JPH10291146A - ウエハの加工方法及び平面研削盤及びワークレスト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハの両面を同時に研削加工する際ワーク
の板面位置を一定にする。 【解決手段】 ワーク１７（ウエハ）の中心ＯＷをとお
るようにカップ砥石台３で研磨する。カップ砥石径をワ
ークのほぼ２分の１とすると、ワークが砥石からはみ出
る。このはみ出た部分を流体静圧スライド７７で両面か
ら支持する。ワークの板面が定位置に保持され、静圧軸
受のため振動しない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウエハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する加工方法及びその加工方法に用いられる平
面研削盤及びワークレストに関するものである。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】インゴットから切断し
たウエハは面粗度、形状精度共に粗である。そこでイン
ゴットから切断後のウエハをラップ仕上を行うと非常に
時間がかかり加工能率がよくない。またウエハの片面研
削においては、真空チャックでワークの片面を吸着する
ためインゴットから片面研削後のウエハの形状は吸着中
は平面であるが、真空チャックからワークを外すと形状
は元に戻り反る傾向にある。

【０００３】上述のラップ加工による加工能率及び加工
精度の向上を計るために試みられる研削によるウエハの
加工によれば、短い加工時間で所要の面精度が得られ
る。しかし乍らウエハのチャッキングを真空チャックに
よる限り、形状精度は得られない。

【０００４】本発明は上述従来の技術を更に発展させた
ものであり、短時間で面精度と形状精度が得られるウエ
ハの加工方法及びその加工方法に用いられる平面研削盤
及びワークレストを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本出願に係る第１の発明
はインゴットから切断後のウエハの加工方法において、
ウエハを保持してウエハを回転するワーク支持部材と、
砥石端面を対向させて砥石端面で研削を行う両頭平面研
削盤と、ウエハと砥石端面の接触部の砥石外周側からは
み出たウエハの面を保持するワークレストを準備して、
ワーク支持部材でウエハを回転駆動すると共にワークレ
ストでウエハを保持して、ウエハの中心を砥石研削作用
面がとおるように砥石をウエハの両面に作用させて研削
を行うことを特徴とするウエハの加工方法である。

【０００６】本出願に係る第２の発明はワークレストを
ウエハの両面に作用することを特徴とする第１の発明に
記載のウエハの加工方法である。

【０００７】本出願に係る第３の発明はワークレストを
ウエハの片面に作用することを特徴とする第１の発明に
記載のウエハの加工方法である。

【０００８】本出願に係る第４の発明は前記砥石は共に
研削作用のある砥石を用いて両面を同時に研削すること
を特徴とする第１の発明に記載のウエハの加工方法であ
る。

【０００９】本出願に係る第５の発明は前記砥石の内一
方は研削作用のある砥石を用いると共に他方の砥石は研
削作用が前記研削作用のある砥石に比較して研削作用の
小さい砥石を用いることを特徴とする第１の発明に記載
のウエハの加工方法である。

【００１０】本出願に係る第６の発明は前記砥石として
カップ砥石を用いることを特徴とする第１から第５の発
明の何れか１つに記載のウエハの加工方法である。

【００１１】本出願に係る第７の発明はウエハの直径の
ほぼ二分の一の直径の砥石を用いることを特徴とする第
１から第６の発明の何れか１つに記載のウエハの加工方
法である。

【００１２】本出願に係る第８の発明は砥石端面を対向
して配設され、砥石端面で円板形ワークの板面を加工す
る両頭平面研削盤において、ワークを保持してワークを
砥石軸と平行な中心で回転させるワーク支持部材と、砥
石と、前記砥石をワークの面に作用させた際に砥石から
はみ出るワークの面を保持するワークレストと、を有す
ることを特徴とする両頭平面研削盤である。

【００１３】本出願に係る第９の発明は前記ワークレス
トはワークの両面を保持するものであることを特徴とす
る第８の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００１４】本出願に係る第１０の発明は前記ワークレ
ストはワークの片面を保持するものであることを特徴と
する第８の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００１５】本出願に係る第１１の発明は前記ワークレ
ストはワークレストとワーク表面との間に流体静圧軸受
を構成するものであることを特徴とする第８又は第９も
しくは第１０の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００１６】本出願に係る第１２の発明は前記ワークレ
ストの少くとも片面側のワークレストはワークを保持す
る位置と、ワークを保持しない退避位置をとるように移
動部材に配設されていることを特徴とする第８から第１
１の発明の何れか１つに記載の両頭平面研削盤である。

【００１７】本出願に係る第１３の発明は前記移動部材
とは砥石台であることを特徴とする請求項１２に記載の
両頭研削盤である。

【００１８】本出願に係る第１４の発明は前記移動部材
とは砥石軸と平行な枢軸に支持され先端にワークレスト
を取り付けたアーム部材であることを特徴とする第１２
の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００１９】本出願に係る第１５の発明は前記移動部材
とは砥石台に対して砥石軸と同一中心で回転自在に支持
されている円環状テーブルであることを特徴とする第１
２の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００２０】本出願に係る第１６の発明は前記円環状テ
ーブルは流体静圧スライドで支持されていることを特徴
とする第１５の発明に記載の両頭平面研削盤である。

【００２１】本出願に係る第１７の発明はインゴットか
ら切断後のウエハの加工方法において、ウエハを保持し
てウエハを回転するワーク支持部材と、砥石端面で研削
を行う単頭平面研削盤と、ウエハと砥石端面の接触部の
砥石外周側からはみ出たウエハの面を保持するワークレ
ストを準備して、ワーク支持部材でウエハを回転駆動す
ると共にワークレストでウエハの面を保持して、ウエハ
の中心を砥石研削作用面がとおるように砥石をウエハの
面に作用させて研削を行うことを特徴とするウエハの加
工方法である。

【００２２】本出願に係る第１８の発明は前記砥石とし
てカップ砥石を用いることを特徴とする第１７の発明に
記載のウエハの加工方法である。

【００２３】本出願に係る第１９の発明はワークレスト
をウエハの砥石の研削作用面が接触する側の面に作用さ
せて用いると共にウエハの研削しない面をワーク支持部
材で支持することを特徴とする第１７又は第１８に記載
のウエハの加工方法である。

【００２４】本出願に係る第２０の発明は砥石端面で円
板形ワークの板面を加工する単頭平面研削盤において、
ワークを保持してワークを砥石軸と平行な中心で回転さ
せるワーク支持部材と、砥石と、前記砥石をワークの面
に作用させた際に砥石からはみ出るワークの面を保持す
るワークレストと、を有することを特徴とする単頭平面
研削盤である。

【００２５】本出願に係る第２１の発明は前記ワークレ
ストはワークの両面側に設けられていることを特徴とす
る第２０の発明に記載の単頭平面研削盤である。

【００２６】本出願に係る第２２の発明は前記ワークレ
ストはワークの一面側に設けられていることを特徴とす
る第２０の発明に記載の単頭平面研削盤である。

【００２７】本出願に係る第２３の発明は前記ワークレ
ストはワークレストとワーク表面との間に流体静圧スラ
イドを構成するものであることを特徴とする第２０又は
第２１もしくは第２２の発明に記載の単頭平面研削盤で
ある。

