に向けて水平方向に各４
個装着してある（図１参照）。そして、それらの張出部
材(3) のそれぞれの上面には、樹脂ピン(4) を突設して
ある（図２参照）。また、副枠のうち前方周枠(1F)−後
方周枠(1B)間に架設した桟(2) の上面にも、同じ樹脂ピ
ン(4) を計４個突設してある。これら１２個の樹脂ピン
(4) の上端は、主枠上面で形成される平面よりも低位置
の同一平面にあり、かつ樹脂ピン(4) の上端でガラス基
板(G) を支障したときにガラス基板(G) の上面が主枠上
面よりも上にはみ出さないような位置関係にしてある。
樹脂ピン(4) は、たとえばポリエーテルエーテルケト
ン、ポリエーテルイミドまたはエラストマーのナチュラ
ル品の射出成形により得られる。

【００３３】主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上
に突設した樹脂ピン(4) 上に載置されたガラス基板(G)
は、たとえば、厚みが 1.1mmとか 0.7mmとかいうように
薄く、かつ９００mm×１１００mmとか１０００mm×１０
００mmというように大型ないし超大型のサイズであって
も、前方周枠(1F)−後方周枠(1B)間に架設した桟(2)の
上面に設置した樹脂ピン(4) により中間部においても支
承されているので、撓み量はごくわずかになっている。
またガラス基板(G) の支承が樹脂ピン(4) の上端のみに
よってなされているので、ガラス基板(G) の背面に加わ
る摩擦力も最小限になっている。

【００３４】上記主枠のうちの４隅部は、トレイの積み
重ねを可能にする入り組み係合構造に形成されている
（図３参照）。

【００３５】上記構造を有するトレイカセットは積み重
ねられ、図１に示したように、ロボットのハンド（フォ
ーク）(6) を、前方周枠(1F)側から前方周枠(1F)とガラ
ス基板(G) との隙間に挿し込むことにより、ガラス基板
(G) の出入がなされる。

【００３６】実施例２図４は本発明のトレイカセットの他の一例を示した斜視
図である。

【００３７】この実施例２にあっては、実施例１のトレ
イカセットの格子状のトレイの底部に底板(5) を一体に
設けてある。

【００３８】実施例３図５は本発明のトレイカセットのさらに他の一例を示し
た斜視図である。

【００３９】この実施例３にあっては、実施例１のトレ
イカセットの格子状のトレイの底部に底板(5) を一体に
設けてあり、また張出部材(3) の張り出し長さを長くし
て、その遊端側に樹脂ピン(4) を突設してある。

【００４０】実施例１〜３に示したトレイカセットを比
較すると、この実施例３のトレイカセットが最もすぐれ
ている。

【００４１】実施例４図６は本発明のトレイカセットの別の一例を示した斜視
図である。

【００４２】この実施例４にあっては、実施例２（図
４）のトレイカセットにさらに変更を加え、桟(2) の一
部を曲線状に形成すると共に、副枠上への樹脂ピン(4)
の数を増やし、さらには正面側の左右１対の張出部材
(3) の張り出し長さを長くして、その遊端側に樹脂ピン
(4) を各２個突設するようにしてある。このトレイカセ
ットにあっては、副枠の強度が上がる上、支持点が多い
ので基板(G) の撓みが一段と小さくなり、しかもロボッ
トのハンド（フォーク）(6) の出入には何の支障も与え
ない。

【００４３】

【発明の効果】作用の項でも述べたように、本発明のト
レイカセットにあっては、ガラス基板等の基板を溝付き
側板のリブ状の棚片で支承する従来の方式とは別の機構
に基き、格子状のトレイ形のカセットを用いている。そ
して、主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上に突設
した樹脂ピン(4) 上に基板(G) を載置して、樹脂ピン
(4) の上端で基板(G) を下方から支承するようにしてい
る。そのため、基板(G) が大型ないし超大型であって
も、基板(G) はほとんど撓むことなく確実に支承され、
またロボットのハンド（フォーク）(6) による基板(G)
の出入にも何ら支障を生じない。格子状のトレイの底部
に底板(5) を設けたときは、樹脂ピン(4) の上端と基板
(G) の背面との摩擦によってたとえ摩耗ゴミが生じて
も、そのゴミが下段の基板(G) の上面に落下することが
防止される。張出部材(3) の張り出し長さを長くして、
その遊端側に樹脂ピン(4) を突設すると、基板(G) の撓
み量がさらに小さくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のトレイカセットの一例を示した斜視図
である。

【図２】図１のトレイカセットのＡ部の拡大図である。

【図３】図１のトレイカセットのＢ部の拡大図である。

【図４】本発明のトレイカセットの他の一例を示した斜
視図である。

【図５】本発明のトレイカセットのさらに他の一例を示
した斜視図である。

【図６】本発明のトレイカセットの別の一例を示した斜
視図である。

【符号の説明】

(1) …周枠、 (1L)…左周枠、(1R)…右周枠、(1B)…後方周枠、(1F)…
前方周枠、 (2) …桟、 (3) …張出部材、 (4) …樹脂ピン、 (5) …底板、 (6) …ロボットのハンド（フォーク）、 (G) …基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形骨格を形作る周枠(1) と、その周枠
(1) 間に架設された桟(2) とからなる基本構造を有する
格子状のトレイ形のカセットであって、周枠(1) のうちの左周枠(1L)、右周枠(1R)および後方周
枠(1B)により、主枠が構成されると共に、それら主枠の
上面は実質的に同一平面にあり、周枠(1) のうちの前方周枠(1F)と、桟(2) とにより、副
枠が構成され、主枠は、その上面より低い位置に、主枠内側面または主
枠底面から張り出す張出部材(3) を有し、主枠に付設の張出部材(3) 上および副枠上には、基板
(G) を下方から支承するための樹脂ピン(4) が突設され
ると共に、これら樹脂ピン(4) の上端は、主枠上面で形
成される平面よりも低位置の実質的に同一平面にあり、さらに主枠は、トレイの積み重ねを可能にする入り組み
係合構造になされていることを特徴とする基板用トレイ
カセット。
【請求項２】格子状のトレイの底部に底板(5) が設けら
れている請求項１記載の基板用トレイカセット。