【００２８】本出願に係る第２４の発明は前記ワークレ
ストはワークを保持する位置と、ワークを保持しない退
避位置をとるように移動部材に配設されていることを特
徴とする第２０から第２３の発明の何れか１つに記載の
単頭平面研削盤である。

【００２９】本出願に係る第２５の発明は前記移動部材
とは砥石台であることを特徴とする第２４の発明に記載
の単頭平面研削盤である。

【００３０】本出願に係る第２６の発明は前記移動部材
とは砥石軸と平行な枢軸に支持され先端にワークレスト
を取り付けたアーム部材であることを特徴とする第２４
の発明に記載の単頭平面研削盤である。

【００３１】本出願に係る第２７の発明は前記移動部材
とは砥石台に対して砥石軸と同一中心で回転自在に支持
されている円環状テーブルであることを特徴とする第２
４の発明に記載の単頭平面研削盤である。

【００３２】本出願に係る第２８の発明は前記円環状テ
ーブルは流体静圧スライドで支持されていることを特徴
とする第２７の発明に記載の単頭平面研削盤である。

【００３３】本出願に係る第２９の発明は円板状ワーク
に回転を与え、砥石端面で前記ワーク両面又は片面の一
部に研削作用面を切り込んで研削を行う両頭研削盤のワ
ークレストであって、ワークを間にしてワーク両面又は
片面に接触又は圧力媒体を介して接近してワークの板面
を保持するワーク保持部材を有することを特徴とするワ
ークレストである。

【００３４】本出願に係る第３０の発明は前記ワークレ
ストのワーク保持部材はワークとの対向面に隙間を有し
てこの隙間へ圧力媒体を供給する流体通路を有しワーク
とワーク保持部材間に流体静圧スライドを構成すること
を特徴とする第２９の発明に記載のワークレストであ
る。

【００３５】本出願に係る第３１の発明は前記圧力媒体
は気体であることを特徴とする第２９又は第３０の発明
に記載のワークレストである。

【００３６】本出願に係る第３２の発明は前記圧力媒体
は液体であることを特徴とする第２９又は第３０の発明
に記載のワークレストである。

【００３７】本出願に係る第３３の発明は前記ワーク保
持部材はワークの面を保持する位置と、ワークから退避
した位置と、をとる移動部材に設けられていることを特
徴とする第２９から第３２の発明の何れか１つに記載の
ワークレストである。

【００３８】本出願に係る第３４の発明は前記移動部材
はワークの板面に平行な方向にワーク保持部材を移動
し、ワーク保持部材をワークに対向する位置と、ワーク
に対向しない位置とをとる可動部材であること特徴とす
る第３３の発明に記載のワークレストである。

【００３９】本出願に係る第３５の発明は前記移動部材
はワークの板面と接触又は接近した位置と、ワークの板
面に対向してワークから離れた位置と、をとる可動部材
であることを特徴とする第３３の発明に記載のワークレ
ストである。

【００４０】本出願に係る第３６の発明は前記移動部材
は両頭平面研削盤の砥石台が兼ねることを特徴とする第
３５の発明に記載のワークレストである。

【００４１】本出願に係る第３７の発明は前記移動部材
は両頭平面研削盤の砥石軸に平行な枢軸に回動自在に支
持され先端にワーク保持部材を有するアーム部材である
ことを特徴とする第３４の発明に記載のワークレストで
ある。

【００４２】本出願に係る第３８の発明は前記移動部材
は両頭平面研削盤の砥石軸を中心に回動自在に砥石台に
設けられていることを特徴とする第３４の発明に記載の
ワークレストである。

【００４３】本出願に係る第３９の発明は前記移動部材
は砥石台との間に流体静圧スライドを構成していること
を特徴とする第３８の発明に記載のワークレストであ
る。

【００４４】

【従来の技術】シリコンウエハなどのウエハはインゴッ
トをインナソー又はワイヤソーで切断後、ラップ盤で研
磨仕上を行っている。

【００４５】一方ウエハを研削により仕上げることが例
えば実登３０２８７３４号公報、機械と工具、１９９５
年７月号第６０頁から第６４頁、砥粒加工学会誌Ｖｏ
ｌ．３９Ｎｏ．４ １９９５．ＪＵＬ．第２０頁から第
２３頁等に開示されている。

【００４６】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態
を、図１〜図１８に基づいて詳細に説明する。

【００４７】（実施の形態１）図１〜図４に示すよう
に、この実施の形態の両頭平面研削盤は下部フレーム１
１を備え、その下部フレーム１１上には上部フレーム１
１１が固定されている。下部フレーム１１には下部砥石
回転昇降機構１２及びワーク支持部材１４が装設され、
上部フレーム１１１には上部砥石回転昇降機構１３が装
設されている。両砥石回転昇降機構１２，１３には夫々
上下部回転砥石１５，１６が配設され、それらの回転砥
石１５，１６の上部または下部端面の研削作用面１５
ａ，１６ａが互いに平行となるように対向配置されてい
る。そして、薄板状のワーク１７がワーク支持部材１４
に支持された状態で、両砥石回転昇降機構１２，１３の
回転砥石１５，１６間に挿入配置され、それらの回転砥
石１５，１６の研削作用面１５ａ，１６ａにより、ワー
ク１７の両面が同時に研削されるようになっている。

【００４８】図２及び図３に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構１２の砥石台２０は下部フレーム１１上に
いわゆるＶ平のガイド２１を介して、下部回転砥石１５
の回転軸線と直交する方向へ移動可能に支持されてい
る。下部砥石台移動用モータ２２は下部フレーム１１の
側部に配設され、このモータ２２の回転により、砥石台
２０に固定したボールナット２３ａにねじ込まれたボー
ルねじ２３を介して砥石台２０が水平横方向に移動す
る。下部軸支筒２４は砥石台２０と一体に設けられた上
下方向のガイド２４ａを介して下部回転砥石１５の回転
軸線方向へ昇降可能に支持されている。下部砥石台昇降
用モータ２５は砥石台２０の下部においてガイド部２４
ａの側部に配設され、このモータ２５の回転により、ウ
ォームとウォームホイールで構成される回転伝達機構２
６及び下部軸支筒２４に固定されたブラケット２４ｂに
固定された図示されないボールナットにねじ込まれたボ
ールねじ２７を介してガイド部２４ａに案内されて下部
軸支筒２４が昇降される。なお、この昇降ストロークは
わずかである。

【００４９】下部砥石軸２８は下部軸支筒２４内に回転
自在に支持され、その上端に一体的に形成された砥石ホ
ルダ２９を介して下部回転砥石１５が装着されている。

【００５０】砥石駆動モータ３４は下部軸支筒２４の内
部に配設され、そのステータは下部軸支筒２４に嵌入固
定され、そのロータは下部砥石軸２８に嵌入固定され研
削加工に際しては、このモータ３４の回転により下部砥
石軸２８を介して下部回転砥石１５が高速回転する。

【００５１】図３に示すように、前記上部砥石回転昇降
機構１３の上部軸支筒３８は上部フレーム１１１と一体
のガイド３９を介して、下部回転砥石１６の回転軸線方
向へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ４０は上
部フレーム１１１の側部に配設され、このモータ４０の
回転により、上部軸支筒３８に固定されたブラケット３
８ａに嵌入固定されたボールナット４１ａにねじ込まれ
たボールねじ４１を介して上部軸支筒３８が昇降され
る。

【００５２】上部砥石軸４２は前記上部軸支筒３８内に
回転可能に支持され、その下端には一体的に形成された
砥石ホルダ４３を介して上部回転砥石１６が装着されて
いる。砥石駆動モータ４８は上部軸支筒３８の内部に配
設され、そのステータは上部軸支筒３８に嵌入固定さ
れ、そのロータは上部砥石軸４２に嵌入固定され研削加
工に際して、このモータ４８の回転により、上部砥石軸
４２を介して上部回転砥石１６が高速回転する。

【００５３】図２、図４に示すように、前記ワーク支持
部材１４の支持台５２は上下部の両砥石回転昇降機構１
２，１３間において、下部フレーム１１上に配設されて
いる。スライドテーブル５３は支持台５２上の下部回転
砥石１５の両側に配設された一対のガイドレール５４を
介して、下部砥石回転昇降機構１２の砥石台２０の移動
方向と同方向へ移動可能に支持されている。図４に示す
ようにスライドテーブル移動用モータ５５は支持台５２
上に配設され、このモータ５５の回転により、このモー
タ５５のモータ軸に連結されたボールねじ５６がスライ
ドテーブル５３に固定されたボールナット５６ａにねじ
込まれていてスライドテーブル５３が移動可能となって
いる。

【００５４】円環状の回転板５７は前記スライドテーブ
ル５３内に配され、スライドテーブル５３に回転自在に
支持される３個のガイドローラ５８を介して回転可能に
支持されている（図５参照）。回転板５７は円環状の肉
厚の外周枠５７ａにワーク支持板６０を装着してある。
外周枠５７ａの下部外周にはギヤ５９が形成されてい
る。ワーク支持板６０はワーク１７より薄く形成され、
外周枠５７ａの下面にその重力で撓んで変形しないよう
に図示しないテンション機構を介して、水平に張設さ
れ、その中心にはワーク１７を着脱可能にセットするた
めのセット穴６０ａが形成されている。このセット穴６
０ａはワーク１７が遊嵌する直径を有する。回転板回転
用モータ６１はスライドテーブル５３上に配設され、こ
のモータ６１のモータ軸には回転板５７のギヤ５９に噛
合するギヤ６２が固定されている。そして、このモータ
６１の回転により、ギヤ６２，５９を介して回転板５７
が回転する。上記外周枠５７ａの内径は回転板５７に対
してオフセットして降下してくる上部回転砥石１６がワ
ーク支持板６０へ接近し得る直径を有する。

【００５５】図４に示すように上記ワーク支持板６０の
セット穴６０ａにはインゴットから切断された未研削の
ウエハであるワーク１７の結晶方位の基準となるノッチ
やオリフラ（オリエンテーションフラット）等の切欠部
１７ａに係合するように内周側へ向って突出するワーク
駆動部６０ｂが設けてある。このワーク１７の切欠部１
７ａの形状は本実施の形態のようなＶ溝状のノッチ又は
ワーク外周の円弧を切るオリフラを縁とした形状であ
り、前記駆動部６０ｂはワークの切欠部１７ａをほぼ補
完する形状としてある。ただし、ワーク１７の切欠部１
７ａは結晶方位を知るための位置以外にワーク１７を駆
動するためにワーク１７に別に設けてもよい。

【００５６】上述のワークセット穴６０ａは本例では円
であるが、円に限らずワーク１７の位置が定まる形状で
あればよいので例えば、ワーク１７の外周を等配した少
なくとも３個所において、ワーク１７の外周に接するよ
うにしてもよい。

【００５７】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。

【００５８】さて、この両頭平面研削盤において、研削
加工を行う場合には、ワーク１７がワーク支持部材１４
のワーク支持板６０に遊嵌された状態で、上下両砥石回
転昇降機構１２，１３の上下部回転砥石１５，１６間に
挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降機構
１２，１３の上下部回転砥石１５，１６が高速回転され
るとともに、回転板回転用モータ６１が低速で回転駆動
され、ワーク支持板６０は回転駆動手段としてのギヤ６
２，５９を介して回転され、セット穴６０ａに保持され
たワーク１７が回転する。そして、上部砥石回転昇降機
構１３の上部回転砥石１６がワーク１７に向って下降接
近されて、両回転砥石１５，１６の研削作用面１５ａ，
１６ａによりワーク１７の両面が同時に研削される。

【００５９】図７は研削工具の研削作用面を見る正面
図、図８は図７の中心を含む研削工具の縦断面図であ
る。前述した回転砥石（研削工具）１５，１６は本実施
の形態では同一部材が用いられる。ここではこの研削工
具の全体を符号１で表わす。

【００６０】この研削工具１は鉄製円板の台板２の端面
に台板２の直径よりわずかに小さく砥石軸と同心の回転
砥石としてのダイヤモンド砥石３を備えている。このダ
イヤモンド砥石３は幅をもって円環状に配せられてい
る。

【００６１】このダイヤモンド砥石３はダイヤモンド砥
粒を結合剤で固めると共に台板２に固着したものであ
る。

【００６２】ダイヤモンド砥石３の研削作用面３ａは砥
石軸に対する直角な同一平面上にある。台板２の背面に
は円筒形の凹形嵌合部２ａでもって台板２と同径の砥石
ホルダ６（前述の符号２９，４３に代えて用いる）の凸
形嵌合部６ａに嵌合し、台板２の背面と砥石ホルダ６の
前面を密着させ台板２のボルト穴を挿通するボルト７を
砥石ホルダ６にねじ込み固定されている。

【００６３】図７にはダイヤモンド砥石３とワーク１７
の寸法、位置関係が示されている。ワーク１７がワーク
セット穴６０ａにセットされると、ワークセット穴６０
ａの中心とワーク１７の中心は一致する。このワーク中
心０Ｗ上をダイヤモンド砥石３が通るようにダイヤモン
ド砥石３の中心０Ｇはワーク中心０Ｗからオフセットｅ
している。このダイヤモンド砥石３の半径方向の砥石面
３ａの二等分点をとおり０Ｇを中心とする平均直径を砥
石平均径というものとすると、本例では砥石平均径はワ
ーク１７の直径の二分の一となっている。この砥石平均
径はワーク１７の直径の二分の一から研削作用面３ａの
半径方向の幅を引いた直径、即ちダイヤモンド砥石３の
砥石外径がワーク１７の直径の二分の一までの範囲まで
は理論上ワーク１７の表面を全面研削できるが実用上研
削されないワーク表面が生じないようにするためには砥
石外径がワーク１７の直径の二分の一より大きい方が望
ましい。

【００６４】一方、回転板５７の外周枠５７ａ内へ上部
砥石１６が進入しなければならないので、砥石平均径を
Ｄｇ、砥石ホルダ（又は台板２）６の直径をＤｐ、外周
枠５７ａの内径をＤｆとすると、Ｄｇ＋Ｄｐ＜Ｄｆとな
る。従って、砥石径Ｄｇはワーク１７の直径の二分の一
よりいくら大きくてもダイヤモンド砥石３によるワーク
１７の研削は可能であるが、砥石ホルダ６の直径Ｄｐが
大きいと外周枠５７の直径が大きくなる。又ワーク中心
０Ｗと砥石中心０Ｇのオフセット量ｅが大きくなる。従
って砥石平均径Ｄｇをワーク１７の直径のほぼ二分の一
とすると砥石回りの装置を小さくまとめるのに効果があ
る。

【００６５】図２、図７に示すようにワーク７と上下部
砥石１５，１６の接触面の砥石外周側からはみ出たワー
ク１７の両面を保持する上下部のワークレスト７１，７
２が設けられている。下部ワークレスト７１は下部フレ
ーム１１上に固定（図２）又は下部フレーム１１に固定
された流体圧作動のロータリアクチュエータ７３の竪軸
の出力軸７３ａに根本の固定されたアーム７４上に配さ
れている（図７）。

【００６６】図２の一部拡大図の図１７に示すように下
部ワークレスト７１は下部フレーム１１又はアーム７４
上に固定されたベース７５上にデイスタンスピース７６
を介して下部流体静圧スライド７７が設けてある。図７
に示すようにこの流体静圧スライド７７のスライド面７
７ａは回転板中心０Ｗと砥石中心０Ｇを結ぶ直線を対称
線としてこの直径の両側の研削工具１とワーク１７の接
触部からはみ出たワーク１７の面内に対向するように小
隙間をおいて配設されている。下部流体静圧スライド７
７のスライド面７７ａには図示されないがポケットが設
けられこのポケットに向って供給される圧力流体の通路
が設けてある。ただし、ポケットはなくても静圧流体膜
は形成されるのでポケットなしの場合も採用できる。即
ち、ベース７５の圧力流体入口７５ａ、流体通路７５
ｂ、このベース７５に密封輪７８を介して嵌入している
下部流体静圧スライド７７の流体通路７７ｂ、この流体
通路７７ｂとスライド面７７ａに設けた図示されないポ
ケットとの間と流体通路７７ｂとを連通しているオリフ
イス７７ｃが連設されていて、圧力流体入口７５ａから
供給される圧力流体が下部流体静圧スライド７７のスラ
イド面７７ａとワーク１７の下面の対向面間に流入す
る。スライド面７７ａとワーク１７下面へ供給された圧
力流体は上述のポケット外のワーク１７下面に対向する
スライド面７７ａの環流口より環流する（図示されな
い）。なお、この環流口をなくしてワーク１７とスライ
ド面７７ａ間に供給された圧力流体をワーク１７とスラ
イド面７７ａ間の隙間から外部空間へ流出させ静圧、動
圧を利用するハイブリッド流体圧スライドとしてもよ
い。

【００６７】上部ワークレスト７２は上部流体静圧スラ
イド本体８１を有し、シリンダボデイ７９ａとシリンダ
ブッシュ７９ｂとシリンダふた７９ｇとで流体圧シリン
ダ７９を構成し、この中にピストン８１ｅと一体的の上
部流体静圧スライド本体８１を上下動可能に設けてあ
る。この上部流体静圧スライド本体８１への圧力流体の
供給はシリンダボデイ７９ａに設けた圧力流体入口７９
ｃ、シリンダブッシュ７９ｂの穴７９ｄ、上部流体静圧
スライド本体８１の外周溝８１ａ、上部流体静圧スライ
ド本体８１に設けた流体通路８１ｂ、ワーク１７と上部
流体静圧スライド本体８１の表面のスライド面８１ｄに
設けたポケットとの間とこの流体通路８１ｂとの間を連
通するオリフイス８１ｃを通じて行われ、このポケット
に供給された圧力流体は下部流体静圧スライド７７同様
に環流される。なお、ハイブリッド流体圧スライドとし
てもよい。

【００６８】この上部流体静圧スライド本体８１はピス
トン８１ｅの両側へ圧力流体出入口７９ｅ，７９ｆから
選択的に流出入させたり、圧力流体を共に供給しないこ
とにより制御される。即ち、下部シリンダ室に圧力流体
を流入し、上部シリンダ室を無圧とすると上部流体静圧
スライド本体８１は上昇し、逆に上部シリンダ室に圧力
流体を流入し下部シリンダ室を無圧すると上部流体静圧
スライド本体８１は下降する。速度制御は無圧側をブリ
ードオフすることにより制御するのが適当である。また
両シリンダ室を無圧とすると上部流体静圧スライド本体
８１は自重で下降しようとする。

【００６９】このように構成された上部流体静圧スライ
ドを有する上部ワークレスト７２は上部フレーム１１１
に固定され又は、上部軸支筒３８に固定される。もしく
は独立した図示されない昇降装置で上下動可能とするこ
ともできる。更に又、下部ワークレスト７１と同様アー
ムでもってワーク１７に沿って可動としワーク１７の面
を保持する位置とワーク１７外へ退避する位置をとるよ
うにしてもよい。

【００７０】上述圧力流体としては気体、液体のものが
考えられるが気体としては圧縮空気、流体としては油、
研削液等が用いられる。

【００７１】上記構成における作用について述べる。下
部流体静圧スライド７７はワーク１７の下面を保持する
位置にスライド面７７ａが位置している。上部流体静圧
スライド本体８１はワーク１７の上面を保持する位置か
ら退避している。この退避位置はシリンダ７９に対して
上部流体静圧スライド本体８１が上昇した位置が少くと
も必要であるが、上述したように上部軸支筒３８と共に
上昇している場合は後述の上部軸支筒３８を下降して上
部砥石１６を下降後に上部流体静圧スライド本体８１を
シリンダ７９に対して下降位置をとらせる。上部回転砥
石１６を上昇させた状態でスライドテーブル５３を移動
してワークセット穴６０ａの中心０Ｗを研削工具１の中
心０Ｇとオフセットｅして位置させる。このオフセット
ｅはダイヤモンド砥石３の平均半径である。ワーク中心
０Ｗは必ずダイヤモンド砥石３に重なる必要がある。こ
こで下部回転砥石１５を上昇してワーク支持板６０下面
に近接させ、ワーク１７をワーク１７の切欠部１７ａを
ワークセット穴６０ａ内へ突出しているワーク駆動部６
０ｂに係合させてワーク１７をワークセット穴６０ａ内
へ嵌め込み、下部回転砥石１５上に載置する。これによ
ってワーク１７の上下面はワーク支持板６０上下面より
も夫々上下へ出ている。ここで上部回転砥石１６を下降
してワーク１７に接近する。そして、上部流体静圧スラ
イド本体８１のスライド面８１ｄをワーク１７の上面へ
向って退避位置から移動する。この際上部流体静圧スラ
イド本体８１はシリンダ７９に対して下降限度位置まで
下降しない位置でスライド面８１ｄがワーク１７上面に
のるようにする。

【００７２】ここで上下部ワークレスト７１，７２の上
下部流体静圧スライドに夫々圧力流体が供給され、ワー
ク１７の両面の砥石１５，１６との対向面からはみ出し
た部分１７ｂが上下部流体静圧スライドにより保持され
る。このワーク１７の保持は下部流体静圧スライド７７
のスライド面７７ａに対してワーク１７の下面が定ま
り、上部流体静圧スライド本体８１がワーク１７上面に
のることにより行われる。この場合上部流体静圧スライ
ド本体８１のスライド面８１ｄとワーク１７の表面との
間に適当な静圧流体膜が生成するように、上部流体静圧
スライド本体８１の自重のみによってワーク１７に向っ
て加圧するか、或はシリンダ７９でもって加圧を行う。
なお、このシリンダ７９の圧力媒体は気体液体何れも採
用できる。砥石駆動モータ３４，４８、ワーク駆動用の
回転板回転用モータ６１を付勢すると夫々上下部回転砥
石１５，１６、ワーク１７は回転する。ここで上部回転
砥石１６を下降してワーク１７に切り込むと、ダイヤモ
ンド砥石３はワーク１７の両面を夫々研削する。この研
削の際にワーク１７のダイヤモンド砥石３の研削作用面
３ａが作用している処（ワーク１７の中心をとおる円弧
帯）以外の砥石接触面からはみ出した部分はワークレス
ト７１，７２で両面より保持する。

【００７３】ワーク１７の加工が終ると上部砥石１６、
上部流体静圧スライド本体８１を上昇し、下部砥石１５
から外周側にはみ出しているワーク１７の部分１７ｂ
（図７参照）を持ち上げてワーク１７をセット穴６０ａ
から抜いてワーク１７を取り出す。このように上部流体
静圧スライド本体８１を自重又はシリンダ７９の加圧で
もって、静圧スライド面８１ｄとワーク１７間の静圧流
体膜の負荷能力と均り合わせることによって、機体等の
熱変形に対して対応でき、ワーク１７を常に正確に保持
できるものである。

【００７４】上述においてワーク１７としてウエハの直
径２００ｍｍ、ワーク回転速度１０ｒ．ｐ．ｍ、ダイヤ
モンド砥石３の外径１６０ｍ、内径１３０ｍｍ、上下の
回転砥石１５，１６を回転し、これらの回転速度２００
０〜３０００ｒ．ｐ．ｍで研削した処、ＴＴＶ０．３μ
ｍ、研削時間は２分であった。

【００７５】なお、上述では上下部ワークレスト７１，
７２でワーク１７両面を保持したがワーク１７の何れか
一面のみをワークレストの１つで保持するようにしても
よい。従って、このようにワーク１７の一面側のみワー
クレストで保持する場合の両頭研削盤は上下部ワークレ
スト７１，７２の何れか一つを設けることでよい。

【００７６】（実施の形態２）図９、図１０はダイヤモ
ンドインプリ砥石を用いた研削工具１の例である。台板
２の表面には多数の同心円で同方向を半径方向の円につ
いて交互に分割位置を設けてダイヤモンドインプリ砥石
８を設けたものである。ワーク１７に対してはワーク１
７の中心を研削工具１の外周側がとおるように研削を行
う。カップ砥石の場合と同様砥石径はワーク１７の直径
の二分の一よりわずかに大きい。

【００７７】（実施の形態３）ワーク１７の片面の研削
仕上を主眼とすると、上述の両頭研削盤を用いて、下部
回転砥石１５を回転しないか、ゆるく回転して加工する
か、下部回転砥石１５をワーク１７に対して研削作用の
ゆるい、又は研削作用のない部材に変えてもよい。

【００７８】（実施の形態４）ワーク１７の片面の研削
仕上を行う場合は端面を研削作用面とする砥石を有する
単頭平面研削盤によることもできる。図１１はかかる単
頭研削盤であって下部フレーム１１には下部砥石関係部
材はなく、下部フレーム１１上にはガイドレール５２と
ワーク支持部材１４のみが設けられる。なおこの場合、
図１５に示すように下部フレーム１１上の上面に流体静
圧スライド８３を設けて前述のワーク支持板６０をこの
上面に接近するように設けてもよく、図１４に示すよう
にワークセット穴６０ａに底６０ｃを設けてもよい。図
１４の場合、ワークセット穴６０ａの深さは当然ワーク
１７の厚さよりも小さい。

【００７９】上記流体静圧スライド８３はワーク１７と
同心に設けられる。従ってワーク１７一面の全面が一定
位置に支持され、しかもワーク１７は固体との接触がな
いのでワーク１７の反研削面が傷つくことがない。しか
も流体静圧スライド８３のワーク１７を支持する平面は
全面にわたり平面度がよく、ワーク１７を単に支えるだ
けであるから、真空チャックで吸着する場合のような加
工後における復元による精度低下が生じない。

【００８０】上記において流体静圧スライド８３はワー
ク１７を間にして上部砥石１６と対向している部分以外
は上部ワークレスト７２と対向している。従って、ワー
ク１７はほぼ全面にわたって上部の流体静圧スライド本
体８１と上部砥石１６とで加圧されるのでワーク１７は
反ることがない。

【００８１】回転板５７のワークセット穴６０ａに底６
０ｃを設けると、ワーク１７の底面を容易に支持でき
る。この場合も、ワーク１７は上部の流体静圧スライド
本体８１と上部砥石１６とで加圧されるのでワーク１７
は反ることがない。なお、上記においてワーク１７の下
面側を上部砥石１６と同心同径の平面を有する部材（例
えば流体静圧軸受）で支持し、上部砥石１６とその下方
の上記上部砥石１６と同心同径の平面を有する部材との
間からはみ出たワーク１７の部分をワークレスト７１，
７２で保持してもよい。

【００８２】（実施の形態５）図１２は実施の形態５を
示す。上下部砥石１５，１６は研削により摩耗するので
ワーク１７を一定厚さにするには上下部砥石１５，１６
を摩耗量が予かじめ定められた一定量に達すると、その
摩耗量だけ追い込む（砥石１５，１６を前進する）必要
がある。

【００８３】図において砥石軸２８，４２に平行な旋回
軸８４が回転駆動源に連結され軸支されている。旋回軸
８４にはアーム８５の根本が固定されている。アーム８
５の先端に取付けた位置センサ８６は上下部砥石１５，
１６に接触又は近接して砥石１５，１６の研削作用面１
５ａ，１６ａの位置を検出できるようになっている。

【００８４】図１２のように主として上部砥石１５を上
昇し、摩耗していない砥石１５，１６の研削作用面１５
ａ，１６ａを位置センサ８６に接触又は近接して位置セ
ンサ８６が検出した位置を図示されない記憶装置に記憶
しておく。そしてアーム８５を回動して位置センサ８６
を砥石１５，１６から退避してワーク１７の研削を行っ
た後に、図１２の状態に砥石１５，１６を後退し、上記
と同様に研削作用面１５ａ，１６ａの位置検出を行な
う。この位置の検出の際、昇降用モータ２５，４０に付
設のエンコーダにより、砥石１５，１６の摩耗量が判明
するので摩耗した砥石１５，１６の研削作用面１５ａ，
１６ａを制御装置で追い込んでワーク１７の厚さを一定
に仕上げる。なお、上記位置センサ８６としては、エア
マイクロ、差動トラス、ＡＥセンサ等が援用される。

【００８５】（実施の形態６）図１６は実施の形態６を
示す。この実施の形態６は下部ワークレスト７１の支持
に特徴があり、その他の構成は実施の形態１と同様であ
る。

【００８６】下部砥石台２０には砥石軸２８と同心の円
板９１が固定されている。この円板９１には同心でラジ
アル軸受９２が固定されている。この円板９１の外周側
を上下から挟持する形で流体静圧スライド９３が設けら
れており、円板９１の上下面は流体静圧スライド９３を
支持している。流体静圧スライド９３は夫々環状の上部
スライド９３ａ、下部スライド９３ｂがデイスタンスピ
ース９３ｃを介して固定されている。上部スライド９３
ａはラジアル軸受９２に回転自在に嵌合している。

【００８７】この流体静圧スライド９３は円環状テーブ
ルとなるものであって、この円環状テーブルの上部スラ
イド９３ａ上には下部流体静圧スライド即ち下部ワーク
レスト７１が構成される。尚、下部流体静圧スライドへ
の圧力流体の供給路の一部は上部スライド９３ａ中に設
けてある。またこの流体静圧スライド９３は図示されな
い駆動装置で旋回するがその回転角は９０度以内であ
る。なおこの流体静圧スライド９３への圧力流体の供給
は図示されない可撓管を用いて行う。

【００８８】図１６の状態では上下部ワークレスト７
１，７２は対向位置にあり、ワーク１７を保持してワー
ク１７を砥石１５，１６で研削している。ワーク１７を
機上から脱着する際は図１６の位置から流体静圧スライ
ド９３を９０度旋回すると今までワーク１７の下方にあ
った下部ワークレスト７１の部分は空間となるので併せ
て上部流体静圧スライド本体８１を上昇させることによ
りワーク１７の着脱が容易となる。この実施の形態によ
れば、前記円板９１と流体静圧スライド９３を介して、
下部ワークレスト７１は下部砥石台２０の上下方向の動
きに追従されるため、下部ワークレスト７１のワーク１
７を保持するスライド面７７ａの高さは、研削中のワー
ク１７を常に水平な良い姿勢に保持できる位置にある。
しかも熱変形や振動分を吸収でき安定した保持状態を得
ることができる。

【００８９】（実施の形態７）図１８、図１９は実施の
形態７に用いる流体静圧スライドのスライド面を示す。
この実施の形態では上部ワークレスト７２は用いないで
下部ワークレスト７１のみでワーク１７を支持するもの
である。

【００９０】既に説明したように砥石からはみ出したワ
ーク１７の部分１７ｂは片面の二個所で流体静圧軸受で
支持している点はこの実施の形態でも同様である。

【００９１】図において、下部静圧スライド７７は前実
施の形態と同様に円形のスライド面７７ａを有する。こ
のスライド面７７ａの中心には吸込み用オリフイス７７
ｄを有し、吸込み用オリフイス７７ｄを中心とする円を
３等配して吐出用のオリフイス７７ｃが配設されてい
る。

【００９２】吐出用オリフイス７７ｃより吐出された圧
力流体はワーク１７下面との間に入り静圧流体層を形成
する。

【００９３】この流体静圧層では圧力流体は吸込まれて
いる吸込み用オリフイス７７ｄに向かって流れる。この
吸込み用オリフイス７７ｄにおける負圧及びオリフス径
は上記流体静圧層厚を小さくするように設けられる。

【００９４】このようにしてあるため、ワーク１７の重
量とバランスをとれた位置でワーク１７は浮上状態とな
るが、圧力流体が吹き出す吐出側オリフイス７７ｃのあ
る周縁ではワーク１７を浮上させようとし、吸込み用オ
リフイス７７ｄのある中心ではワーク１７を引き込もう
とするのでワーク１７とスライド面７７ａ間は小さな隙
間状態で均り合わせることによりワーク１７を支持する
ための剛性を向上させることができる。

【００９５】この実施の形態によれば吸込み用オリフイ
ス７７ｄの吸込み力がワーク１７に加わる範囲は小さい
からワーク１７を変形させることがなく、剛性を有して
ワーク１７を保持できるものである。

【００９６】本発明の実施の形態ではワークの直径のほ
ぼ二分の一の直径の砥石径を有する砥石をワークの回転
中心を研削作用面がとおるようにする共にワークの外周
側に研削作用面がとおるようにしたので、ワークを支持
して回転駆動する回転板５７の外周枠５７ａ内径が小さ
く、回転板５７が小さくなるのでワーク支持部材１４が
小さくなる。

【００９７】本発明の実施の形態ではワークの砥石の研
削作用面外からはみ出した部分をワークレストで保持し
たことにより上述のワークのほぼ二分の一の直径砥石を
用いた場合、砥石からはみでているワークの位置を如何
に保持するかという課題が解決される。

【００９８】本発明の実施の形態は上述のようにウエハ
の結晶方位を示すために設ける切欠部へ駆動部を突出さ
せたワークセット穴を有するウエハよりも薄いワーク支
持板を回転駆動した状態でウエハの上下面に砥石を同時
に作用させて研削するようにしたので、ウエハが確実に
回転送りを与えられ研削作用がウエハの全面に平均して
作用し両面同時に研削されるという効果がある。そして
研削であるため短時間で良好な表面粗度を確保できると
共に真空チャックによりウエハを吸着する場合、真空チ
ャックの吸着面に引き込まれることにより、平とされた
状態で、形状精度の良好でないウエハを加工して真空チ
ャックより取り外した場合に弾力により形状が復元して
形状精度が悪化するが、この実施の形態によればワーク
支持のためにワークを平にしないので形状精度が良好で
ある。

【００９９】また片面研削の場合も上述のようにウエハ
はワーク支持板のセット状に嵌合して駆動部をウエハ結
晶の方位を見るための切欠部に嵌合して強制的にウエハ
に回転送りを与えるものであるため、良好な表面粗度と
併せて形状精度が良好となる。

【０１００】実施の形態の研削盤は竪形両頭平面研削
盤、竪形単頭平面研削盤について述べたが横型両頭平面
研削盤、横型単頭平面研削盤を用いてもよい。

【０１０１】

【発明の効果】本発明のウエハの加工方法によれば、砥
石からはみ出したワーク部分をワークレストで位置規制
するようにしたので、砥石径をワークの直径のほぼ二分
の一とした場合も安定した研削ができる。そしてワーク
の支持部材を小さくできる。

【０１０２】上記ワークレストを流体静圧スライドとす
ることにより、ワークレストによりウエハに傷がつくこ
とがなく、且つ、制振作用があるので研削が安定して行
われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の両頭平面研削盤の実施の形態を示す
正面図である。

【図２】下部フレーム部分の要部縦断面図である。

【図３】上部フレーム部分の要部縦断面図である。

【図４】ワーク支持部材の平面図である。

【図５】スライドテーブル部を示す縦断面図である。

【図６】同じく斜視図である。

【図７】研削工具、ワーク及びワークレストの関係を示
す平面図である。

【図８】図７の研削工具の縦断面図である。

【図９】研削工具の他の例を示す正面図である。

【図１０】図９の縦断面図である。

【図１１】この発明の単頭研削盤の実施の形態を示す正
面図である。

【図１２】研削砥石の砥石摩耗検出方法を模式的に示す
平面図である。

【図１３】ワーク支持部材の縦断面図である。

【図１４】ワーク支持部材の縦断面図である。

【図１５】ワーク支持部材の縦断面図である。

【図１６】他の実施の形態のワークレストの移動部材を
示す縦断面図である。

【図１７】図２の一部拡大図である。

【図１８】図１９のＡーＡ断面図である。

【図１９】実施の形態７の流体静圧スライドの平面図で
ある。

【符号の説明】

１…研削工具 ２…台板 ２ａ…凹形嵌合部 ３…ダイヤモンド砥石 ３ａ…研削作用面 ６…砥石ホルダ ６ａ…凸形嵌合部 ７…ボルト ８…ダイヤモンドインプリ砥石 １１…下部フレーム １２…下部砥石回転昇降機構 １３…上部砥石回転昇降機構 １４…ワーク支持部材 １５…下部砥石 １５ａ…研削作用面 １６…上部砥石 １６ａ…研削作用面 １７…ワーク（ウエハ） １７ａ…切欠部 １７ｂ…部
分 ２０…砥石台 ２１…ガイド ２２…下部砥石台移動用モータ ２３…ボールネジ ２３ａ…ボールナット ２４…下部軸支筒 ２４ａ…ガイド部 ２４ｂ…ブラケ
ット ２５…下部砥石台昇降用モータ ２６…回転伝達機構 ２７…ボールねじ ２８…下部砥石軸 ２９…砥石ホルダ ３４…砥石駆動モータ ３８…上部軸支筒 ３８ａ…ブラケット ３９…ガイド ４０…昇降用モータ ４１…ボールねじ ４１ａ…ボールナット ４２…上部砥石軸 ４３…砥石ホルダ ４８…砥石駆動モータ ５２…支持台 ５３…スライドテーブル ５４…ガイドレール ５５…スライドテーブル移動用モータ ５６…ボールねじ ５６ａ…ボールナット ５７…回転板 ５７ａ…外周枠 ５８…ガイドローラ ５９…ギヤ ６０…ワーク支持板 ６０ａ…セット穴 ６０ｂ…ワー
ク駆動部 ６０ｃ…底 ６１…回転板回転用モータ ６２…ギヤ ７１…下部ワークレスト ７２…上部ワークレスト ７３…ロータリアクチュエータ ７３ａ…出力軸 ７４…アーム ７５…ベース ７５ａ…圧力流体入口 ７５ｂ…流体通
路 ７６…デイスタンスピース ７７…下部流体静圧スライド ７７ａ…スライド面 ７
７ｂ…流体通路 ７７ｃ…オリフイス ７７ｄ…吸込み
用オリフイス ７８…密封輪 ７９…シリンダ ７９ａ…シリンダボデイ ７９ｂ…シ
リンダブッシュ ７９ｃ…圧力流体入口 ７９ｄ…穴
７９ｅ，７９ｆ…圧力流体出入口 ７９ｇ…シリンダふ
た ８１…上部流体静圧スライド本体 ８１ａ…外周溝 ８
１ｂ…流体通路 ８１ｃ…オリフイス ８１ｄ…スライ
ド面 ８１ｅ…ピストン ８３…流体静圧スライド ８４…旋回軸 ８５…アーム ８６…位置センサ ９１…円板 ９２…ラジアル軸受 ９３…流体静圧スライド ９３ａ…下部スライド ９３
ｂ…上部スライド ９３ｃ…デイスタンスピース １１１…上部フレーム

フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内

Claims (39)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インゴットから切断後のウエハの加工方
   法において、 ウエハを保持してウエハを回転するワーク支持部材と、
   砥石端面を対向させて砥石端面で研削を行う両頭平面研
   削盤と、ウエハと砥石端面の接触部の砥石外周側からは
   み出たウエハの面を保持するワークレストを準備して、 ワーク支持部材でウエハを回転駆動すると共にワークレ
   ストでウエハを保持して、ウエハの中心を砥石研削作用
   面がとおるように砥石をウエハの両面に作用させて研削
   を行うことを特徴とするウエハの加工方法。
2. 【請求項２】 ワークレストをウエハの両面に作用する
   ことを特徴とする請求項１に記載のウエハの加工方法。
3. 【請求項３】 ワークレストをウエハの片面に作用する
   ことを特徴とする請求項１に記載のウエハの加工方法。
4. 【請求項４】 前記砥石は共に研削作用のある砥石を用
   いて両面を同時に研削することを特徴とする請求項１に
   記載のウエハの加工方法。
5. 【請求項５】 前記砥石の内一方は研削作用のある砥石
   を用いると共に他方の砥石は研削作用が前記研削作用の
   ある砥石に比較して研削作用の小さい砥石を用いること
   を特徴とする請求項１に記載のウエハの加工方法。
6. 【請求項６】 前記砥石としてカップ砥石を用いること
   を特徴とする請求項１から５の何れか１つに記載のウエ
   ハの加工方法。
7. 【請求項７】 ウエハの直径のほぼ二分の一の直径の砥
   石を用いることを特徴とする請求項１から６の何れか１
   つに記載のウエハの加工方法。
8. 【請求項８】 砥石端面を対向して配設され、砥石端面
   で円板形ワークの板面を加工する両頭平面研削盤におい
   て、 ワークを保持してワークを砥石軸と平行な中心で回転さ
   せるワーク支持部材と、砥石と、 前記砥石をワークの面に作用させた際に砥石からはみ出
   るワークの面を保持するワークレストと、 を有することを特徴とする両頭平面研削盤。
9. 【請求項９】 前記ワークレストはワークの両面を保持
   するものであることを特徴とする請求項８に記載の両頭
   平面研削盤。
10. 【請求項１０】前記ワークレストはワークの片面を保持
    するものであることを特徴とする請求項８に記載の両頭
    平面研削盤。
11. 【請求項１１】 前記ワークレストはワークレストとワ
    ーク表面との間に流体静圧軸受を構成するものであるこ
    とを特徴とする請求項８又は９もしくは１０に記載の両
    頭平面研削盤。
12. 【請求項１２】 前記ワークレストの少くとも片面側の
    ワークレストはワークを保持する位置と、ワークを保持
    しない退避位置をとるように移動部材に配設されている
    ことを特徴とする請求項８から１１の何れか１つに記載
    の両頭平面研削盤。
13. 【請求項１３】 前記移動部材とは砥石台であることを
    特徴とする請求項１２に記載の両頭研削盤。
14. 【請求項１４】 前記移動部材とは砥石軸と平行な枢軸
    に支持され先端にワークレストを取り付けたアーム部材
    であることを特徴とする請求項１２に記載の両頭平面研
    削盤。
15. 【請求項１５】 前記移動部材とは砥石台に対して砥石
    軸と同一中心で回転自在に支持されている円環状テーブ
    ルであることを特徴とする請求項１２に記載の両頭平面
    研削盤。
16. 【請求項１６】 前記円環状テーブルは流体静圧スライ
    ドで支持されていることを特徴とする請求項１５に記載
    の両頭平面研削盤。
17. 【請求項１７】 インゴットから切断後のウエハの加工
    方法において、 ウエハを保持してウエハを回転するワーク支持部材と、
    砥石端面で研削を行う単頭平面研削盤と、ウエハと砥石
    端面の接触部の砥石外周側からはみ出たウエハの面を保
    持するワークレストを準備して、 ワーク支持部材でウエハを回転駆動すると共にワークレ
    ストでウエハの面を保持して、ウエハの中心を砥石研削
    作用面がとおるように砥石をウエハの面に作用させて研
    削を行うことを特徴とするウエハの加工方法。
18. 【請求項１８】 前記砥石としてカップ砥石を用いるこ
    とを特徴とする請求項１７に記載のウエハの加工方法。
19. 【請求項１９】 ワークレストをウエハの砥石の研削作
    用面が接触する側の面に作用させて用いると共にウエハ
    の研削しない面をワーク支持部材で支持することを特徴
    とする請求項１７又は１８に記載のウエハの加工方法。
20. 【請求項２０】 砥石端面で円板形ワークの板面を加工
    する単頭平面研削盤において、 ワークを保持してワークを砥石軸と平行な中心で回転さ
    せるワーク支持部材と、砥石と、 前記砥石をワークの面に作用させた際に砥石からはみ出
    るワークの面を保持するワークレストと、を有すること
    を特徴とする単頭平面研削盤。
21. 【請求項２１】 前記ワークレストはワークの両面側に
    設けられていることを特徴とする請求項２０に記載の単
    頭平面研削盤。
22. 【請求項２２】 前記ワークレストはワークの一面側に
    設けられていることを特徴とする請求項２０に記載の単
    頭平面研削盤。
23. 【請求項２３】 前記ワークレストはワークレストとワ
    ーク表面との間に流体静圧スライドを構成するものであ
    ることを特徴とする請求項２０又は２１もしくは２２に
    記載の単頭平面研削盤。
24. 【請求項２４】 前記ワークレストはワークを保持する
    位置と、ワークを保持しない退避位置をとるように移動
    部材に配設されていることを特徴とする請求項２０から
    ２３の何れか１つに記載の単頭平面研削盤。
25. 【請求項２５】 前記移動部材とは砥石台であることを
    特徴とする請求項２４に記載の単頭平面研削盤。
26. 【請求項２６】 前記移動部材とは砥石軸と平行な枢軸
    に支持され先端にワークレストを取り付けたアーム部材
    であることを特徴とする請求項２４に記載の単頭平面研
    削盤。
27. 【請求項２７】 前記移動部材とは砥石台に対して砥石
    軸と同一中心で回転自在に支持されている円環状テーブ
    ルであることを特徴とする請求項２４に記載の単頭平面
    研削盤。
28. 【請求項２８】 前記円環状テーブルは流体静圧スライ
    ドで支持されていることを特徴とする請求項２７に記載
    の単頭平面研削盤。
29. 【請求項２９】 円板状ワークに回転を与え、砥石端面
    で前記ワーク両面又は片面の一部に研削作用面を切り込
    んで研削を行う両頭研削盤のワークレストであって、 ワークを間にしてワーク両面又は片面に接触又は圧力媒
    体を介して接近してワークの板面を保持するワーク保持
    部材を有することを特徴とするワークレスト。
30. 【請求項３０】 前記ワークレストのワーク保持部材は
    ワークとの対向面に隙間を有してこの隙間へ圧力媒体を
    供給する流体通路を有しワークとワーク保持部材間に流
    体静圧スライドを構成することを特徴とする請求項２９
    に記載のワークレスト。
31. 【請求項３１】 前記圧力媒体は気体であることを特徴
    とする請求項２９又は３０に記載のワークレスト。
32. 【請求項３２】 前記圧力媒体は液体であることを特徴
    とする請求項２９又は３０に記載のワークレスト。
33. 【請求項３３】 前記ワーク保持部材はワークの面を保
    持する位置と、ワークから退避した位置と、をとる移動
    部材に設けられていることを特徴とする請求項２９から
    ３２の何れか１つに記載のワークレスト。
34. 【請求項３４】 前記移動部材はワークの板面に平行な
    方向にワーク保持部材を移動し、ワーク保持部材をワー
    クに対向する位置と、ワークに対向しない位置とをとる
    可動部材であること特徴とする請求項３３に記載のワー
    クレスト。
35. 【請求項３５】 前記移動部材はワークの板面と接触又
    は接近した位置と、ワークの板面に対向してワークから
    離れた位置と、をとる可動部材であることを特徴とする
    請求項３３に記載のワークレスト。
36. 【請求項３６】 前記移動部材は両頭平面研削盤の砥石
    台が兼ねることを特徴とする請求項３５に記載のワーク
    レスト。
37. 【請求項３７】 前記移動部材は両頭平面研削盤の砥石
    軸に平行な枢軸に回動自在に支持され先端にワーク保持
    部材を有するアーム部材であることを特徴とする請求項
    ３４に記載のワークレスト。
38. 【請求項３８】 前記移動部材は両頭平面研削盤の砥石
    軸を中心に回動自在に砥石台に設けられていることを特
    徴とする請求項３４に記載のワークレスト。
39. 【請求項３９】 前記移動部材は砥石台との間に流体静
    圧スライドを構成していることを特徴とする請求項３８
    に記載のワークレスト。